JPS6222055U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6222055U JPS6222055U JP1985113865U JP11386585U JPS6222055U JP S6222055 U JPS6222055 U JP S6222055U JP 1985113865 U JP1985113865 U JP 1985113865U JP 11386585 U JP11386585 U JP 11386585U JP S6222055 U JPS6222055 U JP S6222055U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- workpiece
- hole
- supplying
- holding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 14
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 5
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims 1
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- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
Description
第１図ａは本考案の研摩装置の一実施例の部分
断面を含む正面透視図、第１図ｂは同図ａにおけ
る排気カバーの斜視図、第２図は従来の研摩装置
の一例を示す部分断面を含む正面透視図である。 １……研摩盤、２……研摩布、３……ノズル、
４……ウエハ、５……ホルダー、６……支持棒、
７……基板、８……廃液トレー、９……排気カバ
ー、１０……排気孔、１１，１２……穴、１３…
…つば、１４……円板、１５……おもり、１６…
…アーム、３１……研摩液、３２……タンク、３
３……コツク。
断面を含む正面透視図、第１図ｂは同図ａにおけ
る排気カバーの斜視図、第２図は従来の研摩装置
の一例を示す部分断面を含む正面透視図である。 １……研摩盤、２……研摩布、３……ノズル、
４……ウエハ、５……ホルダー、６……支持棒、
７……基板、８……廃液トレー、９……排気カバ
ー、１０……排気孔、１１，１２……穴、１３…
…つば、１４……円板、１５……おもり、１６…
…アーム、３１……研摩液、３２……タンク、３
３……コツク。
Claims (1)
- 被加工物を保持する手段と、研摩液を供給する
手段と、前記研摩液を供給されつつ前記被加工物
を研摩加工する研摩盤とを備える研摩装置におい
て、前記被加工物を保持する部材を挿入するため
の穴と前記研摩液を供給するノズルを挿入するた
めの穴と研摩加工により発生するガスを排出する
ための排気孔とを有し、前記研摩盤の周辺部全体
を覆うように形成した排気カバーを備えることを
特徴とする研摩装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985113865U JPS6222055U (ja) | 1985-07-24 | 1985-07-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985113865U JPS6222055U (ja) | 1985-07-24 | 1985-07-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6222055U true JPS6222055U (ja) | 1987-02-10 |
Family
ID=30996068
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985113865U Pending JPS6222055U (ja) | 1985-07-24 | 1985-07-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6222055U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101017156B1 (ko) | 2003-12-22 | 2011-02-25 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 화학기계적연마장치의 슬러리 디스펜서 |
| JP2017533834A (ja) * | 2014-11-12 | 2017-11-16 | イリノイ トゥール ワークス インコーポレイティド | 平面研削盤 |
| KR20240068356A (ko) * | 2022-11-10 | 2024-05-17 | 에스케이실트론 주식회사 | 파이널 폴리싱 장치 |
-
1985
- 1985-07-24 JP JP1985113865U patent/JPS6222055U/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101017156B1 (ko) | 2003-12-22 | 2011-02-25 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 화학기계적연마장치의 슬러리 디스펜서 |
| JP2017533834A (ja) * | 2014-11-12 | 2017-11-16 | イリノイ トゥール ワークス インコーポレイティド | 平面研削盤 |
| KR20240068356A (ko) * | 2022-11-10 | 2024-05-17 | 에스케이실트론 주식회사 | 파이널 폴리싱 장치 |