JPS63307410A - 光半導体モジュ−ル - Google Patents
光半導体モジュ−ルInfo
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- JPS63307410A JPS63307410A JP14331587A JP14331587A JPS63307410A JP S63307410 A JPS63307410 A JP S63307410A JP 14331587 A JP14331587 A JP 14331587A JP 14331587 A JP14331587 A JP 14331587A JP S63307410 A JPS63307410 A JP S63307410A
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Landscapes
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は光ファイバとの光結合に用いる光半導体モジュ
ールに係わり、特に光ファイバを固定した第1の保持部
材と、発、受光素子および光結合用レンズを固定した第
2の保持部材とをレーザ溶接して構成される光半導体モ
ジュールに関する。
ールに係わり、特に光ファイバを固定した第1の保持部
材と、発、受光素子および光結合用レンズを固定した第
2の保持部材とをレーザ溶接して構成される光半導体モ
ジュールに関する。
光半導体モジュールにおいては、発、受光素子および光
結合用レンズ等の適用光学系部品と光ファイバとの最適
な光結合を得るために、これらの相対位贋を正確に保つ
必要があることはよく知られている。
結合用レンズ等の適用光学系部品と光ファイバとの最適
な光結合を得るために、これらの相対位贋を正確に保つ
必要があることはよく知られている。
従来、光ファイバの端部を挿入保持した筒状の第1の保
持部材と、半導体発、受、光素子およびレンズを挿入保
持した筒状の第2の保持部材とを互いに同軸上で対面接
合する構造のものでは、これらの両保持部材をエポキシ
系接着剤やハンダを用いて結合固定する場合が多かった
。しかし、これらの接合手段では接合強度、耐熱性、作
業性等の面で種々の問題があり、最近ではY、A Gレ
ーザ等を用いたレーザ溶接で接合することが検討されて
いる。
持部材と、半導体発、受、光素子およびレンズを挿入保
持した筒状の第2の保持部材とを互いに同軸上で対面接
合する構造のものでは、これらの両保持部材をエポキシ
系接着剤やハンダを用いて結合固定する場合が多かった
。しかし、これらの接合手段では接合強度、耐熱性、作
業性等の面で種々の問題があり、最近ではY、A Gレ
ーザ等を用いたレーザ溶接で接合することが検討されて
いる。
とこ烏で、このようなレーザ溶接により接合する保持部
材の材質として、これまではSO5303あるいは5U
S303Se等のステンレス鋼が使用されている。
材の材質として、これまではSO5303あるいは5U
S303Se等のステンレス鋼が使用されている。
しかし、SUS 303あるいは5US303Se等の
ステンレス鋼で構成した保持部材をレーザスポット溶接
した場合には、第2図に示すように、溶接部に微小な亀
裂が生じることがある。
ステンレス鋼で構成した保持部材をレーザスポット溶接
した場合には、第2図に示すように、溶接部に微小な亀
裂が生じることがある。
すなわち、第2図においてA部は加熱領域で塑性変形は
ないが、B部の溶融層では照射エネルギによって塑性変
形が生じている。また、0部は光強度をガウス分布とみ
なした場合、最も光強度の大きな部分で、レーデ光が材
料深度にまで達し、溶融部の気化によるキーホールが形
成されている。
ないが、B部の溶融層では照射エネルギによって塑性変
形が生じている。また、0部は光強度をガウス分布とみ
なした場合、最も光強度の大きな部分で、レーデ光が材
料深度にまで達し、溶融部の気化によるキーホールが形
成されている。
そしてDllのような亀裂の痕跡が残る。
なお、照射エネルギ、光スポツト径、照射時間等の溶接
条件を最適化すれば、上記の亀裂発生は防止可能である
。しかし、そのためには、溶接部を焼鈍するか、予備加
熱を行いながら溶接する必要があり、設備、作業性の点
で困難が多い。また、照射エネルギ、光スポツト径、照
射時間等の各パラメータを制御することは、高出力レー
ザの出力可能範囲を大きくしなければならず、さらに光
スポツト径を小さくすることにより焦点深度が浅く、な
り製作物の正確な位置合わせが困難となり、さらにまた
、照射時間の短縮等の手段を追加しなければならない等
の難点がある。従って、このような手段を付加すること
は設備の高精度化、作業性の悪化等の問題が生じる。
条件を最適化すれば、上記の亀裂発生は防止可能である
。しかし、そのためには、溶接部を焼鈍するか、予備加
熱を行いながら溶接する必要があり、設備、作業性の点
で困難が多い。また、照射エネルギ、光スポツト径、照
射時間等の各パラメータを制御することは、高出力レー
ザの出力可能範囲を大きくしなければならず、さらに光
スポツト径を小さくすることにより焦点深度が浅く、な
り製作物の正確な位置合わせが困難となり、さらにまた
、照射時間の短縮等の手段を追加しなければならない等
の難点がある。従って、このような手段を付加すること
は設備の高精度化、作業性の悪化等の問題が生じる。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、レー
ザ溶接に対する亀裂発生等を容易な手段で防止でき、信
頼性向上および設備、作業の簡易化等が図れる光半導体
モジュールを提供することを目的とする。
ザ溶接に対する亀裂発生等を容易な手段で防止でき、信
頼性向上および設備、作業の簡易化等が図れる光半導体
モジュールを提供することを目的とする。
本発明は、光ファイバを挿入保持する第1の保持部材と
、半導体発、受光素子等を保持する第2の保持部材との
、少なくとも接合端面部をそれぞれ炭素含有量が0.0
8%以下のオーステナイト系のステンレス鋼で構成し、
レーザスポット溶接することを特徴とし、これにより、
比較的簡易な溶接条件で亀裂等の発生防止を図り、もっ
て前記目的を達成せんとしている。
、半導体発、受光素子等を保持する第2の保持部材との
、少なくとも接合端面部をそれぞれ炭素含有量が0.0
8%以下のオーステナイト系のステンレス鋼で構成し、
レーザスポット溶接することを特徴とし、これにより、
比較的簡易な溶接条件で亀裂等の発生防止を図り、もっ
て前記目的を達成せんとしている。
すなわち、従来使用されているSUS 303.5US
303Se等の材料では炭素含有量が両者とも約0.1
5%、イオウの含有量がそれぞれ0.15%、0.06
%と比較的多い。
303Se等の材料では炭素含有量が両者とも約0.1
5%、イオウの含有量がそれぞれ0.15%、0.06
%と比較的多い。
このため、レーザ溶接時に炭化物や低融点の偏析物が形
成され易く、脆化して延性が失われ、再結晶過程での熱
応力により脆化部分に局部的な応力集中が起こり、亀裂
発生に至るものと考えられる。この亀裂は溶接部の機械
的強度を低下させ、モジニール製品としての引張り強度
の低下、使用温度範囲と温度サイクル等の面での性能低
下をきたす。また、亀裂の組成が母材の組成から変化し
、さらに残留応力等のため空気中にさらされたり、水分
あるいは塩分等により、酸化し易く、長時間使用時の信
頼性を低下させることになる。
成され易く、脆化して延性が失われ、再結晶過程での熱
応力により脆化部分に局部的な応力集中が起こり、亀裂
発生に至るものと考えられる。この亀裂は溶接部の機械
的強度を低下させ、モジニール製品としての引張り強度
の低下、使用温度範囲と温度サイクル等の面での性能低
下をきたす。また、亀裂の組成が母材の組成から変化し
、さらに残留応力等のため空気中にさらされたり、水分
あるいは塩分等により、酸化し易く、長時間使用時の信
頼性を低下させることになる。
これに対し、本発明によれば、炭素含有量の低いオース
テナイト系ステンレスを使用することにより、炭化物の
生成あるいは低融点の偏析物の生成を防止し、亀裂の発
生が比較的容易に図れるようになる。
テナイト系ステンレスを使用することにより、炭化物の
生成あるいは低融点の偏析物の生成を防止し、亀裂の発
生が比較的容易に図れるようになる。
、以下、本発明の一実施例を第1図を参照して説明する
。
。
石英あるいは多成分系素材からなる光ファイバlが筒状
の第1の保持部材2の中心孔3に挿入され、エポキシ系
接着剤4によって接着固定されている。この第1の保持
部材2の接合端部はフランジ5とされ、そのフランジ5
の端面5aは十分平坦に形成されている。
の第1の保持部材2の中心孔3に挿入され、エポキシ系
接着剤4によって接着固定されている。この第1の保持
部材2の接合端部はフランジ5とされ、そのフランジ5
の端面5aは十分平坦に形成されている。
また、第2の保持部材6も筒状で、接合端部がフランジ
7とされ、その端面7aも十分平坦に形成されている。
7とされ、その端面7aも十分平坦に形成されている。
そして、この保持部材6の中心孔8内には、発、受光素
子9と、光ファイバ1への光結合を最適化するためのレ
ンズIOとが設けられている。なお、発、受光素子9と
しては、半導体レーザ、発光ダイオード等の発光源、あ
るいはシリコシ系、ゲルマニウム系等の光検出器等が適
用される。
子9と、光ファイバ1への光結合を最適化するためのレ
ンズIOとが設けられている。なお、発、受光素子9と
しては、半導体レーザ、発光ダイオード等の発光源、あ
るいはシリコシ系、ゲルマニウム系等の光検出器等が適
用される。
〈実施例1〉
下記の第1表に示すように、第1、第2の保持部材2.
6を、5US304によって構成した。
6を、5US304によって構成した。
SO3304では、炭素含有量が0.08%以下、イオ
ウ含有量が0.03%以下である。
ウ含有量が0.03%以下である。
第1表
なお、第1、第2の保持部材2.6のフランジ5.7の
うち、いずれか一方を、高出力レーザ光による溶融接合
を容易にするため200μm〜5.00μm程度の肉厚
とし、直径300〜800μmのYAGレーザ光により
、第1図の斜線で示すスポット状の溶融接合部11を得
た。
うち、いずれか一方を、高出力レーザ光による溶融接合
を容易にするため200μm〜5.00μm程度の肉厚
とし、直径300〜800μmのYAGレーザ光により
、第1図の斜線で示すスポット状の溶融接合部11を得
た。
このような構成によると、レーデビームの照射を停止し
、急冷しても、第2図に示すような亀裂はほとんど発生
しないことが認められた。これは、含有炭素量が少ない
材料を用いたことから、炭素化合物の生成が緩和された
ためと考えられる。
、急冷しても、第2図に示すような亀裂はほとんど発生
しないことが認められた。これは、含有炭素量が少ない
材料を用いたことから、炭素化合物の生成が緩和された
ためと考えられる。
また、亀裂を軽減するための溶接条件は特に厳しくする
必要もなく、例えば照射エネルギ、光スポツト径、照射
時間の各パラメータ制御が容易となり、設備の簡略化、
作業性向上も図られた。なお、前記材料は低価格である
うえ、良品率も向上し、経済的効果も得られる。
必要もなく、例えば照射エネルギ、光スポツト径、照射
時間の各パラメータ制御が容易となり、設備の簡略化、
作業性向上も図られた。なお、前記材料は低価格である
うえ、良品率も向上し、経済的効果も得られる。
〈実施例2〉
先の第1表に示すように、第1、第2の保持部材2.6
を、5US304Lによって構成した。
を、5US304Lによって構成した。
5US304Lでは、炭素含有量が0.03%以下、イ
オウ含有量が0.03%以下である。
オウ含有量が0.03%以下である。
その他は実施例1と同一条件とし、モジュール製品を得
た。
た。
この場合にも実施例1と同様の効果が得られた。
〈従来例1〉
下記の第2表に示すように、保持部材を5O5303に
よって構成した。S[JS303では、炭素含有量が約
0.15%、イオウ含有量が約0.15%である。
よって構成した。S[JS303では、炭素含有量が約
0.15%、イオウ含有量が約0.15%である。
(以下余白)
第2表
実施例1と同一条件で溶接した結果、第2図に示すよう
な亀裂が生じた。
な亀裂が生じた。
〈従来例2〉
先の第2表に示すように、保持部材を5US303Se
によって構成した。5LJS303Seでは、炭素含有
量が約0.15%、イオウ含有量が約0.06%であり
、やはり第2図に示すような亀裂が発生した。
によって構成した。5LJS303Seでは、炭素含有
量が約0.15%、イオウ含有量が約0.06%であり
、やはり第2図に示すような亀裂が発生した。
以上のように、本発明によれば、低炭素含有量のオース
テナイト系ステンレス鋼でレーザ溶接すべき保持部材を
構成したことにより、比較的容易な溶接条件により、亀
裂等の発生のない接合が可能となり、高信頼性の光半導
体モジュールが効率よく得られるという効果が奏される
。
テナイト系ステンレス鋼でレーザ溶接すべき保持部材を
構成したことにより、比較的容易な溶接条件により、亀
裂等の発生のない接合が可能となり、高信頼性の光半導
体モジュールが効率よく得られるという効果が奏される
。
第1図は本発明の一実施例を示す断面図、第2図は従来
例を説明するための図である。 1・・・・・・光ファイバ、2・・・・・・第1の保持
部材、6・・・・・・第2の保持部材、9・・・・・・
発、受光素子、IO・・・・・・レンズ、11・・・・
・・溶接部。 出 顆 人 日本電気株式会社
例を説明するための図である。 1・・・・・・光ファイバ、2・・・・・・第1の保持
部材、6・・・・・・第2の保持部材、9・・・・・・
発、受光素子、IO・・・・・・レンズ、11・・・・
・・溶接部。 出 顆 人 日本電気株式会社
Claims (1)
- 光ファイバの端部を挿入保持した金属製の筒状の第1の
保持部材と、半導体発、受光素子およびこれを前記光フ
ァイバに光結合させるレンズを挿入保持した金属製の筒
状の第2の保持部材とを備え、これら両保持部材の端面
部を互いに同軸上で対面接合させ、高出力レーザ光を用
いてスポット溶接してなる光半導体モジュールにおいて
、前記第1、第2の保持部材の少なくとも接合端面部を
それぞれ炭素含有量が0.08%以下のオーステナイト
系のステンレス鋼で構成したことを特徴とする光半導体
モジュール。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14331587A JPS63307410A (ja) | 1987-06-10 | 1987-06-10 | 光半導体モジュ−ル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14331587A JPS63307410A (ja) | 1987-06-10 | 1987-06-10 | 光半導体モジュ−ル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63307410A true JPS63307410A (ja) | 1988-12-15 |
Family
ID=15335918
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14331587A Pending JPS63307410A (ja) | 1987-06-10 | 1987-06-10 | 光半導体モジュ−ル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63307410A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60136387A (ja) * | 1983-12-26 | 1985-07-19 | Hitachi Ltd | 光素子モジユ−ル |
| JPS61239209A (ja) * | 1985-04-16 | 1986-10-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体レ−ザ・光フアイバ結合装置の製造方法 |
-
1987
- 1987-06-10 JP JP14331587A patent/JPS63307410A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60136387A (ja) * | 1983-12-26 | 1985-07-19 | Hitachi Ltd | 光素子モジユ−ル |
| JPS61239209A (ja) * | 1985-04-16 | 1986-10-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体レ−ザ・光フアイバ結合装置の製造方法 |
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