JPS6398162A - ガスレ−ザ装置 - Google Patents
ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS6398162A JPS6398162A JP24315586A JP24315586A JPS6398162A JP S6398162 A JPS6398162 A JP S6398162A JP 24315586 A JP24315586 A JP 24315586A JP 24315586 A JP24315586 A JP 24315586A JP S6398162 A JPS6398162 A JP S6398162A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dielectric material
- pipe
- gas laser
- discharge
- laser device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0975—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser using inductive or capacitive excitation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、無声放電式の軸流形ガスレーザ装置に係り
、特にこの装置における管状の放電管の効率を向上させ
るための構造に関するものである。
、特にこの装置における管状の放電管の効率を向上させ
るための構造に関するものである。
第３図（ａ）は例えば特願昭６０−１７９１１５号明細
書および図面に記載された軸流形ガスレーザ装置の構成
を示す正面断面図、（ｂ）はそのＡ−Ａ断面図である。
書および図面に記載された軸流形ガスレーザ装置の構成
を示す正面断面図、（ｂ）はそのＡ−Ａ断面図である。
図において、（１〉は結晶化ガラスや酸化チタン等の誘
電体よりなるパイプ、（３）は交流高電圧を発生させる
電源、（４）は放電空間、（５）は部分反射鏡、（６）
は全反射鏡、（７）は部分反射鏡（５）より出力するレ
ーザ光、（ＩＬａ） 。
電体よりなるパイプ、（３）は交流高電圧を発生させる
電源、（４）は放電空間、（５）は部分反射鏡、（６）
は全反射鏡、（７）は部分反射鏡（５）より出力するレ
ーザ光、（ＩＬａ） 。
（Ｉｌｂ）はアルミニウム等の金属で形成され、パイプ
（１）に密着して対向配置された一対の冷却ブロックで
あり、それぞれが電源（３）およびアースに接続されて
給電電極の機能をも兼ね、また両端部にはそれぞれに冷
却水入口（１２ａ）および冷却水出口が設けられている
。
（１）に密着して対向配置された一対の冷却ブロックで
あり、それぞれが電源（３）およびアースに接続されて
給電電極の機能をも兼ね、また両端部にはそれぞれに冷
却水入口（１２ａ）および冷却水出口が設けられている
。
上記のような構成の従来の軸流体ガスレーザ装置におい
て、給電電極を兼ねた一対の冷却ブロック（ｌｌａ）
、 （ｌｌｂ）に電源（３）からの電圧が印加されると
、放電空間（４）に無声放電が発生し、この放電はパイ
プ（１）を通じて起るので誘電体のキヤハシティーブ・
バラスト（ＣＡＰＡＣＩＴＩＶＥ ＢＡＬＡＳＴ）効果
によって、極めて安定したグロー状の放電となる。ＣＯ
レーザ装置の場合、Ｃｏ２； Ｎ２：Ｈｅ−８：６０
： ３２の割合で混合されたガスが放電空間（４）数
十Ｔｏｒｒの圧力で充填されており、無声放電によって
ＣＯ２分子が励起されて、部分反射鏡（５）と全反射鏡
（６）とで構成される光共振器内でレーザ発振が起り、
矢印で示すように一部のレーザ光（７）が部分反射鏡（
５）より出力する。
て、給電電極を兼ねた一対の冷却ブロック（ｌｌａ）
、 （ｌｌｂ）に電源（３）からの電圧が印加されると
、放電空間（４）に無声放電が発生し、この放電はパイ
プ（１）を通じて起るので誘電体のキヤハシティーブ・
バラスト（ＣＡＰＡＣＩＴＩＶＥ ＢＡＬＡＳＴ）効果
によって、極めて安定したグロー状の放電となる。ＣＯ
レーザ装置の場合、Ｃｏ２； Ｎ２：Ｈｅ−８：６０
： ３２の割合で混合されたガスが放電空間（４）数
十Ｔｏｒｒの圧力で充填されており、無声放電によって
ＣＯ２分子が励起されて、部分反射鏡（５）と全反射鏡
（６）とで構成される光共振器内でレーザ発振が起り、
矢印で示すように一部のレーザ光（７）が部分反射鏡（
５）より出力する。
また、レーザの発振効率（レーザ出力／放電電力）は放
電空間（４）のガス温度が高くなると低下するので、パ
イプ（１）に対向配置した一対の冷却ブロック（Ｈａ）
、 （ｌｌｂ）内に冷却水を循環させ、パイプ（１）
を冷却させながらガス温度の上昇を抑制するようにして
いる。
電空間（４）のガス温度が高くなると低下するので、パ
イプ（１）に対向配置した一対の冷却ブロック（Ｈａ）
、 （ｌｌｂ）内に冷却水を循環させ、パイプ（１）
を冷却させながらガス温度の上昇を抑制するようにして
いる。
上記のようなガスレーザ装置では、パイプ（１）に印加
された電圧によって放電が生じる場合、投入された電力
の一部が管壁に沿って流れるために、放電エネルギに変
換されずに損失電力となるので、この損失電力の分だけ
効率が低下してしまうという問題があった。
された電圧によって放電が生じる場合、投入された電力
の一部が管壁に沿って流れるために、放電エネルギに変
換されずに損失電力となるので、この損失電力の分だけ
効率が低下してしまうという問題があった。
この発明は、かかる問題点を解消するためになされたも
ので、パイプ（１）の管壁を流れる損失電力を抑制して
、投入電力に対する効率の高い放電を行うことができる
ガスレーザ装置を得ることを目的とする。
ので、パイプ（１）の管壁を流れる損失電力を抑制して
、投入電力に対する効率の高い放電を行うことができる
ガスレーザ装置を得ることを目的とする。
この発明に係るガスレーザ装置に設けられた誘電体のパ
イプを、このパイプに対向配置した電極部（冷却ブロッ
ク）に密着した部分およびその近傍を高誘電率の誘電体
で形成し、これらの部分以外を上記誘電体と線膨脹係数
が近似した低誘電率の誘電体で形成したものである。
イプを、このパイプに対向配置した電極部（冷却ブロッ
ク）に密着した部分およびその近傍を高誘電率の誘電体
で形成し、これらの部分以外を上記誘電体と線膨脹係数
が近似した低誘電率の誘電体で形成したものである。
この発明における誘電体パイプは、対向した電−極部よ
り離れているために放電に寄与しない部分を低誘電率の
誘電体で形成したので、管壁に沿って流れる損失電力の
発生を抑制する。
り離れているために放電に寄与しない部分を低誘電率の
誘電体で形成したので、管壁に沿って流れる損失電力の
発生を抑制する。
第１図（ａ）はこの発明の一実施例による軸流形ガスレ
ーザ装置の構成を示す正面断面図、（ｂ）はそのＢ−Ｂ
断面図であり、（１） 〜（１２ａ） 、 （１２ｂ）
は従来例を示した第３図における同符号と同一または相
当部分である。
ーザ装置の構成を示す正面断面図、（ｂ）はそのＢ−Ｂ
断面図であり、（１） 〜（１２ａ） 、 （１２ｂ）
は従来例を示した第３図における同符号と同一または相
当部分である。
（１３ａ） 、 （Ｌ３ｂ）はパイプ（１）が冷却ブＯ
−／り（ｌｌａ） 、 （ｌｌｂ）にそれぞれ接する部
分およびその近傍の高誘電体で、誘電率の高い結晶化ガ
ラスや酸化チタン等によって形成されている。
−／り（ｌｌａ） 、 （ｌｌｂ）にそれぞれ接する部
分およびその近傍の高誘電体で、誘電率の高い結晶化ガ
ラスや酸化チタン等によって形成されている。
（１４ａ） 、 （１４ｂ）は高誘電体（１３ａ） 、
（１３ｂ）と線膨脹係数が近似し、誘電率が低いアル
ミナ系セラミックスによって形成された低誘電体で、高
誘電体（１３ａ） 、 （Ｌ３ｂ）と低融点ガラスによ
り封着させて接合しである。
（１３ｂ）と線膨脹係数が近似し、誘電率が低いアル
ミナ系セラミックスによって形成された低誘電体で、高
誘電体（１３ａ） 、 （Ｌ３ｂ）と低融点ガラスによ
り封着させて接合しである。
上記のような構成のこの発明によるガスレーザ発振器に
おいて、放電電極を兼ねる一対の冷却７０ツク（ｌｌａ
） 、 （Ｉｌｂ）に電源（８）からの電圧が印加され
、放電空間（４）に無声放電が発生してガス分子が励起
され、部分反射鏡（５）よりレーザ光（７）を出力する
に至る動作は従来例とほぼ同様であるが、第２図のパイ
プ（１）と冷却ブロック（ｌｌａ） 、 （ｌｌｂ）の
断面図で示すように、放電電極を兼ねる冷却ブロック（
ｌｌａ） 、 （ｌｌｂ）に印加される電圧によって、
放電空間（４）における放電は破線で示すようにほとん
どが対向する冷却ブロック（ｌｌａ） 、 （１１ｂ）
、すなわち電極部の対向範囲で生じ、この対向範囲外
では管壁（１５）、 （１Ｂ）に沿って放電に寄与し
ない損失電流が流れる。
おいて、放電電極を兼ねる一対の冷却７０ツク（ｌｌａ
） 、 （Ｉｌｂ）に電源（８）からの電圧が印加され
、放電空間（４）に無声放電が発生してガス分子が励起
され、部分反射鏡（５）よりレーザ光（７）を出力する
に至る動作は従来例とほぼ同様であるが、第２図のパイ
プ（１）と冷却ブロック（ｌｌａ） 、 （ｌｌｂ）の
断面図で示すように、放電電極を兼ねる冷却ブロック（
ｌｌａ） 、 （ｌｌｂ）に印加される電圧によって、
放電空間（４）における放電は破線で示すようにほとん
どが対向する冷却ブロック（ｌｌａ） 、 （１１ｂ）
、すなわち電極部の対向範囲で生じ、この対向範囲外
では管壁（１５）、 （１Ｂ）に沿って放電に寄与し
ない損失電流が流れる。
しかし、この損失電流の流れる部分を低い誘電率の低誘
電体（１４ａ） 、 （１４ｂ）で構成しであるために
電流が流れにくいので、この電流によって生じるパイプ
（１）の温度上昇を抑制するとともに、電極部に投入し
た電力に対する放電の効率が優れたガスレーザ発振器が
得られる。
電体（１４ａ） 、 （１４ｂ）で構成しであるために
電流が流れにくいので、この電流によって生じるパイプ
（１）の温度上昇を抑制するとともに、電極部に投入し
た電力に対する放電の効率が優れたガスレーザ発振器が
得られる。
この発明は以上説明したように、誘電体からな。
るパイプを電極部（冷却ブロック）に接する部分および
その周辺部は高誘電体で、残余の部分を低誘電体によっ
て形成するように構成したので、放電に寄与しない管壁
を流れる電流を抑制するために、効率の優れたレーザ発
振装置が得られる効果がある。
その周辺部は高誘電体で、残余の部分を低誘電体によっ
て形成するように構成したので、放電に寄与しない管壁
を流れる電流を抑制するために、効率の優れたレーザ発
振装置が得られる効果がある。
第１図（ａ）はこの発明の一実施例によるガスレ−ザ装
置の構成を示す正面断面図、（ｂ）はそのＢ−Ｂ断面図
、第２図はこの発明の詳細な説明するための上記Ｂ−”
Ｂ断面の詳細図、第３図（ａ）は従来のガスレーザ装置
の一例を示す正面断面図、（ｂ）はそのＡ−Ａ断面図で
ある。 図において、（１）は誘電体パイプ（放電管）、（３）
は電源、（７）はレーザ光、（ｌｌａ） 、 （ｌｌｂ
）は冷却ブロック（電極部） 、（１３ａ） 、 （１
３ｂ）は高誘電体、（１４ａ） 、 （１４ｂ）は低誘
電体。なお、図中同一符号は同一または相当部分を示す
。
置の構成を示す正面断面図、（ｂ）はそのＢ−Ｂ断面図
、第２図はこの発明の詳細な説明するための上記Ｂ−”
Ｂ断面の詳細図、第３図（ａ）は従来のガスレーザ装置
の一例を示す正面断面図、（ｂ）はそのＡ−Ａ断面図で
ある。 図において、（１）は誘電体パイプ（放電管）、（３）
は電源、（７）はレーザ光、（ｌｌａ） 、 （ｌｌｂ
）は冷却ブロック（電極部） 、（１３ａ） 、 （１
３ｂ）は高誘電体、（１４ａ） 、 （１４ｂ）は低誘
電体。なお、図中同一符号は同一または相当部分を示す
。
Claims (1)
- 誘電体で形成されたパイプの外周に密着して対向配置し
た一対の電極部に交流電圧を印加して放電を生じさせ、
レーザ光を発振させるガスレーザ装置において、上記パ
イプの上記電極部に接する部分およびその近傍を高誘電
体で形成し、残余の部分を上記高誘電体と線膨脹係数が
近似した低誘電体で形成したことを特徴とするガスレー
ザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24315586A JPS6398162A (ja) | 1986-10-15 | 1986-10-15 | ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24315586A JPS6398162A (ja) | 1986-10-15 | 1986-10-15 | ガスレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6398162A true JPS6398162A (ja) | 1988-04-28 |
Family
ID=17099621
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24315586A Pending JPS6398162A (ja) | 1986-10-15 | 1986-10-15 | ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6398162A (ja) |
-
1986
- 1986-10-15 JP JP24315586A patent/JPS6398162A/ja active Pending
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