JPS6332604A - 機械によるプロセスをコンピュ−タ制御するシステム及び方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、一般に１機械によるプロセスをコンピュータ
で制御するシステム及び方法に係り、より詳細には、機
械によって実行されるプロセスや関連データを管理する
プロセスといった種々のプロセスをメニューを使って選
択する形式のコンピュータ制御システム及び方法に係る
。

従来の技術 工業　プロセス　御のデータベース管理多くのコンピュ
ータ制御式の機械は１機械の性能に関連するデータを自
動的に記録していくように設計されてはいるが、このデ
ータの分析となると一般に自動的ではない、このことは
工業環境において種々様々なプロセスを遂行するのに使
用されている機械について特にあてはまる、更に。

こうした機械を操作しているオペレータ達がデータの分
析やデータベース管理の仕事を割り当てられていること
はめったにないことである。

これらの情況があいまって、製造中の製品の品質に又は
遂行中のプロセスに目立ったレベルダウンがある時まで
プロセス管理上の問題の発見が遅れる原因となりがちで
ある。

本発明は、過去において普通エンジニアが担当していた
データ管理データ分析の仕事をエンジニアにかわってオ
ペレータが簡便に遂行するのを可能にするデータベース
管理システム及び方法を提供するものである。より詳細
には１本発明は、どのプロセスを遂行するかの選択と５
選択されたプロセスの自回以前の遂行から集めたデータ
の分析要求とに同一の使いやすいメニュー駆動の選択方
法を用いている６本発明のシステムは、オペレータが１
つ又は２つのボタンを押すだけで、システムに記憶され
た測定データを自動的に分類し、オペレータが指定した
プロセスに関する過去の記録データに基づいて指定のデ
ータ管理タスク（例えば、傾向チャートをプリントする
等）を遂行する。

その結果として、オペレータは、特定のプロセスを選び
実行するのに使うのと同一メニューを使って、その選択
したプロセスを実行する直前又は直後のいづれかにデー
タ管理タスクを開始することができる。

半導体ウェハのシート抵　マツピングの重゛作。

本発明は、各種製造プロセスや試験プロセスを遂行する
コンピュータ制御式の機械に一般に適用できる。又、デ
ータ収集プログラムやデータ管理プログラムにも適用で
きる。然し乍ら、本発明についての詳細にわたる説明は
、半導体ウェハのシート抵抗マツプを形成するための自
動抵抗率テスト装置の制御という関点にしぼってなされ
る。

このような装置は、例えば、大規模集積回路等の半導体
デバイスを製造するプロセスの一部分として特定の目標
導電率値の表層を形成するのに使用されている半導体ウ
ェハ製造装置の性能特性を明らかにするために利用され
る。

本発明によって制御されるべき自動抵抗率テスト装置の
好ましい態様が１９８５年４月２４日に出願されたｒ半
導体ウェハをテストする装置及び方法（ＡＰＰＡＲＡＴ
ＵＳ　ＡＮＤ　ＭＥＴＨＯＤＳ　ＦＯＲＳＥＭＩＣＯＮ
−ＤＵＣＴＯＲＷＡＦＥＲＴＥＳＴＩＮＧ）　Ｊと題す
る本出願の米国特許出願第７２６，４９８号に開示され
ている。

この特許出願は、特に、参考としてここに取り上げるも
のである。本発明の効果を立証するための背景環境とし
てこの形式のコンピュータ制御式テスト装置を使うこと
は特に意味のあることである。

というのは、本発明を非常に有用に利用できるファクト
リ−オートメーションの分野を含む多くの分野において
科学及び技術が進歩することは半導体業界にとっても重
要なことだからである。自動的に抵抗率をテストするこ
とが半導体業界にとって非常に重要であることを理解す
るために、この業界の現状についてと、イオンインプラ
ンテーションを受けた半導体ウェハに対し自動的に抵抗
率をテストすることが特に重要であることについて、前
記の特許出願に記載された有用な背景情報を参照するも
のとする。

半導体ウェハの全面にわたってインブラントの量が適切
且つ均一であるかどうかは、輪郭マツプモード及び直径
スキャンモードの両方においてテスト中に多数の読みを
得ることのできる自動シート抵抗マツピングシステムに
よって判断することができる。これらのテストと、それ
をプリントアウトしたものから、プロセス担当のエンジ
ニアは、イオンインプランテーション装置が適切に作動
しているか否かを決定することができる。

１９８５年２月２２日に出願された「抵抗率をテストす
る装置及び方法（Ａｐｐａｒａｔｕｓ　ａｎｄＭｅｔｈ
ｏｄｓ　ｆｏｒ　Ｒｅ５ｉｓｔｉｖｉｔｙ　Ｔｅｓｔｉ
ｎｇ）　Ｊ　と題する本出願人の米国特許出願第７０４
，２９６号には、半導体ウェハの導電表層上で４点プロ
ーブのシート抵抗測定を行なう際に精度を増すように抵
抗率テストプローブの方向を決める新規な構成が開示さ
れている。この特許出願も、参考としてここに取り上げ
る。

自動抵抗率テスト装置に類するテスト機器の使用をうな
がす為には、有用なデータをもたらすプロセス中監視測
定を行なうようにエンジニアが設定することのできるテ
スト装置用の全コンピュータ制御プログラムを提供する
ことが重要である。

又、この制御プログラムは、オペレータが自信をもって
常に一貫して有用なデータをつくり出していくように簡
単に操作できるものであることも重要である。あらゆる
業界で自動プロセス制御及びテストが益々受け入れられ
ていくためにはエンジニアとオペレータの便宜をはかり
信頼を得ることが鍵である。

八　のコンピュータ　　　法 種々のタスクを遂行する能力または同一のタスクを種々
の方法で遂行する能力をもつ各種機械類の動作を制御す
るためにプログラムされたデジタルコンピュータを使用
することは業界の標準的なやり方となっている。

工業用機械のコンピュータ制御には概して複雑なプロセ
スがからみ、機械が選定されたプロセスを行なうには数
多くのパラメーターを入力しなければならない、このめ
んどうがあるため、望みのプロセスをきちんと機械に遂
行させるための設定は普通エンジニアが担当する。とい
うのは、エンジニアはシステム全体を理解しており、プ
ロセスのパラメータと機械のプロセス制御プログラムの
かかわり合いを理解しているからである。よりよく設定
されたシステムでは、このエンジニアによる設定は、プ
ロセスの選択やパラメータの入力を指示する一連の種々
のメニューもしくは助言を与える機械制御プログラムに
よって容易に行なわれる。これらのメニューや助言は大
抵の場合５個々に連続して表示される。かなりの数のメ
ニュースクリーンが必要な場合には、成るスクリーン上
でのプロセス又はパラメータ値の選択が数スクリーン前
か後かで行なう選択によって影響を受ける。

従って、このエンジニアによる設定操作は、全体として
意味のある一貫したプロセス選択とパラメータ入力を各
スクリーン毎に達成できるように、前に選んだプロセス
や入力したパラメータをチエツクするために、始終スク
リーンを前後にページングしなければならない。多くの
コンピュータ制御式機械ではエンジニアによる設定プロ
トコルが複雑で不便であるために、−流会社のハイレベ
ルなエンジニアによって使われる他は、あまりすすんで
使われていない状態である。たとえ使われても、文書で
オペレータ用のインストラクシ目ンを供給しなければな
らないことが本来この技術が生み出せるはずの便益を達
成するようこの技術を広く使っていくことを頭打ちの状
態にしがちな不満足な状態をつくり出している。

発明の構成 要約すると１本発明は、機械によるプロセスをコンピュ
ータで制御するシステム及び方法に係る。プロセス、デ
ータ管理タスクの選択や、機械によってプロセスの性能
を指示するためにプロセス制御プログラムによって使用
される作動パラメータの定義及び選択には、ダイナミッ
クなメニュー機能が使用される。

本発明のシステム及び方法は、システムのオペレータが
システムを用いる時に選択されたプロセスを実行するた
めに使用することのできる１組の予め定められたデータ
管理又はデータ分析タスクを与えるという機能を有して
いる。実行するプロセスを選択するのに用いるものと同
じメニューを用いて、データ管理タスクが開始される。

多数のプロセスに対しプロセスの実行中に測定したデー
タ及びそれに関連したデータを記憶するための測定デー
タ構造体が定められて記憶される。プロセスが実行され
るたびにこれらのデータ構造体にデータが追加され、こ
のデータは１選択されたプロセスを前に使用した時に収
集したデータに基づいてデータ分析を行なうことをオペ
レータが要求した時に、自動的にアクセスされる。

詳細なデータ管理タスクのために測定データをアクセス
することは、ダイナミックなメニュー機能によって行な
われるだけでなく、制御チャートを使用することによっ
てグラフで行なうこともできる。これらのチャートは１
選択されたプロセスに対する測定データの傾向を示して
いる。このチャート内のいずれかのデータ点を指示する
ことにより、ユーザは、詳細なデータ分析を行なうが又
はデータ管理タスクで使用するためにそれに対応する記
録データをアクセスすることができる。

本発明の更に別の目的及び特徴は、添付図面を参照した
以下の詳細な説明から容易に明らかとなろう。

実施例 第１図は１本発明の装置を含むと共に本発明の方法を実
行することができるシステム２０のブロック図である。

半導体ウェハ抵抗率テスト装置等の物理的な処理システ
ム２２は、コンピュータをベースとする制御システム２
４によって制御される。この制御システム２４は、本発
明によれば、エンジニア設定モジュール２６と、オペレ
ータモジュール２８とを含んでいる。制御システム２４
は、更に、１組のプロセス制御プログラム３０を含んで
おり、その各々は、物理システム２２が特定の形式のプ
ロセスを実行している間この物理システム２２を制御す
るのに用いられる。

制御システム２４は、コンピュータ中央処理！！　（Ｃ
ＰＵ）３２と、システム２４にコマンド及びデータを入
力するためのキーボード３２又は同等の装置と、タッチ
感知スクリーン付きのカラーモニタ等のディスプレイ装
置３６と、プリンタ３８とを含んでいる。取外し可能な
１０メガバイトのハードディスクカートリッジは、物理
システム２２によって実行されるプロセスに使用される
プロセスパラメータを定めるデータ構成体４２を記憶す
るために用いられ、又、動作中に物理システム２２によ
って作成される測定データと、測定データからＣＰＵ３
２によって引出される平均値及び標準偏差等のデータと
を記憶するためにも用いられる。

後に詳しく述べるように（又、米国特許出願筒７２９．
１５３４号で説明されているように）、エンジニアモジ
ュール２６は、設定制御プログラム（エンジニアが設定
する制御プログラムと称する）である。これは、物理シ
ステム２２を用いて実行することのできるプロセスの形
式を限定及び制御する制約の程度と形式とを定めるため
にエンジニアによって用いられる。好ましい実施例にお
いては、使用されるコンピュータはヒユーレット・パラ
カード・ベクトラ（Ｈｅｗｌｅｔｔ　Ｐａｃｋａｒｄ　
Ｖｓｃｔｒａ）である。

エンジニアモジュールは、更に、エンジニア設定プログ
ラムを用いて操作者が行なった１組の判断を表わした情
報をポータブル磁気ディスク４０に記憶する手段も含ん
でいる。これらの選択は。

エンジニア設定プログラムとプロセス制御プログラムの
両方によって用いられる１組のデータ構成体４２の各入
力で表わされる。

オペレータモジュール２８は、エンジニア設定モジュー
ル２６を用いて予め設定した物理システム２２のプロセ
スを選択及び実行するためにオペレータ（即ち、操作者
）によって使用されるオペレータ処理制御プログラムで
ある。

後に詳しく述べるように、オペレータ処理制御プログラ
ム２８は、利用可能なプロセスの中のどのプロセスを物
理システム２２で実行すべきかを選択するためのプロセ
ス選択プログラムと、物理システム２２によって実行さ
れるプロセスに関連して用いられるパラメータ値を゛指
定するためのパラメータ入力プログラムと、制御システ
ム２４によって物理システム２２から収装された測定デ
ータを分析するためのデータ分析プログラム即ちデータ
管理プログラムとを含んでいる。

好ましい実施例においては、同一のコンピュータを、エ
ンジニア設定用、プロセス制御用及びデータ管理用に用
いることができる。一方、エンジニアは、１台のコンピ
ュータを用いてオペレータに実行させたいプロセスを設
定することができ。

別のコンピュータ制御システム２４で使用するためにデ
ィスク４０をオペレータに引き継ぐことができる。オペ
レータは、エンジニアモジュール２６を使用するためあ
パスワードを知らなければならないことによりそのエン
ジニアモジュール２６にアクセスできないようにされる
。

物理システム２２は、好ましい実施例においては、ウェ
ハ抵抗率テスト装置であり、そこには３種類のプロセス
制御プログラム３０がある。このプログラム３０の１つ
は、輪郭マツプと称されるもので、オペレータモジュー
ルのコンピュータ３６がテスト装置！２２へ制御信号を
送るようにさせる。この制御信号により、テスト装置２
２は、ウェハ上の指定個数の別々の位置座標における半
導体ウェハの抵抗率を測定及び記録するよう指示される
。もう１つのプロセス制御プログラムは。

直径スキャンと称されるもので、制御命令を発する。こ
の制御命令により、テスト装置２２は、直径線に沿った
指定個数の別々のテスト位置における半導体ウェハの抵
抗率を測定及び記録するよう指示される。第３のプログ
ラムは、クイックチエツクと称され、半導体ウェハのお
およその抵抗率を迅速に測定するために少数のテスト位
置における半導体の抵抗率を測定するものである。

ダイナミ・クメユニ一　　法 表（Ｔａｂｌｅ）　１に示す例示的なメニュー表示は。

好ましい実施例では、１組の項目から１つの項目を選択
するのに用いられる。これらの各項目は。

グループとサブグループに組織さ九、その各々が指定の
名前を有している。ここに示す例では、これらの各項目
は、コンピュータ２４の制御のもとで抵抗率テスト装置
によって実行することのできる抵抗率テストプロセスで
ある。

ディスプレイスクリーンには、グループメニュー、サブ
グループメニュー及びオブジェクトメニューという３つ
のメニュー表示領域が定められている。ディスプレイの
底部にある第４の表示領域は、実行可能なタスクを識別
するのに用いられる。幾つかのタスクは、第３のメニュ
ー領域に指示された項目を使用する。

概念的には、メニューにリストされた項目を１組のフォ
ルダ（ＦＯＬＤＥＲ）として作表することが望ましく、
これらのフォルダは、ドロワー（ＤＲＡＷＥＲ）及びキ
ャビネット（ＣＡＢＩＮＥＴ）に編成される。好ましい
実施例においては、各キャビネット（即ち。

各々の主メニュー項目）は、最高９つまでのドロワーを
含んでおりそして各ドロワー（即ち、各々の第２のメニ
ュー項目）は、最高９つまでのフォルダを含んでいる。

他の実施例においては、各メニューの項目数を無制限と
することができ、これらの各メニューを、メニュー内の
各項目の全リストにわたってアップ方向及びダウン方向
にスクロ−ルするウィンドウとして作用させることもで
きる。

各メニュー領域にだけでなくタスク選択領域にも関連す
るポインタがある。各ポインタの現在位置は、該当項目
を他の項目よりも明るい映像で表示すること（表１に、
選択されたメニュー位置に隣接するアスタリスク“傘″
とじて示す、但し。

後述するアクティブなポインタの場合は除く）によって
示される。

第２メニュー領域に示されたサブグループは、第１メニ
ュー領域で指示されたグループに関連するサブグループ
である。又、第３メニュー領域に示された各項目は、第
２メニュー領域に示されたサブグループに関連する項目
である。

一度に１つの位置ポインタのみがアクティブである。ア
クティブなポインタは、対応するメニューのタイトルを
逆映像（表１に、タイトルの隣にアスタリスク“傘”で
示される）で表示することにより且つアクティブなポイ
ンタによって指示された項目を明るい逆映像（表１に、
明るい逆映像の項目を指す矢印で示される）で表示する
ことによって示される。

好ましい実施例においては、ディスプレイ３６がタッチ
感知ディスプレイであり、キーボード３４は、標準的な
上下左右移動のカーソルキーを含んでいる。

アクティブなポインタは、キーボードのカーソルキーを
使用するか或いはディスプレイのスクリーンの適当な部
分に触れることによって動かすことができる。アクティ
ブなポインタは、キーボード３４のカーソル左右移動キ
ーを用いるか或いはユーザがポインタを動かそうとする
メニューの近くのスクリーンを触れることにより１つの
メニューから次のメニューへと動かすことができる。

同様に、アクティブなポインタは、上下カーソルキーを
用いるか或いはユーザがアクティブなポインタを動かそ
うとするメニューの近くのスクリーンを触れることによ
っであるメニューの項目のリストに対して上下に移動す
ることができる。

メニューが最初に表示されたときには、アクティブなポ
インタが第１グループの名前を指し。

他のポインタが各メニューの最初の項目を指すような状
態で開始される。

表２に示すように、キャビネットメニュー領域内のポイ
ンタが例えばメニュー内の“ＥＰＩ”と表示された項目
を指すように動いたときには。

ドロワーメニューは、第１の（キャビネット）メニュー
領域で指示されたグループ項目に関連するサブグループ
項目と自動的に取り換えられる。同様に、第３のメニュ
ー領域は、ドロワーメニュー表示領域で指示された新た
なサブグループ項目に関連する名前と取り換えられる。

表３は、アクティブなポインタが表２の位置から第２の
表示領域へと移動すると共にサブグループメニューの第
５項目（“ＲＥＡＣＴＯＲ１−５ＰＥＣＩＡＬ”と示さ
れた項目）へまで下方に移動した後のディスプレイを示
すものである。フォルダメニューに表示された項目は、
ドロワーメニューで指示された項目と対応するように自
動的に更新されていることに注意されたい。

表１を再び参照すれば、ディスプレイの底部に沿って表
示されたタスクは、ディスプレイスクリーン上の適当な
ボックスに触れることにより呼び出される０例えば、”
Ｃ０ＬＬＥＣＴ　ＮＥＷ　ＤＡＴＡ（新たなデータの収
集）″というボックスに触れることにより、制御システ
ム２４は、フォルダメニューで指示された項目に対応す
る抵抗率測定プロセスを実行するようにされる。このプ
ロセスが輪郭マツププロセスである場合は、システム２
０は半導体ウェハの抵抗率を多数の種々の点で測定し、
第２図及び第３図に示すマツプのような抵抗率輪郭マツ
プを作成する。

表１の“Ｃ０ＮＴＲ０Ｌ　ＣＨＡＲＴ（制御チャート）
″ボックスを触れることにより、システムは、フォルダ
メニューで指示されたプロセスを以前に所定の回数だけ
実行したときの抵抗率の値の平均値と標準偏差とを示す
制御チャート即ち傾向チャートを作成する。このような
制御チャートの１つの例が第４図に示されている。

好ましい実施例により与えられるもう１つのタスクは、
データ管理タスク即ちデータ分析タスクと共に用いられ
る多数のプロセスの選択である。

この選択を行うために、まず、”５ＩＮＧＬＥ（単一）
″ボックスに触れる。システムは、これに応答して、表
４に示すように、そのボックスのテキストの表示を”Ｍ
ＵＬＴＩＰＬＥ（多数）″に変え、最も左のボックスの
表示を”５ＥＬＥＣＴ（選択）″に変える１次いで、ユ
ーザは、フォルダボインタが選択すべき項目を指すまで
メニューポインタを操作しそして”　Ｓ　Ｅ　Ｌ　Ｅ　
ＣＴ　”ボ°ツクスに触れることにより、項目を選択す
ることができる。選択された項目の各々は、逆映像（表
４に、選択された項目の右にアスタリスク付きで示され
ている）で示される。項目は、まずフォルダボインタが
選択された項目を指すようにし次いで”５ＥＬＥＣＴ”
ボックスに触れることによってデセレクトすることがで
きる。

ユーザは、使用したい項目の全てを選択した後に“Ｃ０
ＮＴＲ０Ｌ　Ｃ）ＩＡＲＴ”タスクのような他のタスク
の１つを開始させることができる。このタスクにより、
システムは、選択された項目全てについて、選択された
タスクを実行する。例えば、”Ｃ０ＮＴＲ０ＬＣＨＡＲ
Ｔ”タスクが選択された場合には、選択されたプロセス
の各々に対してプロットした制御チャートが作成される
。

第５図を参照すれば、基本的なメニュー選択方法は１次
のように作用する。初めに、少なくとも２つのメニュー
表示領域が定められ、これら２つのメニューが、予め定
められた初期ポインタ位置（ボックス５０）と共に表示
される。例えば、表１に示されるダイナミックメニュー
の例では、ＣＡＢＩＮＥＴ（キャビネット）と称される
第１のメニュー表示領域と、ＤＲＡすＥＲ（ドロワー）
と称される第１のメニュー表示領域とがある。各表示領
域にはポインタがあり、その位置は表１にアスタリスク
又は矢印によって示されている。表示領域ポインタによ
って示された項目は、ユーザにそれらのポインタの現在
位置を知らせるように、メニュー内の他の項目と目で見
て区別することができる（例えば、明るい映像又は逆映
像を用いて強調することにより）。

上下カーソルキー（プロセス流路５２及び５４参照）は
、主メニューポインタを動かすために用いられる。これ
により、第２のメニューが、現在（ボックス５６で）示
されている主メニューに対応する項目と自動的に取り換
えられる０例えば。

表１から表２への移行を参照されたい、プロセス流路５
４は、主メニューポインタの連続的な移動を表わすもの
である。

左右カーソルキーを連続的に使用することにより（プロ
セス流路５８−６４）　、第２メニューポインタ（ボッ
クス６６）が作動され、次いで、主メニューポインタ（
ボックス６８）が作動される。このようにアクティブな
ポインタを１つのメニュー表示領域から他のメニュー表
示領域へ移動する度に、その移動が、アクティブなポイ
ンタで表示領域のタイトルを強調することによって目で
見て確認される。好ましい実施例においてダイナミック
メニューの幾つか（全部ではない）を使用する際には、
アクティブなポインタは、このポインタによって指示さ
れた項目を明るい逆映像で示す一方、他の表示領域のポ
インタによって指示された項目を明るい（が逆ではない
）映像で示すことによっても区別される１表３の第２メ
ニューポインタの作動化は、（表２の）　ＣＡＢＩＮＥ
Ｔメニューのタイトルから（表３の）のＤＲＡＩｉｌＥ
Ｒメニューのタイトルへアスタリスクを移動することに
よって示される０表３に示すスクリーンから、左カーソ
ルの使用によって、第１メニューポインタが作動され、
第２メニューポインタが不作動にされる。

第２メニューポインタがアクティブな時には。

上下カーソルキー（プロセス流路７０及び７２）は、第
２メニューポインタ（ボックス７４）を動かすために用
いられる。従って、第２メニューポインタを作動させ、
次いで、ダウンカーソルキーを４回使用してポインタを
第２メニュー表示領域の第５の項目まで下げることによ
り１表３に示すスクリーンが現われる。

いかなる時にも、適当な信号をコンピュータに送ること
により（ボックス７６及びプロセス流路７８及び８０を
参照）、指定されたタスクを実行することができる（通
常は、アクティブなポインタ又は第２メニューポインタ
によって示された項目のいずれかを参照しながら）。例
えば、表１ニ示すれたスクリーンノＣ０ＬＬＥＣＴ　Ｎ
ＥＩＩ　ＤＡＴＡ　（新たなデータの収集）ボックスを
押すことにより、システムは、ＢＡＳＥ　−ＴＵＢＥ　
２−　ＭＩＤＤＬＥと表示されたプロセスを使用して抵
抗率テスト装置２２において半導体ウェハから抵抗率デ
ータを収集することができる。

オペレータ制御プログラム システム２０は、最初にオンにされた時は、表５に示す
導入スクリーンを表示する。この導入スクリーンは、単
に、ソフトウェアプログラムを識別し、著作権警告と、
システムの所有権に関する警告とを表示するだけである
。オペレータ制御プログラムは、オペレータがスクリー
ンの下部のコマンドラインのＴＥＳＴ　（テスト）ボッ
クスに触れたときにロードされ開始される。

１つ以上のウェハについて幾つかの抵抗率テスト操作を
行なうように指示されたオペレータは、好ましい実施例
においては、オペレータに関連したディスク４０を有し
ており、このディスク４０には、エンジニアにより、多
数のプロセスのための全てのパラメータデータ構造体が
記憶されている。オペレータは、このディスクをシステ
ム２０に挿入し、タッチスクリーンのＴＥＳＴボックス
に触れると、システムは、記憶されたデータ構造体をデ
ィスクからコンピュータの内部メモリにロードする。

プｊ」舒懐（社）１区 オペレータが導入スクリーンに触れた後に。

（上記の）表１のメニューがタッチスクリーンに表示さ
れる。好ましい実施例では、オペレータが利用できない
プロセスは、プロセス選択メニューに表示されない。オ
ペレータは、前の命令から、システムがテキストを含ま
ないメニュー項目をオペレータが選択できないようにし
ているということがわかる。

オペレータは、テストすべきウェハ（１つ又は複数）に
付随するプロセス指示シートであるトラベラ−から、ウ
ェハが現在どの製造プロセスまで済んだか、どのチュー
ブで処理されたか、ウェハがチューブのロードエンド、
中央又はソースのいずれの位置にあるかについて知るこ
とができる。

ここに示す例では、ウェハが、現在、リアクトル１（即
ち半導体製造装置の特定の部分）のロードエンドでエピ
タキシャル付着を受けたところであると想定する。上記
したように、オペレータは。

フォルダメニューポインタが（表３の）　ＥＰＩ　−Ｒ
ＨＡＣＴＯＲ１−５ＰＥＣＩＡＬ　−ＬＯＡＤ　ＥＮＤ
フォルダ項目を指すまでメニューポインタを動かし続け
る。

この時点で、オペレータは、表１の下部に示されている
タスクのいずれをも実行することができる。オペレータ
は、”Ｃ０ＬＬＥＣＴ　ＤＡＴＡ”ボックスに触れるも
のと想定する。そうすると、システムは、それに応答し
て、表６に示すスクリーンを表示する。

パラメータの入力 表６及び表７に示すスクリーンは、オペレータによるパ
ラメータの入力を示すものである。ここには１選択され
たプロセスが実際に稼動するときに呼び出される。オペ
レータによって選択されたプロセス（この場合、ＥＰＩ
　−ＲＥＡＣＴＯＲ１−５ＰＥＣＩＡＬ　−ＬＯＡＤ　
ＥＮＤ）を識別する上部の助言ラインが含まれている。

この上部の助言ラインの下にヘッダブロックがある。こ
のヘッダブロックは、エンジニアにより、０ＰＥＲＡＴ
ＯＲ及び５ＨＦＴという２つの強制入力パラメータが後
に続く固定の見出しを有するように構成されている。

この０ＰＥＲＡＴＯＲ及び５ＨＦＴパラメータは、「１
回の強制入力パラメータ」である、このパラメータの値
は、プロセスが選択される度にオペレータが入力しなけ
ればならないが、選択されたプロセスが複数回使用され
る場合には再入力する必要はない。パラメータ入力スク
リーンの「１回強制入力パラメータ」を有する部分は、
黄色にされている（表中では、この領域の隣に、「１回
強制」を表す１Ｓ″という頭文字によって示される）。

プロセスが使用される度にオペレータが値を入力しなけ
ればならないパラメータは、「強制入力パラメータ」と
称され、赤色の背景で強調される（表中では、この領域
の隣に、「強制」を表す“′Ｆ″′という頭文字によっ
て示される）。

オペレータが変更できるパラメータで、強制入力パラメ
ータでないものは、青色の背景で強調される（表中では
、ｒｔ　Ａ　ｎという文字によって示される）。固定値
のパラメータは、黒色の背景の通常の映像で示される（
表中では、この領域の隣に、「変更不可能」を表すＩＩ
Ｕ”という頭文字によって示される）。

このように、パラメータ入力スクリーンは、どの情報を
入力しなければならないかと、選択されたプロセスが実
行される前にどの情報を任意に入力できるかとをオペレ
ータが判断し易いようにカラーコード化される。

０ＰＥＲＡＴＯＲ及び５ＨＩＦＴパラメータは、プロセ
ス関連パラメータではなく、エンジニアが彼の裁量で追
跡すべきであると判断し、ひいては、プロセスが実行さ
れる前にオペレータに入力させるべきであると判断した
データパラメータである。プロセス制御パラメータのみ
がプロセス制御プログラムによって使用され、テスト装
置２２にどのコマンドを送るべきかを決定する。更に別
の形式のパラメータは、分析制御パラメータと称される
ものであって、これは、プロセスが実行されている間に
収集されたデータに基づいてプロセス制御プログラムに
よって実行される分析を制御するのに用いられる。

表６に示すように、０ＰＥＲＡＴＯＲ及び５ｔ（ＩＦＴ
という表示はこのプロセスを設定したエンジニアによっ
て指定され゛た実際上変更不能なパラメータであり、こ
れらの表示の右側のボックスは、対応する強制入力パラ
メータの位置である。

これらの２つの強制入力パラメータの後には、エンジニ
アが指定しないまへになっているオペレータが変更でき
るパラメータラインが続くが、成る状態のもとでは、成
るデータ追跡パラメータを入力するようにオペレータに
文章で要求することもできる、オペレータは、キーボー
ドで０ＰＥＲＡＴＯＲとＳ旧ＦＴのパラメータを順次に
タイプし、キーボードのカーソルダウン移動矢印を押し
てポインタ（矢印で示される）が次のパラメータフィー
ルドに来るようにすることにより各パラメータを入力す
る。このポインタは、通常、オペレータが入力しなけれ
ばならない第１パラメータの初期位置をとるようにされ
、この特徴はオペレータ制御プログラムソフトウェアの
一部分である。

オペレータは、０ＰＥＲＡＴＯＲ及び５ＨＩＦＴのパラ
メータを入力した後、カーソルダウンキーを用いること
により、カーソル即ちポインタをスクリーンの次のパラ
メータ入力領域まで下方に移動することができる。この
領域は、４つのデータパラメータを表示する。これらの
中でも、ＷＡＦＥＲＩＤ　（ウェハ識別）パラメータの
みは、プロセスを使用するたびに値を入力しなければな
らない強制入力パラメータであり、その他のパラメータ
は、オペレータが適時に値を入力することのできるオペ
レータが変更できるパラメータである。

オペレータが表６に示すスクリーンに値を入力する時に
は、コマンドラインのＣ０ＮＴＩＮＵＥ（継続）ボック
スに触れることにより表７に示す次のスクリーンが来る
ようにする。

表６及び７に示すスクリーンを使用する間の任意の時間
に、オペレータは、パラメータの入力プロセスを中断し
、コマンドラインのＥＸＩＴ（終了）ボックスに触れる
ことにより表３に示すプロセス選択スクリーンに復帰さ
せることができる。

表７を参照すれば、ここでオペレータは、多数のプロセ
スパラメータ（Ｎ（ＪＭＢＥＲＯＦ　５ＩＴＥＳ（位置
数）、すＡＦＥＲＤＩＡＭＥＴＥＲ（ウェハの直径）、
ＴＥＳＴ　ＤＩＡＭＥＴＥＲ（７−スト部の直径）、　
ＡＵＴＯ５ＡＶＥ（自動セーブ）、及びＣＵＲＲＩＥＮ
Ｔ（ｆｆｉ流））並びに分析制御パラメータ（％　ＩＮ
ＴＥＲＶＡＬ（％インターバル）、５ＯＲＴ　ＳＩＧＭ
Ａ（ソートジグ？）、ＣＡＬ　ＣＵＲＶＥ（校正曲線）
、ＴＡＲＧＥＴ　（目標）、Ｃ０ＮＴＲ０Ｌ（制御）及
びＷＡＲＮＩＮＧ（警報））ノたメツ値を与えるへく質
問する。

エンジニアは、おそらく、彼が常に１２１ケ所の測定を
要求し且つウェハが常に１００１１ｍのウェハであると
いう彼の判断に基づいて、ＮＵＭＢＥＲＯＦ　５ＩＴＥ
Ｓ及びＷＡＦＥＲＤＩＡＭＥＴＥＲのパラメータはオペ
レータが変更できないパラメータであると既に分かって
いる。オペレータは、これらパラメータが黒色の背景に
表示されるので（表６では変更不能な項目の隣に“Ｕ”
で示されている）これらパラメータが一定であり、更に
、カーソル即ちポインタをその項目に位置設定できない
ことが分かる。

オペレータがこれらのパラメータを変更できる必要はな
く、オペレータにこれらのパラメータを全く入力させな
い良い理由としては、もし誤りが生じた場合、テスト結
果が不適当なものになるという点で非常にコスト高とな
り、即ち、不適切にドープされたもしくは不適切に付着
されたエピタキシャル層を有するウェハが、ウェハ上の
回路が完成するまで問題を発見することなくそれ以上の
処理を受けることになるからである。多くの公”　知シ
ステムでは、オペレータがエンジニアの指示シートから
これらのパラメータを入力しなければならず、入力エラ
ーが生じがちである。ここでは−エンジニアは、パラメ
ータ値を使用のための正しい値として固定している。

前記したように、オペレータが変更できるパラメータは
、表６及び７に“Ａ　Ｉ＋で示されており。

オペレータは、エンジニアからの指示の範囲内で、これ
らのパラメータを成るテスト状態において変更する。別
のデータ構造体の別のディスクを有する別のオペレータ
は１例えば、それより多数又は少数の別の変更可能なパ
ラメータを有している。

表７のスクリーンを用いた時には、オペレータは、表６
及び７に示されたスクリーン内の全ての強制入力パラメ
ータの値をいったん入力すると、“Ｌ’ＯＡＤ　ＷＡＦ
ＥＲ（ウェハ装填）″と示されたボックスを見つける。

これは、全ての強制入力パラメータが入力されて、シス
テムはウェハに対して選択されたプロセスを実行する用
意ができたことをオペレータに知らせる。

オペレータは、もし必要であれば１強制入力パラメータ
を含む変更可能なパラメータを変更することもできる。

オペレータが表６に示されたスクリーンに戻って、その
スクリーン内の１つ以上の値をテストの実行の前に変更
することが必要な場合には、コマンドラインのＰＲＥＶ
ＩＯＵＳ（手前の）ボックスに触れて、手前のパラメー
タ入力スクリーンに戻すことができる。

全てのパラメータが正しいと、オペレータはＬＯＡＤ　
ＷＡＦＥＲボックス（表７に示す）に触れ、オペレータ
がそれ以上操作しなくてもコンピュータ制御のもとてテ
スト装置によってプロセスを実行することができる。オ
ペレータは、システムのウェハテスト台にウェハを装填
するようにシステムによって促される。ウェハテスト台
にウェハが配置されたことをオペレータが確認すると、
テスト装置は、オペレータによって呼び出されたプロセ
スを引継ぎ、実行する。呼び出されたプロセスが輪郭マ
ツププロセスである場合には、システムが第２図に示す
ような輪郭マツプを形成し、測定データがオペレータの
ディスク４０に記憶される。

テスト装置の動作が終了すると、ウェハテスト台はウェ
ハをオペレータに戻し１表７のスクリーンには、ＮＥＸ
ＴすＡＦＥＲ（次のウェハ）を示すコマンドラインの第
２のボックスが現われる。オペレータは、ＮＥＸＴ　ｗ
ＡＦＥＲに触れることによって同じテストを繰り返すこ
ともできるし、ＥＸＩＴに触れることによってプロセス
選択メニューに戻して別のプロセスを選択することもで
きる。

オペレータがＮＥＸＴ　ＩＩＡＦＥＲを使用する場合に
は、表６のパラメータ入力スクリーンが現われ、その前
の実行から得た全てのパラメータ入力が不変のまへとさ
れるが、強制入力パラメータ（表に“Ｆ”で示す）はこ
こではブランクであり、新たな値を必要とする。表に“
Ｓ”と示されたパラメータは、変更する必要がなく、プ
ロセスを使用する最初の時だけ値を入力することが強制
される。然し乍ら。

オペレータがプロセスを再実行する前にプロセス選択ス
クリーン（例えば、表４）に戻す場合には、システムは
、全ての強制（即ち、複数及び単一の強制）パラメータ
の入力を要求する。オペレータが全ての必要なパラメー
タ値を両方のパラメータ入力スクリーンに入力した後に
、新たなウェハをウェハ台に装填しコマンドラインのＬ
ＯＡＤυＡＦＥＲボックスに触れることによって前記の
ように選択されたプロセスを再実行することができる。

上記の説明から、オペレータ制御プログラムは、オペレ
ータが自信をもって非常に容易に使えるということが明
らかであろう、システムの種々のプロセスを構成する場
合に、訓練されたオペレータにとって意味の分かるもの
であるか或いは自動的にオペレータの所有物となる文書
で与えられるプロセスグループのタイトル及びプロセス
の名前をエンジニアが使用したと仮定すれば、オペレー
タによるプロセス選択段階は相当に容易なものとなる。

更に、システムは、各パラメータの状態をオペレータに
自動的に通信する。欠陥のある値や固定パラメータが既
に入力されている場合には、オペレータはこれらの強制
入力パラメータを入力して、エンジニアが指示した又は
テストすべきウェハに付随するトラベラにより指示され
たオペレータが変更できるパラメータ値の変更を行なう
だけでよい。

データ管理タスク 表１を参照すれば、オペレータは、Ｃ０ＬＬＥＣＴＮＨ
１ｉｌ　ＤＡＴＡボックスではなくて、Ｃ０ＮＴＲ０Ｌ
　ＣＩ（ＡＲＴ（制御チャート）又は旧ＳＴＯＧＲＡＭ
　ＰＬＯＴ（ヒストグラムプロット）を押すだけでデー
タ収集に代わってデータ分析を開始することができる。

Ｃ０ＮＴＲ０Ｌ　ＣＨＡＲＴボックスを使用する時には
、システム２０は、第４図に示すような制御チャートを
自動的に作成する。このチャート９０は、平均抵抗率測
定値と、選択されたプロセスの予め選択された回数の前
回の使用についての平均値に対する測定値の２つの標準
偏差範囲とをプロットしている。

「選択されたプロセス」とは、フォルダメニューにおい
て指示されたプロセスであるに過ぎない。制御チャート
に含まれたそれまでの使用の回数は、オペレータのディ
スク４０を設定するエンジニアによって選択される。エ
ンジニアは、７から３０までの数を又とすれば、１）プ
ロットすべき最後のＸ回の運転、又は２）プロットすべ
き最後のＸ日からの運転のいずれかを指定することがで
きる。

システムのディスプレイ３６においてこの制御チャート
をｉｉ１！察することにより、オペレータは。

測定された抵抗率が目標値に近いものであるか目標値か
ら離れつつあるかを容易に判断することができる。これ
により、生の測定データを調べるだけでは検知すること
が困難であるような傾向を容易に理解することができる
。

オペレータが制御チャートを更に理解し易くするために
１本発明の一実施例では、制御チャートが次の３つのゾ
ーンに分割される。即ち、緑色の背景で強調された内側
ゾーン、この内側ゾーンの上下にあって黄色の背景で示
された中央ゾーン及びこの中央ゾーンの上下にあって赤
色の背景で示された外側ゾーンである。内側ゾーンの中
央は。

設定エンジニアによって指定された目標導電率値であり
、これら帯域の境界も設定エンジニアによって指定され
、緑色ゾーン内のデータ点が許容できる抵抗率値を表わ
し、黄色のゾーン内のデータ点が抵抗率に問題のあるウ
ェハを表わし、赤色ゾーン内のデータ点が許容できない
抵抗率のウェハを表わすようにされる。

エンジニアが制御チャートを見るべきであるとオペレー
タが考えた場合には、コマンドライン９４のＰＲＩＮＴ
（プリント）ボックス９２に触れることによってこれを
プリントすることができる。特定のウェハに対するデー
タ点が異常であり、更に注意を要するとオペレータが考
えた場合には、左及び右の矢印９６及び９８を使用して
、ＲＥＴＲＩＥＶＥＷＡＦＥＲ（ウェハ検索）ポインタ
１００がその不良データを指すまでこのポインタを移動
することができる。ポインタ１００によって指示された
データの識別は、助言ライン１０２に表示される。プロ
ット（ＰＬＯＴ）ボックス１０４に触れると、システム
は、識別されたウェハに対する全ての測定データのプロ
ットを形成する。形成されるプロットの形式は、データ
を測定するために使用されるプロセスの形式に基づいて
いる。輪郭マツププロセスが使用された場合には、第２
図又は第３図のプロットと同様のプロットが形成される
。

更に、第４図を参照すれば、好ましい実施例の制御チャ
ートは、自動スケーリング機能を備えている。通常、プ
ロセスを設定する時には、エンジニアが制御チャートの
スケールを指定する。エンジニアが制御チャートのスケ
ールを指定しなかった場合には、オペレータモジュール
のソフトウェアによってチャートが自動的にスケーリン
グされ、さもなくば、オペレータがＣ０ＮＴＲ０Ｌ　Ｃ
ＨＡＲＴタスクを用いた時に形成される制御チャート９
０がエンジニアによって指定されたスケールを使用する
。

当業者に明らかであるように、エンジニアがプリセット
したスケールは、制御チャートを完全に圧縮するか又は
完全に伸張してこのチャートを使用できなくするか又は
使用困難なものにする。

それ故、エンジニアが制御チャートのスケールを指定し
た場合でも、オペレータは、自動スケーリング機能を選
択して、有効に解読できるようにデータを自動的にスケ
ーリングする能力が与えられる。

特に、エンジニアが制御チャートのスケールを指定した
場合には、オペレータは、コマンドラインのＡＵＴＯ５
ＣＡＬＥボツクス１１２に触れることによりエンジニア
が予め設定したスケールと自動スケーリングとの間を切
り換えることができる。このボックス１１２は、エンジ
ニアが予め設定したスケールが使用される時には、ＡＵ
ＴＯ５ＣＡＬＥを示し。

自動スケール機能が使用される時には、ＰＲＩＳＥＴＳ
ＣＡＬＥを示し、オペレータが２つの制御チャートスケ
ーリングモード間で選択を行なえるようになっている。

本発明の別の態様では、制御チャート内のプロットのす
ぐ上であって且つＲＥＴＲＩＥＶＥ　ＷＡＦＥＲ矢印１
００のすぐ下のラインにおいて、ドツトのカラーコード
（即ち、赤色、黄色又は緑色）ラインが各データ点の上
に１つづつ追加され、データ点の状態を指示する。これ
により、オペレータは、いずれかのデータ点が更に調査
を必要としているかどうかを素早く判断できると共にＲ
ＥＴＲＩＥＶＥ　ｖＡＦＥＲの矢印をこれらのデータ点
と整列させる助けをする。

ＨＩＳＴＯＣＲＡＭボックス１０６を使用する場合には
、選択されたフォルダ（チャート９０の上部において識
別された）の全てのデータに対するヒストグラムが、プ
ロセスの実行のたびに形成されて記憶される幾つかの統
計学的なパラメータを用いて形成される。

ＤＩＲＥＣＴＯＲＹ（辞書）ボックス１０８に触れると
、システムは、選択されたプロセスの手前の実行から記
憶された全てのデータを識別するリストを表示する。こ
のリストから、オペレータは１個々のプロットに対する
１つ以上の実行を選択することができる。

ＥＸＩＴボックス１１０は、表１に示すスクリーンに戻
るために使用される。

一プロセスデータ分析 表１を説明すれば、５ＩＮＧＬＥボツクスに触れると、
システムは、一度に２つ以上のフォルダ（即ち、プロセ
ス）に基づいてデータ分析を行なえるようにモードを切
り換えるようにされる。これにより得られるスクリーン
が表４に示されている。

表４に示すように、前に“５ＩＮＯＬＥ”と読んだコマ
ンドラインのボックスが、今度は“ＭυしＴＩＰＬＥ（
多数）”と読むようにされる。これは、システムが多プ
ロットモードにあることをオペレータに警告するために
逆映像（表４には示さず）で表示される。システムは、
表１に示す表示にシステムを復帰させるＭＵＬＴＩＰＬ
Ｅボックスに触れることによってその通常の作動モード
に戻ることができる。

表４のコマンドラインは、データ管理タスク、ＭｔｌＬ
τＩＰＬＨボックス、及び導入スクリーンに戻るように
退出するＥＸＩＴのみを含んでいることに注意されたい
。

データ分析に対し多数のフォルダ（即ち、プロセス）の
各々を選択するために、オペレータは、フォルダボイン
タが選択すべきプロセスを指すまでメニューポインタを
動かし１次いで、５ＥＬＥＣＴボノクスに触れるだけで
ある。選択されたプロセ―スは、表４の項目の右側にア
スタリスクで示す逆映像で表示される。フォルダボイン
タが選択されたプロセスを指している間に、５ＥＬＥＣ
Ｔボツクスにもう１度触れることにより選択されたプロ
セスをデセレクト（選択解除）することができる。表４
が単一のドロワー（サブグループ）から選択された３つ
のフォルダを示している間に、多プロセスデータ分析に
使用するための種々のキャビネット及びドロワーメニュ
ーからプロセスをどのようにでも組合せて選択すること
ができる。

全てのプロセスが選択された後に、オペレータは、コマ
ンドラインの対応するボックスに触れることにより、制
御チャート即ちヒストグラムの形成を開始する。制御チ
ャートは、各々の選択されたプロセスに対して第４図に
示したものと同様なプロットを含む単一のチャートであ
る。

多数のプロセスに対するヒストグラムプロットは、選択
された全てのプロセスに対するデータを単に組合せるも
のであるにれは、多数のプロセスの合成した統計学的な
分析が単一のフォルダの統計学的な分析よりも意味があ
る場合に有用である。

魚貝Ａ　なオペレータタスク 表１を参照すれば、コマンドラインのメツセージ（ＭＥ
ＳＳＡＧＥ）ボックスは、エンジニアによって残された
メツセージを検索するためにオペレータによって使用さ
れる。より詳細には、エンジニアは、各々のプロセスに
付けるメツセージを残すことができる。例えば、エンジ
ニアは、幾つかのテストをいかに設定するかについての
指示を残すことができる。これらのメツセージは、シス
テムを制御したりデータを記憶したりするのに用いる他
のデータ構造体と共にディスク４０に記憶される。

フォルシダのメニューポインタがメツセージを伴うプロ
セスを指す時には、ＭＥＳＳＡＧＥボックスが逆映像で
表示され、オペレータは、彼が読むべきメツセージがあ
ることが分かるようになっている。メツセージは、ＭＥ
ＳＳＡＧＥボックスに触れることにより表示される。

ＤＩＲＥＣＴＯＲＹ　ＬＩＳＴＩＮＧ（辞書リスト）ボ
ックスに触れると、システムは、選択されたプロセスの
手前の実行から記憶された全てのデータのリストを表示
するようにされる。このリストから、オペレータは、個
々のプロット（例えば、輪郭プロット）に対する１つ以
上の前の実行を選択することができる。

ＥＸＩＴボックスは、表５に示す導入スクリーンに戻す
ために使用される。

データ構造体 好ましい実施例では、データ構造体は、７２９個（即ち
、９Ｘ９Ｘ９）の所定のプロセスに対して定められ記憶
される。これらのプロセスは、９個のスーパーグループ
及び８１個のグループのプロセスに編成され、このよう
な各グループは、９個のプロセスを含む。これらのデー
タ構造体は、エンジニアが設定するモジュール２６によ
って最初に定められ、後で使用するようにディスク４０
に記憶される。オペレータ制御モジュール２８がオンに
された時には、パラメータデータ構造体（管理データ構
造体ではない）が、オペレータ制御モジュール２８によ
って使用するためにコンピュータメモリにコピーされる
。

プロセス名称及び利用状態フラグ 各々のプロセス、プロセスグループ及びプロセススーパ
ーグループに対しては、その名称と利用状態フラグとが
指定されている。名称は、単に。

表１に示したメニューのようなプロセス選択メニューに
現われる名称である。各プロセス及びグループに対する
利用状態のフラグは、プロセス又はグループがオペレー
タによって利用できるかどうかを判断するものである。

使用すべきプロセスを定めるエンジニアは、利用状態フ
ラグを用いて、対応するプロセス、グループ又はスーパ
ーグループに対する特定のオペレータ（即ち、特定のデ
ィスク４０のユーザ）のアクセスを拒絶することができ
る。これは１例えば、成るオペレータが幾つかの形式の
ウェハに対してテストを実行することだけが許されてい
る場合、又はプロセスがまだデバッグされていないがエ
ンジニアが成る非常に高度な訓練を受けた者だけで経験
に基づいてこれを使用しようとする場合に有用である。

第６ａ図を参照すれば、スーパーグループ助言データ構
造体１２０は、１組の９つのプロセススーパーグループ
名称１２２（各々２ｏまでの文字長さ）と、１組の９つ
の対応するグループ利用状態フラグ１２４とを含んでい
る。スーパーグループ名称１２２は、例えば、上記した
プロセス選択段階中に表１に示されたようなオペレータ
のプロセス選択スクリーンのキャビネットメニューに示
される。各々のスーパーグループ利用状態フラグは、対
応するスーパーグループがオペレータによって利用でき
る場合には０であり、スーパーグループが利用できない
場合には１である。

第６ｂ図を参照すれば、グループ助言データ構造体１３
０は、１組の８１個のプロセススーパーグループ名称１
３２（各々２０までの文字長さ）と、１組の８１個の対
応するグループ利用状態フラグ１３４とを含んでいる。

最初の９個のグループ名称は、第１のスーパーグループ
に属し１次の９個のグループ名称は、第２のスーパーグ
ループに属し、等々となっている。グループ名称１３２
は１例えば、上記したプロセス選択段階中に表１に示し
たようにオペレータのプロセス選択スクリーンのドロワ
ーメニューに示される。各々のグループ利用状態フラグ
は、対応するグループがオペレータによって利用できる
場合はＯであり、グループが利用できない場合には１で
ある。

第６ｃ図を参照すれば、プロセス助言データ構造体１４
０は、１組の７２９個のプロセス名称１４２と、１組の
対応するプロセス利用状態フラグ１４４とを含んでいる
。最初の９個のプロセス名称は、第１のグループに属し
、次の９個のプロセス名称は、第２のグループに属し、
等々となっている０選択されたグループに対するプロセ
ス名称１４２は、例えば、上記のプロセス選択段階中に
表１に示されたようにオペレータのプロセス選択スクリ
ーンのフォルダメニューに示されている。

各々のプロセス利用状態フラグは、プロセスがオペレー
タによって使用できる時に０でありそしてプロセスが使
用できない場合に１である。

パラメータフォーマット　びデータ　゛第７図を説明す
れば、パラメータデータ構造体１５０は、予め定められ
た全てのプロセスに対しパラメータ値を記憶するのに用
いられる。概念的には、パラメータデータ構造体１５０
は、９×９×９７レイのプロセスパラメータデータ構造
体１５２を備えている。各々のプロセスパラメータデー
タ構造体１５２は、プロセスに関連したプロセス制御プ
ログラムのインジケータ１５３と、プロセス制御プログ
ラムに関連した全ての可変パラメータの欠陥値１５４と
を含んでいる。プロセス制御プログラムのインジケータ
１５３は、データ構造体１５２からプロセスに関連した
プロセス制御プログラムへの間接ポインタとして働く。

更に、各々のパラメータについて、プロセスパラメータ
データ構造体は、パラメータ状態フラグ１５５を含んで
おり、このフラグは、パラメータの状態がＦＯＲＣＨＤ
　（即ち、プロセスを実行する前にオペレータが値を入
力しなければならない強制入力パラメータ）である場合
にＯとなり、パラメータの状態がＭＡＹ　ＣＨＡＮＧＥ
　（即ち、オペレータによって変更できる）パラメータ
である場合に１となり、パラメータの状態がＬＯＣＫＥ
Ｄ　（即ち、値が一定）である場合に２となり、そして
パラメータの状態が５ＩＮＧＬＥ　ＦＯＲＤＩｌ＋Ｄ（
即ち、プロセスを使用する最初のときに値を入力しなけ
ればならない）である場合に３となる。

各々のプロセス制御プログラムには、典型的に、別々の
パラメータが組み合わされているので、エンジニアが設
定するモジュールは、各々のプロセス制御プログラムご
とに、データ構造フォーマット１５６を備えており、こ
のフォーマットは、プロセスに関連したパラメータの名
称、プロセスパラメータデータ構造体１５２にパラメー
タを記憶すべき順序及び各パラメータのフォーマットを
指定する。

各々のパラメータがフォーマットを有する理由は、その
成るものが単にテキストとして記憶され、他のものが整
数又は小数点数として記憶され、更に別のものがデータ
として又は別の特殊なフォーマットで記憶されるからで
ある。

エンジニアが設定するプロセス及びオペレータの制御プ
ロセスの両方には、特定のプロセスポインタ１５７があ
り、これは、特定のプロセスのパラメータ及びプロセス
名称データ構造体を指すのに使用される。この特定のプ
ロセスは、エンジニア設定プロセスによって設定される
か又はオペレータ制御プロセスによって実行するために
現在選択された（即ち、指定された）プロセスである。

第８図を説明すれば、測定データ構造体１６０は、予め
定められた各々のプロセスによって形成された測定値を
記憶するのに用いられる。概念的には、測定データ構造
体１６０は、９Ｘ９Ｘ９アレイの測定データ構造体を備
えている。実際に、各々のプロセスに対し、１つの測定
ファイル１６２があると共に、１組の生データ記録が別
のファイル１６４に含まれている。これら両方のファイ
ルは、対応するプロセスを用いて実行される各々のデー
タ収集に対して１つの記録を含む、又、ファイル１６２
の記録は、逆の時間的順序で保持され、即ち、最も最近
のテスト結果が最初の記録として記憶され、最も古い測
定値がファイルの最後の記録として記憶される。

第１のファイル１６２の記録は、プロセスを設定して実
行するのに用いられるパラメータ（即ち、プロセスを設
定するエンジニアとオペレータによって入力されたパラ
メータの値）と、平均抵抗率値、測定値の標準偏差及び
他の多数の統計学的パラメータを含むファイル１６２の
生の測定値から導出されたデータとを含んでいる。各フ
ァイル１６２には特定のプロセスが組み合わされている
ので、プロセスのパラメータの値は既知であり、システ
ムは、適当な深さへの各々の記録をインデックスするだ
けで各記録の終わりに（例えば、制御チャート及びヒス
トグラムを形成するために）績計学的な情報を直接アク
セスすることができる。

測定データファイル１６２のプロセス規定パラメータの
記録は、データを自動的に文書化すると共に、エンジニ
アによりデータベース管理プログラムを用いて詳細にデ
ータ分析を行なうことができる。

又、ファイル１６２の各記録は、その実行に対する生の
測定データが記録されたファイル及び記録を指定するフ
ァイル識別子も含んでいる。好ましい実施例では、各々
の生データ記録長さに対して個別の主測定ファイル１６
４がある。従って、１２１個のデータ点を発生する（即
ち、１２１ケ所においてウェハの抵抗率を測定する）全
てのプロセスに対する生のデータが１つのファイル１６
４に記憶され、２２５個の点を発生する全てのプロセス
に対する生のデータが第２のファイル１６４に記憶され
、等々とされる。このような機構を用いる理由は、一定
長さの記録ファイルを使用できることによって迅速なア
クセスを行なえると共に、可変長さの記録ファイルより
も設定が容易だからである。

エンジニアが設定する制御プログラム エンジニアが設定した制御プログラムを作用させて上記
したシステム構成にすることを以下に説明する。エンジ
ニアがシステムをスタートさせた時には、エンジニアに
は、オペレータと同じ初期導入スクリーン（表５に示す
）が提示される。

エンジニア設定制御プログラムへのアクセスは、コマン
ドラインの５ＥＴＵＰ　（設定）ボックスに触れ、所定
のパスワードを入力することによって得られる。この点
において、ディスク４０に記憶されたパラメータデータ
構造体がシステムメモリにロードされる。タッチスクリ
ーンに現われる次のスクリーンが表８に示されており、
これはＭＡＩＮ　ＭＥＮＵスクリーンと称する。

システム２０を使い易くするためのカラーの背景の一般
的な使い方によれば、好ましい実施例においてエンジニ
アモジュールに用いるディスプレイは黄色の背景を有し
、オペレータモジュールのディスプレイは緑色の背景を
有する。これは、システムを設定しているエンジニアが
、その時にモジュール２６又は２８のいずれを使用して
いるか分かるようにする。

タスクの選択 ＭＡＩＮ　ＮＥＮＵは、上記した本発明のダイナミック
メニュー特徴を用いている。このスクリーンは、ディス
プレイの中央領域に２つのメニュー表示領域を有してお
り、ここでは１本発明のダイナミックメニュー表示特徴
を用いて主メニュー項目と副次的なメニュー項目とが表
示される。右側領域に示された副次的なメニュー項目は
、ＴＥＳＴ　ＤＥＶＥＬＯＰＭＥＮＴと示されたグルー
プのタスクの一部分であるエンジニア設定タスクに対応
する。というのは、これはその時に指示されている主メ
ニュー項目だからである。

ＤＡＴＡ　ＭＡＮＡＧＥＭＥＮＴグループのタクスは、
単に、オペレータモジュールについて上記したものより
も分かり易い１組のデータ分析、データ編集及びデータ
操作ルーチンである。

ＳＹＳＴＥＭ　ＧＥＮＥＲＡＴＩＯＮグループのタスク
は、エンジニア設定モジュール、システムの日付及び時
間、システムの識別子、並びに他の多数の同様の機能に
アクセスできるようにするパスワードを定めるのに使用
される。

ＴＥＳＴ　ＤＥＦＩＮＩＴＩＯＮグループのエンジニア
タスクは、最も重要なものであり、これについては、以
下で詳細に述べる。このグループのタスクの実行を開始
するために、エンジニアは、５ＥＬＥＣＴコマンドボツ
クスに触れる。というのは、ＴＥＳＴ　５ＥＴＵＰタス
クが一般に最初に実行されるからである。システムは、
これに応答して、表９に示されたスクリーンを表示する
が、３つの中央のメニュー表示領域にはエンジニアが埋
めるためのブランク領域（又は最初の示唆例）がある。

ＣＡＢＩＮＥＴ、　ＤＲＡＷＥＲ及びＦＯＬＤＥＲ領域
は、スーパーグループ、グループ及びプロセス名もしく
はタイトルのために各々指定される。

オペレータの助言の　。

上記したダイナミックメニュー特徴を使用し、エンジニ
アは、彼が変更しようとするメニュー内の項目にアクテ
ィブなポインタを移動させる。これらの項目は１次のよ
うに変更される。当該項目を指すようにし、キーボード
で新たな項目をタイプした後に、キャリッジリターンに
よって新たな名称の終わりを示すだけで、新たな名称が
入力される。ＡＣＴＩＶＡＴＥボックスは、項目の状態
を利用可能な状態から利用不能な状態へそしてこれとは
逆に切り換えるのに使用される。利用できない項目は、
逆映像で表示される（表９には示さず）、エンジニアが
設定したディスクをオペレータが使用する時には、利用
できないプロセス及びグループがオペレータのディスプ
レイに単に現われないだけである。もちろん、プロセス
グループが作用不能にされた場合には、オペレータがそ
のグループのどのプロセスも選択できないので、そのグ
ループの全ての個々のプロセスが自動的に作用不能とさ
れる。

エンジニアによりプロセス名称スクリーン（表９）に対
して行なわれる全ての変更は、第６８図ないし第６ｃ図
を参照して上記したプロセス名称データ構造体１２０．
１３０及び１４０に表わされる。

エンジニアが全てのグループ及びプロセスの名称を企画
し直した場合には、全てのグループ及びプロセス名称を
一度に入力することによって表９のスクリーンを編集す
ることができる。その後、これらを任意に追加したり削
除したり或いは変更したりすることができる。上記した
ように、好ましい実施例で・は、エンジニアは、８１個
のグループと９個のスーパーグループとに編成された７
２９個までのプロセスを定めることができる。

ＵＰＤＡＴＥボックスは、変更されたプロセス名称デー
タ構造体をディスク４０に記憶するのに用いられる。

ＥＸＩＴボックスに触れることにより、エンジニアは、
表８に示す主メニュースクリーンに復帰することができ
る。

５ＥＬＥＣＴボツクスは、フォルダメニューにおいて指
示されたプロセスを定めたり変更したりするプロセスを
開始するのに用いられる。

ｉ入Σ勿久定 プロセス又はテストの名称が決定されると。

次のタスクはプロセスを定めることである。これを行な
うために、エンジニアは、表９に示すスクリーンの５Ｅ
ＬＥＣＴボツクスに触れる。

最初の問題として、エンジニア設定プログラムは、プロ
セスにより使用されるプロセス制御プログラムを選択す
ること（即ち、テストプログラムの形式を選択すること
）をエンジニアに尋ねる。

好ましい実施例では、　Ｃ０ＮＴＯＵＲＭＡＰ、　ＤＩ
ＡＭＥＴＥＲ３ＣＡＮ及びＱＵＩＣＫ　５ＣＡＮが選択
される。プロセス制御プログラムの選択により、第７図
について上記したようにプロセスに組み合わされるパラ
メータデータ構造体が決定される。

実行すべき次の段階は、パラメータの決定である。プロ
セス制御プログラムが選択されると、システムは、パラ
メータ入力としてオペレータによって使用される同じス
クリーン（表６及び７に示す）を表示するが、コマンド
ラインには別々のタスクが表示される。

表６に示すオペレータによるパラメータ入力スクリーン
と並列なものである表１０を参照すれば、エンジニアの
パラメータ決定スクリーンの上部に現われる助言／情報
ラインは、どのプロセスが作用しているかがエンジニア
に分かるように、設定されている特定のプロセスと、そ
れに関連したプロセス制御プログラムの名称とを指示す
る。

ナス１〜設定スクリーンは１次の２つの非常に重要な機
能をエンジニアによって実行することができる。１）各
々のパラメータが、４つの形式の状態、即ち、オペレー
タによって変更不能（一定値）、オペレータによって変
更可能（共通の欠乏値）、強制入力（プロセスを実行で
きるようにするためにオペレータが入力しなければなら
ない）、及び単一強制入力（プロセスを最初に使用する
時にオペレータが入力しなければならない）の１つを有
するものとして示す。そして２）固定のパラメータと、
オペレータが変更できるパラメータに対する欠乏値とを
入力する。これらのスクリーンにおけるパラメータの名
称は、設定されている特定のプロセスに関連したプロセ
ス制御プログラム（この場合は、　Ｃ０ＮＴＯＵＲＭＡ
Ｐ）に対して予め定められることに注意されたい。この
例では、エンジニアはこれらを変更することができない
。然し乍ら、もし所望ならば、エンジニアが任意のデー
タ形式パラメータを追加できるようにエンジニア制御プ
ログラムを構成できることを理解されたい。

テストの設定を行なうために、エンジニアは、カーソル
即ちポインタをスクリーンの各項目に位置設定し、ＣＨ
ＡＮＧＥに触れ、次いで、上下移動カーソル制御キーを
用いて値をタイプするか或いは各パラメータごとにプリ
セットされた選択により項目を切り換える。例えば、Ｎ
ＵＭＢＥＲＯＦ　５ＩＴＥＳのパラメータ（表７参照）
は、（例えば、下移動カーソルキーを用いるか、或いは
所望値が選択されるまでＣＩＩＡＮＧＥボックスを押す
ことにより）切り換えねばならない固定の１組の任意の
値を有している。

パラメータの値がセットされるか又は入力された後に、
０ＰＴＩＯＮボツクスを用いて、変更不能、オペレータ
変更可能、強制オペレータ入力車−強制オペレータ入力
の４つの入力を通じて切り換えが行なわれる。これら４
つの別々の任意選択体は。

パラメータ値を入力した時にオペレータによって見るこ
とのできる同じカラーコード（即ち、強制入力パラメー
タについては赤色、単一の強制入力パラメータについて
は黄色、オペレータが変更できるパラメータについては
青色そしてオペレータが変更できない固定値のパラメー
タについては黒色）を用いてエンジニアディスプレイに
表示される。

もし必要であるか又は所望される場合には、オペレータ
による入力を必要とする各々のプロセスパラメータが、
例えば、有効データ又はウェハ識別の入力のような有効
性のチエツクを受けることに注意されたい。エンジニア
は、補足的なテスト設定機能として、入力されるべきパ
ラメータ値又はデータに対して特定のフォーマント及び
／又は他の制約を確立することが許される。

パラメータ決定スクリーンに対してエンジニアが行なう
全ての変更は、第７図を参照して上記したパラメータデ
ータ構造体１５０に表示される。

両方のパラメータスクリーンについてのパラメータ（例
えば、表１０及び７を参照）が決定された後に、エンジ
ニアは、ＵＰＤＡＴＥボックスを用いて、変更したパラ
メータデータ構造体１５０をディスク４０に記憶するこ
とができる。

又、両方のパラメータスクリーンが定められた後に、第
３のスクリーン（図示せず）が与えられ、エンジニアは
、プロセスを用いる前にオペレータが読むためのメツセ
ージを書き込むことができると共に、オペレータによっ
て形成された制御チャートに含まれるべきウェハ作業の
回数を定めることができる。エンジニアは、７から３０
までの数字をＸとすれば、１）プロットすべき最後のＸ
回の実行か又は２）プロットすべき最後のＸ回からの実
行のいずれかを指定することができる。

上記の制御チャートの警報ゾーン（オペレータ制御プロ
グラムの区分における）は、パラメータ決定スクリーン
（表７参照）において定められることに注意されたい。

このテスト設定は１表９のスクリーンを用いてプロセス
を選択しそして５ＥＬＥＣＴボツクスの使用によってテ
スト決定機能を呼び出すことにより、構成された°プロ
セスの１つづつに対して行なわなければならない。これ
は、時間のか＼るタスクであるが、エンジニア設定プロ
グラムに含まれた馴染の深いツールを用いて単純なやり
方で非常に容易に実行できるものである。

プロセス決６の複写 再び表８を参照すれば、ＴＥＳＴ　ＤＥＶＥＬＯＰＭＥ
ＮＴタスクのＤＵＰＬＩＣＡＴＥ　（複写）タスクは、
多数のプロセスを設定することに伴う努力を相当に軽減
するためにエンジニアによって使用することができる。

このＤＵＰＬＩＣＡＴＥタスクが選択された時には、プ
ロセス選択スクリーンと同様のスクリーン（表９に示す
もののような）が現われるが、コマンドラインのタスク
は、５ＥＬＥＣＴ　５ＯＵＲ３Ｅ、　５ＥＬＥＣＴ　Ｄ
ＥＳＴＩ−ＮＡＴＩＯＮ、　Ｃ０ＰＹ　ＰＲＯＭＰＴ、
　Ｃ０ＰＹ　ＰＡＲＡＭ、Ｃ０ＰＹ　Ｐ＆Ｐ及びＣ０Ｐ
Ｙ　ＤＡＴＡである。

５ＥＬＥＣＴ　５ＯＵＲ３Ｅボツクスは、ユーザがコピ
ーしようとするフォルダ、ドロワー又はキャビネットの
選択に使用される。　５ＥＬＥＣＴ　ＤＥＳＴＩＮＡＴ
ＩＯＮボックスは５選択されたソース項目と同じメニュ
ーレベルにおいて１つ以上の項目を選択するのに使用さ
れる。次いで、コピーボックスの１つを用いることによ
り、対応するデータ構造体が選択されたソースから選択
された行き先（１つ又は複数）ヘコピーされる。Ｃ０Ｐ
Ｙ　ＰＲＯＭＰＴボックスを使用することにより、プロ
セスの名称及び利用状態のデータ構造体をコピーするこ
とができ、Ｃ０ＰＹ　ＰＡＲＡＭボックスを使用するこ
とによりパラメータデータ構造体がコピーされ、Ｃ０Ｐ
Ｙ　Ｐ＆Ｐボックスを使用することによりパラメータ及
びプロセス名並びに利用性のデータ構造体がコピーされ
そしてＣ０ＰＹ　ＤＡＴＡボックスを使用することによ
り測定データ構造体がコピーされる。

当業者に明らかなように、プロセス名及びパラメータデ
ータ構造体をコピーできることにより。

非常に多数の同様ではあるが若干具なるプロセスを設定
するのに必要な努力を大巾に低減することができる。

効果 以上のことから、本発明のシステム及び方法は、本明細
書の最初の部分で述べた全ての効果をエンジニアにもた
らすことが明らかであろう。特に、自動抵抗率テスト装
置の設定に関して本発明を用いる場合には、個々のパラ
メータ状態表示と利用状態表示とを各々有する多数のテ
ストプロセス形態を容易に且つ便利に設定するためのツ
ールがエンジニアに与えられることが明らかである。

この全ての設定努力の結果は、紛失や誤伝や誤解を招く
文書の収集によるのではなく当該データ構造体に記憶さ
れる。

更に、エンジニアは、ペーパ上のプロセス変更指示によ
るのではなくデータ構造体の値を直接変更することによ
りその構成されたいずれのテストプロセスも任意に変更
することができる。エンジニアがその前の構成の記録を
維持したい場合には、オペレータに関連したディスクの
１つにこれらを記憶することができるが、全てのプロセ
スグループは作用不能とされ、ディスクがオペレータに
よって誤って使用されることはない。これは。

それ自体、プロセス変更レベルの文書作成にしばしば伴
う「ペーパーワークの混乱」や、時代遅れの文書による
プロセス指示を用いるオペレータによって生じがちな過
ちを排除する。エンジニアが本発明のシステム及び方法
によってもたらされるツールを使用して慎重に操作する
場合には、オペレータに関連した全てのディスクは、そ
の時に適切であるプロセス構成のみが作用可能とされる
。

本発明のシステム及び方法は、多数のテストプロセスを
設定するという時間のかぎるタスクを回避するものでは
ないが、本発明のシステム及び方法によってもたらされ
るツールを使用するようにエンジニアがいったん学習す
ると、エンジニアによる設定タスクは、非常に効率的且
つ効果的に実行することができる。文書を保管するとい
うやっかいさをなくすと共に、本発明のシステム及び方
法を用いることによって操作を便利に自信をもって行な
えることにより、コンピュータ制御式のテスト機能をよ
り広範囲に効果的に利用することが促進される。

廻９」Ｕ１鍬 本発明は、幾つかの特定の実施例について説明したが、
この説明は、本発明を解説するものであって１本発明を
これに限定するものではない。

特許請求の範囲に規定された本発明の新の精神及び範囲
から逸脱することなく多数の種々の変更が行なえること
が当業者に明らかであろう。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明によるプロセス制御システムのブロッ
ク図、 第２図は、本発明のダイナミックメニューの考え方を示
すフローチャート、 第３図は、輪郭マツプを示す図、 第４図は、好ましい実施例において抵抗率輪郭マツププ
ログラムによって形成された３次元ウェハ抵抗率マツプ
を示す図。 第５図は、本発明の好ましい実施例によって形成された
単一の選択されたプロセスに対する傾向を示すプロット
、 第６ａ図ないし第６ｃ図は、プロセス名を記憶するのに
用いられるプロセス名称データ構造体を示す図、 第７図は、好ましい実施例においてプロセスを定めるの
に使用されるパラメータデータ構造体を示す図、そして 第８図は、測定データ及び関連情報を記憶するのに用い
られるデータ構造体を示す図である。 ２０・・・システム ２２・・・物理的な処理システム ２４・・・コンピュータベースの制御システム２６・・
・エンジニア設定モジュール ２８・・・オペレータモジュール ３０・・・プロセス制御プログラム ３２・・・中央処理装置 ３４・・・キーボード ３６・・・ディスプレイ装置 ３８・・・プリンタ　　４０・・・磁気ディスク４２・
・・データ構造体

Claims (14)

【特許請求の範囲】
1. （１）ディスプレイを有するプログラム式のデジタルコ
   ンピュータを使用して、このプログラム式のデジタルコ
   ンピュータで制御することのできる１組の所定のタスク
   から１つのタスクを選択する方法において、 ａ）上記プログラム式のデジタルコンピュータで制御す
   ることのできる複数のグループの所定のプロセスを確立
   し、各々のグループは、所定の１組の構成プロセスを有
   し、 ｂ）各々のプロセスに対するプロセス名と、各々のグル
   ープに対するグループ名とを確立し、ｃ）上記プログラ
   ム式のデジタルコンピュータによって実行することので
   きるタスクであって上記プロセスのうちの選択されたプ
   ロセスに関連したタスクを含んでいるような１組のタス
   クを確立し、 ｄ）各々の上記タスクに対するタスク名を確立し、 ｅ）上記所定のプロセスのいずれかを実行する時に上記
   コンピュータによって受け取ったデータを記憶するため
   のデータ構造フォーマットを確立し、 ｆ）上記ディスプレイに、別々のメニューを各々表示す
   るための少なくとも２つのメニュー表示領域を画成しそ
   して各々のメニュー表示領域に対し、対応するメニュー
   表示領域内の１つの項目を指示するための可動のポイン
   タを確立し、ｇ）上記ディスプレイにタスク表示領域を
   画成し、 ｈ）上記メニュー表示領域の第１の領域に上記グループ
   名のメニューを、上記メニュー表示領域の第２の領域に
   １つの上記タスクグループのうちの少なくともサブセッ
   トの構成タスクのタスク名のメニューを、そして上記タ
   スク表示領域に少なくとも複数の上記タスク名を各々同
   時に表示しｉ）上記第１メニューポインタが上記第１メ
   ニュー内で１つの項目から別の項目に移動するのに応答
   して、上記第１メニューにおいて上記ポインタによって
   指示されたグループ名に対応するプロセス名を表示する
   ように上記第２メニューを自動的に更新し、 ｊ）上記第２メニューポインタが上記プロセス名の１つ
   を指すまで上記ポインタを移動させ、ｋ）上記表示され
   たタスク名の１つを選択するのに応答して、選択された
   タスク名に対応するタスクを実行し、 第１の上記タスクは、第２のメニューポインタの現在位
   置に対応するプロセスの実行を開始するタスクであり、
   そして 第２の上記タスクは、第２のメニューポインタの現在位
   置に対応するプロセスの以前の使用中に収集したデータ
   に基づいて所定のデータ管理タスクを実行するタスクで
   あることを特徴とする方法。
2. （２）第３の上記タスクは、複数の上記プロセスを選択
   すると共に、各々の上記選択されたプロセスに対して収
   集されたデータに基づいて所定のデータ管理タスクを実
   行するタスクである特許請求の範囲第１項に記載の方法
   。
3. （３）上記所定のデータ管理タスクは、上記プロセスの
   多数回の使用にわたり各々の上記プロセスに対して予め
   選択された測定値をプロットするタスクであり、これに
   より、上記測定値の傾向を検出すると共に上記測定値を
   比較するための可視的なツールがユーザに与えられる特
   許請求の範囲第２項に記載の方法。
4. （４）上記所定のデータ管理タスクは、上記プロセスの
   多数回の使用にわたり上記プロセスに対して予め選択さ
   れた測定値をプロットするタスクであり、上記測定値の
   傾向を目で検知できる特許請求の範囲第１項に記載の方
   法。
5. （５）第３の上記タスクは、上記プロセスの多数回の使
   用にわたり上記プロセスに対して予め選択された測定値
   のヒストグラムを形成するタスクである特許請求の範囲
   第４項に記載の方法。
6. （６）相互に作用するコンピュータ制御の実行を行なえ
   るようにするためのオペレータ制御プログラムを確立す
   る段階を更に具備し、これは、上記第２のメニュー表示
   領域のための上記ポインタが対応するプロセスの名称を
   指すまで上記可動なポインタを移動することによって上
   記指定のプロセスの１つを選択し、そして 選択された１つの上記タスクの実行を開始するという段
   階より成る特許請求の範囲第１項に記載の方法。
7. （７）ａ）１組の予め定められたパラメータが各々組み
   合わされた１組のプロセス制御プログラムを確立し、 ｂ）各々の上記プロセス制御プログラムに対してパラメ
   ータデータ構造フォーマットを定め、これは、 一定値をもつオペレータが変更できないパラメータ、欠
   乏値をもつオペレータが変更できるパラメータ、又はプ
   ロセスを実行する前に値を入れねばならない強制オペレ
   ータ入力パラメータとして上記予め定めたパラメータの
   各々を指示するためのパラメータ指示手段と、 上記予め定められた各々のパラメータに対し値を記憶す
   るためのパラメータ値記憶手段とを含み、そして ｃ）互いに作用してコンピュータ制御で実行できるよう
   にするエンジニア設定の制御プログラムを確立し、これ
   は、 上記プロセス制御プログラムの特定の１つに対する上記
   パラメータデータ構造フォーマットに基づいてパラメー
   タデータ構造体を多数の指定の各プロセスごとに記憶し
   、 エンジニアが設定するものとして上記プロセスの１つを
   指定し、 上記指定のプロセスに対する上記パラメータデータ構造
   体のパラメータ指示手段に、オペレータが変更できない
   パラメータ、オペレータが変更できるパラメータ又は強
   制オペレータ入力パラメータとして各々の上記予め定め
   られたパラメータを指定するための値を入力し、そして 上記指定のプロセスに対する上記パラメータデータ構造
   体のパラメータ値記憶手段に、上記オペレータが変更で
   きないパラメータに対する一定値と、上記オペレータが
   変更できるパラメータに対する欠乏値とを入力すること
   より成り、 ｄ）更に、互いに作用してコンピュータ制御で実行でき
   るようにするためのオペレータ制御プログラムを確立し
   、これは、 上記指定のプロセスの１つを選択し、 上記選択されたプロセスに対し上記記憶されたパラメー
   タデータ構造体を利用し、上記選択されたプロセスに対
   し上記オペレータが変更できるパラメータ及び強制オペ
   レータ入力パラメータのための値を入力し、そして 上記選択されたプロセスに対応する全ての強制オペレー
   タ入力パラメータの値が入力された後にのみ上記選択さ
   れたプロセスに対応するプロセス制御プログラムを実行
   することより成る特許請求の範囲第１項に記載の方法。
8. （８）上記多数の指定のプロセスの各々に対しプロセス
   選択データ構造体を定めて記憶するという段階を更に具
   備し、この段階は、 上記プロセスに対する予め選択されたプロセス名を記憶
   するためのプロセス名手段と、 対応するプロセスの実行が可能であるか不能であるかを
   示すプロセス利用状態指示手段とを含み、更に、 エンジニアが設定する制御プログラムを確立する上記段
   階は、互いに作用してコンピュータ制御で実行できるよ
   うにすることを含み、これは、上記指定のプロセスに対
   するプロセス選択データ構造体のプロセス名手段に上記
   指定のプロセスの名称を入力し、そして 上記指定のプロセスに対するプロセス選択データ構造体
   のプロセス利用状態指示手段に上記指定のプロセスの実
   行が可能であるか不能であるかを指定する値を入力する
   という段階を含み、更に、上記プロセスの１つを選択す
   るという上記段階は、 上記プロセス名を表示し、そして 対応するプロセス利用状態指示手段にプロセスが実行で
   きることを示す値を有している上記プロセスの１つを選
   択することより成る特許請求の範囲第７項に記載の方法
   。
9. （９）表示領域を確立する上記段階は、上記コンピュー
   タディスプレイに３つの別々のメニュー表示領域を形成
   し、上記方法は、更に、 複数のスーパーグループのプロセスを確立し、各々のス
   ーパーグループは、上記予め定められたプロセスのグル
   ープを少なくとも１つ含み、各々の上記スーパーグルー
   プに対してスーパーグループ名を確立し、 上記メニュー表示領域の第３の領域に上記スーパーグル
   ープ名のメニューを同時に表示し、上記第３のメニュー
   表示領域における上記ポインタの位置変化に自動的に応
   答して、上記第１メニューを自動的に更新し、上記第３
   メニューにおいて上記ポインタによって指示されたスー
   パーグループ名に対応するグループ名を表示するという
   段階を備えた特許請求の範囲第１項に記載の方法。
10. （１０）上記プロセスの指定の１つを実行する間に、上
    記指定のプロセスに対する上記データ構造フォーマット
    に基づいて測定データを収集及び記憶する段階を更に具
    備し、 上記データ構造フォーマットは、これに記憶されたデー
    タを発生するのに用いるプロセスを指示する識別子を含
    み、そして 上記データ管理タスクは、上記識別子を読み込み、上記
    データ管理タスクの範囲を、１つ以上の指定のプロセス
    を用いて収集したデータに限定するための手段を含む特
    許請求の範囲第１項に記載の方法。
11. （１１）プログラム式のデジタルコンピュータを用いて
    プロセスを制御する方法において、ａ）動作を行なうに
    必要な１組の所定のパラメータが各々組み合わされた１
    組のプロセス制御プログラムを確立し、 ｂ）各々のプロセス制御プログラムに対してパラメータ
    データ構造体を定め、これは、 一定値をもつオペレータが変更できないパラメータ、欠
    乏値をもつオペレータが変更できるパラメータ又はプロ
    セスを実行する前に値を入れなければならない強制オペ
    レータ入力パラメータとして上記所定のパラメータの各
    々を指示するパラメータ指示手段と、 各々の上記所定のパラメータに対する値を記憶するため
    のパラメータ値記憶手段とを含み。 ｃ）各々の上記プロセス制御プログラムに対して測定デ
    ータ構造体を定め、これは、 上記プロセスの使用中に測定した１つ以上の測定値を記
    憶するための測定値記憶手段と、上記測定値記憶手段に
    記憶されるデータを発生するのに使用するプロセスを示
    すためのプロセス指示手段とを含み、 ｄ）エンジニア設定制御プログラムを確立し、これは、 上記プロセス制御プログラムの指定の１つに対する上記
    パラメータデータ構造フォーマットに基づいてパラメー
    タデータ構造体を多数の指定の各プロセスごとに記憶す
    る手段と、 指定のプロセスに対する上記パラメータデータ構造体の
    上記パラメータ指示手段に、オペレータが変更できない
    パラメータ、オペレータが変更できるパラメータ又は強
    制オペレータ入力パラメータとして上記所定のパラメー
    タの各々を指定する値を入力するためのパラメータアク
    セス手段と、指定のプロセスに対する上記パラメータデ
    ータ構造体の上記パラメータ値記憶手段に、オペレータ
    が変更できないパラメータとしての一定の値と、オペレ
    ータが変更できるパラメータとしての欠乏値とを入力す
    るための値設定手段とを備え、ｅ）更に、オペレータ制
    御プログラムを確立し、これは、 上記エンジニア設定制御プログラムによって定められ記
    憶されたプロセス及びそれに対応するパラメータデータ
    構造体を選択するためのオペレータプロセス選択手段と
    、 上記選択されたプロセスに対する上記記憶されたパラメ
    ータデータ構造体を用いて、上記選択されたプロセスに
    対するオペレータが変更できるパラメータ及び強制オペ
    レータ入力パラメータの値をオペレータが入力できるよ
    うにする値入力手段と、 上記選択されたプロセスに対応する全ての上記強制オペ
    レータ入力パラメータの値が入力された後にのみ上記選
    択されたプロセスに対応するプロセス制御プログラムを
    実行できるようにするプロセス実行可能化手段と、 上記選択されたプロセスの前回の使用中に収集されたデ
    ータに基づいて所定のデータ管理タスクを実行するデー
    タ処理手段とを含んだことを特徴とする方法。
12. （１２）上記多数の指定のプロセスの各々に対し、プロ
    セス選択データ構造体を定めて記憶する段階を更に具備
    し、これは、 上記プロセスに対する予め選択されたプロセス名を記憶
    するためのプロセス名手段と、 対応するプロセスの実行が可能であるか不能であるかを
    示すプロセス利用状態指示手段とを含み、更に、 エンジニア設定制御プログラムを確立する上記の段階は
    、指定のプロセスに対する上記プロセス選択データ構造
    体の上記プロセス利用状態指示手段に、上記指定のプロ
    セスの実行が可能であるか不能であるかを指定する値を
    入力するための利用状態設定手段を確立することを含み
    、 オペレータ制御プログラムを確立する上記の段階で確立
    された上記オペレータプロセス選択手段は、対応するプ
    ロセス利用状態指示手段にプロセスが実行可能であるこ
    とを示す値を有しているプロセスのみにプロセスの選択
    を制限する手段を備えている特許請求の範囲第１１項に
    記載の方法。
13. （１３）上記多数の指定のプロセスの実行に対して種々
    のオペレータクセスを行なえるようにするものであって
    、 上記エンジニア設定制御プログラムは、複数の個々のオ
    ペレータに関連したポータブル式の不揮発性記憶手段の
    各々に、上記複数の各々のプロセスに対するパラメータ
    データ構造体及びプロセス選択データ構造体を記憶する
    ための手段を備えており、更に、 上記方法は、多数のプロセスに対する上記パラメータ及
    びプロセス選択データ構造体を上記オペレータに関連し
    たポータブル式の不揮発性記憶手段の１つから読み取っ
    て記憶する段階を備え、上記パラメータ及びプロセス選
    択データ構造体は、その後、上記エンジニア設定制御プ
    ログラム及び上記オペレータ制御プログラムの両方によ
    って使用することができ、 上記方法は、更に、選択されたプロセスの実行中に、上
    記プロセスの実行を定めて制御するのに用いるものと同
    じオペレータに関連したポータブル式の不揮発性記憶手
    段に測定データを記憶する段階を備え、これにより、 上記オペレータに関連したポータブル式の不揮発性記憶
    手段に記憶されたプロセス選択データ構造体の上記プロ
    セス利用状態指示手段は、上記オペレータ制御プログラ
    ムによって用いるように各々の上記プロセスの利用状態
    を制御し、 オペレータに関連した各々の不揮発性記憶手段に記憶さ
    れた上記パラメータ及びプロセス選択データ構造体は、
    上記エンジニア設定制御プログラムによって容易に且つ
    迅速に再構成することができる特許請求の範囲第１２項
    に記載の方法。
14. （１４）コンピュータディスプレイ装置を有するプログ
    ラム式のデジタルコンピュータを使用するプロセス制御
    システムにおいて、 上記プログラム式のデジタルコンピュータで実行するこ
    とのできる所定のプロセスの複数のグループ（各々のグ
    ループは、所定の１組の構成プロセスを有する）を定め
    ると共に、上記グループのグループ名を定めるグループ
    形成手段を具備し、更に、複数の個々のプロセスを定め
    ると共に、少なくとも１つの上記グループに各々関連し
    た上記プロセスのためのプロセス名を定めるプロセス形
    成手段を具備し、 更に、上記プログラム式のデジタルコンピュータによっ
    て実行することのできる１組のタスクであって選択され
    たプロセスに関連したタスクをふくむような１組のタス
    クを定めると共に、各々のタスクに対するタスク名を定
    めるタスク形成手段を具備し、 更に、上記所定のプロセスのいずれかを実行する時に発
    生された測定データを記憶するためのデータ記憶手段を
    具備し、このデータは、上記測定データを発生するため
    に使用するプロセスを識別する識別子を含んだ所定のデ
    ータ構造フォーマットに基づいて記憶され、 更に、上記プロセスのうちの１つ以上の所定のプロセス
    に対して記憶された測定データに基づいて所定のデータ
    分析タスクを実行するデータ分析手段を具備し、 更に、多数のメニュー項目と、個々のメニュー項目を指
    すように選択的に位置設定できる関連ポインタとを各々
    表示することのできる少なくとも２つの別々のメニュー
    表示領域を上記コンピュータディスプレイ装置に確立す
    ると共に、タスク表示領域を上記ディスプレイに確立す
    るスクリーン形成手段を具備し、 更に、上記メニュー表示領域の第１の領域に、少なくと
    も複数の上記グループ名と、上記表示されたグループ名
    の１つに位置設定された上記関連ポインタとを表示し、
    上記メニュー表示領域の第２の領域に、上記タスクグル
    ープの１つに対応する少なくとも副組の所定のプロセス
    のプロセス名のメニューを表示し、そして上記タスク表
    示領域に少なくとも複数の上記タスク名を表示し、更に
    、上記第１メニュー表示領域の上記ポインタが新たなグ
    ループ名を指すように移動するのに自動的に応答して、
    この指示された新たなグループ名に関連した所定のプロ
    セスの上記グループの少なくとも一部分を表示するよう
    に上記第２メニュー表示領域を変更するという各々の動
    作を同時に実行する表示手段を具備し、 更に、互いに作用するコンピュータ制御で実行を行なえ
    るようにするオペレータ制御手段を具備し、これは、 上記プロセスの１つを選択するように上記ポインタを使
    用し、そして 上記タスク表示領域にリストされた上記タスクの１つを
    選択するという段階を備え、 上記タスクは、上記データ分析手段を用いて、上記プロ
    セスの多数回の使用にわたり上記プロセスの選択された
    １つに対する予め選択された測定値をプロットするとい
    うタスクを実行することを含み、これにより、 上記測定値の傾向を検知すると共に、上記測定値を比較
    するための可視的なツールがユーザに与えられるように
    したことを特徴とするプロセス制御システム。