KR20200056148A - 기액접촉 필터 모듈 - Google Patents

기액접촉 필터 모듈 Download PDF

Info

Publication number
KR20200056148A
KR20200056148A KR1020180140118A KR20180140118A KR20200056148A KR 20200056148 A KR20200056148 A KR 20200056148A KR 1020180140118 A KR1020180140118 A KR 1020180140118A KR 20180140118 A KR20180140118 A KR 20180140118A KR 20200056148 A KR20200056148 A KR 20200056148A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
filter
chamber
gas
liquid contact
filter module
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
KR1020180140118A
Other languages
English (en)
Other versions
KR102230599B1 (ko
Inventor
김남두
Original Assignee
주식회사 코레드
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 코레드 filed Critical 주식회사 코레드
Priority to KR1020180140118A priority Critical patent/KR102230599B1/ko
Publication of KR20200056148A publication Critical patent/KR20200056148A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102230599B1 publication Critical patent/KR102230599B1/ko
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D46/0027—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours with additional separating or treating functions
    • B01D46/0035—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours with additional separating or treating functions by wetting, e.g. using surfaces covered with oil
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D47/00—Separating dispersed particles from gases, air or vapours by liquid as separating agent
    • B01D47/06—Spray cleaning
    • B01D47/063—Spray cleaning with two or more jets impinging against each other
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
    • B01D53/74—General processes for purification of waste gases; Apparatus or devices specially adapted therefor
    • B01D53/77—Liquid phase processes
    • B01D53/78—Liquid phase processes with gas-liquid contact
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2258/00—Sources of waste gases
    • B01D2258/02—Other waste gases
    • B01D2258/0216—Other waste gases from CVD treatment or semi-conductor manufacturing

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Gas Separation By Absorption (AREA)
  • Separating Particles In Gases By Inertia (AREA)

Abstract

본 발명은 별도의 비산방지 필터 없이 이웃하는 필터의 길이를 다르게 하여, 공기의 유속을 변경시킴으로써 비산을 방지하도록 하는 기액접촉 필터 모듈에 관한 것이다.
본 발명에 따른 기액접촉 필터 모듈은 일정 간격으로 배열되는 복수의 파형의 필터를 포함하는 필터부(100); 상기 필터부(100)가 채용되는 사각 프레임 형상의 챔버(200); 상기 챔버(200)의 양 측부에 결합되어 상기 필터부(100)를 고정하는 고정바(300); 상기 챔버(200)의 하단에 형성되어 유체를 외부로 안내하는 물받이부(400);를 포함하고 상기 필터부(100)는 상기 챔버(200)의 전후방향으로 소정의 길이(L1)를 가지고, 파형의 골부위가 소정의 각도(θ1)로 경사진 제1 필터(110); 상기 챔버(200)의 전후방향으로 상기 소정의 길이(L1)보다 상대적으로 작은 소정의 길이(L2)를 가지고, 파형의 골부위가 상기 소정의 각도(θ1)와 다른 소정의 각도(θ2)로 경사진 제2 필터(120);를 포함하며, 상기 제1 필터(110)와 상기 제2 필터(120)는 일정 간격으로 교대로 배열되는 것을 특징으로 한다.

Description

기액접촉 필터 모듈 {Filter module for gas-liquid contact}
본 발명은 기액접촉 필터 모듈에 대한 것으로, 보다 상세하게는 별도의 비산방지 필터 없이 공기의 유속을 변경시킴으로써 비산을 방지하도록 하는 기액접촉 필터 모듈에 관한 것이다.
반도체를 포함한 각종 부품, 전자 제품 등의 생산 공정에서는 각종 입자 오염 물질로 인한 문제가 내재되어 있다. 특히 반도체 소자의 생산을 위해서는 높은 순도의 기체상 환경이 요구되는데, 웨이퍼 등의 기판 표면 및 계면에서의 초미세입자, 원자, 분자 수준의 가스상 오염 물질의 제어가 매우 중요한 요인이 된다. 오염 물질의 발생원은 생산 현장의 각종 생산 장비, 내장재, 공기 청정화용 필터류, 인체, 대기, 공정용 가스, 산, 염기 등과 같은 화학 약품, 유기 오염물 등과 같이 매우 다양하고 광범위하다.
이와 같이 공정에 영향을 미치는 오염원이 다양화됨에 따라 오염을 제거하기 위한 시스템 역시 제어 대상과 설치 방법에 따라 다양하게 발전되어 왔다. 상기한 바와 같은 다양한 오염 물질의 제어를 위하여 반도체 장치는 청정실(clean room)에서 제조되고 관리되는데, 청정실에는 오염 물질의 포집 및 제거를 위하여 각종 필터, WSS(water showering system) 등이 채용되고 있다. 다양한 오염물을 제거하기 위해서는 각종 필터가 하나의 청정실에 대하여 약 400-600장 정도 설치된다.
또한 대기 중에 포함되는 NH4, NOx, SOx 등의 가용성 가스 불순물이나 미세먼지가 청정도가 요구되는 클린룸 내에 공급되면, 클린룸 내에서 제조되어 있는 제품에 다양한 장애를 가져올 수 있기 때문에 이러한 문제를 해결하기 위해, 공기 중에 포함되는 가용성 가스를 상수나 순수 등의 흡수액 중에 용해시켜 제거하는 기액 접촉법을 이용한 제거 장치가 이용되고 있다. 이 기액 접촉법을 이용한 제거 장치에 의하면 가용성 가스 성분을 포함한 공기와 물을 효율적으로 접촉시킴으로써 가용성 가스를 물에 용해시켜 제거할 수 있으며, 이에 대한 다양한 연구개발이 진행되어 왔다.
일례로, 한국공개특허 제2008-0097605호는 수분사물 경사교류형 엘리미네이터에 관련한 것으로서, 특히, 채널 구조를 통과하는 가스 불순물을 제거하기 위해 채널 관로 도중에 설치되는 엘리미네이터를 제공한다. 또한 일본공개특허 제2017-006868호는 압력 손실의 상승을 억제하면서, 공기에 포함되는 미립자나 가스형 물질을 고효율로 제거하는 공기정화 장치를 제공한다. 일본공개특허 제2003-326102호는 사행 허니컴, 상기 사행 허니컴의 상면 개구부로 접촉용수를 공급하는 살수 수단 및 상기 사행 허니컴에서 배출되는 접촉 후수를 받는 수수부를 가지는 기액 접촉 유닛과 송풍 수단을 구비하는 기액 접촉 장치를 제시하고 있다. 한국등록특허 제1474981호는 워터링 에어필터장치에 관한 것으로서, 물을 분사하여 필터수단에 흡착된 이물질을 세척함으로써 청정 기능을 유지할 수 있고, 아울러 물과 공기의 접촉에 의한 기화에 의해 가습기능을 제공한다.
종래기술은 기액접촉 방식으로 오염물질을 제거하는 과정에서 물의 비산이 발생하는 문제점이 있었다. 이러한 문제를 해결하기 위하여 물의 비산을 방지하기 위하여 비산 방지 필터를 채용하는 구성이 있으나, 이 경우 장치의 부피가 커지고 제조 비용이 상승하는 문제점이 있다. 따라서 별도의 비산 방지 필터를 사용하지 않으면서, 물의 비산을 방지할 수 있는 기술에 대한 필요성이 높아지고 있다.
한국공개특허 제2008-0097605호 일본공개특허 제2017-006868호 일본공개특허 제2003-326102호 한국등록특허 제1474981호
본 발명은 별도의 비산방지 필터 없이 이웃하는 필터의 길이를 다르게 하여, 공기의 유속을 변경시킴으로써 비산을 방지하도록 하는 기액접촉 필터 모듈에 관한 것이다.
본 발명에 따른 기액접촉 필터 모듈은 일정 간격으로 배열되는 복수의 파형의 필터를 포함하는 필터부(100); 상기 필터부(100)가 채용되는 사각 프레임 형상의 챔버(200); 상기 챔버(200)의 양 측부에 결합되어 상기 필터부(100)를 고정하는 고정바(300); 상기 챔버(200)의 하단에 형성되어 유체를 외부로 안내하는 물받이부(400);를 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기에서 상기 필터부(100)는 상기 챔버(200)의 전후방향으로 소정의 길이(L1)를 가지고, 파형의 골부위가 소정의 각도(θ1)로 경사진 제1 필터(110); 상기 챔버(200)의 전후방향으로 상기 소정의 길이(L1)보다 상대적으로 작은 소정의 길이(L2)를 가지고, 파형의 골부위가 상기 소정의 각도(θ1)와 다른 소정의 각도(θ2)로 경사진 제2 필터(120);를 포함하며, 상기 제1 필터(110)와 상기 제2 필터(120)는 일정 간격으로 교대로 배열되는 것을 특징으로 한다.
여기에서 상기 소정의 각도(θ1)는 25° ~ 30°인 것을 특징으로 한다.
여기에서 상기 제1 필터(110) 및 상기 제2 필터(120)는 상기 고정바(300)가 관통될 수 있는 복수의 관통홀(111, 112, 121, 122)을 포함하고, 상기 관통홀(111, 112, 121, 122)의 위치는 상기 제1 필터(110) 및 상기 제2 필터(120)의 높이를 상하 방향으로 6등분시 각각 1/6지점 또는 1/6 및 4/6지점에 위치하는 것을 특징으로 한다.
여기에서 상기 챔버(200)의 양 측벽에는 상기 고정바(300)의 양 단부가 삽입고정될 수 있는 고정홈(210)이 형성되는 것을 특징으로 한다.
여기에서 기 챔버(200)는 내부에 상기 챔버(200)의 양 측벽과 탈착결합 가능한 패널부(500)를 포함하고, 상기 패널부(500)는 상기 고정바(300)의 양단부가 삽입결합될 수 있는 결합돌기(510)를 포함하고, 상기 고정바(300)는 상기 필터부(100)의 이탈을 방지하기 위한 오링(310) 또는 캡(미도시)을 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기에서 상기 물받이부(400)는 유체를 챔버(200) 전면 방향으로 이송시킬 수 있도록 일정한 경사가 형성된 복수의 경사홈(410); 상기 경사홈(410)의 단부에 일자 형상으로 형성되어 물을 배수시키는 배수부(430); 상기 배수부(430)의 전면에 돌출 형성되어 공기의 흐름을 차단하는 공기흐름 방지턱(420);을 포함하고, 상기 경사홈(410)은 상기 제1 필터(110) 및 상기 제2 필터(120)와 동일한 방향으로 등 간격으로 배열되는 것을 특징으로 한다.
여기에서 상기 경사홈(410)의 폭은 상기 제1 필터(110) 또는 상기 제2 필터(120)의 폭보다 작은 크기로 형성되는 것을 특징으로 한다.
종래 기술의 경우 비산 방지 필터가 별도로 있으나 본 발명은 별도의 비산방지 필터 없이 이웃하는 필터의 길이를 다르게 함으로써 유속변경에 의한 비산을 방지하고, 설비의 콤팩트화를 구현할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 기액접촉 필터 모듈을 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 기액접촉 필터 모듈의 필터부를 나타낸다.
도 3은 본 발명에 따른 기액접촉 필터 모듈의 제1 필터 및 제2 필터를 나타낸다.
도 4는 본 발명에 따른 기액접촉 필터 모듈의 고정바를 나타낸다.
도 5는 본 발명에 따른 기액접촉 필터 모듈의 패널부 및 고정바를 나타낸다.
도 6은 본 발명에 따른 기액접촉 필터 모듈의 물받이부를 나타낸 사시도이다.
도 7은 본 발명에 따른 기액접촉 필터 모듈의 물받이부를 나타낸 측면도이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기액접촐 필터 모듈의 물받이부를 나타낸 사시도이다.
본 발명은 별도의 비산방지 필터 없이 이웃하는 필터의 길이를 다르게 하여, 공기의 유속을 변경시킴으로써 비산을 방지하도록 하는 기액접촉 필터 모듈에 관한 것이다.
본 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용과 관련하여, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 하나의 실시예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들은 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음이 이해되어야 한다.
도 1은 본 발명에 따른 기액접촉 필터 모듈을 나타낸 사시도이다.
도 1에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 기액접촉 필터 모듈은 일정 간격으로 배열되는 복수의 파형의 필터를 포함하는 필터부(100); 상기 필터부(100)가 채용되는 사각 프레임 형상의 챔버(200); 상기 챔버(200)의 양 측부에 결합되어 상기 필터부(100)를 고정하는 고정바(300); 상기 챔버(200)의 하단에 형성되어 유체를 외부로 안내하는 물받이부(400);를 포함한다.
상술한 구조를 갖는 기액접촉 필터 모듈은, 처리되어질 공기(Air)가 기액접촉 필터 모듈을 통과하면서 물과 기액접촉된다. 즉, 노즐(미도시)로부터 물이 미세한 크기의 액적으로 연속적으로 분사되고, 기액접촉 필터 모듈을 통과하는 공기(Air)와 기액접촉된다. 분사된 미세 액적은 필터부(100)를 통과하면서 공기 중의 오염물들을 포집하고 필터부(100)의 필터들에 부딪혀서 하방으로 떨어진다. 필터부(100)는 흡수율이 높은 재질로 제조되며, 바람직하게는 단면이 파형(corrugates 형태)의 형상을 갖는다. 흡수율이 높은 재질을 사용함으로써, 기액접촉 필터 모듈의 액적이 도달하지 않는 면에도 내부에서의 액체의 이동에 의해 액체가 도달하고, 더욱 넓은 면적을 항상 젖은 상태로 유지할 수 있다.
챔버(200)는 필터부(100)의 필터가 일정 배열을 유지하면서 고정되도록, 사각 프레임 형태로 구성되며, 바람직하게는 상하로 복수의 필터부(100)가 수납될 수 있도록 구성된다. 챔버(200)의 양 측부에는 필터부(100)를 고정할 수 있는 파이프 형상의 고정바(300)가 결합되고, 챔버(200)의 하단에는 공기 중의 오염물들을 포집한 후 필터부(100) 부딪혀서 하방으로 떨어진 물(유체)을 전단하부로 안내하는 물받이부(400)가 형성된다.
챔버(200)의 양 측벽에는 고정바(300)의 양 단부가 삽입고정될 수 있는 고정홈(210)이 일자 형상으로 형성된다. 고정홈(210)이 일자 형상으로 형성됨으로써 고정바(300)를 챔버(200)에 용이하게 결합시킬 수 있다.
도 2는 본 발명에 따른 기액접촉 필터 모듈의 필터부를 나타낸다.
도 3은 본 발명에 따른 기액접촉 필터 모듈의 제1 필터 및 제2 필터를 나타낸다.
도 2 및 도 3을 참고하면 필터부(100)는 챔버(200)의 전후방향으로 소정의 길이(L1)를 가지고, 파형의 골부위가 소정의 각도(θ1)로 경사진 제1 필터(110); 상기 챔버(200)의 전후방향으로 상기 소정의 길이(L1)보다 상대적으로 작은 소정의 길이(L2)를 가지고, 파형의 골부위가 상기 소정의 각도(θ1)와 다른 소정의 각도(θ2)로 경사진 제2 필터(120);를 포함하며 상기 제1 필터(110)와 상기 제2 필터(120)는 일정 간격으로 교대로 배열된다.
도 2에 도시된 바와 같이 제1 필터(110)와 제2 필터(120)는 챔버(200)의 전후방향으로 길이가 각각 상이하며, 제1 필터(110)와 제2 필터(120)가 일정 간격으로 교대로 배열되어 필터부(100)가 구성된다. 공기의 이동방향으로 뒷부분이 제1 필터(110)의 길이는 상대적으로 길고, 이웃하는 제2 필터(120)의 길이는 상대적으로 짧아서 유속이 급격히 낮아짐으로써 물의 비산이 최소화될 수 있다. 종래 기술의 경우 풍속 2.5m/sec 기준으로 운전되었으나, 본 발명의 경우 풍속 3.0~3.2m/sec로 운전되는 경우에도 비산 문제가 발생되지 않는다.
종래 기술의 경우 비산 방지 필터가 별도로 있으나 본 발명은 별도의 비산방지 필터 없이 이웃하는 필터의 길이를 다르게 함으로써 유속변경에 의한 비산을 방지하고, 설비의 콤팩트화를 구현할 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이 제1 필터(110)는 챔버(200)의 전후방향으로 소정의 길이(L1)를 가지고, 단면이 파형(corrugates 형태)으로 형성되며, 파형의 골부위가 소정의 각도(θ1)로 경사진 형태이다. 파형의 골부위가 경사진 각도(θ1)는 일반적으로 경사진 각도가 30° ~ 45°에서 공기정화의 효율이 높으나 차압 상승의 단점이 있다.
본 발명에 따른 기액접촉 필터모듈의 파형의 골부위가 경사진 각도(θ1)에 변화를 주어 각도(θ1)의 변화에 따른 차압 상승 정도 및 비산 방지 효율에 대한 실험을 진행한 결과, 파형의 골부위가 경사진 각도(θ1)가 25° ~ 30°에서 차압이 낮아 공기정화 효율을 유지하면서 경제성이 높고 비산 방지의 효율을 극대화할 수 있는 최소 각도임이 나타났다.
제2 필터(120)는 챔버(200)의 전후방향으로 제1 필터의 길이(L1)보다 상대적으로 작은 소정의 길이(L2)를 가지고, 단면이 파형(corrugates 형태)으로 형성되며, 파형의 골부위가 제1 필터(110) 소정의 각도(θ1)와 다른 소정의 각도(θ2)로 경사진 형태이다. 바람직하게는 θ2=θ1±180°로 형성되며, 예를 들어 제1 필터(110)의 대각선 각도 (θ1)가 25° ~ 30°로 형성되는 경우 제2 필터(120)의 대각선 각도(θ2)는 205° ~ 210°로 형성된다.
제1 필터(110) 및 제2 필터(120)는 고정바(300)가 관통될 수 있는 복수의 관통홀(111, 112, 121, 122)을 포함한다. 관통홀(111, 112, 121, 122)의 형상은 다양한 형태를 가질 수 있으며, 구체적으로 원형, 타원형, 삼각형, 정사각형, 직사각형, 오각형, 육각형 및 마름모형으로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나 또는 둘 이상의 형태를 가질 수 있다. 바람직하게는 가로 5mm × 세로8mm의 타원형의 구멍으로 형성되어, 고정바(300)가 필터부(100)에 관통 결합될 수 있도록 한다.
관통홀의 위치는 제1 필터(110) 및 제2 필터(120)의 높이를 상하 방향으로 6등분시 각각 1/6지점 또는 1/6, 4/6지점(오차범위 ±2mm)에 위치되는 것이 바람직하다.
도 4는 본 발명에 따른 기액접촉 필터 모듈의 고정바를 나타내고, 도 5는 본 발명에 따른 기액접촉 필터 모듈의 패널부 및 고정바를 나타낸다. 구체적으로 도 4(a)는 고정바에 의해 챔버에 고정된 필터부의 단면도를 나타내고, 도 4(b)는 고정바의 사시도를 나타내며, 도 4(c)는 고정바에 의해 챔버에 고정된 필터부의 사시도를 나타낸다. 도 5(a)는 패널부와 고정바의 결합 관계를 나타내고, 도 5(b)는 결합된 패널부와 고정부를 나타낸다.
필터부(100)의 고정은 챔버(200)에 직접 수납되는 형태가 아닌 필터의 상부와 하부에 관통홀(111, 112, 121, 122)을 내어 지름 3~5mm 파이프를 필터부(100)에 관통 결합시킨다. 도 4의 (a), (b) 및 (c)에 도시된 바와 같이 챔버의 재질이 플라스틱(ABS, PP, PVC 등)인 경우, 파이프 형태의 고정바(300) 양 단부가 일자형으로 챔버(200)의 측부에 형성된 고정홈(210)에 삽입되도록 한다. 또한 고정바(300)는 필터부(100)의 이탈을 방지하기 위한 오링(310) 또는 캡(미도시)을 포함한다.
챔버의 스테인리스 재질인 경우 챔버의 벽면에 고정홈(210)을 만들기 어렵기 때문에 도 5에 도시된 바와 같이 챔버(200)의 내부에 챔버(200)의 양 측벽과 탈착결합 가능한 패널부(500)를 포함할 수 있다. 패널부(500)는 고정바(300)의 양단부가 삽입결합될 수 있는 결합돌기(510)를 포함하여 여러 형태로 구성된다.
종래의 챔버는 하부와 뒷면에 필터 탈리 방지를 위한 평철 형태의 고정바(미도시)가 있으나, 공기 저항이 크게 발생하고 구조가 견고하지 못한 단점이 있다. 이에 반하여 본 발명에 도시된 고정바(300)는 견고할 뿐만 아니라 공기 저항의 발생도 적은 장점이 있다.
도 6은 본 발명에 따른 기액접촉 필터 모듈의 물받이부를 나타낸 사시도이고, 도 7은 본 발명에 따른 기액접촉 필터 모듈의 물받이부를 나타낸 측면도이다.
도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이 물받이부(400)는 유체를 챔버(200) 전면 방향으로 이송시킬 수 있도록 일정한 경사가 형성된 복수의 경사홈(410); 경사홈(410)의 단부에 일자 형상으로 형성되어 물을 배수시키는 배수부(430); 배수부(430)의 전면에 돌출 형성되어 공기의 흐름을 차단하는 공기흐름 방지턱(420);을 포함한다.
분사된 미세 액적은 필터부(100)를 통과하면서 공기 중의 오염물들을 포집하고 필터부(100)의 필터들에 부딪혀서 챔버(200)의 후면 바닥으로 떨어지며, 떨어진 물(유체)을 앞면으로 이송하여, 챔버(200)의 하부로 유도하여야 물(유체)의 비산을 저감시킬 수 있다. 이 때 챔버(200) 하단의 고인 물을 챔버(200)의 전면 방향으로 유도하기 위하여 챔버(100)하단에 일정한 경사가 형성된 복수의 경사홈(410)을 형성한다. 경사홈(410)의 단부에는 이송된 물이 배수되는 일자 형상으로 형성된 배수부(430)가 구비되고, 배수부(430)의 전면에 공기의 흐름을 차단시키기 위하여 돌출 형성된 공기흐름 방지턱(420)이 형성된다. 배수부(430)의 형상은 사각형, 원형 등 배수가 잘 될 수 있는 구조로 형성된다.
경사홈(410)의 폭은 제1 필터(110) 또는 제2 필터(120)의 폭보다 작은 크기로 형성되어, 제1 필터(110) 또는 제2 필터(120)가 경사홈(410)으로 빠지는 것을 방지한다. 바람직하게는 경사홈(410)의 폭은 4mm 이하로 형성한다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기액접촐 필터 모듈의 물받이부를 나타낸 사시도이다. 스테인리스 챔버의 경우 도 8에 도시된 바와 같이 물받이부(400)의 뒷부분에 턱을 주어 공기의 흐름을 차단시킬 수 있다.
이상과 같은 구성을 갖는 기액접촉 필터 모듈은 1차적으로 노즐(미도시)에 의해 미세한 사이즈의 물방울을 생성시켜 표면 접촉 방식으로 미립자를 응축, 포집하고 이를 필터부(100)에 충돌시켜 제거하게 된다. 2차적으로 미립자 제거 과정에서 발생하는 물의 비산을 효율적으로 저감할 수 있다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형 가능한 것으로, 본 발명의 보호범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
100: 필터부
110: 제1 필터 120: 제2 필터
111, 112, 121, 122: 관통홀
200: 챔버 210: 고정홈
300: 고정바 310: 오링
400: 물받이부 410: 경사홈
420: 공기흐름 방지턱 430: 배수부
500: 패널부 510: 결합돌기

Claims (8)

  1. 일정 간격으로 배열되는 복수의 파형의 필터를 포함하는 필터부(100);
    상기 필터부(100)가 채용되는 사각 프레임 형상의 챔버(200);
    상기 챔버(200)의 양 측부에 결합되어 상기 필터부(100)를 고정하는 고정바(300);
    상기 챔버(200)의 하단에 형성되어 유체를 외부로 안내하는 물받이부(400);를 포함하는 것을 특징으로 하는 기액접촉 필터 모듈
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 필터부(100)는
    상기 챔버(200)의 전후방향으로 소정의 길이(L1)를 가지고, 파형의 골부위가 소정의 각도(θ1)로 경사진 제1 필터(110);
    상기 챔버(200)의 전후방향으로 상기 소정의 길이(L1)보다 상대적으로 작은 소정의 길이(L2)를 가지고, 파형의 골부위가 상기 소정의 각도(θ1)와 다른 소정의 각도(θ2)로 경사진 제2 필터(120);를 포함하며
    상기 제1 필터(110)와 상기 제2 필터(120)는 일정 간격으로 교대로 배열되는 것을 특징으로 하는 기액접촉 필터 모듈
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 소정의 각도(θ1)는 25~30°인 것을 특징으로 하는 기액접촉 필터 모듈
  4. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 제1 필터(110) 및 상기 제2 필터(120)는 상기 고정바(300)가 관통될 수 있는 복수의 관통홀(111, 112, 121, 122)을 포함하고
    상기 관통홀(111, 112, 121, 122)의 위치는 상기 제1 필터(110) 및 상기 제2 필터(120)의 높이를 상하 방향으로 6등분시 각각 1/6지점 및 4/6지점에 위치하는 것을 특징으로 하는 기액접촉 필터 모듈
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 챔버(200)의 양 측벽에는 상기 고정바(300)의 양 단부가 삽입고정될 수 있는 고정홈(210)이 형성되는 것을 특징으로 하는 기액접촉 필터 모듈
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 챔버(200)는 내부에 상기 챔버(200)의 양 측벽과 탈착결합 가능한 패널부(500)를 포함하고
    상기 패널부(500)는 상기 고정바(300)의 양단부가 삽입결합될 수 있는 결합돌기(510)를 포함하고
    상기 고정바(300)는 상기 필터부(100)의 이탈을 방지하기 위한 오링(310) 또는 캡(미도시)을 포함하는 것을 특징으로 하는 기액접촉 필터 모듈
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 물받이부(400)는 유체를 챔버(200) 전면 방향으로 이송시킬 수 있도록 일정한 경사가 형성된 복수의 경사홈(410);
    상기 경사홈(410)의 단부에 일자 형상으로 형성되어 물을 배수시키는 배수부(430);
    상기 배수부(430)의 전면에 돌출 형성되어 공기의 흐름을 차단하는 공기흐름 방지턱(420);을 포함하고
    상기 경사홈(410)은 상기 제1 필터(110) 및 상기 제2 필터(120)와 동일한 방향으로 등 간격으로 배열되는 것을 특징으로 하는 기액접촉 필터 모듈
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 경사홈(410)의 폭은 상기 제1 필터(110) 또는 상기 제2 필터(120)의 폭보다 작은 크기로 형성되는 것을 특징으로 하는 기액접촉 필터 모듈
KR1020180140118A 2018-11-14 2018-11-14 기액접촉 필터 모듈 Active KR102230599B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180140118A KR102230599B1 (ko) 2018-11-14 2018-11-14 기액접촉 필터 모듈

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180140118A KR102230599B1 (ko) 2018-11-14 2018-11-14 기액접촉 필터 모듈

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20200056148A true KR20200056148A (ko) 2020-05-22
KR102230599B1 KR102230599B1 (ko) 2021-03-23

Family

ID=70913976

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020180140118A Active KR102230599B1 (ko) 2018-11-14 2018-11-14 기액접촉 필터 모듈

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102230599B1 (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20260011937A (ko) 2024-07-17 2026-01-26 주식회사 코레드 기액접촉여재를 이용한 악취저감 및 공기정화 장치

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003326102A (ja) 2002-05-10 2003-11-18 Tadahiro Omi 気液接触装置
KR20080097605A (ko) 2007-05-02 2008-11-06 (주)신성이엔지 가스 불순물 제거 장치
WO2013015415A1 (ja) * 2011-07-28 2013-01-31 株式会社Ihi ガス分離装置及び充填材
KR101474981B1 (ko) 2013-03-04 2014-12-22 제이앤텍 주식회사 워터링 에어필터장치
JP2017006868A (ja) 2015-06-24 2017-01-12 オルガノ株式会社 空気浄化装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003326102A (ja) 2002-05-10 2003-11-18 Tadahiro Omi 気液接触装置
KR20080097605A (ko) 2007-05-02 2008-11-06 (주)신성이엔지 가스 불순물 제거 장치
WO2013015415A1 (ja) * 2011-07-28 2013-01-31 株式会社Ihi ガス分離装置及び充填材
KR101474981B1 (ko) 2013-03-04 2014-12-22 제이앤텍 주식회사 워터링 에어필터장치
JP2017006868A (ja) 2015-06-24 2017-01-12 オルガノ株式会社 空気浄化装置

Also Published As

Publication number Publication date
KR102230599B1 (ko) 2021-03-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101478973B1 (ko) 복수기능의 기액접촉수단을 이용한 산성 폐가스 처리 스크러버
KR101564580B1 (ko) 폐가스 성상에 따라 처리에 적합하도록 복수기능의 기액접촉수단으로 조합된 폐가스 처리 스크러버
KR101420508B1 (ko) 이온화 습식 전기집진장치
KR101769538B1 (ko) 데미스터 필터 모듈
KR101382140B1 (ko) 분진 세정 및 가스 흡수가 효율적인 다기능 대기오염처리장치
JP2009539579A (ja) 湿式静電集塵装置
CN106166426A (zh) 含有颗粒物、难溶性物质和气态污染物的废气的处理装置
EP0765186A1 (en) Chevron-type mist eliminator and system
KR102260160B1 (ko) 수평형 스크러버 장치
KR101783373B1 (ko) 반도체공정에서 배출되는 유독성 폐가스를 처리하는 스크러버
KR101550990B1 (ko) 습식 가스스크러버
KR20110095302A (ko) 유출물 스크럽 및 습기 제어가 강화된 저감 시스템
KR101947733B1 (ko) 복수기능의 기액접촉수단을 이용한 폐가스 처리용 수평식 스크러버
KR100613264B1 (ko) 배출가스 습식 정화장치
KR101595218B1 (ko) 공기정화장치
KR200295322Y1 (ko) 볼벤튜리를 이용한 유해가스 및 악취 정화장치
KR20200056148A (ko) 기액접촉 필터 모듈
KR101740614B1 (ko) 온실가스 제거 효율이 향상된 연도 가스 처리 장치
KR102405585B1 (ko) 오염공기 정화장치
KR101765189B1 (ko) 악취가스 탈취장치
KR101564579B1 (ko) 폐가스 성상에 따라 처리에 적합하도록 복수기능의 기액접촉수단으로 조합된 폐가스 처리 스크러버
KR200425748Y1 (ko) 충돌식 스크러버의 수막층 생성구조
KR20050074931A (ko) 균등접촉식 습식 집진장치
KR102589114B1 (ko) 유해 배기가스 습식 정화장치
KR200442816Y1 (ko) 집진장치

Legal Events

Date Code Title Description
PA0109 Patent application

St.27 status event code: A-0-1-A10-A12-nap-PA0109

PA0201 Request for examination

St.27 status event code: A-1-2-D10-D11-exm-PA0201

D13-X000 Search requested

St.27 status event code: A-1-2-D10-D13-srh-X000

D14-X000 Search report completed

St.27 status event code: A-1-2-D10-D14-srh-X000

E902 Notification of reason for refusal
PE0902 Notice of grounds for rejection

St.27 status event code: A-1-2-D10-D21-exm-PE0902

PG1501 Laying open of application

St.27 status event code: A-1-1-Q10-Q12-nap-PG1501

T11-X000 Administrative time limit extension requested

St.27 status event code: U-3-3-T10-T11-oth-X000

T11-X000 Administrative time limit extension requested

St.27 status event code: U-3-3-T10-T11-oth-X000

T11-X000 Administrative time limit extension requested

St.27 status event code: U-3-3-T10-T11-oth-X000

T11-X000 Administrative time limit extension requested

St.27 status event code: U-3-3-T10-T11-oth-X000

E13-X000 Pre-grant limitation requested

St.27 status event code: A-2-3-E10-E13-lim-X000

P11-X000 Amendment of application requested

St.27 status event code: A-2-2-P10-P11-nap-X000

P13-X000 Application amended

St.27 status event code: A-2-2-P10-P13-nap-X000

E701 Decision to grant or registration of patent right
PE0701 Decision of registration

St.27 status event code: A-1-2-D10-D22-exm-PE0701

GRNT Written decision to grant
PR0701 Registration of establishment

St.27 status event code: A-2-4-F10-F11-exm-PR0701

PR1002 Payment of registration fee

St.27 status event code: A-2-2-U10-U11-oth-PR1002

Fee payment year number: 1

PG1601 Publication of registration

St.27 status event code: A-4-4-Q10-Q13-nap-PG1601

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 4

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 5

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 6

U11 Full renewal or maintenance fee paid

Free format text: ST27 STATUS EVENT CODE: A-4-4-U10-U11-OTH-PR1001 (AS PROVIDED BY THE NATIONAL OFFICE)

Year of fee payment: 6