SU1147936A1 - Способ обнаружени дефектов в диэлектрических пленках - Google Patents

Abstract

СПОСОБ ОБНАРУЖЕНИЯ ДЕФЕКТОВ В ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНКАХ, заключаю1ЦИЙСЯ в том, что контролируемую пленку размещают между двум  электродами , подают на электроды напр жение и регистрируют дефект пленки, отличаю.щийс  тем, что, с целью расширени  технологических возможностей способа за счет обеспечени  последовательного контрол  качества склеивани  пленки с электропровод щей поверхностью, перед размещением пленки между электродами на одном из них размещают слой гигроскопичного материала, смоченного диэлектрической жидкостью, подают на них напр жение в виде однопол рных импульсов звуковой частоты с амплитудой, выбираемой о S из услови  сохранени  диэлектрических свойств пленки, и регистрируют (Л дефект по звуковым колебани м, генерируемым пленкой.

Description

fi

;о

СО 9д Изобретение относитс  к неразрушающему контролю и может быть использовано дл  контрол  целостности диэлектрических пленок и качества их склеивани  с электройровод щей поверхностью. Известен способ обнаружени  дефектов в диэлектрических пленках, закшочакнцийс  в т,что на контрол - руемую плёнку предварительно нанос т слой металлизации, размещают пленку между электродаю и на последние подают напр жение, а о дефекте суд т по характеру и величине электрического тока Cl}. Недостатком данного способа  вл етс  ненадежность контакта электродпленка из-за возможных дефектов сло  металлизации. Кроме того, нанесение сло  металлизации на контролируемую пленку делает данный спосоь контрол  разрушакицим, так как пленка в дальнейшем выбывает из технологического процесса. Наиболее близким к изобретению  вл етс  способ обнаружени  дефекто в диэлектрических пленках, заключающийс  в том, что контролируемую плен ку размещают между двум  электродами подают на электроды напр жение и регистрируют дефект пленки 2}. В данном способе регистраци  дефе тов осуществл етс  с помощью стрелоч ного индикатора. Известный способу не позвол ет пр водить последовательный контроль диэлектрических пленок: определени  целостности пленки и качества ее склеивани  с электропровод щей поверхностью , что ограничивает технологические возможности способа. Цель изобретени  - расширение технологических возможностей способ за счет обеспечени  последовательно го контрол  качества склеивани  пленки с электропровод щей поверхностью . Цель достигаетс  тем, что соглас но способу обнаружени  дефектов в диэлектрических пленках, заклк1чающе мус  в Том, что контролируемую плен ку размещают между двум  электродам подают на электроды напр жение и регистрируют дефект пленки, перед размещением пленки между электродами на одном из них размещают слой гигроскопичного материала, смоченно го диэлектрической жидкость, подают на них напр жение, в виде однопол рных импульсов звуковой частоты с амплитудой, выбираемой из услови  сохранени  диэлектрических свойств пленки,, и регистрируют дефект по звуковым колебани м, генерируемым пленкой. Способ осуществл етс  следующим образом. Контролируемую диэлектрическую пленку размещают между двум  электродами , в качестве одного из которых используетс  плоский металлический лист. На втором перемещаемом электроде размещают слой гигроскопичного материалы (ваты),.смоченный диэлект- ричес15ой жидкостью (спиртом или бидистилл том ). Электроды.располагают с разных сторон контролируемой пленки . Подают на электроды напр жение в виде однопол рных импульсов звуковой частоты (1,0-5,0 кГц) с амплитудой , выбираемой из услови  сохранени  диэлектрических свойств пленки. Амплитуда напр жени  выбираетс  в зависимости от толщины пленки из соотношени  30% Unp 0 50% Unp где Unp - напр жение пробо  пленки , ее разрушени . После подачи на электроды напр жени  провод т контроль целостности (отсутстви  дефектов) диэлектрической пленки и по звуковым колебани м , генерируемым пленкой, дл  чего электрод, на котором размещен слой гигроскопичного материала, перемещают по поверхности контролируемой пленки. Напр жение, приложенное к электродам , заставл ет бездефектную диэлектрическую пленку пол ризоватьс  и колебатьс  со звуковой частотой в поле, создаваемом,между электродами , т.е. бездефектна  пленка генерирует звуковые колебани , которые воспринимает контролер. При наличии дефекта на каком-ли|бо участке пленки между электродами генераци  звуковых колебаний пленки прекращаетс  из-за того, что жидкость из гигроскопичного материала, размещенного на подвижном электроде, через сквозной дефект попадает под пленку и способствует плотному сцеплению пленки с поверхностью неподвижного электрода (металлического листа). Таким образом, по отсутствию звуковых колебаний, генерируемых пленкой, контролер регистрирует

3

наличие дефекта в диэлектрической, пленке..

При последовательном контроле качества склеивани  диэлектрическо пленки с электропровод щей поверхностью все операции данного способа сохран ютс .

Однако при этом необходимо учитывать , что при хорошем качестве склеивани  контролируема  пленка не генерирует звуковых колебаний, в то врем  как наличие дефектов, выражающихс  в неприклеивании локальных участков с образованием.по ними воздушной прослойки, т.е. не479364

качественное склеивание, приводит к возникновению звуковых колебаний, генерируемых пленкой, что.указьгоает на наличие дефекта. J Применение данного способа поз|аол ет повысить достоверность получаемых результатов при цоитроле целостности диэлектрических пленок. Кроме того, расшир ютс  технологические возмоможности способа, что в конечном итоге приводит к сокращению количества используемых приборов и оборудовани , снижению потреблени  электроэнергии и сйкраf5 щению времени исследований.

Claims (1)

1. СПОСОБ ОБНАРУЖЕНИЯ ДЕФЕКТОВ В ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНКАХ, заключающийся в том, что контролируемую пленку размещают между двумя элект- родами, подают на электроды напряжение и регистрируют дефект пленки, отличающийся тем, что, с целью расширения технологических возможностей способа за счет обеспечения последовательного контроля качества склеивания пленки с электропроводящей поверхностью, перед размещением пленки между электродами на одном из них размещают слой гигроскопичного материала, смоченного диэлектрической жидкостью, подают на них напряжение в виде однополярных импульсов звуковой частоты с амплитудой, выбираемой _ из условия сохранения диэлектричес- ® ких свойств пленки, и регистрируют дефект по звуковым колебаниям, генерируемым пленкой.

   >