SU468084A1 - Рентгеновский способ измерени толщины покрыти - Google Patents
Рентгеновский способ измерени толщины покрытиInfo
- Publication number
- SU468084A1 SU468084A1 SU1645960A SU1645960A SU468084A1 SU 468084 A1 SU468084 A1 SU 468084A1 SU 1645960 A SU1645960 A SU 1645960A SU 1645960 A SU1645960 A SU 1645960A SU 468084 A1 SU468084 A1 SU 468084A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- measurement method
- coating thickness
- thickness measurement
- substrate
- thickness
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 8
- 238000009675 coating thickness measurement Methods 0.000 title 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 11
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 9
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 6
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
Description
1
Изобретение относитс к контрольно-из- мерительной технике и может быть использовано при измерении толщины покрытий.
Известны способы измерени толщины покрытий за счет регистрации ослаблени
одной спектральной линии характеристичес- кого рентгеновского излучени .
Однако известные способы требуют высокой стабилизации ускор ющего электроны напр жени , необходимости проведени не- скольких измерений при определении толщины покрыти в одной точке.
Цель изобретени - повысить точность измерени .
Это достигаетс тем, что дополнительно измер ют величину интенсивности другой спектральной линии характеристического излучени элемента и по отношению измеренных величин суд т о толшиие покрыти . I Этот способ позвол ет получить больщую точность определени толщины тонких пок4 рытий, пригоден дл любых сочетаний материалов покрыти и подложки, дает возможность производить непрерывное измерение толщины покрытий.
На чертеже изображена схема устройства , осуществл ющего предлагаемый способ.
Устройство содержит источник 1 электронов , возбуждающих характеристическое излучение подложки, покрытие 2, подложку 3 детектор 4 рентгеновского излучени .
Способ осуществл етс следующим образом .
Возбуждение характеристического излучени подложки осуществл етс рентгеновским излучением или пучком электронов. Вторичное излучение, прощедщее покрытие, попадает на детектор рентгеновского излучеии , который регистрирует отношение иитенсивностей двух спектральных линийхарактеристического излучени подложки, возбуждаемых одновременно и в одном и том же месте подложки.
Отнощение интенсивностей двух спеклрал ных линий характеристического излучени подложки пропорционально толщине покрыти . Выбранные спектральные линии могут принадлежать одному или различР1ым элементам , вход щим в состав подложки.
Предмет изобретени
Рент1веновский способ измерени толишны покрытий на подложке путем измерени величины интенсивности одной спектральной линии характеристического излучени эле- ,
мента, отличающийс тем, что, с целью повышени точности измерени у дополнительно измер ют величину интенсивности другой спектральной линии характеристического излучени элемента и по отношению измеренных величин суд т о толщине покрыти .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1645960A SU468084A1 (ru) | 1971-04-12 | 1971-04-12 | Рентгеновский способ измерени толщины покрыти |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1645960A SU468084A1 (ru) | 1971-04-12 | 1971-04-12 | Рентгеновский способ измерени толщины покрыти |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU468084A1 true SU468084A1 (ru) | 1975-04-25 |
Family
ID=20472181
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU1645960A SU468084A1 (ru) | 1971-04-12 | 1971-04-12 | Рентгеновский способ измерени толщины покрыти |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU468084A1 (ru) |
-
1971
- 1971-04-12 SU SU1645960A patent/SU468084A1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US2503165A (en) | Photometric apparatus for quantitative spectroanalysis | |
| Williams | Relative intensities and transition probabilities of the K-series lines of the elements 24 to 52 by the ionization chamber method | |
| US2897371A (en) | Spectroscopy | |
| US4377869A (en) | Procedure for measuring coating rates | |
| US2642537A (en) | Apparatus for determining coating thickness | |
| US3562525A (en) | X-ray fludrescence gauging employing a single x-ray source and a reference sample for comparative measurements | |
| US2521772A (en) | Method of determining the thickness of a metal coating on a metal base | |
| US2925497A (en) | Fluorescence analysis | |
| DuMond et al. | A Determination of h e from the Short Wave-Length Limit of the Continuous X-Ray Spectrum | |
| US4147931A (en) | Procedure for measuring unit area weights | |
| SU468084A1 (ru) | Рентгеновский способ измерени толщины покрыти | |
| JP3333940B2 (ja) | Ｘ線を使用して層の厚みを測定する装置の較正装置および較正方法 | |
| US2846589A (en) | Apparatus for determining the thickness of zinc coating on a ferrous metal base | |
| SE7711809L (sv) | Forfarande for att meta ytvikter | |
| Butz et al. | Use of electron microprobe analysis to determine layer thicknesses down to the monolayer range | |
| SU1375953A1 (ru) | Способ определени шероховатости поверхности | |
| SU968712A1 (ru) | Способ измерени механического напр жени | |
| JP2906606B2 (ja) | 薄膜試料の定性分析法 | |
| SU1265475A1 (ru) | Способ измерени толщины покрытий | |
| SU446005A1 (ru) | Устройство дл измерени координат фокального п тна | |
| SU552544A1 (ru) | Способ флуоресцентного рентгенорадиометрического анализа | |
| RU555811C (ru) | Цифровое рентгенофлуоресцентное устройство | |
| SU1485327A1 (ru) | Способ определения длины диффузии электронов в полупроводнике | |
| SU1245881A1 (ru) | Способ измерени толщины покрыти | |
| SU458748A1 (ru) | Способ рентгенорадиометрического анализа проб сложного состава |