JPS63192106A - シ−ケンス制御方式 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概　要〕 本発明はマイコンを利用したシーケンス制御方式におい
て、複雑多様なシーケンスを、その内容が変わるごとに
プログラミングし直し、そのために膨大な時間を必要と
するという問題点を解決するため、シーケンス制御プロ
グラム言語として「式」形式を導入し、この「式」によ
って所望のシーケンスを記述して操作卓から入力すると
、これを解読し、その内容に対応する実行可能なプログ
ラムに展開するようにしたことにより、複雑なシーケン
スを簡単にプログラミングできるようにしたものである
。

〔産業上の利用分野〕

本発明はマイコンを利用したシーケンス制御方式に関す
る。

〔従来の技術〕

シーケンス制御は、産業界の各分野で広く行われている
。その制御内容は複雑で、しかも多種多様化する趨性に
ある。かかる傾向に対応して、簡単に、しかも多岐にわ
たる要求に対応可能なシーケンス制御用プログラミング
言語の出現が要望されている。

従来のシーケンス制御方法を第３図に示す。

第３図Ｔａ１．　（ｂ）により、かねてより用いられて
いる一般的なシーケンス制御方法を説明する。

同図（ａ）は実行しようとするシーケンス制御の内容を
示す図で、Ａ、Ｂ、Ｃは実行しようとするシーケンス制
御における要素動作である。モータの回転制御に例をと
ると、モータの右回転、左回転等がこれに当たる。また
、ｌ、　ｔｐｒ、　ｎはシーケンスを繰り返す回数を示
す。

即ち、同図（ａ）の場合は、要素動作Ａを実行した後、
引き続いてＢを実行するという動作をｎ回繰り返し、次
いでＣを１回行う、更にこの一連の動作をｍ回実行しよ
うとするものである。

かかるシーケンス制御を実行するには、このシーケンス
に従って処理を行うハードウェアを作成するか、或いは
このシーケンスに従って処理を実行させるためのプログ
ラムを、しかるべきプログラム言語を用いて作成し、こ
のプログラムを実行させるという、２つの方法がある。

前者の方法は処理が一定で、且つこの処理装置を大量に
製造する場合にはよいが、シーケンスの変更が困難であ
り、システムの柔軟性に欠ける。

そのため、現在では通常後者の方法が多く用いられる。

同図山）は、上記シーケンスを後者の方法を用いて実行
するための、プログラムの構成を示すフローチャートで
ある。

このようにプログラム制御を用いた場合には、シーケン
スの変更等があった場合にも、ハードウェアを変更する
ことなく、プログラムを変更するのみで、柔軟に対処で
きる。

しかしこの場合でも、プログラムは実行しようとするシ
ーケンスと１対ｌに対応しているため、シーケンスが大
幅に変更された場合、特に繰り返し手順（方法）が変更
された場合は、先に作成したプログラムを全く使用でき
ず、また最初からプログラム作成しなければならない。

〔発明が解決しようとする問題点〕

プログラムの作成はハードウェアの作成に較べれば迩か
に容易且つ短時間で実行できるとは言え、なおかなりの
時間を要し、また誰でもできるというものではなく、プ
ログラミングの素養を持った要員を必要とする。

そのため、シーケンス制御装置を使用して研究開発を行
なっている研究室等において、処理のシーケンス変更が
煩雑で時間がかかり、試作・開発のサイクルが長くなる
という問題があり、シーケンスの設定、変更を容易にす
る手段ないしは方法の出現が強く要望されている。

本発明の目的は、複雑で多岐にわたるシーケンスであっ
ても、単にシーケンスを指定するのみで、所望のシーケ
ンス制御を実行することができるシーケンス制御方式を
提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明の構成を第１図に示す。

本発明においては、制御部１とシーケンス実行指令部４
と操作卓５とを具え、予め定められた手順に従ってシー
ケンス実行指令部４が制御対象６の動作を制御すること
により、所望のシーケンス制御を行うシーケンス制御装
置に、命令解読部２と制御指令手順組み立て部３とを設
け、操作卓５から入力された所定の様式に基づくステー
トメントを命令解読部２が解読し、この解読結果に基づ
いて制御指令手順組゛み立て部３は制御プログラムを組
み立て、このプログラムに従ってシーケンス制御実行指
令部４は制御対象６に駆動信号を送出することにより、
所望のシーケンス制御を行う。

〔作　用〕

上述の如く本発明においては、所望のシーケンスを所定
の様式に従って記述したステートメントを操作卓５から
入力すると、これは命令解読部２によって解読され、更
に制御指令手順組み立て部３によって制御指令手順が組
み立てられ、入力されたステートメントが示すシーケン
スを実行するためのプログラムに展開される。プログラ
ムができれば、後はこのプログラムを実行することによ
りシーケンス制御が行われることは従来と同様である。

上記ステートメントは簡単な様式で複雑なシーケンスで
も表現できるので、所望のシーケンスを容易に記述でき
、入力されたステートメントは直ちにプログラム化され
、即実行されるので、シーケンスの変更、修正が簡単且
つ短時間で可能となる。

〔実　施　例〕

以下本発明の一実施例を第１図及び第２図を参照しなが
ら説明する。

本実施例では、半導体装置の製造工程において、気相成
長装置を用いて所望薄膜の成長を行う際の、一連のプロ
セス制御を行う例を説明する。

上記薄膜成長を行うには、気相成長装置の処理室内に複
数種のソースを置き、その上で回転する基板保持具の下
面に薄膜を成長させる基板を取りつけ、基板保持具を回
転させて基板を所望のソース上に移動させ、所定時間経
過後基板保持具を回転させて他のソース上に基板を移動
させる。

このような処理プロセスは、基板保持具の駆動モータの
回転をシーケンス制御することによって行われる。この
シーケンスは膜の成長順序と各膜厚によって定まるもの
で、その例を第２図（ａ）に示す。

同図は以下のような手順を意味する。即ち、基板保持具
をまず右回転（同図のＲ）させた後、１０秒間停止（同
図のＳ）させ、次いで左回転（同図（７）Ｌ）させた後
、１０秒間停止させる。このシーケンスを１０回繰り返
す０次いで左回転させ、３０秒間停止させる。更にこの
シーケンスを３回繰り返す。

同図（ｂ）は上記シーケンスを記述したステートメント
を示す図で、本実施例では、このステートメントを操作
卓５から入力する。入力されたステートメントは、一般
に表示画面上に表示されるが、本図はその画面に表示さ
れた状態を示すものである。

同図の“ＳＥＱ″はシーケンスを示す式であることを意
味し、そのシーケンスは、等号“＝゛の右辺に記述され
る。

右辺の“Ｒ１，ｌｔ、ｌ　は要素動作を指定するもので
、本実施例では右回転、左回転を指定する命令、その後
に引き続く小括弧“（）゛　は、その中の数字が停止時
間を指定する。“十′はこれの左側の要素動作の次に、
右側の要素動作を実行することを示す。大括弧“〔〕°
　は一連のシーケンスの一つのかたまりをしめし、この
後の“・。

と数字は、大括弧で括られた一連のシーケンスをその数
字で指定された回数だけ繰り返すことを指定する。

シーケンス制御の実行に先立って、このステートメント
を操作卓５から入力すると、命令解読部２は入力された
ステートメントを、左から順に解読し、その内容を制御
指令手順組み立て部３に送出する。制御指令手順組み立
て部３は内容に対応して手順を組み立てる。これにより
入力されたステートメントは実行可能なプログラムに展
開された。このプログラムは制御部１に付属するメモリ
（図示せず）に格納され、実行可能な状態となる。

そこでこのプログラムを起動することにより、所望のシ
ーケンス制御が行われる。

即ち、シーケンス実行指令部４は上記プログラムに従っ
て、制御対象６９本実施例ではモータに右回転、左回転
、或いは停止を指令する信号を送出して、前述のシーケ
ンス〔同図（ａ）参照３通りモータを制御し、この結果
所望の薄膜成長が行われる。

本発明のステートメントの記述様式は非常に簡単である
にもかかわらず、複雑なシーケンスでも記述できる。そ
の−例を同図（Ｃ）に示す。

また上述のステートメントによるシーケンスの記述は簡
単であるので、操作卓５から所望のシーケンスを指定す
ることは至って容易である。また入力されたステートメ
ントは、短時間で実行可能なプログラムに展開される。

従って本発明を用い本発明−実施例説明図 第　　　２　　　図 第　　３　　図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 制御部（１）とシーケンス実行指令部（４）と操作卓（
   ５）とを具え、予め定められた手順に従って前記シーケ
   ンス実行指令部（４）が制御対象（６）の動作を制御す
   ることにより、所望のシーケンス制御を行うシーケンス
   制御装置（７）において、命令解読部（２）と制御指令
   手順組み立て部（３）とを設け、所定の記述様式に基づ
   くステートメントを前記操作卓（５）から入力し、前記
   命令解読部（２）は該ステートメントの内容を解読し、
   前記制御指令手順組み立て部（３）は該解読された内容
   に基づいて制御プログラムを組み立て、前記シーケンス
   制御実行指令部（４）は該プログラムに従って前記制御
   対象（６）に駆動信号を送出することにより、所望のシ
   ーケンス制御を行うようにしたこと特徴とするシーケン
   ス制御方式。