JPS6338115A - 流量計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は広義的には流体流動分野、及びその流量調整、
制御装置に関する。さらに狭義的に特定実施例において
は、種々の酸、溶剤、及び脱イオン水等の腐蝕性液体の
流量を制御したり、調整したりする技術に関する。本発
明による好ましい実施例では、流れが装置を通ることを
正確に確かめるだめの機構提供し、その結果所望のパラ
メータに対応して流量を計量できるようにする。

〔従来技術と問題点〕

流体流量の調整は産業において実行された必須の段階で
ある。

例えば種々の苛性アルカリや腐蝕性酸は種々の集積回路
装置の製造に用いられる。即ち、運ばれる種々の酸の量
を知ることは特に重要であり、従って正確に流量を測定
することは重大なことである。

又、集積回路跡を腐蝕する際、使用される化学薬品の性
質により、化学薬品を貯蔵したり、運搬したりする装置
は、上記システムの種々の構成要素に化学薬品が触れた
場合発生する可能性のある腐蝕や劣化に対し不浸透性で
なければならない。

劣化に対して不浸透性でないシステムにおいて本来の危
険性は明らかである。

本発明はこれら従来技術の口述に特に鋭敏である。即ち
本発明は、従来技術により要求された望ましい特徴に対
して向けられている。

本発明はその測定値が特に正確な流量計である。

又その構造様式により、使用され得る苛性アルカリ化学
薬品に対し不活性である。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は、その本体を通って軸方向に形成される通路を
有する計量チューブを含む流量計である。

通路の一端は流量計の排出口としての機能を持ち、流量
計を通過する流体はこの口を介して出る。計量チューブ
にはその軸方向両端から中間の位置に上記通路と交差す
るオリフィスが設けられる。さらに本発明は軸方向にボ
アを形成した覗きチューブを有する。ボアはオリフィス
が閉塞されない状態において計量チューブの通路と流体
連通状態にある。覗きチューブのボアは、チューブに沿
って軸方向移動するように配置された流量検出素子を収
納する。この流量検出素子は覗きチューブと計量チュー
ブとの交差点から離れた地点に向かって偶奇される。ボ
アに対する検出素子の大きさや空間的関係は検出素子が
オリフィスに臨接するボア端部に近づくと、より多くの
量の流体が、流量検出素子とボアを形成する壁面との間
の環状空間を通過せしめられるようになっている。弁部
材は、通路内に配置されてその軸方向で択一的、かつオ
リフィスを横切るように位置決めする。従って、流量計
を通る流体流動は弁部材の位置を調節することにより調
整される。流動を可能ならしめるオリフィス部分の大き
さを増大、或いは減少させるように弁部材が調整される
時、ボアに沿った流量検出素子の位置が変わる。弁部材
がオリフィスを通過する流体の流量を増やすように位置
された時、流量検出素子は流体流動により、オリフィス
にし臨接するボアの端部に向けて押しやられる。さらに
流量調整後、素子が安定する流量検出素子の軸方向位置
に依存する流量計通過流体の容量レベルを確認する手段
が設けられる。

好ましい実施例においてオリフィスは円形である。弁部
材の先鋒は通常、直線となっており先縁がオリフィスを
横切る場合、円形オリフィスに対し一本の弦を形成する
。先縁は弁部材が動く軸線に対しほぼ垂直になることが
企図される。

明白ではあるが、オリフィスが流体流動を可能ならしめ
るため初めに開かれると、非常に少さな領域のみが露出
される。しかしながら弁部材が引っ込み、同じ特性の直
線距離が増加すると、流量は先の同−距離引き込みにお
けるそれよりも大きくなる。従って計量調整においてさ
らなる識別がなされ得る。覗きチューブには、そのボア
の大径部が計量チューブと覗きチューブの交点に一層近
づくことが可能なようにじょうご状のボアを設けること
ができる。この論述から明らかなように、流量を決定す
る流量検出素子の直径寸法を一定にし、オリフィスの大
部分を露出するように弁部材を引き込めると、それに対
応して流量計を通過する流量は増加するため、流量検出
素子はオリフィスに向かう方向に押し立てられ、覗きチ
ューブ内での流量検出素子周りの大なる環状域はチュー
ブを通る流体の容量を増大せしめることになる。従って
、オリフィスに一層近く流量検出素子の軸方向位置をと
ると、オリフィスから少し離れた距離をおいたそれより
も大きな流量を示すことになる。

覗きチューブには連続した表示目盛が設けられる。流計
量チューブ内で弁部材を軸方向に動かすことで流量が調
節された時、種々の表示に対しての流量検出素子の位置
を見ることにより流量を確認することができる。いかな
る特定の覗きチューブ、流量検出素子の組合わせに対し
ても、ある表示での素子位置がある容積流量値を示すよ
うに流量計の目盛りを決めることができる。

この開示から明らかなことであるが、流量検出素子は必
然的にボアを画成する壁面に近接するように維将されな
い。その結果、もしボアと共軸状な関係を維持するよう
な処置が施さなければ検出子はボアとの共軸関係から解
除されて自由になる可能性がある。即ち、不正確な測定
となる。

しかしながら本発明はボアと共軸を成し、流量軸状の関
係を維持することができる。

苛性アルカリ酸による劣化に対し不浸透性の流量計を作
るための材料から種々の成分が形成され得る。例えば計
量チューブや流量検出素子の一実施例はテフロン（商標
）から形成することができる。本発明のその他の実施例
として、完全なステンレス鋼か、或いはステンレス鋼と
テフロン（商標）の組合わせのどちらかによって流量検
出素子を形成することも可能である。覗きチューブはＰ
ＦＡテフロン（商標）から作ることができる。

従って本発明は流体、特に流量計を形成する特定の材料
と容易に化学反応する特定の液体について使用可能な流
量計を改善することにある。流量計の構造により、それ
を通過する流体流れのかなり正確な読みを提供する。よ
り多くの特徴、及びこれらの特徴から得られる利点は実
施例、請求の範囲、添付図面を参照することで明らかに
なる。

〔実施例〕

複数の図面を通して同様の要素を同様なる参照番号で示
す図面を参照すれば、第１図は本発明の流量計１０をプ
レート又は壁１２に据え付けた状態を示す。流量計１０
は上・下据え付は具を有し、上据え付は具は後述する計
量チューブ１８より延びる。下据え付は具１６は覗きチ
ューブ２２を据え付けるエルボ２０部分を有する。

各据え付は具は据え付けのためにねし込みボス１４　、
１６を備え、それらは対応する穴２４　、２６を介して
プレー）１２内に延びる。第１図にはボス１４゜１６内
に内ねじ穴２８　、３０が示され、夫々、外ねし人口チ
ューブ継手、外ねし出口チューブ継手（図示せず）を受
容する。締め付はナラ）３２．３４はボス１４　、１６
上に設けられる。チューブ継手はボス１４゜１６の中に
ねじ込まれ、ナラ）　３２　、３４が堅固に締着される
。除々に締着力を強めると、それに比例して増大した圧
力がチューブ端部に課せられ、適合ボス１４　、１６内
でしっかりと保持することができる。

流量計１０の作動部分は、前述したように好ましい実施
例において、据え付はプレート１２に流量計１０を固着
する上据え付は具と一体で形成される計量チューブ１８
を含む。計量チューブ１８はその中にチューブ１８の長
手軸に、通常共軸なる通路を形成する。通路は第一に細
い部分３６と、第２に半径方向に拡張された部分３８と
を有する。

弁部材４０は通路部分３８の軸線に沿って択一的に動け
るように拡張された通路部分３８内に受容される。この
移動は、据え付はプレート１２から離れた計量チューブ
１８端部より延びる弁部材４０端部に固着した刻み付き
ノブ４２を回転することにより達成される。弁部材４０
への刻み付きノブ４２の固着はねじ４４によってなされ
、その頭部はねじ４４が締め込まれた時、ノブ４２の溝
４６の中に受容される。

内部に内ねじチャンネル５０を形成したプラグ４８はプ
レート１２から離れた計量チューブ１８端部を閉塞する
。そのチャンネル５０は、それを通過して延びる弁部材
４０の外ねし部分５２と同様の寸法を以ってこれと螺合
する。プラグ４８は締め込まれ、定位置に保持されて据
え付はプレート１２から離れた計量チ豊−プ１８端部を
閉塞する。

通路３８に沿う弁部材４０の軸方向移動は、プラグ４８
より通路３８の内外へ部材４０を出入れすることによっ
てなされる。

シール５４はプラグ４８によって定位置に保持され、流
量計１０によって計量される流体のいかなる洩出をも防
止する。シール５４は肩部５８となる半径方向に拡張さ
れた部分５６を有し、プラグ４８が端部を閉塞すべ（通
路３８内方へねし込まれた時、肩部５８は通路３８内部
の軸方向に対向する肩部６０と接触係合する。シール５
４の半径方向拡張部分５６は、プラグ４８が完全に締め
込まれた時、シール５４の肩部５８が通路３８を成す内
壁により形成された肩部６０と係合することにより定位
置にしっかりと保持されるような軸方向寸法を有する。

第１図から明らかなように、据え付はプレート１２に最
も近いバルブ４０の端部は、すべての位置で同じ大きさ
である通路３８直径に近似した直径を有する。その結果
、弁部材４０は通路３８を実質的に封止し、弁部材４０
を超える軸方向流れを阻止する。

計量チューブ１８は、チューブ１日側方から通路３８に
向かって接近する内ねし孔６２を有する。

次に孔６２は、弁部材４０の閉塞部分６６と同じ大きさ
である通路位置で通路３８と交差するオリフィス６４を
介し、通路３８と流体連通する。この関係により、弁部
材４０がオリフィス６４を完全に覆う位置にある時弁部
材４０は、オリフィス６４を介する通路３８への流体連
通を阻止することが可能となる。

覗きチューブ２２はその上端部によって、オリフィス６
４を介して通路３８と連通ずる孔６２にねじ込み整合さ
れる。覗きチューブ２２の下端部は、下継手を有するエ
ルボ２０に整合される。

覗きチューブ２２にはチューブ２２の対向する端部間で
延びるボア６８が形成される。ボア６８の下端部はエル
ボ２０の直角チャンネル７０と連通し、ボア６８の上端
部はオリフィス６４を介して計量チューブ１８の通路３
８と連通ずる。その結果、入口継手から出口継手までの
連続したチャンネルが形成され、少くともオリフィス６
４の一部が閉塞されない地点まで弁部材４０が引き込ま
れた時、上記チャンネルを通る流体流動が可能となる。

ボア６８には第１図に示すようにテーパが付けられ、計
量チューブ１８と整合する覗きチューブ２２端部で一層
大きな径を有する。流量検出素子７２は、ボアに沿って
軸方向に動けるようにボア６８内に置かれる。代表例と
して流量計１０は、計量チューブ１８の延長軸がほぼ水
平に向き、覗きチューブ２２の延長軸がほぼ、垂直に向
くように方向付けられる。そのように流量計１０を方向
付けすると、流量検出素子７２は下方に偶奇されること
が理解されよう。図に示す実施例においては、流量検出
素子７２は重力により下方に偶奇される。

しかしながら流量計１０のその他の配向も想定している
ことが理解されよう。多分、それでも計量チューブ１８
から離れる方向に流量検出素子７２を偶奇することが採
用されるが、そのような配向が実行された時、他の偶奇
方法が用いられるであろう。

流量を決定する流量検出素子の直径７４又はフロート７
２は、第３図擬似線７４′で示したようにその直径が本
発明の一実施例から他の実施例へと変更し得るものだと
しても、ボア６８の内径より小さい。これは、フロート
７２が最も小さな内径断面であるボア６８底部に近い位
置にある時でさえも真実である。ボア６８と共軸状にフ
ロート７２を保持するためには従って、ロッド７６をガ
イドとして使用することができる。その際ロッドア６は
、ボア６８の軸線上に置かれ、フロート７２の中央の孔
７８を通過する。

口・ノド７６は下据え付は具を有するエルボ２０内のチ
ャンネルの壁８０の中に据え付けられる。

ロッド７６は、フロート７２が覗きチューブ２２の全長
に沿って実質上、自由に動けるような長さを持つ。ロッ
ドア６の上端には流量検出素子７２がロッド７６から外
れないようにするため、孔７８より大きなど一ド８２が
形成される。

使用の際、第１図に示す流量計１０が据え付はプレート
１２に固着される時、弁部材４０は一般にオリフィス６
４を完全に閉塞する位置にある。

入口チューブ及び出口チューブは、流量計１０がプレー
ト１２に据え付けられた後に夫々のボス１４　、１６に
整合され、据え付はナツト３２　、３４が締め込まれる
。流体システムの弁（図示せず）は、流量計１０へ定常
圧で流体を流動させるため開放され得る。計量は、その
次に刻み付ノブ４２を操作し、通路３８内で弁部材４０
がオリフィス６４の少くとも一部が覆われない初期地点
まで撤退することにより達成される。

第１図には据え付はプレート１２に最も近い平面８４を
有する弁部材４０が示されている。従って、弁部材４０
の前方端縁部は円形オリフィス６４に対し一本の弦のよ
うに機能する。従ってオリフィス６４の非閉塞部分は初
め三日月に類似した形状を呈する。弁部材４０がオリフ
ィス６４を−ｉ露出するように引き込まれると、弁部材
４０の前方端縁部によって形成される弦はオリフィス６
４を一層露出するように横切るようになる。

この開示から明らかなように、流量計１０を介して可能
となった初期流動は比較的小さい。例えば仮りに最初に
露出されるオリフィス６４の寸法が０．００５インチ（
約０．１３０）とすると、ある程度の流れが導かれる。

仮りに弁部材４０がさらに０．００５インチ（約０．１
３ｍｍ）引き込まれると、さらなる流動量が導入される
が、その量は２つ以上の要因によって初期容量を超える
ものになる。これは弁部材４０の移動方向に対し横断す
る方向において、覆われないオリフィス６４の増えた部
分の寸法が、最初に露出された部分の寸法よりも大きい
ことを意味する。従って、流量を調整及び制御する際、
さらなる区別が実行され得る。即ち、より小さい調整に
よって所望の流量変化が可能になる。

前述したように覗きチューブ２２のボア６８は、フロー
ト７２がボア６８内を上方に移動するにつれ半径方向外
方へ張り出ている。その結果、流動が起こるフロート７
２周りの環状空間８６の断面域は、フロート７２がチュ
ーブ２２内を上昇するに従って、一層大きくなる。弁部
材４０を通路３８内で一層引き込ませることでより多く
の流れが導かれると、ボア６８を通過する流れがオリフ
ィス６４を一層露出した結果、実際に導かれるであろう
流量に近づくように増加した流れはフロート７２を上昇
せしめる。

明白ではあるがその際、調整ノブ４２操作によって弁部
材４０の引き込みに対応したフロート７２の位置は、流
量計１０を通る実際の流動容量と相互関係を持つ。特定
の流量計には、覗きチューブ２２のボア６８を形成する
壁がいかに傾斜していてもチューブ２２内のフロート７
２のどんな位置に対しても実際の流量が表に作られるよ
うに目盛がつけられる。目盛８８は覗きチューブ゛２２
に刻み目をつけることにより特定の流量レベルを指示す
るように印付けされる。第１図に示す実施例は、チュー
ブ２２に沿って等間隔に置かれた目盛８８を示している
。目盛８８に対するフロート７２周置を強調するため、
覗きチューブ２２の周囲部に当て紙（図示せず連結るこ
とも可能である。

弁部材４０の引き込みに対応するフロート７２の位置に
影響を及ぼすもう一つの要因はフロート７２の重量であ
る。・即、ラフロート重量を変えることができる。仮り
にそれを重く形成すると、流量計１０の限界を超えない
で一層大なる流動を確かめることが可能となる。又、覗
きチューブ２２のボア６８を形成する内壁に特定の傾斜
角を持たせた流量計１０を、特定のフロート７２と組み
合わせて目盛り付けし、どんな特定位置のフロート７２
によっても流量を知られるようにすることも可能である
。

第４図に、覗きチューブ直径傾斜とフロートの種々組合
わせに対する一連のカーブ９０　、９２　、９４を示す
。一番左のカーブ９０は−ｎＷ度の高い流量計１０を示
す。その流量はフロート７２が目盛１から目盛１０まで
上昇する際、水５０ｃｃ／分から水４００ｃｃ／分の間
でのみ変化する。故に、比較的大きな手動調整で結果と
して小さな流量変化が可能になることが明白であろう。

中央及び一番左のカーブ９２　、９４はより粗い感度を
持つ流量計を示す。例えば中央のカーブ９２は、フロー
ト７２を目盛１から目盛１０まで上昇させる流量調整が
結果として実際、水２００ｃｃ／分から水１８００ＣＣ
／分まで増加することになる流量計を示す。従って弁部
材４０の位置を微調整すると結果として、最初カーブ９
０で示した流量計の同様な手動変化と比較した場合、全
流量において比較的大きな変化がある。

本発明による流量計１０を使用する際ユニットの購入者
は、範囲に対し、その範囲内で計量を実行しようと零；
認識・寸：る゛。。仮りに計量されるべき容量が比較的
低い場合、一番左のカーブ９０により特徴づけられる流
量計が多分最適選択となるであろう。その流量計を使用
すると大きな識別能力が得られる。しかしながら仮りに
流量が大きな範囲を超えて計量されるべき時、中央や一
番右のカーブで特徴づけられた流量計が必要となるであ
ろう。

これまで限定された構造の変形は本発明の範囲内に包含
されることが理解されよう。例えばオリフィス６４の形
状や大きさを変えることも可能であり、従ってそれに応
じて特徴も調整し得る。第１図には円形のオリフィス６
４が示されているがオリフィス６４を長楕円形に形成し
ても良く、弁部材４０の移動軸と同一直線上か、或いは
それに対し垂直であるかの長楕円の実際の伸びは、得ら
れるべき所望の特徴に依存する。

本発明が企図するもう一つの変形は、覗きチューブ２２
内に形成されるボアが傾斜せず幾分、階段状の直径を有
することにある。チューブ２２の下端部で直径は９６に
示すように一様に狭く、片やその直径は９８に示すよう
に、その上で均一に拡大された区分で拡張している。そ
の直径区分はお互に共軸である。即ち、軸方向上向きの
肩部１００が形成される。

この実施例においてフロート１０２には円錐テーパ壁１
０４が設けられ、その壁は下方に延びるにつれ内側にテ
ーパ付けられている。フロート１０２の一番大きな直径
は上端部にありその結果、流量計１０を介して流動が導
かれない場合、フロート１０２の上端縁９９は肩部１０
０に近接する。しかしながら、流量計１０を介して流動
が導かれた場合、フロート１０２は覗きチューブ２２の
ボア内で上昇する。フロート１０２にテーバ付けしたた
め、異なるボア直径により覗きチューブ２２内に形成さ
れた肩部１００の端縁と、フロート１０２との間の環状
スペース１０６は、フロート１０２の上昇と共に増加す
る。

ボアに対するフロート１０２の大きさ及び空間的関係は
、フロート１０２がオリフィス６４に近接するボアの端
部に近づくにつれ、フロート１０２の周りのボアを介す
る流量が次第に増加するようになっている。この実施例
は低い流量調整が望まれる際、特に好ましいものとなる
。

企図されるもう一つの変形は覗きチューブが計量チュー
ブの下流側に位置することにある。発明のこの観点に関
して言えば、計量チューブの上流側に覗きチューブを置
くことが必ずしも重要でないことが理解されよう。

流量計１０は特に苛性や腐蝕性化学薬品を伴う使用に応
■されるため、種々の構成要素は化学薬品と接触するこ
とにより発生し得る化学反応に対し不浸透性なるプラス
チック材より作ることができる。例えば、好ましい実施
例においては流量チューブ１８、エルボ継手２０、及び
フロート７２は、少くとも部分的にテフロン（商標）か
ら作られることを想定している。フロート７２が上昇す
るロッド７６は、塩素化テトラフルオロエチレンから作
ることができる。覗きチューブ２２はそれ自体、ＰＦＡ
テフロン（商標）より作ることができる。外部の構成要
素はポリ塩化ビニルより作ることができる。フロート７
２をより重くする実施例では、テフロン（商標）フロー
ト７２にステンレス鋼を埋め込むか、或いは全体をステ
ンレス鋼で置き換えることも可能である。その結果、全
ての流量計組立体が液体に伴う化学反応に対して不溶性
、かつ不浸透性に作ることが可能となる。

本発明の種々の特徴及び利点は以上の記述の通りである
。当然、本開示は数多くの点で例証したに過ぎない。特
に部品の形状、大きさ及び配置の事項において本発明の
範囲を超えることなく詳細な変更が可能である。本発明
の範囲は添付された特許請求の範囲に定義されている。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の流量計を据え付はプレートに据え付け
た部分的断面図； 第２図は第１図の流量計の覗きチューブの側断面図； 第３図は第１図流量計の流量検出素子の拡大側断面図； 第４図は種々の覗きチューブ／流量検出素子形状に対応
する種々のカーブであって、種々の目盛りの読みで示し
た流量をプロットするカーブを図示するグラフ； 第５図は別の覗きチューブ構造を示す拡大側断面図。 １０・・・流量計、　　　　　　１８・・・計量チュー
ブ、２２・・・覗きチューブ、　　　４０・・・弁部材
、６４・・・オリフィス、　　　　６８・・・ボア、７
２・・・流量検出素子。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、（ａ）軸方向に形成された通路、及び、その長さに
   沿って上記通路と交差するオリフィスを有する計量チュ
   ーブ； （ｂ）軸方向に形成されたボアを有する覗きチューブで
   あって、該ボアは上記オリフィスが非閉塞の際、オリフ
   ィスを介して上記計量チューブの通路と流体連通関係に
   あり、上記覗きチューブは、さらに上記ボア内を軸方向
   移動するべく配置されると共に計量チューブより離れて
   偏奇される流量検出素子を有し、該流量検出素子の寸法
   とボアに対する空間は、検出素子がオリフィスに近接す
   るボア端部に近づくにつれ上記検出素子周りのボアを通
   過する流体流量が徐々に増加する関係がある、覗きチュ
   ーブ； （ｃ）上記通路に沿って軸方向にかつ、上記オリフィス
   を横切るように通路内で択一的に位置決め配置されてボ
   アを通過する流体流動を調整する弁部材であって、ボア
   通過の流体流動を増加すべく位置決めすると、流量検出
   素子は流体流れによりオリフィスに近接するボア端部に
   向けて押しやるような弁部材；及び （ｄ）ボア内で到達された流量検出素子の軸方向位置に
   より流量計を通過する流体容量を確認する手段 を有する流量計。 ２、上記ボアの直径は、オリフィスに近づくに従って半
   径方向外方に張り出し、流量を決定する上記流量検出素
   子の直径寸法は一定である特許請求の範囲第１項に記載
   の流量計。 ３、上記オリフィスは略円形であって、オリフィスを横
   切るように動いて流量を変化せしめる上記弁部材の前方
   端縁は略直線状である特許請求の範囲第１項に記載の流
   量計。 ４、上記通路を形成する軸線はほぼ水平に方向付けられ
   、上記ボアを形成する軸線はほぼ垂直に方向付けられる
   特許請求の範囲第１項に記載の流量計。 ５、上記流量検出素子は計量チューブから離れる方向に
   重力偏奇される特許請求の範囲第４項に記載の流量計。 ６、上記確認する手段は覗きチューブに沿って付けられ
   た一連の表示目盛を有し、各目盛は特定の流量値を示す
   特許請求の範囲第１項に記載の流量計。 ７、上記覗きチューブは透明であり、上記表示目盛に対
   して流量検出素子が見える特許請求の範囲第６項に記載
   の流量計。 ８、上記計量チューブ、覗きチューブ、流量検出素子及
   び弁部材は、腐蝕性酸、苛性アルカリ、脱イオン水に対
   し不溶解性の材料から形成される特許請求の範囲第１項
   に記載の流量計。 ９、上記計量チューブ、覗きチューブ及び弁部材はプラ
   スチック材から形成される特許請求の範囲第８項に記載
   の計量計。 １０、上記流量検出素子はテフロン（商標）より形成さ
   れる特許請求の範囲第８項に記載の流量計。 １１、上記流量検出素子はステンレス鋼より形成される
   特許請求の範囲第８項に記載の流量計。 １２、上記流量検出素子はテフロン（商標）とステンレ
   ス鋼との組合わせから形成される特許請求の範囲第８項
   に記載の流量計。 １３、（ａ）略水平方向の軸線を有してその軸方向に形
   成された通路、及び、その長さに沿って上記通路と交差
   するオリフィスを有する計量チューブ；（ｂ）略垂直方
   向の軸線を有してその軸方向に形成されたボアを有する
   覗きチューブであって、該ボアは上記オリフィスが非閉
   塞の際、オリフィスを介して上記計量チューブの通路と
   流体連通関係にあり、上記覗きチューブはさらに、上記
   ボア内を軸方向移動するべく配置されると共に計量チュ
   ーブより離れる方向に重力偏奇される流量検出素子と、
   該検出素子をボアと共軸状に保持する手段とを有し、該
   流量検出素子の寸法とボアに対する空間は、検出素子が
   オリフィスに近接するボア端部に近づくに従って上記検
   出素子周りのボアを通過する流体流量が徐々に増加する
   関係がある、覗きチューブ； （ｃ）上記通路に沿って軸方向にかつ、上記オリフィス
   を横切るように通路内で択一的に位置決め配置されてボ
   アを通過する流体流動を調整する弁部材であって、ボア
   通過の流体流れを増加すべく位置決めすると、流量検出
   素子は流体流れによりオリフィスに近接するボア端部に
   向けて押しやるような弁部材；及び （ｄ）ボア内で到達された流量検出素子の軸方向位置に
   より流量計を通過する流体容積を確認する手段 を有する流量計。 １４、上記流量検出素子の中央には孔が形成され、上記
   共軸保持手段は、ボアの軸線上にあると共に流量検出素
   子の中央に形成された上記孔を通過するロッドを有する
   特許請求の範囲第１３項に記載の流量計。