TW200529896A - Ozone enhanced vaporized hydrogen peroxide decontamination method and system - Google Patents

Description

200529896 五、發明說明（1)

【發明所屬之技術領域】 I 本發明有關於一般的殺菌與淨化之技術，特別是有關於一 種包含臭氧與過氧化氫蒸氣連續或同時應用之淨化方法與 系統。 【先前技術】 淨化方法已經有廣大範圍的應用，並且殺菌劑與淨化劑也 是一樣具有廣大的應用範圍。應用於此處之「殺菌」 (s t e r i 1 i z a ΐ i ο η)這個詞係指所有的生物污染物之鈍化 (i n a c t i ν a t i ο η)，特別是在無生命的物體上。「淨化」 (d e c ο n t a m i II a t i ο η)係指所有的植物生物試劑之純化 (i n a c t i ν a t i ο η)，特別是在無生命的物體上。「消毒 劑」（d i s i n f e c t a n t)這個詞係指考慮過的引起疾病之有 機體之鈍化。「淨化劑」這個詞係指一淨化試劑 (decontaminating agent) 〇 習知方法係利用過氧化氫蒸氣（v a ρ 〇 r i z e d h y d r 〇 g e η p e r o x i d e : V Η P)殺菌。藉由過氧化氫蒸氣殺菌之方法， 包含開放迴路系統與密閉迴路系統。習知密閉迴路系統 中，一載流氣體，例如空氣，在流經一蒸餾器之前，係乾 燥的與加熱的。一過氧化氫液體水溶液引進蒸餾器，並且 蒸發。產生的蒸氣與載流氣體結合，並且引進一殺菌室。 一吹風機從殺菌室排出載流氣體，並且重複循環載流氣體 到添加額外過氧化氫蒸氣之蒸餾器。在殺菌室與蒸餾器之

第7頁 200529896_ 五、發明說明（2) 間，重複循環載流氣體通過一催化破壞器（其從滅流氣體 中排除任何殘留的過氧化氫氣體）、一乾燥器、一過濾器 以及一加熱器。 習知方法亦係利用一臭氧殺菌器，用臭氧殺菌與淨化。臭 氧殺菌係利用一臭氧產生器或其他裝置，將臭氧引進一載 流氣體。一用於臭氧殺菌之特別載流氣體是大氣的空氣。 在臭氧添加至載流氣體之後，將載流氣體引進殺菌室或空 間以殺菌。臭氧藉由氧化以作用任何曝露於臭氧之生物污 染物，結果鈍化生物污染物。臭氧也作為一漂白劑。在一 潮濕環境中之臭氧，相較於其他習知漂白劑，其具有較高 漂白性，例如過氧化氫、氯或二氧化硫。 本發明提出一種用於淨化之方法與系統，其係利用一過氧 化氫蒸氣與臭氧的結合物。 【發明内容】 根據本發明之一較佳實施例，提供一種用於淨化固定區域 之蒸氣淨化系統。上述系統包括：一定義一區域之室 (chamber)，以及一產生器，用於從一過氧化氫與水之 溶液中產生過氧化氫蒸氣，以及將臭氧引進載流氣體之一 裝置。一封閉迴路循環系統，用以提供過氧化氫蒸氣與臭 氧混合物到上述區域。一破壞器，用於分解（b r e a k d〇w η )從上述區域中排出（discharged)之過氧化氫蒸氣。

第8頁 200529896 五、發明說明（3) 根據本發明之另一觀點，提供一種用於淨化一區域之淨化 系統。上述系統包括：一用於產生過氧化氫蒸氣之產生 器，以及一用於產生臭氧之產生器。一封閉迴路循環系. 統，用以提供過氧化氫蒸氣與臭氧到上述區域。一破壞 器，將上述過氧化氫蒸氣分解（break down)成為水與氧 氣。 根據本發明之又一觀點，提供一種封閉迴路，在一可密封 室或區域中之氣相淨化之流通方法，上述區域具有一入口 埠與一出口琿，以及流動性地連接上述入口埠與出口埠之 一封閉迴路導管。上述方法包括以下步驟： 產生一流入、流經與流出該室（chamber)以及流經該封 閉迴路導管之載流氣體之流動； 提供臭氧到載流氣體流； 提供過氧化氫蒸氣到載流氣體流；以及 破壞上述出口埠下游之第一位置之過氧化氫蒸氣以形成水 與氧。 根據本發明之再一觀點，提供一種封閉迴路與氣相淨化流 通系統，上述系統包含··一具有入口埠與一出口埠之可密 封室（chamber)。一封閉迴路導管系統具有流動連接上 述入口埠與出口埠之一第一端與一第二端。一連接上述導 管系統之吹風機，其係用來重複循環流入、流經與流出上

200529896_________ 五、發明說明（4) 述室（c h a m b e r)之一載流氣體流。一蒸I留器（v a ρ 〇 r i z e r )，其係用來傳送過氧化氫蒸氣以加入上述入口埠上游之 載流氣體流。一臭氧產生器用以提供於蒸餾器之上游。一 破壞器置於上述出口琿之下游，以改變過氧化氫蒸氣成為 水與氧。 本發明之一優點在於一淨化系統係結合過氧化氫蒸氣與臭 氧之淨化觀點。 本發明之另一優點在於如上述定義之系統可以只使用過氧 化氫蒸氣。 本發明之再一優點在於如上述定義之系統可以只使用臭 氧。 本發明之又一優點在於如上述定義之系統可以有效率地結 合臭氧與過氧化氫蒸氣，此處單獨的臭氧將導致殺菌裝置 之功能退化（degragation)。 本發明之另一優點在於如上述定義系統之供應可以有效率 地藉由結合過氧化氫蒸氣與臭氧以有效地減少關於利用過 氧化氫蒸氣單獨淨化之成本。 本發明之再一優點如上述定義之系統可以利用以下其中一

第10頁。 200529896 五、發明說明（5) 種來實行淨化·· （ 1)過氧化氫蒸氣（2)臭氧（3)過氧 化氫蒸氣與臭氧之結合物。 本發明之另一優點在於如上述定義之系統可以於乾燥條.件 下產生臭氧，結果促進臭氧產生。 本發明之又一優點在於如上述定義之系統，臭氧曝露於潮 濕條件下淨化之物體，結果促進臭氧漂白特性。

藉由以下之較佳實施例，結合所附圖示與所附申請專利範 圍之詳細描述，將可以明顯了解上述以及其他諸多優點。 【實施方式】

請參考圖示，其中圖示僅為了說明本發明之一較佳實施 例，並非用以限制本發明，圖一所示為一淨化系統 (decontamination system) 10，其係顯示本發明之一較 佳實施例。廣泛而言，上述系統1 0利用一過氧化氫蒸氣之 結合物（意即··一二部件、氣相（v a ρ 〇 r - p h a s e)淨化） 與臭氧，用以淨化一空間或區域，或具有此空間或區域之 物品。 在上述實施例中，上述系統1 〇包括一隔離室或空間 (isolator or room) 22，其定義了一内部殺菌/淨化室 (sterilization/ decontamination chamber)或區域

第11頁 200529896_ 五、發明說明（6) 2 4。一些物品可以考慮置放於上述隔離室或空間h内，進 行殺菌或淨化。一供應導管4 2定義了進入室或區域2 4之一 淨化劑入口 4 4。上述供應導管4 2，將一蒸餾器3 2連接至一 殺菌/淨化室或隔離之區域2 4或空間2 2。一傳統習知的平 衡裝置5 6，係與上述淨化劑供給5 2連接，以測量供給蒸I留 器3 2之淨化劑實際的數量。 一由馬達64所驅動的泵（pump) 62，係提供來運送到達上 述蒸餾器3 2之液體淨化劑之供給量，此處上述淨化劑係藉 由傳統習知的方式來蒸發。在另一實施例中，泵（pump) 6 2裝有一編碼器（encoder)(未圖示），其可以用來監 控運送到蒸餾器3 2之淨化劑之供給量。如果一編碼器提供 給泵（pump) 62，則無需平衡裝置56。在某一靜態前壓 (head pressure)不存在於上述供給管線54内之情況 下，壓力開關7 2可以用來提供一電子訊號。一過氧化氫蒸 氣感應器38置於殺菌/淨化室或隔離之區域24或空間22以 決定在其中的過氧化氮之濃度 上述隔離室或空間2 2與蒸餾器3 2，係一封閉迴路系統之部 份，其包括一來回導管（return conduit) 4 6連接隔離室 或空間2 2 (與殺菌/淨化室或區域2 4)，以及蒸餾器3 2。 上述來回導管4 6定義了 一殺菌/淨化室或區域2 4之過氧化 氫蒸氣（V Η P)淨化劑出口 4 8。一吹風機（b 1 〇 w e r) 8 2係 藉由一馬達8 4來驅動，其係置於上述來回導管4 6之内，以

第12頁 200529896__ 五、發明說明（7) 及隔離室或空間2 2與蒸餾器3 2之間。上述吹風機8 2可以用 來循環通過上述封閉迴路系統之淨化劑，與一載流氣體， 例如空氣。 一第一濾波器9 2、一過氧化氫蒸氣破壞器（VHP destroyer) 9 4以及一闊96( valve)，係置於上述來回導 管4 6之内，以及吹風機8 2與隔離室或空間2 2之間，如圖一 所示。上述第一濾波器92較佳地是一 HEPA濾波器，並且其 係用以去除流經系統1 0之污染物。上述過氧化氫蒸氣破壞 器94係用來破壞流經其中之過氧化氫（H202)，其係傳統 已知的。上述過氧化氫蒸氣破壞器9 4轉變過氧化氫成為水 與氧。閥9 6係用以控制流經上述來回導管4 6。閥9 6可以在 一允許流經上述來回導管4 6之第一位置，與一阻止或防止 流經上述來回導管4 6之第二位置之間移動。 在一較佳實施例中，一臭氧破壞器9 8係置於一補充導管 1 0 2之中。臭氧破壞器9 8係用以破壞臭氧（0 3)，其係傳 統已知的。臭氧破壞器9 8可以是關於載流氣體減少臭氧之 濃度的任何裝置。舉一實施例而言，臭氧破壞器9 8係由活 化的碳（carbon)所組成。臭氧分子進入與碳表面接觸反 應，並且藉由直接氧化反應，以形成二氧化碳（一氧化碳 是第二產物）。 一補充導管1 0 2具有一第一終端1 0 3，流動連接來回導管4 6

第13頁 200529896 五、發明說明（8) 與一開放給空氣之一第二終端1 0 4。補充導管1 0 2之第一終 端1 0 3在閥9 6與過氧化氫蒸氣破壞器9 4之間，流動地與來 回導管4 6連接。在一實施例中，一閥1 0 5係置於補充導管 1 0 2中，以及第一終端1 0 3與臭氧破壞器9 8之間。閥1 0 5係 用來控制流經來回補充導管1 0 2。閥1 0 5係在一允許流經上 述補充導管1 0 2之第一位置，與一阻止或防止流經上述補 充導管1 0 2之第二位置之間移動。補充導管1 0 2之第二終端 1 0 4係開放並且允許補充導管1 0 2之含量排出到空氣。可以 了解的是在閥9 6與吹風機8 2之間，流動地與來回導管4 6連 接。 一空氣烘乾機1 1 2、濾波器1 1 4與加熱器1 1 6係置於上述來 回導管4 6之内，以及吹風機8 2與蒸餾器3 2之間。上述空氣 烘乾機1 1 2可以用來移除吹過上述封閉迴路系統之空氣中 的濕氣。上述第二濾波器1 1 4可以藉由吹風機8 2而過濾吹 過上述來回導管4 6之空氣。上述加熱器11 6可以藉由吹風 機8 2而加熱吹過上述來回導管4 6之空氣。在這個觀點之 下，空氣係在空氣進入蒸餾器3 2之前被加熱。 一空氣流感應器1 2 6係置於上述來回導管4 6之内，以及吹 風機8 2與空氣烘乾機1 1 2之間。上述空氣流感應器1 2 6係用 來感應空氣流經來回導管4 6。 與本發明之觀念一致，一臭氧裝置3 4係置於來回導管4 6之 200529896_ 五、發明說明（9) 内，以及加熱器1 1 6與蒸餾器3 2之間。臭氧裝置3 4係提供 將氣體的臭氧引進來回導管4 6。在一實施例中，臭氧裝置 34係用於產生臭氧之產生器。已知用來產生臭氧之裝置係 利用很多能源型式，例如電化學、電磁（例如，紫外先、 雷射光與電子光束）以及電。在一實施例中，臭氧裝置3 4 係一電裝置，稱為一電暈放電裝置（corona discharge de v i c e)，例如Em i gh等人申請之美國專利第3,87231 3號 專利所敘述之裝置。亦應該了解其臭氧裝置3 4可以作為一 用於從一外部來源氣體的臭氧之輸入的裝置。舉例而言， 一外部來源可以是一儲存臭氧之儲存容器（例如，在一壓 縮與液化態），或一外部臭氧產生器。臭氧裝置3 4係用以 產生、供應，或引導在一殺菌/淨化室或區域之臭氧，維 持足夠的臭氧濃度之速率在百萬分之一 （lppm)與百萬分 之五（50 Oppm)之間。更好地，臭氧裝置34係用以產生、 供應，或引導在一殺菌/淨化室或區域之臭氧，維持足夠 的臭氧濃度之速率在百萬分之一與百萬分之一百（1 OOppm )之間。較佳地，臭氧裝置3 4係用以產生、供應，或引導 在一殺菌/淨化室或區域之臭氧，維持足夠的臭氧濃度之 速率在百萬分之一與百萬分之五十（50ppm)之間。臭氧 裝置3 4係藉由一控制訊號連接至一控制器1 3 2。 一臭氧感應器3 6係置於來回導管4 6之内，以及臭氧裝置34 與蒸餾器3 2之間。臭氧感應器3 6係用以感應在來回導管4 6 之中臭氧之濃度。在一實施例中，臭氧感應器3 6可以是數

第15頁 200529896_ 五、發明說明（ίο) 個已知用來感應臭氧裝置之一。臭氧感應器3 6電性連接控 制器1 3 2。仔細考量其臭氧感應器3 6可以置於來回導管 4 6、供應導管4 2，或殺菌/淨化室或區域2 4中的任何位 置。更仔細考量複數個臭氧感應器可以置於來回導管4 6之 中，以及供應導管4 2，或殺菌/淨化室或區域2 4。 在一實施例中所示，臭氧感應器3 6、過氧化氫感應器3 8與 空氣流感應器1 2 6，提供一電子訊號到一系統控制器1 3 2， 係圖式化地顯示於圖一中。控制器1 3 2為一系統微處理器 或微控制器，其係程式化以控制系統1 0之操作。控制器 1 3 2計晝用以監控與控制過氧化氫蒸氣與臭氧之所想要的 濃度，並且在計晝控制參數基礎之上。使用控制參數可以 表示當作一所想要的過氧化氫蒸氣濃度，與一所想要的臭 氧濃度，或當作一過氧化氫蒸氣對臭氧之比例。如圖一所 示，上述控制器1 3 2也連接到馬達6 4、馬達8 4、壓力開關 7 2、平衡裝置5 6、臭氧裝置3 4、閥9 6，以及閥1 0 5。 本發明更進一步描述有關系統1 0之操作。一典型的殺菌/ 淨化循環包括一烘乾階段（dry i ng phase)、一條件作用 階段（c ο n d i t i ο n i n g p h a s e)、一淨化階段與一通氣階段 (aeration phase)。在進行殺菌/淨化循環之前，在淨 化劑溶液之中的過氧化氫之相關的百分比數據，與在感應 器3 6中臭氧濃度輸入，也就是輸入於上述系統控制器1 3 2 之内。如上所述，在一較佳實施例中，使用百分比3 5%過

第16頁 200529896_ 五、發明說明（11) 氧化氫與百分比6 5%水之淨化劑溶液。然而，過氧化氫與 水之其它濃度也可以被實施。 隔離室或空間2 2、供應導管4 2以及來回導管4 6，定義了.一 封閉循環導管迴路。當一殺菌/淨化循環首先被實施時， 控制器1 3 2致使上述吹風機馬達8 4去驅動吹風機8 2，結果 導致一載流氣體透過上述封閉循環導管迴路來循環。在一 實施例中，載流氣體係為空氣。在烘乾階段（dr y i ng phase)期間，蒸餾器32與臭氧裝置34不會被操作。空氣 烘乾機1 1 2，去除了透過上述封閉循環導管迴路所循環之 載流氣體，也就是透過上述供應導管4 2、來回導管4 6與殺 菌/淨化室或區域2 4或隔離室或空間2 2，如圖一之箭頭所 示。當空氣已經被烘乾到一足夠低濕度的程度時，上述烘 乾階段即告完成。仔細考量上述所想要之溼度水平，將根 據使用臭氧與過氧化氫蒸氣之結合物，以及其所想要之效 應來選擇。 然後，上述條件作用階段（c ο n d i t i οn i ng pha s e)藉由活 動蒸餾器3 2與馬達6 4，以提供淨化劑給於蒸餾器3 2。在一 本發明之較佳實施例中，供應給蒸餾器3 2之淨化劑係由百 分比3 5%過氧化氫溶液與百分比6 5%水所組成。然而，不 同比例的過氧化氫與水所組成之淨化劑溶液也可以被實 施。在蒸德器3 2中，上述液體淨化劑係利用傳統之方式而 被蒸發以產生過氧化氫蒸氣（VHP)以及水蒸氣。上述蒸

第17頁 200529896 五、發明說明（12) 一 氣淨化劑係被引入封閉循環導管迴路，並且藉由上述載流 氣體（空氣）而經由供應導管42，傳遞進入上述隔離室或 空間2 2之内之殺菌/淨化室或區域2 4。 在條件作用階段（cond i t i on i ng phas e)之期間，過氧化 氣条氣（VHP)以一相當高的速率’藉由載流氣體傳遞進 入殺菌/淨化室或區域24之内，結果在一短時間的期間產 生一個所想要的過氧化氫水平（1 eve 1)。在條件作^階 ，（condi tioning phase)之期間，上述吹風機82致使空 氣透過上述封閉迴路糸統而連績地循環。當載流氣體從蒸 5器3 2進入室或區域24時，載流氣體也是透過過氧化氫蒸 ，j VHP)破壞器94，而從室或區域24取出，此處過氧化 氯条氣（VHP)係分解（broken down)成為水與氧。 上述條件作用階段（conditioning phase)完成之後， 段。開始產生臭氧’與藉由系統控制器 氧穿置： 的水平。系統控制器132藉由控制臭 虱装置3 4之輸出，以控制臭氧之引導。 ί利六 臭氧裝置3 4利用電暈放電方法產生臭梟 ^ ^ .

由提供一氣體，其包含氧分子（即，☆包蕈電方法 以產生臭氧。—載流氣體通過由第—Ϊ，氣，)_给電價 義之一放電間隙（discharge gap) 。w與第一電極所 di f ference)在兩電極之間產生，紝 電位至（vol t 、”口果使電子於第一雨

第18頁 200529896 五、發明說明（13)

通過一電介質，與通過從第一電極到第二電極之i電間 隙。從第一電極到第二電極之電子流係電暈放電。電暈放 電具有在一超過某一關鍵數值之電位梯度，藉由一低電流 電的放電之特徵。電暈放電提供使氧分子分離之能量，.上 述氧分子包含載流氣體。結果氧原子結合殘留的氧分子形 成臭氧。乾燥條件促進臭氧生產，其藉由防止電子之漏 電，以減少所想要的電位梯度，然而利用潮濕條件可以導 致上述電子之漏電。在臭氧產生之前，起因於過氧化氫蒸 氣分解或其他來源之溼度，係藉由將臭氧裝置3 4放置於空 氣烘乾器1 1 2之下游，然後提供一不潮濕、乾燥的條件， 以促進臭氧產生。

控制器1 3 2藉由臭氧感應器3 6監控送回的訊號，與具有計 畫控制參數之訊號對照，也就是說臭氧之所想要的濃度， 因此藉由臭氧裝置3 4引進載流氣體，以調整臭氧之數量。 然而，臭氧感應器3 6、控制器1 3 2，與臭氧裝置3 4操作視 為一密閉迴路回饋臭氧控制系統，以維持在供應導管4 2中 以及載流氣體之内的臭氧之濃度。更具體而言，當臭氧轉 換通過供應導管4 2、來回導管4 6，與殺菌/淨化室或區域 24，或隔離室或空間22時，將會隨著時間過去（over time)而降解（degrade)，如圖一之箭頭所示。在淨化 過程中當轉換通過系統1 〇，任何未耗盡或降解的臭氧，藉 由臭氧裝置3 4將補充的臭氧引進來回導管4 6。

第19頁 200529896 五、發明說明（14) 淨化階段繼續一預定充足的期間，以產生所想要的殺菌/ 淨化室或區域2 4，以及其中的物品之殺菌或淨化。較佳 地，係維持過氧化氫與臭氧濃度在所想要限制的範圍内， 其為熟悉此項技術者所定義，以達到需要的淨化之等級。 吹風機8 2循環上述過氧化氫蒸氣與臭氧。

在淨化階段期間，在殺菌/淨化室或隔離室之區域2 4，或 空間2 2之中之空氣，係包含藉由在蒸餾器3 2中液體污染物 之蒸發，與過氧化氫蒸氣之降解，而產生水蒸氣。在殺菌 /淨化室或區域24中造成的溼度，促進在殺菌/淨化室或區 域2 4中臭氧之漂白性。 一給定的殺菌/淨化循環期間，如果在其他方面相同的淨 化/殺菌循環中，只有使用過氧化氫時，在結合臭氧使用 過氧化氫之實際數量被認為係少於使用過氧化氫數量。 上述淨化階段完成之後，控制器1 3 2將關掉蒸餾器3 2與臭 氧產生裝置3 4，其結果將使得淨化劑不再引進供應導管 42，以及臭氧不再引進來回導管46。

之後，開始通氣階段（a e r a t i ο n p h a s e)以產生的過氧化 氫水平可以降到一個可允許的門檻（大約百萬分之一）。 在此觀點下，上述吹風機8 2透過上述封閉迴路系統持續的 循環空氣、殘留的過氧化氫蒸氣，與殘留的臭氧。最後，

第20頁 200529896___ 五、發明說明（15) 所有蒸發的過氧化氫蒸氣將傳送到過氧化氫蒸氣破壞器 9 4，並且分解。因為臭氧在一正常空氣條件下是一不穩定 分子，其會隨著時間過去自然分解。較佳地，通氣階段持 續一足夠期間，以允許滿足臭氧在系統1 0中之分解。

在另一較佳實施例中，在通過過氧化氫蒸氣破壞器9 4之後 與釋放到空氣之前，考量操作閥9 6與閥1 0 5，以便流經來 回導管4 6，並且直接通過臭氧破壞器9 8。可以了解很多其 他的導管與閥安排利用引進來回導管4 6之容量，以流經臭 氧破壞器9 8。另外，在通過臭氧破壞器9 8 (未圖示）之 後，流經來回導管4 6可以直接送回來回導管46。 上述說明僅是本發明之一個特定的實施例。應該可以認知 本發明以較佳實施例說明如上，然其並非用以限定本發明 所主張之專利權利範圍，並且凡熟悉此領域之技藝者，在 不脫離本專利精神或範圍内，可以作更動或潤飾。

在上述所作之更動中，考量一使用如上述系統1 0之選擇性 方法，只靠使用過氧化氫當作淨化劑。在一選擇性實施例 中，臭氧裝置3 4仍置於來回導管4 6之内，以及加熱器 1 1 6、蒸餾器3 2與載流氣體，將臭氧引進來回導管4 6，但 是蒸餾器3 2並未將過氧化氫蒸氣引進供應導管4 2。蒸餾器 3 2仍連接到殺菌/淨化室或隔離之區域2 4或空間2 2，並且 藉由吹風機8 2推動載流氣體繼續轉換通過蒸餾器3 2。然 II 1 SI 11 II 11 I 1 1 I 11 第21頁 200529896____ 五、發明說明（16) 而，計晝控制器1 3 2以便於利用馬達6 4來驅動泵6 2，並沒 有傳送液體淨化劑到蒸餾器3 2。馬達6 4可能在一些額外的 方法上無法運作，包含電力供應之移除，與完全阻斷液體 淨化劑之流動。 考量如上述之另一使用系統1 0之選擇性方法，為了增加在 臭氧裝置3 4中產生臭氧的數量，氧氣或一充滿氧氣的氣體 從一來源（未圖示）引進加熱器1 1 6與臭氧裝置3 4之間。

上述說明僅是本發明之一個特定的實施例。本發明以較佳 實施例說明如上，然其並非用以限定本發明所主張之專利 權利範圍。其專利保護範圍當視後附之申請專利範圍及其 等同領域而定。凡熟悉此領域之技藝者，在不脫離本專利 精神或範圍内，所作之更動或潤飾，均屬於本發明所揭示 精神下所完成之等效改變或設計，且應包含在下述之申請 專利範圍内。

第22頁 200529896_ 圖式簡單說明 【圖式簡單說明】 ’ 本發明可以採取在某些零件（parts)以及該零件的配置 之物理形式，一較佳實施例將藉由以下之說明書與零件， 構成於其中之所附圖示之詳細描述來了解，其中： 圖一係為一臭氧增加過氧化氳蒸氣淨化系統之示意圖。 【主要元件符號說明】 淨化系統1 0

隔離室或空間（isolator or room) 22 殺菌/淨化室或區域2 4 蒸顧器（vaporizer) 32 臭氧裝置34 臭氧感應器3 6 過氧化氫感應器3 8 供應導管4 2 淨化劑入口 44

來回導管（return conduit) 46 淨化劑出口 4 8 淨化劑供給5 2 供給管線5 4 平衡裝置56 泵(pump) 62 馬達6 4、8 4

第23頁 200529896_ 圖式簡單說明 壓力開關72 吹風機（b 1 owe r) 8 2 第一濾波器92 過氧化氫蒸氣破壞器（VHP destroyer) 94 閥 9 6、1 0 5 臭氧破壞器9 8 補充導管1 0 2 第一終端103 第二終端1 0 4 空氣烘乾機1 1 2

濾波器1 1 4 加熱器1 1 6 空氣流感應器1 2 6 控制器1 3 2

第24男

Claims (1)

1. 200529896_ 六、申請專利範圍 1. 一種用於淨化固定區域之蒸氣淨化系統，該系統包括： 一定義一區域之室（chamber); 一第一產生器，用以從一過氧化氫與水之溶液中產生過氧 化氫蒸氣，並且將該過氧化氫蒸氣引進一載流氣體； 一裝置，用以引進臭氧至該載流氣體； 一封閉迴路循環系統，用以提供該過氧化氫蒸氣與該載流 氣體至該區域，以及 一破壞器，用以分解（break i ng down)該過氧化氫蒸 氣。 2. 如申請專利範圍第1項之用於淨化固定區域之蒸氣淨化 系統，其中該載流氣體包括氧氣，並且更包括一第二產生 器’用以從該氧氣中產生臭氧。 3. 如申請專利範圍第1項之用於淨化固定區域之蒸氣淨化 系統，更包括一感應器，以用來檢測該載流氣體中的臭氧 之濃度。 4. 如申請專利範圍第1項之用於淨化固定區域之蒸氣淨化 系統，其中該第一產生器係一蒸I留器（v a ρ 〇 r i z e r)。 5 .如申請專利範圍第1項之用於淨化固定區域之蒸氣淨化 系統，更包括一破壞器，用以分解（b r e a k i n g d 〇 wη)該 過氧化氫蒸氣。

   200529896 六、申請專利範圍 6. 如申請專利範圍第1項之用於淨化固定區域之蒸氣淨化 系統，更包括： 一吹風機（blower)，置於該封閉迴路循環系統之内，.該 吹風機係用來循環通過該封閉迴路循壞系統之空氣； 一烘乾機，置於該封閉迴路循環系統之内，與該破壞器以 及該產生器之間，該烘乾機可以用來去除該循環系統之濕 氣；以及 一加熱器，置於該封閉迴路循環系統之内與該第一產生器 上游，以用來加熱通過該循環系統之氣流。

   7. —種用於淨化一區域之淨化系統，該系統包括：一第一 產生器，用以產生過氧化氫蒸氣；一第二產生器，用以產 生臭氧；一封閉迴路系統，用以提供該過氧化氫蒸氣與該 臭氧給該區域；一破壞器，用以分解（breaking down) 該過氧化氫蒸氣；一感應器，用以檢測該系統内之臭氧之 濃度；以及，一控制器，其係根據該感應器所感應之資料 以決定該區域内之該臭氧之存在。 8. 如申請專利範圍第7項之用於淨化一區域之淨化系統， 其中該控制器係用來決定該區域内之該臭氧之濃度。 9. 如申請專利範圍第8項之用於淨化一區域之淨化系統， 其中該感應器係一臭氧感應器。

   第26頁 200529896 六、申請專利範圍 1 〇. —種具有過氧化氫蒸氣與臭氧結合於一區域内之殺菌 方法，包括以下步驟： 提供一具有一入口埠與一出口埠之可密封區域，以及一具 有一分別流動地連接該入口埠區域與該出口埠區域之一第 一端與一第二端之封閉迴路導管； 重複循環一流入、流經與流出該區域以及該封閉迴路導管 周圍之載流氣體之流動； 傳送過氧化氫蒸氣以加入該入口埠區域上游之該重複循環 載流氣體流； 傳送臭氧以加入該入口埠區域上游之該重複循環載流氣體 流；破壞該出口埠區域下游之第一位置之該過氧化氫蒸 氣；以及 根據從一臭氧感應器所取得之讀數，來決定該區域内之臭 氧之存在。 1 1 .如申請專利範圍第1 0項之具有過氧化氫蒸氣與臭氧結 合於一區域内之殺菌方法，其中該載流氣體係空氣。 1 2 .如申請專利範圍第1 0項之具有過氧化氫蒸氣與臭氧結 合於一區域内之殺菌方法，其中該傳送臭氧包含從該載流 氣體電性產生（electrical generation)之臭氧。 1 3. —種於一封閉迴路與一可密封室或區域中之氣相淨化

   第27>頁 200529896_ 六、申請專利範圍 以及 該方 之流通方法，該室或區域具有一入口埠與一出口 4 流動地連接該入口埠與該出口埠之一封閉迴路導管 法包括以下步驟： chamber)以及流經 重複循環一流入、流經與流出該室 該封閉迴路導管之載流氣體之流動； 提供過氧化氫蒸氣至該重複循環載流氣體流； 提供臭氧至該重複循環載流氣體流； 破壞該該出口埠上游之第一位置之過氧化氫蒸氣以形成水 與氧；以及 監控該載流氣體中之臭氧濃度。 1 4 .如申請專利範圍第1 3項之於一封閉迴路與一可密封室 或區域中之氣相淨化之流通方法，其中該載流氣體係空 氣。 1 5 .如申請專利範圍第1 3項之於一封閉迴路與一可密封室 或區域中之氣相淨化之流通方法，其中該破壞步驟包括催 化分解該過氧化氫蒸氣成為水與氧。 1 6. —種封閉迴路與氣相流通之淨化系統，包括： 一具有一入口谭與一出口埠之可密封室（chamber); 一具有一分別流動性地連接該入口埠與該出口埠之一第一 端與一第二端之封閉迴路導管系統； 一連接該導管系統之吹風機，其係用來重複循環一流入、

   第28頁 200529896 六、申請專利範圍 流經與流出該室（chamber)之載流氣體流； 一蒸館器（v a ρ 〇 r i z e r)，其係用來傳送過氧化氫蒸氣以 加入該入口埠上游之該載流氣體流； 一產生器，用以傳送臭氧以加入該入口埠上游之該載流氣 體流； 一破壞器，置於該出口埠之下游，用以改變該過氧化氫蒸 氣成為水與氧；以及 一感應器，用以檢測臭氧。