JPS6341089A - イオンレ−ザ装置 - Google Patents
イオンレ−ザ装置Info
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- JPS6341089A JPS6341089A JP18554186A JP18554186A JPS6341089A JP S6341089 A JPS6341089 A JP S6341089A JP 18554186 A JP18554186 A JP 18554186A JP 18554186 A JP18554186 A JP 18554186A JP S6341089 A JPS6341089 A JP S6341089A
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- JP
- Japan
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- cathode
- anode
- laser
- laser tube
- dish
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 7
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 abstract description 12
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract 4
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- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
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- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 1
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
関する。
従来のイオンレーザ装置は第３図に示すような構成を有
している。すなわち、レーザ管４１は、アノード４３と
カソード４４との間で放電し、この放電を光学窓４２，
８４２’の外側にミラー５１．・イオンレーザ装置は、
イオン化された希ガスのエネルギーレベル間の遷移によ
ってレーザ発振を行なわせるものでアシ、希ガスのイオ
ン化エネルギーが高いため、レーザ細管４７内に数１０
アンペアにおよぶ大電流のアーク放電を行なわせる必要
がある。このため、アノード４３を接続ガラス管５５に
よって気密に固定するアノード封入皿４５とカソード４
４を接続ガラス管５５１によって気密に固定するカソー
ド封入皿４６も加熱されて外部洗放熱される（矢印Ｈ）
。
している。すなわち、レーザ管４１は、アノード４３と
カソード４４との間で放電し、この放電を光学窓４２，
８４２’の外側にミラー５１．・イオンレーザ装置は、
イオン化された希ガスのエネルギーレベル間の遷移によ
ってレーザ発振を行なわせるものでアシ、希ガスのイオ
ン化エネルギーが高いため、レーザ細管４７内に数１０
アンペアにおよぶ大電流のアーク放電を行なわせる必要
がある。このため、アノード４３を接続ガラス管５５に
よって気密に固定するアノード封入皿４５とカソード４
４を接続ガラス管５５１によって気密に固定するカソー
ド封入皿４６も加熱されて外部洗放熱される（矢印Ｈ）
。
このように従来のイオンレーザ装置は、アノード封入皿
４５およびカソード封入皿４５から外部の雰囲気中に熱
が放出されるため、この熱によって共振器支持体５３・
５３１の両端に近い部分Ａ部およびＢ部が加熱され、こ
れがミラー支持体５２，５２’に伝達されてミラー５１
．・５１１を傾かせるため、レーザ光５４が変動すると
いう欠点がある。
４５およびカソード封入皿４５から外部の雰囲気中に熱
が放出されるため、この熱によって共振器支持体５３・
５３１の両端に近い部分Ａ部およびＢ部が加熱され、こ
れがミラー支持体５２，５２’に伝達されてミラー５１
．・５１１を傾かせるため、レーザ光５４が変動すると
いう欠点がある。
本発明が解決しようとする問題点、換言すれば本発明の
目的は、上述のような従来のイオンレーザ装置の欠点を
除くため、アノード封入皿とカソード封入皿とをレーザ
管の内壁にシールガラスたよって封着し、レーザ管をそ
の外囲に設けた冷却することによって外部雰囲気に放出
される熱を最小限に抑制して、レーザ光の出力変動を小
くした安定性のすぐれたイオンレーザ装置を提供するこ
とにある。
目的は、上述のような従来のイオンレーザ装置の欠点を
除くため、アノード封入皿とカソード封入皿とをレーザ
管の内壁にシールガラスたよって封着し、レーザ管をそ
の外囲に設けた冷却することによって外部雰囲気に放出
される熱を最小限に抑制して、レーザ光の出力変動を小
くした安定性のすぐれたイオンレーザ装置を提供するこ
とにある。
本発明のイオンレーザ装置は、内部にアノード封入皿と
アノードとレーザ細管とカソードとカソード封入皿とを
直列に配設したレーザ管と、前記アノード封入皿および
前記カソード封入皿の外側に配設した光学窓と、前記光
学窓の両外側に配設したミラーと、前記ミラーを支持す
るミラー支持体と、前記ミラー支持体を支持する共振器
支持体とを備えるイオンレーザ装置において、前記アノ
ード封入皿と前記カソード封入皿とをそれぞれ前記レー
ザ管の両端部の内壁にシールガラスによって封着し、前
記レーザ管の外周にその全長に互って冷却装置を備えて
構成される。
アノードとレーザ細管とカソードとカソード封入皿とを
直列に配設したレーザ管と、前記アノード封入皿および
前記カソード封入皿の外側に配設した光学窓と、前記光
学窓の両外側に配設したミラーと、前記ミラーを支持す
るミラー支持体と、前記ミラー支持体を支持する共振器
支持体とを備えるイオンレーザ装置において、前記アノ
ード封入皿と前記カソード封入皿とをそれぞれ前記レー
ザ管の両端部の内壁にシールガラスによって封着し、前
記レーザ管の外周にその全長に互って冷却装置を備えて
構成される。
次に本発明の実施例について図面を参照して詳細に説明
する。
する。
第１図は本発明の第一の実施例を示す断面図である。第
１図において、レーザ管１内にアノード封入皿５・アノ
ード３φレーザ細管７および７瞥奉カソード４・カソー
ド封入皿６ ｂ、＜’設けられており、アノード封入皿
５とカソード封入皿６とは、レーザ管工の両端部の内壁
にシールガラス１８および１８’ＩＣよって封着されて
いる。レーザ管１の外周には、その全長に互って冷却水
筒８が設けられており、レーザ管１はこの冷却水筒８内
の冷却水９によって冷却される。なお第１図において、
参照符号２．−２’は光学窓、１１．・１１’はミラー
１ｚ７ｉｚ’はミラー支持体、１３．・１３’は共振器
支持体である。
１図において、レーザ管１内にアノード封入皿５・アノ
ード３φレーザ細管７および７瞥奉カソード４・カソー
ド封入皿６ ｂ、＜’設けられており、アノード封入皿
５とカソード封入皿６とは、レーザ管工の両端部の内壁
にシールガラス１８および１８’ＩＣよって封着されて
いる。レーザ管１の外周には、その全長に互って冷却水
筒８が設けられており、レーザ管１はこの冷却水筒８内
の冷却水９によって冷却される。なお第１図において、
参照符号２．−２’は光学窓、１１．・１１’はミラー
１ｚ７ｉｚ’はミラー支持体、１３．・１３’は共振器
支持体である。
従ってアノード３とカソード４間を流れる数１０アンペ
アにおよぶ放電電流によって発生する熱は、アノード３
からアノード封入皿５・シールガラス１８・レーザ管１
を通ってレーザ管１の外を流れる冷却水９に伝達される
と共に、カソード４からカソード封入皿６１１シールガ
ラス１８１・レーザ管１を通っても冷却水９Ｖｃ伝達さ
れる。
アにおよぶ放電電流によって発生する熱は、アノード３
からアノード封入皿５・シールガラス１８・レーザ管１
を通ってレーザ管１の外を流れる冷却水９に伝達される
と共に、カソード４からカソード封入皿６１１シールガ
ラス１８１・レーザ管１を通っても冷却水９Ｖｃ伝達さ
れる。
このため共振支持体１３に伝達される熱は最小限釦抑制
されるため、ミラー１１または１１’を傾斜させること
がないため、レーザ光１４の出力を安定に保つことがで
きる。
されるため、ミラー１１または１１’を傾斜させること
がないため、レーザ光１４の出力を安定に保つことがで
きる。
第２図は本発明の第二の実施例を示す断面図である。
本実施例は、第１図の実施例の冷却水筒８を放熱フィン
３５に置換え、その外部に空冷７７ン３６を、また両端
にフード３７を設けたものである。７−ド１７は、熱風
を共振器支持体３３にあてないためのものである。この
実施例では、アノード封入皿２５とカソード封入皿２６
から発生する熱をシールガラスエ８および１８１とレー
ザ管２１を通してレーザ管２１の外周に密着している放
熱フィン３５とこれに空気を送る空冷ファン１６および
フード１７によって外部に放出（矢印Ｈ）する。
３５に置換え、その外部に空冷７７ン３６を、また両端
にフード３７を設けたものである。７−ド１７は、熱風
を共振器支持体３３にあてないためのものである。この
実施例では、アノード封入皿２５とカソード封入皿２６
から発生する熱をシールガラスエ８および１８１とレー
ザ管２１を通してレーザ管２１の外周に密着している放
熱フィン３５とこれに空気を送る空冷ファン１６および
フード１７によって外部に放出（矢印Ｈ）する。
このように本発明は空冷のイオンレーザ装置にも応用で
きる。
きる。
以上詳細に説明したよう忙、本発明はレーザ管内で発生
する熱の大部分を、レーザ管の外周に設けた冷却装置に
よって外部に放出することができるので、共振器支持体
への熱の伝達を最小限に抑制することができ、従ってミ
ラーの傾斜を抑えてレーザ光の出力を安定に保つことが
できるという効果がある。
する熱の大部分を、レーザ管の外周に設けた冷却装置に
よって外部に放出することができるので、共振器支持体
への熱の伝達を最小限に抑制することができ、従ってミ
ラーの傾斜を抑えてレーザ光の出力を安定に保つことが
できるという効果がある。
第１図および第２図は本発明の第一および第二の実施例
を示す断面図、第３図は従来のイオンレーザ装鱈例を示
す断面図である。 １、２１．４１・・・・・・レーザ管、２．２’、 ２
２．２２’。 ４２、４２’・・・・・・光学窓、３，２３．４３・・
・・・・アノード、４．２４，４４・・・・・・カソー
ド、５．２５．４５・・・・・・７ノ一ド封入皿、６，
２６．４６・・・・・・カソード封入皿、７、７＋、
２７．２７１ 、４７．４７’・・・−・・レーザ細管
、８゜４８、・・・・・・冷却水筒、９，４９・・・・
・・冷却水、１０．５０・・・・・・電磁石、１１．１
１’、 ３１．３１’、 ５１．５１’・・・・・・ミ
ラー、 １２．１２’、３２．３２’、５２．５２’・
・・・・・ミラー支持体、１３．１３’、 ３３．３３
’、 ５３．５３’・・・・・・共振器支持体、１４，
３４．５４・・・・・・レーザ光、１８，１８１゜３８
、３８’・・・・・・シールカラス、３５・・−・・放
Ｍフィン、３６・・・・・・空冷ファン、３７・・・−
・・７−ド。
を示す断面図、第３図は従来のイオンレーザ装鱈例を示
す断面図である。 １、２１．４１・・・・・・レーザ管、２．２’、 ２
２．２２’。 ４２、４２’・・・・・・光学窓、３，２３．４３・・
・・・・アノード、４．２４，４４・・・・・・カソー
ド、５．２５．４５・・・・・・７ノ一ド封入皿、６，
２６．４６・・・・・・カソード封入皿、７、７＋、
２７．２７１ 、４７．４７’・・・−・・レーザ細管
、８゜４８、・・・・・・冷却水筒、９，４９・・・・
・・冷却水、１０．５０・・・・・・電磁石、１１．１
１’、 ３１．３１’、 ５１．５１’・・・・・・ミ
ラー、 １２．１２’、３２．３２’、５２．５２’・
・・・・・ミラー支持体、１３．１３’、 ３３．３３
’、 ５３．５３’・・・・・・共振器支持体、１４，
３４．５４・・・・・・レーザ光、１８，１８１゜３８
、３８’・・・・・・シールカラス、３５・・−・・放
Ｍフィン、３６・・・・・・空冷ファン、３７・・・−
・・７−ド。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 内部にアノード封入皿とアノードとレーザ細管とカソー
ドとカソード封入皿とを直線的に配設したレーザ管と、
前記アノード封入皿および前記カソード封入皿の外側に
配設した光学窓と、前記光学窓の両外側に配設したミラ
ーと、前記ミラーを支持するミラー支持体と、前記ミラ
ー支持体を支持する共振器支持体とを備えるイオンレー
ザ装置において、 前記アノード封入皿と前記カソード封入皿とをそれぞれ
前記レーザ管の両端部の内壁にシールガラスによって封
着し、前記レーザ管の外周にその全長に互って冷却装置
を備えることを特徴とするイオンレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18554186A JPS6341089A (ja) | 1986-08-06 | 1986-08-06 | イオンレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18554186A JPS6341089A (ja) | 1986-08-06 | 1986-08-06 | イオンレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6341089A true JPS6341089A (ja) | 1988-02-22 |
Family
ID=16172607
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18554186A Pending JPS6341089A (ja) | 1986-08-06 | 1986-08-06 | イオンレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6341089A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05206543A (ja) * | 1992-01-24 | 1993-08-13 | Nec Corp | イオンレーザ管 |
-
1986
- 1986-08-06 JP JP18554186A patent/JPS6341089A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05206543A (ja) * | 1992-01-24 | 1993-08-13 | Nec Corp | イオンレーザ管 |
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