200933800 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明是關於基板搬運用的裝置。 【先前技術】 於液晶顯示器或電漿顯示器等FPD (平板顯示器）製 造生產線，需要在基板收容用的匣盒和處理裝之間，或在 ❹ 處理裝置間搬運基板。 基板搬運用的裝置，於日本特開2005-64432號公報中 ’已有揭示該裝置具備：可對從匣盒搬出的基板進行載置 的載置台；及可將從載置台搬出的基板搬運往處理裝置的 基板搬運裝置。但是，該裝置，於基板搬運裝置的基板搬 運中，無法從載置台往基板搬運裝置搬出基板，因此基板 的搬運效率低。 日本特開2004-292094號公報中，所揭示的裝置是具 〇 備輥式輸送機，和可將輥式輸送機上的基板搬入匣盒，此 外還可從匣盒將基板搬出至輥式輸送機上的移載裝置。該 裝置’即使是在輥式輸送機的基板搬運中，利用移載裝置 還是能夠在輥式輸送機上從匣盒搬出基板。但是，因移載 裝置的一部份需位於輥式輸送機的側方，爲確保有移載裝 置的設置空間，所以會導致裝置全體大型化。 於日本特開2004-284772號公報的第11圖及第12圖中 ，揭示有將搬運方向正交的2組輥式輸送機配置成上下重 疊’使其中一方昇降的裝置。該裝置，也是同樣地，即使 -4- 200933800 是於一方的輥式輸送機的基板搬運中，還是能夠在該一方 的輥式輸送機上從匣盒搬出基板，利用另一方輥式輸送機 的昇降讓基板由該另一方輥式輸送機進行搬運。此外，因 是將搬運方向正交的2組輥式輸送機配置成上下重疊，所 ' 以還能夠讓裝置全體達到小型化。但是，輥式輸送機需具 ' 備有輥的驅動裝置，所以輥式輸送機不容易輕型化。因此 ，輥式輸送機的昇降較費時，有時會導致基板搬運效率降 ❹ 低。 【發明內容】 [發明欲解決之課題] 本發明目的是在於提供一種能夠實現裝置全體小型化 的同時能夠提昇基板搬運效率的基板搬運裝置。 根據本發明時，其所提供的基板搬運裝置，具備：可 對上述基板從其下側進行支撐，在第1搬運方向進行水平 φ 搬運的第1搬運手段；及可對上述第1搬運手段上的上述基 板從其下側進行支撐，在上述第1搬運方向正交方向的第2 搬運方向進行水平搬運的第2搬運手段，上述第1搬運手段 是由彼此於上述第1搬運方向隔著間隔的複數列第1搬運單 元所構成，上述第2搬運手段是由彼此於上述第2搬運方向 隔著間隔的複數列第2搬運單元所構成，各個上述第2搬運 單元，具備有：配置在上述第1搬運單元間的空隙，可對 上述基板從其下側進行支撐的支撐單元；配置在上述支撐 單元下方，並且，連結設置在上述支撐單元，可使上述支 -5- 200933800 撐單元昇降在上述支撐單元將上述第1搬運單元上的上述 基板從上述第1搬運單元往上抬的上昇位置和上述支撐單 元不會干涉到上述第1搬運單元上的上述基板的降下位置 之間的昇降單元；及配置在比上述第1搬運單元還下方的 位置，可使上述支撐單元及上述昇降單元朝上述第2搬運 方向移動的驅動單元。 本發明是根據上述構成爲上述第2搬運手段配置在上 述第1搬運手段的下方，所以能夠實現裝置全體的小型化 。此外，由上述昇降單元執行上述支撐單元的昇降藉此昇 降上述基板。上述支撐單元只要具有能夠對上述基板從下 側進行支撐的功能即可，並不需要上述基板移動用的驅動 機構，所以能夠實現上述支撐單元的輕型化。因此，能夠 實現上述基板昇降高速化，能夠提昇基板搬運效率。 【實施方式】 Q [發明之最佳實施形態] 〈全體構成〉 第1圖爲表示本發明一實施形態相關的基板搬運裝置 A的平面配置圖，第2圖爲第1圖剖線I-Ι的正交搬運裝置1 構造剖面說明圖，第3圖爲第1圖剖線Π-II的正交搬運裝 置1構造剖面說明圖。於各圖中，箭頭符號X、Y爲彼此 正交的水平方向。在特別說明X、γ方向的正反方向時， 箭頭符號+ X、+ Y爲正方向，箭頭符號一 X、— Y爲反方 向。箭頭符號Z爲表示上下方向（垂直方向）。區分上下 -6- 200933800 進行說明時，上方向稱爲+ z’下方向稱爲一 z。 基板搬運裝置A’具備正交搬運裝置1和輸送裝置2、 3和搬運裝置4和複數輸送裝置5及複數昇降裝置80。基板 搬運裝置A是從方形薄狀玻璃基板W收納用的收納匣盒 7〇將玻璃基板W搬往未圖示的處理裝置，此外，從該處 理裝置將玻璃基板W搬往收納匣盒70。處理裝置是執行 玻璃基板W的洗淨、乾燥、其他的處理。 ❹ 〈正交搬運裝置1〉 正交搬運裝置1，具備：可朝X方向水平搬運玻璃基 板W的第1搬運裝置10 ;可將第1搬運裝置10上的玻璃基 板w朝Y方向水平搬運的第2搬運裝置20;及第1搬運裝 置1〇及第2搬運裝置20支撐用的架台500。架台500是由架 台本體部501和架台本體部501支撐用的腳部502所構成。 〇 〈第1搬運裝置10〉 第1搬運裝置10是以彼此於X方向隔著間隔的複數列 第1搬運單元11構成。本實施形態的狀況，第1搬運單元11 是設置成4列。 第1搬運單元11，又以配列在Y方向的複數輥式輸送 單元60構成。如第1圖至第3圖所示，各輥式輸送單元60, 具備：可載置玻璃基板W的複數輥61;內藏有輥61驅動 裝置的驅動箱62 ;及可對玻璃基板W的到來進行檢測的 光感測器等感測器63 (參照第3圖）。輥61是設置成可繞 200933800 著γ方向旋轉軸轉動自如的從動輥，構成可從玻璃基板 W下側支撐著玻璃基板W朝+ Χ方向及-X方向的兩方 向搬運玻璃基板W。各輥式輸送單元60是可分別獨立驅動 ’此外，各輥式輸送單元60是由腳部601直立支撐在上述 ' 架台5 00的架台本體501上。 ' 於本實施形態，第1搬運單元11是以輥式輸送單元60 構成，但也可以是從玻璃基板W下側支撐著玻璃基板W 0 進行搬運的其他搬運單元，例如皮帶式輸送機等。 〈第2搬運裝置20〉 如第2圖所示，第2搬運裝置20是以同步受到控制，彼 此於X方向隔著間隔的複數第2搬運單元21構成，設置在 各架台本部501上。本實施形態的狀況，第2搬運單元21是 設置3個。以下，參照第2圖至第4圖詳細說明各第2搬運單 元21的構成。第4圖爲第2搬運單元21的透視圖。第2搬運 ❹ 單元21具備支撐單元30、昇降單元40及驅動單元50。 〈支撐單元30〉 支撐單元30是朝Υ方向延伸，其Υ方向的長度是比 玻璃基板W的Υ方向寬度還若干長。因此，由各第2搬運 單元21的支撐單元30讓玻璃基板W能夠穩定支撐。 支撐單元30，具備朝Υ方向延伸的支撐構件31。本 實施形態的狀況，支撐構件31是中空的角型鋼管。在支撐 構件31上，具備有隔著間隔在Υ方向設置成複數，透過 -8- 200933800 托座33支撐在支撐構件31的滾輪32。滾輪32是旋轉自如地 安裝在托座33，可繞著X方向的軸旋轉。在由第2搬運單 元21搬運玻璃基板W時，玻璃基板W是載置在滾輪32上 ，滾輪32是以抵接著玻璃基板W的下面從玻璃基板W下 側支撐著玻璃基板W。本實施形態是以透過托座3 3在支撐 構件31設有滾輪32時的狀況爲例子進行了說明，但並不限 於此，例如也可在支撐構件31設置前端具有轉動自如的軸 承的插銷構件。 支撐單元30，具備隔著間隔配置在Y方向的一對基 板保持單元34。本實施形態的狀況，基板保持單元34,是 以可將各滾輪32夾在中間的狀態分別配置在支撐件3 1的Y 方向兩端。基板保持單元34具備：可抵接著玻璃基板W 端緣的抵接構件35;可將抵接構件35朝Y方向往復移動 的移動單元36;及移動單元36覆蓋用的蓋構件37。 移動單元36，於本實施形態的狀況是氣壓缸筒，具備 本體部36a和活動部36b。透過對本體部36a的空氣供應及 轉換，可讓活動部3 6b在Y方向往復移動。 抵接構件35，於本實施形態的狀況是形成可繞著Z方 向的軸旋轉地支撐在活動部36b的輥，構成爲可在其周面 抵接著玻璃基板W的端緣。蓋構件3 7是可防止移動單元 3 6動作產生的灰塵，爲了避免干涉到抵接構件35的連結軸 及活動部36，在蓋構件37的上面設有窄縫371。 第5圖爲基板保持單元34的動作說明圖。第5圖上側的 形態，圖示著滾輪32上載置有玻璃基板W，基板保持單元 200933800 34的抵接構件34位於退讓位置的狀況。從該形態利用各移 動單元36的動作使各抵接構件35彼此朝接近方向移動位於 抵接位置時，如第5圖下側形態所示各抵接構件35會抵接 於玻璃基板W的Y方向的各端緣，保持著玻璃基板W。 此外，利用基板保持單元34對玻璃基板W的保持，還可 獲得玻璃基板W的Y方向定位。第2搬運裝置20搬運玻璃 基板W時的搬運期間，利用基板保持單元34就可定位及 保持著玻璃基板W。再加上，設置成複數列的第2搬運單 元21的一對基板保持單元34是可全列同時驅動（朝接近方 向移動），也可根據玻璃基板W的尺寸，適當選擇進行 驅動的列。 由基板保持單元34保持著玻璃基板W時，玻璃基板 W有時會稍微往Y方向移動，但因滾動3 2是可繞著X方 向的軸旋轉，所以玻璃基板W的移動能夠防止玻璃基板 W和滾輪32磨擦，能夠防止玻璃基板W損傷。 其次，如第2圖所示，支撐單元30是配置在第1搬運單 元1 1間的空隙。本實施形態的狀況，第1搬運單元1 1是如 以上所述設置成4列，因此第1搬運單元11間的空隙共有3 處。本實施形態是在全部的空隙都配置有支撐單元30’因 此，第2搬運單元21是設置3個。但是，並不需要對應全部 的空隙數量設置第2搬運單元21。例如：本實施形態的狀 況，也可對應X方向兩側的2處空隙設置2個第2搬運單元 21 ° -10- 200933800 〈昇降單元40〉 昇降單元40，於本實施形態的狀況是氣壓缸筒，如第 4圖所示，其具備本體部42和活動部41。透過對本體部42 的空氣供應及轉換，可讓活動部41在Z方向往復移動。昇 降單元40是配置在支撐單元3 0的下方，其活動部41是連結 在支撐單元30的支撐構件31的下面。 第2圖是圖示著昇降單元40昇降支撐單元30時的昇降 _ 動作。第2圖上側的形態是圖示著支撐單元30位於可使第1 〇 搬運單元11的輥61上載置的玻璃基板W和支撐單元30不 會干涉的降下位置時的狀況。當從該形態利用昇降單元40 的動作使支撐單元30上昇時，會讓第1搬運單元11的輥61 上載置的玻璃基板W載置在支撐單元3 0的滾輪32，以致 支撐單元3 0會形成位於將玻璃基板W從第1搬運單元11抬 起的上昇位置〈第2圖下側的形態〉。 然後，透過由上述的基板保持單元3 4保持著玻璃基板 φ W，可取代第1搬運單元11形成由第2搬運單元21搬運玻璃 基板W的狀態。 〈驅動單元50〉 ' 如第2圖及第3圖所示，驅動單元50是配置在比第1搬 運單元11還下方的位置，可驅動支撐單元30及昇降單元40 朝Y方移動。藉由在第1搬運單元11的下方空間配置驅動 單元5 0，能夠實現正交搬運裝置1全體的小型化。 驅動單元50具備支撐板51、滑動構件52及軌道構件53 -11 - 200933800 。支撐板51搭載有昇降單元40，藉此讓昇降單元40和支撐 單元30搭載在驅動單元50。另，支撐板51上也可搭載可對 昇降單元40的空氣供應進行轉換的控制閥。根據該構成時 ，由於能夠將控制閥配置成接近昇降單元40，因此能夠讓 昇降單元40的昇降動作更爲確實。 滑動構件52是固定安裝在支撐板51的下面，以指定間 隔設置複數個在Y方向。各滑動構件52是設置成可滑行 移動自如在軌道構件53上，支撐板51及滑動構件52是構成 爲可滑行移動在軌道構件5 3上的滑件。軌道構件5 3是延伸 設置在Y方向，如第3圖所示，是設置成從第1搬運單元 11的Y方向一方端部延伸至另一端部爲止的整個大致全 區。滑動構件（線性導塊）52的和軌道構件53成相向的面 ，內藏有軸承（或滾柱）。該等軸承是一邊循環在線性導 塊的內部，一邊轉動在軌道構件53的溝槽內（接觸面）（ 或者是該等滾柱是在線性導塊的內部一邊和軌道構件53的 接觸面接觸的同時一邊轉動）。基於此，滑動構件5 2能夠 在幾乎沒有承受摩擦阻力的狀態下滑行移動在軌道構件53 上。 軌道構件53的Y方向兩端部分別設有端部構件53a’ 於各端部構件53a固定著軸承54a。由軸承54a軸支撐著朝 X方向延伸的軸54，軌道構件53的Y方向兩端部分別設有 1個軸54。本實施形態的狀況，軸54是全部的第2搬運單元 21都是共同，設置在各端部的軸54是連結成爲1支。 各軸54周圍的軌道構件53的附近設有皮帶輪55，每個 -12- 200933800 軌道構件53設有一對皮帶輪55。隔著間隔在Y方向的該 一對皮帶輪55捲繞有皮帶56，皮帶56的兩端部是分別固定 在支撐板51的前後（參照第4圖）。 2個軸54的一方，設有驅動源58。驅動源58，具備馬 達58a和減速機58b，可對軸54進行旋轉驅動。如此一來 驅動源58所驅動的一方軸54的旋轉，可使固定在該一方軸 5 4的皮帶輪54旋轉，使皮帶56運轉。其結果，可讓支撐板 5 1及滑動構件53滑行移動在軌道構件53上，使支撐單元30 及昇降單元40能夠朝γ方向移動，並且，停止在任意位 置。 支撐單元30及昇降單元40的重量是由軌道構件53負擔 。因此，旋轉皮帶輪55使皮帶56運轉的驅動源58，只要可 產生往Y方向的移動力即可，因此採用較少功率的驅動 源就能夠滿足驅動。 對於驅動源58驅動造成的支撐單元30及昇降單元40的 Y方向移動位置，例如可利用反饋控制加以控制。於該狀 況時，根據馬達58a轉數檢測用的感測器或軌道構件53上 的滑動構件52位置檢測用的感測器等的檢測結果控制馬達 58a 〇 另，於本實施形態，馬達58a也可採用使用皮帶傳動 機構的其他機構，例如可採用使用滾珠螺桿機構或線性馬 達的機構。 此外，本實施形態對於各第2搬運單元21是採共同的 驅動源58。但是，也可針對每個第2搬運單元21設有驅動 -13- 200933800 源5 8，構成爲同步控制。尤其是當驅動源5 8爲共同時，能 夠實現成本的降低、控制的簡便化、構成的簡化 驅動單元50，具備一對蓋構件57。如第2圖所示，一 對蓋構件57是形成爲分別配置在軌道構件53的+ X側、-X側的C字型，形成在中空的空間S 1、S2。空間S 1內收 納著皮帶輪55及皮帶56，空間S2配置有未圖示的配線、 配管。接著，利用該等蓋構件57包圍著軌道構件53、支撐 0 板51、滑動構件52、皮帶輪55、皮帶56，藉此防止驅動單 元50驅動產生的灰麈。蓋構件57設有可吸引其內部空間 SI、S2內的空氣將空氣排至外部的複數吸引排氣手段57a (第3圖）。如此一來，就能夠確實防止灰塵產生。 〈輸送裝置2及3〉 參照第1圖，輸送裝置2及3，於本實施形態的狀況， 兩者都是以複數的輥式輸送單元60所構成。輸送裝置2是 H 配置在第1搬運裝置10的+ X方向側方，從搬運裝置4往正 交搬運裝置1搬運玻璃基板W。輸送裝置3是配置在第1搬 運裝置10的+ X側，從正交搬運裝置1往搬運裝置4搬運玻 璃基板W。 〈搬運裝置4〉 搬運裝置4是將輸送裝置3所搬運過來的玻璃基板W 往未圖示的處理裝置搬運，將處理裝置所搬運過來的玻璃 基板W往輸送裝置2搬運。搬運裝置4的構成，例如是可 -14- 200933800 和正交搬運裝置1相同的構成，也可以是能朝γ方向移動 的多關節式機器人等。 〈收納匣盒70〉 第6圖爲收納匣盒70的透視圖。收納匣盒70是設置在 輸送裝置5的上方，可使基板W以水平姿勢多段收納在Ζ 方向的匣盒。另，第6圖是圖示著未收納有玻璃基板W時 的狀態。本實施形態的狀況，收納盒70是由複數的柱構件 71和樑構件72形成大致長方體形狀的框架體。樑構件72的 配設間隔是設定成可讓輸送裝置5從收納匣盒70下方進入 收納匣盒70內，樑構件72形成有可讓輸送裝置5從下方進 入的開口。 柱構件7 1是複數配設在X方向的同時，隔著間隔同 數排列設置在Υ方向。在Υ方向隔著間隔的一對柱構件 7 1間，設有排列在Ζ方向並且隔著指定間距的鋼絲73。各 鋼絲73上下間的空間，形成爲玻璃基板W收納用的槽口 ，玻璃基板W是以水平姿勢一片一片地載置在鋼絲73上 。接著，由排列在Ζ方向的鋼絲73數量構成槽口數量。 本實施形態是利用鋼絲形成槽口，但理所當然也可採 用其他的方式。不過，使用鋼絲能夠縮小收納的基板間的 間隔，能夠提高收納匣盒70的收納效率。 〈輸送機裝置5〉 輸送機裝置5，本實施形態的狀況是由複數輥式輸送 -15- 200933800 單元60構成。輸送裝置5是針對每個收納匣盒7〇設置在收 納匣盒70下方。此外，輸送裝置5，如第1圖所示，配置在 第1搬運裝置10的- X方向的側方，在其與正交搬運裝置1 之間進行玻璃基板W的搬運，於此可執行玻璃基板W搬 入收納匣盒70及從收納匣盒70搬出玻璃基板W的搬運。 〈昇降裝置〉 當由一對昇降裝置80朝Z方向昇降收納匣盒70時， 就能夠讓收納匣盒70和輸送裝置5朝Z方向相對移動。但 也可取代該構成，構成由一對昇降裝置8朝Z方向昇降輸 送裝置5。另外，當一對昇降裝置80構成爲輸送裝置5昇降 用的構成時，也可構成爲第1搬運裝置10昇降用的構成。 本實施形態的狀況，各昇降裝置80是以收納匣盒70夾 在中間的狀態分別配設在收納匣盒70彼此相向的Y方向 兩側部，分別以懸臂支撐的方式支撐著收納匣盒70。根據 該構成時，能夠讓昇降裝置8 0更爲薄型化。 昇降裝置80具備有可載置收納匣盒70底部樑構件72的 橫桿構件8 1。各昇降裝置80的各橫桿構件8 1是以同步朝Z 方向移動昇降收納匣盒70。昇降裝置8 0具備驅動裝置（未 圖示），利用該驅動裝置昇降橫桿構件81藉此昇降收納匣 盒70。各昇降裝置80間，在其支柱上端架設有樑構件80a 第7圖爲從收納匣盒70搬出玻璃基板W時的昇降裝置 80昇降收納匣盒70的昇降動作圖。另，該圖中省略圖示昇 -16- 200933800 降裝置80。從收納匣盒70搬出玻璃基板W時，從收納有 玻璃基板W的槽口當中收納在最下方槽口的玻璃基板W 開始依順序搬出玻璃基板W。 首先，如第7圖左上圖所示，從收納匣盒70位於輸送 •裝置5上方的狀態，由昇降裝置80(第7圖中未圖示）降下 收納匣盒70，如第7圖右上圖所示，將搬運對象的玻璃基 板W載置在輸送裝置5上。此時，輸送裝置5是從下方進 入收納匣盒70內，讓搬運對象的玻璃基板W成爲從收納 〇 匣盒70的鋼絲73浮起的狀態，成爲只由輸送裝置5支撐著 的狀態。接著驅動輸送裝置5，如第7圖左下圖所示，從收 納匣盒70搬出搬運對象的玻璃基板W。以下，同樣地，重 覆收納匣盒70的降下及輸送裝置5的驅動（第7圖右下圖） ，從下方側依順序搬出玻璃基板W。 將玻璃基板W往收納匣盒70搬入時，採和上述搬出 時大致相反的動作。玻璃基板W的搬入是從未收納有玻 璃基板W的槽口當中最上方的槽口開始依順序進行搬入 ❹ 〈控制裝置〉 第8圖爲表示基板搬運裝置A的控制裝置200的構成 方塊圖。控制裝置（控制手段）200，具備：可執行基板 搬運裝置A全體控制的CPU201 ;可提供CPU201工作區 域的同時，可變數據等記憶用的RAM202 ;及控制程式、 控制數據等固定數據記憶用的ROM203。對於RAM202、 -17- 200933800 ROM2 03也可採用其他的記憶手段。 輸入界面（I/F) 204是屬於CPU201和各種感測器（ 例如感測器63等）的界面，CPU201是透過輸入I/F取得各 種感測器的檢測結果。輸出界面（I/F ) 205是屬於 CPU201和各種的馬達（例如馬達58a、驅動箱62內的馬達 等）及控制閥（基板保持單元34及昇降單元40用的控制閥 )的界面，CPU201是透過輸出（I/F) 205控制各種的馬達 、控制閥。 通訊界面（I/F) 206是屬於包括基板搬運裝置A的基 板處理設備全體控制用的主電腦300和CPU201的界面， CPU201是根據來自主電腦300的指令控制基板搬運裝置A 〈基板搬運裝置A的玻璃基板搬運例〉 接著，參照第9圖至第16圖，針對基板搬運裝置A的 玻璃基板搬運例進行說明。本實施形態，如第9圖所示， 針對在+ Y方向配置著收納有玻璃基板W的收納匣盒70 ，於—Y方向配置著空的收納匣盒70，從位於+ Y側的收 納匣盒70將未處理的玻璃基板W搬往處理裝置，從處理 裝置將處理完畢的玻璃基板W搬往位於- Y側的收納匣 盒70時的狀況進行說明。首先，參照第10圖至第12圖’說 明從位於+ Y側的收納匣盒70將未處理的玻璃基板W搬 往處理裝置時的狀況。 如第10圖所示，利用輸送裝置5及昇降裝置80的動作 -18- 200933800 從+ γ側的收納匣盒70朝χ方向搬運1片玻璃基板w°於 同時，正交搬運裝置1是利用第1搬運裝置10的第1搬運單 元1 1的動作，將從收納匣盒70搬運過來的玻璃基板W搬 運至+ X側，讓玻璃基板w位於正交搬運裝置1的X方向 大致中央的位置。此時，讓支撐單元3 0位於降下位置’並 且，位於搬運過來的玻璃基板W正下方的位置。基板保 持單元34的抵接構件35是位於退讓位置。 支撐單元3 0是否位於玻璃基板W正下方的位置’基 本上，是以支撐單元3 0位於事先所訂定的位置讓支撐單元 3 0成爲位於玻璃基板W的正下方。但是，也可在支撐單 元3 0設置玻璃基板W檢測用的感測器對玻璃基板W進行 檢測，藉此控制支撐單元30的位置。 其次，由昇降單元40將支撐單元30移動至上昇位置， 如此一來就能夠取代第1搬運裝置10將玻璃基板W由支撐 單元30支撐著。接著，利用基板保持單元34的動作讓抵接 構件35移動至抵接位置對玻璃基板W加以保持。 其次’如第11圖所示，利用驅動單元50的動作將支撐 單元30朝- Y方向移動，讓玻璃基板w移動至輸送裝置3 的- X側的位置。玻璃基板W的移動會讓正交搬運裝置1 空出+ Y側的收納匣盒70側方的區域。因此，就可開始從 + Y側的收納匣盒70搬出第2片玻璃基板W。 接著’讓基板保持單元35的抵接構件35位於退讓位置 ’將支撐單元30移動至降下位置。如此一來，就能夠讓第 1片玻璃基板W再度載置在第1搬運裝置1〇上。然後，如 -19- 200933800 第12圖所示，利用第1搬運裝置10及輸送裝置3將第1片玻 璃基板W朝+ X方向搬運，將第1片玻璃基板W交接至搬 運裝置4。搬運裝置4會將第1片玻璃基板W搬往處理裝置 同時，利用驅動單元50的動作將支撐單元30朝+ Y方 向移動，讓支撐單元30位於第2片玻璃基板W的正下方。 此時，即使是在第2片玻璃基板W由第1搬運裝置10從收 納匣盒70搬出的途中，還是能夠讓支撐單元30待機位於搬 運過來的玻璃基板W的正下方（第9圖的位置），因此能 夠提昇搬運效率。以下，藉由重覆同樣的步驟，就能夠從 位於+ Y側的收納匣盒70依順序將未處理的玻璃基板W 連續搬往處理裝置。由於能夠同時執行正交搬運裝置1的 玻璃基板W的X方向及Y方向的搬運，因此能夠提高玻 璃基板W搬運效率。 其次，參照第13圖至第16圖說明處理完畢的玻璃基板 W從處理裝置搬往位於- Y側的收納匣盒7〇的搬運狀況。 如第13圖所示，處理完畢的玻璃基板W是由搬運裝 置4從處理裝置搬往輸送裝置2，輸送裝置2會將玻璃基板 W搬運至正交搬運輸送機1上。同時’正交搬運裝置1是利 用第1搬運裝置10的第1搬運單元11的動作，將輸送裝置2 所搬運過來的玻璃基板W搬運至一 X側，讓玻璃基板W 位於正交搬運裝置1的X方向大致中央的位置（第14圖） 。此時’讓支撐單元30位於降下位置，並且，位於搬運過 來的玻璃基板W的正下方位置。基板保持單元34的抵接 -20- 200933800 構件34是位於退讓位置。 其次，利用昇降單元40將支撐單元30移動至上昇降， 藉此取代第1搬運裝置10由支撐單元30支撐著玻璃基板W 。接著’利用基板保持單元34的動作將抵接構件35移動至 抵接位置對玻璃基板W加以保持。 其次’第15圖是利用驅動單元50的動作將支撐單元30 朝一 Y方向移動，讓玻璃基板W移動至一 Y側收納匣盒70 的+ X側位置。玻璃基板W的移動，會讓正交搬運裝置1 空出輸送裝置2側方的區域。因此，就可開始搬運裝置4及 輸送裝置2的第2片玻璃基板W搬運。 接著，讓基板保持單元35的抵接構件35位於退讓位置 ’將支撐單元30移動至降下位置。如此一來，就能夠第1 片玻璃基板w再度載置在第1搬運裝置10上。然後，如第 16圖所示，利用第1搬運裝置10、輸送裝置5及昇降裝置80 的動作將第1片玻璃基板W搬入-Y側收納匣盒70。 同時，利用驅動單元50的動作將支撐單元30朝+ Y方 向移動，讓支撐單元3 0位於第2片玻璃基板W的正下方。 此時，即使是在第2片玻璃基板W由輸送裝置2搬往第1搬 運裝置10上的途中，還是能夠讓支撐單元3 0待機位於搬運 過來的玻璃基板W的正下方（第13圖的位置），因此能 夠提昇搬運效率。以下，藉由重覆同樣的步驟，就能夠從 處理裝置將處理完畢的玻璃基板W依順序連續搬往位於 + Y側的收納匣盒70。由於能夠同時執行正交搬運裝置1 的玻璃基板W的X方向及Y方向的搬運，因此能夠提高 -21 - 200933800 玻璃基板W搬運效率。 如上述，本實施形態，因能夠同時執行正交搬運裝置 1的玻璃基板W的X方向及Y方向的搬運，所以就能夠提 高玻璃基板W搬運效率。特別是，因愈是大型的玻璃基 板W，其搬入收納匣盒70及從收納匣盒70搬出時愈需要時 間，所以藉由如本實施形態的同時執行正交搬運裝置1的 玻璃基板W的X方向及Y方向的搬運，就能夠達到生產 間隔時間的縮短。 〇 接著，由於第2搬運裝置20配置在第1搬運裝置的下方 ，因此能夠實現裝置全體的小型化。此外，是由利用昇降 單元40昇降支撐單元30來昇降玻璃基板W，支撐單元30其 本身並不需具有玻璃基板W搬運用的驅動機構，只要具 有可從下側支撐玻璃基板W的功能即可，所以支撐單元 30能夠輕型化。因此，能夠實現玻璃基板W昇降高速化 ，能夠提昇玻璃基板W搬運效率。 0 再加上，由於支撐單元30能夠輕型化，因此就能夠以 更高的高速朝Y方向移動支撐單元30，能夠更加提昇玻 璃基板W搬運效率。此外，因是構成爲移動支撐單元30 ' ，所以玻璃基板W在Y方向的搬運距離是根據驅動單元 ' 50的Y方向全長的加以規定，因此可加長或縮短搬運距 離，能夠提昇裝置的平面配置自由度。 另外，由於能夠在正交搬運裝置1的+ X側、- X側 分別配置輸送裝置2、3及5，在該等置輸送裝置和正交搬 運裝置1之間進行玻璃基板W的交接，因此裝置的平面配 -22- 200933800 置自由度提昇。此外’第2搬運單元21是可停止在第1搬運 單元11的Y方向任意位置。再加上，第1搬運單元11是以 可獨立驅動的複數輥式輸送單元60構成。如此一來，在將 輸送裝置5配置、連接在正交搬運裝置1的X方向側方時 ，Y方向的連接位置選擇性增加。因此，能夠更加提昇裝 置的平面配置自由度。 另，本實施形態是將第1搬運單元11的各輥式輸送單 元60以大致等間距配設在Y方向，但並不限於此。輥式 輸送單元60是只要至少位於配置在正交搬運裝置1側方的 輸送裝置2、3及5側方的位置即可。 【圖式簡單說明】 第1圖爲表示本發明一實施形態相關的基板搬運裝置 A的平面配置圖。 第2圖爲第1圖剖線I-Ι的正交搬運裝置1構造剖面說 明圖。 第3圖爲第1圖剖線II-II的正交搬運裝置1構造剖面說 明圖。 第4圖爲第2搬運單元21的透視圖。 第5圖爲基板保持單元34的動作說明圖。 第6圖爲收納匣盒70的透視圖。 第7圖爲從收納匣盒70搬出玻璃基板W時的動作說明 圖。 第8圖爲基板搬運裝置A的控制裝置20 0方塊圖。 -23- 200933800 第9圖爲基板搬運裝置A的動作說明圖。 第10圖爲基板搬運裝置A的動作說明圖。 第11圖爲基板搬運裝置A的動作說明圖。 第12圖爲基板搬運裝置A的動作說明圖。 第13圖爲基板搬運裝置A的動作說明圖。 第14圖爲基板搬運裝置A的動作說明圖。 第15圖爲基板搬運裝置A的動作說明圖。 第16圖爲基板搬運裝置A的動作說明圖。 【主要元件符號說明】 1 :正交搬運裝置 2 :輸送裝置 3 :輸送裝置 4 :搬運裝置 5 :輸送裝置 10 :第1搬運裝置 1 1 :第1搬運單元 20 :第2搬運裝置 21 :第2搬運單元 3 0 :支撐單元 3 1 :支撐構件 32 :滾輪 3 3 :托座 34 :基板保持單元 -24- 200933800 3 5 :抵接構件 36 :移動單元 3 6 a _本體部 36b :活動部 3 7 :蓋構件 371 :槽口 40 :昇降單元
41 :活動部 42 :本體部 50 :驅動單元 5 1 :支撐板 52 :滑動構件 53 :軌道構件 5 3 a ·_部構件 54 :軸 5 4a :軸承 55 :皮帶輪 56 :皮帶 57 :蓋構件 57a ’·吸引排氣手段 5 8 :驅動源 5 8 a :馬達 58b :減速機 60 :輥式輸送單元 -25- 200933800 61 :輥 6 2 :驅動箱 63 :感測器 7 〇 :收納匣盒 7 1 :柱構件 72 :樑構件 7 3 :鋼絲 80 :昇降裝置 ◎ 8〇a :樑構件 8 1 :橫桿構件
2 0 0 :控制裝置 20 1 · CPU
202 ： RAM
203 ： ROM 2 04 :輸入界面 2 0 5 ·輸出界面 206 :通信界面 3 〇 0 :主電腦 500 :架台 501 :架台本體 502 :腳部 601 :腳部 A :基板搬運裝置 S 1 :空間 -26 200933800 S 2 :空間 W :玻璃基板
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