JPS6221076A - スプリング・コンタクト式プロ−ブのテストヘツド - Google Patents
スプリング・コンタクト式プロ−ブのテストヘツドInfo
- Publication number
- JPS6221076A JPS6221076A JP60159631A JP15963185A JPS6221076A JP S6221076 A JPS6221076 A JP S6221076A JP 60159631 A JP60159631 A JP 60159631A JP 15963185 A JP15963185 A JP 15963185A JP S6221076 A JPS6221076 A JP S6221076A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probes
- test piece
- terminals
- contact type
- cables
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims abstract description 21
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- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 8
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
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Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はスプリング・コンタクト式プローブのテストヘ
ッド、詳しくは各種回路基板の電気特性、特に高周波電
圧特性の測定に用いられるスプリング・コンタクト式プ
ローブのテストヘッドの改良に関する。
ッド、詳しくは各種回路基板の電気特性、特に高周波電
圧特性の測定に用いられるスプリング・コンタクト式プ
ローブのテストヘッドの改良に関する。
近年、ニューメディア、ＯＡ、光通信、半導体などの急
激な技術進歩が行われており、これに伴い所謂「部品と
部品の接点に係る接点技術（コンタクト・テクノロジー
）」並びに「接点を接続する接続技術（コネクション・
テクノロジー）」の高精密化、高性能化が各種新技術に
共通の基礎技術として強（要求されている。具体例とし
て、半導体、ＬＳＩ検査システム、中でもプリント基板
やセラミックの多装基板など各種回路基板の電気特性、
例えば高周波電圧を測定する検査工程において、検査装
置の主要部分を構成するコンタクト式プローブ、特にス
プリング・コンタクト式プローブは、従来上記電気特性
をくずさずに測定するという課題に対して、所謂接点技
術並びに接続技術に係るものであるが、その要求使用条
件、例えば高周波領域での使用条件や超低温から高温度
までの広範囲にわたる温度条件などに十分耐えることが
出来ず、また回路外部からはノイズをひろい、内部から
ノイズを生じる為、その測定結果は要求される精度と信
頼性に欠けがちで、これらの使用条件、環境条件に対し
て技術的に十分満足させ得ないという問題があった。ま
た、複数の信号線の電気的距離がまちまちで測定する場
合に煩雑さを与えていた。
激な技術進歩が行われており、これに伴い所謂「部品と
部品の接点に係る接点技術（コンタクト・テクノロジー
）」並びに「接点を接続する接続技術（コネクション・
テクノロジー）」の高精密化、高性能化が各種新技術に
共通の基礎技術として強（要求されている。具体例とし
て、半導体、ＬＳＩ検査システム、中でもプリント基板
やセラミックの多装基板など各種回路基板の電気特性、
例えば高周波電圧を測定する検査工程において、検査装
置の主要部分を構成するコンタクト式プローブ、特にス
プリング・コンタクト式プローブは、従来上記電気特性
をくずさずに測定するという課題に対して、所謂接点技
術並びに接続技術に係るものであるが、その要求使用条
件、例えば高周波領域での使用条件や超低温から高温度
までの広範囲にわたる温度条件などに十分耐えることが
出来ず、また回路外部からはノイズをひろい、内部から
ノイズを生じる為、その測定結果は要求される精度と信
頼性に欠けがちで、これらの使用条件、環境条件に対し
て技術的に十分満足させ得ないという問題があった。ま
た、複数の信号線の電気的距離がまちまちで測定する場
合に煩雑さを与えていた。
本発明は上記従来のものの問題点に着目してなされたも
ので、その目的としては各種回路基板など検査対象物の
電気特性を（ずさずに高精度で信頼性の高い測定を可能
とした超精密でかつ低コストのスプリング・コンタクト
式プローブのテストヘッドを提供することにある。
ので、その目的としては各種回路基板など検査対象物の
電気特性を（ずさずに高精度で信頼性の高い測定を可能
とした超精密でかつ低コストのスプリング・コンタクト
式プローブのテストヘッドを提供することにある。
さらに詳述すると、本発明の目的はプローブが試験片に
接触する際に、生ずる測定信号の反射を抑；；ｉｌｌ
Ｌで電気特性を正確に測定でき、複数信号線の電気長が
すべて等しく、測定の調整が簡単にでき、耐ノイズ性を
持ちしかも低廉で製造することができる前述したスプリ
ング・コンタクト式プローブのテストヘッドを提供する
ことにある。
接触する際に、生ずる測定信号の反射を抑；；ｉｌｌ
Ｌで電気特性を正確に測定でき、複数信号線の電気長が
すべて等しく、測定の調整が簡単にでき、耐ノイズ性を
持ちしかも低廉で製造することができる前述したスプリ
ング・コンタクト式プローブのテストヘッドを提供する
ことにある。
〔問題点を解決するための手段とその作用〕上記目的を
達成する為、本発明はスプリング・コンタクト式プロー
ブに接続された同軸ケーブルをプローブのコンタクト位
置から接続端子間がおのおの等距離となるよう変形させ
、複数の接続端子を同一のコネクタパネルに配置した構
成により上記プローブと試験片との接触時に発生する、
例えば入力信号の反射を抑制し、希望したインピーダン
スの整合を取るようにして波形が乱されずに試験片の電
気特性を測定でき、測定の調整を簡単にしたことを要旨
とする。
達成する為、本発明はスプリング・コンタクト式プロー
ブに接続された同軸ケーブルをプローブのコンタクト位
置から接続端子間がおのおの等距離となるよう変形させ
、複数の接続端子を同一のコネクタパネルに配置した構
成により上記プローブと試験片との接触時に発生する、
例えば入力信号の反射を抑制し、希望したインピーダン
スの整合を取るようにして波形が乱されずに試験片の電
気特性を測定でき、測定の調整を簡単にしたことを要旨
とする。
以下、図面を用いて本発明の詳細な説明する。
図は、本発明の一実施例を示す斜視図である。
まず、構成を説明すると、（１）はスプリング・コンタ
クト式プローブで試験片（５）の電極に接触し上記プロ
ーブの他端部は同軸ケーブル（２）と電気的に接続され
、上記同軸ケーブルはすべて等角度に曲げられており、
一端は接続端子（３）が取り付けられており上記接続端
子はすべてコネクタパネル（４）に固定されている。
クト式プローブで試験片（５）の電極に接触し上記プロ
ーブの他端部は同軸ケーブル（２）と電気的に接続され
、上記同軸ケーブルはすべて等角度に曲げられており、
一端は接続端子（３）が取り付けられており上記接続端
子はすべてコネクタパネル（４）に固定されている。
次にこの実施例の作用を説明する。
いま、接続端子（３ａ）に高周波信号が印加されると、
上記同軸ケーブル（２）とスプリング・コンタクト式プ
ローブ（１）を経て試験片に信号が入力され、試験片（
５）からの出力信号は上記スプリング・コンタクト式プ
ローブ（１）と同軸ケーブル（２）と接続端子（３）を
経て図示しない測定装置に波形が乱されることなく計測
される。こめ実施例によれば、同軸ケーブル（２）は剛
体であってもよく、その電気的距離はすべて等しくする
ことができる。
上記同軸ケーブル（２）とスプリング・コンタクト式プ
ローブ（１）を経て試験片に信号が入力され、試験片（
５）からの出力信号は上記スプリング・コンタクト式プ
ローブ（１）と同軸ケーブル（２）と接続端子（３）を
経て図示しない測定装置に波形が乱されることなく計測
される。こめ実施例によれば、同軸ケーブル（２）は剛
体であってもよく、その電気的距離はすべて等しくする
ことができる。
以上説明したように、本発明によれば、信号伝達の電気
的距離を等距離にしたことにより高周波信号計測の調整
が煩雑さから解放され簡単になるという実用的効果を有
し、また前述の同軸ケーブルが剛体であっても変形部分
がすべてのケーブルにおいて同一形状であるため製造価
格を低減することができるという大なる効果が得られ、
さらに前述のコネクタパネルにすべての接続端子が取り
付けられることによって耐ノズル性の向上を得るという
大なる効果を有している。
的距離を等距離にしたことにより高周波信号計測の調整
が煩雑さから解放され簡単になるという実用的効果を有
し、また前述の同軸ケーブルが剛体であっても変形部分
がすべてのケーブルにおいて同一形状であるため製造価
格を低減することができるという大なる効果が得られ、
さらに前述のコネクタパネルにすべての接続端子が取り
付けられることによって耐ノズル性の向上を得るという
大なる効果を有している。
図面は本発明の一実施例を示すテストヘッドの斜視図で
ある。 （１）・・・スプリング・コンタクト式プローブ（２）
・・・同軸ケーブル （３）・・・接続端子 （４）・・・コネクタパネル
ある。 （１）・・・スプリング・コンタクト式プローブ（２）
・・・同軸ケーブル （３）・・・接続端子 （４）・・・コネクタパネル
Claims (2)
- （１）試験片とのコンタクトをなすコンタクト部を具備
した複数のスプリング・コンタクト式プローブと測定装
置との各々に対応した接続端子を有し、上記プローブと
の接続端子間がインピーダンス整合されたケーブルから
成るテストヘッドにおいて、上記プローブのコンタクト
部と接続端子間距離が各々電気的等距離となるように構
成したことを特徴とするスプリング・コンタクト式プロ
ーブのテストヘッド。 - （２）多数の上記接続端子が同一のコネクタパネルに取
付けられる構造を有することを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載のスプリング・コンタクト式プローブのテ
ストヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60159631A JPS6221076A (ja) | 1985-07-19 | 1985-07-19 | スプリング・コンタクト式プロ−ブのテストヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60159631A JPS6221076A (ja) | 1985-07-19 | 1985-07-19 | スプリング・コンタクト式プロ−ブのテストヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6221076A true JPS6221076A (ja) | 1987-01-29 |
Family
ID=15697932
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60159631A Pending JPS6221076A (ja) | 1985-07-19 | 1985-07-19 | スプリング・コンタクト式プロ−ブのテストヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6221076A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01318978A (ja) * | 1988-06-21 | 1989-12-25 | Sony Corp | Ｉｃリード測定装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5589760A (en) * | 1978-12-28 | 1980-07-07 | Hitachi Ltd | Measuring unit for alternating current performance |
-
1985
- 1985-07-19 JP JP60159631A patent/JPS6221076A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5589760A (en) * | 1978-12-28 | 1980-07-07 | Hitachi Ltd | Measuring unit for alternating current performance |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01318978A (ja) * | 1988-06-21 | 1989-12-25 | Sony Corp | Ｉｃリード測定装置 |
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