201138024 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於在部分製造之積體電路上形成材料層的方 法°特定而言’本發明係關於在銅線内形成保護蓋以便改 進鑲嵌互連件之電遷移性質的方法。 【先前技術】 鑲敌處理為一種用於在積體電路上形成金屬線之方法。 其涉及在介電層（層間介電質）中所形成之溝槽及介層孔中 形成嵌入金屬線。鑲嵌處理通常為較佳方法，因為其需要 比其他方法少之處理步驟且提供較高良率。其亦尤其良好 適合於諸如銅等不能容易被電漿蝕刻圖案化之金屬。 在典型之鑲嵌製程流程中，金屬沈積至經圖案化之介電 質上以填充介電層中所形成之介層孔及溝槽。所得金屬化 層通常直接形成於承載主動器件之層上，或形成於下伏 (lower-lying)金屬化層上。介電質擴散障壁材料之薄層（諸 如，碳化矽或氮化矽）沈積於鄰近之金屬化層之間，以防 止金屬擴散至介電質之大部分層中。在一些情況下，碳化 矽或氮化矽介電質擴散障壁層在層間介電質（ild)之圖案 化期間亦充當蝕刻終止層。 在典型的積體電路（1C)中， ’若干金屬化層彼此層疊地沈
而連接至下伏或上覆層之導電路徑。
153514.doc 201138024 寸持續縮減而變得愈來愈明顯。當前，在9〇 11111技術節點 處以及在更先進節點處，非常需要可提供具有改進之使用 壽命及可靠性之互連件的互連件製造方法。 【發明内容】 在I c製造期間遇到的一個具有挑戰性的問題為電遷移故 障。當互連件所經歷之高電流密度導致金屬原子隨電流遷 移且因此導致在互連件内形成空隙時發生電遷移。最終， 空隙之形成可導致器件故障，稱為電遷移故障。在IC器件 之正在進行_之小型化期間，互連件尺寸減小，且互連件 經歷較大電流密度。因此，電遷移故障之可能性隨著此器 件小型化而增加。雖然銅具有比鋁大的電遷移電阻（甚至 在銅互連件中），但電遷移故障在45 nm技術節點處以及在 更先進節點處成為重大的可靠性問題。 本文提供能夠改進互連件之電遷移效能的駐留於金屬線 與介電質擴散障壁（或蝕刻終止）層之間的界面處之保護 蓋。亦描述形成此類蓋之方法。有利的是，所描述之保護 蓋可形成為駐留於金屬線之上部部分内處於其與介電質擴 散障壁層之界面處的非常薄的層，而不會顯著增加互連件 電阻。保護罩蓋層可包括（例如）互連件金屬（諸如銅）與摻 雜兀素（諸如硼、鋁、鈦等）之固溶體、合金或化合物。在 許多實施例中’選擇將與互連件金屬形成合金及/或將聚 集於era粒邊界處的摻雜元素為有利的，藉此減少互連件金 屬原子之遷移。 所提供之方法藉由在暴露之金屬線上沈積摻雜劑產生材 153514.doc 201138024 料（例如，含有 B、Τί Μ + _LL ,,·、 材料）的源層，將該源層之 上。以分轉化為鈍化層（例如，氮化物或氧化物），同時允 許摻雜劑產生源層之未改質部分保持與互連件金屬接觸， ::後允許來自源層之未改質部分的摻雜劑擴散至互連件 金屬中及/或與互連件金屬反應，而實現對保護蓋之厚声 的控制。P個實施例中，引人至互連件t之摻雜劑的量 又與互連件接觸而駐留的源層之未改質部分的厚度限制。 在其他實施例中，引人至互連件中之摻雜劑的量藉由控制 擴散及/或反應期間之溫度來控制。 有利的是’以此受控方式形成之薄保護蓋不會顯著增加 互連件之電阻，如當量高度反應性或易擴散之掺雜劑 (例如’ Si或Ge)沈積至互連件金屬上時通常無意發生的。 另卜如將把述，所提供之方法適合於由以極少選擇性或 零選擇J·生/尤積至暴露之金屬及介電質兩者上的摻雜劑產生 源層形成保護罩蓋層。應理解，此等方法亦可在含摻雜劑 之源層僅選擇性地沈積至金屬層上而不顯著沈積至介電質 上的彼等情況中使用。 根據一個態樣’提供一種形成半導體器件結構之方法β 在一個實施例中，該方法包括以下操作：（a)使具有暴露之 第一金屬層（例如’銅或銅合金）及暴露之介電層的基板與 包含棚或第二金屬（例如，Al、Hf、Ti、Co、Ta、Mo、 Ru、Sn、Sb等）之化合物接觸，以在介電質及第一金屬兩 者上沈積包含硼或第二金屬之源層；（b)對至少在第一金屬 之區上之源層的頂部部分進行改質以形成鈍化層，其中未 153514.doc 201138024 經改質源層之-部分保持與第—金屬層接觸；及⑷允許來 自未’.星改質源層之有效成分擴散至第一金屬中及/或與第 金屬反應，並在第一金屬層内形成保護蓋。 在一個實施例中，基板為含有内嵌於層間金屬介電層中 之暴露銅線的鑲嵌結構。在沈積源層之前，基板可視情況 預先清潔以自銅表面移除污染物（例如，氧化銅）。舉例而 5，可藉由將基板暴露於電漿中之還原氣體（例如，^或 NH3)而執行預先清潔。可接著藉由在某一溫度下使基板與 揮發性摻雜劑前驅體接觸而沈積含有摻雜劑源（有效成分） 的源層。通常（儘管並非必需），在無電漿放電的情況下用 熱方法執行源層之沈積。預先清潔及源層之沈積可在無真 空破壞的CVD裝置中執行（例如，在相同處理腔室中 在一個實施例中，藉由在無電漿放電的情況下在約2〇〇_ 4〇〇°c之間的腔室溫度下使基板與含有B2H6(或其他揮發性 之含硼前驅體）及惰性載氣之氣體混合物接觸而沈積含硼 源層。沈積腔室中之壓力維持在約0.5-10托的範圍内，且 氣體混合物中之濃度範圍在約0.5至2〇體積％之間。在 此些條件下，將含硼源層沈積至暴露之介電層上以及基板 之金屬部分上。發現源層含有B-H鍵且因此將稱為ΒΗχ 層。 在許多實施例中，歸因於金屬表面處之較高前驅體分解 速率’與其介電質部分相比，較大量之摻雜劑源材料沈積 於基板之金屬部分上。因此，在此等實施例中，沈積於金 屬部分上之源層的厚度大於沈積於介電質上之源層的厚 153514.doc 201138024 度。然而’對於許多含硼前驅體且對於含金屬前驅體而 言，金屬與介電質之間的完全沈積選擇性通常難以獲得。 有利的是’所描述之沈積方法不需要用於源層之沈積的絕 對金屬/介電質選擇性。 在一些實施例中，藉由在適合於引起前驅體分解及基板 上含有金屬之層之沈積的溫度及壓力下使基板與揮發性含 金屬前驅體（諸如，金屬齒化物、金屬氫化物、金屬羰基 合物或揮發性有機金屬化合物）接觸而沈積含金屬源層。 在許多情況下’使用如上文針對bhx層之沈積列舉的類似 溫度及壓力範圍β熟習此項技術者將理解如何針對不同類 型之金屬前驅體而最佳化沈積條件。 許多金屬適合作為用於形成保護蓋之摻雜劑。此等金屬 包括形成固溶體、合金或與互連件金屬之金屬間相的金 屬’以及能夠在互連件中在晶粒邊界處擴散及聚集的金 屬。舉例而言，A1、Hf、Ti、Co、Ta、Mo、RU、Sn及 Sb 可用作保護蓋之組分。亦可採用此等金屬彼此或與其他金 屬之合金及固溶體。用於含鋁源層之合適之揮發性前驅體 包括（但不限於）三曱基鋁、氫化二曱基鋁、三乙基鋁、三 異丁基銘及參（二乙胺基）铭。用於其他金屬之沈積的合適 之前驅體包括（但不限於）雙（環戊二烯）鈷、乙醢丙酮鈷 (Π)、肆（二甲胺基）姶、肆（二乙胺基）铪、肆（二甲胺基） 在目、肆（二甲胺基）鈦（TDMAT)、肆（二乙胺基）鈦（TDEAT)、 肆（乙基曱基胺基）鈦、雙（二乙胺基）雙（二異丙基胺基）鈦、 五（二甲胺基）钽、第三（丁基三亞胺基）（二乙胺基）鈕 153514.doc 201138024 (TBTDET)、五（二乙胺基）组、雙（乙基環戊二烯说二 甲胺基）録及四甲基錫。 如所提及，在沈積含有侧或金屬之源層之後，其頂部部 刀經改質Μ形成鈍化層，例如含有氮化物或氧化物之層， 而其底部部分保持未經改f且與互連件金屬接觸。在許多 實施例中，在源層在金屬上比在介電質上沈積至更大厚度 的it況下’改質操作將駐留於介電質上之源層的部分完全 轉化為含有具有低導電率之材料（例如，BN〆八叫等）的 鈍化層。執行此類改質以防止鄰近互連件之間的短路。此 外，駐留於金屬線上之源層的部分改質用以控制駐留於層 中的摻雜劑的量’且提供控制保護蓋之厚度並因此控制互 連件電阻率的途徑。 可使用許多製程來形成純化層。在—個實施例中藉由 在電漿放|中將基板暴露於含氣反應物而對源層進行改 質。舉例而言，可使用νη3、Ν2Η4、胺、Ν2及其混合物。 在一特定實例中’藉由在電聚中使基板與ν2_η3之混合 物接觸而對ΒΗΧ源層進行改f以形成含有ΒΝΧ之鈍化層: 2其他實施例中，藉由在電漿放電中將基板暴露於含氧化 合物（例如，02、Ν20或C〇2)而對源層（例如，含金屬源層） 進行改質，以形成含有氧化物（例如，氧化鋁、氧化鈦等） 之鈍化層。在其他實施例中，在電漿中以含有碳之反應物 對源層進行改質以形成含有碳化物或碳氫化合物（例如， BCX、CxHy專）之純化層。 經改質層之厚度可按需調整。藉由控制經改質層的厚 153514.doc 201138024 度’控制含有摻雜劑源之剩餘未經改質層的厚度，從而亦 產生對互連件内之保護蓋的厚度的控制。舉例而言，駐留 於金屬線上之源層厚度的約20-60%之間可經改質以形成鈍 化層’同時留下未經改質之含有摻雜劑的部分與金屬線接 觸。在一個實例中’駐留於金屬線上之源層具有約5〇_5〇〇 入之厚度。在源層厚度之約20-60%之間被轉化為鈍化層之 後’未經改質之源層的約20-400 A之間保持與金屬線接 觸。 接下來’在形成經改質層之後’允許來自未經改質之源 層之有效成分擴散至互連件金屬中及/或與互連件金屬反 應’並在互連件金屬之層内形成保護蓋。在一些實施例 中，在形成保護蓋之前，首先在源層内產生有效成分。取 決於有效成分之性質，多種條件可用於產生有效成分並促 進其擴散至互連件金屬中。在一些實施例中，將基板暴露 於高溫持續預定時間量促進在金屬互連件内形成保護蓋。 在其他實施例中，保護蓋之形成在容許有足夠時間用於摻 雜劑擴散之後在室溫下發生。 在些實施例中，在形成鈍化層之後，將蝕刻終止層或 ^電質擴散障壁層（例如，包含經摻雜或未經掺雜碳化石夕 或氮化矽之層）沈積至鈍化層上。在其他實施例中，鈍化 層本身可充當蝕刻終止層或介電質擴散障壁層，且不需要 獨立的银刻終止層。在後一實施例中，將金屬間介電質直 接沈積至鈍化層上。 在一些實施例中，在沈積介電質擴散障壁或姓刻終止層 153514.doc 201138024 之後執行藉由允許摻雜劑擴散至互連件金屬中及/或與互 連件金屬反應而進行的互連件金屬之摻雜。舉例而言，基 板可在蝕刻終止層（例如，碳化矽層）已經沈積之後經加熱 至至少約1 oo°c以促進形成保護蓋。 有利的是，在一些實施例中，在一個模組中在無真空破 壞的情況下依序執行整個蓋形成製程及擴散障壁（或蝕刻 終止）沈積製程。具有一個腔室内之多個台或具有多個腔 室之PECVD模組裝置為用於此沈積之合適裝置。值得注意 的疋，含金屬層及介電層兩者均可在一個PEcvd裝置中在 無真空破壞的情況下依序沈積。舉例而言，在一個實施例 中，該製程涉及沈積含金屬源層、將源層之頂部部分轉化 為鈍化層、允許有效成分在金屬互連件内形成保護蓋，以 及形成介電質擴散障壁或蝕刻終止層，其中所有操作均在 一個裝置中在無真空破壞的情況下執行。 使用此等方法形成之器件可具有改進的電遷移性質，且 亦可展現金屬/介電質擴散界面處之較大黏著力。 根據另一態樣，提供一種半導體器件。該半導體器件包 括介電質材料區及内嵌於該介電質材料中之銅或銅合金 區。該器件進一步包括包含ΒΝχ之層，該層安置於介電層 上且安置於銅或銅合金區上。該器件進一步包含銅或銅合 金區内之含硼蓋。 根據另一態樣，提供一種用於在部分製造之半導體器件 之金屬4分上或内形成保護蓋的裝置。該裝置包括：（約處 理腔室’該處理腔室具有用於引入反應物之入口 ；㈨晶圓 153514.doc 11 201138024 支撐件’該晶圓支撐件用於在保護蓋形成期間將晶圓固持 於適當位置；及（C)控制器，該控制器包含用於沈積保護蓋 之程式指令》該等指令包括用於以下操作之指令：⑴在金 屬之暴露部分上沈積包含棚或第二金屬之源層並在晶圓基 板上沈積介電質；（ii)對有效成分層之頂部部分進行改質 以形成鈍化層；及（iii)允許源層中之有效成分擴散至基板 上之金屬中及/或與該金屬反應並形成保護蓋。在一些實 施例中，該裝置為PECVD裝置。可在多台裝置之一個台處 依序執行所敍述之操作。在其他實施例中，可在該裝置之 第一台處執行一些操作，而可在不同台處執行其他操作。 一個台可經組態以用於在第一溫度下執行之製程，而另一 台可經組態以用於在不同溫度下執行之製程。舉例而言， 可在第一溫度下在多台裝置之一個台處執行源層之沈積， 而可在不同台處在不同溫度下執行源層之後續改質。基板 可在無真空破壞的情況下在台之間轉移。在其他實施例 中’可在多腔室裝置中類似地實施該製程，其中基板可在 不將基板暴露於周圍條件的情況下在腔室之間轉移。 在另一態樣中，提供一種在無氧化物銅表面上形成含鋁 保護蓋之方法。該方法之特徵可在於以下操作：（a)使具有 暴露之無氧化物銅或銅合金層及暴露之介電層的基板與包 含IS之化合物接觸，以在介電質及銅或銅合金層兩者上形 成包含鋁之第一層；（b)以化學方法對第一層之至少一部分 進行改質以形成包含銘之純化層；及（c)在鈍化層上沈積介 電層。在某些實施例中，操作（a)、及中之每一者在 153514.doc -12· 201138024 化學氣相沈積（CVD)裝置中執行。此外，在某些實施例 中，在（c)中沈積之介電層為蝕刻終止介電層。該蝕刻終止 介電層可例如為諸如氮化石夕或碳化石夕等經推雜或未經推雜 材料。在另一實施例中，在⑷中沈積之介電層$直接沈積 至鈍化層上之層間介電質（ILD)層。 在某些實施例中’該方法亦包括⑷之前的額外操作。特 定而言，基板表面經清潔以自銅或銅合金之表面完全移除 氧化銅。清潔技術之實例包括（1)直接電漿處理，（2)遠端 電聚處理，（3) UV處理，及⑷在包含n2、nh^H2中之至 少一者的氣體中之熱處理。 在以上描述之實施财，操作⑷可涉及在無電聚的情況 下在至少約35〇°C之基板溫度下（例如，至少約400°C下）使 基板與有機銘化合物接觸。作為一實例，有機鋁化合物為 三甲基鋁。 在某些實施例中，操作⑻涉及在不允許铭大量擴散至 銅層中的情況下實質上完全使駐留於銅或銅合金上之第一 層鈍化。或者，操作涉及在允許鋁部分擴散至銅層中的 情況下部分使駐留於銅或銅合金上之第—層鈍化。 在某些實施例中，在（b)中使該層鈍化包含形成包含ai_ N鍵之實質上固定的化合物。在特定實施例中純化涉及 用3氮》式劑處理基板’且該處理可例如為直接電漿處理、 遠端電聚處理、UV處理或熱處理。在更特定之實施例 中’該處理涉及在無電裂的情況下將基板暴露於含氣試 劑。在例如介電質為ULK介電質的情況下，此後—處理可 153514.doc 201138024 為適當的。 在另外其他實施例中，在（b)中使該層鈍化包含形成包 含A1-0鍵之實質上固定的化合物。此製程可涉及用含氧試 劑處理基板，且該處理可例如為以下中之—者：直接電浆 處理、遠端電漿處理、UV處理或熱處理。在特定實施例 中該處理涉及在無電漿的情況下使基板與含氧試劑接 觸。當例如介電質為ULK介電質時，此處理可為適當的。 含氧試劑之實例包括〇2、N2〇、c〇2及〇3。 本發明之另一態樣係關於用於形成半導體器件結構之裝 置，S亥裝置可包括以下特徵：（勾處理腔室，該處理腔室具 有用於引入氣態或揮發性之含金屬反應物的入口 ；（b)晶圓 支樓件’該晶圓支樓件用於在處理腔室中在晶圓基板上沈 積含金屬層期間將晶圓固持於適當位置；及（c)控制器，該 控制器包含程式指令。該等程式指令可包括用以執行以下 刼作的指令：⑴使具有暴露之無氧化物銅或銅合金層及暴 露之介電層的基板與含鋁反應物接觸，以在介電質及第一 金屬兩者上沈積包含鋁之第一層；及（ii)以化學方法對第 一層之至少一部分進行改質以形成包含鋁之鈍化層。 下文將參看相關聯之圖式更詳細地描述本發明之此等及 其他特徵及優點。 【實施方式】 引言及综述 隨著器件尺寸不斷減小，且互連件所經歷之電流密度不 斷增大，電遷移正成為1C製造中之重大可靠性問題。電遷 153514.doc • 14 · 201138024 為以電流遷移金屬原子且在互連件内形成空 今屬Γ;之形成可隨後導致器件故障。金屬原子之遷移在 :散障壁界面處以及沿著晶粒邊界特別顯著。當 月’ 9g⑽及45 nm技術節點處，需要用於改進電遷移效 能之方法。雖然可藉由將掺雜劑元素引人至互連件中來改 進電遷移一效能’但此類摻雜劑通常具有比互連件金屬(例 如’ cu)高的電阻率，且可顯著增加互連件電阻。因此， 對互連件金屬之^受控的摻雜可能導致具有*可接受高電 阻之互連件。 本文提供—種用於摻雜劑之受控引人之方法。該方法涉 及藉由將受控量之摻雜劑引入至互連件而在金屬互連件内 形成保遵蓋。因此’非常薄的保護蓋可形成於金屬線之上 部部分内，通常處於金屬與介電質擴散障壁（或蝕刻終止） 層之間的界面處。保護蓋較佳（但不—定）包括互連件金屬 與摻雜劑之固溶體、合金，或化合物。舉例而言，銅可用 B、A卜 Hf、Ti、Co、Ta、Mo、RU、Sn 或 Sb來摻雜。此等 摻雜劑亦可彼此組合使用，或與其他元素組合使用。一般 而言，可使用多種摻雜劑。能夠與互連件金屬形成固溶 體、合金及化合物的摻雜劑以及能夠在金屬/擴散障壁界 面處及在互連件内之晶粒邊界處累積的摻雜劑為尤其較佳 的。 雖然本文中所描述之保護蓋以及用於形成此類蓋之方法 對於改進互連件之電遷移效能而言為有利的，但對所描述 之器件以及製程之使用並不限於此特定應用。舉例而古， 153514.doc -15· 201138024 保護蓋可用以改進金屬線與介電質擴散障壁層或蝕刻終止 層之間的黏著，且用以防止互連件金屬在ic器件製造期間 氧化。 +將在銅雙鑲嵌處理之背景下說明在互連件中形成保護 蓋應理_纟文中所揭示之方法可用於其他處理方法中 (包括單鑲嵌處理）’且可應用於除銅之外的多種互連件金 屬。舉例而言’此等方法可應用於含鋁、金及銀之互連 件。 圖1A至圖1D中所呈現的為在雙鑲嵌製造製程之各個階 段處在半導體基板上創造之器件結構的橫截面圖。圖1E中 展不藉由雙鑲嵌製程創造之完成結構的橫截面圖。本申請 案中所使用之「半導體基板」* P艮於1C器件之半導體部 刀，而疋經廣泛定義為含半導體之基板。參看圖丨八，說明 用於雙鑲嵌製造之部分製造之1(]結構1〇〇的實例。如圖Μ 至圖ID中所說明之結構1〇〇為半導體基板之一部分，且在 二實施例中可直接駐留於含有主動器件（例如，電晶體） 之層上。在其他實施例中，其可直接駐留於金屬化層上， 或駐留於併入有導電材料之其他層（例如，含有記憶體電 容器之層）上。 圖1A中所說明之層1〇3為金屬間介電層，該金屬間介電 質可為二氧化矽，但更通常為低!^介電質材料。為了使金 屬間介電質堆疊之介電常數最小化，將具有小於約3 5、 較佳小於約3.0且常低於約2.8之k值的材料用作層間介電 質。此等材料包括（但不限於）熟習此項技術者已知之摻雜 153514.doc 201138024 雜^氧化#氧切含有有機物之低冰料及多孔之經摻 料。可例如藉由咖或藉由旋塗方法來沈 =料。層103可經_有線路徑(溝槽及介層孔)，在 分導電金屬擴散障壁⑼，隨後嵌入銅導 带1為銅或其他行料電材料提供半導體基板 之導電路徑，所以接近金屬線之下伏石夕器件及介電層必須 受：護以免受金屬離子(例如，Cu2+)影響，否則金屬離子 可&擴散或漂移至發或層間介電質中’且導致其性質降 級使用若干類型之金屬擴散障壁以便保護IC器件之介電 層。可將此等類型劃分為含有#分導電金屬之層（諸如， 1〇5)及介電質障壁層（將參看圖⑺對其進行進一步詳細描 述）。用於部分導電擴散障壁1〇5之合適材料包括諸如钽、 氮化鈕、鈦、氮化鈦等材料。通常藉由pvD或ald方法將 此等材料沈積於具有介層孔及溝槽之介電層上。 可藉由多種技術形成鋼導電路線丨〇7，該等技術包括 PVD、電鍍、無電沈積、cVD等。在一些實施中，形成銅 填充物之較佳方法包括藉由PVD沈積銅之薄晶種層，且隨 後藉由電鍵沈積塊體銅。由於在沈積銅時通常會有覆蓋層 (overburden)駐留於場效應區中’所以需要化學機械拋光 (CMP)操作來移除覆蓋層且獲得平坦化結構10〇。 接下來，參看圖1B，在已完成結構100之後，預先清潔 基板100之表面以移除污染物及金屬氧化物。在預先清潔 後，將含有有效成分之摻雜劑源層（含有硼或金屬之產生 摻雜劑之成分）沈積至銅線107上並沈積至介電質103上。 153514.doc •17· 201138024 接下來例如藉由對源層之氮化或氧化而將源層轉化為鈍化 層109。舉例而言，鈍化層可含有BNX、B〇x、Aio、Ti〇 X A 1 V·/ χ 等在；l電質區上將源層完全轉化為非導電鈍化層以防止 鄰近金屬線107之間的短路。源層之直接駐留於銅線1〇7上 之部分僅部分轉化為鈍化層，從而允許未經改質之源層之 刀保持與銅接觸。在允許來自源層之未經鈍化之部分 的摻雜劑擴散至銅中及/或與銅反應後，保護蓋108形成於 金屬線107之頂部部分内。可藉由控制沈積於源層中之材 料的量藉由在源層之部分純化期間控制改質之程度以及 藉由控制在摻雜劑之擴散及/或摻雜劑與銅之反應期間所 使用之條件來控制保護蓋之厚度。保護蓋可包括（例如）銅 與B Al、Ti等之固溶體或合金。在一些實施例中，藉由 控制用於促進摻雜劑自源層進行擴散之溫度及時間來控制 合金或固溶體中之摻雜劑的量。將在以下部分中詳細描述 保護蓋及純化層之組份。 在一些實施例中，鈍化層亦用作擴散障壁層。在其他實 施例中，獨立的擴散障壁（或蝕刻終止）層沈積於鈍化層之 頂部上。通常，此類擴散障壁層包括經摻雜或未經摻雜之 碳化碎或氮化碎。 如圖1B中所描繪，膜1〇9可包括單一鈍化層（例如，ΒΝχ 或入1〇3{層）’或由鄰近於銅線107之鈍化層以及駐留於鈍化 層上之上部介電質擴散障壁層（例如，經摻雜之碳化石夕層） 組成的雙層。將在後續部分中參看圖2Α至圖2C詳細描述 該兩個實施例。膜109將被稱作Cu/介電質界面膜或簡稱為 153514.doc -18- 201138024 界面膜」。 在界面膜包括獨立的介電質擴散障壁層之實施例中，通 常藉由PECVO方法將介電質擴散障壁層沈積於鈍化層之頂 部上。在一個實施例中，在不破壞真空的情況下在一個 PECVD裝置中執行鈍化層之沈積、保護蓋1〇8之形成及介 電質擴散障壁層之沈積》界面膜1〇9亦可在後續鑲嵌處理 期間用作钱刻終止件。 再次參看圖1B，將雙鑲嵌介電質結構之第一介電層111 沈積至膜109上。此後為藉由PECVD方法將蝕刻終止膜113 可選沈積於第一介電層U1上。介電層ln通常由低让介電 質材料（諸如，針對介電層丨〇3而列舉之介電質材料）構成。 應注意，層111及103不一定具有相同的組份。 如圖1C中所描，♦，製程繼續，其中將雙鑲嵌介電質結構 之第二介電層115以類似於第一介電層lu的方式沈積至蝕 刻終止膜113上。隨後為抗反射層（未圖示）及CMP終止膜 117之沈積。第二介電層115通常含有低k介電質材料，諸 如上文針對層1()3及U1而描述之介電質材料。終止膜 117用以在後續之CMp操作期間保護金屬間介電質（細)層 115之脆弱的介電質材料。通常，CMP終止層經受盥擴散 障壁及⑽j終止㈣9及113類似的整合要求，且可包括基 於碳化矽或氮化矽之材料。 土 如圖1D至1E中所描緣，雙鎮丧製程繼續，纟中在第一 及第二介電層中触刻介層孔ιΐ9及溝槽Η卜使用標準微影 技術來#刻®1D中所說明之圖案。可使用熟習此項技術者 153514.doc 19 201138024 眾所周知之溝槽優先或介層孔優先方法。 接下來’如®1E中所料’如上文所描述之此等新形成 之介層孔及溝槽可塗覆有金屬擴散障壁123，金屬擴散障 壁123可含有障壁材料，諸如組、氮化组、氮化欽，或有 效地阻止銅原子擴散至介電層中之其他材料。 在已沈積擴散障壁123之後，施加銅晶種層（通常藉由 PVD製程），以使得能夠隨後用銅嵌入對該等特徵進行電 填充。例如藉由電填充來沈積銅層，且在CMp操作中移除 沈積於場中之多餘金屬，其經執行以使得CMp於CMp終止 膜117處終止。圖1E展示完成之雙鑲嵌製程，其中銅導電 路線124及125嵌入至（未描繪之晶種層）障壁123上之介層孔 及溝槽表面上。圖1E說明三個互連件，其中已用受控之方 式摻雜銅線。 若需要進一步之處理，則在圖2E中所描繪之結構的頂部 上形成類似於膜109之界面膜及類似於蓋log之保護蓋，且 隨後沈積新的金屬化層。 現在將參看圖2A至圖2C詳細說明保護蓋108及界面層 109之結構及組份。 器件結構 參看圖2A，說明部分1(：結構之實例橫截面圖。在此器件 中’形成於層間介電質201中之介層孔及溝槽上襯有擴散 障壁材料203 ’且被填充有銅或銅合金2〇5 ^銅線205之頂 部部分包括薄保護蓋207，薄保護蓋207駐留於銅線205與 鈍化層209之間的界面處。鈍化層209駐留於ILD層201及保 153514.doc -20- 201138024 濩蓋207兩者上，且與該兩個層接觸。介電質擴散障壁或 蝕刻終止層2U駐留於鈍化層211之頂部上。雖然為了保持 清晰性而未對其進行展示，但另一 ILD層駐留於介電質擴 散障壁或蝕刻終止層211之頂部上。鈍化層2〇9及擴散障壁 (或蝕刻終止)層211-起構成界面膜(如參看圖1B由層109所 說明），界面膜駐留於金屬/ILD邊界處。 在一個實施例中，層介電層2〇1具有介於約^刪- 10,000 A之間的厚度。層2〇1可包括多種ILD材料諸如熟 習此項技術者已知之低乂及超低k介電質。舉例而言，可使 用換雜破之氧切，或具有小於約2.以的有機介電質材 料。銅線205可具有介於約.1()，_人之間的厚度銅線 2〇5之較佳不多於約1〇%、更佳不多於約以被保護蓋佔據 (如藉由層厚度量測應理解，在許多實施财，保護蓋 將具有分級之組份，其中摻雜劑之濃度在鈍化層界面處為 最大的。保護蓋之容許厚度將取決於摻雜劑之電阻率… 般而言，根據所描述之方法來形成保護蓋，使得介層孔之 電阻偏移小於約10%、較佳小於約5%，且更佳小於約 3%。電阻偏移被量測為不具有蓋之互連件的電阻對蛵加 蓋之互連件的電阻的差異。在―些實施例中，#由形成厚 度不超過5GG A ’且較佳不超過⑽A之保護蓋來實現容 之電阻偏移。 應理解，不同的摻雜劑可以不同方式在鋼互連件内擴 散’且可在不同程度上影響互連件電阻。因此，上文提供 之數值用作個實例，且並不意欲將結構限於所提及的厚 153514.doc 201138024 度參數。舉例而言，某些摻雜劑可擴散至銅互連件中以在 整個銅線上沈積而不會形成不同的蓋，或在晶粒邊界處累 積及/或在其他界面處累積’例如在具有擴散障壁2〇3之銅 層205之界面處累積。有利的是，所提供之方法允許以受 控之量引入此類摻雜劑，使得互連件電阻得以控制，即使 在此等情況下可能不準確地界定層厚度。 可在保護蓋中使用許多摻雜元素。優先使用與銅形成固 ;谷體、合金或化合物之彼等摻雜劑，且優先使用可在銅晶 粒邊界處累積以及在銅與其他層的界面處累積之摻雜劑。 具有相對低電阻率之材料（諸如金屬）常是較佳的。此外， 不容易在低溫下（例如在低於約100。〇之溫度下）擴散至銅中 之材料亦常為較佳的。合適摻雜劑之實例包括但不限於 B、A卜 Hf、Ti、Co、Ta、Mo、RU、Sn及 Sb。一般而言， 需要選定之摻雜劑具有揮發性前驅體，使得可藉由CVD方 法執行沈積。因此，具有揮發性氫化物、羰基合物、鹵化 物及有機金屬前驅體之金屬摻雜劑通常為較佳的。可在高 達450°C之溫度下及大於約丨托之壓力下以氣相引入之化合 物可為合適的前驅體。 在特定實施例中，保護蓋2〇7包含銅及硼，或銅及鋁， 或銅及鈦。在一些實施例中，摻雜劑彼此組合使用。舉例 而。，保濩蓋207可包括銅、鋁及鈦，或銅與摻雜劑之其 他i D在些實施例中，上文所描述之摻雜劑與用於形 成保護性自對準緩衝（PSAB)層之材料（例如，諸如^心“、 CuGex SlNx及SiCx等材料）組合使用。在名為心等人之發 153514.doc •22· 201138024 明人於2007年3月20曰申請之標題為「用於鑲嵌互連件之 保護性自對準緩衝層（Protective Self-aligned Buffer Layers for Damascene Interconnects)」的共同擁有的美國專利申 請案第11/726,363號中、在名為Chattopadhyay等人之發明 人於2007年2月20日申請之標題為「用於鑲嵌互連件之保 護性自對準緩衝層（Protective Self-aligned Buffer Layers for Damascene Interconnects)」的美國專利申請案第 11/709,293號中，以及在名為van Schravendijk等人之發明 人於2004年11月3日申請之標題為「藉由形成自對準緩衝 層來保護Cu鑲嵌互連件（pr〇tection of Cu Damascene Interconnects by Formation of a Self-aligned Buffer Layer)」的美國專利申請案第10/980,076號中詳細描述了 此類層’所有該等申請案均以全文引用的方式且出於任何 目的而併入本文中。 在一個實施例中，駐留於比〇層201之頂部上以及駐留於 保護蓋207之頂部上的鈍化層209具有介於約50-500 A之間 的厚度。鈍化層通常含有防止鄰近之互連件之間的短路之 非導電材料。鈍化層通常含有經改質之摻雜劑，例如，其 可含有摻雜劑（硼或金屬）之氮化物、氧化物、碳化物、硫 化物、砸化物、磷化物及砷化物。此外，鈍化層可含有碳 氫化合物CxHy °在一個實施例中，鈍化層含有ΒΝχ β bNx 層也可包括氫’且在一些實施例中可包括其他元素。在另 一實例中’鈍化層含有金屬氧化物，諸如ΑΚ)χ、Hf〇x、
TiOx、CoOx、TaOx、Mo〇x、ru〇x、SnOjSbOx。 153514.doc •23· 201138024 如圖2A中所示’介電質擴散障壁或蝕刻終止層211駐留 於鈍化層之頂部上。在一個實施例中，層21丨具有介於約 50-500 A之間的厚度。習知地，曾將氮化矽及摻雜氮之碳 化矽（NDC)用於此應用。當前，具有比氮化矽低之介電常 數之材料常用作介電質擴散障壁。此等材料包括：富碳碳 化石夕材料’諸如Yu等人在2004年6月15日申請之共同讓渡 的美國專利申請案第10/869,474號中描述之富碳碳化矽材 料；Yu等人在2004年8月9曰申請之美國專利申請案第 10/91 5,11 7號以及Yu等人在2006年3月8日申請之美國專利 申請案第11/373,847號中所描述的摻雜硼之碳化石夕材料； 以及摻雜氧之碳化矽材料’例如Tang等人在2005年2月1 5 日發佈之美國專利第6,8 55，645號中描述的摻雜氧之碳化石夕 材料。在此段落中所提及的所有專利申請案均在此出於所 有目的並以全文引用的方式併入。在一些實施例中，層 211可含有若干子層，例如含有經摻雜及/或未經摻雜之碳 化石夕之子層，該等子層具有針對改進之擴散障壁及蝕刻終 止性質而調整之不同組份。舉例而言，障壁可包括未經摻 雜之碳化物的子層、摻雜氮之碳化物的子層及摻雜氧之碳 化物的子層的任何組合。該障壁可含有兩個子層、三個子 層或更多子層。在2004年6月15曰申請之美國專利申請案 第10/869,474號（2007年10月16日發佈之新專利第7,282,438 號）中呈現組合障壁層之實例，該申請案以全文引用的方 式併入本文中。一般而言，介電質擴散障壁層可包括經摻 雜或未經摻雜之碳化矽、氮化矽或碳氮化矽。 153514.doc •24· 201138024 在圖2A所說明之實施例中，層2〇9及211一起形成駐留於 兩個ILD層（頂部ild層未圖示）之間的界面層。 在某些實施例中，鈍化層209可用作擴散障壁或蝕刻終 止層，而不需要獨立的碳化矽或氮化矽層211。在圖⑼所 說明之此實施例中，駐留於兩個ILD層之間的界面層僅由 鈍化層209組成。舉例而言，某些金屬氧化物及金屬氮化 物可用作钱刻終止或擴散障壁層。 圖2C說明一實施例，其中摻雜劑或產生摻雜劑之化合物 的層208駐留於保護蓋207與鈍化層209之間，且與該兩個 層接觸。層208在銅線205上對準，且不在介電層2〇1上延 伸。層208可包括純摻雜劑或產生摻雜劑之化合物。舉例 而言’層208可包括ΒΗχ、A卜Ti、Ta、Hf、汕等。此層中 之金屬可為游離的或可與其他元素（諸如，H、c、N等）结 合。在一些實施例中，銅可向上擴散至層2〇8，從而與層 208中之摻雜劑形成合金、混合物或固溶體。在此等實施 例中，207/208雙層將用作保護蓋。一般而言，如本文中 所描述之保護蓋可在與周圍介電質2〇1相同之水平處完全 駐留於銅線内，或可包括駐留於周圍介電質2〇1之水平上 方的部分。 在一個特定實例中，器件具有如圖2Α中所示之結構，該 結構具有摻雜硼之保護蓋207及含有ΒΝΧ之鈍化層209 ^銅 線205駐留於具有約3,500 Α之厚度的ULK介電層（約2.5之 k)中。保護蓋207包括銅及硼，且具有約1〇〇 a之厚度。保 護蓋在其與鈍化層界接處駐留於銅線之頂部處。鈍化層具 153514.doc •25· 201138024 有約150 A之厚度，且包括3队。鈍化層亦可包括氫，且將 在實驗部分中被稱作⑺^^^層.擴散障壁層211可包括摻 雜氮之碳化矽、摻雜氧之碳化矽或未經摻雜之碳化矽。層 211具有100 Α至500 Α之厚度。 在另特疋貫例中’器件具有如圖2A中所示之結構，該 結構具有鈦保護蓋207及含有丁丨队之鈍化層2〇9。銅線2〇5 駐留於具有約3,500 A之厚度的ULK介電層（約2.5的k)中。 保》蔓蓋2 07包括銅及鈦，且具有約1〇〇 α之厚度。保護蓋在 其與鈍化層界接處駐留於鋼線之頂部處。鈍化層具有約 150 A之厚度，且包括。鈍化層亦可包括氫。擴散障 J層211可包括摻雜氮之碳化石夕、掺雜氧之碳化石夕或未經 摻雜之碳化矽。層211具有1〇〇人至5〇〇 A之厚度。 在另一特定實例中，器件具有如圖2八中所示之結構，該 結構具有摻雜鋁之保護蓋2〇7。銅線2〇5駐留於具有約 3,500 A之厚度的ULK介電層（約2.5的k)中。保護蓋207包 括鋼及鋁，且具有約1〇〇 A之厚度。保護蓋在其與鈍化層 界接處駐留於銅線之頂部處。鈍化層具有小於約1〇()人之 厚度，且基本上由Α1〇χ組成。擴散障壁層211具有約ι〇〇 A 至500 A之厚度，駐留成與Α1〇χ接觸，且可包括摻雜氮之 碳化矽、摻雜氧之碳化矽或未經摻雜之碳化矽。 用於形成保護罩蓋層之方法 藉由圖3Α中所示之製程流程圖來說明用於形成保護罩蓋 層之例示性方法。在圖4Α至圖4Ε中展示此製程之各個階 •^又處所獲4之器件結構的橫截面圖。雖然可在許多類型之 1535I4.doc -26- 201138024 裝置中實踐本文令所描述之方法，但在一些實施例中，電 漿增強型化學氣相沈積（PECVD)裝置為較佳的。在一些實 例中PECVD裝置能夠提供高頻（HF)及低頻（lf)電浆產 生源。 參看圖3A，製程藉由提供在介電質中具有銅線圖案之部 刀製造之半導體器件（如操作3〇1中所示）而開始。舉例而 s，可使用諸如圖4A中所示之器件的器件。該器件具有嵌 ^介電層401中之銅或銅合金層4〇5。薄的擴散障壁材料層 (含有例如Ta、TaNx、TiNx、RU、W)駐留於銅與介電質之 間的界面處》銅層及介電層暴露於基板表面處。 在操作303令視情況預先清潔基板，以自其表面移除污 染物。舉例而言，可藉由將基板暴露於電漿中之還原氣體 (例如’選自由處於電漿放電之H2、n2、NH3及其混合物組 成之群組的氣體）來預先清潔基板，以便自銅表面移除氧 化銅。在一些實施例中，以&電漿進行預先清潔已為器件 提供特定改進之特性。預先清潔期間之處理氣體亦可包括 載氣，諸如N2、He、Ar等。在一個實例中，在約2〇〇_ 400 C之溫度、約1.5-4托之壓力以及約4,〇〇〇-i〇,000 sccm 之Η2流動速率下在PECVD腔室中執行預先清潔。可含有 HF及LF成分之電漿經點燃且維持於每個3 00 mm晶圓200-1000 W之總功率下。在一些實施例中，較佳在預先清潔操 作期間使用處於0.1-1.5 W/cm2下之HF功率及處於0-0.8 W/cm2下之LF功率。在另一實例中，用nh3替代H2作為還 原氣體，且在約6,000至8，000 seem之範圍中的流動速率下 153514.doc -27· 201138024 流動至處理腔室中。n2載氣在約2,〇〇(M，_ sccm之流動 速率下流動至腔室中。預先清潔處理可持續若干秒，例如 介於約6-20秒之間。 在一些實施例中，較佳使用比直接電漿暴露更溫和的方 法來執行預先清潔。當銅線丧入可容易被直接電毁暴露損 壞之脆弱的ULK介電質中時，此等較溫和的方法尤其有 利。 在一些實施例中，藉由使用遠端電漿來執行對氧化銅之 完全或部分移除，該遠端電漿包含選自由h2、n2、NH3及 其混合物組成之群組的氣體。在此實施中，使用此等氣體 中之一者或一者以上（例如，H2與N2之混合物或WHS與乂之 混合物）以在實體上與固持晶圓基板之腔室分離的腔室中 形成電漿。接著將所形成電漿引導穿過遞送管線，到達離 子過濾器，離子過濾器耗盡離子之電漿，同時留下自由 基°將所得之富含自由基之處理氣體遞送穿過入口（例 如’鎮射頭），到達容納基板之腔室。富含自由基之處理 氣體（在一些實施例中’該氣體含有極少的離子物質或實 質上不含有離子物質）接觸基板表面，且根據需要部分地 或完全地移除氧化銅。因為直接電漿中所含有之高能離子 已牽涉到介電質損壞，所以使用缺乏離子之遠端電漿提供 進行預先清潔之溫和且有效的方式。在San Jose,
California 的 Novellus Systems所提供之 〇8111111&1^產品線中 有合適的實例遠端電漿系統。 在其他實施例中’藉由在存在還原氣體（例如，選自由 153514.doc •28- 201138024 H2 N2 NH3及其混合物組成之群組的氣體）的情況下使用 %卜（UV)辕射處理來執行對氧化銅之完全或部分移除。在 此實施中，此等氣體中之一者或一者以上（例如，^與沁 σ物或NH3與N2之混合物）接觸基板，同時以UV光照 射基板舉例而吕，諸如Β· Varadarajan等人在2009年11月 12曰申請之標題為「用於半導體處理中之〖恢復及表面清 潔之uv及還原處理（uv and Reducing f〇r κ
Recovery and surface Clean in Semiconductor Processing)」 的共同擁有的臨時專利中請案第61/26G，789號中描述了裝 置及製程條件，該中請案以全文引用的方式併人本文中， 以用於提供適合用於本文令所描述之實施例中的處理 之裝置及方法之細節的目的。所描述之uv處理可用於可 控地移除氧化銅，#中可藉由…暴露之持續時間、處理 氣體組份、|板溫度及其他條件來控制所移除氧化物之厚 度。 在-些實施例中’藉由在無電漿之環境中進行熱處理來 實現預先清潔。舉例而言，可在包含H2、N2、NH3或其混 合物之氣氛中將晶圓加熱至至少約200。〇之溫度並持續約 15至60秒。此減理可料部分氧域之料，且對於處 理含有脆弱之ULK介電質之基板而言尤其有利。 、 在完成預先清潔後，在操作3〇5中將含有摻雜劑之材料 的源層沈積至基板表面上。有利岐，含有摻雜劑之材 不需要選擇性地沈積至金屬表面上，且可沈積至介電質之 表面上及金屬上兩者。藉由在導致沈積含有摻雜劑(例 153514.doc -29· 201138024 如，含有硼或含有金屬）之源層的條件下使部分製造之器 件與含有摻雜劑之反應物（例如，與含有硼或含有金屬之 反應物）接觸來沈積源層。 在一個實施例中，在沒有電漿放電的情況下以熱的方式 沈積含有推雜劑之源層。舉例而言，揮發性前驅體（諸 如，揮發性氫化物、函化物、幾基合物或有機金屬化合 物）可在高溫下反應（例如，分解），以將含有摻雜劑之材料 層沈積於基板表面上。如熟習此項技術者將理解，可針對 每一特定前驅體調諧溫度範圍、基板暴露時間及其他沈積 條件。 在一個實施例中’ 用作前驅體以形成摻雜β之保護 蓋。在一個實例製程中，將連同一或多種額外載氣 (諸如N2、02、C〇2、He、NH3、Ar等）一起引入至處理腔 室中。在此實例中，Β2Ηδ之濃度介於約〇.5至約2〇%之範圍 中’且壓力介於約0.5托至約10托之範圍中β b2h6在不存 在電漿放電的情況下在約200_40(rc之間的腔室溫度下接 觸基板，從而導致將含硼層沈積於基板上。確定此層含有 B-H鍵，且將此層稱作BHj^。3札層用作擴散至銅線中並 形成保護蓋之B摻雜劑源。 在另一實例中，將揮發性含金屬之前驅體引入至腔室 中。有機金屬化合物、金屬氫化物、金屬鹵化物及金屬羰 基合物可用作合適的前驅體。舉例而言’可使用烷基取代 之金屬衍生物及環戊二烯基取代之金屬衍生物。前驅體在 尚溫下反應以在基板上形成含金屬源層。在一些實施例 153514.doc -30- 201138024 中，可使用類似於含B蓋之沈積中所使用之壓力及溫度範 圍的壓力及溫度範圍。一般而言，視前驅體之性質而定， 沈積條件經最佳化以沈積具有最佳品質的含金屬源層。舉 例而言，溫度範圍可經最佳化以有利於用於前驅體之特定 分解機制’且進而根據需要調諧含金屬源層之分解。熟習 此項技術者將理解如何最佳化沈積條件以及獲得具有經最 佳化組份的含金屬源層》 如曾提及’可將多種金屬用作摻雜劑。舉例而言，可用 A卜Hf、Ti、Co、Ta、Mo、Ru、Sn及Sb摻雜銅線。可使 用已知揮發性前驅體之其他金屬。適合於沈積含鋁源層之 前驅體之實例包括（但不限於）三曱基鋁、氫化二甲基鋁' 二乙基鋁、三異丁基鋁及參（二乙胺基）鋁。可用於沈積含 有其他金屬之源層的前驅體之實例包括（但不限於）雙（環戊 二烯）鈷、乙醯丙酮鈷（11)、肆（二甲胺基）铪、肆（二乙胺 基）铪、肆（二甲胺基）鉬、肆（二甲胺基）鈦（tdmat)、肆（二 乙胺基）鈦（TDEAT)、肆（乙基甲基胺基）鈦、雙（二乙胺基） 雙（二異丙基胺基）鈦、五（二甲胺基）鈕、第三（丁基三亞胺 基）（二乙胺基）鈕（TBTDET)、五（二乙胺基）鈕、雙（乙基環 戊二烯）釕、參（二甲胺基）銻及四甲基錫。 源層不一定需要含有純元素摻雜劑，而是可包括摻雜劑 與其他元素（例如，H、C、N等）之化合物。然而，可容易 自此二層產生摻雜劑，且一旦產生便能夠擴散至銅中及/ 或與銅反應°然而’在其他實施例中，源層可含有實質上 純的金屬或蝴。 153514.doc -31- 201138024 源層不需要專門選擇性地沈積於銅線之頂部上，而是可 沈積於介電層之頂部上及銅之頂部上兩者。然而，在許多 實施例中，實現銅與介電質之間的一定程度的選擇性，且 較厚之源層形成於銅線上，如圖4B中所說明，其中源層 408(其可為BHX層或含金屬層）在銅線408上具有比在介電 層401上厚的厚度。應理解，視特定前驅體及沈積條件而 定，可在將源層完全選擇性地沈積於銅線上至完全非選擇 性製程之範圍中實現廣泛多種選擇性，在完全非選擇性製 程中’在銅線及介電質兩者上將源層沈積至相等厚度。雖 然本文中所描述之方法可用於自選擇性地沈積源層及非選 擇性地沈積源層兩者中受控地引入捧雜劑，但本文中將該 等方法說明為將以部分選擇性沈積之層用作實例。此部分 選擇性之特徵在於’可在含硼及含許多金屬之源層兩者的 情況下觀察到，與沈積於介電質上之源層的厚度相比，沈 積於銅線上之源層具有較大厚度β在一些實施例中，駐留 於銅上之源層的厚度比駐留於介電質上之源層的厚度大約 10-500°/。之間。 再次參看圖3Α中所示之製程流程圖，當已在操作3〇5中 形成源層之後’在後續操作3〇7中，駐留於銅上之源層之 頂部部分經改質以形成鈍化層，而未經改質之源層之一部 分保持與銅層接觸》此藉由圖4C中所示之結構來說明，其 中僅源層408之一小部分保持未經改質且與銅線4〇5接觸， 而駐留於銅上之源層之頂部部分經轉化以形成鈍化層 4〇9。駐留於介電質上之源層之部分經完全轉化為鈍化材 153514.doc •32· 201138024 料°鈍化操作309用於兩個目的。首先，其幫助控制互連 件電阻，因為源層之部分鈍化限制了可用摻雜劑的量。較 佳地，鈍化層含有不容易自鈍化材料擴散至銅線中之材 料。舉例而言’硼經轉化為氮化硼；鋁經轉化為氧化鋁 專。雖然游離的蝴及紹能夠擴散至銅線中，但當經轉化為 氮化物及氧化物時，此等材料被捕集於鈍化層内，且不能 進入銅線並增加其電阻率，因為源層之頂部部分經改質為 純化層’所以藉由保持與銅線接觸之源層的未經改質部分 的厚度來確定引入至銅線中之摻雜劑的量。視需要被引入 至線中之摻雜劑的量而定，可將較大或較少量之源層轉化 為鈍化層。舉例而言，最初沈積之源層的厚度可在約5〇_ 500 Α之間的範圍令，該源層之約2〇·6〇%可被轉化為鈍化 層。 在源層含有沈積於銅及介電質兩者上之導電材料的彼等 貫施例中亦需要鈍化。在此等實施例中，鈍化將導電材料 (例如，金屬）轉化成很少導電性或不具有導電性之材料， 藉此防止鄰近銅線之間的短路。舉例而言，可在介電質上 將駐留於介電質上之部分導電性ΒΗΧ源層完全轉化成含有 基本上不導電的ΒΗΧ之鈍化層。類似地，可將含有鋁之源 層轉化成不導電的氧化鋁。 許多化合物（諸如氮化物、氧化物、硫化物、硒化物、 碲化物、磷化物及碳化物）為用於鈍化層之合適材料。在 此等化合物中，氮化物及氧化物在許多實施例中為較佳 的。 153514.doc •33· 201138024 可藉由使含有摻雜劑之源層與適當之試劑接觸而形成純 化層，該適當之試劑能夠將源層材料改質為鈍化材料。雖 然在-些f施例巾可用熱的方式執行此改f (不使用電 漿），但通常較佳在電㈣電中對源層進行改f。舉例而 言，可藉由在電毁中使基板與含氮之反應物（諸如N2、 NH3、N2H4、胺等）接觸來執行氮化。可藉由在電衆中接觸 引入之含氧反應物（諸如02、C02、N20等）而以類似方式形 成氧化物。可藉由分別使基板暴露於含有所需元素之反應 物（例如 H2S、HaSe、H，Te、PH,、ru、t „ rt2ie CxHy)而以類似方式形成 硫化物、硒化物、碲化物、磷化物及碳化物。 在一些實施例中，後處理涉及直接電漿處理。舉例而 言，可用在選自由HrNrNH3及其混合物組成之群組的 處理氣體中所形成之電漿來處理具有暴露之源層的基板。 在一些實施例中，在電漿中用Ha來處理具有源層之基板。 氫電漿處理可用以自前驅體層中移除殘餘有機基，並形成 末端金屬-Η鍵。在其他實例中，在電漿中用^與乂之混合 物或在電漿中用ΝΗ3對基板進行後處理，結果是移除了有 機基並形成金屬-Ν鍵。在一些實施例中可使用其他氮化 劑，諸如Ν2Η4及胺。 在後處理的情況下，有時候需要使用比直接電漿處理更 溫和的處理方法。舉例而言，在一些實施例中，可使用在 選自由Η2、Ν2、ΝΗ3及其混合物組成之群組的氣體中所形 成之遠端電漿來處理基板。如前所述，在實體上與容納基 板之腔室分離之腔室中產生遠端電漿，並消耗掉該遠端電 153514.doc •34· 201138024 漿中之離子物質，然後將其遞送至基板，此降低介電質受 損的概率。此係因為遠端電漿中含有之自由基的損害性2 常低於高能量離子。可藉由遠端電漿來實現金屬_H及金 屬-N鍵之形成’以及自層中移除有機基。 此外，可使用先前以引用的方式併入的美國臨時申請案 第61/260,789號中描述之方法，藉由在選自由％、％、 NH3及其混合物組成之群組的處理氣體中之uv輻射來執行 溫和的後處理。可使用此uv處理來形成金屬·Η及金屬_N 鍵，並且自前驅體層中移除有機取代基。 在一些貫知例中，藉由在不含電漿的環境中進行熱處理 來實現後處理。舉例而言，可在包含札、、NH3或其混 合物的氣氛中將晶圓加熱至至少約3〇〇至35〇。〇的溫度。此 熱處理對於處理含有脆弱的ULK介電質之基板尤其有利。 在一些實施例中，藉由在不含電漿的環境中在室溫下或 在高溫下用反應物處理源層而執行後處理。舉例而言，在 一些實施例中（例如，對於含八丨或含Ti之層），藉由在不含 電漿的環境中用含氧之反應物（例如02、H2〇、N2〇)處理 基板來形成含有金屬·氧鍵之鈍化層。 當在ILD層中使用ULK介電質（其為特別容易受損的多孔 及有機介電質）時，遠端電漿後處理、熱後處理&uv後處 理尤其有利》 雖然在許多實施例中氮化後處理為較佳的，但在—些實 施例中可使用其他類型之後處理。 舉例而言’可藉由在具有或不具有電漿的情況下使具有 I53514.doc -35- 201138024 暴露之前驅體層的基板接觸含氧氣體（諸如〇2、c〇2、 等)來實施用以形成金屬_〇鍵之氧化後處理。在其他實施 例中，例如藉由在電漿中用碳氫化合物處理源層而在後處 理步驟中形成金屬.C鍵。可藉由在具有或不具有電浆的情 況下使基板暴露於含有所需元素之反應物（分別為例如 H2S、H2Se、H2Te、ph3)而在後處理步驟中形成金屬& 金屬-Se、金屬-Te及金屬邛鍵。對於此等類型之後處理可 使用直接電漿及遠端電漿兩者。 再次參看圖4C，可看出，鈍化層4〇9(含有例如ΒΝχ、 Α10χ、ΤιΟχ等）駐留於介電層4〇1上及銅層4〇5上。含有未 改質之摻雜劑源的薄層408駐留於銅線與鈍化材料層之 間。 在形成鈍化層之後，在操作3〇9中，允許來自未經改質 之源層的有效成分（摻雜劑）擴散至銅中且/或與銅反應，並 在銅層内形成保護蓋。此在圖4C所示之結構中由箭頭說 明。圖4D中展示了所得結構，其中已在銅線之上部部分中 形成了保護蓋407。在此實例中，來自源層408之捧雜劑已 完全遷移至銅線中。在其他實施例中，一部分摻雜劑可保 留於源層内。而在其他實施例中，在銅擴散至未經改質之 源層中的同時，摻雜劑可擴散至銅層中。在後兩種情況 下’保護蓋可駐留於最初呈現之銅線（如圖2C中說明）内以 及其頂部上。 保護蓋之形成可在各種條件下發生，該條件可取決於駐 留於未經改質之源層中之特定摻雜劑源。在一些實施例 153514.doc •36· 201138024 中’駐留於源層内之含摻雜劑之材料可能不容易擴散至銅 中，與銅反應。在此等實施例中，可藉由例如使基板暴露 於高溫而首先產生摻雜劑。在其他實施例中，亦藉由加熱 基板來促進摻雜劑之擴散及/或反應。在一些實施例中， 可藉由控制使基板暴露於高溫之時間及暴露本身之溫度來 控制保護蓋的厚度。在一些實施例中，藉由將基板加教至 至少約1〇〇。(：之溫度持續預定時間段（例如，約〇25至⑹分 鐘）來促進形成保護蓋。 在形成保護蓋後’即刻在操作311中沈積捧雜之或未推 雜之碳化矽層。圖4E中展示所得結構。可看出，在銅線上 及介電質區上之鈍化層409頂部上沈積碳化矽層41卜碳化 矽層充當蝕刻終止件或介電質擴散障壁層，且通常沈積至 約HHMOO A的厚度。可例如藉由在電漿放電中使基板暴 露於切之及含碳 < 前驅體而#由CVD(較佳藉由pEcvD) 沈積碳化碎層。舉例而言，可料垸、燒基㈣及碳氣化 合物用作前驅體。當沈積摻雜之碳切時，另外將含換雜 劑之前驅體引入至處理腔室中。舉例而言，可在沈積含氧 之碳化碎期間添加C02、〇2或_，可添加㈣以沈積推 雜有硼之碳化矽，可添加\%及A以沈積摻雜有氮之碳化 石夕等。在其他實施例中，在鈍化層之頂部上沈積經推雜的 或未經摻雜的氮化矽以充當蝕刻終止件或擴散障壁層。在 —些實施例卜在高於形成罩蓋層（包括形成源層及鈍化） 時使用之溫度的溫度下執行介電質擴散障壁層的沈積。舉 例而言，在一些實施例中，在350〇c以下之溫度下（例如， 153514.doc •37- 201138024 在約200°C至350°C下）實施保護蓋的形成，而在至少約 350°C(例如，375°C至450。〇之溫度下執行擴散障壁沈積。 應注意，在一些情況下，介電質擴散障壁或蝕刻終止層 之沈積為可選的，因為鈍化層本身可能具有充當擴散障壁 或蝕刻終止件之適當性質。舉例而言，含有特定金屬氧化 物之鈍化層可充當擴散障壁層，從而無需沈積獨立的碳化 石夕層。 圖3中描繪之製程前進至後續操作313，在操作313中沈 積層間介電質（諸如二氧化石夕、有機石夕玻璃、多孔有機介 電質等）。將介電質沈積至擴散障壁或蝕刻終止層上（例如 沈積至碳化矽層上），或直接沈積至鈍化層上（若鈍化材料 具有充當擴散障壁之適當性質）。可藉由PECVD或藉由旋 塗方法來沈積介電質，且通常將其沈積至約3〇〇〇至1〇〇〇〇 A的厚度《接著，如圖1(：至1£中描繪，可進一步接著鑲嵌 製程。 應瞭解，圖3所示之流程圖所說明之製程僅為例示性 的’且可實施對此製程之各種修改。舉例而言，可用不同 的次序來執行圖3所示之製程之各個操作。具體而言，可 在處理期間之不同時間執行將有效成分（摻雜劑）引入至銅 層中。在一些實施例中，可在已沈積蝕刻終止件或擴散障 壁層之後起始摻雜劑之產生及擴散。在一些實施例中，在 已形成ILD層之後在後處理中促進摻雜劑之擴散。通常， 藉由將基板加熱至至少約100〇c的溫度來執行此操作。在 其他實施例中，有效成分（摻雜劑）可擴散至銅中且/或與鋼 153514.doc -38- 201138024 反應，然後使源層鈍化。在此實施例中，可藉由控制未經 改質之源層與銅接觸的時間及/或藉由控制製程溫度來控 制引入之摻雜劑的量。 在一些實施例中，藉由以下方式修改圖3 A中說明之製 程.使駐留於銅線上之源層完全而非部分地鈍化，以便實 質上防止摻雜劑元素擴散至鋼線中。此修改在一些情況下 為有利的，因為歸因於摻雜劑擴散之互連件電阻增加可得 以最小化，同時仍然能實現改進之電遷移效能。 圖3B所示之製程流程圖說明該製程之另一實施例。此製 程使用用冑溫方式將含銘之源層沈積於不含氧化物之銅表 面上。在操作301中該製程藉由提供具有介電質中之銅線 圖案的部分製造之半導體器件而開始。舉例而言，可使用 諸如圖4A所示之基板的基板。在一些實施例中，銅線嵌入 於ULK ;丨電質（諸如介電常數為2 8及以下的多孔有機介電 質)層中。在圖3B中描述之實施例中，提供不含氧化物之 銅表面以防止氧化銅與有機鋁前驅體之間的反應非常重 要。甚至氧化銅之薄層將改變鋁沈積之機制，從而導致氧 化铭的形h在圖3B中描述之實施财，此類直接在銅表 面上形成氧化鋁為不合需要的。 在操作303中，$ 了移除氧化銅，預先清潔基板。用自 銅表面上完全移除氧化銅的方式來控制預清潔。此可藉由 選擇適當的預清潔持續時間及製程條件來實現。如上文參 看圖A所述可藉由直接電漿處理、遠端電漿處理、 處理或熱處理來執行預清潔。當使用脆弱的ULK介電質 153514.doc •39· 201138024 時’在一些實施例中使用在不存在直接電漿的情況下之預 處理。 在獲得不含氧化物之銅層之後，在至少約35〇。〇之基板 溫度（諸如至少約40(TC )下使部分製造之器件與有機鋁反應 物接觸’以形成含鋁之層’如操作305中所示。值得注意 的是’在較低溫度下，含鋁層在不含氧化物之銅表面上的 沈積速率不夠。可使用各種有機鋁反應物，其中在一些實 施例中二坑銘特別是三甲基銘為較佳的。合適的反應物之 貫例包括選自由三甲基鋁、氩化二甲基鋁、三乙基鋁、三 異丁基紹及參（二乙胺基）銘組成之群組的前驅體。在不存 在電漿的情況下，反應物接觸CVD腔室中之基板，且反應 物通常在暴露之介電質及銅表面兩者上形成含銘的層。可 例如藉由控制反應物流動速率及基板溫度來控制層的厚 度。沈積於介電質上之層通常在沈積後即刻自發氧化以形 成含有A1-0鍵之不導電層（由於介電質中存在氧化物質 在含銘之層未在介電質上完全氧化之彼等情況下，在後處 理步驟中對該層進行改質，其將介電質上之所有導電材料 轉化成不導電形式以防止互連件之間的短路。無論沈積於 介電質上之含鋁的層是否在沈積後立即自發氧化，均可使 用後處理步驟將駐留於銅上之含鋁之層的至少一部分轉化 成固疋化合物，該固定化合物在一些實施例中可能不導 電。 操作307提供兩個後處理選項。在第一實施例中，僅對 駐留於銅上之含鋁之層的頂部部分進行改質以形成鈍化 153514.doc -40· 201138024 層’其中未經改質之層的一部分保持與銅層接觸，其中在 操作309中允許來自未經改質部分之鋁擴散至銅中。在替 代實施例中’對駐留於銅上之整個含鋁之層進行改質以形 成固定化合物，從而實質上防止鋁擴散至銅線中。因為將 過量之鋁擴散至銅中會導致互連件電阻不當增加，且因為 在銅上形成薄的固定蓋（例如’含有A1-0或ai_n鍵之蓋）改 進與介電質的黏著，所以在一些實施例中，較佳最小化或 完全避免鋁擴散。 如參看圖3A所述，可使用各種後處理方法，包括在高溫 或室溫下之直接電漿處理、遠端電漿處理' UV處理及熱 (不含電漿）處理。 在一個實施例中，使用不含電漿之氧化處理（在室溫或 高溫下）以在銅表面上形成含有A1-0鍵之層。舉例而言， 可在不存在電漿的情況下使具有含鋁層之基板（在有機鋁 反應物處理之後）與含氧之反應物（諸如〇2、〇3、N2〇、h20 或C〇2)接觸’以形成固定之含有A1_0之材料。 在另一實施例中，使用不含電漿之氮化處理（在室溫或 高溫下）以在銅表面上形成含有A1-N鍵的層《舉例而言， 可在不存在電漿的情況下使具有含鋁之層之基板（在有機 銘反應物處理之後）與含氧反應物（諸如氨或聯氨）接觸。 當基板含有機械上脆弱的ULK介電質時，不含電漿之後 處理（包括UV及熱處理）尤其較佳，因為不含電漿之後處理 導致的介電質損害最小。 在後處理之後，該製程在操作311及3 13中以介電質擴散 153514.doc -41 · 201138024 障J層沈積及㈣介電質沈積結束，肖等操作如參看圖3A 所述而執行。 上过·方法自b夠長：供具有可控電阻且具有改進之電遷移特 眭之互連件。藉由此等方法形成之保護罩蓋層之厚度可在 :勺ίο A至ι〇,〇〇〇 A的範圍内變化。特別有利的《，此等方 法提供對在約10人至100入範圍内特別是在1〇 A至6〇 A範 圍内的罩蓋層厚度的控制。厚度介於約ίο A至6〇 A之罩蓋 膜可提供具有小於1%且小於3%之特別小的電阻偏移的互 連件，此目前是1C工業中所要求的。 裝置 一般而言，保護蓋之形成可在任何類型之裝置中執行， 該裝置允許引入揮發性前驅體，且經組態以提供對反應條 件（例如，腔室溫度、前驅體流動速率、暴露時間等）之控 制°通常較佳在不使基板暴露於周圍環境的情況下執行操 作301至311 ’以便防止對基板之無意氧化及污染。在一個 實施例中，在一個模組中依序執行操作301至311，而不破 壞真空。在一些實施例中，在一個CVD(較佳PECVD)裝置 中執行操作301至311，該裝置具有位於一個腔室内之多個 台’或具有多個腔室。可自Inc of San Jose，CA，Novellus Systems，Inc購得之VECT0Rtm PECVD裝置為合適裝置之 實例。 例示性裝置將包括一或多個腔室或「反應器」（有時包 括多個台），該等腔室或反應器容納一或多個晶圓且適合 於進行晶圓處理。每一腔室可容納一或多個晶圓以進行處 J535I4.doc • 42- 201138024 理。該一或多個腔室將晶圓維持於所界定位置中（在該位 置内運動或不運動，例如旋轉、振動或其他攪動在一 個實施例中，在製程期間在反應器内將正經歷源層及蝕刻 終止層沈積之晶圓自一個台轉移至另一個台。當正在處理 中時，藉由台座、晶圓夾及/或其他晶圓固持裝置將每一 晶圓固持於合適位置。對於要加熱晶圓之特定操作，該裝 置可包括加熱器，諸如加熱板。在本發明之較佳實施例 中，可使用PECVD系統。在更較佳之實施例中，pEcVD 系統包括LF RF電源。 圖5提供描繪經配置以用於實施本發明之各種反應器組 件的簡單方塊圖《如圖所示，反應器500包括處理腔室 524，處理腔室524封閉反應器之其他組件且用以容納由電 容器型系統產生之電漿，該電容器型系統包括結合接地加 熱器塊520工作之鎮射頭514。高頻RF產生器5 02及低頻rf 產生器504連接至匹配網路506，該匹配網路506又連接至 簇射頭514。 在反應器内’晶圓台座518支撐基板516。該台座通常包 括夾、叉或起模頂桿’用以在沈積反應期間或沈積反應之 間固持及轉移基板。該夾可為靜電夾、機械夾或可用於工 業及/或研究中之各種其他類型之夾。 處理氣體經由入口 512引入。多個源氣體管線510連接至 歧管508。氣體可預先混合或不預先混合。使用適當之閥 控及質量流量控制機制來確保在該製程之預清潔、源層之 形成、鈍化層之形成及摻雜階段期間遞送正確的氣體。在 153514.doc •43- 201138024 以液體形式遞送化學前驅體的情況下，使用液流控制機 制。接著，在液體到達沈積腔室之前，在加熱至高於液體 之蒸發點的歧管中輸送液體期間，使液體蒸發並與其他處 理氣體混合。 處理氣體經由出口 522自腔室500退出。真空泵526(例 如’一級或二極機械乾泵及/或渦輪分子泵）通常將處理氣 體抽出，並藉由封閉迴路控制流量限制器件（諸如節流閥 或擺閥）在反應器内維持合適低的壓力。 在該等實施例中之一者中，可使用多台裝置來形成罩蓋 層及擴散障壁。該多台反應器允許在一個腔室環境中同時 執行不同製程，藉此提高晶圓處理之效率。圖6中描繪此 裝置之一個實例。展示了俯視圖之示意圖。裝置腔室6〇1 包含四個台603至609及兩個承載室（進入承載室619及退出 承載室617)。在其他實施例中，可將單個承載室用於晶圓 之進入及退出兩者。一般而言，在多台裝置之單個腔室内 可存在任何數目個台。台6〇3用於基板晶圓之裝載及卸 載。台603至609可具有相同或不同的功能。舉例而言― 些台可專用於形成罩蓋層，而其他台可用於沈積介電質擴 散障壁膜。此外，一些台可專用於氧化銅還原。 在該等實施例中之一者中，個別台可在相異之製程條件 下操作，且可實質上彼此隔離。舉例而言，一個台可在一 個概度狀態下操作，而另__台可在不同之溫度狀態下操 作。 、 在一個實施例中，預清潔操作、源層之沈積及鈍化層之 153514.doc 201138024 :成：一個較佳溫度狀態下執行，且在多台裝置之一個台 、:在"'實施例中，介電質擴散障壁之沈積可能需 要不同的：度狀態，且可在不同的台中進行。在一些實施 幻中在單台或多台裝置之-個台中執行整個罩蓋製程， 〇括預處理、源層之形成、鈍化及含摻雜劑之蓋的形成。 在一些實施财，亦可在與罩蓋操作相同的台處執行介電 質擴散障壁層之沈積。在—些情況下，可使用進入承載室 619來預清潔或以其他方式預處理晶圓。此可能涉及藉由 例如化學還原進行之氧化物移除。 在一個實例中，台603可專用於預清潔及形成罩蓋層（由 前驅體層及鈍化層）。台6G3可在約則。c至彻。〇之溫度範 圍處操作，此在-些實施例巾對於罩蓋及預清潔操作兩者 均為較佳的。可在約35(rc至4〇〇它之溫度範圍下在台 605、607及609中進行介電質擴散障壁材料（諸如碳化矽）之 沈積，根據一些碳化矽沈積製程，該溫度範圍為較佳的製 程溫度。 有利的是，在一些實施例中，預清潔、源層之沈積、鈍 化及摻雜劑之引入可能需要類似條件，且可在一個台6〇3 處執行。 根據上述實施例，台603為預清潔台及保護蓋形成台。 台605、607及609可全部用於介電質擴散障壁層之沈積。 使用分度板（indexing Plate)611將基板抬離台座，並在下一 處理台處準確地定位基板。在台603處裝載晶圓基板且在 此處使晶圓基板經受任何處理（例如，預清潔及罩蓋，包 153514.doc -45- 201138024 括前驅體層沈積及純化）之後’將晶圓基板分度至台605， 在此處執行罩蓋（包括源層沈積及鈍化）及/或介電質沈積。 接著將晶圓移動至台607，在台607處開始或繼續擴散障壁 介電質的沈積。進一步將基板分度至台609,在台609處執 行對障壁介電質的進一步沈積，且接著將基板分度至台 603 ’在台603處將基板卸載，且在模組中裝上新的晶圓。 在正常挺作期間’獨立的基板佔據每一台，且每當重複製 程時’將基板移動至新的台。因此，具有四個台603、 605、607及609之裝置允許同時處理四個晶圓，其中至少 一個台執行不同於在其他台執行之製程的製程。或者，四 個晶圓可在全部四個台處經受相同操作，而不使某些台專 用於特定層之沈積。 現在將提供台之間製程序列之幾個具體實例。在第一實 例中，進入承載室執行預處理（例如，氧化銅之還原）。接 著，裝置之第一台（例如，台603或依序配置之多個第一台） 形成罩蓋層（藉由例如暴露於前驅體，諸如TMA) ^接著， 第二台（例如，圖6中之台6〇5)執行後處理，諸如鈍化（例 如，如本文中所述暴露於氮、氨及/或氫接著，裝置中 之其餘台（例如，台607及609)執行擴散障壁形成。 在另一實例中’第一台（例如，台6〇3)執行預處理第 二台（例如，台605或一系列順序台）執行罩蓋層之形成及後 處理（例如鈍化）兩者，且其餘之台執行介電質擴散障壁層 沈積。在又一實例中，第一台執行預處理、罩蓋層沈積及 後處理。其餘之台執行擴散障壁形成。 153514.doc •46· 201138024 可藉由控制器單元613來控制製程停侔 .^ Λ 件及製程流程本 身，控制器單元613包含用於監視、維捭 、*得及/或調整特定製 程變量（諸如HF及LF功率、氣體流動速率及時間、溫度、 壓力等等）的程式指令。舉例而言，可包 匕栝私夂用於源層 沈積及鈍化之硼烷及氨之流動速率的指令。該等指令可浐 定用以執行根據上述方法之操作的所有參數。舉^二言，曰 指令可包括用於預清潔、源層沈積、鈍化層之形成將摻 雜劑引人至鋼線中及介電錢散障壁沈積的參數。控制器 可包含用於不同裝置台之不同或相同指令，因而允許裝置 台獨立地或同步操作。 圖7中說明多台裝置之另一實例。多台裝置7〇1包括駐留 於三個獨立處理腔室717、719及72丨中之六個台7〇3、 705、707、7〇9、711及713，其中兩個台駐留於每一腔室 中。鄰近於腔室717、719及721之含有機器人之腔室715提 供用於將晶圓裝載至台中及自台中卸載晶圓的機制。控制 器723提供用於操作多台裝置川的指令…個腔室内之個 別台可彼此隔離，且可進行相同或不同操作。在一個實施 例中，同時將兩個晶圓轉移至駐留於一個腔室72〗中之台 703及705，且使其同時經歷相同操作，包括預清潔、源層 沈積、鈍化層之形成及銅摻雜。在完成此製程之後，將該 兩個晶圓自腔室721移除，且同時引入至駐留於腔室7〇9中 的台707及709。在此腔室中，同時沈積擴散障壁材料層。 接著將該等晶圓自腔室71 9移除，且引入至駐留於腔室717 中之台711及713 ’在台711及713中接著進行進一步處理。 153514.doc •47· 201138024 在一些實施例中，可用在不同腔室中執行之不同子製程 (例如，源層沈積、鈍化、摻雜劑擴散）在多腔室裝置中執 行保護罩盖層的形成。 存在多種可在多台卫具中實施罩蓋製程之方式諸如圖 6及圖7所示的彼等方式…般而言，所描述之製程容易整 合至鎮嵌流程中’不需㈣基板進行消耗大量資源之處 置’且可在與介電質擴散障壁沈積相同的裝置中執行。此 外，經由對摻雜劑之受控釋放而進行的電阻控制尤其有 利。所描述之方法亦可用於形成具有銅與介電質擴散障壁 之間的改進之黏著的互連件。 現在將藉由具體實例來說明所描述方法之若干實施例。 實驗實例 將參考實驗實例來說明具有摻雜有硼之保護蓋以及含有 棚及氮之鈍化層的銅互連件的製造。 在所描述之實例中，藉由電漿預清潔操作來開始該製 程。在CMP操作之後獲得具有在超低k介電質（k=2 5 ; 5,000 A厚）中之銅線之暴露圖案的部分製造之半導體器 件，且將其置放於PECVD VECTORtm裝置之處理腔室中。 在四台裝置之一個台處執行整個罩蓋製程。首先，將基板 預加熱至350°C，且在4,000 seem之流動速率下將h2引入至 處理腔室中。使Hz在4托之壓力下自處理時間之〇秒流動至 30秒。在處理時間之3〇秒處，點燃HF RF電衆，且在1.23 W/cm2之功率下一直保持至處理時間之45秒。在用％電漿 預清潔基板之後’切斷H2流及電漿功率，並將b2h6以與氬 153514.doc -48· 201138024 的混合物之形式引入至處理腔室中。混合物中b2h6之濃度 為約5體積％，且將該混合物以約3600 seem之流動速率連 同以2400 seem流動速率引入之N2—起引入。使氣體自處 理時間之45秒流動至85秒，在此期間在基板上沈積含有 BHX之源層。在約350°C之溫度下且在約2.3托之壓力下執 行沈積。估計沈積於銅頂部上之源層的厚度為約215 A， 而估計沈積於介電質頂部上之源層的厚度為約159 A。在 已沈積了源BHX層之後’使棚院流停止，且使層純化以形 成（BNH)X。鈍化係在處理時間之85秒與90秒之間執行，且 涉及將NH3以約7000 seem之流動速率連同2800 seem之流 動速率下的N2—起引入。點燃具有功率位準為〇.8〇 w/cm2 的HF組分及功率位準為〇·37 W/cm2的LF組分之電漿，並將 電漿自90秒維持至96秒。在約350C之溫度下及約2.3托之 壓力下執行鈍化。估計駐留於介電質上之BHX層之整個厚 度轉變為（BNH)X，且駐留於銅上之源層的約25%之厚度轉 變為（BNH)X。稍後，藉由FT IR光譜學來分析（BNH)X層。 在IR光 s普上觀察到在 3430 cm·1 (υΝ_Η)、2560 cm·1 (υΒ_Η)及 1375 cm 1 (υβ-Ν)下之蜂值。 允許硼擴散至銅線中以形成摻雜有硼之罩蓋層。應瞭 解，硼擴散可在已使源層之頂部部分氮化（鈍化）之前及之 後發生。估計駐留於銅線内之摻雜有硼之蓋的厚度為约25 Α至 75 A 〇 在350°C之溫度下在單個台中執行整個罩蓋製程。隨 後，在350°C下在電漿中使用四曱基矽烷、氨及氮作為處 153514.doc -49· 201138024 理氣體在PECVD裝置之三個不同台中在基板上沈積 SixCyNz擴散障壁層（約500 Α)β在三個台中之每一者中沈 積碳化物層厚度之三分之一。 使用四點彎曲黏著測試來量測具有及不具有含硼之蓋的
Cu (5’〇〇〇 A)-SixCyNz (500 Α)失層之黏著能量。與對於不 具有摻雜有B的蓋的習知夾層結構獲得之僅15 3 J/m2之黏 著此·量相比，在藉由上述方法獲得之夾層中觀察到μ.4 "m2之較高黏著能量。已知改進之黏著通常與改進之電遷 移效能有關。 亦針對含有摻雜有硼之保護蓋及（BNH)χ鈍化層之結構量 測洩漏電流及飽和電容。觀察到此等參數實質上不受所描 述之罩蓋程序影響。 雖然為了清晰起見省略了各種細節，但可實施各種替代 設計方案。因此，當前之實例應被視為說明性的而非限制 性的，且本發明不限於本文中給出之細節，而是可在所附 申凊專利範圍之範嗜内加以修改。 【圖式簡單說明】 圖lA-縣*在鋼雙鑲嵌製造製程期間創造之器件 之橫截面圖； ° 圖2A-2C展示說明保護蓋之部分製造之器件結構的橫截 面圖； 程：3A呈現根據一些實施例之蓋形成製程之—實例製程流 圖3B呈現根據-些實施例之蓋形成製程之另—實例製程 153514.doc •50· 201138024 流程圖； 圖4A-4E展示根據〆些實施例之在罩蓋層形成期間創造 之器件結構的橫截面圖； 圖5為根據本發明之一些實施例的能夠使用可用於形成 罩蓋層之低頻（LF)及高頻（HF)射頻電漿源之PECVD裝置的 示意表示； 圖6為根據本發明之一些實施例的適合於形成罩蓋層之 多台裝置之一個實例的示意表示；及 圖7為根據本發明之一些實施例的適合於形成罩蓋層之 多台裝置之另一實例的示意表示。 【主要元件符號說明】 100 1C結構 103 介電層 105 部分導電金屬擴散障壁 107 銅導電路線/金屬線 108 保護蓋 109 鈍化層/界面膜/界面層 111 第一介電層 113 #刻終止膜 115 第二介電層 117 CMP終止膜 119 介層孔 121 溝槽 123 金屬擴散障壁 153514.doc •51- 201138024 124 銅導電路線 125 銅導電路線 201 層間介電質/1] 203 擴散障壁材料 205 銅或銅合金/命 207 薄保護蓋 208 層 209 鈍化層 211 擴散障壁層 401 介電層 405 銅層 407 保護蓋 408 源層 409 鈍化層 411 碳化矽層 500 反應器 502 高頻RF產生器 504 低頻RF產生器 506 匹配網路 508 歧管 510 源氣體管線 512 入口 514 簇射頭 516 基板 ·52· 153514.doc 201138024 518 晶圓台座 520 接地加熱器塊 522 出口 524 處理腔室 526 真空泵 601 裝置腔室 603 台 605 台 607 台 609 台 611 分度板 613 控制器單元 617 退出承載室 619 進入承載室 701 多台裝置 703 台 705 台 707 台 709 台 711 台 713 台 715 腔室 717 腔室 719 腔室 153514.doc -53- 201138024 721 723 腔室 控制器 153514.doc -54-