JPS6263854A - 超音波検査装置 - Google Patents
超音波検査装置Info
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- JPS6263854A JPS6263854A JP60203702A JP20370285A JPS6263854A JP S6263854 A JPS6263854 A JP S6263854A JP 60203702 A JP60203702 A JP 60203702A JP 20370285 A JP20370285 A JP 20370285A JP S6263854 A JPS6263854 A JP S6263854A
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- JP
- Japan
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- solution
- measurement solution
- measurement
- cell
- ultrasonic
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、超音波を利用して溶液及び溶液中に含まれる
微粒子の弾性的特性や形状、寸法等を測定することによ
り溶液や溶液中微粒子の特徴を検査する超音波検査装置
に関するものである。
微粒子の弾性的特性や形状、寸法等を測定することによ
り溶液や溶液中微粒子の特徴を検査する超音波検査装置
に関するものである。
従来の技術
最近、超音波を利用して溶液の弾性的特性を測定し、溶
液や溶液中に含まれる微粒子の特徴を検査する方法が提
案され、溶液の種類及び濃度等を測定する方法として利
用されるようになって来た。
液や溶液中に含まれる微粒子の特徴を検査する方法が提
案され、溶液の種類及び濃度等を測定する方法として利
用されるようになって来た。
例えばジャーナルオブケミカルフィジノクス； Ｊ Ｃ
ｈｅｍ Ｐｈｙｓ （ＲＧａｒｎｓｅｙ ａｎｄ ＲＪ
Ｂｏｅｖｏｌ ５０ Ｎｏ １２ Ｐ ５２２２，１
９６９）及び電子通信学会技報（塩用祥子他、ＶＳ８４
−５ 、１９８４＞に記載されているように、測定溶液
中を伝搬する超音波の伝搬速度を正確に測定し、その伝
搬速度から溶液の特徴を検査する。
ｈｅｍ Ｐｈｙｓ （ＲＧａｒｎｓｅｙ ａｎｄ ＲＪ
Ｂｏｅｖｏｌ ５０ Ｎｏ １２ Ｐ ５２２２，１
９６９）及び電子通信学会技報（塩用祥子他、ＶＳ８４
−５ 、１９８４＞に記載されているように、測定溶液
中を伝搬する超音波の伝搬速度を正確に測定し、その伝
搬速度から溶液の特徴を検査する。
以下、第３図及び第４図を参照して従来の超音波検査装
置について説明する。第３図は平面図、第４図は第３図
のＩＶ−ＩＶ矢視断面図である１、第３図及び第４図に
おいて、１０１は圧電基板、１０２は測定溶液セル、１
０３は参照溶液セルで、各セル１０２．１０３はシリコ
ンラバー製の周壁１０４と圧電基板１０１との間にＯリ
ングよりなるシール材１０５が介在され、周壁１０４上
にガラス製の反射板１０６が設けられている。測定溶液
セル１０２内には測定溶液１０７が満たされ、参照溶液
セル１０３内には参照溶液１０Ｂが満たされている。１
０９は圧電基板１０１上で測定溶液側と参照溶液側に設
けられた送信用ＩＤＴ （ＩｎｔｏｒＤｉｇｉｔａｌ
Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ）、１１０は送信用ＩＤＴ］、
０９を励振するだめの発振器、１１１は送信用ＩＤＴｌ
ｌ０の反対側において圧電基板＋０１上で測定溶液側と
参照溶液側に設けられた受信用ＩＤＴ、１１２は測定溶
液側出力信号、１１３は参照溶液側出力信号、１１４は
測定溶液側出力信号１１２と参照溶液側出力信号１１３
の位相検出装置、１１５は位相検出装置１１４より得ら
れる位相差信号である。
置について説明する。第３図は平面図、第４図は第３図
のＩＶ−ＩＶ矢視断面図である１、第３図及び第４図に
おいて、１０１は圧電基板、１０２は測定溶液セル、１
０３は参照溶液セルで、各セル１０２．１０３はシリコ
ンラバー製の周壁１０４と圧電基板１０１との間にＯリ
ングよりなるシール材１０５が介在され、周壁１０４上
にガラス製の反射板１０６が設けられている。測定溶液
セル１０２内には測定溶液１０７が満たされ、参照溶液
セル１０３内には参照溶液１０Ｂが満たされている。１
０９は圧電基板１０１上で測定溶液側と参照溶液側に設
けられた送信用ＩＤＴ （ＩｎｔｏｒＤｉｇｉｔａｌ
Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ）、１１０は送信用ＩＤＴ］、
０９を励振するだめの発振器、１１１は送信用ＩＤＴｌ
ｌ０の反対側において圧電基板＋０１上で測定溶液側と
参照溶液側に設けられた受信用ＩＤＴ、１１２は測定溶
液側出力信号、１１３は参照溶液側出力信号、１１４は
測定溶液側出力信号１１２と参照溶液側出力信号１１３
の位相検出装置、１１５は位相検出装置１１４より得ら
れる位相差信号である。
次に上記従来例の動作について説明する。各送信用ＩＤ
Ｔ＋０９を発振器１１０により連続波で同時に励振する
と、各送信用ＩＤＴｌ０９から弾性表面波Ａが発生し、
圧電基板１Ｏ１０表面近傍を伝搬する。このときシリコ
ンラバーＭ周壁１ｏ４とＯリングであるシール材１０５
により弾性表面波Ａが外部−２伝搬するのを規制するこ
とができる。
Ｔ＋０９を発振器１１０により連続波で同時に励振する
と、各送信用ＩＤＴｌ０９から弾性表面波Ａが発生し、
圧電基板１Ｏ１０表面近傍を伝搬する。このときシリコ
ンラバーＭ周壁１ｏ４とＯリングであるシール材１０５
により弾性表面波Ａが外部−２伝搬するのを規制するこ
とができる。
弾性表面波Ａはシール材１０５の部分を通過すると、圧
電基板１０１と接して負荷され、各セル１０２．１０３
に満たされた測定溶液１０７、参照溶液１０８中に洩れ
弾性表面波と１２で放射され、溶液１０７．１０８中を
伝搬する液中超音波Ａ１、Ａ２となる。液中超音波ＡＩ
、Ａ２はガラス製反射板１０６によ）反射され、測定溶
液１０７側、参照溶液１０８側の受信用ＩＩ）ＴｌｌＮ
に到達し、受信電圧出力信号１ｍ２．１１３が発生する
。ここで、液中超音波Ａ１、Ａ２の伝搬路は測定溶液１
０７側、参照溶液１０８側共に等ｉ〜いので、測定溶液
１０７と参照溶液＋０８の超音波伝搬速度に差がちれば
、測定溶液１０７側、参照溶液１０８側の受信用ＩＤＴ
ＩＩＩに到達する各々の液中超音波Ａ１、Ａ２に時間差
が生じる。従って各受信用ＩＤＴＩＩ＋から発生する出
力信号１１２．１１３間に位相差が生じる。この位相差
を位相検出装置１１４により検出すれば、測定溶液１０
７と参照溶液１０８との超音波伝搬速度差を求めること
ができる。而して参照溶液１０８の絶対超音波伝搬速度
が既知であるので、測定溶液１０７の絶対超音波伝搬速
度を知ることができ、この伝搬速度から測定溶液１０７
の濃度や測定溶液中の微粒子の濃度、形状及び材質等の
特徴を検査することができる。
電基板１０１と接して負荷され、各セル１０２．１０３
に満たされた測定溶液１０７、参照溶液１０８中に洩れ
弾性表面波と１２で放射され、溶液１０７．１０８中を
伝搬する液中超音波Ａ１、Ａ２となる。液中超音波ＡＩ
、Ａ２はガラス製反射板１０６によ）反射され、測定溶
液１０７側、参照溶液１０８側の受信用ＩＩ）ＴｌｌＮ
に到達し、受信電圧出力信号１ｍ２．１１３が発生する
。ここで、液中超音波Ａ１、Ａ２の伝搬路は測定溶液１
０７側、参照溶液１０８側共に等ｉ〜いので、測定溶液
１０７と参照溶液＋０８の超音波伝搬速度に差がちれば
、測定溶液１０７側、参照溶液１０８側の受信用ＩＤＴ
ＩＩＩに到達する各々の液中超音波Ａ１、Ａ２に時間差
が生じる。従って各受信用ＩＤＴＩＩ＋から発生する出
力信号１１２．１１３間に位相差が生じる。この位相差
を位相検出装置１１４により検出すれば、測定溶液１０
７と参照溶液１０８との超音波伝搬速度差を求めること
ができる。而して参照溶液１０８の絶対超音波伝搬速度
が既知であるので、測定溶液１０７の絶対超音波伝搬速
度を知ることができ、この伝搬速度から測定溶液１０７
の濃度や測定溶液中の微粒子の濃度、形状及び材質等の
特徴を検査することができる。
発明が解決しようとする問題薇
しかし、上記従来例の構成では、測定溶液１０７を交換
する場合、測定溶液セル１０２中の測定溶液＋０７の排
出、測定溶液セル１０２の洗浄、及び新たな測定溶液１
０７の注入等の作業を行う場合、超音波の伝搬路を規定
するガラス製反射板１０６を取り外す等、液中超音波Ａ
１、Ａ２の伝搬路を規制する測定系の一部を分解しなけ
ればならなかった。このように測定溶液１０７を交換す
る度に測定系を調整し直さなければならず、測定作業に
多大な時間と労力とを要し２、効率的な検査を行うこと
ができない等の問題点かあっグこ。
する場合、測定溶液セル１０２中の測定溶液＋０７の排
出、測定溶液セル１０２の洗浄、及び新たな測定溶液１
０７の注入等の作業を行う場合、超音波の伝搬路を規定
するガラス製反射板１０６を取り外す等、液中超音波Ａ
１、Ａ２の伝搬路を規制する測定系の一部を分解しなけ
ればならなかった。このように測定溶液１０７を交換す
る度に測定系を調整し直さなければならず、測定作業に
多大な時間と労力とを要し２、効率的な検査を行うこと
ができない等の問題点かあっグこ。
そこで、本発明は、従来構成の以上のような問題点を解
決するもので、測定溶液の交換を容易に、しかも短時間
に行うことができ、効率よく検査することができるよう
にした超音波検査装置を提供しようとするものである。
決するもので、測定溶液の交換を容易に、しかも短時間
に行うことができ、効率よく検査することができるよう
にした超音波検査装置を提供しようとするものである。
問題点を解決するための手段
そして上記問題点を解決する／とめの本発明の技術的な
手段は、洩れ弾性表面波が伝搬するように照射超音波伝
搬・媒体を封入する空間、この照射超音波伝搬媒体と同
じ、若しくはそれに近い音響インピーダンスを有する材
料により形成され、８照溶液と比較するだめの測定溶液
を満たす測定溶液区画セルを有し、この測定溶液区画セ
ルの流入に１と流出口が外部に開放された測定溶液セル
と、上記測定溶液区画セルの流入口に連通された送液ポ
ンプを備えたものである。
手段は、洩れ弾性表面波が伝搬するように照射超音波伝
搬・媒体を封入する空間、この照射超音波伝搬媒体と同
じ、若しくはそれに近い音響インピーダンスを有する材
料により形成され、８照溶液と比較するだめの測定溶液
を満たす測定溶液区画セルを有し、この測定溶液区画セ
ルの流入に１と流出口が外部に開放された測定溶液セル
と、上記測定溶液区画セルの流入口に連通された送液ポ
ンプを備えたものである。
作用
本発明は−」二記構成により、測定溶液セルの測定溶液
区画セル中の測定溶液の排出、測定溶液区画セルの洗浄
、及び測定溶液区画セルへの新たな測定溶液の供給等の
作業を送液ポンプの、駆動により行うことができ、従っ
て測定系を分解する必要がなく、測定溶液の交換を容易
に、しかも短時間に行うことができ、効率よく検査する
ことができる。
区画セル中の測定溶液の排出、測定溶液区画セルの洗浄
、及び測定溶液区画セルへの新たな測定溶液の供給等の
作業を送液ポンプの、駆動により行うことができ、従っ
て測定系を分解する必要がなく、測定溶液の交換を容易
に、しかも短時間に行うことができ、効率よく検査する
ことができる。
実施例
以下、図面を参照しながら本発明の実施例について説明
する。
する。
第１図は本発明の一実施例における超音波検査装置を示
す平面図、第２図は第１図の■−■矢視断面図である。
す平面図、第２図は第１図の■−■矢視断面図である。
第１図及び第２図【おいて、■は圧電基板、２は測定溶
液セル、３は参照溶液セルで、各セル２．３はシリコン
ラバー製の周壁４と圧電基板１との間にＯリングよりな
るシール材５が介在され、周壁４上にガラス製の反射板
６が設けられている。測定溶液セル２は反射板６の内面
に沿って測定溶液区画セルフが貫通され、流入口と流出
口が外部に開放されている。この測定溶液区画セルフは
外径１朋、内径０．８６ｍｍの管状に形成され、ポリメ
チルベンゾンをベースとしたポリオレフィンの他、ヌ゛
フロン、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリプロピ
レン、ポリスチレン、エポキシ樹脂等、後述する照射超
音波伝搬媒体９と同じ、若しくはそれに近い音響インピ
ーダンスを有する材料により形成されている。測定溶液
セル２内における測定溶液区画セルフと分離された空間
８は純水である照射超音波伝搬媒体９で満たされ、参照
溶液セル３内は純水である参照溶液１０で満たされてい
る。１１は測定溶液区画セルフの流入口に連結された送
液管、１２は測定溶液区画セルフの流出口に連結された
排液管で、これら送液管ＩＩ及び排液管１２は測定溶液
区画セルフと同一材料により形成され、若しくはその他
、ゴム、金属等により形成されている。、１３は送液管
１１の途中に設けられた送液ポンプ、１４は送液管１１
の端部が挿入された測定溶液槽、１５は排液管Ｉｆの端
部が挿入された排液槽で、送液ポンプ１３の駆動によシ
測定溶液槽１４内の測定溶液Ｉ６が送液管１１を経て測
定溶液区画セルフに供給され、測定溶液区画セルフが測
定溶液１６で満たされるようになっている。１７は圧電
基板１上で測定溶液槽１４内と参照溶液ｌＯ側に設けら
れた送信用ＩＤＴ、１８は送信用ＩＤＴ１７を励磁する
ための発振器、１９は送信用ＩＤＴ１７の反対側におい
て圧電基板１上で測定溶液Ｉ６側と参照溶液１０側に設
けられた受信用ＩＤＴ、２０は測定溶液側出力信号、２
Ｉは参照溶液側出力信号、２２は測定溶液側出力信号２
０と参照溶液側出力信号２１の位相検出装置、２３は位
相検出装置２２より得られる位相差信号である。
液セル、３は参照溶液セルで、各セル２．３はシリコン
ラバー製の周壁４と圧電基板１との間にＯリングよりな
るシール材５が介在され、周壁４上にガラス製の反射板
６が設けられている。測定溶液セル２は反射板６の内面
に沿って測定溶液区画セルフが貫通され、流入口と流出
口が外部に開放されている。この測定溶液区画セルフは
外径１朋、内径０．８６ｍｍの管状に形成され、ポリメ
チルベンゾンをベースとしたポリオレフィンの他、ヌ゛
フロン、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリプロピ
レン、ポリスチレン、エポキシ樹脂等、後述する照射超
音波伝搬媒体９と同じ、若しくはそれに近い音響インピ
ーダンスを有する材料により形成されている。測定溶液
セル２内における測定溶液区画セルフと分離された空間
８は純水である照射超音波伝搬媒体９で満たされ、参照
溶液セル３内は純水である参照溶液１０で満たされてい
る。１１は測定溶液区画セルフの流入口に連結された送
液管、１２は測定溶液区画セルフの流出口に連結された
排液管で、これら送液管ＩＩ及び排液管１２は測定溶液
区画セルフと同一材料により形成され、若しくはその他
、ゴム、金属等により形成されている。、１３は送液管
１１の途中に設けられた送液ポンプ、１４は送液管１１
の端部が挿入された測定溶液槽、１５は排液管Ｉｆの端
部が挿入された排液槽で、送液ポンプ１３の駆動によシ
測定溶液槽１４内の測定溶液Ｉ６が送液管１１を経て測
定溶液区画セルフに供給され、測定溶液区画セルフが測
定溶液１６で満たされるようになっている。１７は圧電
基板１上で測定溶液槽１４内と参照溶液ｌＯ側に設けら
れた送信用ＩＤＴ、１８は送信用ＩＤＴ１７を励磁する
ための発振器、１９は送信用ＩＤＴ１７の反対側におい
て圧電基板１上で測定溶液Ｉ６側と参照溶液１０側に設
けられた受信用ＩＤＴ、２０は測定溶液側出力信号、２
Ｉは参照溶液側出力信号、２２は測定溶液側出力信号２
０と参照溶液側出力信号２１の位相検出装置、２３は位
相検出装置２２より得られる位相差信号である。
次に上記実施例の動作について説明する。先ず、上記の
ようにポンプ１３を、駆動し、測定溶液槽１４内の測定
溶液１６を送液管１１を経て測定溶液区画セルフに供給
し、測定溶液区画セルフを測定溶液１６により満たす。
ようにポンプ１３を、駆動し、測定溶液槽１４内の測定
溶液１６を送液管１１を経て測定溶液区画セルフに供給
し、測定溶液区画セルフを測定溶液１６により満たす。
次に各送信用ＩＤＴ１６を発振器１７により所定の周波
数の連続波で同時に励振すると、各送信用ＩＤＴ１６か
ら弾性表面波Ａが発生し、圧電基板１の表面近傍を伝搬
する。
数の連続波で同時に励振すると、各送信用ＩＤＴ１６か
ら弾性表面波Ａが発生し、圧電基板１の表面近傍を伝搬
する。
このときシリコンラバー製周壁４とＯリングであるシー
ル材５により弾性表面波Ａが外部へ伝搬づるのを規制す
ることができる。弾性表面波Ａは／−ル材５の部分を通
過すると、圧電基板１と接して負荷され、各セル２．３
に満たされた照射超音波伝搬媒体９、参照病１０中に洩
れ弾性表面波として放射され、照射超音波伝搬媒体９、
参照溶液ＩＯ中を伝搬する液中超音波Ａ１、Ａ２となる
。
ル材５により弾性表面波Ａが外部へ伝搬づるのを規制す
ることができる。弾性表面波Ａは／−ル材５の部分を通
過すると、圧電基板１と接して負荷され、各セル２．３
に満たされた照射超音波伝搬媒体９、参照病１０中に洩
れ弾性表面波として放射され、照射超音波伝搬媒体９、
参照溶液ＩＯ中を伝搬する液中超音波Ａ１、Ａ２となる
。
ここで、測定溶液セル２側では、集東された液中超音波
ＡＩが測定溶液Ｉ６に測定溶液区画セルフを介して照射
される。測定溶液Ｉ６を伝搬・シ、Ａ−液中超音波Ａ１
はガラス製反射板６により反射さ杓、測定溶液側の受信
用ＸＤＴ１９に到達し、出力信号２０が発生する。参照
溶液側では、液中超音波Ａ２が参照溶液１０中を伝搬し
、ガラス製反射板６により反射され、参照溶液側の受信
用ＩＤ′ｒ１９に到達し１、出力信号２１が発生する。
ＡＩが測定溶液Ｉ６に測定溶液区画セルフを介して照射
される。測定溶液Ｉ６を伝搬・シ、Ａ−液中超音波Ａ１
はガラス製反射板６により反射さ杓、測定溶液側の受信
用ＸＤＴ１９に到達し、出力信号２０が発生する。参照
溶液側では、液中超音波Ａ２が参照溶液１０中を伝搬し
、ガラス製反射板６により反射され、参照溶液側の受信
用ＩＤ′ｒ１９に到達し１、出力信号２１が発生する。
−９ニジて液中超音波Ａ１、Ａ２の伝搬路は測″ｉｉｉ
溶液側、参照溶液側共に等しいので、測定溶液１６と参
照溶液１０との超音波伝搬速度の差は、上記出力１シ号
２０，２１の位相差を位相検出装置２２により検出する
ことにより求めることができ、従って測定溶液１６の濃
度や測定溶液中の微粒子の濃度、形状及び材質等の特徴
を検査することができる。
溶液側、参照溶液側共に等しいので、測定溶液１６と参
照溶液１０との超音波伝搬速度の差は、上記出力１シ号
２０，２１の位相差を位相検出装置２２により検出する
ことにより求めることができ、従って測定溶液１６の濃
度や測定溶液中の微粒子の濃度、形状及び材質等の特徴
を検査することができる。
検査後、送液ポンプＩ３の駆動により洗浄液を送液管１
１より測定溶液区画セルフに供給し、排液管１２より排
出することにより測定溶液区画セルフの洗浄を行うこと
ができる。洗浄後、上記と同様に新たな測定溶液１６を
測定溶液区画セルフ内に供給することによりその特徴を
検査することができる。
１より測定溶液区画セルフに供給し、排液管１２より排
出することにより測定溶液区画セルフの洗浄を行うこと
ができる。洗浄後、上記と同様に新たな測定溶液１６を
測定溶液区画セルフ内に供給することによりその特徴を
検査することができる。
なお、以上の説明では、測定溶液区画セルフの中の測定
溶液１６を静止状態で測定した場合について説明したが
、測定溶液１６は送液ポンプ１３を駆動し、順次新たな
測定溶液１６を流しながら測定しても良い。
溶液１６を静止状態で測定した場合について説明したが
、測定溶液１６は送液ポンプ１３を駆動し、順次新たな
測定溶液１６を流しながら測定しても良い。
発明の効果
以上のように本発明によれば、測定溶液セルは洩れ弾性
表面波が伝搬するように照射超音波媒体を封入すると共
に、この照射超音波伝搬媒体と同じ、若しくはそれに近
い音響インピーダンスを有する材料により形成し６参照
溶液と比較するだめの測定溶液を満たす測定溶液区画セ
ルを外部に開放して設け、この測定溶液区画セルに送液
ポンプを連通させている。従って測定溶液の交換に際し
、検査後の測定溶液の測定溶液区画セルからの排出、測
定溶液区画セルの洗浄、及び新たな測定溶液の測定溶液
区画セルへの供給等の作業を測定系に触れることなく行
うことができ、その調整ｌ−直し２作業を必要とぜず、
測定溶液の交換を容易に、しかも短時間で行うことがで
き、効率よく検査を行うことができる。
表面波が伝搬するように照射超音波媒体を封入すると共
に、この照射超音波伝搬媒体と同じ、若しくはそれに近
い音響インピーダンスを有する材料により形成し６参照
溶液と比較するだめの測定溶液を満たす測定溶液区画セ
ルを外部に開放して設け、この測定溶液区画セルに送液
ポンプを連通させている。従って測定溶液の交換に際し
、検査後の測定溶液の測定溶液区画セルからの排出、測
定溶液区画セルの洗浄、及び新たな測定溶液の測定溶液
区画セルへの供給等の作業を測定系に触れることなく行
うことができ、その調整ｌ−直し２作業を必要とぜず、
測定溶液の交換を容易に、しかも短時間で行うことがで
き、効率よく検査を行うことができる。
第１図及び第２図は本発明の一実施例における超音波検
査装置を示し、第１図は平面図、第２図は第１図の■−
■矢視断面図、第３図及び第４図は従来の超音波検査装
置を示し、第３図は平面図、第４図は第３図のＩＶ−Ｉ
Ｖ矢矢視斬新面図ある。 ■・・・圧電基板、２・・・測定溶液セル、３・・・参
照溶液セル、６・・・ガラス製反射板、７・・・測定溶
液区画セル、９・・・照射超音波伝搬媒体、１０・・・
参照溶液、１１・・・送液管、１２・・・排液管、１３
・・・送液ポンプ、１４・・・測定溶液槽、１６・・・
測定溶液、１７・・・送信用ＩＤＴ、１８・・・発振器
、１９・・・受信用ＩＤＴ、２２・・・位相検出装置。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第２
図
査装置を示し、第１図は平面図、第２図は第１図の■−
■矢視断面図、第３図及び第４図は従来の超音波検査装
置を示し、第３図は平面図、第４図は第３図のＩＶ−Ｉ
Ｖ矢矢視斬新面図ある。 ■・・・圧電基板、２・・・測定溶液セル、３・・・参
照溶液セル、６・・・ガラス製反射板、７・・・測定溶
液区画セル、９・・・照射超音波伝搬媒体、１０・・・
参照溶液、１１・・・送液管、１２・・・排液管、１３
・・・送液ポンプ、１４・・・測定溶液槽、１６・・・
測定溶液、１７・・・送信用ＩＤＴ、１８・・・発振器
、１９・・・受信用ＩＤＴ、２２・・・位相検出装置。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第２
図
Claims (2)
- （１）洩れ弾性表面波が伝搬するように照射超音波伝搬
媒体を封入する空間、この照射超音波伝搬媒体と同じ、
若しくはそれに近い音響インピーダンスを有する材料に
より形成され、参照溶液と比較するための測定溶液を満
たす測定溶液区画セルを有し、この測定溶液区画セルの
流入口と流出口が外部に開放された測定溶液セルと、上
記測定溶液区画セルの流入口に連通された送液ポンプを
備えていることを特徴とする超音波検査装置。 - （２）測定溶液区画セルが管状で、テフロン、ポリカー
ボネート、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレ
ン、エポキシ樹脂、ポリメチルペンテンをベースとした
ポリオレフィンにより形成された特許請求の範囲第１項
記載の超音波検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60203702A JPS6263854A (ja) | 1985-09-13 | 1985-09-13 | 超音波検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60203702A JPS6263854A (ja) | 1985-09-13 | 1985-09-13 | 超音波検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6263854A true JPS6263854A (ja) | 1987-03-20 |
Family
ID=16478433
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60203702A Pending JPS6263854A (ja) | 1985-09-13 | 1985-09-13 | 超音波検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6263854A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006258766A (ja) * | 2005-03-18 | 2006-09-28 | Japan Radio Co Ltd | 弾性波センサ |
| JP2008256485A (ja) * | 2007-04-04 | 2008-10-23 | Ebara Corp | ガス成分検出装置 |
| CN108120771A (zh) * | 2017-12-26 | 2018-06-05 | 北京有色金属研究总院 | 用于超声检测复合材料组织均匀性的对比试块及制备方法 |
-
1985
- 1985-09-13 JP JP60203702A patent/JPS6263854A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006258766A (ja) * | 2005-03-18 | 2006-09-28 | Japan Radio Co Ltd | 弾性波センサ |
| JP2008256485A (ja) * | 2007-04-04 | 2008-10-23 | Ebara Corp | ガス成分検出装置 |
| CN108120771A (zh) * | 2017-12-26 | 2018-06-05 | 北京有色金属研究总院 | 用于超声检测复合材料组织均匀性的对比试块及制备方法 |
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