SU944921A1 - Схват манипул тора - Google Patents

Схват манипул тора Download PDF

Info

Publication number
SU944921A1
SU944921A1 SU802993077A SU2993077A SU944921A1 SU 944921 A1 SU944921 A1 SU 944921A1 SU 802993077 A SU802993077 A SU 802993077A SU 2993077 A SU2993077 A SU 2993077A SU 944921 A1 SU944921 A1 SU 944921A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
electrodes
manipulator
gripper
strips
conductive
Prior art date
Application number
SU802993077A
Other languages
English (en)
Inventor
Владимир Николаевич Таиров
Леонид Васильевич Тонкий
Леонид Владимирович Головкин
Original Assignee
Предприятие П/Я А-3474
Ленинградский электротехнический институт им.В.И.Ульянова (Ленина)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я А-3474, Ленинградский электротехнический институт им.В.И.Ульянова (Ленина) filed Critical Предприятие П/Я А-3474
Priority to SU802993077A priority Critical patent/SU944921A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU944921A1 publication Critical patent/SU944921A1/ru

Links

Landscapes

  • Manipulator (AREA)

Description

Изобретение относится к электростатическим крепежным устройствам, предназначенным для оперирования проводящими и полупроводящими объектами, с в частности к-тем областям техники, где требуется осуществлять захват, переноску и установку плоских деталей малой толщины и больших размеров из полупроводящих и проводящих материаловед
Известен схват манипулятора, содержащий корпус и электроды (1].
Недостатком известного схвата манипулятора являются узкие технологические возможности, выраженные в том, что данный схват не может захватывать 15 листовые детали.
Цель изобретения - расширение технологических возможностей за счет зах- 2θ вата листовых деталей.
Цель достигается тем, что один из электродов выполнен в виде плиты из токопроводящего материала, имеющей пазы, а другой - в виде полос из полупроводящего материала с нанесенной 25 одной их поверхности токопроводящей пленкой, причем эти полосы размещены в пазах токопроводящей поверхностью вглубь паза и изолированы относительно плиты. .30 ' 2
На фиг. 1 изображен охват манипулятора, общий вид; нафиг. 2 - устройство рабочей части схвата манипу- . лятора.
Схват манипулятора состоит из корпуса 1, который является электродом. К корпусу крепится (крепеж не показан) ручка 2. В пазах электрода 1 находятся полосы 3 из полупроводящего материала, нижняя поверхность которых металлизирована' пленкой 4 и представляет собой второй электрод. Электрод 1 и полосы 3 из полупроводящего материала изолированы друг от друга по внутреннему объему прокладкой 5. Электроды 1 и 4 соединены с источником б высокого напряжения. Соединенные провода изолированы от корпуса 1 вставкой 7.
Схват работает следующим образом.
Для захвата детали к электродам 1 и 4 через коммутатор подключается напряжение, и рабочая поверхность подводится к детали. За счет большого размера поверхности плоскости детали и схвата манипулятора хорошо ориентируются параллельно друг другу. Пересекающиеся полосы позволяют работать с деталями различных размеров. При нажиме манипулятором давление равномерно распределяется по поверх^ ности детали, что исключает ее деформацию. Под действием разности потенциалов, приложенных к электродам 1 и 4, на границе между электродами из полупроводящего высокоемкого ма- 5 териала и деталью в области их·» непосредственного контакта и вблизи этой области происходит накопление электрических зарядов разных знаков. В результате деталь закрепляется на 10 рабочей поверхности схвата манипулятора в местах контакта с полосой 3 из полупроводящего1материала. После этого производятся необходимые операции над деталью. По их окончании с помощью коммутатора отключают напря- . жение, сила электростатического притяжения исчезает и деталь перестает удерживаться схватом манипулятора.
Использование предлагаемого тех- -п нического решения позволит осуществить вспомогательные технологические операции при установке, снятии и переноске деталей типа листов и I диафрагм.

Claims (2)

  1. Изобретение относитс  к электростатическим крепежным устройствам, предназначенным дл  оперировани  про вод щими и полупроводшцими объектами в частности к TeNt област м техники, где требуетс  осуществл ть захват, перенооку и установку плоских деталей малой толщины и больших размеров из полупровод щих и провод щих материал Известен схват манипул тора, содержащий корпус и электроды {. Недостатком известного схвата манипул тора  вл ютс  узкие технологические возможности, выраженные в том что данный схват не может захватыват листовые детсши. Цель изобретени  - расширение технологических возможностей за счет зах вата листовых деталей. Цель достигаетс  тем, что один из электродов выполнен в виде плиты из токопровод щего материала, имеющей пазы, а другой - в виде полос из полупровод щегсз материала с нанесенной одной их поверхности токопровод щей пленкой, причем эти полосы размещены в пазг1х токопровод щей поверхностью вглубь паза и изолированы относительно плиты. На фиг. 1 изображен схват манипул тора , общий вид; на фиг. 2 - устройство рабочей части схвата манипул тора . Схват манипул тора состоит  з корпуса if который  вл етс  электродом. К корпусу крепитс  (крепеж не показан ) ручка
  2. 2. Б пазах электрода 1 наход тс  полосы 3 из полупровод щего материала, нижн   поверхность которых металлизирована пленкой 4 и представл ет собой второй электрод. Электрод 1 и полосы 3 из полупро)вод щего материала изолированы друг от друга по внутреннему объему прокладкой 5. Электроды 1 и 4 соединены с источником б высокого напр жени . Соединенные провода изолирюваны от корпуса 1 вставкой 7. Охват работает следующим образом. Дл  захвата детали к электродам 1 и 4 через коммутатор подключаетс  напр жение, и рабоча  поверхность подводитс  к детали. За счет большого размера поверхности плоскости детали и схвата манипул тора хорошо ориентируютс  параллельно друг другу. Пересекающиес  полосы позвол ют работать с детал ми различных размеров. При нажиме манипул тором давление равномерно распредел етс  по поверхг нести детали, что исключает ее деформацию . Под действием разности потенциалов , приложенных к электррдам 1 и 4, на границе между электродами из полупровод щего высокоемкого материала и деталью в области их непосредственного контакта и вблизи этой области происходит накопление электрических зар дов разных знаков В результате деталь закрепл етс  на рабочей поверхности схвата манипул тора в местах контакта с полосой 3 из полупровод щегоматериала. После этого производ тс  необходимые опера ции над деталью. По их окончании с помощью коммутатора отклч чают напр жение , сила электростатического прит жени  исчезает и деталь перестает удерживатьс  схватом манипул тора. Использованче предлагаемого тех .нического решени  позволит осуществить вспомогательные технологические операции при установке, сн тии и переноске деталей типа листов и .диафрагм. Формула изобретени  Схват манипул тора, ссэдержащий корпус и электроды, ртличающийс   тем, что, с целью расширени  технологических возможностей за счет обеспечени  возможности захвата листовых деталей; один из электродов выполнен в виде плиты из токопровод щего материала, имеющей пазы, а другой в виде полос из полупровод щего материала с нанесенной на одной их поверхности токопровод щей пленкой, причем эти полосы размещены в пазах токопровод щей поверхностью вглубь паза и изолированы относительно плиты. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР 518330, кл. В 25 J 15/00, 1975.
SU802993077A 1980-10-16 1980-10-16 Схват манипул тора SU944921A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU802993077A SU944921A1 (ru) 1980-10-16 1980-10-16 Схват манипул тора

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU802993077A SU944921A1 (ru) 1980-10-16 1980-10-16 Схват манипул тора

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU944921A1 true SU944921A1 (ru) 1982-07-23

Family

ID=20921935

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU802993077A SU944921A1 (ru) 1980-10-16 1980-10-16 Схват манипул тора

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU944921A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0294556B1 (en) Electrostatic holding apparatus
CA2114159C (en) Electrostatic relay
US3913181A (en) Paper clip having a coated inside loop surface
US6746063B1 (en) Device for separating, lifting and moving aluminium sheets or other non-ferromagnetic material
SU944921A1 (ru) Схват манипул тора
KR890006344A (ko) 방전소자 및 그의 응용장치
DK1342311T3 (da) Elektrostatisk anordning til at gribe en elektronisk komponentwafer
JPS5532079A (en) Transfer menber holding method
JP2004503450A5 (ru)
WO2001096219A3 (en) Electro-adhesion device
SE7509025L (sv) Kontaktanordning vid ett elektriskt ledande platt foremal samt forfarande for framstellning av kontaktanordningar.
JP2574407B2 (ja) 電子ビーム露光装置用ウェハーホルダ
JP2712966B2 (ja) 集塵電極
JP3008454B2 (ja) 静電吸着保持装置
AT388072B (de) Elektrode fuer elektrostatische anwendungsbereiche
JPH0425150A (ja) 光半導体製造装置
JPS56129583A (en) Electrostatic attracting device for drawing paper and the like
JPH0218956Y2 (ru)
SU627040A1 (ru) Способ отделени подачи листов из стопы и устройство дл его осуществлени
JPH0243752A (ja) 静電チャック型ウエハホルダ
JPS63297568A (ja) プラズマcvd装置
JPS641011Y2 (ru)
JP3074547B2 (ja) 集塵電極
JPH04117188A (ja) 静電吸着装置と基板離脱方法
JPS6412586A (en) Piezoelectric bimorph device