JPS63180470A - ウエ−ハの接着方法 - Google Patents
ウエ−ハの接着方法Info
- Publication number
- JPS63180470A JPS63180470A JP62009557A JP955787A JPS63180470A JP S63180470 A JPS63180470 A JP S63180470A JP 62009557 A JP62009557 A JP 62009557A JP 955787 A JP955787 A JP 955787A JP S63180470 A JPS63180470 A JP S63180470A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- carrier plate
- weight
- wax
- bubbles
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、ワックスによってウェーハをキャリアプレ
ートに接着するウェーハの接着方法に関するものである
。
ートに接着するウェーハの接着方法に関するものである
。
［従来の技術とその問題点］
一般に、シリコンウェーハ（以下、単にウェーハという
。）の表面を鏡面仕上げする場合には、キャリアプレー
トの端面にウェーハを接着してウャリアプレートと研磨
布とを相対的に移動させて行うようにしている。ここで
、ウェーハの接着に際しては、ウェーハの表面に溶融し
たワックスを塗布した後、同ウェーハをキャリアプレー
トに抑圧して貼着するようにしている。
。）の表面を鏡面仕上げする場合には、キャリアプレー
トの端面にウェーハを接着してウャリアプレートと研磨
布とを相対的に移動させて行うようにしている。ここで
、ウェーハの接着に際しては、ウェーハの表面に溶融し
たワックスを塗布した後、同ウェーハをキャリアプレー
トに抑圧して貼着するようにしている。
ところが、このようなウェーハの接着方法においては、
ウェーハの全面に均一な接着面を得ることが困難なため
、後工程である研磨において安定した品質のものを得る
ことができないという問題があった。すなわち、キャリ
アプレートとウェーハとをワックスで貼着する際に、キ
ャリアプレートとウェーハとの間に気泡が介在すること
があり、このような場合に、ウェーハの気泡と反対側の
部分が他の部分に対して突出する。この状態で研磨が行
われると、ウェーハの突出した部分が多く研磨されるた
め、ウェーハをキャリアプレートから取り外したときに
上記気泡に対応する部分が陥没し、必要な平面度を得る
ことができないのである。
ウェーハの全面に均一な接着面を得ることが困難なため
、後工程である研磨において安定した品質のものを得る
ことができないという問題があった。すなわち、キャリ
アプレートとウェーハとをワックスで貼着する際に、キ
ャリアプレートとウェーハとの間に気泡が介在すること
があり、このような場合に、ウェーハの気泡と反対側の
部分が他の部分に対して突出する。この状態で研磨が行
われると、ウェーハの突出した部分が多く研磨されるた
め、ウェーハをキャリアプレートから取り外したときに
上記気泡に対応する部分が陥没し、必要な平面度を得る
ことができないのである。
［発明の目的コ
ｗ ／Ｎ ｖ嚢 ｎｎ ＩＪ Ｌ ｅ
コ 市 ｂ＊ ＋−１１ｊｈ Ｌ −す２ キ
徊 ）、 す−ｎｌ 哨ウェーハとキャリアプレートの
間に介在する気泡の影響を極力少なくしてウェーハの全
面に均一な接着面を得ることができ、したがって、後工
程である研磨において高い平面度を得ることができ、ウ
ェーハの品質を安定させることができるウェーハの接着
方法を提供することを目的とする。
コ 市 ｂ＊ ＋−１１ｊｈ Ｌ −す２ キ
徊 ）、 す−ｎｌ 哨ウェーハとキャリアプレートの
間に介在する気泡の影響を極力少なくしてウェーハの全
面に均一な接着面を得ることができ、したがって、後工
程である研磨において高い平面度を得ることができ、ウ
ェーハの品質を安定させることができるウェーハの接着
方法を提供することを目的とする。
［問題点を解決するための手段］
この発明のウェーハの接着方法は、ワックスによってウ
ェーハをキャリアプレートに接着するウェーハの接着方
法において、ウェーハをキャリアプレートに押圧接触さ
せた後、同ウェーハを振動させるものである。
ェーハをキャリアプレートに接着するウェーハの接着方
法において、ウェーハをキャリアプレートに押圧接触さ
せた後、同ウェーハを振動させるものである。
［作用］
本発明のウェーハの接着方法にあっては、ウェーハを振
動させることにより、ウェーハとキャリアプレートとの
間に介在する気泡が無数に分解されてウェーハのほぼ全
面に分散する。そして、これら個々の気泡は極めて微少
であるから、ウェーハの特定の部分を突出させるような
ことがない。
動させることにより、ウェーハとキャリアプレートとの
間に介在する気泡が無数に分解されてウェーハのほぼ全
面に分散する。そして、これら個々の気泡は極めて微少
であるから、ウェーハの特定の部分を突出させるような
ことがない。
［実施例コ
について説明する。第１図はウェーハの接着装置を示す
側面図である。この図において符号ｌはテーブル、２は
ウェイトである。テーブル１の上面には、上端面にウェ
ーハ３を貼着させたキャリアプレート４が載置されるよ
うになっている。また、ウェイト２は、その自重により
ウェーハ３をキャリアプレート４に抑圧するとともに、
ウェーハ３を振動させるものであって、その上端面中央
部には振動発生機構５が連結されている。この振動発生
機構５は、ウェイト２を所定の振動数で左右方向（図中
矢印Ａ−Ｂ方向）へ振動させるものであり、これによっ
てウェーハ３を矢印Ａ−３方向へ振動させるようになっ
ている。
側面図である。この図において符号ｌはテーブル、２は
ウェイトである。テーブル１の上面には、上端面にウェ
ーハ３を貼着させたキャリアプレート４が載置されるよ
うになっている。また、ウェイト２は、その自重により
ウェーハ３をキャリアプレート４に抑圧するとともに、
ウェーハ３を振動させるものであって、その上端面中央
部には振動発生機構５が連結されている。この振動発生
機構５は、ウェイト２を所定の振動数で左右方向（図中
矢印Ａ−Ｂ方向）へ振動させるものであり、これによっ
てウェーハ３を矢印Ａ−３方向へ振動させるようになっ
ている。
次に、上記のような接着装置を用いてウェーハの接着を
行うには、まず、ウェーハ３の表面に溶融したワックス
６を塗布した後、同ウェーハ３をそのワックスが塗布さ
れた面を下にしてキャリアプレート４の端面に載置する
。次に、キャリアプレート４をウェーハ３が上方を向く
ようにしてテーブル！上に載置し、その上にウェイト２
を載置する。すると、ウェーハ３がウェイト２の自重に
よりキャリアプレート４に押圧され、ウェーハ３がキャ
リアプレート４に貼着される。この状態において、ウェ
ーハ３とキャリアプレート４との間には、比較的大きな
気泡が複数介在している二次に、振動発生機構５を起動
してウェイト２を振動させてウェーハ３を矢印Ａ−Ｂ方
向に向かって所定時間振動させる。すると、ウェーハ３
とキャリアプレート４との間に介在する気泡が無数に分
解されてウェーハ３のほぼ全面に分散する。これら個々
の気泡は極めて微少であるから、ウェーハ３の特定の部
分を突出させるようなことがなく、ウェーハ３の全面に
均一な接着面を得ることができる。したがって、後工程
である研磨において高い平面度を得ることができ、ウェ
ーハの品質を安定させることができる。なお、上記実施
例では、ウェーハ３を左右方向に振動させているが、上
下方向へ振動させても上記と同様の効果を得ること［発
明の効果］ 以上説明したように本発明のウェーハの接着方法では、
ワックスによってウェーハをキャリアプレートに接着す
るウェーハの接着方法において、ウェーハをキャリアプ
レートに押圧接触させた後、同ウェーハを振動させるか
ら、ウェーハとキャリアプレートとの間に介在する気泡
が微少に分解されてウェーハのほぼ全面に分散される。
行うには、まず、ウェーハ３の表面に溶融したワックス
６を塗布した後、同ウェーハ３をそのワックスが塗布さ
れた面を下にしてキャリアプレート４の端面に載置する
。次に、キャリアプレート４をウェーハ３が上方を向く
ようにしてテーブル！上に載置し、その上にウェイト２
を載置する。すると、ウェーハ３がウェイト２の自重に
よりキャリアプレート４に押圧され、ウェーハ３がキャ
リアプレート４に貼着される。この状態において、ウェ
ーハ３とキャリアプレート４との間には、比較的大きな
気泡が複数介在している二次に、振動発生機構５を起動
してウェイト２を振動させてウェーハ３を矢印Ａ−Ｂ方
向に向かって所定時間振動させる。すると、ウェーハ３
とキャリアプレート４との間に介在する気泡が無数に分
解されてウェーハ３のほぼ全面に分散する。これら個々
の気泡は極めて微少であるから、ウェーハ３の特定の部
分を突出させるようなことがなく、ウェーハ３の全面に
均一な接着面を得ることができる。したがって、後工程
である研磨において高い平面度を得ることができ、ウェ
ーハの品質を安定させることができる。なお、上記実施
例では、ウェーハ３を左右方向に振動させているが、上
下方向へ振動させても上記と同様の効果を得ること［発
明の効果］ 以上説明したように本発明のウェーハの接着方法では、
ワックスによってウェーハをキャリアプレートに接着す
るウェーハの接着方法において、ウェーハをキャリアプ
レートに押圧接触させた後、同ウェーハを振動させるか
ら、ウェーハとキャリアプレートとの間に介在する気泡
が微少に分解されてウェーハのほぼ全面に分散される。
したがって、ウェーハの特定の部分が気泡により突出せ
しめられるようなことがなく、ウェーハの全面に均一な
接着面を得ることができ、後工程である研磨において高
い平面度を得ることができ、ウェーハの品質を安定させ
ることができるという優れた効果を得ることができる。
しめられるようなことがなく、ウェーハの全面に均一な
接着面を得ることができ、後工程である研磨において高
い平面度を得ることができ、ウェーハの品質を安定させ
ることができるという優れた効果を得ることができる。
第１図は本発明の一例を実施するための装置を示す図で
あって、ウェーハの接着装置を示す側面図である。 ３ … … ウ エ − ７１ ＋ ４・・・・・・キャリアプレート、 ７・・・・・・ワックス。
あって、ウェーハの接着装置を示す側面図である。 ３ … … ウ エ − ７１ ＋ ４・・・・・・キャリアプレート、 ７・・・・・・ワックス。
Claims (1)
- ワックスによってウェーハをキャリアプレートに接着す
るウェーハの接着方法において、ウェーハをキャリアプ
レートに押圧接触させた後、同ウェーハを振動させるこ
とを特徴とするウェーハの接着方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62009557A JPS63180470A (ja) | 1987-01-19 | 1987-01-19 | ウエ−ハの接着方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62009557A JPS63180470A (ja) | 1987-01-19 | 1987-01-19 | ウエ−ハの接着方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63180470A true JPS63180470A (ja) | 1988-07-25 |
Family
ID=11723583
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62009557A Pending JPS63180470A (ja) | 1987-01-19 | 1987-01-19 | ウエ−ハの接着方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63180470A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006261527A (ja) * | 2005-03-18 | 2006-09-28 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの平坦加工方法 |
| JP2011129745A (ja) * | 2009-12-18 | 2011-06-30 | Lintec Corp | 板状部材の保持装置および保持方法 |
| CN105269452A (zh) * | 2015-11-17 | 2016-01-27 | 四川制动科技股份有限公司 | 一种用于圆盘研磨机的滑阀研磨夹具以及滑阀的装夹方法 |
| JP2018067586A (ja) * | 2016-10-18 | 2018-04-26 | 株式会社ディスコ | ウエーハの樹脂被覆方法 |
-
1987
- 1987-01-19 JP JP62009557A patent/JPS63180470A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006261527A (ja) * | 2005-03-18 | 2006-09-28 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの平坦加工方法 |
| JP2011129745A (ja) * | 2009-12-18 | 2011-06-30 | Lintec Corp | 板状部材の保持装置および保持方法 |
| CN105269452A (zh) * | 2015-11-17 | 2016-01-27 | 四川制动科技股份有限公司 | 一种用于圆盘研磨机的滑阀研磨夹具以及滑阀的装夹方法 |
| JP2018067586A (ja) * | 2016-10-18 | 2018-04-26 | 株式会社ディスコ | ウエーハの樹脂被覆方法 |
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