JPS6294654U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6294654U JPS6294654U JP18606285U JP18606285U JPS6294654U JP S6294654 U JPS6294654 U JP S6294654U JP 18606285 U JP18606285 U JP 18606285U JP 18606285 U JP18606285 U JP 18606285U JP S6294654 U JPS6294654 U JP S6294654U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mounting base
- pressure transducer
- semiconductor pressure
- metal body
- bonded
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例を示す断面図である。
１……ｎ形シリコン単結晶基板、２……ｐ形ゲ
ージ抵抗、３……酸化膜、４……アルミニウム電
極、５……金―シリコン共晶合金接合層、６……
ｐ形シリコン取付台、７……金―シリコン共晶合
金接合層、８……金線、９……金属本体、１０…
…ハーメチツクシール、１１……外部引出線。
ージ抵抗、３……酸化膜、４……アルミニウム電
極、５……金―シリコン共晶合金接合層、６……
ｐ形シリコン取付台、７……金―シリコン共晶合
金接合層、８……金線、９……金属本体、１０…
…ハーメチツクシール、１１……外部引出線。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ シリコン基板に一体的にひずみゲージ素子を
形成したダイアフラム形感圧素子を取付台に接合
し前記取付台を金属本体に接合してなる半導体圧
力変換器において、前記取付台が前記シリコン基
板と逆の導電性を有することを特徴とする半導体
圧力変換器。 ２ 実用新案登録請求の範囲第１項において、感
圧素子、取付台、金属本体の接合を金―シリコン
共晶により行うことを特徴とする半導体圧力変換
器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18606285U JPS6294654U (ja) | 1985-12-04 | 1985-12-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18606285U JPS6294654U (ja) | 1985-12-04 | 1985-12-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6294654U true JPS6294654U (ja) | 1987-06-17 |
Family
ID=31135277
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18606285U Pending JPS6294654U (ja) | 1985-12-04 | 1985-12-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6294654U (ja) |
-
1985
- 1985-12-04 JP JP18606285U patent/JPS6294654U/ja active Pending
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