JPS63293546A - ホトマスクの作製法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ホトマスクの作製法に係り、特に周期的な凹
凸を有するホトマスクの作製法に関する。

〔従来の技術〕

従来、周期的な凹凸を複製するために用いていた手法を
第２図に示した。すなわち、表面に凹凸を有する基板１
（第２図（ａ））に、シリコンオイル２および金属薄膜
３を順次真空蒸着した（第２図（ｂ））後、エポキシ樹
脂５により石英ガラス４と接着する（第２図（Ｃ））。

エポキシ樹脂５が硬化した後、基板ｌと石英ガラス４を
分離する（第２図（ｄ））。このようにして凹凸の複製
（第２図（ｅ））を作製していた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

ところが、このようにして作製した複製は、表面が金属
薄膜であるため、このままでは透過率が低く、ホトマス
クとして使用することができない。

この金属薄膜を除去すれば、ホトマスクとして使用可能
であるが、もとの基板１の凹凸を忠実に複製できないと
いう問題があった。

本発明の目的は、もとの基板１の凹凸を忠実に複製した
ホトマスクを一作製することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的は、ＵＶ　（Ｏｌｔｒａ　Ｖｉｏｌａｔ）硬化
樹脂等の放射線硬化梼脂を用いて基板表面の凹凸を複製
することにより達成される。尚、本明細書における放射
線には光、紫外線等を含むものである。

〔作用〕

ＵＶ硬化樹脂は、エポキシ樹脂に比べて接着力が弱く、
かつ接着しやすいように表面処理した基板に選択的に接
着させることができる。そこで、エポキシ樹脂のように
、シリコンオイルや金属薄膜を介することなく、直接基
板表面の凹凸を複製することができる。また、ＵＶ光等
放射線を照射することにより、短時間で硬化させること
ができる。そこで、基板表面の凹凸を忠実に複製したホ
トマスクを、短時間で作製することができる。

本発明に適用出来る代表的な放射線硬化樹脂としては■
多価アルコールのアクリル酸エステル■ウレタン型アク
リル酸エステル■多価カルボン酸の不飽和エステル、■
不飽和アミド等のＵＶ硬化樹脂があげられる。

〔実施例〕

本発明の第１の実施例を第１図により説明する。

凹凸を有する基板１と１表面にガラスプライアーをスピ
ンナー塗布した石英ガラス４（第１図（ａ））とをＵＶ
硬化樹脂６により接着する第１図（ｂ））。

ＵＶ光を照射して樹脂を硬化させた後、凹凸を有する基
板１と石英ガラス４を分離することにより、ホトマスク
を作製した（第１図（ｃ））、ＵＶ硬化樹脂は、ＵＶ光
の照射により短時間で硬化するため。

上記方法により、数分間で容易に、ホトマスクを作製す
ることができた。ＵＶ硬化樹脂の厚さは、５〜５０μｍ
である。また、ＵＶ硬化樹脂により。

基板１の凹凸を直接転写するので、基板１の表面の凹凸
を忠実に転写したホトマスクを作製することができた。

上記方法は、ホトマスクだけでなく。

透過型回折格子の作製法としても、有効な方法である。

本発明の第２の実施例を第３図により説明する。

第１の実施例の方法により作製したＵＶ硬化樹脂表面の
周期的な凹凸に斜め方向から、金属を蒸着することによ
り、凹凸の斜面の一方にのみ、選択的に金属薄膜を形成
した。これにより、ホトマスクとしての明暗化を向上さ
せることができ、透過型回折格子としての回折効率を向
上させることができた。この様に放射線硬化樹脂により
形成した凹凸基板の少なくとも一部に、当該樹脂とは透
過率の異なる膜（例えば金属膜等）を設けることも有用
である。

上記実施例では、石英基板上にＵＶ硬化樹脂のレリーフ
型回折格子を作製したが、石英基板を用いず、ＵＶ硬化
樹脂の膜厚を厚くすることにより。

ＵＶ硬化樹脂単独でも、同様の効果が得られた。

〔発明の効果〕

本発明によれば、基板の凹凸を忠実に複製したホトマス
クを容易に作製することができる。ホトマスクとともに
、透過型回折格子の作製方法としても有効である。

【図面の簡単な説明】

第１図は１本発明の第１の実施例の工程図、第２図は、
従来法の工程図、第３図は、本発明の第２の実施例の断
面図である。 １・・・凹凸を有する基板、２・・・シリコンオイル、
３・・・金属薄膜、４・・・石英基板、５・・・エポキ
シ樹脂、早　１　　目

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、基板表面に形成した周期的な凹凸を、モールド材に
   より複製することを特徴とするホトマスクの作製法。