JPS6350654U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6350654U JPS6350654U JP1986143708U JP14370886U JPS6350654U JP S6350654 U JPS6350654 U JP S6350654U JP 1986143708 U JP1986143708 U JP 1986143708U JP 14370886 U JP14370886 U JP 14370886U JP S6350654 U JPS6350654 U JP S6350654U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface plate
- wafer
- carrier
- upper inner
- upper outer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第１図は本考案による一実施例の研磨装置を示
す図、第２図は従来の研磨装置を示す図、である
。 図において、１ａは上部内定盤、１ｂは上部外
定盤、２は下部定盤、３は上部歯車、４は下部歯
車、５はキヤリア、５ａは回転軸、６はウエーハ
、７はモータ、８はカプリング、９はピニオンプ
レート、１０はピニオン、１１は固定板、を示す
。
す図、第２図は従来の研磨装置を示す図、である
。 図において、１ａは上部内定盤、１ｂは上部外
定盤、２は下部定盤、３は上部歯車、４は下部歯
車、５はキヤリア、５ａは回転軸、６はウエーハ
、７はモータ、８はカプリング、９はピニオンプ
レート、１０はピニオン、１１は固定板、を示す
。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 キヤリア５によつて保持されたウエーハ６を、
回転する定盤１，２の間に挟んで研磨する研磨装
置であつて、 上部定盤を上部内定盤１ａと上部外定盤１ｂに
分割し、その間隙にウエーハ６を保持するキヤリ
ア５の回転軸５ａと前記回転軸５ａと結合する回
転駆動用のモータ７のカプリング８を設け、 さらに、前記上部内定盤１ａの回転力を前記上
部外定盤１ｂに伝導するピニオン１０を、前記上
部内定盤１ａと前記上部外定盤１ｂの間に設けた
ことを特徴とする研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986143708U JPS6350654U (ja) | 1986-09-18 | 1986-09-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986143708U JPS6350654U (ja) | 1986-09-18 | 1986-09-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6350654U true JPS6350654U (ja) | 1988-04-06 |
Family
ID=31053637
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986143708U Pending JPS6350654U (ja) | 1986-09-18 | 1986-09-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6350654U (ja) |
-
1986
- 1986-09-18 JP JP1986143708U patent/JPS6350654U/ja active Pending
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