JPS6223448B2 - - Google Patents
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- JPS6223448B2 JPS6223448B2 JP59200899A JP20089984A JPS6223448B2 JP S6223448 B2 JPS6223448 B2 JP S6223448B2 JP 59200899 A JP59200899 A JP 59200899A JP 20089984 A JP20089984 A JP 20089984A JP S6223448 B2 JPS6223448 B2 JP S6223448B2
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Landscapes
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Description
［発明の技術分野］
この発明は電解コンデンサ用電極箔として使用
するアルミ箔のエツチング装置に関する。 ［発明の技術的背景とその問題点］ 電解コンデンサ用電極箔として使用されるアル
ミ箔をエツチングしたエツチド箔の表面には不純
物やイオンが付着しており、この不純物等がエツ
チド箔の表面状態を変質させたり、陽極酸化皮膜
を生成したときのばらつきとしてあらわれたりす
るため、エツチング後に除去することが不可欠で
あつた。この除去手段としてエツチド箔を負極、
カーボンを陽極として例えば硼酸５重量％水溶液
（液温60℃）中で1A／ｄm2の電流密度で１分間の
電解を行うと、この電気分解によつて生じる水素
によつてエツチド箔に付着する不純物やイオンを
除去できることが知られている。しかしながらこ
の電解分解を継続すると、発生する水素によつて
電解用電極として使用したカーボンが分解してエ
ツチング液中に拡散するので、カーボンが早期に
崩壊するとともに洗浄液が汚損して使用不能とな
る問題点があつた。またカーボンの代替としてア
ルミニウム、白金、ニツケルなども使用してみた
が、これら金属の場合も溶解現象を生じて実質的
には使用できず、前述のカーボンの場合と同様の
傾向を示す問題点があつた。 ［発明の目的］ この発明の目的は、エツチド箔に付着する不純
物などを除去する洗浄槽に陽極を課電しても長寿
命の電解用電極を用いることにより、エツチド箔
表面を清浄にできる電解コンデンサ用アルミ箔の
エツチング装置を得ることである。 ［発明の概要］ この発明になる電解コンデンサ用アルミ箔のエ
ツチング装置は、アルミ箔を陽極、電解用電極を
負極として電源に接続された少なくとも１槽のエ
ツチング槽と、該エツチング槽の後に配された第
１の水洗槽と、該水洗槽の後に配されアルミ箔を
負極、電解用電極を陽極として電源に接続された
洗浄槽と、該洗浄槽の後に配された第２の水洗槽
とからなり、前記洗浄槽の電解用電極がTi、
Ta、Nbの中の１種からなる基体金属にRu、Ir、
Pd、Rh、Ta、Nb、Ｖの中の１種または２種以上
からなる化合物を焼成コーテイングした酸化物を
形成したものからなることを特徴とするものであ
る。 ［発明の実施例］ 実施例 １ 第１図に示すように、電源１の陽極をコンタク
トローラー２に接続され、負極をエツチング槽３
中のエツチング電極４，５，６に接続する。該エ
ツチング槽３には前記コンタクトローラー２に接
して走行するアルミ箔７がガイドローラー８を経
て液中ローラー９で反転し上昇してエツチング槽
３を出、ガイドローラー８に達するが、該エツチ
ング槽３中には例えば塩酸3.5重量％水溶液（液
温60℃）のエツチング液１０が入れられている。
したがつて、エツチング槽３中においては陽極を
課電されたアルミ箔７と負極を課電されたエツチ
ング電極４，５間および５，６間において電気分
解がおこり、アルミ箔７はエツチングされる。前
記のようにしてエツチングされたアルミ箔７には
エツチング液１０に含まれている成分、例えば塩
素イオンや電気分解によつて生じたアルミの残滓
などが付着していて、そのまま走行させると、該
エツチング槽３の後に配された洗浄槽などに持込
み、洗浄液組成を変化させるので、これを防止す
るためエツチング槽３の後に第１の水洗槽１１を
設ける。該第１の水洗槽１１中には純水１２およ
び水中ローラー１３が配され、アルミ箔７はガイ
ドローラー８から水洗槽１１に入り、純水１２中
を走行し水中ローラー１３で反転して上昇する。
しかしながら、この水洗槽１１ではアルミ箔７が
純水１２中を走行するだけなので、アルミ箔７表
面に付着した不純物などは除去できるが、エツチ
ングによりアルミ箔７に形成されたピツトの中の
塩素イオンなどまで除去できないため、該水洗槽
１１の後に配した洗浄槽１４でこの目的を達す
る。すなわち、該洗浄槽１４には電源１５の陽極
に接続した電解用電極１６，１７，１８と、例え
ば硼酸５重量％水溶液（液温60℃）からなる洗浄
液１９が入つており、前記電源１５の負極は前記
コンタクトローラー２に接続されている。したが
つて、アルミ箔７の走行によつて洗浄槽１４にお
いては電解用電極１６，１７，１８を陽極、アル
ミ箔７を負極とした電気分解が生じ水素を発生す
る。このとき電解用電極１６，１７，１８は
Ti、Ta、Nbの中の１種を基体金属とし、該基体
金属にRu、Ir、Pd、Rh、Ta、Nb、Ｖの１種ま
たは２種以上からなる化合物を焼成コーテイング
した酸化物を形成したものを使用するが、本実施
例では基体金属にTi、酸化物はRuを用いて形成
したものを使用した。したがつて、この洗浄槽１
４における課電は前記エツチング槽３と対比する
と逆電を課すことになるが、電解用電極１６，１
７，１８の溶解は見られず、またこの電気分解に
よつて発生した水素は、エツチングされたアルミ
箔７のエツチングピツト内や表面に付着している
塩素イオンや残滓等の不純物を除去する作用を果
たすので、不純物などを除去したアルミ箔７を第
２の水洗槽２０へ送り込むことができる。この第
２の水洗槽２０では前記アルミ箔７に付着した洗
浄液１９の除去を行うもので、前述の第１の水洗
槽１１の場合と同じ構成を有するものである。 前記洗浄槽１４において、電流密度1A／ｄm2
−１分間の電気分解を行つたときの電解用電極１
６，１７，１８の寿命と、第２の水洗槽２０から
出た状態のアルミ箔７に付着している塩素イオン
量は表のとおりである。なお従来例は洗浄槽の電
解用電極としてアルミニウム板を使用した場合で
あり、その他の条件は本発明と同じである。
するアルミ箔のエツチング装置に関する。 ［発明の技術的背景とその問題点］ 電解コンデンサ用電極箔として使用されるアル
ミ箔をエツチングしたエツチド箔の表面には不純
物やイオンが付着しており、この不純物等がエツ
チド箔の表面状態を変質させたり、陽極酸化皮膜
を生成したときのばらつきとしてあらわれたりす
るため、エツチング後に除去することが不可欠で
あつた。この除去手段としてエツチド箔を負極、
カーボンを陽極として例えば硼酸５重量％水溶液
（液温60℃）中で1A／ｄm2の電流密度で１分間の
電解を行うと、この電気分解によつて生じる水素
によつてエツチド箔に付着する不純物やイオンを
除去できることが知られている。しかしながらこ
の電解分解を継続すると、発生する水素によつて
電解用電極として使用したカーボンが分解してエ
ツチング液中に拡散するので、カーボンが早期に
崩壊するとともに洗浄液が汚損して使用不能とな
る問題点があつた。またカーボンの代替としてア
ルミニウム、白金、ニツケルなども使用してみた
が、これら金属の場合も溶解現象を生じて実質的
には使用できず、前述のカーボンの場合と同様の
傾向を示す問題点があつた。 ［発明の目的］ この発明の目的は、エツチド箔に付着する不純
物などを除去する洗浄槽に陽極を課電しても長寿
命の電解用電極を用いることにより、エツチド箔
表面を清浄にできる電解コンデンサ用アルミ箔の
エツチング装置を得ることである。 ［発明の概要］ この発明になる電解コンデンサ用アルミ箔のエ
ツチング装置は、アルミ箔を陽極、電解用電極を
負極として電源に接続された少なくとも１槽のエ
ツチング槽と、該エツチング槽の後に配された第
１の水洗槽と、該水洗槽の後に配されアルミ箔を
負極、電解用電極を陽極として電源に接続された
洗浄槽と、該洗浄槽の後に配された第２の水洗槽
とからなり、前記洗浄槽の電解用電極がTi、
Ta、Nbの中の１種からなる基体金属にRu、Ir、
Pd、Rh、Ta、Nb、Ｖの中の１種または２種以上
からなる化合物を焼成コーテイングした酸化物を
形成したものからなることを特徴とするものであ
る。 ［発明の実施例］ 実施例 １ 第１図に示すように、電源１の陽極をコンタク
トローラー２に接続され、負極をエツチング槽３
中のエツチング電極４，５，６に接続する。該エ
ツチング槽３には前記コンタクトローラー２に接
して走行するアルミ箔７がガイドローラー８を経
て液中ローラー９で反転し上昇してエツチング槽
３を出、ガイドローラー８に達するが、該エツチ
ング槽３中には例えば塩酸3.5重量％水溶液（液
温60℃）のエツチング液１０が入れられている。
したがつて、エツチング槽３中においては陽極を
課電されたアルミ箔７と負極を課電されたエツチ
ング電極４，５間および５，６間において電気分
解がおこり、アルミ箔７はエツチングされる。前
記のようにしてエツチングされたアルミ箔７には
エツチング液１０に含まれている成分、例えば塩
素イオンや電気分解によつて生じたアルミの残滓
などが付着していて、そのまま走行させると、該
エツチング槽３の後に配された洗浄槽などに持込
み、洗浄液組成を変化させるので、これを防止す
るためエツチング槽３の後に第１の水洗槽１１を
設ける。該第１の水洗槽１１中には純水１２およ
び水中ローラー１３が配され、アルミ箔７はガイ
ドローラー８から水洗槽１１に入り、純水１２中
を走行し水中ローラー１３で反転して上昇する。
しかしながら、この水洗槽１１ではアルミ箔７が
純水１２中を走行するだけなので、アルミ箔７表
面に付着した不純物などは除去できるが、エツチ
ングによりアルミ箔７に形成されたピツトの中の
塩素イオンなどまで除去できないため、該水洗槽
１１の後に配した洗浄槽１４でこの目的を達す
る。すなわち、該洗浄槽１４には電源１５の陽極
に接続した電解用電極１６，１７，１８と、例え
ば硼酸５重量％水溶液（液温60℃）からなる洗浄
液１９が入つており、前記電源１５の負極は前記
コンタクトローラー２に接続されている。したが
つて、アルミ箔７の走行によつて洗浄槽１４にお
いては電解用電極１６，１７，１８を陽極、アル
ミ箔７を負極とした電気分解が生じ水素を発生す
る。このとき電解用電極１６，１７，１８は
Ti、Ta、Nbの中の１種を基体金属とし、該基体
金属にRu、Ir、Pd、Rh、Ta、Nb、Ｖの１種ま
たは２種以上からなる化合物を焼成コーテイング
した酸化物を形成したものを使用するが、本実施
例では基体金属にTi、酸化物はRuを用いて形成
したものを使用した。したがつて、この洗浄槽１
４における課電は前記エツチング槽３と対比する
と逆電を課すことになるが、電解用電極１６，１
７，１８の溶解は見られず、またこの電気分解に
よつて発生した水素は、エツチングされたアルミ
箔７のエツチングピツト内や表面に付着している
塩素イオンや残滓等の不純物を除去する作用を果
たすので、不純物などを除去したアルミ箔７を第
２の水洗槽２０へ送り込むことができる。この第
２の水洗槽２０では前記アルミ箔７に付着した洗
浄液１９の除去を行うもので、前述の第１の水洗
槽１１の場合と同じ構成を有するものである。 前記洗浄槽１４において、電流密度1A／ｄm2
−１分間の電気分解を行つたときの電解用電極１
６，１７，１８の寿命と、第２の水洗槽２０から
出た状態のアルミ箔７に付着している塩素イオン
量は表のとおりである。なお従来例は洗浄槽の電
解用電極としてアルミニウム板を使用した場合で
あり、その他の条件は本発明と同じである。
【表】
上表から明らかなように、本発明の場合には従
来例に比して電解用電極の寿命が30倍にものび、
かつアルミ箔に付着する塩素イオン量も電極の寿
命時において従来と同程度であるから、その寿命
に達するまでの時間中も低く抑えることができる
特長がある。また従来の場合には電解用電極の交
換頻度が高いため稼働率の低下を招く欠点もある
が、本発明では交換頻度も極端に少なくなるの
で、この点も解消できる。 実施例 ２ 前記実施例１でアルミ箔７への課電方式として
コンタクトローラー２を用いた場合について述べ
たが、この方式の場合、コンタクトローラー２と
アルミ箔７との接触状態は、コンタクトローラー
２自体の酸化や、いろいろな物質の付着などによ
つて変化し、時には接触不良によつてまたは過電
流などによつてスパークを生じ、アルミ箔７が汚
損される場合がある。またコンタクトローラー２
とアルミ箔７との接触状態からスパークなどを考
慮しなければならず、電流密度を大きくとれない
などの問題点もある。実施例２ではこの点を解消
できる課電方式を使用したエツチング装置につい
て述べる。 第２図に示すように第１図の第１の水洗槽１１
と洗浄槽１４との間に給電槽および水洗槽を挿入
した構成からなるものである。すなわち、電源２
１の負極はエツチング槽２２のエツチング電極２
３，２４，２５に接続され、陽極は前記エツチン
グ槽２２の後に配された第１の水洗槽２６の後に
設置された給電槽２７の給電電極２８，２９，３
０に接続されている。該給電槽２７には、例えば
硫酸５重量％水溶液のごとき高伝導度を有する給
電液３１が入つており、アルミ箔３２は前記給電
電極２８，２９間または２９，３０間を走行する
ことにより給電液３１を介して給電され、エツチ
ング槽２２中でアルミ箔３２を陽極、前記エツチ
ング電極２３，２４および２４，２５を負極とし
たエツチングが行われる。なお３３は給電槽用水
洗槽、３４は洗浄槽、３５は第２の水洗槽であ
り、それぞれの作用は実施例１の場合と同様であ
る。この給電方式においては、接触面積も大きく
アルミ箔３２のスパークや発熱もないので電流密
度を大きくすることができる特長がある。この給
電電極２８，２９，３０は従来のように電源の負
極を接続された電極用電極とは異なり陽極を接続
されるので、前記洗浄槽１４の場合と同様カーボ
ン、ニツケル、アルミニウム、ステンレスなどで
は崩壊または溶解して短期間で使用不能となるの
で、前記実施例１と同じものを使用することが肝
要である。 この実施例の結果も電極用電極の寿命、塩素イ
オン量とも実施例１の場合と同様の結果を得た
が、コンタクトローラーを使用しないため、電流
密度を大きくできる特徴を有するものである。 なお実施例１、２ともエツチング槽が１槽の場
合について述べたが、必要に応じ２槽以上を用い
てもよいし、エツチング槽の間に水洗槽を挿入し
てもよい。 ［発明の効果］ この発明になるエツチング装置によれば、洗浄
槽に陽極を課電しても長寿命の電解用電極を用い
ることにより、清浄なエツチド箔を提供すること
ができるとともに、給電槽を用いることによつて
電流密度を大きくできるエツチング装置を得るこ
とができる。
来例に比して電解用電極の寿命が30倍にものび、
かつアルミ箔に付着する塩素イオン量も電極の寿
命時において従来と同程度であるから、その寿命
に達するまでの時間中も低く抑えることができる
特長がある。また従来の場合には電解用電極の交
換頻度が高いため稼働率の低下を招く欠点もある
が、本発明では交換頻度も極端に少なくなるの
で、この点も解消できる。 実施例 ２ 前記実施例１でアルミ箔７への課電方式として
コンタクトローラー２を用いた場合について述べ
たが、この方式の場合、コンタクトローラー２と
アルミ箔７との接触状態は、コンタクトローラー
２自体の酸化や、いろいろな物質の付着などによ
つて変化し、時には接触不良によつてまたは過電
流などによつてスパークを生じ、アルミ箔７が汚
損される場合がある。またコンタクトローラー２
とアルミ箔７との接触状態からスパークなどを考
慮しなければならず、電流密度を大きくとれない
などの問題点もある。実施例２ではこの点を解消
できる課電方式を使用したエツチング装置につい
て述べる。 第２図に示すように第１図の第１の水洗槽１１
と洗浄槽１４との間に給電槽および水洗槽を挿入
した構成からなるものである。すなわち、電源２
１の負極はエツチング槽２２のエツチング電極２
３，２４，２５に接続され、陽極は前記エツチン
グ槽２２の後に配された第１の水洗槽２６の後に
設置された給電槽２７の給電電極２８，２９，３
０に接続されている。該給電槽２７には、例えば
硫酸５重量％水溶液のごとき高伝導度を有する給
電液３１が入つており、アルミ箔３２は前記給電
電極２８，２９間または２９，３０間を走行する
ことにより給電液３１を介して給電され、エツチ
ング槽２２中でアルミ箔３２を陽極、前記エツチ
ング電極２３，２４および２４，２５を負極とし
たエツチングが行われる。なお３３は給電槽用水
洗槽、３４は洗浄槽、３５は第２の水洗槽であ
り、それぞれの作用は実施例１の場合と同様であ
る。この給電方式においては、接触面積も大きく
アルミ箔３２のスパークや発熱もないので電流密
度を大きくすることができる特長がある。この給
電電極２８，２９，３０は従来のように電源の負
極を接続された電極用電極とは異なり陽極を接続
されるので、前記洗浄槽１４の場合と同様カーボ
ン、ニツケル、アルミニウム、ステンレスなどで
は崩壊または溶解して短期間で使用不能となるの
で、前記実施例１と同じものを使用することが肝
要である。 この実施例の結果も電極用電極の寿命、塩素イ
オン量とも実施例１の場合と同様の結果を得た
が、コンタクトローラーを使用しないため、電流
密度を大きくできる特徴を有するものである。 なお実施例１、２ともエツチング槽が１槽の場
合について述べたが、必要に応じ２槽以上を用い
てもよいし、エツチング槽の間に水洗槽を挿入し
てもよい。 ［発明の効果］ この発明になるエツチング装置によれば、洗浄
槽に陽極を課電しても長寿命の電解用電極を用い
ることにより、清浄なエツチド箔を提供すること
ができるとともに、給電槽を用いることによつて
電流密度を大きくできるエツチング装置を得るこ
とができる。
図面はいずれも本発明の実施例を示し、第１図
はエツチング装置の構成を示す断面図、第２図は
給電槽を用いたエツチング装置の構成を示す断面
図である。 １，１５……電源、２……コンタクトローラ
ー、３……エツチング槽、４，５，６……エツチ
ング電極、７……アルミ箔、８……ガイドローラ
ー、９……液中ローラー、１０……エツチング
液、１１……第１の水洗槽、１２……純水、１３
……水中ローラー、１４……洗浄、１６，１７，
１８……電解用電極、１９……洗浄液、２０……
第２の水洗槽、２７……給電槽、２８，２９，３
０……給電電極、３１……給電槽用水洗槽。
はエツチング装置の構成を示す断面図、第２図は
給電槽を用いたエツチング装置の構成を示す断面
図である。 １，１５……電源、２……コンタクトローラ
ー、３……エツチング槽、４，５，６……エツチ
ング電極、７……アルミ箔、８……ガイドローラ
ー、９……液中ローラー、１０……エツチング
液、１１……第１の水洗槽、１２……純水、１３
……水中ローラー、１４……洗浄、１６，１７，
１８……電解用電極、１９……洗浄液、２０……
第２の水洗槽、２７……給電槽、２８，２９，３
０……給電電極、３１……給電槽用水洗槽。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ アルミ箔を陽極、エツチング電極を負極とし
て電源に接続された少なくとも１槽のエツチング
槽と、該エツチング槽の後に配された第１の水洗
槽と、該水洗槽の後に配されアルミ箔を負極、電
極用電極を陽極として電源に接続された洗浄槽
と、該洗浄槽の後に配された第２の水洗槽とから
なり、前記洗浄槽の電解用電極がTi、Ta、Nbの
中の１種からなる基体金属にRu、Ir、Pd、Rh、
Ta、Nb、Ｖの中の１種または２種以上からなる
化合物を焼成コーテイングした酸化物を形成した
ものからなることを特徴とする電解コンデンサ用
アルミ箔のエツチング装置。 ２ 洗浄槽に電源の負極に接続されたコンタクト
ローラーを設置しアルミ箔を接触させたことを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載の電解コンデ
ンサ用アルミ箔のエツチング装置。 ３ 第１の水洗槽と洗浄槽の間に電源の負極に接
続されTi、Ta、Nbの中の１種からなる基体金属
にRu、Ir、Pd、Rh、Ta、Nb、Ｖの中の１種ま
たは２種以上からなる化合物を焼成コーテイング
した酸化物を形成したものからなる給電電極を有
する給電槽および該給電槽の後に水洗槽を配した
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の電
解コンデンサ用アルミ箔のエツチング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59200899A JPS6178117A (ja) | 1984-09-25 | 1984-09-25 | 電解コンデンサ用アルミ箔のエツチング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59200899A JPS6178117A (ja) | 1984-09-25 | 1984-09-25 | 電解コンデンサ用アルミ箔のエツチング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6178117A JPS6178117A (ja) | 1986-04-21 |
| JPS6223448B2 true JPS6223448B2 (ja) | 1987-05-22 |
Family
ID=16432101
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59200899A Granted JPS6178117A (ja) | 1984-09-25 | 1984-09-25 | 電解コンデンサ用アルミ箔のエツチング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6178117A (ja) |
-
1984
- 1984-09-25 JP JP59200899A patent/JPS6178117A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6178117A (ja) | 1986-04-21 |
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Legal Events
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