SU944921A1 - Схват манипул тора - Google Patents
Схват манипул тора Download PDFInfo
- Publication number
- SU944921A1 SU944921A1 SU802993077A SU2993077A SU944921A1 SU 944921 A1 SU944921 A1 SU 944921A1 SU 802993077 A SU802993077 A SU 802993077A SU 2993077 A SU2993077 A SU 2993077A SU 944921 A1 SU944921 A1 SU 944921A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- electrodes
- manipulator
- gripper
- strips
- conductive
- Prior art date
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 7
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims 1
- 229920000742 Cotton Polymers 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
Landscapes
- Manipulator (AREA)
Description
Изобретение относится к электростатическим крепежным устройствам, предназначенным для оперирования проводящими и полупроводящими объектами, с в частности к-тем областям техники, где требуется осуществлять захват, переноску и установку плоских деталей малой толщины и больших размеров из полупроводящих и проводящих материаловед
Известен схват манипулятора, содержащий корпус и электроды (1].
Недостатком известного схвата манипулятора являются узкие технологические возможности, выраженные в том, что данный схват не может захватывать 15 листовые детали.
Цель изобретения - расширение технологических возможностей за счет зах- 2θ вата листовых деталей.
Цель достигается тем, что один из электродов выполнен в виде плиты из токопроводящего материала, имеющей пазы, а другой - в виде полос из полупроводящего материала с нанесенной 25 одной их поверхности токопроводящей пленкой, причем эти полосы размещены в пазах токопроводящей поверхностью вглубь паза и изолированы относительно плиты. .30 ' 2
На фиг. 1 изображен охват манипулятора, общий вид; нафиг. 2 - устройство рабочей части схвата манипу- . лятора.
Схват манипулятора состоит из корпуса 1, который является электродом. К корпусу крепится (крепеж не показан) ручка 2. В пазах электрода 1 находятся полосы 3 из полупроводящего материала, нижняя поверхность которых металлизирована' пленкой 4 и представляет собой второй электрод. Электрод 1 и полосы 3 из полупроводящего материала изолированы друг от друга по внутреннему объему прокладкой 5. Электроды 1 и 4 соединены с источником б высокого напряжения. Соединенные провода изолированы от корпуса 1 вставкой 7.
Схват работает следующим образом.
Для захвата детали к электродам 1 и 4 через коммутатор подключается напряжение, и рабочая поверхность подводится к детали. За счет большого размера поверхности плоскости детали и схвата манипулятора хорошо ориентируются параллельно друг другу. Пересекающиеся полосы позволяют работать с деталями различных размеров. При нажиме манипулятором давление равномерно распределяется по поверх^ ности детали, что исключает ее деформацию. Под действием разности потенциалов, приложенных к электродам 1 и 4, на границе между электродами из полупроводящего высокоемкого ма- 5 териала и деталью в области их·» непосредственного контакта и вблизи этой области происходит накопление электрических зарядов разных знаков. В результате деталь закрепляется на 10 рабочей поверхности схвата манипулятора в местах контакта с полосой 3 из полупроводящего1материала. После этого производятся необходимые операции над деталью. По их окончании с помощью коммутатора отключают напря- . жение, сила электростатического притяжения исчезает и деталь перестает удерживаться схватом манипулятора.
Использование предлагаемого тех- -п нического решения позволит осуществить вспомогательные технологические операции при установке, снятии и переноске деталей типа листов и I диафрагм.
Claims (2)
- Изобретение относитс к электростатическим крепежным устройствам, предназначенным дл оперировани про вод щими и полупроводшцими объектами в частности к TeNt област м техники, где требуетс осуществл ть захват, перенооку и установку плоских деталей малой толщины и больших размеров из полупровод щих и провод щих материал Известен схват манипул тора, содержащий корпус и электроды {. Недостатком известного схвата манипул тора вл ютс узкие технологические возможности, выраженные в том что данный схват не может захватыват листовые детсши. Цель изобретени - расширение технологических возможностей за счет зах вата листовых деталей. Цель достигаетс тем, что один из электродов выполнен в виде плиты из токопровод щего материала, имеющей пазы, а другой - в виде полос из полупровод щегсз материала с нанесенной одной их поверхности токопровод щей пленкой, причем эти полосы размещены в пазг1х токопровод щей поверхностью вглубь паза и изолированы относительно плиты. На фиг. 1 изображен схват манипул тора , общий вид; на фиг. 2 - устройство рабочей части схвата манипул тора . Схват манипул тора состоит з корпуса if который вл етс электродом. К корпусу крепитс (крепеж не показан ) ручка
- 2. Б пазах электрода 1 наход тс полосы 3 из полупровод щего материала, нижн поверхность которых металлизирована пленкой 4 и представл ет собой второй электрод. Электрод 1 и полосы 3 из полупро)вод щего материала изолированы друг от друга по внутреннему объему прокладкой 5. Электроды 1 и 4 соединены с источником б высокого напр жени . Соединенные провода изолирюваны от корпуса 1 вставкой 7. Охват работает следующим образом. Дл захвата детали к электродам 1 и 4 через коммутатор подключаетс напр жение, и рабоча поверхность подводитс к детали. За счет большого размера поверхности плоскости детали и схвата манипул тора хорошо ориентируютс параллельно друг другу. Пересекающиес полосы позвол ют работать с детал ми различных размеров. При нажиме манипул тором давление равномерно распредел етс по поверхг нести детали, что исключает ее деформацию . Под действием разности потенциалов , приложенных к электррдам 1 и 4, на границе между электродами из полупровод щего высокоемкого материала и деталью в области их непосредственного контакта и вблизи этой области происходит накопление электрических зар дов разных знаков В результате деталь закрепл етс на рабочей поверхности схвата манипул тора в местах контакта с полосой 3 из полупровод щегоматериала. После этого производ тс необходимые опера ции над деталью. По их окончании с помощью коммутатора отклч чают напр жение , сила электростатического прит жени исчезает и деталь перестает удерживатьс схватом манипул тора. Использованче предлагаемого тех .нического решени позволит осуществить вспомогательные технологические операции при установке, сн тии и переноске деталей типа листов и .диафрагм. Формула изобретени Схват манипул тора, ссэдержащий корпус и электроды, ртличающийс тем, что, с целью расширени технологических возможностей за счет обеспечени возможности захвата листовых деталей; один из электродов выполнен в виде плиты из токопровод щего материала, имеющей пазы, а другой в виде полос из полупровод щего материала с нанесенной на одной их поверхности токопровод щей пленкой, причем эти полосы размещены в пазах токопровод щей поверхностью вглубь паза и изолированы относительно плиты. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР 518330, кл. В 25 J 15/00, 1975.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU802993077A SU944921A1 (ru) | 1980-10-16 | 1980-10-16 | Схват манипул тора |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU802993077A SU944921A1 (ru) | 1980-10-16 | 1980-10-16 | Схват манипул тора |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU944921A1 true SU944921A1 (ru) | 1982-07-23 |
Family
ID=20921935
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU802993077A SU944921A1 (ru) | 1980-10-16 | 1980-10-16 | Схват манипул тора |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU944921A1 (ru) |
-
1980
- 1980-10-16 SU SU802993077A patent/SU944921A1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0294556B1 (en) | Electrostatic holding apparatus | |
| CA2114159C (en) | Electrostatic relay | |
| US3913181A (en) | Paper clip having a coated inside loop surface | |
| US6746063B1 (en) | Device for separating, lifting and moving aluminium sheets or other non-ferromagnetic material | |
| SU944921A1 (ru) | Схват манипул тора | |
| KR890006344A (ko) | 방전소자 및 그의 응용장치 | |
| DK1342311T3 (da) | Elektrostatisk anordning til at gribe en elektronisk komponentwafer | |
| JPS5532079A (en) | Transfer menber holding method | |
| JP2004503450A5 (ru) | ||
| WO2001096219A3 (en) | Electro-adhesion device | |
| SE7509025L (sv) | Kontaktanordning vid ett elektriskt ledande platt foremal samt forfarande for framstellning av kontaktanordningar. | |
| JP2574407B2 (ja) | 電子ビーム露光装置用ウェハーホルダ | |
| JP2712966B2 (ja) | 集塵電極 | |
| JP3008454B2 (ja) | 静電吸着保持装置 | |
| AT388072B (de) | Elektrode fuer elektrostatische anwendungsbereiche | |
| JPH0425150A (ja) | 光半導体製造装置 | |
| JPS56129583A (en) | Electrostatic attracting device for drawing paper and the like | |
| JPH0218956Y2 (ru) | ||
| SU627040A1 (ru) | Способ отделени подачи листов из стопы и устройство дл его осуществлени | |
| JPH0243752A (ja) | 静電チャック型ウエハホルダ | |
| JPS63297568A (ja) | プラズマcvd装置 | |
| JPS641011Y2 (ru) | ||
| JP3074547B2 (ja) | 集塵電極 | |
| JPH04117188A (ja) | 静電吸着装置と基板離脱方法 | |
| JPS6412586A (en) | Piezoelectric bimorph device |