JPS6362667A - ウエハ−用ラツプ盤の上定盤吊懸け装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

（産業上の利用分野） この発明はつ］バー用ラップ盤の上定盤吊懸（）装置で
ある１゜ （従来技術） 第５図に示しｋ　（Δ）は−’ｌ’　ｊＭ　（ホウ１バ
ー川シツプ盤であり、上定盤（′１）と１・定盤（２）
どの間にキ１１リアー（３）を配置ｖ１シ、この−１ト
リア−（３）で・つ」バー（／ｌ）を保ｔｒｙ　Ｌ／、
１１・両定盤（１）（２）と−１−トリア−（３）を同
１］、）に回転さＵながらつ〕−バー（４）をＪＪＩ削
りる、３１記上定盤（１）４；Ｌ吊持体く５）（こよ−
）（回り口１在に員持され、Ｈつこの吊持体（り）　１
．Ｌ　！＋を懸

【Ｊ装協（ＩＩ’）を介して１定ａ８　
￥？降田川シリング６）のビスＩヘンロッド（６ａ）に
振れ動向（１な状態で量感【）されている。 ト記」一定盤量感は駅間（［３“）は、第０図（Ｊて示
づ−如く、外周面が球面形状でｄするＪ」；形（ｊべり
軸受（７′）を吊持軸（８′）に１さ；駅し、この吊１
・ｒ軸（８′）を吊持体（５）ｌ／）−Ｉ端部に固定金
具（９′）を介して水平状態で固定している１、シかる
に従来装置は、上記球形づべり軸受（７′）を球形Ｊべ
り１１１１受箱体（１０’　）にη支承し、１１′つ、
同箱体（１０’　）の土部に一体に１、Ω（）た１召１
、＋１ポルＩへ（１１’　）をシリンダ（６）のピメト
ン１１ツド（６ａ）先端に設（−）ためねじ部（＋２’
）内に螺合り−ると共に、ビス１〜ンＩ〕ツド（６ａ）
のめねじ部（１２’　）ど該めねじ部（１２’　）内に
螺合１Ｊる吊持ポル１〜（１１’　）どの間に回り止め
ピン（１３’　）を嵌挿し、吊持ポル１〜（１１’　）
をビス１〜ン１」ラド（６ａ）に対して回り止めをＪ−
る様にしくいる。 上記した様に、上定盤（１）ど吊持体（５）【ま上定盤
ＵＤ懸は装置偶（Ｆ’！’）にＪ、って吊持しくいるが
、土、定盤（１）の重量だ（Ｊでも１を稈ある為に上定
盤吊懸（Ｊ装置（［３’）に加わる引張り夕１千は人さ
く、さらに、吊持体（５）のベアリング（！川〉内にウ
コハー（４）を研削する砥粒スラリーが浸入した場合に
は、この部分の回動抵抗が増大し、捩り荷重も加わって
くる。 士定盤吊＠Ｃノ装置（１’３’　）の吊１．１１ボルト
（１１’　）は、前記した仝捕手が加わるが、シリンダ
（６）のビスＩ・ン１］ツド（６ａ）先端のめ１：】シ
部（１２’　）内に螺合する構成を取−〕（いるのＣ１
あまり泊径を人きくすることが（さり゛、この為にｊ１
１持ポル１〜（１１’　）の引張り強１σＣｒ二１分イ
」゛余裕を乃たせることか刺しい。 また、回り庄めピン（１３’　）のＬ″１１１１′ｌ化
は吊持ポルｔｉｌｌ’）やめねじ部（１２’　）の・：
ｍ［αを低下ざＵる。従−）−（回り１１めピン（１３
’　）の径をあまり人さくＪることは（パさり゛、前記
した様１．ｌ絹持ポル１−（１１’）に捩る力が加わく
）と同ピン（１３’　）が破断ηる可能ＩＩＩム（１じ
（くる９゜上定盤（１）は、つ１バー（／Ｉ）の出入れ
ｌｌ、’＋ヤ）メンｊノンスの際に−１冒さ１１．伯朶
（１が−１一定盤のトで作業を行なうが、ｆｌｊ４中に
おい（１’ｉ　１、＋１小ル］〜（１１’　）の破断、
若しくは、［リリｌｉ　Ｎ）ピン（１３’　）が破断し
た後、ｌｉ’ｊ　１．Ｉｊボルト（１１’　）の緩みが
進ｔｊ？Ｊることがノ）−一介１１Ｌ　Ｌ／　Ａ：　ｉ
間合には、悲劇的な結果を１ｒ（＜。 （技術的課題） 本発明の技術的課題は、上定盤量感り装置におりる球形
ηへり軸受箱体どシリンダーのピストン１−Ｊラドどの
結合を強化することである。 （技術的課題を解決する為の手段） 本発明が−１−記した技術的課題を解決する為の手段は
、つ１バ一川ラツプ盤本体の１一定盤を回動自在に吊梢
Ｊる吊持体の上端に装着し、上定盤及びＦｌ−１１・、
１体を−１一定盤ｊ１１降用シリンダのビス１〜ンロツ
ドに振れ動画イ１な状態で尾懸り１−る上定盤用窓（）
装置１′１に（１３い−（、前記吊持体上端に球形（Ｊ
ベリ軸受を嵌装した吊持軸を水平状態で固定し、］−記
球形リすリ軸受を球形Ｊべり軸受箱体Ｃ支承し、この球
形１−べり軸受箱体の」一部を上定盤シ１１降川シリン
ダのビス１〜ンＩ〕ツド先端に螺刻される先端ねじの外
周に螺合するど其に、同球形すベリ１１へ１ｊ受箱体の
上端に略−１形の嵌合１−１を形成しｌこ回ｉ′）　ｔ
ｌ−１り体を取イ」（）るど共に、同嵌合１−１イービ
スｌ−ン１１ツドに形成されるスパナ用当て而にＩ＆合
さく！たものひある。 ５ｊ− （作用） 以上の如き手段によれば、球形づべり軸受箱体は、吊持
軸に嵌装される球形りベリ軸受を支承づると共に、イの
」二部を土足Ｗ　！；？−ｋ’ｆ用シリンダのビス１ヘ
ン［−１ツドの先端ねじの外周に螺合りることにより、
ビス１〜ンＩ〕ツドと球形リベリ軸受箱体とが結合され
、１つ吊持体及び１一定盤が球形づべり軸受を支点とし
Ｃ振れｖＪ自イ１に吊持される。 また、ビス１〜ンロツドのスバノ用当−Ｃ面を１＊形す
べり軸受箱体に取付（Ｊ１．：回り止め体の嵌合口で衛
えることにより、ビス１−ン１１ツドにり・１りる球形
１べり軸受箱体の回動が抑１１６キれる１゜（効果） 本考案は以上の様に、球形Ｊべり軸受箱体及び上定盤警
防用シリンダのピストン１−１ツド両老の結合をビス１
〜ン１−１ツドの先端ねじを石川（）Ｃ（ｊつたもので
あるから、従来の一上定盤吊懸【）装置と比較し−Ｃ１
結合部分のねし径を１分にｔ（ｒ４＋塚、づることが１
り能Ｃあり、これによｌ′）引張強電を−１−分Ｍ、　
４Ｍ保し、結合部分のポルｌ〜が破断Ｊるｉｉ１能＋１
を’Ｊ　＜づことができるものである。 Ｊ、た、ビス１〜ン１−１ツドのスパプ用当て面に回り
止め体を嵌合さゼることによって球形すべりＩＩｌ＋受
箱体の回り止めを行ったので、従来の回り１１−めピン
の様に構造的制約を受（）ることかなく、十分ｌｄ−強
瓜を保つことが可能であると共に、回り１１めビンの員
挿孔を穿設Ｊる必要もないので結合部分の先端ねじや球
形Ｊベリ軸受箱体の強度イ１（下を１／１＜こともない
。 （実施例） 以上、本発明の−・実施例を図面に基づいて説明づる１
゜ 第１図及び第２図はウー■−バー用ラップ盤の１一定盤
量感【ノ装＋Ｆｉ（Ｂ）部分を示し、同装置（Ｂ）【ま
、ト定？ｌｌＩ　（図示１ず）を回動自６−な状態で吊
持１Ｊる吊持体（５〉の子端部に装着し、上記上定盤及
び吊持体（５）をつ］−バー用ラップ盤の最１ゴ部に配
設されるト定盤ｙ？降用シリンダ（６）のビス１〜ン１
−］ツラド６ａ）に振れ動自在に量感りするらの（゛あ
る。 上記−１一定盤量感Ｉ′Ｊ装置（［３）は、外周を球面
状に形成しｌこ球形′ＩＪべり軸受（７）を吊持軸（８
）に嵌装し、この吊１−′Ｊ１１嘔１（ε３）をｔ１］
リドげ金具（９）にて水平状態で保１、′＋　ｌｙ、同
金日（９）をボルト（１４）にて吊持体（！：ｉ　）の
十喘部に固定し、球形づべり軸受（７）を吊１！Ｊ体（
１））側に固定しである。 球形すべり軸受（７）は、イの球面状の外周をスリーブ
（１０ａ）を介して球形リベリＩＩＩＩＩ受箱体（１０
）によって支承することに」、す、スリーブ（１０）内
の内周面で自在に同転りる様に構成しである。そして、
上記球形Ｊべり軸受箱体く１０）の上部にはめねじ部（
１０ｂ）を垂直状に形成し、このめねじ部（１０ｂ）を
前記−上定盤シ１陪川シリンダ（６）のビス１〜ン１１
ツド（６ａ）先Ｏ２）に螺刻される先端ねじ（６ｂ）の
外周に螺合しく吊持体（５）及び」一定盤がシリンダ（
６）のビス１〜ン［１ツド（６ａ）に量感（）しＩこ状
態にて、球形づべり軸受（７）を支点として振れ動自在
に成・ｊ。 ｙｌ、た、球形〃−ベリ軸受給体（１０）の上端には第
４図に示した様な略二」形の嵌合Ｄ（１５ａ）を備える
回り１にめ体（１５）をポルｈ（１６）止めすると１１
に、ｆｉｊ］嵌合Ｄ（１５ａ）でビス１〜ン［１ツド（
６ａ）の先端１３）しく６ｂ）の後端側に形成されるス
パナ用当−Ｃ面（６ｃ）　　（６ｃ）を移ｊえ、球形寸
べり軸受箱体（１０）がビス１ヘンロツド（６ａ）に対
して回動し４Ｔい様にしである。 さらに、球形リベリ軸受箱体（１０）の外周部には鍔部
月（１７）を螺合してナツト（１８）で固定し、この鍔
部月（１７）と吊り下げ金具（９）の基板部（９ａ）と
の間をポルｌ−（１８）　　（１８）（１８）（゛連結
しである３、これは、球形すべり軸受箱体（１０ａ）の
支承部（１０ｃ）や吊持軸（８）、名しくは吊り下げ金
具（９）の吊持部（９ｂ）を支１４Ｍ−る部分が万一破
断した際に、吊り下げ金具（９）の基板部（９ａ）を各
ポル１〜（１８）に螺合したフープ１〜（１９）にて受
ｔノ１１め、上定盤の落手事故を防出づる為のフ１イル
レーフ機構である。 −９＝ 上定盤及び吊１ｈ体（５）の７１〇小は吊りトげ金具（
９）から吊持軸（８）−球形リベリ１１１１受（７）−
スリーブ（１０ａ）−球形リベリｆｌｌｌｌ　受箱体（
１０）ど伝わり、同箱体（１０）のめねじ部（１０１１
）ど先端ねじ（６ａ）のねじ山を介しくビス１−ン１−
１ッド（６ａ）に加わるものであり、上記構成の上定盤
の量感は装置＜８）は球形ηべり軸受箱ｆホ（１０）と
ピストン［１ツド（（ｉｉｌ）の結合部分のボルト径を
十分に確保すると共に、同第イホ（１０）のめねじ部（
１０ｂ）周りの肉〜−す必要イ’ｃ　１６１＝Ｊ取れる
ので、同箱体く１０）側の強度確保し楽Ｃある１゜

【図面の簡単な説明】

第１図１ヨ第３図ｆ７）　Ｘ−Ｘ線ＩＪＩｉ面図、第２
図ｔ、ＬつＩバー用ラップ盤の土定盤量感り装置こ１部
を示づ縦断側面図、第３図は第２図のＹ　Ｙ線１ｆｌｉ
　ｒｌ’ｌｉ図、第４図は第１図の７−Ｚ線断面図、第
１）図は従来のつＪ−バー用ラップ盤４示１ｓ７１Ｉｆ
ｌｉ向図、第６図は同ラップ盤の−１一定盤量感ＬＪ　
Ｋ　ｉｆ’１部をｉ１Ｊ拡大拡大図で′ある。 図中、Δ：ウーＬバー用ラップ盤、ｌ’３　：　ｊ定盤
−１０＝ 事態【ノ装置、１：上定盤、５：吊持体、６：上定盤臂
降用シリンダ、６ａ；ビス１ヘノロツド、６ｂ：先端ね
じ、６Ｃ：スパノー用当て面、７：球形すべり軸受、８
：吊持１１１１１．１０：球形すべり軸受箱体、１５：
同り１１−め体、１５ａ：嵌合Ｌ１特許出願人　　　信
越エンジニアリング株式会社特訂出願人　　　　直江沖
電子−■ｔ、株式会社快

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ウェハー用ラップ盤本体の上定盤を回動自在に吊持する
   吊持体の上端に装着し、上定盤及び吊持体を上定盤昇降
   用シリンダのピストンロッドに振れ動自在な状態で吊懸
   けする上定盤吊懸け装置において、前記吊持体上端に球
   形すべり軸受を嵌装した吊持軸を水平状態で固定し、上
   記球形すべり軸受を球形すべり軸受箱体で支承し、この
   球形すべり軸受箱体の上部を上定盤昇降用シリンダのピ
   ストンロッド先端に螺刻される先端ねじの外周に螺着す
   ると共に、同球形すべり軸受箱体の上端に略コ形の嵌合
   口を形成した回り止め体を取付けると共に、同嵌合口を
   ピストンロッドに形成されるスパナ用当て面に嵌合させ
   たウェハー用ラップ盤の上定盤吊懸け装置。