JPS63133045A - 検査用照明器具 - Google Patents

検査用照明器具

Info

Publication number
JPS63133045A
JPS63133045A JP28038086A JP28038086A JPS63133045A JP S63133045 A JPS63133045 A JP S63133045A JP 28038086 A JP28038086 A JP 28038086A JP 28038086 A JP28038086 A JP 28038086A JP S63133045 A JPS63133045 A JP S63133045A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
inspected
optical element
light source
light
annular light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP28038086A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0579139B2 (ja
Inventor
Tetsuya Kimoto
木本 哲也
Hidekazu Harima
播磨 秀和
Toshihiko Sakaguchi
阪口 敏彦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Electric Works Co Ltd
Original Assignee
Matsushita Electric Works Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Works Ltd filed Critical Matsushita Electric Works Ltd
Priority to JP28038086A priority Critical patent/JPS63133045A/ja
Publication of JPS63133045A publication Critical patent/JPS63133045A/ja
Publication of JPH0579139B2 publication Critical patent/JPH0579139B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806Specially adapted optical and illumination features

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 この発明は、外観検査などのために使用する検査用照明
器具に関するものである。
〔背景技術〕
従来より、製品の形状認識や傷、汚れを検出するには、
被検査物に光を照射して、その像をカメラで捕らえて画
像処理を行ったり、フォトセンサで光信号を検知して判
別したり、あるいは目視による外観検査を行っている。
その際、被検査物への照明方法が非常に重要なil!題
となり、被検査物の形状や大きさ、さらに検査対象箇所
によって最適な照明方向は変化するので、そのためのヰ
★査用照明を多数用意する必要があった。
従来、検査用照明器具としては、第3図に示すように、
光ファイバ束20をリング状保持台21にその全周にわ
たって傾斜姿勢で保持させた環状光源29を用い、この
環状光a29から被検査物に向けて斜め方向から光vA
(矢印で示す)を照射することが提案されたが、高い精
度で照射角度を設定することが非常に困難であった。そ
こで、第4図および第5図に示すようにリング状保持台
21に垂直に光ファイバ束20を保持させた環状光源3
0を用い、この環状光源30の光照射面側にプ° リズ
ム22や反射ミラー23等の光学素子を配置し、この光
学素子を変えることにより任意の照射角度を精度よく得
ることが提案された。
また、他の検査用照明器具として、第6図に示すような
照明器具が提案されていた。このものは、内部にハロゲ
ン電球等の光源25を収容した内円筒部材26と外円筒
部材27とから環状光源31を構成し、内円筒部材26
を外円筒部材27に対して上下動可能にし、その上下動
により下部の開口2日の幅を調整しうるようになってお
り、この開口28の幅調整により照明光の指向性を変え
ることができる。さらに、環状光tA31はその全体が
びん口等の被キ★査物24に対して上下動して、照明光
の角度調整ができるように構成されていた。
なお、第6図において、33は受光センサである。
しかしながら、これらの検査用照明器具では、被検査物
の大きさが変わった場合あるいは照射方向をできる限り
水平方向に変更したい場合に環状光源3o、3xの径を
大きくしなければならないという問題があった。すなわ
ち、第4図に示した検査用照明器具を例にあげて説明す
ると、正常な検査状態では、第7図に示すように、光フ
ァイバ束20を垂直に保持してなる環状光源30を所定
の被検査物32の上方に位置させ、環状光源30の下面
側に所定のプリズム22を配置して環状光源30から下
向きに照射された光線を屈折透過させて半径方向内向き
に変えて被検査物32の外方から照射し、光を上方に反
射させて環状光rJ30の内方を通過させている。
しかしながら、被検査物の大きさが変わると、第8図に
示すように、同じ環状光′tX30では被検査物32′
から反射した反射光が上方に向かず外向きに逃げてしま
い、反射光を上方に向けるには、第9図に示すように径
のより大きな環状光a30′を用いる必要があり、これ
に応じてプリズム22′も変える必要があった。
また、第10図に示すように、円環状の保持筒36内に
環形ランプである環状光#34を収容しこの保持筒36
の下面に設けたスリット35より光線を放射させ、その
下方に設けた反射ミラー37にて光線を反射して半径方
向内向きに変えて被検査物32に照射し、被検査物32
で反射した光線を上方に反射させるようにした検査用照
明器具において、被検査物32に対する光の照射方向を
できるだけ水平方向に変更したい場合、第11図に示す
ように環状光a34を被検査物32にできるだけ接近さ
せる必要があるが、これでは被検査物32が反射ミラー
37に当たって移動できな(なり、一連の製造ラインの
流れの中で製品の外観検査を行うことができなくなる。
このため、反射ミラーを被検査物32より上方に配置す
るためには、第12図に示すように反射ミラー37′と
ともに環状光源34′の径を大きくする必要がある。
〔発明の目的〕
この発明の目的は、単一の環状光源を用いて被検査物の
大きさや形状等に応じて光の照射方向を任意に制御でき
る検査用照明器具を提供することである。
〔発明の開示〕
この発明の検査用照明器具は、被検査物の方向へ環状の
光線を照射する環状光源と、この環状光 。
源より照射された環状の光線を半径方向外向きに変える
第1の光学素子と、この第1の光学素子と前記被ネ★査
物との間に介在し第1の光学素子で半径方面外向きに変
えた環状の光線を半径方向内向きに変えて被検査物を照
射する第2の光学素子とを備えたものである。
このように、この発明によれば、環状光源と被検査物と
の間に2つの光学素子を配設し、環状光源から照射され
た環状の光線を第1の光学素子で半径方間外向きに変え
、ついで第2の光学素子で半径方向内向きに変えるよう
にしたので、被検査物の大きさや形状等に応じて第1の
光学素子および第2の光学素子を種々の光学特性のもの
から選択使用することにより、環状光源から照射した光
線の向きを自由自在に変えることができ、その結果1つ
の環状光源で種々の被検査物の検査に対応することがで
き、検査用照明器具の低コスト化を図ることができる。
前記環状光源としては、前記第1および第2の光学素子
により光線の向きの制御が簡単に行われるため、光線の
指向性の強いものが好ましく、たとえばリング状の光フ
ァイバや環状のスリット光線などがあげられる。
前記第1および第2の光学素子としては、たとえばプリ
ズム、レンズ、反射ミラー等が使用可能である。
実施例 この発明の一実施例を第1図に基づいて説明する。すな
わち、この検査用照明器具は、被検査物1の方向へ環状
の光線を照射する環状光lI!2と、この環状光源より
照射された環状の光線を半径方向外向きに変える第1の
光学素子3と、この第1の光学素子3と前記被検査物1
との間に介在し第1の光学素子3で半径方向外向きに変
えた環状の光線を半径方向内向きに変えて被検査物1を
照射する第2の光学素子4とを備えたものである。
前記環状光il!I2はその円環状の保持台5に垂直に
光ファイバ束6を取付け、光を下方の被検査物1に向か
って照射するようにしたものである。
かかる環状光1JX2の下面には環状光源2とほぼ同心
円状に第1の光学素子3が配置される。この実施例では
、第1の光学素子3として環状のプリズムを使用してい
るが、レンズ等の他の光学素子を使用してもよい。いず
れの場合も、第1の光学素子3において、光線は半径方
向外向きに向きを変えることが必要である。
このようにして向きを変えた光線を第2の光学素子4で
受け、半径方向内向きに向きを変えさせて被検査物1を
ほとんど水平に近い方向から照射し、反射光を上方に反
射させている。この実施例では、第2の光学素子4とし
て反射ミラーを用いているが、必要に応してプリズムや
レンズ等を用いてもよい。
被検査物1から反射した反射光は環状の第2の光学素子
4、第1の光学素子3および環状光源2の各リング内を
通って上方に設けた受光センサ(図示せず)等で受けら
れ、被検査物の外観が検査される。
このように構成したため、被検査物1の形状や大きさ等
が変わり光の照射方向を調整する必要が生じた場合には
、環状光a2をそのままにして、第1の光学素子3およ
び第2の光学素子4を交換するだけで最適な照射角度を
簡単に得ることができる。したがって、環状光源2を被
検査物1の大きさや形状等に関係なく、コンパクトなも
のにすることができ、各種検査用照明器具を安価に提供
することができる。
また、環状光源2の光学特性が判っていれば、幾何光学
的設計手法を用いて設計・製作された第1および第2の
光学素子3.4を交換するだけで、光の照射方向を自由
自在に変えることができる。
この発明の他の実施例を第2図に基づいて説明する。す
なわち、この検査用照明器具は、第2図に示すように、
環状光源7として環形ランプを用いて環状光源7を円環
状保持筒8で保持するとともに保持筒8の下面に設けた
スリット9より光線を照射させ、第1の光学素子10(
反射ミラー)で光線を外向きに反射させ、これを第2の
光学素子11 (プリズムまたはレンズ)で受け、光線
を内向きに変えて被検査物12を照射するものである。
この実施例の検査用照明器具においても、前述の実施例
と同様な効果を得ることができる。
〔発明の効果〕
この発明によれば、環状光源と被検査物との間に2つの
光学素子を配設し、環状光源から照射された環状の光線
を第1の光学素子で半径方向外向きに変え、ついで第2
の光学素子で半径方向内向きに変えるようにしたので、
被検査物の大きさや形状等に応じて第1の光学素子およ
び第2の光学素子を種々の光学特性のものから選択使用
することにより、環状光源から照射した光線の向きを自
由自在に変えることができ、その結果1つの環状光源で
種々の被検査物に対応することができ、検査用照明器具
の低コスト化を図ることができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例の断面図、第2図はこの発
明の他の実施例の断面図、第3図は従来の検査用照明器
具の断面図、第4図および第5図はそれぞれ第3図に示
す照明器具を改良した従来の検査用照明器具、第6図は
従来の他の検査用照明器具の説明図、第70〜第9図は
それぞれ被検香物の大きさに対応する照明器具の構成を
示す説明図、第10図〜第12図は被検査物に対して光
を水平方向に近い方向から照射する場合の構成を示す説
明図である。 1.12・・・被検査物、2.7・・・環状光源、3.
10・・・第1の光学素子、4.11・・・第2の光学
素子 第1図 第2図 −の ヘヘ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 被検査物の方向へ環状の光線を照射する環状光源と、こ
    の環状光源より照射された環状の光線を半径方向外向き
    に変える第1の光学素子と、この第1の光学素子と前記
    被検査物との間に介在し第1の光学素子で半径方向外向
    きに変えた環状の光線を半径方向内向きに変えて被検査
    物を照射する第2の光学素子とを備えた検査用照明器具
JP28038086A 1986-11-25 1986-11-25 検査用照明器具 Granted JPS63133045A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP28038086A JPS63133045A (ja) 1986-11-25 1986-11-25 検査用照明器具

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP28038086A JPS63133045A (ja) 1986-11-25 1986-11-25 検査用照明器具

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS63133045A true JPS63133045A (ja) 1988-06-04
JPH0579139B2 JPH0579139B2 (ja) 1993-11-01

Family

ID=17624211

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP28038086A Granted JPS63133045A (ja) 1986-11-25 1986-11-25 検査用照明器具

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS63133045A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4816817B2 (ja) * 2009-12-17 2011-11-16 住友金属工業株式会社 管状品の検査装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5821146A (ja) * 1981-07-30 1983-02-07 Kirin Brewery Co Ltd 欠陥検査方法および装置
JPS5858020A (ja) * 1981-09-30 1983-04-06 松下電工株式会社 洗面化粧台
JPS60217325A (ja) * 1984-04-13 1985-10-30 Nippon Kogaku Kk <Nikon> エピダ−ク用対物レンズ

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5821146A (ja) * 1981-07-30 1983-02-07 Kirin Brewery Co Ltd 欠陥検査方法および装置
JPS5858020A (ja) * 1981-09-30 1983-04-06 松下電工株式会社 洗面化粧台
JPS60217325A (ja) * 1984-04-13 1985-10-30 Nippon Kogaku Kk <Nikon> エピダ−ク用対物レンズ

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4816817B2 (ja) * 2009-12-17 2011-11-16 住友金属工業株式会社 管状品の検査装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0579139B2 (ja) 1993-11-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4360808B2 (ja) 照明装置を備えた測定装置及び物体の照明のための方法
US5367439A (en) System for frontal illumination
RU2749337C2 (ru) Способ, устройство и линия контроля для определения заусенца на внутренней кромке поверхности венчика
KR920012892A (ko) 광학부품 특히 눈을 위한 광학부품의 검사방법 및 장치와 청정하고 투명한 검사 물체의 조명장치
JP2001221748A (ja) 容器のネックのひび割れの検出
KR20070119607A (ko) 컨테이너 칼라의 표면상의 결함의 존재를 측정하기 위한조명방법 및 장치
US8475006B2 (en) Dark field illuminator and a dark field illumination method
CA2517633A1 (en) Lateral surface sensor and imaging lens system therefor
KR970075860A (ko) 물체의 측광 및 측색 특성을 측정하는 장치
JP4243431B2 (ja) 透明又は半透明な容器に担持されたレリーフを読み込むための方法及び装置
TWI708213B (zh) 薄膜表面的缺陷檢測裝置
US7357529B2 (en) Variable incidence oblique illuminator device
US20130335976A1 (en) Dark field illumination method and a dark field illuminator
JPS63133045A (ja) 検査用照明器具
JPH05503154A (ja) 暗視野照明の検査装置
US6461030B1 (en) Illuminator for optical measuring instrument
JPS63241510A (ja) テレセントリック列カメラを有する光学式走査装置
JPH08166514A (ja) 斜光照明装置
EP0051899B1 (en) Apparatus for automatically detecting and evaluating the characteristics of prints
KR100326539B1 (ko) 조명장치
JPS63133046A (ja) 検査用照明器具
JP2018189517A (ja) 計測装置、および物品製造方法
JPH05340877A (ja) 真珠の色選別用投光器及び受光器
JPH0531560Y2 (ja)
US5984493A (en) Illumination system and method

Legal Events

Date Code Title Description
EXPY Cancellation because of completion of term