RU93005363A - Термовакуумный испаритель - Google Patents

Термовакуумный испаритель

Info

Publication number
RU93005363A
RU93005363A RU93005363/10A RU93005363A RU93005363A RU 93005363 A RU93005363 A RU 93005363A RU 93005363/10 A RU93005363/10 A RU 93005363/10A RU 93005363 A RU93005363 A RU 93005363A RU 93005363 A RU93005363 A RU 93005363A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
metal
product
thermovacual
evaporator
source
Prior art date
Application number
RU93005363/10A
Other languages
English (en)
Inventor
Ц. Эйсфеллер Ричард
Original Assignee
Дэвидсон Текстрон, Инк.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Дэвидсон Текстрон, Инк. filed Critical Дэвидсон Текстрон, Инк.
Publication of RU93005363A publication Critical patent/RU93005363A/ru

Links

Claims (1)

  1. Напыление металла в вакууме на подложки, имеющие вертикальную и горизонтальную поверхности, осуществляют посредством направления металла из двух отдельных источников путем термического испарения. Один источник соединен горизонтально под изделием для осаждения металла вертикально в сторону изделия на его горизонтальную поверхность. Второй источник соединен вертикально с изделием для осаждения металла горизонтально в сторону изделия на его вертикальную поверхность. Вакуумная камера содержит вращающуюся карусель, поддерживающую изделия, с источниками, расположенными стационарно внутри камеры для осуществления термического напыления металла.
RU93005363/10A 1992-03-24 1993-03-23 Термовакуумный испаритель RU93005363A (ru)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US856713 1992-03-24

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU93005363A true RU93005363A (ru) 1995-05-27

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FR2636079B1 (fr) Procede de revetement de substrats par depot en phase vapeur
CA2052920A1 (en) Apparatus for depositing a metal-oxide coating on glass articles
FR2584100B1 (fr) Evaporateur pour l'obtention, par evaporation sous vide, de depots de films minces
DE3063058D1 (en) Vacuum deposition system and method
EP0308275A3 (en) Sputter module for modular wafer processing machine
FR2670693B1 (fr) Procede pour nettoyer la surface d'un substrat par plasma.
FR2592874A1 (fr) Procede pour tremper un objet en verre ou vitreux et objet ainsi trempe
FR2393079B1 (fr) Procede de vaporisation de materiaux dans une installation de depot par evaporation sous vide
GB1466790A (en) Deposition of layers in a vacuum
ATE40575T1 (de) Vorrichtung zur magnetron-kathodenzerstaeubung.
ATE66966T1 (de) Anlage zur vakuum-auflagerung durch reaktive kathodenzerstaeubung auf eine glasplatte.
RU93005363A (ru) Термовакуумный испаритель
MX9301562A (es) Evaporacion termica en dos planos.
EP0293229A3 (en) Apparatus and process for coloring objects by plasma coating
BE877692A (fr) Procede de fabrication, par pulverisation cathodique, de disques reflecteurs d'infrarouge
FR2551458B1 (fr) Cellule de vaporisation pour depot sous vide de minces couches sur des supports
EP0681743A4 (en) METHOD FOR PLASMA DEPOSITION WITH SUBSTRATE TEMPERATURE CONTROL.
FR2412295A1 (fr) Dispositif de montage de bras d'aspersion dans des lave-vaisselle
FR2643360B1 (fr) Procede de depot en phase vapeur d'un verre fluore sur un substrat, et composition vitreuse deposee ainsi obtenue
GB1529418A (en) Coating substrates
GB1321486A (en) Vacuum metallising or vacuum coating
UST988002I4 (en) Apparatus for forming a vacuum evaporating layer on a substrate
RU95121032A (ru) Магнетронная распылительная система
FR2352066A1 (fr) Revetement formant masque pour le depot de couches dielectriques sur des substrats, par vaporisation sous vide ou pulverisation cathodique
JPS6473075A (en) Film forming device by ion beam sputtering