TW200944836A - Membrane suspended optical elements, and associated methods - Google Patents
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Description
200944836 六、發明說明： 此申請案主張2008年1月16曰申請的美國臨時申請案第 61/021,338號之優先權，且該案之全文以引用的方式併入 本文中。 【先前技術】 • 在晶圓級微型相機系統之製造中。將複數個光學元件製 .成例如一在一基板（例如一 8英寸或12英寸的基板）表面上之 陣列。此等光學元件之實例包含折射光學元件、繞射光學 © 元件、反射元件、梯度折射率（GRIN)元件、次波長光學結 構、抗反射塗層及濾光器。此複數個光學元件係直接形成 於一基板上或從一母體（master)基板複製，界定該複數個 光學元件之部件（feature)已在該母體基板上形成。舉例而 言，如在國際專利申請案第PCT/US07/09347號（其全文以 引用的方式併入本文中）中所述，一經精確加工的製造母 體可用於利用在一共同支撐上之一聚合材料而模製複數個 ❹光學元件。該經精確加工的製造母體係由諸如黃銅、鋁、 聚曱基丙烯酸甲酯（「PMMA」）或另一金屬或聚合物之一 固體仍可加工的材料形成。此外，可將一個或多個基準 • 符號及/或對準部件與界定複數個光學元件之部件一起製 、造於經精確加工的製造母體上，以維持界定該複數個光 學元件之部敎位該等基準符號及/或對準部件的高精確 度。 圖1顯示一例示性製造母體1〇〇，其包含用其界定光學元 件之複數個部件110。製造母體1〇〇亦包含複數個對準:件 137509.doc 200944836 120以促進製造母體1〇〇與諸如一真空吸盤或基板之一第二 物體之間的對準。製造母體100可用於-製程以在如圖2中 所示之共同基底225上形成光學元件21 〇之一陣列200。 可依序使用若干製造母體以在一基板上形成分層的光學 元件如圖3中所示。圖3顯示一陣列3〇〇，其包含複數個 为層的光學元件3 1〇。各分層的光學元件31〇包含若干材料 層亥等材料層係利用界定表面輪廓之經精確加工的製造 母體而予以定形。 圖4至圖6中顯示一種形成此等分層的光學元件陣列之例 不性方法。如圖4中所示，一共同基底41〇係固定於包含一 V溝槽422之一真空吸盤420上，該V溝槽422促進真空吸盤 420與包含凸起對準部件432之一第一製造母體43〇之間的 對準。第一製造母體43 0亦包含用其界定第一光學元件之 複數個部件434。一第一材料440係設置於共同基底41〇與 第一製造母體430之間’使得第一材料44〇之一表面符合複 數個部件434之一者。第一材料440係藉由諸如UV固化或 熱固化之一適當機制而予以硬化。 接著，如圖5中所示，移除第一製造母體43 0並且以一第 二製造母體530替代，該第二製造母體530包含凸起對準部 件53 2及用其界定第二光學元件之複數個部件534 ^ 一第二 材料540係設置在經硬化的第一材料440與第二製造母體 5 3 0之間’且接著予以硬化。如圖6中所示，此製程係藉由 移除第二製造母體530及以一第三製造母體630替代其而予 以重複’該第三製造母體630包含凸起對準部件632及用其 137509.doc -4 · 200944836 界定第三光學元件之複數個部件634。一第三材料640係設 置在經硬化的第二材料54〇與第三製造母體63〇之間，且接 著予以硬化。該製程可重複所需次數以實現如圖3中所示 之光學元件之理想分層。 【發明内容】 ' 在一實施例中’膜懸置光學元件包含（a)—結構基板，其 ' 包含界定於其中之複數個孔；及（b)第一光學元件之一陣 列’該等第一光學元件之各者係藉由膜而懸置於該等孔之 ❿ 一者内。 在一實施例中，一懸置透鏡包含一由一固化光學材料形 成且被懸置在一基板之一孔内之膜；及一由該固化光學材 料形成且藉由該膜而支撐於該基板之該孔内之光學元件。 在一實施例中，一製程形成一懸置透鏡，該製程包括： 接合一第一製造基座與形成至少一孔之一基板；將第一光 予材料沈積於該第一製造基座上且在該孔内；接合一第二 φ 製1^基座與該基板，使得該第一光學材料係在該孔内予以 疋形，及將該第一光學材料固化以形成藉由膜而懸置於該 孔内之一第一固體光學元件。
V 在一實施例中，一製造基座包含：第一單體結構，該單 體結構具有第-橫截面尺寸之一凸出部及第二橫截面尺寸 之—側翼，該第二橫截面尺寸大於該第一橫戴面尺寸，該 凸出部在其末稍端形成一膜接合表面及-光學輪廓表面， T側翼形成平行於該膜接合表面之―基板接合表面，其中 以—基板之一孔定位該凸出部，同時接合該基板與該基板 137509.doc 200944836 接合表面而允許將光學材料沈積於該膜接合表面及光學輪 廓表面上及後續固化該光學材料。 【實施方式】 共同基底之一可用類型為一結構基板，其通常稱為一間 隔晶圓。在本發明之背景中之一結構基板應理解為由例如 玻璃、石夕或藍寶石形成之一共同基底，且包含界定於其中 之複數個孔。 圖19說明性地顯示一結構基板19〇〇之一俯視圖，該結構 基板1900具有複數個膜懸置光學元件丨9〇2，其等係在形成 於結構基板1900中之相似的複數個孔19〇4内。圖2〇顯示貫 穿結構基板1900及該等光學元件及孔之二者之一橫截面 圖。圖19及圖20在下列說明中最好一起觀察。 圖19中顯示四個光學元件1902，但是更少的及通常更多 的相似光學元件可在結構基板19〇〇中。各光學元件19〇2被 顯示為一單體’但是在不脫離本發明之範圍下，各光學元 件可以一複合透鏡或分層的光學元件替代。各光學元件 1902係藉由一膜1906而懸置於一孔19〇4内。膜19〇6可由與 光學元件1902相同之光學材料形成。雖然孔19〇4經定形為 圓形’但是在不脫離本發明之範圍下，孔19〇4可以矩形 (包含正方形）、橢圓形或其他任意形狀替代。 圖20亦以虛線顯示複數個製造基座19〇8、ι91〇。各製造 基座包含一光學輪廓表面1912、一膜接合表面1914及一側 翼1916，側翼1916具有一基板接合表面1918 ^如在以下描 述中將變得顯而易見’一對相對製造基座1908、1910 —起 137509.doc 200944836 配合以根據該對相對的製造基座1908、1910之大小及形狀 (包含光學輪廓表面）在一單一孔19〇4内形成一光學元件 1902及其膜1906。雖然一單一基座對19〇8、191〇可用於一 次形成一光學70件，但是通常一起運用製造基座對之一陣 列（最常見的是在一共同平台或基板上或經由該共同平台 或基板連接在一起，例如使得基座19〇8耦接在一起及基座 ' 1910個別耦接在一起）以形成光學元件之一相似陣列，使 得光學兀件之該陣列一次形成；此陣列可為一基板之整個 © 陣列或僅為該整個陣列之部分。舉例而言，孔19〇4之一内 表面1920可以一表面處理而予以修飾以促進膜〗9〇6至該内 表面之更好的黏附。此外，一個或多個固持部件1可併 入内表面1920中以有助於將膜1906固定於孔1904中。 圖7-16描述具有結構基板之膜懸置光學元件之各種實施 例。特定言之，圖7顯示一結構基板7〇〇之一橫截面圖，其 包含穿過其而形成之複數個孔72〇。結構基板7〇〇為例如一 0 微米厚的玻璃基板及各孔720之直徑為例如2 5毫米。 此等結構基板通常用作為一間隔件以將一基板與另一基板 (未顯示）分開，同時保留清除通道於其間。 根據本發明，分層的光學元件之陣列可藉由膜懸置而形 ' 成於結構基板之孔内。即，單一層或多層光學元件可以一 膜組態形成於結構基板之孔内以製造整合於該結構基板之 孔内之複數個光學元件。 現參考圖8至圖12,其顯示一種用於形成包含一個或多 個層之一光學元件於一結構基板之一孔内之例示性製程。 137509.doc 200944836 在圖8中，結構基板700之一部分800被顯示為與一第一製 造基座810相配，此處僅顯示該基座之一部分。第一製造 基座810包含：一凸出部830’凸出部830具有—光學輪廊 表面820 ’用其界定一光學元件；及一溢出表面84〇(其連 同基板700—起界定一溢出區域841，如以下所述第一 製造基座8 10亦包含一側翼8 11，側翼8 11具有—基板接合 表面8 13。第一製造基座8 10係經組態以與結構基板7〇〇配 合，使得當接合在一起時’用於界定一光學元件之部件 (例如’光學輪廓表面820)被定位於結構基板7〇〇中之一個 或多個孔内。在本實例中，第一製造基座810與結構基板 700之接合係藉由基板接合表面813與結構基板7〇〇之一第 一側725之間的直接接觸而發生。 如圖9中所示，一第一光學材料91〇係沈積於接合於孔 720中之第一製造基座810上。接著，如圖1〇中所示，接合 一第二製造基座1010與結構基板700(具體言之，接合製造 基座1010之一側翼接合表面1013與結構基板7〇〇之一第二 側730)以便使用一受控方式將第一光學材料91〇定形（亦 即’當第一光學材料910係夾在第一製造基座810與第二製 造基座1010之間時）。在一實施例中，第一光學材料91〇之 過剩的量流至溢出區域841中並流至一溢出區域1 〇41中， 該溢出區域1041係界定於第二製造基座1〇1〇之一溢出表面 1040與結構基板700之間。接著，藉由諸如（但不限於）熱固 化（例如藉由施加熱）或UV固化（例如，藉由使用一透明材 料（例如’ UV透射PDMS)作為該第一及第二製造基座之至 137509.doc 200944836 少一者及施加uv光穿過其中）之一適當方法，可將第一材 料910硬化，以形成由一膜1〇16懸置的一經硬化光學元件 1015。 作為替代’可首先將光學材料91〇沈積於在一「向上施 配」組態中之製造基座1〇1〇上，其後在固化前接合製造基 座810與結構基板700以形成光學材料91〇。 舉例而吕，溢出區域841、1 〇41可優先影響溢出。即’ 各基座810、1010及溢出表面84〇、1〇4〇之各自的設計可經 組態以使光學材料優先流至溢出區域841、丨〇4丨中，且有 利地影響光學材料堆疊之形成。 在圖11中所示之實例中，將第二製造基座1〇1〇移除以保 留經硬化的光學元件1 〇 15形成於孔720内。藉由膜1 〇 16將 經硬化的光學元件1015附著於結構基板700，該膜1〇16相 應於在上文剛所述之處理期間保留在第一與第二製造基座 810、1010之間及溢出至區域841中之第一光學材料91〇的 量。如圖12中所示，第一製造基座81〇可在此時與光學元 件1015及膜1016分離，使得一單一光學元件1〇15係藉由膜 1016而予以懸置於孔720中，如圖12中所示。 或者’繼圖11中所示之組態之後，可將一第二光學材料 1310沈積於光學元件1015及膜1〇16上，如圖13中所示。— 第三製造基座1410可接合於第二側730及第二光學材料 1310,如圖14中所示。接著，可藉由一適當方法將第二光 學材料1310硬化，且隨後可移除第三製造基座141〇以便形 成一光學元件13丨5及膜1316，該膜1316亦連接至結構基板 137509.doc 200944836 700，如圖15中戶斤*。第—製造基座81〇接著可與光學元件 1015及膜1016分離，如圖16中所示，以便導致形成藉由膜 (亦即，膜1016及1316)而懸置於孔72〇内之兩層式光學元件 1610。此製程可繼續增加其他層至分層的光學元件1〇15、 1315。 應注意，在不脫離本發明之範圍下，第二光學元件 1315(及膜1316)可藉由對圖7_14中所略述之步驟重新排序 而先於光學元件1015(及膜1016)形成。 如此所述之膜組態特別有利，因為其允許結構基板7〇〇 及因此孔内720之光學元件與諸如一感測器陣列162〇(亦如 圖16中所示）之另一物體之並置。即，可使光學元件（例如 光學元件1015、13 15)與另一物體（例如，感測器162〇)非常 接近，同時因結構基板7〇〇之高度平坦性而維持低傾斜未 對準。考慮此膜組態的一種方式係其提供較通常與其他 圓筒」組態相關的晶圓級小很多之「圓筒中透鏡」之所 含結構等效物，舉例而言，在其他「圓筒」組態中，使用 一保護性圓筒以將透鏡元件包含在一傳統的較大成像系統 中〇 如圖16中所示之膜組態之另一益處係一障壁體1625(例 如，一金屬箔）可用於防止入射光1630通過膜1〇16/1316且 可與結構基板700整合成一體或整合至結構基板7〇〇上。舉 例而言，將障壁體1625附著至結構基板700之第二側73〇。 障壁體1625因此可改良在感測器1620之信號雜訊比，這是 因為其可至少部分阻止通過膜1016/1316之雜散光。在替 137509.doc -10- 200944836 代實施例中，可依下列併入具有與障壁體】625相似之功能 之一障壁體： 將一塗層(例如’-光阻)沈積於基板、膜及光學元件 上，接著從該光學元件選擇性地移除該塗層； 冑-阻擋材料轉移至非光學區域(例如，藉由接觸印 • 刷）；及/或 . 將一額外的玻璃間隔晶圓（例如，具有一經圖案化之孔 她加於其上）接合至結構基板晶圓，其可允許如圖16中所 ❹ 示之懸垂式阻礙。 因此圖16之組態方便允許一光學模組（由結構基板7〇〇 形成，其包含光學元件1015及1315於其中）及感測器162〇 封裝成一相機總成，如虛線略圖164〇所示。一數位信號處 理器（如虛線略圖1650所示）可與感測器162〇連接以處理來 自感測器1620之影像資料以在一外部顯示器（如虛線略圖 1660所示）上產生一人類可觀察到的影像如所示。 藝對陣列光學元件之前述實例之進一步修飾係可能的。舉 例而言，如圖17中所示，在一膜組態中之兩層式光學元件 1610之兩個或兩個以上陣列可堆疊在一起以形成複合光學 系統，其包含氟隙於其中或其間。作為另一實例，如圖1 8 中所示，兩層式光學元件161 〇之兩個或兩個以上陣列可堆 璺在一起但藉由一作用層丨82〇分開，以便使該陣列光學元 件能彼此（例如，在由雙箭頭丨830所示之一 z方向上）運 動。舉例而言，作用層1 820可由一壓電材料、一彈性體、 可購自Artificial Muscle, Inc.之電活性聚合物人造肌肉 137509.doc 200944836 (EPAM-)、一 MEMS裝置或能夠2及/或χ_γ運動之任何其他 構件形成。在此情形下，該結構基板之固體部分可形成在 金屬之至少部分處（或藉由使用穿過該結構基板之孔中之 金屬引線），以便提供與作用層1820之電接觸。此外，該 等結構基板之孔可經組態以促進容納形成於其中之光學元 件。舉例而言，該結構基板可經組態使得該孔之在中央處 薄於該結構基板之頂面及底面附近，其將使得難以拉出用 於形成該等光學元件之材料。舉例而言，若使用此一經定 开> 之孔，則在該孔之底部被填充有材料之情況下更難以從 頂部拉出形成該光學元件之材料。 在一替代實施例中，該等製造基座之一者可經組態作為 無法配裝在该結構基板内部之平坦模具。在此情形下， 所得光學元件可用該結構基板之孔懸置或鄰近於該孔且被 設置為與該結構基板之一側齊平。圖21顯示一懸置透鏡之 此一實施例，其中該懸置透鏡從該孔凸出。如圖21中所 示，一製造基座2108經組態使得製造基座2108之一第一光 學輪廓表面2109在與該結構基板1900之一頂面2111接合時 對準於該頂面2111處或該頂面2111附近。互補地，一製造 母體2110包含一第二光學輪廓表面2112，第二光學輪廓表 面2 112在與該結構基板1900之一頂面2111接合時亦被對準 於該頂面；2111處或附近。製造基座2108及製造母體2110經 組態以與結構基板1900配合，以便可形成藉由一膜21 06而 支撐於孔2104内及頂面2111附近之一光學元件2102。如在 圖21中可見，光學元件2102至少部分從孔2104凸出，使得 137509.doc -12- 200944836 例如當結構基板1900對準接觸於具有或不具有懸置透鏡之 一第一結構基板時，可將光學元件2102「套疊」至該第二 結構基板之孔（及可能套疊至包含於其令之懸置透鏡）中。 圖22顯示一種形成一懸置透鏡之製程22〇〇。在步驟221〇 中，接合一第一製造基座與一結構基板，該結構基板包含 穿過其之至少一孔。在步驟222〇中，將一光學材料沈積於 β亥第製造基座上及該孔内。在步驟2230中，接合一第二
製造基座與該基板，使得該光學材料係在該孔内予以定 形在步驟2240中，將5亥光學材料固化以形成藉由一膜而 懸置於該孔内之一光學元件。 在本文中，認識到如上所述之膜組態可提供許多優點， 包含（但不限於）·· 減少或消除對間隔晶圓之需要； 允許該等懸置透鏡沿光學路徑（例如，在圖18中之Ζ 1830上）之任意/可調整定位； 藉由在其製造中使用-直接的基板對母體介面 該等所懸置透鏡進行準確ζ定位； 勺對 藉由使用障壁體’減少或消险雷成^处旦上 透枬徊… n嫌電磁能量在該光學路徑中 透過一個或多個基板傳輸； τ 根據理想特徵及特定庫 許使用透明、不透明1 电性及/或金屬性結構基板； 等 控制該等光學元件之熱膨脹； 提供-防潮障壁以保護該等光學元件；及 消除對該等光學亓杜& β , 學疋件與該感測器之間的一玻璃蓋的需 137509.doc 13 200944836 要。 此外，與光學元件係直接堆疊於彼此之頂部上或支撑於 一基板上之現有的分層透鏡結構比較，在該膜組態中之各 透鏡允許兩個空氣至聚合物介面。因此，增加在各介面的 折射率之差，其在光學設計中提供進一步的靈活性。 圖23顯示藉由膜2320(直徑為2毫米）而懸置於一孔233〇 内之一光學元件2310(直徑為0.6毫米）之一數位顯微鏡影像 2 3 〇 〇。光學元件2 3 1 〇及膜2 3 2 0係根據下列例示性程序予以 製造： 1·施配一光學黏合劑（例如一在商業上可購得之可1；¥固 化黏合劑）於製造基座上，該基座與具有孔之結構基板耦 接； 2.使用一 600瓦特的UV泛光源（fi〇od source)，將該光學 黏合劑曝露120秒；及 3·在空氣中於15〇t下將該光學黏合劑退火三小時以實 現完全固化。
光學元件2310之表面量測指示一均勻球形，元件231〇之 頂點位於膜2320之平面上方約45微米處。光學元件23ι〇之 直徑為孔2330之直徑之約30%，其提供充足的清晰孔以穿 過其中傳輸充分的電磁能量。 在不脫離本發明之範圍下， 作以上所述之改變及其他。因 述中或顯示於隨附圖式中之内 制性。下列申請專利範圍旨在 可在本文所述之影像系統中 此，應注意，包含在以上描 容應被理解為闡釋性而非限 涵蓋描述於本文中之所有一 137509.doc 14 200944836 般及特定特m本方法及㈣之 言上可稱其為落在申請專利範圍内。的所有陳述，在語 【圖式簡單說明】 圖1顯示-例示性、經精確加工的 =成其光學元件之複數個部件及複數個對準料Γ3用 圖2顯示光學元件之—例示性陣列 加工的製造母體而形成； …、 逑精確 ❹ ❹ 圖3顯示分層的光學元侔 一丑学疋件之—例示性陣列，其係支揮於 /;、同基底上且係利用複數個經精確加工的製造母體而形 圖4至圖6緣示一種用於形成分層的光學元件之一陣列之 Γ示性方法’該陣列係支揮於—共同基底上且係利用複數 個經精確加工的製造母體而形成； 圖7顯示根據-實施例之—例示性結構基板之一部分； 圖8顯示根據-實施例之_精確製造基座之—部分，其 係經組態以與該例示性結構基板配合； 八 圖9至圖16繪示根據一實施例之一種用於以一膜組態形 成分層的光學元件之一陣列之例示性方法； 圖17顯示根據一實施例之以膜組態之分層的光學元件之 兩個陣列之一部分，將其顯示於此以說明一配置，其中該 兩個陣列係堆疊於彼此之頂部及一感測器陣列上以便於精 確的z軸對準； 圖18顯示根據一實施例之以膜組態之分層的光學元件之 兩個陣列之一部分，將其顯示於此以說明一配置，其中該 137509.doc •15- 200944836 兩個陣列係利用一設置於其間之作用層而堆疊以便於可調 整的Z軸對準； 圖19顯示具有複數個孔及膜懸置光學元件之一結構基板 之一俯視圖； 圖20顯示貫穿圖19之該結構基板及膜懸置光學元件之一 部分之一橫截面圖； 圖21顯示一實施例中之一懸置透鏡，其從一結構基板之 一孔凸出； 圖22顯示根據一實施例之一形成一懸置透鏡之製程；及 圖23顯示構造一例示性膜懸置透鏡之實驗結果。 【主要元件符號說明】 100 製造母體 110 部件 120 對準部件 2〇〇 光學元件210之一陣列 210 光學元件 225 共同基底 300 陣列 310 分層的光學元件 410 共同基底 420 真空吸盤 422 V溝槽 430 第一製造母體 432 凸起對準部件 137509.doc -16 - 200944836 434 第一光學元件之部件 440 第一材料 530 第二製造母體 532 凸起對準部件 534 第二光學元件之部件 * 540 第二材料 . 630 第三製造母體 632 凸起對準部件 ❿ 634 第三光學元件之部件 640 第三材料 700 結構基板 720 孔 725 結構基板700之一第一側 730 結構基板700之一第二側 800 結構基板700之一部分 810 第一製造基座 811 側翼 813 基板接合表面 ' 820 光學輪磨表面 - 830 凸出部 840 溢出表面 841 溢出區域 910 第一光學材料 1010 第二製造基座 137509.doc -17- 200944836 1013 側翼接合表面 1015 光學元件 1016 膜 1040 溢出表面 1041 溢出區域 1015 光學元件 1016 膜 1310 第二光學材料 1315 光學元件 1316 膜 1410 第三製造基座 1610 光學元件 1620 感測器陣列 1625 障壁體 1630 入射光 1640 虛線略圖 1650 虛線略圖 1660 虛線略圖 1820 作用層 1830 雙箭頭 1900 結構基板 1902 光學元件 1904 孔 1906 膜 137509.doc •18- 200944836
1908 製造基座 1910 製造基座 1912 光學輪廊表面 1914 膜接合表面 1916 側翼 1918 基板接合表面 1920 内表面 1922 固持部件 2102 光學元件 2104 2106 膜 2108 製造基座 2109 第一光學輪廓表面 2110 製造母體 2111 頂面 2112 第二光學輪廓表面 2300 數位顯微鏡影像 2310 光學元件 2320 膜 2330 孔 137509.doc -19·
Claims (1)
- 200944836 七、申請專利範圍： 1· 一種膜懸置光學元件，其包括： 一結構基板，其包含界定於其中之複數個孔；及 藉 第一光學元件之一陣列’該等第—光學元件之各者係 由膜而懸置於該等孔之一者内。 其中所有該等第一光學 2.如請求項丨之膜懸置光學元件， 元件相同。 ❹ 3·如請求項1之膜懸置光學元件 形、橢圓形或圓形。 其中該等孔之各者為矩 4.如請求^之膜懸置光學元件，#中該等第—光學元件 係由一可固化材料形成。 5·如請求们之膜懸置光學元件，其進一步包括用以阻止 雜散光穿過該膜之障壁體。 6·如請求们之膜懸置光學元件，其進一步包括第二光學讀之-陣列，該等第二光學^件之各者係藉由膜而懸 置於該等孔之一者内。 7.如請求項6之膜懸置光學元件’其中各孔之第一及第二 光學元件接觸且無空間於其間。 "月求項7之膜懸置光學元件，其中各孔之第一及第二 光學元件不接觸。 9’如哨求項7之膜懸置光學元件，其中該結構基板包括機 械耦接在一起之至少兩個結構基板。 1〇.:請求項9之膜懸置光學元件，其進一步包括在該兩個 、。構基板之間之一作用層，其係用以改變該等第一與第 137509.doc 200944836 二光學元件之間的光學間隔。 11. 如請求項1之膜懸置光學元件，其中 丹ΤΑ寻第—透鏡之各 者之直徑小於該等孔之各者之直徑。 12. —種用於支撐一光學元件之膜，其包括： 固化光學材料，其將由相同的固化光學材料製成之一 光學元件支撲於一基板之—孔内。 13. —種懸置透鏡，其包括： 一膜，其係由一固化光學材料形成且懸置於—基板之 · 一孔内；及 一光學元件，其係由該固化光學材料形成且藉由該膜 而支撐於該基板之該孔内。 14. 一種形成一懸置透鏡之製程，其包括： 接合一第一製造基座與包含至少一孔之一基板； 將第一光學材料沈積於該第一製造基座上及該孔内； 接&第一製造基座與該基板，使得該第一光學材料 係在該孔内予以定形；及 將該第一光學材料固化以形成藉由膜而懸置於該孔内 ❹ 之一第一固體光學元件。 15. 如請求項14之製程，其進一步包括在接合該第二製造基 座與該光學材料之同時，引導過剩的光學材料離開該 孔。 μ . 16. 如請求項14之製程，其進一步包括將一第二光學材料沈 積於該第一固體光學元件上及該孔内；接合該結構基板 與一第三製造基座；及將該第二光學材料固化以形成藉 137509.doc -2 - 200944836 由膜而懸置於該孔内之一 晚鄰的第一及第二固體光學透 鏡總成。 17. 如請求項14之製程，其進—步包括· 接合一第三製造基座與—笸_ 第一基板’該第二基板形成 至少一第二基板孔； 將第二光學材料沈積於該第三製造基座上及該第二基 板孔内； ❿ 接合一第四製造基座與該第- 他巧―杜 欢罘一基板，使得該第二光學 材料係在該第二基板孔内予以定形； 將該第二光學材料固化以形成藉由膜而懸置於該第二 基板孔内之一第二固體光學元件；及 將該第一及第二基板趣技A h 祸接在一起，使得該第一基板孔 與該第二基板孔對準以沿一共同光學路徑形成兩個間隔 分開的懸置光學元件。 18. 如凊求項17之製程’其進_步包括：將一作用層整合於 該第一結構基板與第二結構基板之間；及致動該作用層 以改變該第-固體光學元件與第二固體光學元件之間且 沿該共同光學路徑之光學間隔。 19 一種製造基座，其包括： 第一單體結構，其具有第一橫截面尺寸之一凸出部及 =橫截面尺寸之一側翼，該第二橫截面尺寸大於該第 榼截面尺寸，該凸出部在其末稍端形成一膜接合表面 及一光學輪廓表面，該側翼形成平行於該膜接合表面之 -基板接合表面’其t將該凸出部定位於一基板之一孔 137509.doc 200944836 内’同時接合該基板與該基板接合表面，而允許將光學 材料沈積於該膜接合表面及光學輪廓表面上，及後續固 化該光學材料。 20.如請求項19之製造基座，其進一步包括一個或多個額外 的相似製造基座，該等基座係用於同時接合該基板之多 個孔’以同時在該等製造基座之各膜接合表面及光學輪 廓表面上沈積及固化光學材料。 137509.doc
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