TW201224657A - Photosensitive composition and photoresist - Google Patents

Description

201224657 * ▼? V-TVJTl t X j 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於感光性組成物及光阻，特別係有關於 由生質材料形成的感光性組成物及光阻。 【先前技術】 電子產業的微影（lithography)製程例如印刷電路板製 程會使用大量的光阻。-般的光阻主要全係由石油化學品 • 例如丙烯酸酯（壓克力，acrylate)系列原料所形成。當光阻 在光阻程序例如顯影、剝膜步驟等後，會成為無法回收使 用的廢棄物。這種廢棄物每年有數千噸的量，且多係以掩 埋或焚化等的方式處理H餘係非f耗費石油材 料，且係對自然環境有不良的影響。 【發明内容】 本發明之目的係提供一感光性組成物與総。感光性 _、、且成物與光阻主要係採用具有可生物分解性的生質材料 心成’因此可再生使用，且不會對自然環境造成負荷。 根據本發_目的’提出—_光性組成物。感光性 組成物包括-黏合劑、—光交鍵單體及光起始劑。黏合劑 係由-黏合組成物經聚合反應而形成。黏合組成物包括一 礼酸寡聚合體。以該黏合劑之固含量為1〇〇重量份為基 j，該光交鏈單體係約25〜95重量份。以該黏合劑之固含 里為100 ί量份為基準，該光起始劑係約〇 重量份。 根據本發明的目的，也提出一種光阻。光阻係上述感 201224657 光性組成物經配製而形成。光阻可為負型光阻。 【實施方式】 本發明之實施例的感光性組成物包括一黏合劑 (binder)、一光交鏈單體及光起始劑。黏合劑（binder)係由 一黏合組成物經聚合反應而成。聚合反應例如包括熱聚合 或溶液聚合法。 於實施例中，感光性組成物經配製後可形成一負型光 阻。光阻的耐酸性高、玻璃轉移溫度（Tg)高且係可生物分 解的。 黏合組成物包括一乳酸寡聚合體。黏合組成物可更包 括一含羧基之不飽和化合物、一不含羧基的不飽和單體或 一溶劑。 乳酸寡聚合體主要係以乳酸作為材料而製得，材料係 屬於具有再生性質的生質材料且易取得。於實施例中，乳 酸寡聚合體可佔黏合劑之固含量約10〜90重量百分比。此 外，乳酸寡聚合體係容易量產且成本低的。再者，乳酸寡 聚合體係一可分解的材料，對自然環境不會有不良的影 響。 含叛基之不飽和化合物包括例如丙烯酸（acrylic acid)、曱基丙烯酸(methyl acrylic acid)、順-丁晞二酸、反 -丁烯二酸或衣康酸(itaconic acid)等等。於實施例中，含竣 基之不飽和化合物可佔黏合劑之固含量約5〜45重量份。 其中具有不飽和雙鍵之衣康酸可經由發酵製程得到，且為 具有再生性質的生質材料。衣康酸的成本非常的低。 201224657 1 wuHVi+r/\ ι 不含羧基的不飽和單體包括壓克力系列單體如 酸甲酯（methyl acrylate)、曱基丙烯酸曱酯（methyl methacrylate)、丙稀酸乙醋、曱基丙稀酸乙酯、丙歸酸丙 醋、曱基丙烯酸丙酯、丙烯酸異丙S旨、曱基丙烯酸異兩顆、 丙烯酸丁酯、曱基丙烯酸丁酯、丙烯酸異丁酯、甲基兩歸 酸異丁酯、丙烯酸己酯、曱基丙烯酸己酯等；也可包含其 他不飽和單體例如丙稀酿胺（acrylamide)、丙烯氰或笨乙歸 等等。於一些實施例中，不含羧基的不飽和單體可佔黏合 • 劑之固含量約0J〜85重量份。然而本發明並不限於此。於 其他實施例中，可不添加不含羧基的不飽和單體。 於一些實施例中，黏合組成物使用含有敌基的單體， 例如丙烯酸或曱基丙烯酸，可使感光性組成物符合鹼水顯 影的需求，且可增加親水性。不含缓基的不飽和單體可視 情況調整使用的種類與量，以調變黏合劑的親水性與玻璃 轉移溫度(Tg)。黏合劑的親水性愈高，可提升感光性組成 物整體組成對水的相容性與顯影性，但也會使附著力下 • 降；Tg則會影響感光性組成物預烤後的黏性，太低會使感 光層（或光阻）溼黏，不利影像轉移（image transfer)製程的操 作0 於一些實施例中，黏合劑係溶液聚合法（solution polymerization)進行合成。適用的溶劑包括例如二氣曱炫 (dichloromethane)、氣仿（chloroform)、四氯甲烧 (tetrachloromethane)、丙明（acetone)、丁 _ (methyl ethyl ketone)、乙醇（ethyl alcohol)、丙醇（propyl alcohol)、異丙 醇（isopropyl alcohol)、丁醇（butyl alcohol)、二乙基酮 201224657 (diethyl ketone)、丙二醇甲醚（propylglycol monomethylether)或丙二醇甲喊醋酸 g 旨（pr〇pyieneglycol monomethyl ether acetate)等等。於實施例中，以黏合劑之 固含量為100重量份為基準，溶劑可約為40〜200重量份。 溶劑使用量低於下限，則感光液黏度太高，不易塗佈。由 於反應溫度需配合熱聚合起始劑而設定，若反應溫度高於 所採用溶劑的沸點，則聚合反應要在加壓條件下進行，否 則溶劑在反應過程會有揮發的問題。常用的聚合溫度範圍 約為50°C〜130°C。有時考慮黏合劑的溶解性，可以搭配 使用二種以上的溶劑進行聚合。 於一些實施例中’黏合劑可具有以下重複單位(repeating

unit) ： D |1 ? Λ —(-CH2-C-)- ·〇η/01γα

I ch3 〇 ’其中R!為H或CH3 ’ R2為C2〜C4之院基，n為2〜40 之整數，A為Η或 g R3,其中R3為C〗〜<：8之烷基。 舉例來說’於一實施例中，黏合劑具有以下重複單位： /CH3 /CH3 H-CH2 —C-)—(CH2-C)—(CH2-C)—— / \ \ \ 〇-s=C CH2 J2=0 C=0 * 0-CH3

OH C、 〇 / \ HO CH2

O I II CHr-O-f-C

CH / o ch3 光交鏈單體可包括不飽和官能基數目小於5的光交鏈 201224657

里 ννυΐν·*·ΤΓ 广V I 單體或不飽和官能基數目大於或等於5的光交鏈單體。於 實施例中，以黏合劑之固含量為100重量份為基準，光交 鏈單體可約為25〜95重量份。 不飽和官能基數目小於5的光交鏈單體有較佳的移動 性，在紫外線曝光時增加聚合反應速率，以提升感光度。 以黏合劑之固含量為100重量份為基準，不飽和官能基數 目小於5的光交鏈單體可約為10〜70重量份。適當的使用 量可使感光性組成物不致太過僵硬，而不利於聚合反應的 • 進行。若高於70重量份會造成感光性組成表面濕黏。不 飽和官能基數目小於5的光交鏈單體包括例如三丙烯酸三 曱醋丙院(trimethylolpropane triacrylate)、乙氧化三丙烯酸 三曱酉旨丙烧（ethoxylated trimethylolpropane triacrylate)、三 曱基丙稀酸三甲醋丙烧（trimethylolpropane trimethacrylate)、乙氧化三曱基丙稀酸三曱醋丙院 (ethoxylated trimethylolpropane trimethacrylate)、三丙稀酸 羧基異戊三酯（pentaerythritol triacrylate)、三甲基丙烯酸經 籲 基異戊三醋（pentaerythritol trimethacrylate)、四丙烯酸異戊 四酯（pentaerythritol tetraacrylate)或四甲基丙稀酸異戊四 酉旨（pentaerythritol tetramethacrylate)等等。 不飽和官能基數目大於或等於5的光交鏈單體可於感 光性組合物在紫外線曝光（UV exposure)時提供高含量雙 鍵以進行聚合反應。不飽和官能基數目大於或等於5的光 交鏈單體其每一分子中含有的不飽和雙鍵數目愈多，可使 交鏈度愈高，較易抵抗蝕刻液或電鍍液的侵蝕。不飽和官 能基數目大於或等於5的光交鏈單體包括例如五丙烯酸羥 201224657 ‘ 、 基雙異戊五酯（dipentaerythritol pentaacrylate)、六丙稀酸雙 異戊六酯（dipentaerythritol hexaacrylate)或六丙稀酸芳氨 基甲酸乙 g旨（aromatic urethane hexaacry late)等等。於一些 實施例中，以黏合劑之固含量為100重量份為基準，不飽 和官能基數目大於或等於5的光交鏈單體可約為0.1〜40 重量份。然而本發明並不限於此。於其他實施例中，可不 添加不飽和官能基數目大於或等於5的光交鏈單體。適當 選擇添加量可以避免交鏈度不足及降低附著力。高於40 重量份會造成感光層（或光阻）太過僵硬，不易以剝膜液進 行剝膜，妨害影像轉移製程的操作。 光起始劑包括例如2,2-二曱氧基-2-苯基苯乙酮(benzil dimethyl ketal) 、 2,4-二乙基硫代兩苯骄 (2,4-diethylthioxanthone)、異丙基硫代兩苯駢 (isopropylthioxanthone)、2-曱基-1-[4-(曱基-硫代） 苯]-2-(1,4-氧氮陸園）-丙烧-l-〇n (2-methyl-l-(4-(methylthio) phenyl)-2-morpholinopropanone-l)或二 苯曱酮 (benzophenone)、2-曱基丙烯酸二曱胺苯曱酸 (2-Dimethylaminoethyl benzoate)、Irgacure 369 (Ciba Specialty Chemicals,沐峰產業）、四甲二胺二苯曱酮 (Michler’s ketone)等等。以黏合劑之固含量為1〇〇重量份 為基準，光起始劑可約為0.5〜15重量份。光起始劑宜選擇 吸光分解能力強者，可避免因氧氣抑制而降低塗料表面交 鏈度之問題。於一些實施例中，感光性組成物可使用光起 始劑配合一增感劑以提升到感光度。增感劑包括例如笨曱 酸-2-二曱胺乙酯（2-dimethyl aminoethyl benzoate)、對二甲 201224657 1 woHUf+rrt. 胺苯曱酸乙 g旨（ethyl( p-dimethylamino) benzoate)或四曱二 胺二笨甲酮(Michler’ s ketone)等等。以黏合劑之固含量為 100重量份為基準，增感劑可約為0.1〜5重量份。然而本 發明並不限於此。於其他實施例中，可不添加增感劑。

於其他實施例中，感光性組成物可更包括一可塑劑。 可塑劑可為一低分子量高沸點的組成，藉由擴散進入並海 潤樹脂的微結構。可塑劑可軟化感光性組成物促進光硬化 反應的進行。可塑劑可包括填酸鹽（phosphate)例如磷酸三 曱笨酯（tricresyl phosphate)、鱗酸三苯酯（triphenyl phosphate)、填酸三 丁酉旨（tributyl phosphate) ' 三（2-乙基己 基）填酸酯（tris(2_ethylhexyl) phosphate);聚乙稀二醇 (polyethylene glycol)、聚丙烯乙二醇（polypropylene glycol)、三伸乙甘醇(triethylene glycol)、三伸乙甘醇雙醋 酸酯（triethylene glycol diacetate)、三伸乙甘醇二丙酸 g旨 (triethylene glycol dipropionate)、三伸乙甘醇雙丙稀酸醋 (triethylene glycol diacrylate)、四伸乙甘醇（tetraethylene glycol)、四伸乙甘醇雙醋酸醋（tetraethylene glycol diacetate)、四伸乙甘醇雙庚醋（tetraethylene glycol diheptanoate)、二乙基己二酸醋（diethyl adipate);苯二曱酸 鹽(phthalate)例如鄰苯二曱酸二辛醋（dioctyl phthalate)、雙 Η--基酞酸酯（diundecyl phthalate)、聯環己烧駄酸酯 (dicyclohexyl phthalate)、二苯基駄酸醋（diphenyl phthalate)、丁基苄基駄酸酯（butyl benzyl phthalate)等等。 為使感光組成物達到適當性質，也可以依需求適當地 添加消泡劑、平坦劑、色料、滑劑（slipping agent)、附著 201224657

TW6404PA • » 促進劑（adhesion promoter)、搖變劑（thixotropic agent)、增 感劑（sensitizer)、填充料(filler)等等的添加劑。 為讓本發明之上述目的、特徵、和優點能更明顯易 懂，下文特舉較佳實施例，並配合所附圖式，作詳細說明 如下： 乳酸寡聚合體 在三口反應瓶中加入反應物：14.41 g L-lactide和3.34 g HEMA (2-Hydroxyethyl methacrylate)，觸媒：0.61 g 辛酸 錫（stannous 2-ethylhexanoate)，以及安定劑：0.02 gMEHQ (4-Methoxyphenol)。將反應器放入溫度控制在l〇〇°C的油 浴中並通入空氣。以250 rpm速度攪拌反應混合物反應12 小時，即可得到乳酸寡聚合體（PLA-HEMA macromonomer) °

黏合劑I 在一四口反應瓶中加入24.4 g丙二醇曱醚醋酸酯 (propyleneglycol monomethyl ether acetate)溶劑，升高溫度 至90°C並使四口反應瓶内充滿氮氣。將一澄清的混合溶 液，包含109.4 g乳酸寡聚合體、18.2 g衣康酸、14.4 g丙 稀酸（acrylic acid)、22.7 g甲基丙烯酸曱酉旨（methyl methacrylate)、107.9 g 丙二醇甲輕醋酸酉旨（propyleneglycol monomethyl ether acetate) 和 0.67 g 201224657 1 vv r\ « N，N’-azobisisobutyronitrile，加入四口反應瓶中，持續反應 7小時，即可得到固含量55%，Tg= 51°C的黏合劑I，其 重量平均分子量為20,000，且結構如下：

H-CH2 —CH—< CH

I OH

HO CH2/、〇 ch3 ch3 2-C)~~(CHa-C)— c= o c= o c： I 0-CH3 o I II CH2~~〇 —{— c ch2

CH^ \h I CH3

黏合劑II 黏合劑II合成的方法與黏合劑I相似，其中係將丙二 醇曱醚醋酸酉旨（propyleneglycol monomethyl ether acetate) 溶劑改成27.6 g二乙基酮（diethyl ketone)，且澄清的混合 溶液係包含101.7 g乳酸寡聚合體、32.0 g曱基丙烯酸 (methacrylic acid)、16.1 g 苯乙稀（styrene)、120.0 g 二乙基 酮（diethyl ketone)和 0.26 gN,N’-azobisisobutyronitrile。得 到的黏合劑II其固含量約50%，Tg約57°C，重量平均分 子量約為32,000。

黏合劑III 黏合劑III合成的方法與黏合劑I相似，其中係將丙二 醇曱醚醋酸酯的重量改成17· 1 g，且澄清的混合溶液係包 含83.1 g乳酸寡聚合體、14.8 g衣康酸、36.0 g曱基丙稀 201224657

_ . . _______ » I 酸(methacrylic acid)、15.8 g 苯乙烯（styrene)、79.9 g 丙二 醇曱喊醋酸醋（propyleneglycol monomethyl ether acetate) 和 0.011 g N，N’-azobisisobutyronitrile。得到的黏合劑 III 其固含量約60%，Tg約77°C，重量平均分子量約為 49,500。

黏合劑IV 黏合劑IV合成的方法與黏合劑I相似，其中係將丙二 醇曱醚醋酸醋（propyleneglycol monomethyl ether acetate) 溶劑改成13.3 g二乙基_ (diethyl ketone)，且澄清的混合 溶液係包含80.3 g乳酸寡聚合體、37.9 g曱基丙烯酸 (methacrylic acid)、31.3 g 曱基丙稀酸丁醋（butyl methacrylate)、64.4 g 二乙基綱（diethyl ketone)和 0.016 g N，N’-azobisisobutyronitrile。得到的黏合劑IV其固含量約 65%，Tg約55°C，重量平均分子量約為41，000。

黏合劑V 黏合劑V合成的方法與黏合劑I相似，其中係將丙二 醇曱醋酸g旨改成11.4 g二乙基酮（diethyl ketone)，且澄 清的混合溶液係包含39.4 g曱基丙烯酸（methacrylic acid)、110.6g 曱基丙稀酸丁醋（butyl methacrylate)、64.6 g 二 乙基酮（diethyl ketone)和 0.016 g N，N’-azobisisobutyronitrile。得到的黏合劑V其固含量約 201224657 I ννΟΗν,ΗΓΛ · 65%，Tg約56°C，重量平均分子量約為40,000。 實施例1 配製一感光性組成物，包含下列成分： 黏合劑1 181.8 Trimethylolpropane Triacrylate 15.0 Dipentaerythritol hexaacrylate 30.0 2-Dimethylaminoethyl benzoate 0.5 Irgacure 369 (Ciba Specialty Chemicals,沐蜂產業） 2.0 Hydroquinone 0.5 Blue 603 (公隆公司） 1.0 Modaflow2100 1.0 Defoamer DC-1000 (Deuchem Trading Co” 德謙公句） 2.0 Diethyl ketone 60.0 將上列感光性組成物混合並攪拌均勻。然後以簾幕式 塗佈法將感光性組成物印刷於聚對苯二曱酸乙二醇酯 (PET)基材上，並放入烘箱以l〇〇°c進行乾燥2分鐘。待 感光性薄膜冷卻後，使用壓合機將其壓黏在銅箱基板上。 其中壓合機的溫度係保持在1〇〇。(：至12〇。〇然後，於PET 基材上覆蓋底片並以紫外線曝光機對感光性薄膜進行曝 光。曝光能量為80 mJ/cm2。接著以1.0%碳酸鈉水溶液 (NhCOvaqO進行顯影’露出欲姓刻的鋼箱部分。然後，以 氣化銅水溶液(CuCl2(aq})蝕刻基板，並以丨。/。氫氧化鈉水溶 液(NaOH(aq))剝除光阻。 實施例2 配製一感光性組成物，包含下列成分： 201224657 黏合劑II 200.0 Ethoxylated trimethylolpropane triacrylate 20.0 Dipentaerythritol pentaacrylate 20.0 Benzophenone 3.0 Michler’s ketone 0.5 Hydroquinone 1.0 Malachite green oxalate 1.0 Modaflow 2100 1.0 Defoamer DC-1000 (Deuchem Trading Co.，德謙公司） 2.0 Diethyl ketone 50.0 以相似於實施例1的方法，利用感光性組成物形成感 光性薄膜，並對感光性薄膜進行光阻程序。 · 實施例3 配製一感光性組成物，包含下列成分： 黏合劑III 166.7 Aromatic urethane hexaacrylate 15.0 Trimethylolpropane triacrylate 35.0 Benzil dimethyl ketal 2.0 Michler’s ketone 1.0 Hydroquinone 1.0 Malachite green oxalate 1.0 Modaflow 2100 1.0 Defoamer DC-1000 (Deuchem Trading Co” 德謙公司） 2.0 Diethyl ketone 65.0 以相似於實施例1的方法，利用感光性組成物形成感 光性薄膜，並對感光性薄膜進行光阻程序。 實施例4 配製一感光性組成物，包含下列成分： 14 201224657

1 W04WKA 黏合劑IV 153.8 Dipentaerythritol pentaacrylate 35.0 Trimethylolpropane triacrylate 10.0 Benzophenone 2.0 Michler’s ketone 0.5 Hydroquinone 0.5 Blue 603 (公隆公司） 1.0 Modaflow 2100 1.0 Defoamer DC-1000 (Deuchem Trading Co.，德謙公司） 2.0 Diethyl ketone 80.0 以相似於實施例1的方法，利用感光性組成物形成感 • 光性薄膜，並對感光性薄膜進行光阻程序。 比較例 配製一感光性組成物，包含下列成分： 黏合劑V 153.8 Dipentaerythritol pentaacrylate 35.0 Trimethylolpropane triacrylate 10.0 Benzophenone 2.0 Michler’s ketone 0.5 Hydroquinone 0.5 Blue 603 (公隆公司） 1.0 Modaflow 2100 1.0 Defoamer DC-1000 (Deuchem Trading Co” 德謙公司） 2.0 Diethyl ketone 80.0

以相似於實施例1的方法，利用感光性組成物形成感 光性薄膜，並對感光性薄膜進行光阻程序。 測試結果 表1為實施例1至實施例4與比較例之光阻層的測試 15 201224657 • » 結果。從表1的結果可發現，由本發明實施例之光阻層的 感光性、高耐顯影性、高解析度、高附著性、高耐蝕性與 快速剝膜特性都與不含生質材料之比較例的光阻層相當。 表1 光阻測試結果

實施例 實施例1 實施例2 實施例3 實施例4 比較例 感光性(格數） 5 6 5 5 6 解析度(μηι) 100 100 100 100 100 附著性(μηι) 80 80 80 80 80 殘渣 None None None None None 剝膜時間(秒） 27 32 25 34 26 蝕刻抗性 OK OK OK OK OK 雖然本發明已以較佳實施例揭露如上，然其並非用以 限定本發明，任何熟悉此項技藝者，在不脫離本發明之精 神和範圍内，當可做些許更動與潤飾，因此本發明之保護 範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。 【圖式簡單說明】 無 【主要元件符號說明】

Claims (1)

1. 201224657 I WOHUftKA . 七、申請專利範圍： 1. 一種感光性組成物，包括： 一黏合劑（binder)，係由一黏合組成物經聚合反應而形 成，該黏合組成物包括一乳酸寡聚合體； 一光交鏈單體，以該黏合劑之固含量為100重量份為 基準，該光交鏈單體係約25〜95重量份；及 一光起始劑，以該黏合劑之固含量為100重量份為基 準，該光起始劑係約0.5〜15重量份。 • 2.如申請專利範圍第1項所述之感光性組成物，其中 該光交鏈單體包括五丙稀酸經基雙異戊五g旨 (dipentaerythritol pentaacrylate)、六丙烯酸雙異戊六酯 (dipentaerythritol hexaacrylate)、六丙稀酸芳氨基甲酸乙酯 (aromatic urethane hexaacrylate)、三丙浠酸三曱酯丙烧 (trimethylolpropane triacrylate)、乙氧化三丙稀酸三曱酯丙 烧（ethoxylated trimethylolpropane triacrylate)、三甲基丙稀 酸三曱醋丙烧(trimethylolpropane trimethacrylate)、乙氧化 鲁 三曱基丙稀酸三曱醋丙烧（ethoxylated trimethylolpropane trimethacrylate)、三丙烯酸經基異戊三酯（pentaerythritol triacrylate)、三曱基丙稀酸經基異戊三g旨（pentaerythritol trimethacrylate)、四丙烯酸異戊四酯（pentaerythritol tetraacrylate)或四曱基丙烯酸異戊四酯（pentaerythritol tetramethacrylate)。 3 ·如申請專利範圍第1項所述之感光性組成物，其中 該光起始劑包括2,2-二曱氧基-2-笨基笨乙酮（benzil dimethyl ketal) 、2,4-二乙基硫代兩苯駢 17 201224657 (2,4-diethylthioxanthone)、異丙基硫代兩苯駢 (isopropylthioxanthone)、2-曱基-l-[4-(曱基-硫代） 苯]-2-(1,4-氧氮陸圜）-丙烷-1-on (2-methyl-l-(4-(methylthio) phenyl)-2-morpholinopropanone-l)或二 苯曱酮 (benzophenone) 〇 4. 如申請專利範圍第3項所述之感光性組成物，更包 括一增感劑，該增感劑包括苯甲酸-2-二曱胺乙酯 (2-dimethyl aminoethyl benzoate)、對二甲胺苯曱酸乙醋 (ethyl( p-dimethylamino) benzoate)或四曱二胺二苯曱鲷 (Michler’s ketone)，且以該黏合劑之固含量為重量份 為基準，該增感劑係約0.1〜5重量份。 5. 如申請專利範圍第1項所述之感光性組成物’其中 該乳酸寡聚合體係佔該黏合劑之固含量約10〜90重量百分 比0 6. 如申請專利範圍第1項所述之感光性組成物，其中 該黏合組成物更包括一含羧基之不飽和化合物。 7. 如申請專利範圍第6項所述之感光性組成物’其中 該含羧基之不飽和化合物包括丙烯酸(acrylic acid)、甲基 丙烯酸(methyl acrylic acid)、順-丁烯二酸、反·丁烯二酸或 衣康酸。 8. 如申請專利範圍第6項所述之感光性組成物，其中 該含羧基之不飽和化合物係佔該黏合劑之固含量約5〜45 重量份。 9. 如申請專利範圍第1項所述之感光性組成物，其 該黏合組成物更包括一不含羧基的不飽和單體。 ^ 201224657 1 woHWfrA * 10. 如申請專利範圍第9項所述之不含羧基的不飽和 早體，包含壓克力系列單體、丙稀酿胺（acrylamide)、丙稀 氰或笨乙烯。 11. 如申請專利範圍第10項所述之不含羧基的不飽和 早體’其中該壓克力糸列單體包括丙稀酸曱醋（methyl acrylate)、曱基丙烯酸曱酯（methyl methacrylate)、丙稀酸 乙酯、曱基丙烯酸乙酯、丙烯酸丙酯、曱基丙烯酸丙酯、 丙烯酸異丙酯、甲基丙烯酸異丙酯、丙烯酸丁酯、曱基丙 # 烯酸丁酯、丙烯酸異丁酯、曱基丙烯酸異丁酯、丙烯酸己 酯或曱基丙烯酸己酯。 12. 如申請專利範圍第9項所述之感光性組成物，其 中該不含羧基的不飽和單體係佔該黏合劑之固含量約 0.1〜85重量份。 13. 如申請專利範圍第1項所述之感光性組成物，其 中該黏合組成物更包括一溶劑。 14. 如申請專利範圍第13項所述之感光性組成物，其 Φ 中該溶劑包括二氣曱烧（dichloromethane)、氣仿 (chloroform)、四氯曱燒（tetrachloromethane)、丙酮 (acetone)、丁嗣（methyl ethyl ketone)、乙醇（ethyl alcohol)、 丙醇（propyl alcohol)、異丙醇（isopropyl alcohol)、丁醇 (butyl alcohol)、二乙基酮（diethyl ketone)、丙二醇曱醚 (propylglycol monomethylether)或丙二醇曱謎醋酸酉旨 (propyleneglycol monomethyl ether acetate) ° 15. 如申請專利範圍第16項所述之感光性組成物，其 中以該黏合劑之固含量為100重量份為基準，該溶劑係約 201224657 40〜200重量份。 16. 如申請專利範圍第1項所述之感光性組成物，其 中該黏合組成物更包括一溶劑與一壓克力系列單體。 17. 如申請專利範圍第μ項所述之感光性組成物，其 中該黏合組成物更包括一含羧基之不飽和化合物。 18.如申請專利範圍第1項所述之感光性組成物，其 中δ玄黏合劑具有以下重複單位(repeating unit): H-ch2-c- c=o ο οU4

   ’其中R!為Η或CH3，R2為c2〜C4之烷基，η為2〜40之 整數’Α為η或gR3,其中仏為Ci〜c8：^院基。 19.如申請專利範圍第18項所述之感光性組成物，其 中該黏合劑具有以下重複單位(repeating unit): CH2 OH /CH3 /CH3 ：^-{CH2-C)—(CHr-C)— c=o I 0-CH3

   ch2 o I II CH2-0-(-C CH， I ch3 V 2〇· —種光阻，其中該光阻係由如申請專利範圍第i 項所述之感光性組成物經配製而形成。 21·如申請專利範圍第20項所述之光阻，其中嗲朵 係負型光阻。 Λ 20 201224657 四、指定代表圖： (一） 本案指定代表圖為：無 (二） 本代表圖之元件符號簡單說明： 無 五、本案若有化學式時，請揭示最能顯示發明特徵的化學式： —(-CH2-C' C=0

   ? J R2-〇(亡