KR20220113902A - 물품 검사용 촬영기 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 물품을 검사하는 데 사용되는 촬영기에 관한 것이다.
본 발명에 따른 촬영기는, 검사해야 할 검사대상물의 일면에 수직한 방향에 위치한 상태에서 상기 검사대상물의 일면에 있는 검사부분을 촬영하는 카메라; 상기 카메라에 결합되어서 상기 카메라와 함께 이동할 수 있으며, 상기 일면에 수직한 조사각도로 빛을 조사하는 수직 조명; 및 상기 카메라에 결합되어서 상기 카메라와 함께 이동할 수 있으며, 상기 일면에 대하여 상기 일면과 0도보다는 크고 90도보다는 작은 각의 범위 내의 조사각도로 빛을 조사하는 적어도 하나 이상의 경사 조명; 을 포함한다.
본 발명에 따르면, 검사부분에 조사각도를 달리하여 빛을 조사할 수 있기 때문에 물품에 대한 검사가 정확히 이루어질 수 있다.

Description

물품 검사용 촬영기{PHOTOGRAPHING DEVICE FOR CHECKING GOODS}
본 발명은 생산된 물품의 불량 여부를 검사하는 데 사용될 수 있는 촬영기에 관한 것이다.
반도체소자 테스트용 핸들러(이하 '핸들러'라 함)는 소정의 제조공정을 거쳐 제조된 반도체소자들을 테스터에 전기적으로 연결한 후 테스트 결과에 따라 반도체소자를 분류하는 장비이다.
반도체소자의 테스트를 지원하기 위한 핸들러는 대한민국 공개 특허 10-2002-0053406호나 10-2012-0027248호 등과 같은 다양한 특허 문헌을 통해 공개되어 있다.
핸들러는 반도체소자들을 테스터에 전기적으로 연결시키고 테스트 결과에 따라 반도체소자들을 분류하기 위해서 필요한 다수의 부속품들을 가진다. 그리고 부속품들 중에서는 테스트될 반도체소자의 규격 변화에 따라 교체되어야 할 부속품들이 존재한다. 예를 들어, 핸들러는 반도체소자들을 적재하는 테스트트레이와 테스트트레이에 적재된 반도체소자들을 테스터 측으로 가압하기 위한 매치플레이트를 가진다. 테스트트레이와 매치플레이트는 반도체소자와 직접 접촉되기 때문에 반도체소자의 규격 변화에 따라 교체되어야 할 부속품들인 것이다.
그런데, 테스트트레이와 매치플레이트의 기능이나 규격에 불량이 존재 또는 발생하게 되면, 핸들러의 작동 불량이나 반도체소자와 테스터 간의 전기적인 접촉 불량이 발생하게 된다.
따라서 핸들러를 생산하거나 반도체소자의 규격 변화에 따라 테스트트레이와 매치플레이트를 교체하고자 하는 경우에는, 반드시 테스트트레이와 매치플레이트에 대한 불량 여부를 먼저 검사하는 것이 필요하다. 물론, 부속품 교체의 경우가 아니더라도 핸들러의 설치 시에도 부속품의 검사가 필요하다. 예를 들면, 부속품 생산자의 경우 고객사 납품 전에 납품할 부속품에 대한 품질검사를 실시하여야 할 것이며, 고객사의 경우는 품질검사가 확인된 제품을 핸들러에 설치를 하거나 고객사 스스로 수령한 제품의 품질검사를 실시한 후 핸들러에 설치해야 할 수도 있는 것이다.
또한, 핸들러를 사용하다보면 일정 기간마다 정기적 또는 비정기적 안전 점검을 해야만 하고, 이러한 경우에도 테스트트레이와 매치플레이트의 장기 사용에 따른 불량 발생 여부를 먼저 검사하는 것이 필요하다. 이 때, 검사가 이루어질 항목에는 긁힘, 깨짐, 세부 부품의 상태 불량이나 기능 불량, 적절한 조립 여부, 부속품의 구부러짐 여부, 두께 및 폭, 부속품 내의 세부구조나 구성 및 형상들과 그들의 각도나 높이를 포함한 위치 그리고 개수 등이 있다. 긁힘, 깨짐, 세부부품의 상태 불량은 제품의 상품성 및 신뢰성을 하락시키고, 세부 부품의 기능 불량이나 부적절한 조립, 구부러짐, 두께 및 폭의 불량은 반도체소자와 테스터 간의 전기적인 접촉에 불량을 발생시킬 수 있다. 그리고 구부러짐, 두께 및 폭의 불량은 핸들러의 적절한 동작에 불량을 발생시킨다.
테스트트레이는 대한민국 공개특허 10-2008-0040654호 등에서 참조되는 바와 같이 반도체소자가 적재될 수 있는 다수의 인서트들을 가지고 있다. 인서트의 본체는 사출 성형되기 때문에 사출 불량이나 깨짐과 같이 육안에 의해 확인될 수 있는 불량을 가질 수 있다. 또한, 테스트트레이는 반도체소자를 고정시키기 위해 스프링에 의해 복원되는 래치를 가지고 있으며, 래치의 고정 기능에 불량이 있을 수도 있다. 그리고 생산 시에 테스트트레이의 프레임의 규격(두께나 폭 등)에 불량이 있거나, 테스트트레이가 오랜 시간 동안 반복적으로 사용되면서 구부러질 수도 있다.
매치플레이트는 대한민국 공개특허 10-2014-0127389호 등에서 참조되는 바와 같이 푸셔가 스프링에 의해 탄성 지지되는 상태로 설치판에 설치된다. 이러한 매치플레이트는 육안에 의해 확인될 수 있는 불량뿐만 아니라 푸셔를 탄성 지지하는 스프링의 기능(탄성력 정도)에 대한 불량도 가질 수 있다. 마찬가지로, 생산 시에 매치플레이트의 규격(두께나 폭 등)에 불량이 있거나, 매치플레이트가 오랜 시간 동안 반복적으로 사용되면서 구부러질 수도 있다.
종래에는 테스트트레이에 대한 검사와 매치플레이트에 대한 검사가 육안으로 이루어졌으며, 그 기능에 대한 불량도 수작업에 의해 이루어졌다.
그러나 육안에 의할 경우 작업자의 전문성이나 현재 상태(피로도나 시력 상태 등)에 따라 검사 품질이 달라질 수 있다. 따라서 부속품에 대한 일률적인 양호한 검사 작업이 어렵고, 이는 검사의 신뢰성을 떨어뜨리는 원인이 된다. 또한, 기능에 대한 수작업 검사도 검사 품질의 정확성이 담보되지 못하기 때문에 검사의 신뢰성이 더욱 떨어졌다.
특히, 테스트트레이 및 매치플레이트는 모두 판상의 형태여서 그 구부러짐, 두께 및 폭의 불량에 의해 이동 걸림, 양자 간의 정합 불량, 가압 거리 불량 및 반도체소자와 테스터 간의 접속 불량 등을 가져올 수 있기 때문에 그 구부러짐, 두께 및 폭도 중요한 검사 항목이다. 그런데 테스트트레이 및 매치플레이트의 구부러짐, 두께, 폭 및 강도는 육안으로 확인하기가 매우 곤란하다.
물론, 테스트트레이의 외관에 대한 검사장비, 테스트트레이에 대한 기능에 대한 검사장비, 매치플레이트의 외관에 대한 검사장비, 매치플레이트의 기능에 대한 검사장비들을 고려해 볼 수는 있다. 그러나 별도의 여러 검사장비들을 구비하는 것은, 추가 비용에 대한 부담과 공간 활용성의 저하 때문에 바람직하지 못하다.
일반적으로 테스트트레이와 매치플레이트는 상호 정합하는 관계이기 때문에 모두 판상이면서 그 면적도 대략 비슷하다. 따라서 하나의 검사장비로 동일한 절차에 의해 테스트트레이와 매치플레이트를 모두 검사할 수 있도록 하는 검사장비를 제안해 볼 수도 있다. 그런데, 만일 검사장비 내에서 테스트트레이의 이동과 매치플레이트의 이동 흐름 과정이 동일하다면, 상호 간의 중량 및 개수 차이에서 다음과 같은 몇 가지의 문제가 도출된다.
첫째, 테스트트레이는 핸들러 내에서 십 수 장이 순환하게 되고, 매치플레이트는 테스트위치에만 고정 설치되기 때문에 하나의 핸들러에 적용되는 테스트트레이의 개수와 매치플레이트의 개수는 다르다. 따라서 매치플레이트를 테스트트레이의 이동 흐름과 동일하게 가져가는 것은 시간 낭비를 초래할 수 있다.
둘째, 매치플레이트는 테스트트레이보다 상대적으로 매우 무겁다. 따라서 매치플레이트와 테스트트레이의 무게에 영향을 받는 제반 부품들의 강도를 테스트트레이를 기준으로 설계하면 제반 부품들이 매치플레이트의 무게를 견딜 수 없게 된다. 그렇다고 제반 부품들의 강도를 매치플레이트 기준으로 설계하면 검사장비의 생산비용이 큰 폭으로 상승하게 된다.
셋째, 테스트트레이나 매치플레이트는 핸들러마다 그 규격이나 특징이 다른데, 핸들러를 운영하는 업체 또는 생산하는 업체 그리고 그에 맞는 부속품을 생산하거나 납품하는 업체는 경우에 따라 소량이더라도 여러 종류의 부속품으로 운영하는 경우도 있기에 각각에 맞는 검사장비를 별도로 구비한다는 것은 막대한 비용을 초래하게 된다.
넷째, 테스트트레이나 매치플레이트는 각각 검사해야할 부분들이 어디냐에 따라 조명의 조사각이 달라져야할 필요가 있어서 어느 한 부분을 기준으로 한 조사각을 가지는 조명으로는 정확한 검사를 진행하기가 곤란할 수 있다.
본 발명은 카메라와 조명이 상호 결합되어 있어서 함께 이동할 수 있으면서도 조명의 조사각도를 변경하면서 물품을 촬영할 수 있는 기술을 제공하는 것이다.
위와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 물품 검사용 촬영기는, 검사해야 할 검사대상물의 일면에 수직한 방향에 위치한 상태에서 상기 검사대상물의 일면에 있는 검사부분을 촬영하는 카메라; 상기 카메라에 결합되어서 상기 카메라와 함께 이동할 수 있으며, 상기 일면에 수직한 조사각도로 빛을 조사하는 수직 조명; 및 상기 카메라에 결합되어서 상기 카메라와 함께 이동할 수 있으며, 상기 일면에 대하여 상기 일면과 0도보다는 크고 90도보다는 작은 각의 범위 내의 조사각도로 빛을 조사하는 적어도 하나 이상의 경사 조명; 을 포함하고, 상기 수직 조명과 상기 적어도 하나 이상의 경사 조명은 제어장치에 의해 독립적으로 제어된다.
상기 경사 조명은 복수개로 구비되되, 복수개의 경사 조명은 상호 다른 각으로 상기 일면에 대하여 빛을 조사한다.
상기 수직 조명은 다수개의 광원을 가지며, 상기 다수개의 광원 중 적어도 하나는 나머지 광원들과 다른 색의 빛을 조사한다.
상기 경사 조명은 다수개의 광원을 가지며, 상기 다수개의 광원 중 적어도 하나는 나머지 광원들과 다른 색의 빛을 조사한다.
상기 다수개의 광원은 조사하는 빛의 세기가 상기 제어장치에 의해 조절될 수 있다.
상기 경사 조명은 다수개의 광원을 가지며, 상기 다수개의 광원은 상기 일면에 평행한 가상면 상에 원의 형태로 배치된다.
본 발명에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 조명에 있는 광원들의 배치 구조를 변경하지 않고서도 조사각을 변경하면서 촬영할 수 있기 때문에 물품에 대한 흠결 검사의 정확도가 상승한다.
둘째, 조사되는 빛의 색을 다양하게 조절할 수 있기 때문에 검사의 정확도가 더욱 상승한다.
셋째, 카메라의 촬영각을 확보하면서도 수직 조명과 적어도 하나 이상의 경사 조명들이 카메라에 결합된 상태에서 일체로 이동할 수 있기 때문에 장비의 설계가 용이하다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 촬영기가 적용된 검사장비에 대한 구조를 보여주는 개념적인 정면도이다.
도 2는 도 1의 검사장비에 대한 구조를 보여주는 개념적인 측면도이다.
도 3은 도 1의 검사장비에 대한 구조를 보여주는 개념적인 평면도이다.
도 4는 도 1의 검사장비에 적용된 지지장치에 대한 사시도이다.
도 5는 도 4의 지지장치에 대한 일부 분해도이다.
도 6은 도 4의 지지장치의 작동을 설명하기 위한 참조도이다.
도 7은 도 4의 지지장치에 적용된 받침기를 설명하기 위한 참조도이다.
도 8은 도 4의 지지장치에 적용된 받침기에 대한 발췌도이다.
도 9는 도 1의 검사장비에 적용된 수납장치에 대한 사시도이다.
도 10의 도 9의 수납장치에 대한 일부 분해도이다.
도 11은 도 9의 수납장치에 적용된 무빙기의 작동을 설명하기 위한 참조도이다.
도 12는 도 1의 검사장비에 적용된 전후진장치에 대한 발췌 평면도이다.
도 13의 도 12의 전후진장치의 작동을 설명하기 위한 참조도이다.
도 14는 도 1의 검사장비에 적용된 트랜스퍼장치에 대한 사시도이다.
도 15는 도 14의 트랜스퍼장치에 적용된 파지기에 대한 저면 사시도이다.
도 16은 도 14의 트랜스퍼장치에 적용된 파지기를 설명하기 위한 참조도이다.
도 17은 도 14의 트랜스퍼장치의 작동을 설명하기 위한 참조도이다.
도 18은 도 14의 트랜스퍼장치가 파지기의 높이를 조절한 상태를 보여준다.
도 19는 도 14의 트랜스퍼장치가 테스트트레이를 파지할 수 있는 상태를 보여준다.
도 20은 도 14의 트랜스퍼장치가 테스트트레이를 수납장치로부터 인출한 상태를 보여준다.
도 21은 도 14의 트랜스퍼장치가 테스트트레이를 지지장치로 공급할 수 있는 상태를 보여준다.
도 22는 도 14의 트랜스퍼장치가 지지장치로 테스트트레이를 공급하는 상태를 보여준다.
도 23은 도 14의 트랜스퍼장치가 테스트트레이를 180도 회전시킨 상태를 보여준다.
도 24는 도 1의 검사장비에 적용된 검사장치에 대한 발췌도이다.
도 25는 도 24의 검사장치에 적용된 본 발명의 일 실시예에 따른 촬영기에 대한 개략적인 절개도이다.
도 26은 도 25의 촬영기에 대한 개념적인 구조도이다.
도 27은 도 24의 검사장치에 적용된 압력측정기에 대한 개요적인 구조도이다.
도 28은 도 1의 검사장비에 적용된 이동장치에 대한 사시도이다.
도 29는 도 1의 검사장비에 적용된 받침대에 대한 측단면도이다.
도 30은 도 1의 검사장비에 적용된 개폐도어에 대한 사시도이다.
도 31은 도 30의 개폐도어에 대한 다른 각도에서 바라본 사시도이다.
도 32는 도 30의 개폐도어에 적용된 정렬바의 기능을 설명하기 위한 참조도이다.
도 33은 도 1의 검사장비에 적용된 케이스에 구비되는 고정기에 대한 개략도이다.
이하 본 발명에 따른 바람직한 실시예에 대하여 설명한다. 참고로 설명의 간결함을 위해 중복되는 설명은 가급적 생략하거나 압축한다.
한편, 핸들러용 부속품을 검사하는 검사장비(100, 이하 '검사장비'라 약칭함)에 의해 검사되는 검사대상물인 테스트트레이와 매치플레이트는 반도체소자를 테스트할 때 반도체소자를 테스터에 전기적으로 접속시키는 핸들러에 구비되는 부속품이다. 테스트트레이는 다수의 반도체소자를 적재할 수 있는 부속품이고, 매치플레이트는 테스트트레이에 적재된 반도체소자들을 테스터 측으로 가압하기 위한 부속품이다. 따라서 본 설명에서는 테스트트레이와 매치플레이트를 통칭할 때 부속품이라 명칭한다.
<전체 구성에 대한 개요>
도 1 내지 도 3은 검사장비(100, 이하 '검사장비'라 약칭함)에 대한 개념적인 구조도로서, 도 1은 정면도, 도 2는 측면도, 도 3은 평면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 검사장비(100)는 지지장치(110), 수납장치(121), 전후진장치(122), 트랜스퍼장치(130), 검사장치(140), 이동장치(150), 제어장치(160), 받침대(170), 케이스(180) 및 개폐도어(190)를 포함한다. 참고로, 위의 지지장치(110), 수납장치(121), 전후진장치(122) 및 개폐도어(190)는 좌우 한 쌍으로 상호 대칭되게 구비되므로, 좌측의 지지장치(110), 수납장치(121), 전후진장치(122) 및 개폐도어(190)에 대한 설명으로 우측의 지지장치(110), 수납장치(121), 전후진장치(122) 및 개폐도어(190)에 대한 설명을 갈음한다.
지지장치(110)는 검사위치(TP)에 있는 부속품을 지지하며, 설치판(IP)에 설치된다.
수납장치(121)는 지지장치(110)의 하방에 구비되며, 테스트트레이들을 수납할 수 있다.
전후진장치(122)는 수납장치(121)를 전후 방향으로 전후진시킨다.
트랜스퍼장치(130)는 수납장치(120)에 있는 테스트트레이를 지지장치(110)로 이동시키거나 지지장치(110)에 의해 지지되고 있는 테스트트레이를 수납장치(120)로 이동시킨다.
검사장치(140)는 지지장치(110)에 의해 지지된 상태로 검사위치(TP)에 있는 부속품에 대한 검사를 수행하기 위해 마련된다.
이동장치(150)는 설치판에 설치되며, 검사장치(140)를 수평 방향인 좌우 방향이나 전후 방향으로 이동시킨다.
제어장치(160)는 제어가 필요한 각 구성들을 제어하며, 검사장치(140)에 의해 검사된 결과를 판단한다.
받침대(170)는 설치판(IP)에 설치되며, 검사장치(140)에 적용될 수 있는 다양한 규격의 누름부재들을 받친다. 이러한 받침대(170)는 다양한 규격의 누름부재의 탈착에 따라 누름부재들의 존재여부를 확인할 수 있는 센서를 구비할 수도 있다.
케이스(180)는 지지장치(110), 수납장치(121), 전후진장치(122), 트랜스퍼장치(130), 검사장치(140), 이동장치(150) 및 받침대(170)를 내부에 수용한다. 이러한 케이스(180)는 지지장치(110)를 전방으로 노출시키기 위한 제1 노출창(EW1)과 수납장치(121)를 전방으로 노출시키기 위한 제2 노출창(EW2)을 가진다. 따라서 관리자는 자신의 선택과 판단에 따라서 제2 노출창(EW2)을 통해 테스트트레이를 수납장치(121)로 공급하여 트랜스퍼장치(130)에 의해 수납장치(121)에 있는 테스트트레이를 지지장치(110)로 이동시키도록 하거나, 제1 노출창(EW1)을 통해 부속품을 지지장치(110)로 직접 공급할 수도 있다.
개폐도어(191)는 제2 노출창(EW2)을 개폐시키며, 제2 노출창(EW2)을 폐쇄시키는 동작에 의해 수납장치(121)에 수납된 테스트트레이를 정렬시킨다.
계속하여 위와 같은 검사장비(100)의 각 구성들에 대하여 더 구체적으로 설명한다.
<지지장치에 대한 설명>
지지장치(110)는 검사위치(TP)에 있는 부속품을 지지한다. 이를 위해 지지장치(110)는 도 4의 발췌도 및 도 5의 일부 분해도에서와 같이 설치판(IP)에 설치되는 한 쌍의 설치대(111a, 111b), 한 쌍의 지지바(112a, 112b), 한 쌍의 롤러조립체(113a, 113b), 승강기(114-1 내지 114-4)들, 간격조정기(115) 및 받침기(116)를 포함한다.
한 쌍의 설치대(111a, 111b)에는 한 쌍의 지지바(112a, 112b)가 설치된다. 특히 좌측의 제1 설치대(111a)에는 좌측의 제1 롤러조립체(113b) 및 승강기(114-1, 114-2)들도 설치된다. 이러한 한 쌍의 설치대(111a, 111b)는 각각의 후단에 부속품의 후단 위치를 결정하기 위한 스토퍼(ST)를 구비한다. 그리고 한 쌍의 설치대(111a, 111b) 중 좌측에 있는 제1 설치대(111a)는 좌우 방향으로 이동 가능하게 구비되고, 우측에 있는 제2 설치대(111b)는 설치판(IP)에 고정된다.
한 쌍의 지지바(112a, 112b)는 한 쌍의 설치대(111a, 111b)에 각각 나뉘어 설치되며, 검사위치(TP)에 있는 부속품을 지지한다. 이러한 한 쌍의 지지바(112a, 112b)는 안내돌기(GP)들과 통과구멍(TH)들을 가진다.
안내돌기(GP)들은 부속품이 적절한 위치에 놓이면서 지지바(112a, 112b)에 얹어지도록 안내한다. 이를 위해 안내돌기(GP)들은 하방으로 갈수록 폭이 넓어지는 형상을 가짐으로써 상측에서 하측 방향으로 놓이는 부속품의 적절한 위치를 안내한다.
통과구멍(TH)들은 안내돌기(GP)들 사이에 형성되어 있으며, 후술할 롤러조립체(113a, 113b)의 롤러(R)가 승강할 수 있는 통로를 제공한다.
한 쌍의 롤러조립체(113a, 113b)는 상방으로 돌출된 다수의 롤러(R)들을 가진다. 여기서 다수의 롤러(R)들은 좌우방향으로의 수평선(HL)을 회전축으로 하여 회전하게 된다. 이러한 한 쌍의 롤러조립체(113a, 113b)는 각각 승강 가능하게 구비된다.
승강기(114-1 내지 114-4)들은 실린더로 구비되며, 한 쌍의 롤러조립체(113a, 113b)를 승강시킨다. 여기서 좌측 두 개의 승강기(114-1, 114-2)와 제1 롤러조립체(113a)는 결합부재(JE)를 게재하여 결합되어 있고, 우측 두 개의 승강기(114-3, 114-4)와 제2 롤러조립체(113b)는 직접 결합되어 있다. 만일 승강기(114-1 내지 114-4)들에 의해 롤러조립체(113a, 113b)가 상승하면 측면도인 도 6의 (a)에서와 같이 롤러(R)들의 상단이 지지바(112a, 112b)의 상단보다 위로 돌출되고, 승강기(114-1 내지 114-4)에 의해 롤러조립체(113a, 113b)가 하강하면 도 6의 (b)에서와 같이 롤러(R)들의 상단이 지지바(112a, 112b)의 상단과 적어도 동일하거나 그 아래에 위치하도록 내려간다. 따라서 도 6의 (a) 상태에서는 부속품(SP)이 지지바(112a, 112b)와 상하 방향으로 일정 간격(L) 이격된 상태가 되고, 도 6의 (b) 상태에서는 부속품(SP)이 지지바(112a, 112b)에 얹어지게 된다.
간격조정기(115)는 제1 설치대(111a)를 좌우 방향으로 이동시킨다. 따라서 간격조정기(115)가 작동하면 제1 설치대(111a)에 설치된 제1 지지바(112a)와 제1 롤러조립체(113a)도 좌우 방향으로 이동하게 된다. 이러한 간격조정기(115)에 의해 한 쌍의 지지바(112a, 112b) 간의 간격과 한 쌍의 롤러조립체(113a, 113b) 간의 간격이 조정되기 때문에 다양한 규격의 좌우 폭을 가지는 부속품(SP)들에 대한 검사가 가능해진다.
한편, 도 7에서와 같이 받침기(116)는 매치플레이트(MP)의 푸셔(PS)가 하방으로 눌려질 때, 매치플레이트(MP)의 프레임(FM)에 있는 지점들 중 하방으로 눌려지는 푸셔(PS)를 사이에 둔 전후 양측 지점(P1, P2)을 받친다. 이를 위해 받침기(116)는 도 8의 발췌도에서 참조되는 바와 같이 이동판(116a), 제1 이동기(116b), 결합판(116c), 전후 한 쌍의 받침판(116d-1, 116d-2), 전후의 승강원(116e-1 내지 116e-4)들 및 제2 이동기(116f)를 포함한다. 더 나아가 본 실시예에서의 받침기(116)는 부속품(SP)의 하방에서 상방을 향해 빛을 비추기 위한 조명기(116g)를 더 포함한다.
이동판(116a)에는 결합판(116c), 전후 한 쌍의 받침판(116d-1, 116d-2), 전후의 승강원(116e-1 내지 116e-4)들, 제2 이동기(116f) 및 조명기(116g)가 결합 설치되어 있다. 이러한 이동판(116a)은 제1 이동기(116b)에 의해 좌우 방향으로 이동 가능하게 구비된다.
제1 이동기(116b)는 이동판(116a)을 좌우 방향으로 이동시킨다. 따라서 제1 이동기(116b)에 의해 이동판(116a)에 결합된 결합판(116c), 전후 한 쌍의 받침판(116d-1, 116d-2), 전후의 승강원(116e-1 내지 116e-4)들, 제2 이동기(116f) 및 조명기(116g)가 좌우 방향으로 이동될 수 있다.
결합판(116c)에는 전후 한 쌍의 받침판(116d-1, 116d-2), 전후의 승강원(116e-1 내지 116e-4)들 및 조명기(116g)가 결합 설치된다. 이러한 결합판(116c)은 제2 이동기(116f)에 의해 전후 방향으로 이동 가능하게 구비된다.
조명기(116g)를 사이에 두고 구비되는 전후 한 쌍의 받침판(116d-1, 116d-2)은 도 7에서와 같이 힘(F)로 눌려지는 푸셔(PS)의 양측 지점(P1, P2)에서 매치플레이트(MP)의 프레임(FM)을 받친다. 따라서 푸셔(PF)가 눌려지더라도 매치플레이트(MP)가 휘는 불량이 발생할 염려가 없고, 푸셔(PS)를 탄성 지지하는 스프링(S)에 대한 탄성력도 정확하게 감지될 수 있다.
전후의 승강원(116e-1 내지 116e-4)들은 각각 받침판(116d-1, 116d-2)을 승강시킨다. 즉, 받침판(116d-1, 116d-2)이 매치플레이트(MP)의 프레임(FM)을 지지할 필요가 있는 경우에는, 승강원(116e-1 내지 116e-4)들이 작동하여 받침판(116d-1, 116d-2)을 상승킴으로써 도 7에서와 같이 받침판(116d-1, 116d-2)이 매치플레이트(MP)의 프레임(FM)을 받칠 수 있도록 한다. 참고로, 매치플레이트(MP)의 가장 끝단 쪽의 검사를 할 경우에는 일 측만 지지하여도 무방한 경우도 있고 푸셔(PS)를 탄성 지지하는 스프링(S)도 하나만 구비되는 경우도 있으므로, 경우에 따라서 전후의 승강원(116e-1 내지 116e-4)들 중 전방 측 또는 후방 측 중 어느 일 측의 승강원(116e-1과 116e-2 또는 116e-3과 116e-4)만 구비되거나 전후의 승강원(116e-1 내지 116e-4)들 중 어느 일 측만 작동되도록 제어될 수도 있다.
제2 이동기(116f)는 결합판(116c)을 전후 방향으로 이동시킴으로써 전후 한 쌍의 받침판(116d-1, 116d-2), 전후의 승강원(116e-1 내지 116e-4)들 및 조명기(116g)를 전후 방향으로 이동시킨다. 즉, 제1 이동기(116b)와 제2 이동기(116f)의 작동에 따라서 결합판(116c)이 전후 및 좌우 방향으로 이동될 수 있기 때문에 부속품(SP)의 전체 영역에 걸쳐 전후 한 쌍의 받침판(116d-1, 116d-2)과 조명기(116g)가 위치될 수 있다. 물론, 결합판(116c)은 검사 작업의 수행 시에 검사장치(140)의 수직 하방에 위치되도록 검사장치(140)의 이동과 연동하여 이동하게 된다.
조명기(116g)는 검사장치(140)에 구비되는 조명에 의한 검사가 불완전할 수 있는 경우에 사용되며, 부속품(SP)의 하측에서 상방으로 빛을 비추도록 하기 위해 마련된다. 이러한 조명기(116g)는 백라이트유닛으로 구비될 수 있으며, 결합판(116c)과 함께 전후 및 좌우 방향으로 이동한다.
참고로, 받침판(116d-1, 116d-2)과 조명기(116g)가 결합된 상태로 제1 이동기(116b)와 제2 이동기(116f)에 의해서 전후 방향 및 좌우 방향으로 이동하기 때문에 받침판(116d-1, 116d-2)과 조명기(116g)가 검사장치(140)와 대응되는 하방에 위치할 수 있다. 따라서 부속품(SP)의 전체 평면적에 해당하는 받침판(116d-1, 116d-2)과 조명기(116g)를 필요로 하지 않고도, 효율적으로 검사부위에 맞게 검사장치(140)와 대응되게 연동 구동되는 구조를 가진다. 그리고 이러한 구조에 의해 공간 활용과 효율성 증대라는 이점을 얻을 수 있다.
이어서 위의 지지장치(110)의 작동에 대해서 설명한다.
간격조정기(115)는 기 입력된 부속품(SP)에 대한 표준 규격 정보에 따라 제1 설치대(111)를 좌우 방향으로 이동시켜서 한 쌍의 지지바(112a, 112b) 간의 좌우 간격과 한 쌍의 롤러조립체(113a, 113b) 간의 좌우 간격을 조정한다. 그리고 승강기(114-1 내지 114-4)들이 작동하여 도 6의 (a)에서와 같이 한 쌍의 롤러조립체(113a, 113b)를 상승시킨다. 한 쌍의 롤러조립체(113a, 113b)가 상승한 상태에서 부속품(SP)은 관리자의 선택에 따라서 수납장치(121)를 경유한 후 트랜스퍼장치(130)에 의해 지지장치(110)로 공급될 수도 있고, 관리자에 의해 직접 제1 노출창(EW1)을 통해 지지장치(110)로 공급될 수도 있다. 이 때, 지지장치(110)로 부속품(SP)이 공급되는 과정에서 먼저 롤러조립체(113a, 113b)의 롤러(R)들에 부속품(SP)이 얹어지게 되기 때문에 트랜스퍼장치(130)나 관리자의 손이 지지바(112a, 112b)와 간섭되는 것이 방지된다. 또한, 제1 노출창(EW1)을 통해 부속품(SP)이 관리자에 의해 직접 지지장치(110)로 공급되는 경우에는, 한 쌍의 롤러조립체(113a, 113b)에 구비된 롤러(R)들에 의해 부속품(SP)의 후방 이동 시에 발생할 있는 이동 마찰이 최소화된다.
그리고, 부속품(SP)의 후단이 스토퍼(ST)에 접촉함으로써 감지기(도시되지 않음)가 부속품(SP)이 적절한 위치에 있음을 확인하게 되면, 승강기(114-1 내지 114-4)들이 한 쌍의 롤러조립체(113a, 113b)를 하강시킴으로써 도 6의 (b)에서와 같이 부속품(SP)의 양단이 한 쌍의 지지바(112a, 112b)에 얹어지게 된다. 물론, 부속품(SP)이 지지장치(110)에서 수거되는 경우에도 한 쌍의 롤러조립체(13a, 113b)가 승강함으로써 부속품(SP)의 수거 작업을 돕게 된다.
한편, 검사장치(140)에 의해 검사위치(TP)에 있는 부속품(SP)에 대한 검사가 이루어질 때, 받침기(116)는 결합판(116c)을 이동시키면서 조명기(116g)를 작동시켜 상방으로 빛을 비추거나, 승강원(116e-1 내지 116e-4)이 작동되어 받침판(116d-1, 116d-2)으로 메치플레이트(MP)의 프레임(FM)을 받친다.
<수납장치에 대한 설명>
수납장치(121)는 상하 방향으로 여러 개의 테스트트레이를 적재 수납하기 위해 마련된다. 이를 위해 수납장치는 도 9의 발췌도에서와 같이 상호 마주보는 한 쌍의 지지체(121a, 121b), 측방이동기(121c) 및 무빙기(121d)를 가진다.
한 쌍의 지지체(121a, 121b) 각각은 상하 방향으로 일정 간격 이격된 다수의 적층판(121a-1, 121b-1)들을 가진다. 여기서 적층판(121a-1, 121b-1)들은 테스트트레이(TT)의 양단을 공간에 띄우기 위한 돌출부분(PP)이 구비된다.
테스트트레이(TT)는 상호 마주보는 적층판(121a-1, 121b-1)의 돌출부분(PP) 위에 좌우 양측이 얹어지는 상태로 수납장치(121)에 수납된다.
그리고, 한 쌍의 지지체(121a, 121b) 중 좌측의 제1 지지체(121a)는 좌우 방향으로 이동 가능하게 베이스판(BP)에 결합되어 있다.
측방이동기(121c)는 베이스판(BP)에 설치되며, 제1 지지체(121a)를 좌우 방향으로 이동시킴으로써 한 쌍의 지지체(121a, 121b) 간의 좌우 방향으로의 간격을 좁히거나 벌린다. 따라서 다양한 규격의 좌우 폭을 가지는 테스트트레이(TT)들이 수납장치(121)에 적절히 수납될 수 있다.
한편, 무빙기(121d)는 관리자에 의해 수납장치(121)에 수납된 테스트트레이(TT)를 트랜스퍼장치(130)가 파지할 수 있는 후방으로 이동시키거나, 트랜스퍼장치(130)에 의해 수납장치(121)로 되돌아 온 테스트트레이(TT)를 전방으로 이동시킨다. 이를 위해 무빙기(131d)는 제1 지지체(121a)에 결합 설치되며, 도 10의 일부 분해도에서와 같이 다수의 제1 밀대(121a-1), 제1 이동판(121a-2), 제1 왕복기(121a-3), 다수의 제2 밀대(121a-4), 제2 이동판(121a-5), 제2 왕복기(121a-6), 결합프레임(121a-7) 및 전후진기(121a-8)를 포함한다.
다수의 제1 밀대(121a-1)는 관리자에 의해 수납장치(121)로 수납된 테스트트레이(TT)를 수납장치(121) 내에서 트랜스퍼장치(130)가 파지할 수 있는 후방으로 밀어 이동시키기 위해 사용된다.
제1 이동판(121a-2)에는 다수의 제1 밀대(121a-1)가 상하 방향으로 등간격을 가지며 결합되어 있다. 이러한 제1 이동판(121a-2)은 결합프레임(121a-7)에 좌우 방향으로 이동 가능하게 결합된다.
제1 왕복기(121a-3)는 제1 이동판(121a-2)을 좌우 방향으로 왕복 이동시킬 수 있다. 따라서 제1 왕복기(121a-3)의 작동에 따라서 개략적인 평면도인 도 11의 (a)에서 참조되는 바와 같이 제1 이동판(121a-2)이 우측으로 이동된 상태에서는 테스트트레이(TT)를 후방으로 밀 수 있는 상태가 되고, 제1 이동판(121a-2)이 좌측으로 이동된 상태에서는 도 11의 (b)에서 참조되는 바와 같이 테스트트레이(TT)와 간섭 없이 전후 방향으로 이동될 수 있다.
다수의 제2 밀대(121a-4)는 트랜스퍼장치(130)에 의해 수납장치(121)로 되돌아 온 테스트트레이(TT)를 관리자가 편리하게 수거할 수 있도록 전방으로 이동시키기 위해 사용된다. 참고로 도 10에서 다수의 제2 밀대(121a-4) 중 가장 상측의 것을 제외하고 나머지 하방의 것들은 결합프레임(121a-7)에 의해 가려져 있다.
제2 이동판(121a-5)에는 다수의 제2 밀대(121a-4)가 상하 방향으로 등간격을 가지며 결합되어 있다. 이러한 제2 이동판(121a-5)은 제1 이동판(121a-2)의 후방에 일정 간격 이격되게 구비되며, 결합프레임(121a-7)에 좌우 방향으로 이동 가능하게 결합된다.
제2 왕복기(121a-6)는 제2 이동판(121a-5)을 좌우 방향으로 왕복 이동시킬 수 있다. 마찬가지로 제2 왕복기(121a-6)에 의해 제2 이동판(121a-5)이 우측으로 이동된 상태에서는 테스트트레이(TT)를 전방으로 밀 수 있는 상태가 되고, 제2 이동판(121a-5)이 좌측으로 이동된 상태에서는 테스트트레이(TT)와 간섭 없이 전후 방향으로 이동될 수 있다.
결합프레임(121a-7)은 전후 방향으로 이동 가능하게 구비된다. 이러한 결합프레임에는 궁극적으로 다수의 제1 밀대(121a-1), 제1 이동판(121a-2), 제1 왕복기(121a-3), 다수의 제2 밀대(121a-4), 제2 이동판(121a-5) 및 제2 왕복기(121a-6)가 결합되어 있다. 따라서 결합프레임(121a-7)이 전후 방향으로 이동하면, 다수의 제1 밀대(121a-1), 제1 이동판(121a-2), 제1 왕복기(121a-3), 다수의 제2 밀대(121a-4), 제2 이동판(121a-5) 및 제2 왕복기(121a-6)도 전후 방향으로 이동하게 된다.
전후진기(121a-8)는 결합프레임(121a-7)을 전후 방향으로 이동시킨다. 물론, 이러한 전후진기(121a-8)의 작동에 의해 우측으로 전진한 제1 밀대(121a-1)가 테스트트레이(TT)를 후방으로 밀어 이동시키거나 제2 밀대(121a-4)가 테스트트레이(TT)를 전방으로 밀어 이동시킨다.
<전후진장치에 대한 설명>
전후진장치(122)는 도 12의 발췌 평면도에서와 같이 베이스판(BP)을 전후 방향으로 전후진시킴으로써 베이스판(BP)에 결합되어 있는 수납장치(121)를 전후 방향으로 전후진시킨다. 도 13에서와 같이 전후진장치(122)에 의해 수납장치(121)가 제2 노출창(EW2) 측으로 최대한 인접하게 전방으로 이동하게 되면 관리자가 테스트트레이(TT)를 수납장치(121)에 수납시키거나 수납장치(121)로부터 테스트트레이(TT)를 수거하는 작업을 편리하게 수행할 수 있다.
<트랜스퍼장치에 대한 설명>
도 14의 발췌도에서와 같이 트랜스퍼장치(130)는 파지기(131), 회전기(132), 승강기(133), 전후이동기(134) 및 좌우이동기(135)를 포함한다.
파지기(131)는 테스트트레이(TT)를 파지하거나 파지를 해제한다. 이를 위해 파지기(131)는 도 15에서와 같이 회전판(131a), 한 쌍의 파지레버(131b-1, 131b-2), 구동원(131c), 제1 접촉부재(CP1)들 및 제2 접촉부재(CP2)들을 포함한다.
회전판(131a)에는 한 쌍의 파지레버(131b-1, 131b-2)와 구동원(131c)이 설치된다. 이러한 회전판(131a)은 회전기(132)에 의해 180도 정역회전 가능하게 설치된다.
한 쌍의 파지레버(131b-1, 131b-2)는 각각 파지홈(GS1, GS2)들과 방지홈(PS1, PS2)들을 가진다.
파지홈(GS1, GS2)들은 테스트트레이(TT)를 파지하기 위해 형성되며, 이를 위해 제1 파지레버(131b-1)의 파지홈(GS1)과 제2 파지레버(131b-2)의 파지홈(GS2)은 상호 마주보는 방향으로 개방되어 있다.
방지홈(PS1, PS2)들은 좌우 방향으로 패인 형태이며, 도 16에서와 한 쌍의 파지레버(131b-1, 131b-2)가 테스트트레이(TT)를 지지장치(110)로 공급하거나 지지장치(110)로부터 테스트트레이(TT)를 회수할 때 한 쌍의 파지레버(131b-1, 131b-2)가 지지장치(110)의 안내돌기(GP)들과 간섭하는 것을 방지한다.
구동원(131c)은 한 쌍의 파지레버(131b-1, 131b-2) 중 제2 파지레버(131b-2)를 좌우 방향으로 이동시킴으로써 한 쌍의 파지레버(131b-1, 131b-2) 상호 간의 간격을 조정한다. 이러한 구동원(131c)의 작동에 의해 한 쌍의 파지레버(131b-1, 131b-2)가 테스트트레이(TT)를 파지하거나 파지를 해제할 수 있으며, 한 쌍의 파지레버(131b-1, 131b-2) 간의 간격도 조절될 수 있다. 본 실시예에서처럼 제2 파지레버(131b-2)만 이동되도록 한 경우에는 파지기(131)가 테스트트레이(TT)를 파지하거나 파지를 해제할 때 후술할 좌우이동기(135)의 작동이 다소 필요할 수 있다. 물론, 실시하기에 따라서는 양 파지레버(131b-1, 131b-2)가 모두 이동될 수 있도록 구현될 수도 있다.
제1 접촉부재(CP1)들은 고정된 제1 파지레버(131b-1)의 파지홈(GS1)에 삽입된 상태로 구비된다. 이러한 제1 접촉부재(CP1)들은 탄성적인 수축 팽창이 가능한 재질이면서 다소간 점착성이 있는 실리콘이나 우레탄 등 연질의 고무와 같은 재질로 구비된다. 이러한 제1 접촉부재(CP1)는 제1 파지레버(131b-1)에 유동 되지 못하도록 고정 구비될 수도 있다.
제2 접촉부재(CP2)들은 좌우 이동이 가능한 제2 파지레버(131b-2)의 파지홈(GS2)에 삽입된 상태로 구비된다. 이러한 제2 접촉부재(CP2)는 탄성적인 수축 팽창이 없는 딱딱한 재질이면서 점착성이 없는 재질로 구비된다. 예를 들어, 제2 접촉부재(CP2)들은 M/C나일론(M/C NYLON) 등 경질의 재질로 구비될 수 있다.
위와 같이 제1 접촉부재(CP1)의 재질과 제2 접촉부재(CP2)의 재질을 달리하는 이유는, 회전판(131a)에 이동 불가능하게 고정된 제1 파지레버(131b-1)를 기준으로 테스트트레이(TT)가 정렬된 상태를 유지할 수 있도록 하기 위함이다. 즉, 제1 파지레버(131b-1)로부터 멀어지는 방향으로 제2 파지레버(131b-2)가 이동하여 파지된 테스트트레이(TT)의 파지를 해제할 때 테스트트레이(TT)는 제1 접촉부재(CP1)에 점착된 상태에 있으므로 테스트트레이(TT)가 제2 접촉부재(CP2)의 이동에 호응하여 함께 이동되는 것이 방지된다. 따라서 테스트트레이(TT)가 회전판(131a)에 고정된 제1 파지레버(1312b-1)를 기준으로 적절히 정렬된 상태를 유지하게 된다.
또한, 제2 접촉부재(CP2)는 제2 파지레버(131b-2) 상에서 테스트트레이(TT) 측 방향으로 다소간 유동될 수 있도록 구비될 수 있다. 이러한 경우 스프링과 같은 탄성부재(도시 되지 않음)의 일단은 제2 파지레버(131b-2)에 지지되고 타단은 2 접촉부재(CP2)에 연결되는 구조를 고려해 볼 수 있다. 이러한 예를 가지면, 양 파지레버(131b-1, 131b-2)로 부속품(SP)을 파지하는 경우 적은 힘으로도 파지력의 증대를 가져오고, 제작 공차에 따라 다소 차이 나는 부속품(SP)의 규격에 적절히 대응함으로써 파지 불량이나 강한 파지력에 의한 부속품(SP)의 파손을 방지할 수 있다.
참고로, 양 파지레버(131b-1, 131b-2) 측에 모두 탄성부재(스프링)가 있을 경우에는 탄성부재(스프링)의 탄성력 차로 인한 쏠림의 문제가 발생할 수 있다. 따라서 이러한 문제가 발생하지 않도록 제2 파지레버(131b-2)에만 탄성부재(스프링)을 구현하였다. 그리고 이렇게 함으로써 탄성부재(스프링)가 없는 제1 파지레버(131b-1) 측이 기준면이 되어 파지 및 파지 해지 시 부속품(SP)의 정확한 접촉과 정확한 위치에 정렬된 상태로 안착이 가능해진다, 즉, 딱딱한 재질이면서 점착성이 없는 재질로서 제2 접촉부재(CP2)를 구현한 이유도 부속품(SP)의 파지 및 파지 해제 시에 부속품(SP)의 적절한 정렬을 고려하였기 때문이다.
회전기(132)는 회전판(131a)을 180도 정역 회전시킴으로써 한 쌍의 파지레버(131b-1, 131b-2)를 180도 정역 회전시키기 위해 마련된다. 이러한 회전기(132)를 구비하는 이유는 테스트트레이(TT)나 매치플레이트(MP)의 상면 측과 하면 측을 모두 검사할 필요가 있기 때문이다. 따라서 테스트트레이(TT)나 매치플레이트(MP)의 테두리를 검사할 필요도 있는 경우에는 회전판(131a)을 -90도, 90도 및 180도만큼 정역 회전시킬 수 있도록 회전기(132)를 구비하는 것도 고려할 수 있다.또한 파지기(131)가 회전을 함에 따라 무게에 따른 처짐 정도가 다르기 때문에 기준높이가 동일한 면이 있는 것이 바람직하므로, 파지기(131)의 양 접촉부재(CP21, CP2)는 서로 다른 재질이면서도 구성도 다른 것이다.
승강기(133)는 회전기(132)를 승강시킴으로써 회전기(132)에 결합된 파지기(131)를 승강시킨다.
전후이동기(134)는 승강기(133)를 전후 방향으로 이동시킴으로써 궁극적으로 승강기(133)에 결합된 회전기(132) 및 파지기(131)를 전후 방향으로 이동시킨다. 물론, 전후이동기(134)의 작동에 따른 파지기(131)의 전후 이동에 의해 한 쌍의 파지레버(131b-1, 131b-2)가 수납장치(121)나 지지장치(110)에 있는 테스트트레이(TT)를 파지 할 수 있는 위치로 전진하거나 수납장치(121)나 지지장치(110)로 테스트트레이(TT)를 공급할 수 있는 위치로 전진하게 된다. 물론, 전후이동기(134)는 한 쌍의 파지레버(131b-1, 131b-2)가 테스트트레이(TT)를 파지하거나 파지를 해제한 후에는 파지기(131)를 후진시킨다.
좌우이동기(135)는 전후이동기(134)를 좌우 방향으로 이동시킴으로써 궁극적으로 전후이동기(134)에 결합된 파지기(131), 회전기(132) 및 승강기(133)를 좌우 방향으로 이동시킨다. 따라서, 트랜스퍼장치(130)는 쌍으로 구비되는 좌우 양측의 수납장치(121)와 좌우 양측의 지지장치(110)에 있는 테스트트레이(TT)를 대상으로 모두 이동 작업을 수행할 수 있다.
이어서 트랜스퍼장치(130)의 작동에 대하여 도 17 내지 도 24의 개략도를 참조하여 설명한다.
먼저 도 17의 상태에서 승강기(133)가 작동하여 도 18에서와 같이 파지기(131)를 수납장치(121)에 적재된 이동이 필요한 테스트트레이(TT)를 파지할 수 있는 높이로 위치시킨다.
도 18의 상태에서 전후이동기(134)가 작동하여 파지기(131)를 전진시키면, 도 19에서와 같이 한 쌍의 파지레버(131b-1, 131b-2)가 테스트트레이(TT)를 파지할 수 있는 상태가 된다. 물론, 파지기(131)의 양 파지레버(131b-1, 131b-2) 간의 간격은 벌려져 있다.
도 19의 상태에서 구동원(131c)이 작동하여 테스트트레이(TT)를 파지한 후, 도 20에서와 같이 전후이동기(134)가 작동하여 파지기(131)를 후진시킨다.
도 20의 상태가 되면, 승강기(133)가 작동하여 파지기(131)를 상승시킴으로써 도 21에서와 같이 파지기(131)가 지지장치(110)로 테스트트레이(TT)를 공급할 수 있는 높이가 된다.
도 21의 상태에서 전후이동기(134)가 작동하여 파지기(131)를 전진시켜 도 22의 상태가 되게 한 후, 승강기(133)가 파지기(131)를 약간 하강시킴으로써 테스트트레이(TT)가 롤러조립체(113a, 113b)의 롤러(R)들에 얹어지도록 한다. 그리고 파지기(131)가 테스트트레이(TT)의 파지를 해제하고, 승강기(133)가 파지기(131)를 약간 상승시킨 후 전후이동기(134)가 작동하여 파지기(131)를 후진시킨다. 물론, 테스트트레이(TT)가 롤러(R)들에 얹어지면, 앞서 언급한 바와 같이 롤러조립체(113a, 113b)가 하강함으로써 테스트트레이(TT)가 지지바(112a, 112b)에 얹어지게 된다. 이 때, 트랜스퍼장치(130)에 의해 테스트트레이(TT)가 지지장치(110)의 적절한 위치에 놓이도록 구현할 수도 있지만, 트랜스퍼장치(130)에 의해 지지장치(110)에 놓인 테스트트레이(TT)의 후단이 스토퍼(ST)에 접촉하도록 정렬시키는 별도의 정렬기가 더 구비될 수도 있다. 참고로, 제어적인 측면에서 전후이동기(134)가 파지기(131)를 전진시켜 테스트트레이(TT)를 지지장치(110)의 상측에 위치시킨 다음 롤러조립체(113a, 113b)를 상승시킴으로써 테스트트레이(TT)가 롤러조립체(113a, 113b)의 롤러(R)들에 얹어지도록 한 후, 롤러조립체(113a, 113b)를 하강시킴으로써 테스트트레이(TT)가 지지바(112a, 112b)에 얹어지도록 할 수도 있다.
한편, 테스트트레이(TT)의 상면에 대한 검사가 완료되면, 전후이동기(134) 및 파지기(131)가 작동하여 지지장치(110)로부터 테스트트레이(TT)를 수거한 다음, 도 23에서와 같이 회전기(132)가 작동하여 테스트트레이(TT)를 180도 회전시킨다. 그리고 트랜스퍼장치(130)는 180도 회전된 테스트트레이(TT)를 지지장치(110)로 재공급한다. 이에 따라 검사장치(140)는 180도 회전에 의해 하면이 상방을 향하는 상태로 놓인 테스트트레이(TT)의 하면을 검사하게 된다.
차후, 상면 및 하면에 대한 검사가 모두 완료된 테스트트레이(TT)는 트랜스퍼장치(130)에 의해 지지장치(110)로부터 회수된 후, 180도 회전하여 원래의 상태로 복귀된 다음 수납장치(121)로 이동한다. 그리고 트랜스퍼장치(130)는 다음 검사대상인 테스트트레이(TT)를 수납장치(121)로부터 지지장치(110)로 이동시킨다.
<검사장치에 대한 설명>
검사장치(140)는 부속품의 외관, 기능 및 규격을 검사하기 위해 마련된다. 이를 위해 검사장치(140)는 도 24의 발췌도에서와 같이 촬영기(141), 제1 승강기(142), 한 쌍의 거리측정기(143), 한 쌍의 압력측정기(144), 한 쌍의 승강프레임(145), 한 쌍의 제2 승강기(146) 및 이동판(147)을 포함한다.
촬영기(141)는 검사해야 할 검사대상 물품인 부속품(SP)의 일면에 있는 검사부분을 촬영하기 위해 마련된다. 이를 위해 촬영기(141)는 이동판(147)에 승강 가능하게 결합되어 있으며, 도 25의 개략적인 절개도 및 도 26의 개념적인 구조도에서와 같이 카메라(141a), 제1 조명(1241b), 제2 조명(141c), 제3 조명(141d) 및 제4 조명(141e)을 포함한다.
카메라(141a)는 부속품의 상면에 수직한 상방에 위치한 상태에서 수직 하방에 있는 부속품(SP)에 대한 평면을 촬영하기 위해 마련된다.
제1 조명(141b)은 부속품(SP)의 평면에 수직한 조사각도로 빛을 조사하기 위한 수직 조명으로서 마련되며, 카메라에 결합되어 있다. 이를 위해 제1 조명(141b)은 제1 광원(F1)들과 반사유리(RM)를 포함한다.
제1 광원(F1)들은 수평 방향으로 빛을 조사한다.
반사유리(RM)는 제1 광원(F1)에 의해 수평 방향으로 조사된 빛의 경로를 하방으로 90도 꺾어서 빛이 부속품(SP)의 상면에 수직하게 조사되도록 한다. 이러한 반사유리(RM)은 카메라(141a)의 시야각을 확보하기 위해 구비된다. 이를 위해 반사유리(RM)는 하프미러(half mirror)로 구비될 수 있다. 물론, 반사유리(RM)를 조명광이 전반사될 수 있도록 전반사 미러로 적용하고 부속품(피검사체)으로부터 카메라로 입사되는 입사광이 통과할 수 있도록 반사유리(RM)에 슬릿홀을 형성할 수도 있다. 즉, 반사유리는 카메라의 시야각을 가리지 않으면서도 조명이 부속품(피검사체)를 조사할 수 있다면, 어떠한 형태로 구비되어도 바람직하다.
제2 조명(141c), 제3 조명(141d) 및 제4 조명(141e)은 그 내면에 삿갓 형태로 구비된 다수의 광원(F2, F3, F4)들에 의해 빛을 조사하며, 카메라(141a)에 결합되어 있다. 이로 인해 다수의 광원(F2, F3, F4)들은 부속품(SP)의 평면에 0도 보다는 크고 90도 보다는 작은 각으로 빛을 조사하게 된다. 예를 들면, 제2 조명(141c)의 제2 광원(F2)은 부속품(SP)의 평면에 대하여 70도의 각을 가지도록 조사하고, 제3 조명(141d)의 제3 광원(F3)은 부속품(SP)의 평면에 대하여 60도의 각을 가지도록 조사하며, 제4 조명(141e)의 제4 광원(F4)은 부속품(SP)의 평면에 대하여 50도의 각을 가지도록 조사하도록 구현될 수 있다. 이렇게 부속품(SP)의 평면에 대하여 일정한 경사각을 가지고 빛을 비추도록 하는 이유는 부속품(SP)을 이루는 부품들이 상방으로 돌출되거나 홈이 형성되어 있어서 제1 조명(141b)에 의한 빛에 의해서는 검사가 곤란한 영역들이 존재할 수 있기 때문이다. 따라서 부속품(SP)의 구조에 따라서는 제2 조명(141c) 내지 제4 조명(141e)보다 더 크거나 더 작은 각으로 부속품(SP)의 평면에 빛을 조사하는 제5 조명이나 제6 조명이 더 필요할 수도 있다. 즉, 본 발명에 따른 검사장비(100)에 적용된 촬영기(140)는 대상물의 평면에 빛을 수직으로 조사하는 제1 조명(141b) 외에도 대상물의 평면에 0도 보다는 크고 90도 보다는 작은 각으로 빛을 조사하는 적어도 하나 이상의 경사 조명을 가진다. 본 실시예에서는 제2 광원(F2), 제3 광원(F3) 및 제4 광원(F4)들이 부속품(SP)의 평면에 경사진 방향으로 빛을 조사하기 위한 경사 조명으로서 마련된다.
한편, 부속품(SP)에 수직 방향으로 조사하는 제1 광원(F1)들과 부속품에 다양한 각도의 빛을 조사할 수 있는 제2 광원(F2)들, 제3 광원(F3)들 및 제4 광원(F4)들은 각각 개별적으로 붉은색 빛, 푸른색 빛, 녹색 빛 그리고 백색의 빛을 조사하는 발광다이오드들을 가진다. 따라서 적어도 하나 이상의 빛을 선택적으로 조사할 수도 있고 원하는 빛의 종류를 각각으로 조합하여 조사할 수도 있다. 또한 빛의 세기도 조절함으로써 다양한 각도와 색과 세기를 지닌 빛을 조사함으로써 그간 보기 힘든 부속품(SP)의 어떠한 결함도 더욱 명확하게 검사 할 수 있게 되었다. 이렇게 조사되는 빛의 색을 조절할 수 있도록 한 이유는 부속품(SP)의 결함들에 따라서 특정 색에서 더욱 명확하게 드러나는 결함들이 있기 때문이다. 즉, 검사하기 위한 결함의 종류에 따라서 조사되는 빛의 색을 조절하여 결함을 발견하기에 최적화된 색으로 빛을 조사함으로써 검사의 신뢰성을 향상시킬 수 있다. 여기서 최적화된 색의 빛은 부속품(SP)별 결함에 있어 명확히 드러나는 빛의 종류를 검사 전에 미리 확인하여 설정할 수도 있고, 반복적인 검사가 이뤄지는 부속품(SP)에 대해서는 최적화된 빛의 종류를 기 설정하여, 검사 시에 재활용할 수도 있다.
위와 같이 제1 조명(141b), 제2 조명(141c), 제3 조명(141d) 및 제4 조명(141e)은 빛의 조사각을 선택하기 위해서 제어장치(160)에 의해 각각 독립적으로 제어될 수 있고, 다양한 색상의 빛을 조사하기 위해 제1 광원(F1)들, 제2 광원(F2)들, 제3 광원(F3)들, 제4 광원(F4)들의 빛의 세기도 제어장치(160)에 의해 개별적으로 제어될 수 있다.
참고로, 카메라(141a)의 시야각을 해치지 않으면서 빛을 조사하기 위해 제2 조명(141c)의 다수의 광원(F2)들은 부속품(SP)의 평면에 평행한 가상면(IF) 상에 원(RG)의 형태로 배치된다. 마찬가지로 제3 조명(141d)과 제4 조명(141e)의 광원(F2 / F3)들도 설치 높이만 다르고 제1 광원(F1)들과 동일한 형태로 배치된다.
제1 승강기(142)는 이동판(147)에 결합되어 있으며, 촬영기(141)를 승강시킨다. 물론, 검사는 제1 승강기(142)에 의해 촬영기(141)가 하강한 상태에서 이루어진다.
한 쌍의 거리측정기(143)는 상호 촬영기(141)를 사이에 두고 촬영기(141)에 결합되어 있으며, 부속품(SP)의 평면 간의 거리를 측정하기 위해 마련된다. 예를 들어 거리측정기(143)는 부속품(SP)의 평면에 전파를 발사한 후 되돌아오는 전파를 감지함으로써 거리측정기(143)와 부속품(SP)의 평면 간의 거리를 감지할 수 있다. 이러한 거리측정기(143)에 의해서 감지된 거리측정기(143)와 부속품(SP) 간의 거리는 다양한 결과들을 계산하는데 활용될 수 있다. 예를 들면, 부속품(SP)의 상하 방향으로의 두께, 부속품(SP)의 구부러짐, 부속품(SP)의 좌우 및 전후 방향으로의 폭이 거리측정기(143)에 의해 감지된 값에 의해 얻어질 수 있다. 즉, 부속품(SP)의 하면 높이와 거리측정기(143)의 높이는 정해져 있으므로, 거리측정기(143)와 부속품(SP)의 평면 간의 거리를 알면 부속품(SP)의 상하 방향으로의 두께를 알 수 있다. 또한, 거리측정기(143)를 수평 방향으로 이동시키면서 복수의 지점에서 거리측정기(143)와 부속품(SP)의 평면 간의 거리를 감지하면 부속품(SP)의 휘어짐 여부와 부속품(SP)의 폭을 알 수 있다.
한 쌍의 압력측정기(144)는 이동판(147)에 승강 가능하게 결합되며, 매치플레이트(MP)의 푸셔(PS)를 탄성 지지하는 스프링(S)의 탄성력을 감지하기 위해 촬영기(141)를 사이에 두고 이격되게 마련된다. 이 때, 한 쌍의 압력측정기(144) 중 좌측의 압력측정기(144)는 좌측에 있는 지지장치(110)에 지지된 매치플레이트(MP)를 검사하는 데 사용되고, 우측의 압력측정기(144)는 우측에 있는 지지장치(110)에 지지된 매치플레이트(MP)를 검사하는 데 사용된다. 이러한 한 쌍의 압력측정기(144) 각각은 도 27의 개요적인 구조도에서와 같이 누름부재(144a), 한 쌍의 파지부재(144b) 및 동작원(144c)을 포함한다.
누름부재(144a)는 푸셔(PS)를 하방으로 누르기 위해 마련되며, 한 쌍의 파지부재(144b)에 의해 파지되거나 파지가 해제됨으로써 탈착될 수 있다. 이러한 누름부재(144a)는 누름단(144a-1), 삽입단(144a-2) 및 연결단(144a-3)을 가진다.
누름단(144a-1)은 제2 승강기(146)에 의해 하강할 시에 그 하단이 푸셔(PS)의 상단에 접촉함으로써 푸셔(PS)를 누르는 부분이다.
삽입단(144a-2)은 한 쌍의 파지부재(144b)에 파지되거나 파지가 해제되는 부분으로서 규격화된 형태를 가진다. 즉, 푸셔(PS)의 형태에 따라서 누름부재(144a)들의 누름단(144a-1)은 다양한 형태를 가질 수 있지만, 삽입단(144a-2)은 규격화되어 있어서 누름단(144a-1)의 형태가 다르더라도 모든 누름부재(144a)들이 한 쌍의 파지부재(144b)에 의해 파지될 수 있다.
연결단(144a-3)은 누름단(144a-1)과 삽입단(144a-2)을 연결하는 잘록한 부위이다.
한 쌍의 파지부재(144b)는 누름부재(144a)를 파지하거나 파지를 해제한다. 이를 위해 한 쌍의 파지부재(144b)는 동작원(144c)에 의해 상호 가까워지거나 멀어지는 좌우 방향으로 이동함으로써 한 쌍의 파지부재(144b) 간의 간격이 좁혀지거나 벌려질 수 있다. 또한, 한 쌍의 파지부재(144b)는 각각 상호 마주보는 면에 상호 마주보는 방향으로 개방된 파지홈(GS)을 가진다. 물론, 파지홈(GS)은 규격화된 삽입단의 형태에 대응되는 형태로 규격화되어 있다. 따라서 동작원(144c)의 작동에 의해 양 파지부재(144b) 간의 간격이 좁혀지면서 삽입단(144a-2)이 삽입홈(GS)에 삽입되면 누름부재(144a)가 한 쌍의 파지부재(144b)에 의해 파지되고, 양 파지부재(144b) 간의 간격이 벌려지면 한 쌍의 파지부재(144b)에 의한 누름부재(144a)의 파지가 해제된다.
동작원(144c)은 한 쌍의 파지부재(144b)를 상호 가까워지거나 멀어지는 방향으로 이동시키기 위해 마련된다. 이러한 동작원(144c)의 작동에 따라서 한 쌍의 파지부재(144b)가 누름부재(144a)를 파지하거나 파지를 해제하게 된다. 물론, 실시하기에 따라서는 동작원(144c)이 어느 일 측의 파지부재(144b)만을 이동시키도록 구현될 수도 있다.
제2 승강기(146)는 이동판(147)에 결합되어 있으며, 한 쌍의 파지부재(144b)를 승강시킴으로써 한 쌍의 파지부재(144b)가 하강될 때 누름부재(144a)가 푸셔(PS)를 하방으로 누르게 한다. 물론, 이렇게 누름부재(144a)가 푸셔(PS)를 하방으로 누를 때, 앞서 설명된 바와 같이 받침판(116d-1, 116d-2)이 매치플레이트(MP)의 프레임(FM)을 받치게 된다.
이동판(147)은 후술할 이동장치(150)에 의해 전후 및 좌우 방향으로 이동된다. 이러한 이동판(150)에는 촬영기(141), 제1 승강기(142), 한 쌍의 거리측정기(143), 한 쌍의 압력측정기(144) 및 한 쌍의 제2 승강기(145)가 결합되어 있다. 따라서 이동판(150)의 이동에 따라 촬영기(141), 제1 승강기(142), 한 쌍의 거리측정기(143), 한 쌍의 압력측정기(144) 및 한 쌍의 제2 승강기(145)가 함께 이동하게 된다.
<이동장치에 대한 설명>
이동장치(150)는 검사장치(140)를 전후 방향 및 좌우 방향으로 이동시키기 위해 마련된다. 이를 위해 이동장치는 도 28에서와 같이 설치판(IP)에 설치되며, 좌우이동기(151) 및 전후이동기(152)를 포함한다.
좌우이동기(151)는 이동판(150)이 포함된 검사장치(140)를 좌우 방향으로 이동시킨다.
전후이동기(152)는 좌우이동기(151)를 전후 방향으로 이동시킴으로써 좌우이동기(151)에 결합된 검사장치(140)를 전후 방향으로 이동시킨다.
따라서 좌우이동기(151)와 전후이동기(152)의 작동에 의해 검사장치(140)가 이동함으로써, 검사장치(140)가 부속품(SP)의 전 영역에 나뉘어 있는 검사지점 간을 이동하면서 검사를 수행할 수 있다.
<받침대에 대한 설명>
받침대(170)는 설치판(IP) 상에 설치되어 있으며, 누름단(144a-1)이 서로 다른 규격으로 형성된 여러 종류의 누름부재(144a)들을 받친다. 이를 위해 받침대(170)에는 도 29의 측단면도에서와 같이 여러 종류의 누름부재(144a)들 각각에 있는 누름단(144a-1)의 하단이 각각 삽입되는 여러 개의 받침홈(SS)들이 형성되어 있으며, 받침홈(SS)들은 누름부재(144a)들 각각에 있는 누름단(144a-1)들의 형상에 대응되는 형상으로 형성된다.
따라서 푸셔(PS)의 규격이 변경되면, 좌우이동기(151) 및 전후이동기(152)가 작동하여 압력측정기(144)를 받침대(170)의 상방에서 필요한 만큼 이동 및 정지시키고, 이에 호응하여 동작원(144c) 및 제2 승강기(146)가 작동하여 압력측정기(144)가 기 장착된 기존의 누름부재(144a)를 받침대(170)에 올려놓은 후 새로운 누름부재(144a)를 장착한다. 이로써 압력측정기(144)가 규격이 변경된 푸셔(PS)를 가진 매치플레이트(MP)에 대한 검사를 수행할 수 있게 된다.
<케이스에 대한 설명>
케이스(180)는 상기한 구성들을 내부에 수용하며, 도 1 내지 도 3을 참조하여 기 언급한 바와 같이 상측의 제1 노출창(EW1)과 하측의 제2 노출창(EW2)을 가진다.
관리자는 제2 노출창(EW2)을 통해 테스트트레이(TT)를 수납장치(121)로 공급할 수 있지만, 제1 노출창(EW1)을 통해 테스트트레이(TT)를 지지장치(110)로 직접 공급할 수도 있다.
예를 들어, 특별한 경우에 1개나 2개의 테스트트레이(TT)만 검사할 필요가 있을 경우, 제2 노출창(EW2)을 통해 테스트트레이(TT)를 공급하면 트랜스퍼장치(130)의 작동 따른 처리 시간 이상의 시간이 소요된다. 이러한 경우 테스트트레이(TT)를 제1 노출창(EW1)을 통해 지지장치(110)로 직접 공급하면 검사 작업에 소요되는 시간을 줄일 수 있다.
한편, 매치플레이트(MP)는 테스트트레이(TT)보다 상당히 무겁고, 일반적으로 하나의 핸들러에 2개가 구비된다. 만일 매치플레이트(MP)를 제2 노출창(EW2)을 통해 수납장치(121)로 공급하도록 구성하면 수납장치(121)나 트랜스퍼장치(130)와 같이 매치플레이트(MP)를 지지장치(110)로 공급하는 과정에서 사용되는 구성들의 내구성 및 강도를 증가시켜야만 한다. 그리고 그만큼 생산 단가도 상승하고, 검사 작업에 소요되는 시간도 증가하게 된다. 따라서 무겁고 개수가 적은 매치플레이트(MP)를 제1 노출창(EW1)을 통해 직접 지지장치(110)로 공급하도록 함으로써 생산단가를 낮추고 검사 작업에 소요되는 시간도 줄일 수 있게 된 것이다.
<개폐도어에 대한 설명> ,
개폐도어(190)는 제2 노출창(EW2)을 개폐하기 위해 마련된다.
개폐도어(190)는 일 측이 케이스(180)에 힌지 결합되어 있다. 이러한 개폐도어(190)는 도 30에서와 같이 그 외면에 고정돌기(191), 피감지체(192) 및 손잡이(193)를 구비하고 있고, 도 31에서와 같이 그 내면에 상하 방향으로 긴 정렬바(194)가 구비된다.
고정돌기(191)는 개폐도어(190)가 열렸을 때 케이스(180) 측에 고정되기 위해 마련되며 중단이 잘록한 형태이다.
피감지체(192)는 개폐도어(190)가 적절하게 열려 있는지를 확인하기 위한 마련된다.
정렬바(194)는 관리자에 의해 수납장치(121)로 공급된 테스트트레이(TT)를 정렬하기 위해 마련된다. 도 32의 개략도에서와 같이 정렬바(194)는 개폐도어(190)가 제2 노출창(EW2)을 폐쇄할 때 수납장치(121)로 공급된 테스트트레이(TT)의 전단을 후방으로 밀어 무빙기(121d)에 의해 테스트트레이(TT)가 후방으로 이동될 수 있는 위치로 테스트트레이(TT)를 이동시킨다. 이를 위해 정렬바(194)는 내측으로 돌출되게 구비된다.
한편, 고정돌기(191)와 피감지체(192)에 대응하여 케이스(180)에는 도 30에서 참조되는 바와 같이 고정기(181)와 감지기(181)가 구비된다.
도 33의 개략도에서와 같이 고정기(181)는 하우징(181a), 한 쌍의 고정볼(181b) 및 한 쌍의 탄성부재(181c)를 포함한다.
하우징(181a)은 고정돌기(181)가 삽입되는 삽입홈(ISS)을 가지며, 고정볼(181b) 및 탄성부재(181c)를 수용한다.
한 쌍의 고정볼(181b)은 삽입홈(ISS) 측으로 약간 돌출되도록 탄성부재(181c) 의해 탄성 지지됨으로써 삽입홈(ISS)에 삽입된 고정돌기(191)를 측방에서 탄성 가압한다.
한 쌍의 탄성부재(181c)는 한 쌍의 고정볼(181b)을 삽입홈(ISS) 측으로 탄성 가압한다.
감지기(182)는 피감지체(191)를 감지함으로써 개폐도어(190)이 적절히 열려 있는지를 확인할 수 있게 한다.
따라서 개폐도어(190)가 열려지면, 고정돌기(191)가 삽입홈(ISS)에 삽입되면서 고정볼(181b)에 의해 탄성 가압되기 때문에 개폐도어(190)가 열린 상태로 고정될 수 있다.
또한, 고정돌기(191)가 고정볼(181b)에 의해 적절히 고정된 상태에서는 감지기(182)가 피감지체(1921)를 감지함으로써 개폐도어(190)가 적절히 열려 있음을 확인할 수 있게 된다.
만일, 개폐도어(190)가 열렸음에도 감지기(182)가 피감지체(192)를 감지하지 못하면, 개폐도어(190)가 부적절하게 열려졌음을 의미하는 것이므로, 제어장치(160)는 작동불량신호를 발생시킨다.
참고로, 개폐도어(190)가 닫혔을 때에도 개폐도어(190)의 닫힌 상태를 감지할 수 있는 구성이 추가되는 것도 바람직하게 고려될 수 있다.
다음으로, 상기한 바와 같은 검사장비(100)의 전체 작동에 대하여 개략적으로 설명한다.
1. 설정
(a) 관리자는 입력장치(도시되지 않음)를 이용하여 부속품(SP)에 대한 규격을 입력한 후 설정한다.
(b) 관리자는 검사장치(140)를 시험 작동시키면서 입력장치를 이용하여 검사부분, 조사각 및 빛의 색상 설정을 설정한다.
예를 들면, 테스트트레이(TT)에 있는 인서트의 래치부분, 안내구멍, 안착홈의 불량 여부를 검사하고자 하는 경우 래치부분을 제1 검사부분, 안내구멍을 제2 검사부분, 안착홈을 제3 검사부분으로 설정한다.
또한, 관리자는 각 검사부분마다 최적화된 빛의 조사각과 빛의 색상을 설정한다. 여기서 빛의 조사각에 대한 설정은 특정 검사부분의 불량 여부를 확인하기에 가장 적절한 제1 조명 내지 제4 조명(141b 내지 141e) 중 어느 하나를 선택함으로써 이루어질 수 있다. 따라서 해당 특정 검사부분을 검사하고자 할 경우에는 선택된 특정 조명(141b/141c/141d/141e)이 작동하게 된다. 그리고 관리자는 해당 특정 조명이 조사할 빛의 색을 설정한다. 이 때 빛의 색에 대한 설정은 해당 특정 조명(141b/141c/141d/141e)에 구비된 다수의 광원(F1/F2/F3/F4)들 중 붉은색 빛을 조사하는 광원(예를 들면, 제1 조명의 다수의 F1 광원들 중 붉은색의 광원), 푸른색 빛을 조사하는 광원(예를 들면, 제1 조명의 다수의 F1 광원들 중 푸른색의 광원), 녹색 빛을 조사하는 광원(예를 들면, 제1 조명의 다수의 F1 광원들 중 녹색의 광원) 및 백색의 빛을 조사하는 광원(예를 들면, 제1 조명의 다수의 F1 광원들 중 백색의 광원)들의 세기를 조절함으로서 이루어질 수 있다.
참고로 조사각 및 빛의 색에 대한 설정은 시험 작동 시에 관리자가 디스플레이장치(도시되지 않음)의 화면을 통해 보이는 검사부분에 대한 이미지를 보면서 불량 여부를 가장 명확히 판단할 수 있는 최적화된 상태를 확인하면서 이루어질 수 있다.
위와 같은 설정이 이루어지면, 관리자가 검사 시작 명령을 입력함으로써 검사가 수행된다. 즉, 검사장치(140)가 부속품(SP)의 상방에서 수평 방향으로 이동하면서 부속품(SP)의 평면에 대한 전체 영역을 촬영하면서 검사가 이루어진다. 이 때, 조사각 및 빛의 색은 앞서 설명한 바와 같이 검사하고자 하는 검사부분에 대해 설정된 대로 조절된다.
2. 제1 노출창(EW 1 )을 통해 부속품(SP)을 공급하는 경우
관리자는 검사대상인 부속품(SP)의 개수가 소량인 경우, 직접 제1 노출창(EW1)을 통해 부속품(SP)을 지지장치(110)로 공급한 다음 검사장비(100)를 작동시킨다. 이에 따라 제어장치(160)는 이동장치(150) 및 검사장치(140)를 제어하여 부속품(SP)에 대한 1차 검사를 수행한다.
그리고 부속품(SP)의 일 측 면에 대한 검사가 종료되면, 관리자가 부속품(SP)을 180도 회전시켜 놓은 후, 부속품(SP)에 대한 2차 검사를 수행하도록 검사장비(400)를 작동시킨다. 여기서 부속품(SP)이 테스트트레이(TT)인 경우에는 트랜스퍼장치(130)에 의해 테스트트레이(TT)를 180도 회전시켜 놓도록 구현될 수도 있다.
차후 부속품(SP)에 대한 2차 검사까지 종료되면, 관리자는 제1 노출창(EW1)을 통해 부속품(SP)을 수거한다.
3. 제2 노출창(EW 2 )을 통해 테스트트레이(TT)를 공급하는 경우
관리자는 개폐도어(190)를 열어서 고정시킨 후 검사장비(100)를 1차적으로 작동시킨다. 이 때, 개폐도어(190)가 부적절하게 열린 경우에는 검사장비(100)가 작동되지 않는다.
개폐도어(190)가 적절하게 열린 경우, 관리자가 테스트트레이(TT)를 공급하기 편하도록 전후진장치(122)는 수납장치(121)를 전방으로 이동시킨다.
수납장치(121)가 전방으로 이동되면, 관리자는 테스트트레이(TT)들을 수납장치(121)로 공급한다.
수납장치(121)로 테스트트레이(TT)들이 모두 공급되면, 관리자는 개폐도어(190)를 닫는다. 이 때, 개폐도어(190)의 정렬바(194)가 테스트트레이(TT)의 전단을 후방으로 밀기 때문에, 테스트트레이(TT)가 무빙기(121d)에 의해 후방으로 이동될 수 있는 위치로 이동하여 정렬된다.
관리자는 검사장비(100)를 2차적으로 작동시킨다. 만일 개폐도어(190)의 닫힘을 확인하기 위한 구성이 구비된 경우에는, 개폐도어(190)가 적절하게 닫힌 경우에만 검사장비(100)가 2차적으로 작동된다. 2차적인 작동에 따라 무빙기(121d)가 작동하여 테스트트레이(TT)들을 후방으로 이동시키고, 한편으로는 전후진장치(122)가 작동하여 수납장치(121)를 후방으로 이동시킨다. 따라서 수납장치(121)에 수납된 테스트트레이(TT)가 트랜스퍼장치(130)에 의해 파지될 수 있는 위치로 이동하게 된다.
위의 무빙기(121d), 전후진장치(122) 및 정렬바(194)는 설계자의 의도에 따라 모두 생략되거나 선택적으로 하나 이상이 구성될 수 있다. 그리고 상기의 장치들은 보다 효율적인 운영을 위해 서로 조화를 이룰 수도 있다.
그리고 트랜스퍼장치(130)가 작동하여 수납장치(121)에 있는 테스트트레이(TT)를 수납장치(121)의 상방에 있는 지지장치(110)로 이동시키고, 검사장치(140)와 이동장치(150)가 작동하여 테스트트레이(TT)의 상면에 대한 검사를 수행한다.
테스트트레이(TT)의 상면에 대한 검사가 종료되면, 트랜스퍼장치(130)가 작동하여 테스트트레이(TT)를 180도 회전시킨 후 테스트트레이(TT)를 지지장치(110)로 재공급한다. 이에 따라 검사장치(140)는 상방을 향하게 된 테스트트레이(TT)의 하면에 대한 검사를 수행한다.
차후 테스트트레이(TT)의 하면에 대한 검사까지 종료되면, 트랜스퍼장치(130)가 작동하여 테스트트레이(TT)를 180도 회전시켜 원래의 상태로 복귀시킨 후 수납장치(121)로 이동시킨다.
그리고 트랜스퍼장치(130)가 다른 테스트트레이(TT)를 지지장치(110)로 공급함으로써 다른 테스트트레이(TT)들에 대한 검사를 지속적으로 수행한다.
한편, 수납장치(121)에 있는 모든 테스트트레이(TT)들에 대한 검사가 종료되고, 검사가 종료된 모든 테스트트레이(TT)가 수납장치(121)에 수납되면, 관리자는 개폐도어(190)를 연 다음 검사장비(100)를 3차적으로 작동시킨다. 이에 따라 무빙기(121d)가 작동하여 테스트트레이(TT)를 전방으로 이동시키고, 전후진장치(122)가 작동하여 수납장치(121)가 제2 노출창(EW2)에 인접하도록 전방으로 이동된다. 이렇게 테스트트레이(TT)와 수납장치(121)와 전방으로 이동된 상태에서 관리자는 수납장치(121)에 있는 테스트트레이(TT)를 수거한다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기한 실시예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 균등범위로 이해되어져야 할 것이다.
141 : 촬영기
141a : 카메라
141b ; 제1 조명
F1 : 제1 광원 RM : 반사유리
141c : 제2 조명
F2 : 제2 광원
141d : 제3 조명
F3 : 제3 광원
141e : 제4 조명
F4 : 제4 광원

Claims (8)

  1. 검사해야 할 검사대상물의 상면에 수직한 상방에 위치한 상태에서 수직 하방에 있는 검사대상물을 촬영하는 카메라;
    상기 카메라에 결합되어서 상기 카메라와 함께 이동할 수 있으며, 검사대상물의 상면에 수직한 조사각도로 빛을 조사하는 수직 조명; 및
    상기 카메라에 결합되어서 상기 카메라와 함께 이동할 수 있으며, 검사대상물의 상면에 대하여 0도 보다는 크고 90도 보다는 작은 각의 범위 내의 조사 각도로 빛을 조사하는 복수의 경사 조명; 을 포함하고,
    상기 복수의 경사 조명은 조사 각도가 서로 다르며,
    상기 수직 조명과 상기 복수의 경사 조명은 제어장치에 의해 각각 독립적으로 제어되는
    물품 검사용 촬영기.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 수직 조명은 다수개의 광원을 가지며,
    상기 다수개의 광원 중 적어도 하나는 나머지 광원들과 다른 색의 빛을 조사하는
    물품 검사용 촬영기.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 복수의 경사 조명 각각은 다수개의 광원을 가지며,
    상기 다수개의 광원은 검사대상물의 상면에 평행한 가상면 상에 원의 형태로 배치되는 것을
    상기 다수개의 광원 중 적어도 하나는 나머지 광원들과 다른 색의 빛을 조사하는
    물품 검사용 촬영기.
  4. 제1 항에 있어서,
    검사대상물의 하방에서 상방을 향해 빛을 조사하기 위한 조명기; 를 더 포함하는
    물품 검사용 촬영기.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 조명기를 사이에 두고 승강 가능하게 구비되며, 상승하게 되면 검사대상물의 양 측 지점에서 검사대상물이 설치되는 프레임을 받치는 한 쌍의 받침판; 및
    상기 한 쌍의 받침판을 승강시키는 승강원들; 을 더 포함하는
    물품 검사용 촬영기.
  6. 제4 항에 있어서,
    상기 조명기를 수평 방향으로 이동시킴으로써 상기 조명기를 검사대상물의 하방에 위치시킬 수 있는 이동기; 를 더 포함하고,
    상기 수직 조명 및 복수의 경사 조명은 수평 방향으로 이동될 수 있도록 마련되며,
    상기 이동기에 의한 상기 조명기의 이동은 상기 수직 조명 및 복수의 경사 조명과 연동하는
    물품 검사용 촬영기.
  7. 제4 항에 있어서,
    상기 조명기는 백라이트유닛으로 구비되며, 상기 수직 조명 및 상기 복수의 경사 조명에 의한 검사가 불완전한 경우에 사용되는
    물품 검사용 촬영기.
  8. 제7 항에 있어서,
    검사대상물은 반도체소자를 적재하는 테스트트레이 또는 테스트트레이에 적재된 반도체소자들을 테스터 측으로 가압하기 위한 매치플레이트인
    물품 검사용 촬영기.
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