JPS6244329A - スライドテ−ブル機構 - Google Patents
スライドテ−ブル機構Info
- Publication number
- JPS6244329A JPS6244329A JP18396285A JP18396285A JPS6244329A JP S6244329 A JPS6244329 A JP S6244329A JP 18396285 A JP18396285 A JP 18396285A JP 18396285 A JP18396285 A JP 18396285A JP S6244329 A JPS6244329 A JP S6244329A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slide table
- slide
- spring
- ball bearing
- linear ball
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/262—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members with means to adjust the distance between the relatively slidable members
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の分野］
本発明は半導体製造装置においてシリコンウェハー等を
Ｘ、Ｙ方向に移Ｖノさせるスライドテーブル機構に関す
る。
Ｘ、Ｙ方向に移Ｖノさせるスライドテーブル機構に関す
る。
［発明の背景］
従来のスライドテーブルの軌道台はその断面形状がオー
バハングしており、そのためＺ方向にスライドテーブル
を脱着するにはスライドテーブル側のリニアベアリング
をスライドテーブルより取りはずすか、またはスライド
レール端よりスライドテーブルを扱き出すしかなかった
。しかし前音の方法では再度取付時の精度確保が困難で
あり、後者の方法ではスライドテーブルを扱き出せるだ
けのスペースを確保した構成としておかなければならず
、それだけ装置が大きくなるという不都合があった。
バハングしており、そのためＺ方向にスライドテーブル
を脱着するにはスライドテーブル側のリニアベアリング
をスライドテーブルより取りはずすか、またはスライド
レール端よりスライドテーブルを扱き出すしかなかった
。しかし前音の方法では再度取付時の精度確保が困難で
あり、後者の方法ではスライドテーブルを扱き出せるだ
けのスペースを確保した構成としておかなければならず
、それだけ装置が大きくなるという不都合があった。
また、第３図に示すようにベース１に設けたＶ形ミゾに
、ローラーベアリング２を配置してスライドテーブル３
を案内するようにして、スライドテーブル３を７方向に
＋ＩＲＷし易くしたガイド方式もある。しかしこのガイ
ド方式ではＺ方向はスライドテーブル３の荷重による規
制だけであるのでスライドテーブル３上で７方向に慣性
力が動いた時レールにかかる荷重の変動が大きくそのた
めピッチングが生じる可能性がある。ピッチング防止と
して第４図に示すようにオーバーハングした部分に不図
示のリンク等を介してスライドテーブル３に取りつけた
部材４にテンションをかけるようにしたものもあるが、
構造が複雑なうえスライドテーブル３脱着時の作業も複
雑となる。
、ローラーベアリング２を配置してスライドテーブル３
を案内するようにして、スライドテーブル３を７方向に
＋ＩＲＷし易くしたガイド方式もある。しかしこのガイ
ド方式ではＺ方向はスライドテーブル３の荷重による規
制だけであるのでスライドテーブル３上で７方向に慣性
力が動いた時レールにかかる荷重の変動が大きくそのた
めピッチングが生じる可能性がある。ピッチング防止と
して第４図に示すようにオーバーハングした部分に不図
示のリンク等を介してスライドテーブル３に取りつけた
部材４にテンションをかけるようにしたものもあるが、
構造が複雑なうえスライドテーブル３脱着時の作業も複
雑となる。
さらに、永久磁石等の磁力により軌道面に吸引させる方
式もあるが、磁性体のゴミ等が軌道部に付着しやすいと
いう欠点がある。
式もあるが、磁性体のゴミ等が軌道部に付着しやすいと
いう欠点がある。
［発明の目的］
本発明の目的は、スライドテーブルをスライドレールよ
り容易にｌ１５２着でき、取付時の精度上の再現性も高
く、しかも安価に製作できるスライドテーブル３上を提
供することである。
り容易にｌ１５２着でき、取付時の精度上の再現性も高
く、しかも安価に製作できるスライドテーブル３上を提
供することである。
［発明の要約］
この目的は本発明に従ってスライドテーブル、このスラ
イドテーブルを直線方向に案内するシャフトとリニアボ
ールベアリング、スライドテーブルをのせる軌道台、こ
の軌道台を固定するベースおよび前記のスライドテーブ
ルを前記の軌道台へ取外せるよう結合する弾性手段を備
えたスライドテーブル機構によって達成される。
イドテーブルを直線方向に案内するシャフトとリニアボ
ールベアリング、スライドテーブルをのせる軌道台、こ
の軌道台を固定するベースおよび前記のスライドテーブ
ルを前記の軌道台へ取外せるよう結合する弾性手段を備
えたスライドテーブル機構によって達成される。
特に、前記の弾性手段は前記のスライドテーブルと前記
のリニアボールベアリングとに取外せるよう結合した引
張りバネであってもよいし、また前記のスライドテーブ
ルに前記のリニアボールベアリングを固定し、そして前
記の弾性手段は前記のシャフトと前記のベースとへ取外
せるよう結合した引張りバネであってもよい。
のリニアボールベアリングとに取外せるよう結合した引
張りバネであってもよいし、また前記のスライドテーブ
ルに前記のリニアボールベアリングを固定し、そして前
記の弾性手段は前記のシャフトと前記のベースとへ取外
せるよう結合した引張りバネであってもよい。
［実施例］
以下、本発明の実施例を添付図を参照して説明する。
第１図は、本発明の一実施例に係るスライドテーブル機
構を示す。同図において１はベース、２はローラーベア
リング、３はスライドテーブル、５は軌道台、６はバネ
、７はリニアボールベアリング、８はシャフトをそれぞ
れ示している。
構を示す。同図において１はベース、２はローラーベア
リング、３はスライドテーブル、５は軌道台、６はバネ
、７はリニアボールベアリング、８はシャフトをそれぞ
れ示している。
スライドテーブル３はローラーベアリング２を介して軌
道台５に倣って紙面の垂直方向に移動する。このスライ
ドテーブル３は軌道面に対してバネ６により引きつけら
れている。バネ６の一端はスライドテーブル３に固定さ
れており、他端はリニアボールベアリング７に取り付け
られている。
道台５に倣って紙面の垂直方向に移動する。このスライ
ドテーブル３は軌道面に対してバネ６により引きつけら
れている。バネ６の一端はスライドテーブル３に固定さ
れており、他端はリニアボールベアリング７に取り付け
られている。
このリニアボールベアリング７はシャフト８を軌道とし
てスライドテーブル３と平行に移動することができる。
てスライドテーブル３と平行に移動することができる。
今、スライドテーブル３を移動すると、スライドテーブ
ル３はローラーベアリング２を介して軌道台５の軌道面
に倣って移動することは当然であるが、リニアボールベ
アリング７もバネ６を介して同一方向に移動し、つねに
スライドテーブル３を軌道台５に引きつける働きをする
。また第１図には詳細を示していないがバネ６がスライ
ドテーブル３またはリニアボールベアリング７から簡単
に取外せる構造とする。そのための手段として例えばバ
ネフックを引っかけるようにしてもよい。
ル３はローラーベアリング２を介して軌道台５の軌道面
に倣って移動することは当然であるが、リニアボールベ
アリング７もバネ６を介して同一方向に移動し、つねに
スライドテーブル３を軌道台５に引きつける働きをする
。また第１図には詳細を示していないがバネ６がスライ
ドテーブル３またはリニアボールベアリング７から簡単
に取外せる構造とする。そのための手段として例えばバ
ネフックを引っかけるようにしてもよい。
第１図の実施例ではリニアボールベアリング７はバネ６
を介して移動するものとして説明したが、リニアボール
ベアリング７をスライドテーブル３に固定したアームで
押してやって移動させるようにしてもよい。このように
するとリニアボールベアリング７が追従移動する際バネ
６が傾いてから移動するときの引きつけ力の増加を防止
するという効果を生じる。
を介して移動するものとして説明したが、リニアボール
ベアリング７をスライドテーブル３に固定したアームで
押してやって移動させるようにしてもよい。このように
するとリニアボールベアリング７が追従移動する際バネ
６が傾いてから移動するときの引きつけ力の増加を防止
するという効果を生じる。
第２図は本発明のスライドテーブル機構の他の実施例を
示す。最初の実施例のリニアボールベアリング７をスラ
イドテーブル３に固定して、シャフト８とベース１との
間にバネ６を配置している。
示す。最初の実施例のリニアボールベアリング７をスラ
イドテーブル３に固定して、シャフト８とベース１との
間にバネ６を配置している。
このバネ６の一端はベース１に植立した保持子９に固定
されている。
されている。
［発明の効果］
以上の説明から明らかなように本発明のスライドテーブ
ル機構によると、スライドテーブルの脱着は容易となり
、しかもそのスライドテーブル装着時の再現性は高い。
ル機構によると、スライドテーブルの脱着は容易となり
、しかもそのスライドテーブル装着時の再現性は高い。
さらに、構造も簡単であるためスライドテーブルの真直
度の高い精密なスライドテーブルを安価に製作できる。
度の高い精密なスライドテーブルを安価に製作できる。
これは、特に軌道となる軌道台の断面形状が簡素なため
軌道面の高い加工精度が得られるということによるので
ある。
軌道面の高い加工精度が得られるということによるので
ある。
第１図は、本発明の一実施例に係るスライドテーブル義
構の縦断面図、 第２図は、本発明の他の実施例に係るスライドテーブル
機構の斜視図、 第３図は、従来のスライドテーブル機構の一部の縦断面
図、そして 第４図は、従来の他のスライドテーブル機構の一部の縦
断面図である。 図中、 １：ベース、 ２：ローラーベアリング、 ３ニスライドテーブル、 ４：部材、 ５：軌道台、 ６：バネ、 ７：リニアボールベアリング、 ８：シャフト、 ９：保持子。
構の縦断面図、 第２図は、本発明の他の実施例に係るスライドテーブル
機構の斜視図、 第３図は、従来のスライドテーブル機構の一部の縦断面
図、そして 第４図は、従来の他のスライドテーブル機構の一部の縦
断面図である。 図中、 １：ベース、 ２：ローラーベアリング、 ３ニスライドテーブル、 ４：部材、 ５：軌道台、 ６：バネ、 ７：リニアボールベアリング、 ８：シャフト、 ９：保持子。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、スライドテーブルと、 このスライドテーブルを直線方向に案内するシャフトと
リニアボールベアリングと、 スライドテーブルをのせる軌道台と、 この軌道台を固定するベースおよび前記のスライドテー
ブルを前記の軌道台へ取外せるよう結合する弾性手段と
を備えたことを特徴とするスライドテーブル機構。 ２、前記の弾性手段は前記のスライドテーブルと前記の
リニアボールベアリングとに取外せるよう結合した引張
りバネである特許請求の範囲第１項に記載のスライドテ
ーブル機構。 ３、前記のスライドテーブルに前記のリニアボールベア
リングが固定されており、そして前記の弾性手段は前記
のシャフトと前記のベースとへ取外せるよう結合した引
張りバネである特許請求の範囲第１項に記載のスライド
テーブル機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18396285A JPS6244329A (ja) | 1985-08-23 | 1985-08-23 | スライドテ−ブル機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18396285A JPS6244329A (ja) | 1985-08-23 | 1985-08-23 | スライドテ−ブル機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6244329A true JPS6244329A (ja) | 1987-02-26 |
Family
ID=16144865
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18396285A Pending JPS6244329A (ja) | 1985-08-23 | 1985-08-23 | スライドテ−ブル機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6244329A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008207296A (ja) * | 2007-02-28 | 2008-09-11 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 工作機械のテーブル装置 |
-
1985
- 1985-08-23 JP JP18396285A patent/JPS6244329A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008207296A (ja) * | 2007-02-28 | 2008-09-11 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 工作機械のテーブル装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| GB2133930A (en) | Workpiece carriages | |
| JPS6244329A (ja) | スライドテ−ブル機構 | |
| JPS637291A (ja) | 保持装置 | |
| US4157818A (en) | X-Y Movable work holder | |
| JPH05217874A (ja) | 直線軸受構体およびリソグラフイ機 | |
| JP2837716B2 (ja) | 垂直可動ベアリング装置およびそれを用いた垂直可動ステージ装置 | |
| JPH09165165A (ja) | エレベータスチールテープの清掃器 | |
| JPH07125838A (ja) | 位置決めテーブル装置 | |
| JPH0750111Y2 (ja) | 機械部品の吸着保持機構 | |
| CN214252875U (zh) | 一种光刻机相机位置调节机构及光刻机 | |
| JPH0144215Y2 (ja) | ||
| JPH05283508A (ja) | 半導体ウェーハ収納容器の載置装置 | |
| JPH0451944Y2 (ja) | ||
| JPH07119744A (ja) | 案内機構 | |
| JP4240981B2 (ja) | 超精密移動台装置 | |
| JPS647281Y2 (ja) | ||
| JPH08300884A (ja) | Ｘｙ移動定規 | |
| JPS63235218A (ja) | 無発塵搬送方式および機構 | |
| JPH05111844A (ja) | 精密位置決め装置 | |
| JPH077200Y2 (ja) | 自動画線器 | |
| JPH044168Y2 (ja) | ||
| JPS61295856A (ja) | リニアパルスモ−タ | |
| JPS6367425A (ja) | 磁気摺動装置 | |
| JPS62177769A (ja) | フロツピ−デイスク装置のキヤリツジ機構 | |
| JPS591067U (ja) | 現像装置 |