TW200535902A - Dielctric shielded discharging lamp and ultraviolet radiating device - Google Patents

Description

200535902 (1) 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於介電質勢壘放電燈及使用此 外線照射裝置。 【先前技術】 以往已知有被記載於多數文獻中之使氙等 或稀有氣體的鹵素化合物等，進行無聲放電亦 壘放電，而發生近似固有的單色之準分子放電 質勢壘放電燈。在介電質勢壘放電中，脈衝狀 。此脈衝狀的電流，由於帶有高速的電子流且 ’所以使氙等的會產生紫外線的物質，暫時地 狀態（準分子狀態），當其回到基底狀態時，效 再吸收少的短波長紫外線。再者，氙的情況 172nm爲中心波長的半峰寬度大的分子發光。波 的紫外線，其能量比由低壓水銀燈所得到的波長 2 5 4nm的紫外線大，同時比想要分解的有機化合 能量大。因此，藉由照射波長172nm的紫外線， 前述有機化合物的結合，將其分解而除去。進而 大氣氣氛中進行波長1 7 2 n m的紫外線照射，大氣 分解而生成活化氧，由於結合被切斷的有機化合 活化氧反應而生成二氧化碳（C02)和水（H20)等， 化合物的除去變容易。因此，介電質勢壘放電燈 外線光源，是很有效果的。 電燈之紫

稀有氣體 介電質勢 亦即介電 電流流動 止期間多 合成分子 佳地放出 ，進行以 長 172nm 1 8 5 nm 或 物的結合 能夠切斷 ，藉由在 中的氧氣 物，會與 所以有機 ，作爲紫 200535902 (2)

作爲介電質勢壘放電燈，已知有使用細長的管狀氣密 容器來進行介電質勢壘放電之介電質勢壘放電燈（參照專 利文獻1)。在專利文獻1中所記載的介電質勢壘放電燈， 係被構成：先形成具備細長氣密容器 '在氣密容器內的軸 方向延伸的內部電極、及被封入氣密容器內的準分子生成 氣體之發光管，再將具有冷卻功能且凹曲的鋁製燈體，作 爲外部電極，抵接在氣密容器的外面，使得可以沿著氣密 容器的管軸方向生成同樣的介電質勢壘放電，同時快速地 發散自發光管發生的熱量來維持高發光效率。又，外部電 極和氣密容器由於相互地密接，將以將兩者構成壓接。 使用前述的此種介電質勢S放電燈來進行紫外線照射 的情況，伴隨著被照射物的大面積化，更長的介電質勢壘 放電燈被開發出來，所使用的放電燈的有效長度有超過 1m者。若使用如此長度的介電質勢壘放電燈，例如大面 積液晶基板的去灰（ashing)、感光性樹脂的硬化及殺菌等 的多樣的工業應用變成可能。 【專利文獻1】 日本特開2003-197152號公報 【發明內容】 (發明所欲解決之課題） 然而，在介電質勢壘放電燈的燈管長度爲500mm以 下的情況般的短的情況，將前述鋁製的外部電極密接在氣 密容器上的構造也沒有問題，但是燈管的有效有效長度若 -6- 200535902 (3)

是例如超過l1)1的長度者’則已經知道有以下的問題。亦 即，伴隨著介電質勢壘放電燈的閃燦’在各部分發生膨月長 、收縮的影響。介電質勢壘放電燈的氣密容器’在點燈時 ，大約變成三十〜一百數十。C。另一方面，外部電極’因 爲藉由冷媒所進仃的冷卻’溫度上计被抑制。但疋’抬接 在氣密容器的外面之前述外部電極，由於使用金屬材料來 形成，所以熱膨脹率大，在介電質勢壘放電燈的點燈時’ 伴隨著氣密容器的溫度上升’其溫度上升而膨脹’而在熄 燈時，隨著燈體的溫度而被冷卻收縮。相對於此’氣密容 器，因爲是由石英玻璃等的熱膨脹率比較低的材料所形成 ，所以伴隨著閃爍的膨脹、收縮小。 以上的構成的結果，伴隨著介電質勢壘放電燈的閃爍 ，氣密容器和外部電極之間產生摩擦。燈管長度若超過 1 m，則兩者間的位置偏移會達到1 m m以上。而且，由此 此摩擦，外部電極被刮削，而容易發生粒徑0.1 mm程度的 粉粒。若發生如此的粉粒，由於其會附著於氣密容器的表 面上而形成黑色附著物，所以會對紫外線照度或其分佈等 造成不良影響、或是粉粒落在被照射物上而污損被照射物 本發明的目的在於提供一種介電質勢堡放電燈及使用 此放電燈之紫外線照射裝置，可以防止由於外部電極和氣 密容器之間的摩擦所產生的粉粒的發生。 又，本發明的具體目的在於提供一種介電質勢壘放電 燈及使用此放電燈之紫外線照射裝置，係被構成：在氣密 -7 - 200535902 (4) 容器和外部電極之間’具備用來形成規定範圍內的間隙之 間隙形成手段’來防止粉粒的發生，並形成良好的介電質 勢壘放電。 (解決課題所用的手段） 一 本發明的介電質勢壘放電燈，其特徵爲具備： 氣密容器，其係作成.由紫外線透過性材料所形成的細 癱長管狀； 準分子生成氣體，其係被封入氣密容器內； 內部電極，其係被配設成：在氣密容器內，使得介電 質勢壘放電，在其管軸方向的大約整個長度，可以生成，· 外部電極，其係在氣密容器的外面，沿著其管軸方向 而被配設，並藉由與內部電極之間的協力，進行作用，使 得可以在氣密容器內生成介電質勢壘放電；及

間隙形成手段，其沿著氣密容器的管軸方向，在氣密 容器及外部電極之間，形成滿足公式0< GS 1.0(單位mm) 的條件的間隙G。 在本發明中，藉由具有以上的構成，伴隨著燈管的閃 爍，即使氣密容器和外部電極之間產生膨脹、收縮，至少 在燈泡的有效長度的部分，在兩者之間不會發生摩擦，同 時能夠形成良好的介電質勢壘放電。因此，即使燈管的有 效長度超過1 m，也可以避免：外部電極被摩擦時，被刮 削而成爲微粒子的粉粒，附著在氣密容器的外面或是落下 ’而在紫外線照射裝置的透過窗，或是在沒有透過窗的情 -8- 200535902 (5) 況，在被照射物上’會發生黑色附著物等的問題。 【實施方式】 (實施發明的最佳形態） 以下，參照圖面來說明用來實施本發明的形態。 〔第1形態〕

第1圖〜第5圖係表示用來實施本發明的介電質勢壘 放電燈的第1形態；第1圖係介電質勢壘放電燈的部分剖 面前視圖、第2圖係發光管的部分切斷前視圖、第3圖係 表示發光管的支持部及供電部的部分之部分切斷剖面前視 圖、第4圖係表示間隔件及吸氣手段的部分之要部前視剖 面圖、第5圖係同樣的構件的側面剖面圖。在本實施形態 中，介電質勢壘放電燈EXL，係由氣密容器1、準分子形 成氣體、內部電極2、外部電極OE及間隙形成手段s所 組成；自高頻點燈電路HFI被激發而點燈。再者，氣密容 器1、準分生成氣體及內部電極2，構成預先被一體化的 發光管L T。又，在本形態中，具有加入前述構成中的吸 氣手段AA。 <關於發光管LT > 發光管LT，加入前述構成，在 其兩端具有一對的供電部3 A3B及一對支持部5、5。 (關於氣密容器1) 氣密容器1，係由紫外線透過性 -9- 200535902 (6) 材料所形成’在內部形成細長狀的放電空間1 a。例如，能 夠作成密封細長管的兩端而在其內部形成圓柱狀的放電空 間1 a的構造。又，也能夠如後述的第2形態般，作成藉 由密封同軸且雙層的細長管的兩端，而在其內部形成剖面 爲環狀且在管軸方向作成圓筒狀的細長的放電空間1 a —之 構。作爲紫外線透過性的材料，一般是使用合成石英玻 璃來製作。但是’在本發明中，只要是對於想要利用的波 長的紫外線，具有透過性，便能夠以該材料來形成氣密容

又，氣ΐέί谷器1，其直徑並沒有特別地被限定，在要 增加紫外線輸出時，使其外徑爲】2 m m以上是適當的。又 ’能夠使壁厚爲2m以下，理想爲作成〇·3〜程度。 相對於此，氣密容器1的長度，在要進行介電質勢墨放電 的情況，完全沒有被限制。·因此，在本發明中，氣密容器 ’ Hb夠按照所需要的紫外線照射長度亦即燈管的有效長度 ，設定任意所希望的長度。除此以外，本發明對於燈管的 有效長度爲1 m以上者，特別有效，例如也可以作成2 nl 程度的長條體。 進而’爲了要確保所需要的紫外線量，而容許將多數 個介電質勢壘放電燈EXL，以較狹窄的間隔並排地配置來 使用的情況，氣密容器1，理想爲筆直的直管，但是即使 稍微地彎曲也不會妨礙。實際上，在形成細長管時，容易 產生稍微的彎曲，例如相對於全長大約]2 00mm，將會形 成最大】m m程度以下的彎曲。但是，此種程度的彎曲， -10- 200535902 (7)

大約當作是直管而被容許。再者，如後所述，配置由間隔 件s1所組成的間隙形成手段s的情況，當氣密容器1如 前述般地彎曲時，根據彎曲的背的部分配置成抵接在間隔 件S 1上，變成容易將氣密容器1和後述的外部電極OE之 間的間隙G限制在規定範圍內。再者，管的剖面形狀，只 要是圓管，由於製造成本相對地變低，因而是理想的，但 是若有必要，也能夠採用橢圓形、四方形等的所希望的剖 面形狀。 進而，在密封氣密容器1之前的階段，作爲將氣密容 器1的內部的放電空間1 a排氣之後，用來將準分子生成 氣體封入的手段，能夠使排氣管（未圖示）連接氣密容器1 。此情況，在氣密容器1的其中一方的端部附近，且自後 述的外部電極〇 E往外部露出的部位的側面，能夠連、接排 氣管。再者，若經過排氣管排氣之後，藉由先由排氣管將 準分子生成氣體封入氣密容器1內，再將排氣管焊開（tip-off) ， 排氣 焊開部 被形成 ，氣 密容器 1 被氣密 地密封 。若 經過形成在氣密容器1的一端側的排氣管進行排氣，特別 是氣密容器1爲1 m以上的長的情況，爲了:要充分地排氣 ，排氣時間會有變長的傾向。因此，若有必要，也可以構 成在氣密容器1的兩端附近，形成一對的排氣管，同時地 進行排氣。所以’在此情況，一對的排氣焊開部被形成。 作爲本形態的一實施例，作成外徑1 8 m m、內徑1 6 m m 、長度]3 0 0 m m，且在兩端部的密封部]b具備埋設有鉬箔 的收縮密封部之氣密容器1。 -11 - 200535902 (8)

(關於準分子生成氣體）作爲準分子生成氣體，例如 能夠使用氙（Xe)、氪（K〇、氬（Ar)及氦（He)等的稀有氣體 的一種或數種的混合物、或者是稀有氣體的鹵化物例如鹵 化氙（X e C 1、K r C 1)等。再者，封入稀有氣體鹵化物的情況 ，也可以封入稀有氣體和氟（F)、氯（C1)、溴（Br)或碘（I)等 的鹵素，作成使其可以在氣密容器1的內部生成鹵化物。 又，除了準分子生成氣體以外，根據情況，混入不會生成 準分子的氣體例如氖等，也被容許。 進而，準分子生成氣體，能夠封入20kPa以上的壓力 。伴隨著壓力的增大，燈泡效率提高，紫外線輸出增大。 但是，燈泡效率相對於壓力的增加，顯示飽和傾向。 作爲本形態的一實施例，以[ Pa丨的壓力，封入由氙 所組成的準分子生成氣體。 (關於內部電極2) 內部電極2，係被配設成面對外 部電極Ο E，而夾著氣密容器1的壁面。但是，內部電極2 ，也可以是被封裝在氣密容器內而露出在放電空間1 a中 的態樣、以及例如在氣密容器1的內側且被配設在放電空 間1 a的外部之態樣的任何一種。後者的情祝，氣密容器1 例如爲雙層管構造；內部電極2，係被配設成沿著被形成 於氣密容器1的中心軸側的筒狀的壁面的外面。因此，在 本發明中，所謂的內部電極2，係意味著：在自外部來看 氣密容器1的情況’相對地被配設在氣密容器〗的內側的 電極。再者，在第1圖、第3圖、第4圖及第5圖中，省 -12 - 200535902 Ο) 略內部電極2的圖示。

根據以上的說明可以得知，在本發明中，內部電極2 ，若是被配設在氣密容器1的內部，使得在其管軸方向的 大約全長亦即燈管的有效長度全體，可以生成介電質勢壘 放電之電極，理想爲在管長方向長的電極，則其餘可以爲 任何的構成。例如，根據任意的期望而選擇棒狀、板狀、 網狀等的已知的各種構成來使用，是被容許的。又，構成 內部電極2的材料，並沒有特別地限定，例如能夠使用鎢 、鉬及鎳等的耐火性的金屬。鎢或鎳，由於其功函數相對 小，電子放出容易，對於降低啓動電壓是有效果的。 接著’說明關於第2圖所示的內部電極2的適當的構 成例。亦即，此內部電極2，係被封裝在氣密容器1內， 其多數個獨立的網狀部分2b係被分散配置於氣密容器1 的軸方向’且作成在周圍分別隔著空隙而被配設的構成之 網狀。又’多數的網狀部分2b，係分別經過連結部分2a 而接續在一起而成爲一體化的構造，並以被插入的狀態， 被配設於氣密容器1的內部。藉由使用氣密容器1如此的 內部電極2 ’能夠相對地增加紫外線發生量。再者，網狀 部分2 b，對於圓周方向，也可以連續或者也可以分開。 所以，在本發明中，內部電極2作成網狀的情況，該 網狀部分2b，具體而言，例如作成分別獨立的環狀、分別 相互地連續的螺旋狀或線圈狀、或者是網眼狀等，是被容 許的° 若進一步地詳述第2圖所示的適當的構成例，多數的 -13-

200535902 (10) 網狀部分2b，係藉由多數個連結部分2a而被連結，導電 地接續，使得能以規定的節距而被配置，而且，其連結部 分2 a係被構成可以沿著氣密容器1的中心軸延伸。因此 ，內部電極2的全體，由於呈現出具備多數的環狀錨（ring anchor)(相當於網狀部分）之如複印用鹵素電燈泡的燈絲般 的形態，所以在製造內部電極2時，能夠挪用複印用鹵素 電燈泡的製造設備，內部電極2的製造變容易。但是，若 有需要，也可以採用錯開氣密容器1的中心軸而將連結部 分2a直接連接網狀部分2b的環的部分之構成。又，連結 部分2 a，也可以是單線的直線狀、或是作成其外徑相對於 •氣密容器1的內徑爲20%以下的線圈狀。進而，將連結部 分2 a，以適當的張力値，最好是往中心軸方向作用2 k g以 上的張力的狀態下，進行封裝，是理想的。在要作用張力 時，若將內部電極2形成線圈狀，是適合的。但是，即使 不是線圈狀，也能夠對連結部分2 a作用往中心軸方向的 張力。連結部分2a，不論爲何種形狀，藉由以該兩端側封 著於形成在氣密容器1的兩端部之扁平的密封部1 b上， 變成容易對連結部分2a作用張力。但是，若有需要，也 可以僅將連結部分2a的其中一端封著於氣密容器1的其 中一側，而其另一端，在氣密容器1的另一端側，藉由適 當的手段例如樁線（anchor wire)，固定於密封部lb上，也 能夠對連結部分2a作用張力。 相對於此，在網狀部分2b作成螺旋狀或網眼狀的情 況，該螺旋或網眼的部分係發揮作爲連結部分2 a的功能 -14 -

200535902 (11) ，多數的網狀部分2b相互機械地及導 藉由使由單一或複數個棒狀體所組成的 在螺旋狀或網眼狀的網狀部分2 b上， 賦予更良好保形性。或是取代棒狀體的 部分2 a若先裝著於線圈架，利用此線 或網眼狀的網狀部分2b，保形性變良好 可以是絕緣性或導電性的任一種。對於 用前述其中任一個的構成，能夠對內部 形狀的安定性，而能夠使其處理變容易 ，其面對其網狀部分2 b的軸方向之節ί 分子生成氣體的壓力p (Pa)之相乘積， 定範圍內。進而，即使是如後述般地提 的封入壓力來提升燈泡效率的情況，理 和恶/ 谷益1的內壁面之間的距離爲· 距離爲3 mm以下，則在某種條件下， 壓抑制在1 000V以下。 接著，說明關於內部電極2被配設 成的氣密容器1的內部中的情況之支持 當要將內部電極2封著於氣密容器1內 ，能夠採用使用封著金屬箔1 b 1的封著 部電極2的連結部分2a的兩端延長所 部2 c，藉由焊接等，接續在封著金屬箔 電極2插入氣密容器ί內之後，加熱端 其在軟化的狀態下，自封著金屬箔1 b 1 電地連結。但是， 連結部分2 a，焊接 能夠對內部電極2 連結部分2 a，連結 圈架來形成螺旋狀 。再者，線圈架， 網狀部分2b，若採 電極2的全體賦予 。又，內部電極 2 拒P(m)與後述的準 係被構成可以在規 高準分子生成氣體 想爲使網狀部分2 b 5 m m以下。若前述 能夠將放電維持電 在由石英玻璃所形 構造及供電構造。 時，如第2圖所示 構造。亦即，使內 形成的直線狀的端 1 b 1上，再將內部 部的石英玻璃，使 的上面，進行收縮 > 15- 200535902 (12) 密封。若如此作，在氣密容器1的端部，密封部1 b被形 成’而內部電極2則被支持於規定的位置。

作爲本形態的·一實施例，係對內部電極2作用大約 2kg的張力而架設於氣密容器1的放電空間ia內，該內部 電極2係先藉由將線徑0.26mm的鎢絲捲繞成外徑 的線圈’形成連結部分2a，再藉由將網狀部分2b以 1 5mm的間隔的一定的節距安裝在連結部分2a上之環狀錨 所形成。 (供電部3 A、3 B) 供電部3 A、3 B，係構成用來對內 部電極2供給介電質勢壘放電所需要的燈泡電流之供電端 。再者，根據所希望，能夠配設任意數量的供電部，使得 能夠自內部電極2的其中一方的端部或兩方的端部或/及 中間部，同時並行地供電。亦即，在僅自內部電極的一端 部供電的情況，只要至少在該一端部配設供電部便可以。 而在自兩端供電的情況，只要將一對的供電部3 A、3 B分 散配設在氣密容器1的兩端部便可以。除此以外，如也自 氣密容器1的中間部供電時，也能夠在氣密容器1的中間 部配設所希望數量的供電部。 又，供電部3 A、3 B，也可以藉由延長內部電極2，與 內部電極2形成一體’也可以藉由焊接、斂縫等的手段， 將作爲另外的個體而準備的構件，接續在內部電極2上。 進而，供電部3 A、3 B，作成線狀、棒狀、按鈕狀及栓狀 等的多樣的形狀’是被容許的。再者，也可以僅供電給供 -16- 200535902 (13) 電部3 A、3 B的其中任何一方，而將另一方預先作成未接 地的狀態。

作爲本形態的一實施例，供電部3 A、3 B係分別作成 棒狀，其內端被焊接在已經被埋設於氣密容器1的兩端的 密封部1 b內的封著金屬箔1 b 1上，其外端則自被形成於 氣密容器1的兩端之密封部1 b，沿著管軸上往外部突出。 又，供電部3 A、3 B的外端，係在後述的支持部5的內部 ，分別被歛縫接續在供電線4上。再者，供電線4，與後 述的高頻點燈電路HFI的輸出端接續。 (支持部）支持部5，如第3圖所示，具備：有底圓 筒狀的蓋體5a、緊固環5b及安裝臂5c。蓋體5a，包圍發 光管LT的端部。而且.，在底部具有供電線4的插通孔 5al。緊固環5b，被配設於蓋體5a的開口端，並藉由將氣 密容器1的端部自其外側加以緊固來支持發光管LT。安 裝臂5 c，自蓋體5 a的側面，在圖中往上方突出，而蓋體 5 a的頂面係在抵接於第1圖所示的定位臂8的狀態下，將 發光管LT安裝在未圖示的固定部分。再者，定位臂8係 規定自外部電極OE的管軸方向兩端往氣密容器1的端部 方向延伸的發光管，因而規定氣密容器1的安裝位置。因 此，定位臂8，與支持部5共同構成發光管支持機構S2， 並在氣密容器1的外表面和外部電極OE之間，形成規定 範圍的間隙G。再者，關於詳細構成如後所述。 -17- 200535902 (14)

<關於外部電極〇E > 外部電極OE，至少在介電質 勢壘放電燈EXL的有效長度的部分，係被配設成：與氣 密容器1的外面，沿著其管軸方向，可以保持後述規定的 間隙G而延伸。而且，外部電極OE，係經過氣密容器1 的至少一個壁面，而面對內部電極2，並藉由外部電極〇E 和內部電極2之間的協力，進行作用，使得可以在氣密容 器1的放電空間1 a內，生成將氣密容器1的壁面作爲介 電質之介電質勢壘放電。 又，在本發明中，外部電極〇E，只要是具備剛性的 構成及可撓性的構成的任一種都可以。剛性的情況，作成 由導電性金屬所形成的熱容量大的塊狀之如圖示般的外部 電極OE，是容許的。因此，以往稱爲燈體的構件，將其 根據希望而照原樣地作爲外部電極來使用，是可能的。此 情況，不需要採用將以往所使用的由鋁製的薄板所形成的 外部電極OE，挾持在燈體和氣密容器1之間的構造。但 是，只要在外部電極OE和氣密容器1之間會形成規定的 間隙G，根據希望而使薄板的外部電極OE介於燈體和發 光管LT之間，也是被容許的。又，爲了冷卻氣密容器1 的發生介電質勢壘放電的區域’能夠將冷卻手段9附加地 配設在外部電極〇E上。此情況，冷卻手段9 ’雖然可以 是任何的構成，理想爲將其內部有水等的冷媒流通之冷卻 水路附設在外部電極〇E上的構成。在第5圖所示的形態 中，冷卻手段9係由管狀的冷卻水路所組成，並構成被焊 接在外部電極0 E的兩側面。 -18- 200535902 (15) 進而’外部電極〇E，也可以作成連續的面狀或網狀 的任一種形態。再者，所謂的網狀，係指作成網眼狀、衝 孔狀或格子狀等。

進而’外部電極Ο E，理想爲具備可以包圍氣密容器1 的外周的相當部分之凹曲的曲面。外部電極〇E的曲面， 其包圍的角度範圍，能夠選擇包圍氣密容器1的外周的6 〇 〜3 0 0程度’理想爲9 0〜2 4 0。，最理想爲1 2 〇〜1 8 0。的 範圍。因此’沒有被配設外部電極〇 E之氣密容器1露在 外部的部分，係被形成在由3 60。扣除包圍角度的角度範 圍內’於是透過氣密容器1的壁面之紫外線，自前述露出 部分而且是沿著發光管LT的管軸方向的整個比較長的距 離，往外部照射而能夠‘利用於各種目的中。如此，若外部 電極Ο E包圍氣密容器1的一部分的角度範圍，僅面對外 部電極OE的區域，發生介電質勢壘放電，氣密容器】的 其餘的區域，則發揮作爲紫外線的透過窗的作用。若外部 電極Ο E包圍氣密容器1的角度範圍在9 0〜2 4 0。程度的 範圍內，則藉由介電質勢壘放電，能夠放射出較多量的紫 外線，並以較理想的角度，使放射出來的紫外線進行照射 。又，外部電極Ο E的包圍範圍，若在1 2 0〜1 8 0 °的範圍 內，則除了前述效果以外’外部電極OE和氣密容器1之 間的裝配及分解和外部電極的製作，變容易。再者，外部· 電極OE的前述曲面，可以是紫外線反射性，也可以是非 反射性。 進而，外部電極〇 E，相對於氣密容器1，可以是裝脫 -19- 200535902 (16) 可能的狀態及裝脫不能的狀態的任一種。而且，外部電極 Ο E，具有大約等於內部電極2的管軸方向的長度。如此一 來’能夠沿著氣密容器1的管軸方向，發生介電質勢壘放 電。

進而，在外部電極Ο E的管軸方向的中間部例如中央 部，能夠彫成收容後述的間隔件S 1之嵌合溝6及吸氣孔 7。嵌合溝6，如第4圖及第5圖所示，係被形成垂直於管 軸’並開口於外部電極OE的底面。吸氣孔7，係被形成 跨過嵌合溝6，並貫通外部電極〇E的上下方向。 作爲本形態的一實施例，外部電極OE，係使用其底 面係被形成凹形的圓弧狀曲面而作成槽狀的鋁塊，而被作 成。 ； <關於間隙形成手段S > 間隙形成手段s，係在氣 密容器】的燈管的至少成爲有效長度的管軸方向的橫跨區 域全體’於氣密容器1的外面和外部電極OE .之間，形成 滿足公式〇 < G S 1 .0(單位mm)的條件的間隙g之手段；而 在本發明中，其具體的構造，並沒有特別地被限定。再者 ，本形態，藉由間隔件S 1和發光管支持機構S2，構成間 隙形成手段S。 將間隙G限定成可以滿足公式〇 < g $ 1 .〇(單位mm)的 條件之理由，如以下所述。亦即，間隙G若爲〇，則在氣 密容器1的外面和外部電極〇E之間產生摩擦，由於會發 生不希望的粉粒，因而不可以。相反的，若間隙G超過 -20- 200535902 (17)

1 · 0 m m，由於被形成於外部電極 Ο E和放電空間之間的靜 電容量變成太小，在施加合理的電壓時，由於變成難以發 生安定的介電質勢壘放電，因而不可以。又，即使施加相 當局的電壓來產生介電質勢壘放電，紫外線發生量也會過 度地降低。因此，將會招致點燈電路或紫外線照射裝置等 的成本提高。相對於此，間隙G若是在滿足前述公式的範 圍內，除了能夠防止起因於氣密容器1的外面和外部電極 OE之間的摩擦所發生的粉粒，並能夠確保所希望的紫外 線發生量。 又，間隙 G，理想爲在滿足0.05 S G S 0.5(單位mm) 的條件的範圍內。亦即，間隙G若是在0.05mm以上，則 容易在氣密容器1的管軸方向連續地形成一定的間隙。相 對於此，若間隙未滿〇.〇5mm，由於要避免製作困難的氣 密容器1的稍微的彎曲，沿著管軸方向，一定的間隙G的 形成會有稍稍變困難的傾向。又，由於間隙G若在0.5mm 以下，紫外線發生量會充分地變多。 進而，間隙G理想爲藉由空間來形成。但是，根據希 望，在氣密容器1的照射方向的表面中的沿著管軸方向， 不會對紫外線照度分佈造成不良影響，且不會發生粉粒的 範圍內，藉由存在絕緣體而被形成一事，是被容許的。 再者，爲了要固定外部電極OE和氣密容器1的相互 之間，在位於自燈管的有效長度部分離開的端部側的部分 ，能夠將外部電極OE和氣密容器1之間的兩端部，相互 地固定。爲了此固定，外部電極OE的端部的一部分，接 - 21 - 200535902 (18) 觸氣密容器1的外面一事，根據以下的理由，是被容許的 。亦即，由於前述的接觸，即使對於在介電質勢壘放電燈 的照射側的表面中的沿著管軸方向的紫外線照度分佈，會 產生影響，由於是燈管的有效長度以外的部分，所以沒有 問題。

間隔件s 1，係在介電質勢壘放電燈EX L的有效長度 的中間部，例如在中央部，爲了將氣密容器1和外部電極 OE之間的間隙G，沿著氣密容器1的管軸方向，保持在 前述規定範圍內，根據希望而被附設。而且，能夠利用導 電性物質及絕緣性物質的任一種來形成。作爲導電性物質 ，由於不銹鋼（SUS)耐磨耗，所以是適合的。又，作爲絕 緣性物質，由於石英玻璃、陶瓷等，同樣是耐磨耗，所以 是適合的。爲了要將外部電極〇 E和氣密容器1之間的間 隙G的大小，限制在所希望的範圍內，間隔件s 1，例如 係被嵌合在外部電極〇 E的氣密容器1側的曲面部而被安 裝。但是’在間隔件S 1是由S U S等的導電性物質所形成 的情況，間隔件S 1的管軸方向的的寬度尺寸亦即壁度應 該形成在3 mm以下。如此一來，間隔件s丨即使被配設成 導電地接綸外部電極〇 E的狀態，藉由在間隔件s‘丨周圍發 生的強介電質勢壘放電，管軸方向的照度分佈，不會變化 至不希望的程度。再者，此事已經藉由實驗確認。 又’間隔件S 1，由於要將氣密容器1的位置，相對 於外部電極〇E，依規定固定，因此理想爲具備嵌合在氣 密容器1的外周而將其保持的凹形部r。爲了實現此凹形 -22- 200535902 (19)

部，間隔件s 1，能夠藉由切削板材的一部分來形成嵌合 氣密容器1之凹形部、或是藉由彎曲帶狀的金屬構件來形 成嵌合氣密容器1之凹形部，來構成。使用前者的構成的 間膈件S 1的情況，能夠在外部電極OE的凹曲的曲面部分 ，形成垂直於管軸方向之嵌合溝6，而將間隔件S 1安裝 成嵌合在該嵌合溝6中。又，間隔件S1爲後者的構成的 情況，藉由將彎曲後的間隔件S 1貼著在外部電極OE的凹 曲後的曲面上，能夠安裝間隔件S 1。間隔件S I的面對氣 密容器1的部分，被構成接觸氣密容器1的外面或是形成 稍微的間隙而間隔開來一事，是容許的。 進而，間隔件S 1，其配設數量並沒有特別地限定， 但是在能夠將氣密容器；1限制在所要的範圍內，應該儘可 能地減少數量。例如，作爲標準，只要作成使得氣密容器 1包含藉由間隔件S 1所產生的保持，以5 00〜8 00mm程度 的間隔，固定或者保持在外部電極OE上的構成，便能夠 確實地將外部電極OE和氣密容器1之間的間隙，維持在 規定範圍內。 發光管支持機構S2，係藉由前述一對支持部5及定 位臂8而構成。定位臂8，其一對係自外部電極OE的管 軸方向的兩端突出而延伸，在其前端部，使一對支持部5 、5抵接。結果，氣密容器1的兩端部，係經過支持部5 、5及定位臂8，在外部電極〇 E的兩端部，一邊形成前述 間隙G —邊被支持。 作爲本形態的一實施例，氣密容器1的外面和外部電 -23- 200535902 (20) 極〇E之間的間隙G，係藉由間隙形成手段S，設定成 0 · 3 5 ± 0.1 5 m m。

<關於吸氣手段A A > 吸氣手段a a，係由吸氣孔7 及未圖示的排氣管所組成。吸氣孔7，由於被形成橫跨外 部電極OE的嵌合溝6，所以其下端的開口端，開口被分 成在間隙形成手段S的間隔件S1的兩側。因此，間隔件 S1兩側的空氣，在吸氣孔7，良好地被吸氣。如此，通過 吸氣孔7內而往外部電極〇E的外部被排出的空氣，進而 藉由排氣管而往紫外線照射裝置的外部被排出。因此，即 使間隔件S1和氣密容器！摩擦，間隔件S1被磨削而發生 微粒和微量的粉粒，藉，由吸氣手段A A，粉粒會與周圍的 空氣一起快速地往外部被排出。 <高頻點燈電路HFI > 高頻點燈電路HFI，係將高 頻電壓施加在介電質勢壘放電燈EXL的內部電極2和外 部電極OE之間，激發介電質勢壘放電燈EXL而點燈。又 ，高頻點燈電路HFI，係被構成以並聯反相器爲主體；其 高頻輸出，分別爲：其高電位側係經過供電線4、4，並經 由介電質勢壘放電燈EXL中的發光管LT的一對供電部 3 A、3 B，施加在內部電極2 ;又，低電位（接地）側，施加 在外部電極OE。 <介電質勢壘放電燈 EXL的點燈動作 > 介電質勢 -24- 200535902 (21)

壘放電燈EXL，如上述般，由於接續在高頻點燈電路HFI 的高頻輸出端，所以高頻點燈電路HFI若被投入未圖示的 輸入電源，其所產生的高頻輸出，會被施加在內部電極2 、及隔著氣密容器1的壁面而面對此內部電極2之外部電 極OE之間。結果，介電質勢壘放電在氣密容器1的內部 發生。藉由此介電質勢壘放電，利用氙的準分子，放射出 以1 72nm爲中心波長的真空紫外光。真空紫外光，由於透 過氣密容器1的壁面而往外部被導出，所以能夠分別按照 目的，利用此紫外光。 以下，說明關於用來實施本發明的介電質勢壘放電燈 的第2〜第4形態。在各形態中，關於與第1圖〜第6圖 相同部份，標上相同符而省略說明。 〔第2形態〕 第6圖係表示用來實施本發明的介電質勢壘放電燈的 第2形態的側面剖面圖。本形態，其介電質勢壘放電燈 EXL的發光管LT相異。 亦即，發光管L T，其氣密容器1 /爲雙層管構造，被 形成在內部的放電空間1 a >作成圓筒狀。因此，氣密容器 1 其剖面作成環狀，全體則是作成如食品的竹輪（魚肉 捲）般的形狀。 又，內部電極2，，作成圓筒狀，並被配置成：在氣 密容器】/的內方，且抵接在氣密容器1 —的外面。而且 ’係使用由導電性材料所形成的板材或網狀材料來形成。 -25- 200535902 (22) 外部電極〇E，係成爲與第1形態中的外部電極OE有 同樣的構成、及配置成面對氣密容器1 / 。 〔第3形態〕

第7圖〜第10圖係表示用來實施本發明的介電質勢 壘放電燈的第3形態；第7.圖係全體的前視圖；第8圖係 兩端部的部分前視圖；第9圖係在管軸方向的中間部，垂 直於管軸的方向的剖面圖；第1 0圖係由第8圖的箭頭方 向來看燈管支持機構的部分側視圖。本形態，與第1形態 主要的相異點，在於：藉由懸掛外部電極Ο E，構成可以 支持介電質勢壘放電燈EXL全體。 亦貝卩，藉由彎曲成倒L字狀的導電性的懸掛臂 Π、 1 1，支持外部電極OE的兩端部，同時外部電極OE導通 懸掛臂1 1、1 1。 外部電極Ο E，在其鋁塊的內部，由冷卻水路所組成 的冷卻手段9，藉由擠製成形等而被直接形成。再者，外 部電極OE，經過懸掛臂1 1、1 1，與接地電位接續。 懸掛臂1 1，在圖中的下端部，支持外部電極OE及發 光管LT，因而支持氣密容器1，而在圖中的上端部，被固 定於紫外線照射裝置等的接地電位部分。又，懸掛臂Π， 特別是如第8圖所示，其與內部電極2接續的電源端子】2 ，被絕緣地裝著。 電源端子1 2，經過省略圖示的絕緣接續導體，被接續 至未圖示的高頻點燈電路的高電位側的輸出端。再者，高 -26- 200535902 (23) 頻點燈電路的低電位側的輸出端，被接續至接地電位。又 ’電源纟而十1 2 ’經由導電性支持板1 3及供電線4 ’與內 部電極2接續。 定位臂8，藉由螺絲8a，被固定於外部電極0E的端 ' 面。而且，如第8圖及第1 〇圖所示，並具有抵接支持部5 - 之抵接部8 b。 在第8圖中，右側的支持部5，除了蓋體5a、緊固環 d 5b、安裝臂5c以外，尙具備絕緣體5d、中繼板5e及板彈 簧5f。絕緣體5d，被固定於安裝臂5c。中繼板5e，被固 定於絕緣體5 d，使得與安裝臂5 c成爲絕緣關係。板彈簧 5 f，係以機械的支持關係，存在於中繼板5 e和導電性支 持板1 3之間。 v 第8圖的左側的支持部5，其安裝臂5c係直接固定於 板彈簧5 f。再者，與第2圖所適的內部電極2接續之左側 的供電部3 A，沒有與高頻電源電路接續，而成爲未接地 • 的狀態。 如此一來，發光管LT，隨著氣密容器1，藉由以上說 參， ' 明的支持部5，被安裝在懸掛臂1 1。在此狀態中’發光管. LT，隨著氣密容器1，被支持成：藉由板彈簧5 f的彈簧 作用往外部電極〇 E側彈力地推壓’而抵接在定位臂8上 。結果，氣密容器]的外面和外部電極OE之間的間隙G ，滿足前述規定的條件。再者’在第7圖及第8圖中，省 略內部電極2的圖示。 第1 1圖及第]2圖，係表示在用來實施本發明的介電 -27- 200535902 (24) 質勢壘放電燈的第3形態中，改變間隙Q時的管面照度； 第1 1圖係記載測量資料的表、第1 2圖係圖表。亦即，基 於將間隙G由0至0.6mm爲止，每隔〇.lmm變化時的管 面照度，在發光管L T的中央部正下方，進行測量所得到 的資料’來加以作成。再者’在第1 2圖中_，橫軸係表示 • 間隙G(mm)，縱軸則表示以沒有存在間隙g的狀態亦即間 隙〇mm時的管面照度爲1 00%之相對管面照度（％)。又， | 介電質勢壘放電燈EXL的點燈條件，係固定爲燈管電壓 173.2Λ/、燈管電流2.65A、燈管電力45 9W。 由第〗1圖及第12圖可知，隨著間隙G變大，管面照 度低’右間隙~ G爲0 · 5 m m以下’相對於間隙〇 m in時的 管面照度，有80%以上:、。 〔第4形態〕

第13圖及第14圖，係表示用來實施本發明的介電質 勢壘放電燈的第4形態；第1 3圖係要部側面剖面圖、第 1 4圖係氣密容器的管軸方向的要部部分剖面圖。本形態的 相異之點，在於在第3形態中，附設間隔件S 1及吸氣手 段AA 〇 亦即，間隔件S 1，其下端部係藉由固定用具1 5、1 5 而被固定，使得不會落下。 吸氣手段AA，除了吸氣孔7以外，具備排氣集合箱 1 6、排氣管1 7。排氣集合箱1 6，係使自被配設在外部電 極OE的圖中的頂面之吸氣孔7而被吸引的氣氛例如空氣 - 28 - 200535902 (25) ’集口起來’ Μ自被形成在其頂部的排氣口丨“排出。排 熟吕17，其基V而藉由管接頭l7a而與排氣口丨心接續，其 前端則到達離開介電質勢壘放電燈eXL之未圖示的排氣 位置。 弟1 5圖至弟1 8圖，係表示作爲用來實施本發明的紫 外線照射裝置的一形態的紫外線洗淨裝置；第r5圖係正 面ρϋ面圖、第1 6圖係仰視圖、第i 7圖係沿著第〗6圖的 χνιι-χνιι ϋ的剖面圖、第18圖係高頻點燈電路的電路 圖。在各圖中，關於與第〗圖至第5圖相同的部分，標上 同一符號而省略說明。紫外線照射裝置UVW，具備.：紫 外線照射裝置本體2 1、高頻點燈電路22及複數個介電質 勢壘放電燈EXL。 、

在本發明中’紫外線照射裝置UVW，係意味著利用 由介電質勢壘放電燈EXL所產生的紫外線之所有的裝置 。例如’半導體步進機、光洗淨裝置、光硬化裝置及光乾 燥裝置等。又，紫外線照射裝置本體2 1，係由：自紫外線 照射裝置UVW，將介電質勢壘放電燈εXL .及高頻點燈電 路2 2除外以外的剩餘的部分所構成。 介電質勢壘放電燈EXL，按照需要，能夠使用1根至 複數根（在第1 7圖所示的形態中，鄰接配置複數根）。 高頻點燈電路22，將所產生的高頻電壓，施加在介電 質勢壘放電燈EXL上，使其點燈。因此，高頻點燈電路 22，包含高頻產生電路，產生高頻電壓，而對介電質勢壘 放電燈，供給點燈所需要的高頻電力。再者，高頻，係產 -29- 200535902 (26) 生10kHz以上，適當爲1〇〇kHz〜2MHz的頻率。進而，高 頻點燈電路22，在介電質勢壘放電燈exl的安定點燈時 ’施加3 0 0 0 V程度以下，理想爲施加〗〇 〇 〇〜2 5 〇 〇 v的高 頻電壓。進而， 介電質勢壘放電燈EXL的啓動電壓，爲2〜6.0kVp-p •，藉由使高頻點燈電路22的二次開路電壓，.提高至啓動

電壓爲止’能夠使啓動容易。此情況，作爲高頻發生手段 ’若構成以並聯反相器爲主體，則容易得到高升壓比，同 時例如即使由於外部電極OE的壓接狀態變化，介電質勢 壘放電燈EXL的外部電極〇E和內部電極2之間的靜電容 量發生變化，由於不會影響高頻輸出，所以高頻點燈電路 2 2的設計變容易，故是適合的。而且，高頻輸出波形若是 正弦波，使介電質勢壘放電燈EXL點燈時，雜訊發生變 /J/' 〇 但是’若有需要，也能夠倂用高頻點燈電路2 2和另 外的啓動用脈波發生手段。進而，介電質勢壘放電燈E X L 和局頻點燈電路2 2，理想爲配置在近接位置，但是若有需 要，也能夠配置在互相離開的位置。介電質勢壘放電燈 E X L，與一般的放電燈相異’不需要串聯地接續限流手段 。但是，爲了將燈管電流調整至規定値，能夠按照需要將 適當値的阻抗串聯地接續來點燈。又，當將介電質勢壘放 電燈EXL接續至高頻點燈電路22時，若使外部電極〇E 接地，則雜訊發生變少。 高頻點燈電路22，只要是輸出脈波電壓，其他的構成 -30· 200535902 (27) 可以不問，例如藉由使周矩形波的反相器，能夠得到矩形 波的脈波。但是，也可以是使用正弦波輸出的反相器而得 到正弦波的脈波之構成。

如此一來，在本發明中，由於能夠避免自介電質勢壘 放電燈EXL來的由於外部電極OE和氣密容器1之間的摩 擦所造成的黑色附著物的發生，所以在被照射物和介電質 勢壘放電燈EXL之間，不用配設由合成石英玻璃所形成 的投光窗。因此，不會有由於投光窗所造成的紫外線的損 失，且由於能夠縮短對於被照射物的照射距離，所以能夠 提高紫外線照度，並能降低成本。 另外，紫外線照射裝置本體2 1，全體作成箱狀，其內 部在上下方向被區分成紫外線照射室、2 1 a和電源室21 b。 紫外線照射室2 1 a和電源室2 1 b，係藉由絞鏈21 c，而被 構成可以開閉。 在紫外線照射室2 1 a，並列地配置如後所述的複數個 介電質勢壘放電燈EXL。複數個介電質勢壘放電燈EXL， 其外部電極係作成單一塊而被形成。因此，外部電極OE 的凹曲的曲面，以鄰接狀態，並列配置複數個。又，紫外 線照射室2 1 a，固定地被配設在洗淨裝置中的被照射物的 搬送手段的上部，且其底面開放，而被構成：使得可以對 通過底面正下方的被照射物（未圖示），以極接近的距離， 照射真空紫外光。再者，在第1 6圖中，劃斜線的部位’ 表示紫外線有效照射區域。又，在複數個介電質勢壘放電 燈EXL的外部電極的頂面，雖然省略圖示，配設有連通 -31 - 200535902 (28) 各個介電質勢壘放電燈EXL的吸氣孔之排氣集合箱，，經 過此排氣集合箱，與排氣管接續。而且，經由排氣管，自 吸氣孔被吸引的氣密容器1的間隔件S 1周邊的空氣，係 被構成可以排氣至外部。

電源室2 1 b，在其內部，收容高頻點燈電路2 2及省略 圖示的控制電路，並以絞鏈21c爲轉動中心，在第15 _ 中，變成可以往上方轉動。再者，符號2 1 b 1，係在電源室 2 1 b轉動時，，用來把持的手柄；符號2 i b2，係搬運紫外線 照射裝置本體2 1或電源室2 1 b時的手柄；符號2 1 b 3係電 源配線的護罩。 高頻點燈電路2 2 .，被收容於電源室2113內，經由電源 配線的護罩.2 lb3，，變換谱導入電源室21b內的.電源而發生 高頻電壓，再分別供電給複數個介電質勢壘放電燈EXL。 又，高頻點燈電路22，成爲第1 8圖所示的電路構成 。亦即’局頻點燈電路2 2，係被構成以電感器L、一對開 關元件Q ]和Q2、輸出變壓器OT、共振電容器C 1及控制 電路C C爲主體，並具備直流輸入端子t〗和12、高頻輸出 端子t3和t4之並聯形反相器。直流輸入端子11、t2，接 續至其輸出直流電壓藉由升壓截波電路等而可變的直流電 流（未圖示）。高頻輸出端子13、14，接續至介電質勢壘放 電燈。 又，直流輸入端子11，串聯地經過電感器l，而接續 至輸出變壓器OT的一次線圈pw 1的中點。直流輸入端子 G，接續至一對開關元件Q 1、Q 2的接續點。一對開關元 -32- 200535902 (29)

件Q 1、Q2，串聯接續，且相對於輸出變壓器〇τ的一次線 圈Pwl、Pw2、pw3，並聯地接續。輸出變壓器〇τ ,具備 :3組的一次線圈pwl、pw2和pw3、3組的2次線圈swi 、sw2和sw3、驅動線圈fw、及檢測線圈dw。而且，一 次線圈pwl、Pw2、pw3和2次線圈swl、sw2、sw3，係 成對。又，一次線圈pwl、pw2、pw3，係相互地並聯接續 。相對於此’ 2次線圈s w 1、s w 2、s w 3，係相互地串聯接 級’其兩％接繪至筒頻輸出端子13、t4。共振電容器C 1 ，與一次線圈pwl、. pw2、pw3並聯接續。驅動線圈fw及 檢測線圈d w，接續至後述的控制電路c C。 控制電路CC，係由驅動電路Dc及保護電路pC所組 成。驅動電路DC，其輸入端接續至驅動線圈fw，發生驅 動訊號，而供給至開關元件Q 1、Q2。藉此，並聯反相器 ’自生振盪。保護電路P C，其輸入端接續至檢測線圈dw ，一旦檢測出介電質勢壘放電燈EXL的啓動，例如藉由 控制直流電源等，使局頻輸出電壓降低。 如此一來，高頻點燈電路22，藉由具有前述的電路構 成，使介電質勢壘放電燈EXL啓動而點燈。而且，藉由 保護電路P C監視出現在輸出變壓器OT的檢測線圈dw中 的檢測電壓，在啓動後，若高頻輸出電壓上升，則使其降 低，能夠實行保護動作，使得被施加在開關元件Q 1、Q2 上的電壓，不會超過其耐壓。又，能夠配合高頻輸出的程 度，調節自驅動電路DC輸出的驅動訊號。 另外，複數個介電質勢壘放電燈EXL，係以相互地鄰 -33- 200535902 (30) 接的狀態，被配置於紫外線照射室2 1 a內。但是，爲了使 製造容易及維修的需要，所需的各個介電質勢壘放電燈 EXL，變成可以裝脫。 又’爲了要使冷卻水流過外部電極OE的冷卻水路， 用來供給冷卻水的配管，結合在其流入口，而用來排水的 配管則結合在流出口。

【發明之效果】 若根據本發明，能夠提供一種介電質勢壘放電燈及使 用此放電燈之紫外線照射裝置，抑制起因於熱膨脹差而在 外部電極和氣密容器之間的摩擦所產生的粉粒的發生，並 形成良好的介電質勢壘赦電·。. 【圖式簡單說明】 第1圖係用來實施本發明的介電質勢壘放電燈的第1 形態的部分剖面前視圖。 第2圖係同樣的發光管的部分切斷前視圖。 第3圖係表示同樣的發光管的支持部及供電部的部分 之部分切斷·剖面前視圖。 第4圖係表示同樣的間隔件及吸氣手段的部分之要部 前視剖面圖。 第5圖係同樣的構件的側面剖面圖。 第6圖係用來實施本發明的介電質勢壘放電燈的第2 形態的側面剖面圖。 -34- 200535902 (31) 第7圖係用來實施本發明的介電質勢墨放電燈的第3 形態的前視圖的部分剖面前視圖。 第8圖係同樣的兩端部的部分前視圖。 第9圖係同樣的在管軸方向的中間部中的垂直於管軸 的方向的剖面圖。 第1 〇圖係自第8圖的箭頭方向來看同樣的燈管支持 機構的部分側面圖。

第1 1圖係記載在用來實施本發明的介電質勢壘放電 燈的第3形態中，改變間隙G時的表示管面照度的測量資 料的表。 第1 2圖係表不问樣地改變間隙時的管面照度的圖表 第1 3圖係表示用來實施本發明的介電質勢壘放電燈 的第4形態的要部側面剖面圖。 第1 4圖係同樣的氣密容器的管軸方向的要部部分剖 第1 5圖係表示作爲用來實施本發明的紫外線照射裝 置之一形態的紫外線洗淨裝置的正面剖面圖。 第1 6圖係同樣的裝置的仰視圖。 第17圖係同樣的裝置的沿著第16圖的XVlI-XVif 線的剖面圖。 第1 8圖係同樣的高頻點燈電路的電路圖。 【主要元件符號說明】 -35- 200535902 (32) 1 :氣密容器 2 :內部電極 4 :供電線 5 :支持部 7 :吸氣孔 8 :定位臂 A A ·吸氣手段

EXL :介電質勢壘放電燈 G :間隙 H F I :高頻點燈電路 LT :發光管 ΟΕ :外部電極 ' S :間隙髟成手段 S 1 :間隔件 S 2 :發光管支持機構

-36-

Claims (1)

1. 200535902 ⑴ 十、申請專利範圍 1. 一種介電質勢壘放電燈，其特徵爲具備·· 氣密容器，其係作成由紫外線透過性材料所形成的細 長管狀； 準分子生成氣體，其係被封入氣密容器內；

   內部電極，其係被配設成：在氣密容器內，使得介電 質勢壘放電，在其管軸方向的大約整個長度，可以生成； 外部電極’其係在氣密容器的外面，沿著其管軸方向 而被配設’並藉由與內部電極之間的協力，進行作用，使 得可以在氣密容器內生成介電質勢壘放電；及 間隙形成手段，其沿著氣密容器的管軸方向，在氣密 容器及外部電極之間，形成滿足公式0 < G S丨.〇(單位nim) 的條件的間隙G。 2 · —種紫外線照射裝置，其特徵爲具備： 申請專利範圍第1項所記載的介電質勢壘放電燈； 配設介電質勢壘放電燈之紫外線照射裝置本體；及 將介電質勢壘放電燈點燈之高頻點燈電路。 -37-