JPS6346752A - 超高速集積回路 - Google Patents
超高速集積回路Info
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- JPS6346752A JPS6346752A JP18957886A JP18957886A JPS6346752A JP S6346752 A JPS6346752 A JP S6346752A JP 18957886 A JP18957886 A JP 18957886A JP 18957886 A JP18957886 A JP 18957886A JP S6346752 A JPS6346752 A JP S6346752A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、例えば１ＱＧｈ以上の超高速で動作させる集
積回路に関するものであり、特に、その入力回路に特徴
を有する超高速集積回路に関するものである。
積回路に関するものであり、特に、その入力回路に特徴
を有する超高速集積回路に関するものである。
第６図は従来の集積回路を示す概略構成図である。同図
において、入力回路部３は入力用接続端子バッド１と高
インピーダンスの入力信号引き込み線２より構成されて
いる。符号４は主回路部、符号５は出力回路部である。
において、入力回路部３は入力用接続端子バッド１と高
インピーダンスの入力信号引き込み線２より構成されて
いる。符号４は主回路部、符号５は出力回路部である。
第７図は、このような従来形の入力回路部を備えた分周
回路の一例を示す概略平面図であり、１ａ、１ｂは入力
端子、６ａ、６ｂは接地端子、７ａ１７ｂはバイアス端
子、８ａ、８ｂは出力端子である。
回路の一例を示す概略平面図であり、１ａ、１ｂは入力
端子、６ａ、６ｂは接地端子、７ａ１７ｂはバイアス端
子、８ａ、８ｂは出力端子である。
このような従来回路の入力回路部は単に導体をバターニ
ングしたものに過ぎず、特性インピーダンスに関して何
等考慮されていないため、超高周波入力信号の大半は入
力バッド１の部分で反射され、入力信号源に不要波とし
て戻ってしまう。また、超高周波の入力信号を入れるた
めには、主回路部４の初段トランジスタの極力近い位置
まで５０Ω線路でもっていく必要があるが、上述したよ
うに特性インピーダンスに関して何等考慮されていない
ため、入力パッド１の位置から既に５０Ωではなくなっ
てしまう。
ングしたものに過ぎず、特性インピーダンスに関して何
等考慮されていないため、超高周波入力信号の大半は入
力バッド１の部分で反射され、入力信号源に不要波とし
て戻ってしまう。また、超高周波の入力信号を入れるた
めには、主回路部４の初段トランジスタの極力近い位置
まで５０Ω線路でもっていく必要があるが、上述したよ
うに特性インピーダンスに関して何等考慮されていない
ため、入力パッド１の位置から既に５０Ωではなくなっ
てしまう。
また、超高速集積回路の測定では、超高周波測定系との
適合性が悪いと、集積回路それ自身の周波数限界の他に
、測定系との整合性の悪さから生じた周波数限界が存在
することになり、十分な測定が不可能となるが、上記従
来回路では測定系との適合性が非常に悪かった。
適合性が悪いと、集積回路それ自身の周波数限界の他に
、測定系との整合性の悪さから生じた周波数限界が存在
することになり、十分な測定が不可能となるが、上記従
来回路では測定系との適合性が非常に悪かった。
本発明の超高速集積回路は上記問題点に鑑みてなされた
ものであり、コプレーナ線路の中心導体ストリップの途
中から信号線を空間配線により該コプレーナ線路の接地
導体と接続することなく交差させて引き出し、該引き出
し線を主回路部の入力側初段のトランジスタと接続した
入力回路部を備えたものである。
ものであり、コプレーナ線路の中心導体ストリップの途
中から信号線を空間配線により該コプレーナ線路の接地
導体と接続することなく交差させて引き出し、該引き出
し線を主回路部の入力側初段のトランジスタと接続した
入力回路部を備えたものである。
コプレーナ線路の一端を信号入力端子、他端を信号モニ
タ出力端子または入力整合・調整用端子として使用する
ことにより、信号入力端子に人力された超高周波信号は
、その大部分が信号モニタ出力端子または入力整合・調
整用端子に出力され、信号入力端子ではほとんど反射が
起こらない。
タ出力端子または入力整合・調整用端子として使用する
ことにより、信号入力端子に人力された超高周波信号は
、その大部分が信号モニタ出力端子または入力整合・調
整用端子に出力され、信号入力端子ではほとんど反射が
起こらない。
以下、実施例と共に本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す概略平面図であり、第
６図と同一もしくは相当部分には同一の符号を付しであ
る。入力回路３は、コプレーナ線路を主たる構成要素と
しており、同図ではコプレーナ線路の中心導体ストリッ
プ１７およびその途中に接続された引き込み線２にハツ
チングを施しである。１３はコプレーナ線路の接地導体
であり、中心導体ストリップ１７と同一の平面上におい
て、中心導体ストリップ１７の両側に適当な間隔をもっ
て配置されると共に、複数箇所で接地されている。
６図と同一もしくは相当部分には同一の符号を付しであ
る。入力回路３は、コプレーナ線路を主たる構成要素と
しており、同図ではコプレーナ線路の中心導体ストリッ
プ１７およびその途中に接続された引き込み線２にハツ
チングを施しである。１３はコプレーナ線路の接地導体
であり、中心導体ストリップ１７と同一の平面上におい
て、中心導体ストリップ１７の両側に適当な間隔をもっ
て配置されると共に、複数箇所で接地されている。
コプレーナ線路の一端は、信号入力端子として使用され
、他端は信号モニタ出力端子または入力整合・調整用端
子として使用される。すなわち、中心導体ストリップ１
７の一端１１は信号入力端子のパッド部となり、他端１
２は信号モニタ出力端子または入力整合・調整用端子の
パッド部となる。
、他端は信号モニタ出力端子または入力整合・調整用端
子として使用される。すなわち、中心導体ストリップ１
７の一端１１は信号入力端子のパッド部となり、他端１
２は信号モニタ出力端子または入力整合・調整用端子の
パッド部となる。
コプレーナ線路は、信号入力端子側端部から信号モニタ
出力端子または入力整合・調整用端子側端部に至るまで
全て５０Ωとなるように、中心４体ストリップ１７の幅
および中心導体ストリップ１７と両側の接地導体１３の
間隔を定めである。
出力端子または入力整合・調整用端子側端部に至るまで
全て５０Ωとなるように、中心４体ストリップ１７の幅
および中心導体ストリップ１７と両側の接地導体１３の
間隔を定めである。
そのため、入力信号引き込み線２の直前まで５０Ωとな
っている。
っている。
空間配線部１６は、コプレーナ線路の接地導体１３と引
き込み線２とが空間配線されている。すなわち、引き込
み線２の上を空気または誘電体薄膜等を介して接地導体
１３が立体的に交差している。空気および誘電体薄膜を
介在させるものを特にエアーブリッジ配線と言われてい
る。この空間配線部１６の存在により、コプレーナ線路
が引き込みｖＡ２により分断されずにすむ。
き込み線２とが空間配線されている。すなわち、引き込
み線２の上を空気または誘電体薄膜等を介して接地導体
１３が立体的に交差している。空気および誘電体薄膜を
介在させるものを特にエアーブリッジ配線と言われてい
る。この空間配線部１６の存在により、コプレーナ線路
が引き込みｖＡ２により分断されずにすむ。
空間配線部１４．１５は、必ずしも必須の構成ではない
。しかし、コプレーナ線路の中心導体ストリップ１７の
左右両側に存在する接地導体１３の経路長が互いに大き
く異なる場合には、空間配線技術を用いて左右の接地導
体間を連結し、強制的に電位を同じにしてやることによ
り、コブレ−す線路のモードを維持することができる。
。しかし、コプレーナ線路の中心導体ストリップ１７の
左右両側に存在する接地導体１３の経路長が互いに大き
く異なる場合には、空間配線技術を用いて左右の接地導
体間を連結し、強制的に電位を同じにしてやることによ
り、コブレ−す線路のモードを維持することができる。
空間配線部１４．１５はこのような意図で設けられてい
る。
る。
出力回路部５もコプレーナ線路で構成されており、中心
導体ストリップ１８と接地導体１９を有する。ただし、
引き出し線２０との接続は、入力回路部３の場合と異な
り、単にその端部において行われている。
導体ストリップ１８と接地導体１９を有する。ただし、
引き出し線２０との接続は、入力回路部３の場合と異な
り、単にその端部において行われている。
つぎに、本実施例の動作を説明する。
引き込み線２および主回路部（具体的には分周回路）４
の入力インピーダンスは一般に高インピーダンスである
ため、入力端子１１から人力された超高周波信号は、そ
の大部分が信号モニタ出力端子または入力整合・調整用
端子１２に出力される。このとき、信号モニタ出力端子
または入力整合・調整用端子１２に信号モニタ装置また
は整合用チューナや終端器等を接続すれば、入力端子１
１にはほとんど反射波が見られず、信号源を安定して動
作させることができる。
の入力インピーダンスは一般に高インピーダンスである
ため、入力端子１１から人力された超高周波信号は、そ
の大部分が信号モニタ出力端子または入力整合・調整用
端子１２に出力される。このとき、信号モニタ出力端子
または入力整合・調整用端子１２に信号モニタ装置また
は整合用チューナや終端器等を接続すれば、入力端子１
１にはほとんど反射波が見られず、信号源を安定して動
作させることができる。
入力信号モニタ出力は、入力波形と出力波形との比較に
用いることができ、測定の簡便化に役立つ。また、信号
モニタ出力端子または入力整合・調整用端子１２に上述
したように整合用チューナを接続すれば、集積回路の入
力に大電力を供給することも可能となる。
用いることができ、測定の簡便化に役立つ。また、信号
モニタ出力端子または入力整合・調整用端子１２に上述
したように整合用チューナを接続すれば、集積回路の入
力に大電力を供給することも可能となる。
さらに、１０ＧＨｚ以上の周波数帯において、ウェハ状
態で集積回路測定を行うためには、マイクロ波オンウエ
ハプローハを使用する必要があるが、このプローバの先
端はコプレーナ形の端子となっており、本実施例の入力
回路３はかかるプローバに完全に適合する。
態で集積回路測定を行うためには、マイクロ波オンウエ
ハプローハを使用する必要があるが、このプローバの先
端はコプレーナ形の端子となっており、本実施例の入力
回路３はかかるプローバに完全に適合する。
第２図は、本発明による入力回路部を備えた分周回路の
一例を示す概略平面図である。この回路は、信号源など
の測定系と良く適合し、原理的にはコプレーナ線路の伝
送限界の周波数まで使用可能である。これは、１００Ｇ
Ｈｚ以上でも使用可能であることを意味する。同図にお
いて、２１は第１入力端子、２２は第２入力端子、２３
は第１人力モニタ端子、２４は第２人力モニタ端子、２
５は第１出力端子、２６は第２出力端子、２７．２８は
バイアス端子である。
一例を示す概略平面図である。この回路は、信号源など
の測定系と良く適合し、原理的にはコプレーナ線路の伝
送限界の周波数まで使用可能である。これは、１００Ｇ
Ｈｚ以上でも使用可能であることを意味する。同図にお
いて、２１は第１入力端子、２２は第２入力端子、２３
は第１人力モニタ端子、２４は第２人力モニタ端子、２
５は第１出力端子、２６は第２出力端子、２７．２８は
バイアス端子である。
このような超高速分周回路では、平衡人力（両相入力）
が必要であるが、コプレーナ線路では平衡−不平衡変換
が非常に容易であるため、将来、他の回路との複合化に
非常に便利である。すなわち、−船釣な回路のほとんど
は不平衡入力および出力となっているため、これらの回
路と接続をとるためには、スロット線路を用いて不平衡
−平衡変換を行うことが必要である。本発明の入力回路
に用いられているコプレーナ線路はかかるスロット線路
との変換が非常に容易である。
が必要であるが、コプレーナ線路では平衡−不平衡変換
が非常に容易であるため、将来、他の回路との複合化に
非常に便利である。すなわち、−船釣な回路のほとんど
は不平衡入力および出力となっているため、これらの回
路と接続をとるためには、スロット線路を用いて不平衡
−平衡変換を行うことが必要である。本発明の入力回路
に用いられているコプレーナ線路はかかるスロット線路
との変換が非常に容易である。
この点をさらに詳しく説明する。超高速集積回路を動作
させるためには、位相差が１８０°の異なる２つの入力
（平衡入力または両相入力と言う）を必要とする場合が
多い。特に分周回路を１００Ｈｚ以上で動作させるため
には必ず必要となる。一方、信号源は一般に不平衡線路
の同軸出力であるから、ここで、不平衡−平衡変換が必
要となる。
させるためには、位相差が１８０°の異なる２つの入力
（平衡入力または両相入力と言う）を必要とする場合が
多い。特に分周回路を１００Ｈｚ以上で動作させるため
には必ず必要となる。一方、信号源は一般に不平衡線路
の同軸出力であるから、ここで、不平衡−平衡変換が必
要となる。
不平衡−平衡変換を平面回路内で構成する手段としてス
ロット線路がある。平衡型線路であるスロット線路は、
第３図の説明図に示すように、分岐で分配するだけで電
気力線を逆方向で出力させることができ、位相差１８０
°の出力を容易に得ることができる。第４図の平面図は
コプレーナ線路をスロット線路に変換して、両相出力に
した例であり、３１は入力端子、３２は位相０°の出力
端子、３３は位相１８０°の出力端子である。この両出
力をコプレーナ線路にそれぞれ変換して、例えば第２図
の入力端子２１．２２にそれぞれ入力すればよい。この
ように、コプレーナ形式では不平衡−平衡変換が同一平
面上で全て行うことができる。ちなみに、コプレーナ線
路に代えてマイクロストリップ線路を用い、マイクロス
トリップ線路−スロット線路変換を行おうとすると、第
５図に示すようにマイクロストリ・ノブ４１とスロット
線路の片側導体４２を誘電体基板４３にスルーホール４
４を形成して接続する必要がある。なお、第５図（ａ）
は平面図、同図（ｂ）は裏面図、同図（ｃ）は側面図で
ある。このように、基板の両面を用いることは集積回路
には適していないことは明らかである。
ロット線路がある。平衡型線路であるスロット線路は、
第３図の説明図に示すように、分岐で分配するだけで電
気力線を逆方向で出力させることができ、位相差１８０
°の出力を容易に得ることができる。第４図の平面図は
コプレーナ線路をスロット線路に変換して、両相出力に
した例であり、３１は入力端子、３２は位相０°の出力
端子、３３は位相１８０°の出力端子である。この両出
力をコプレーナ線路にそれぞれ変換して、例えば第２図
の入力端子２１．２２にそれぞれ入力すればよい。この
ように、コプレーナ形式では不平衡−平衡変換が同一平
面上で全て行うことができる。ちなみに、コプレーナ線
路に代えてマイクロストリップ線路を用い、マイクロス
トリップ線路−スロット線路変換を行おうとすると、第
５図に示すようにマイクロストリ・ノブ４１とスロット
線路の片側導体４２を誘電体基板４３にスルーホール４
４を形成して接続する必要がある。なお、第５図（ａ）
は平面図、同図（ｂ）は裏面図、同図（ｃ）は側面図で
ある。このように、基板の両面を用いることは集積回路
には適していないことは明らかである。
以上説明したように本発明の超高速集積回路によれば、
その入力回路部をコプレーナ線路で構成すると共に、コ
プレーナ線路の他端部に信号モニタ出力端子または入力
整合・調整用端子を設けたことにより、高周波限界まで
簡単に測定を行うことができると共に、測定系の安定化
、信号源電力の効率的な利用に有効である。また、超高
速分周回路等では平衡入力が必要であるが、コプレーナ
形式は平衡−不平衡変換が非常に容易であるため、入力
回路部にコプレーナ線路を用いた本発明は他の回路との
複合化に非常に便利である。
その入力回路部をコプレーナ線路で構成すると共に、コ
プレーナ線路の他端部に信号モニタ出力端子または入力
整合・調整用端子を設けたことにより、高周波限界まで
簡単に測定を行うことができると共に、測定系の安定化
、信号源電力の効率的な利用に有効である。また、超高
速分周回路等では平衡入力が必要であるが、コプレーナ
形式は平衡−不平衡変換が非常に容易であるため、入力
回路部にコプレーナ線路を用いた本発明は他の回路との
複合化に非常に便利である。
第１図は本発明の一実施例を示す概略平面図、第２図は
本発明を分周回路に適用した例を示す概略平面図、第３
図はスロット線路の分岐での電気力線の様子を示す説明
図、第・１図はコプレーナ線路−スロット線路変換を示
す平面図、第５図はマイクロストリップ線路−スロット
線路変換を示す説明図、第６図は従来の集積回路を示す
概略平面図、第７図は従来の分周回路の一例を示す概略
平面図である。 ２・・・引き込み線、３・・・入力回路部、４・・・主
回路部、１１・・・信号入力端子、１２・・・信号モニ
タ出力端子または入力整合・調整用端子、１３・・・コ
プレーナ線路の接地導体、１４．１５．１６・・・空間
配線部、１７・・・コプレーナ線路の中心導体ストリッ
プ。
本発明を分周回路に適用した例を示す概略平面図、第３
図はスロット線路の分岐での電気力線の様子を示す説明
図、第・１図はコプレーナ線路−スロット線路変換を示
す平面図、第５図はマイクロストリップ線路−スロット
線路変換を示す説明図、第６図は従来の集積回路を示す
概略平面図、第７図は従来の分周回路の一例を示す概略
平面図である。 ２・・・引き込み線、３・・・入力回路部、４・・・主
回路部、１１・・・信号入力端子、１２・・・信号モニ
タ出力端子または入力整合・調整用端子、１３・・・コ
プレーナ線路の接地導体、１４．１５．１６・・・空間
配線部、１７・・・コプレーナ線路の中心導体ストリッ
プ。
Claims (1)
- コプレーナ線路の中心導体ストリップの途中から信号線
を空間配線により該コプレーナ線路の接地導体と接続す
ることなく交差させて引き出し、該引き出し線を主回路
部の入力側初段のトランジスタと接続した入力回路部を
有する超高速集積回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61189578A JP2522649B2 (ja) | 1986-08-14 | 1986-08-14 | 超高速集積回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61189578A JP2522649B2 (ja) | 1986-08-14 | 1986-08-14 | 超高速集積回路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6346752A true JPS6346752A (ja) | 1988-02-27 |
| JP2522649B2 JP2522649B2 (ja) | 1996-08-07 |
Family
ID=16243675
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61189578A Expired - Fee Related JP2522649B2 (ja) | 1986-08-14 | 1986-08-14 | 超高速集積回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2522649B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09500780A (ja) * | 1994-09-26 | 1997-01-21 | エンドゲート コーポレーション | 同一平面導波管塔載のひっくり返しチップ |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5539614U (ja) * | 1978-09-07 | 1980-03-14 | ||
| JPS5686506A (en) * | 1979-12-17 | 1981-07-14 | Mitsubishi Electric Corp | Hybrid coupler |
| JPS5952907A (ja) * | 1982-09-20 | 1984-03-27 | Mitsubishi Electric Corp | マイクロ波半導体増幅器 |
-
1986
- 1986-08-14 JP JP61189578A patent/JP2522649B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5539614U (ja) * | 1978-09-07 | 1980-03-14 | ||
| JPS5686506A (en) * | 1979-12-17 | 1981-07-14 | Mitsubishi Electric Corp | Hybrid coupler |
| JPS5952907A (ja) * | 1982-09-20 | 1984-03-27 | Mitsubishi Electric Corp | マイクロ波半導体増幅器 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09500780A (ja) * | 1994-09-26 | 1997-01-21 | エンドゲート コーポレーション | 同一平面導波管塔載のひっくり返しチップ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2522649B2 (ja) | 1996-08-07 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |