TW557321B - Positive type photosensitive resin composition and method for forming resist pattern - Google Patents

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557321 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（1 ) 發明背景 1 .發明領域 本發明係關於一種新穎的正型感光樹脂組成物及抗蝕劑 圖案之形成方法。 2 .習知技藝背景 正型感光樹脂組成物在無環境污染、節省資源與能量、 高生產效率等諸點考量上具有優異的特性，因此，目前為 止該組成物已在很多領域中被用作一塗層組成物、墨水Μ 及黏著a。此種感光樹脂組成物已被應用於多種用途目的 ，其中Μ電路板、塑膠、木材、金屬業、紙、玻璃、孅維 等等作為材料。 然而，當此種正型感光樹脂組成物Κ工業化生產並應用 至一實用線上時，會有Μ下的問題存在。 該正型感光樹脂組成物係利用一曝光部分與一未曝光部 分間之溶解度差。 在考慮一迄今用於曝光之可見光之發射光譜波長時，通 常使用例如4 8 8 n m，5 3 2 η Π1等等活ib光。在處理此一感光樹 脂組成物之情形下，使用K 一暗紅上色劑塗佈其外管或將 一暗紅膜纏在該外管周圍而上色之如螢光燈等電燈作為一 安全燈（一工作燈）。然而，在此一暗紅安全燈之周圍存在 有一些問題。例如，難Μ偵測塗佈後塗層膜之狀態，且不 易檢查塗佈裝置、輻射裝置、傳輸裝置等等。因此，安全 工作性質、工作效率、產品品質安定性等等均不良。 發明概述 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） _ 4 _ (請先閱讀背面之注意事項再本頁) 木 -------訂 - 557321 A7 B7 五、發明説明（2 樹 光 感一 型及 正M 之， 穎理 新處 種下 一 件 出條 展光 發全 了 安 為亮 係明 的一 目於 之 可 展其 發， 明物 發 成 本 組 旨 藉 --1— 種 現 發 已 果 結 。 題 法問 方述 之 上 案決 圖 解 劑欲 蝕 係 抗 的 一 目 成究 形研 物強 成加 組 之 此明 用 發 使本 由 決 解 可 合 組 之 光 全 安 。 定成 特完 一 已 與 明 物發 成本 組 ， 脂此 樹因 光 。 感題 型 問 正的 定上 特統 一 傳

波 大 最 於 其 物 成 組 脂 : 樹 下光 如感 面型 方正 各 之 之態 明 固 發 或 本態 ， 液 之 種 言 一 換K 至 由 範 中 長 其波 ， 大 用最 使光 下全 境安 環該 射 自 輻選 光 在 全膜 安光 之 曝 內未 圍 一 範 之 ΠΠΙ成 20形 〜所 物 50成 在組 長此 3 t 為 率 收 吸 之 內 圍 範 物 成 組 脂 樹 光 感 長型 波 正 大述 最 上 之2 圍 括 包 產 酸 。 光 低 一 更 與 或脂 ροτ『·* . 樹 酸脂 一 樹 生 該 產或 M， 用結 而鏈 分學 成化 本經 基係 為劑 作生 線產 射酸 能光 性該 活與 一 脂 Μ 樹 由 該 藉 ， ， 基 劑由 生 自 物 。 成管 合 組電 混脂放 經 樹之 係 光分 劑慼成 生型要 產 正 主 酸述為 光 h 作 該 3 納 與 含 包一 自 得 係 光 全 安 該 中 其 有 具一 含 包 要 主 其 波 光 (請先閱讀背面之注意事項再本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 線 射 D 之 長 括 包 其 法 方 成 形 之 案 圖 劑 蝕 抗 ▲ f 1 種一 4 其 於 Μ 上 板 基 至 加 施 物 成 組 脂 樹 光 感 型 正 將 驟 步 之 膜 光 感 I 成 形 上 膜 幕 罩一 過 透 或 接 直 膜 光 感 之 上 板 基 該 於 成 形 該 使 劑 蝕 抗 欲 所一 Ϊ 得 上 膜 光 感 該 於及 Μ Μ 5 f 光驟 曝步 下 之 束丨 光 射 -雷(-一 案 於圖 像 影 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 557321 A7 B7 五、發明説明（3 ) (3)使該抗蝕劑膜進行顯影處理Μ於該基板1:形成抗蝕 劑圖案之步驟，其中由該正型感光樹脂組成物所形成之一 未曝光膜在選自該安全光最大波長範圍之最大波長Ϊ30ηπι 範圍内之吸收率為0 . 5或更低；而步驟Π )至（3 )中之至少 一步驟係於該具有高光譜發光效率之安全光輻射環境下進 行，其中一光源發射光譜之最大波長在50 0至620n m之範圍 内° 5 .該抗蝕劑圖案之形成方法，其中該安全光係得自一包 含納作為主要成分之放電管（其主要包含一具有5 8 9 η in光 波長之D射線）。 根據本發明，可形成一在安全操作性、操作效率、產品 品質安定性等等上極為優異之抗蝕劑I圖案。 請 先 閱 讀 背 面 之 注 意 事 項

頁I 訂 明 說 式 圖 單 簡 分 成 要 主一 為 作 鈉 含 包 之 中 明 發 本 於 用 可一 示 顯 為 1J 圖 圖 佈 分 譜 光 管 電 放 之 用 所 光 全 安圖 之 有 附 示 顯 圖 佈 分 譜 光 之 管 電 放 鈉 之 器 光 濾 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 Η 線 曲 之 率 效 光 發 譜 例 光實 示一不 顯 顯 一 I (¾fe 3 4 圖 圖 圖 線 曲 率 收 吸 之 膜 光 曝 未 用 所 中 明 說 细 詳 之 例 巌 實 圖佳 較 示 顯 佈 分 譜 光 之 管 燈 光 至 之 物 50成 在組 長脂 波樹 大光 最 感 有型 具正 ， 定 中特 明 一 發致 本導 在 會 不 為 之 燈應 之 反 内合 圍聚 範基 丨由 自 Π ο 2 光乎 的M 高 光 有全 具安 言 此 而 ， 者下 作度 工強 對光 光發 全 的 安 同 之 相 内 在 圍 ， 範 此 此因 在 ύ 且 率 ， 效 光光 全 發 安譜 6 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 557321 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（4 ) 比用於傳統方法中之安全光亮。本發明利用t述安全光的 特性，藉此改善安全操作性、操作效率、產品品質安定性 等等。另外，已有使用染紅的螢光燈作為用於傳統方法中 之安全光者，但螢光燈之放射光譜具有之波長範圍在一従 紫外光至可見光區域之廣範圍內ΐ圖5 )。因此，此螢光燈 甚至會曝照到一部分不需感光之感光樹脂塗層膜，致使無 法經顯影處理形成一清晰的抗蝕劑圖案。Μ會造成不方便 的使Τ；作環境變暗之方式來降低光強度可補償此缺點。相 反的，在本發明中，使用該安全燈，例如具有尖窄波長的 鈉燈，可藉Κ解決上述問題。 本發明中所用之安全光具有5 00至6 20 ηπι，較佳510至 600n in範圍內之最大波長。例如，可藉由使用一放電管而 得到此安全光，其中具有上述50 0至6 20n in範圍内之最大波 長之光可藉由使燈管本身在如納等氣體中放電而放射出ϋ 在各種放電燈管中，納燈管在安全性、工作環境性質等等 t優異，因為從鈉燈管放射的光主要包括一具有5 89 n m波 長之黃色D射線，且其為翬色光，使得光的色差低，因此 物體可鮮明地展現。圖1顯示該低壓鈉燈管之光譜分佈波 長° 如圖]中所示關於此納燈管之光譜分佈圖，除了該具有 鈉燈管最大波長之D射線外，該安全光可具有一高能射線（ 一短波長範圍），達一不致對該感光樹脂組成物有不良影 響的程度。 另外，亦可使用一配有一丨慮光器K切斷該高能射線而非 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再本頁) 太 557321 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 (5 ) 該 D射線之鈉燈管所放射出之光作為安全光丨: 、其中高能射 線 被 阻 斷 之 該 鈉 燈 管 之 光 譜 分 佈 顯 示 於圖 2中。濾光器之 實 例 包 括 "F an t a C FD - 1 081 Sc a r 1 e t fT F a n t a c FC- 14 3 1 S u n f } 0 we Γ Ye 1 1 0 W 兩 者 均 為 商 標 ， 由f(a ns a ί P a ί n t 公司 所 製 造 ) Μ及” L ί n t e c h L u mi C 0 ο 1 f 1 I Η! Ho * 1 9 0 5 ”: 一種 商 標 由 Li n t e c h公司所製造ί 〇 此 外 5 用 於 本 發 明 中 之 安 全 光 較 佳 為一 尖 窄之 5 8 9η m單 色 光 如 來 白 鈉 燈 管 之 光 5 但 除 了 具 有最 大 波長 在5 00至 6 2 0η m範圍内之光外， 亦可使用具有分佈在紫外光、可見 光 或 紅 外 光 波 長 範 圍 内 之 波 長 之 安 全 光。 m j\w 而， 當使 用具 有 上 述 範 圍 外 之 分 佈 之 安 全 光 時 須 使此 分 佈之 光範 圍為 个 會 對 正 型 感 光 樹 脂 組 成 物 造 成 不 良 影響 (感光）之安 全光 範 圍 〇 此 — 安 全 之 高 能 光 範 >•^,1 圍 係 與 光 的 分 佈能 量 強度 以及 正型 感 光 樹 脂 組 成 物 在 此 範 圍 内 之 吸 收 率 有關 〇 當光 的能 量強 度 高 時 5 可 使 用 具 有 低 吸 收 率 之 組 成 物， 而 當光 的能 量強 度 低 時 9 可 使 用 具 有 相 對 而 言 較 前 者 為高 吸 收率 之組 成物 0 m 而 9 一 般 具 有 最 大 波 畏 在 5 0 0 到 6 2 0 n m 範 圍内 的螢 光燈 不 能 作 為 會 受 振 盪 線 特 別 在 48 8 η in 或 5 3 2 n m 可見 雷射 光感 光 之 正 型 感 光 樹 脂 組 成 物 所 用 之 安 全 燈， 因 為此 型螢 光燈 在 少 於 5 0 0 η m下= 1尤其在400 至 4 9 9η ΪΠ下具有高的光能量。 本 發 明 所 定 我 之 吸 收 率 係 以 -I 〇 g (I / I 0 ) 一 式表 示， 其中 I為穿透過- -塗層膜之光強度 ，該膜係藉由將可見光硬化 樹 脂 組 成 物 加 至 一 透 明 基 板 表 面 上 m 川v 後使 乾燥 (移去溶 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 一 8 請 先 閲 讀 背 之 注 意 項

頁 訂 557321 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 (6 ) 劑 )而形成； 而ί &為穿透過- -空白物之光強度{該透 明 基 板 (例如- -聚乙烯對酞酸酯片） 5 將 該樣 品 (該正型感光樹 脂 組 成 物 )加至其上} 〇 人 類 眼 睛 可 觀 察 到 之 光 売 程 度 可Μ 光 譜 發 光效率 表 示 0 如 J IS Z81 1 8 - 2 0 0 5中所定義者， 當- “具有波長λ之 單 色 光 亮 度 在 預 定 之 觀 測 絛 件 下 被 判 斷 為等 於 一 比 較用參 考 物 之 亮 度 時 f 此 光 譜 發 光 效 率 可 定 義 為該 具 有 波 長1之單色光 之 輻 射 亮 度 相 對 值 之 倒 數 而 一 般而 言 ， 當 波長^變化時 ， 其 可 定 義 為 —- 標 準 化 之 值 9 致 使最 大 值 可 變成1 c ，圖3 顯 示 380至 780 n m 範 圍 内 之 可 見 光 波 長範 圍 内 光譜發 光 效 率 曲 線 〇 在 圖 3中， 光譜發光效率之比率顯示在座標軸上之 光 譜 發 光 效 率 之 最 大 值 為 ]0 0之假設上( 、從此曲線明顯得 知 在 傳 統 紅 色 波 長 範 圍 -y 64 0 全 7 8 0 n in 中 5 其 光譜發 光 效 率 低 y 且 由 人 眼 所 觀 察 到 之 此 範 圍 為暗 暗 的 9 例如， 為 了 使 人 眼 在 5 8 9η in之波長Γ可觀察到相同的亮度j 輻射光之強 度 必 須 再 進 — 步 增 加 〇 此 外 9 光 度之 最 大 值 為約555 η ηι ! ( J IS Ζ8 1 1 3 -2008) 〇 用 於 本 發 明 中 之 正 型 感 光 樹 脂 組成 物 為 __. 種經過 士 R rrX 計 之 組 成 物 使 得 僅 有 已 曝 光 於 活 性能 量 射 線 下之部 分 可 溶 於 —-. 顯 影 溶 液 中 加 Μ 移 除 且 可 使用 傳 統 已 知之組 成 物 5 只 要 由 此 組 成 物 所 形 成 未 曝 光 膜 之吸 收 率 在 選自上 述 安 全 光 最 大 波 長 範 圍 之 最 大 波 長 -½ 中 央波 長 士 3 0 ^ n m (-30 丨n m [至 + 30r i m ) 較 佳 最 大 波 長 土 20 n if 1 (- -20 η ε ί至 + 2 0 n m )， 更 佳 最 大 波 長 土 1C 丨η π 1 (- •1C )11 〖Π1至 1 Λ i U 丨η π !)之範圍内為C h 5或更 小 > 較 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 一 9 一 請 先 閱 讀 背 之 注 意 事 項

頁 訂 557321 Α7 Β7 五、發明説明（7 佳為0 . 2或更小，尤佳為0 . 1或更小。作為此種組成物者， 可使用任何於例如塗層組成物、墨料、黏著麵、印刷板材 料Μ及印刷打線板所用之抗蝕劑材料中所用之組成物。 上逑傳銃所知正型感光樹脂組成物之典型實例將加Μ說 明。 該組成物之實例包括一包括光酸產生劑之樹脂、一包括 光酸產生劑Μ外成分（如輕鹼產生劑等等）之樹脂，Μ及一 藉光自行分解之樹脂。這些樹脂中之每一種均可藉光分解 ，致使樹脂本身之如極性與分子量等特性會改變，因此可 溶於一如顯影溶液等犓質中（例如一含水顯影溶液或一有 機溶劑）。此樹脂可與一如光酸產生劑等成分合併，或可 為一如光酸產生劑等成分以及一具有可藉酸或類Μ物分解 之基團之樹脂之混合物。若有必要，該樹脂可進一步與另 一樹脂混雜，Μ調節其於該顯影溶液中之溶解度。 上述包括該光酸產生劑成分之樹脂將加Μ說明。該樹脂 之實例包括一其中該光酸產生劑係併入一樹脂骨架中之樹 脂（例如藉由曝光產生一酸基Μ使鹼性顯影可行之樹脂）， Μ及該光酸產生劑與一樹脂之混合物{一種混合物，其中 該樹脂被Μ —由該光酸產生劑所產生之酸切成低分子量之 基團，&賦予該樹脂一酸基以變成一可溶物質，如聚（對-羥基苯乙烯），藉此使該樹脂於一有機溶劑或一含水顯影 溶液中可分散或可溶}ΰ 包括該光酸產生劑之樹脂之典型實例包括（1) 一種組成 物，包括一樹脂作為主要組分，其中一醌二疊氮磺酸與一 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 請 先 閱 讀 背 Sj 之 注 意 事 項 β 頁 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 10 557321 A7 B7

五、發明説明（S 鹼樹脂，如具有一離子生成基之丙録酸樹脂，透過一磺酸 酯鍵組合（參考日本專利申請早期公開號206 29 3/ 1 986 Μ及 1 3 3 4 4 9 / 1 9 95 )，亦即利用醌二疊氮藉照光分解經由乙烯嗣 形成節羧酸之反應之禁醌二疊氮感光組成物；（2 ) —種利 用一曝光部分與一未曝光部分之溶解度差之化學強化糸統 感充材料，在光酸產生劑存在下以照光作為催化劑進行一 改變狀態下鹼性樹脂（一聚合物）之消去反應，Κ產生該酸 基{參考日本專利申請早期公開號2 2 6 4 6 1 / 1 9 9 2 , 4 5 4 3 9 / 1984Μ 及 250842/1988;美國專利號 4,49],628; Davidson T .所編之ττ Ρ ο 1 y ni e r s ί n Electronics (電子學中之聚合物 )T?f ACS Symposium Series 242， American Chemical Society， Washington D,C. j p, 1 1 ( 1 984 ) ί N . H a y a s h i s T * Ueno， M * Toriumi等， ACS P o 1 y m * 請 閱 讀 背 ί 事 項

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Eng

Vo 1 . 6 1， p. 4 1 7 ( 1 9 8 9 ) ί M 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 S. H . Ito， C , G » Wilson » ACS Symp, j Ser. 242， p . U Π 9 8 4 ) }; M及（3 ) —正型感光樹脂組成物，利用一加 熱形成不溶於溶劑或鹼性水溶液中之交聯膜，然後Μ光酸 產生劑切割交聯結構Μ藉照光產生酸基，使得照射過的部 分變成可溶於該溶劑或鹼性水溶液中之機構（參考日本專 利申請早期公開號 2 9 5 0 6 4 / 1 9 9 4 , 3 0 8 7 3 3 /〗9 9 4 , 3 1 3 ί 3 4 / 1 9 9 4,3 1 3 1 3 5/ 1 9 94 ^ 3 1 3 1 3 6/ 1 9 9 4 以及 1 4 6 5 5 2 / 1 9 9 5 )-在上逑組成物（2)中，控制樹脂於顯影溶液中之溶解度 之官能基（羥基、羧基等等）受到阻隔（Μ —酸-對-不安定 S f a c i d - t ο - υ η s t a b i e g r ο υ p )為之）而使其不可溶，然後 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） -11- 557321 A7 B7 五、發明説明（9 ) Μ該光酸產生劑解除該P且隔Μ回復該聚合物之溶解度。可 組隔羥基（_ Ο Η基 > 之該酸-對-不安定基（-0 R之R基）之實例 包括t-丁氧基羰基（稱為” t-BOC”基）、t-丁氧基、t-丁氧 基羰基甲基、四氫喵喃基、三甲基矽烷基、K及異丙氧 基羰基。對具有羥基之該樹脂而言並不加諸特別的限制， 只要其可施行上述的效果即可，但它通常為一具有_型羥 基之樹脂。作為該酸-對-不安定基而言，M t-BOC基與t-丁氧基為佳，而具有此酸-對-不安定基之樹脂實例包括聚 (t-丁氧基羰基氧基苯乙烯）、聚（t-丁氧基羰基氧基--苯 乙豨）、聚（t _ 丁氧基苯乙烯）、K及這些單體與其它可聚 合單體{例如甲基（甲基）丙烯酸之C, - ^烷基或環烷基酯、 順丁烯二薩亞胺與亞不亂}之共聚物。該具有t-BOC基之聚 (t-丁氧基羰基氧基苯乙烯）之組成物擧例而言利用t-BOC 基隨光酸產生劑所產生之酸分解之特性K使異丁烯與二氧 化碳氣體揮發，致使該聚合物變成一聚苯乙烯，而該 加 曾 ti 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 影 ( 顯基 於羧 其隔 性 極 的 脂 樹 基 定 安 變β不 改液-此溶 藉鹼酸 , 水之 基含丨 成 變 基 液 基 對 善 改 並 之 中 度 解

阻 可 有 具基 5 R 外 之 此 R 樹 之 有 具 脂 樹 之 G 統 物 系 生 分 衍組 酯梠 酸兩 狻 一 之作 基 用 丁 可 t-物 有 成 具組 括 該 包 ， 例 且 實 而 脂 對 , 樹 脂 一 樹 另 之 該 統 。 糸 脂 分 樹 組 一 相另 三 與 一 劑 或生 ， 產 劑 _ 生光 產 、 酸基 光 定 與 安 基 不 定 安 不酸 -有 具 對 溶 影 顯 於 及 Μ 性 作 操 佈 塗 之 物 成 組 該 善 。 改 化 可變 如 度 0 解 用 溶 使 之 之 中 脂液 12 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐） 557321 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 (10) 上 組 成 物 (3 )為— -液態 或- -固態 樹脂，包括ί a ) 具 有一 羧 基 及 /或— -羥基苯基之樹 脂！ ，（b丨包括醚鐽之 婦 ，1：ητ m 不 飽和 ib 合 物 Μ 及 用 Μ藉 照光產生 酸基之光酸產生 m 0 在 同 時 具 有 羧 基及 羥基苯基 之樹脂（a )之實例中丨 •可使 用 在 一 個 分 子 中 具有 這些取代 基之樹脂，或具 —τΛ1—· 月 這 些 取代 基 之 不 同 樹 脂 混 合物 〇 含 羧 基 樹 脂 (a -1 )之實例 包括丙烯 酸樹脂與聚酯樹脂 ϋ 上 述 樹 脂 (a -1 )較佳具有 約 5 0 0 至 10 0，0 0 0， 特 別 是 約1 9 500至 30 ， 000 之數 目平均分 子量， 而羧基之 量 較 佳 為每 公 斤 樹 脂 約 0 * 5至10 m 〇 1 s 5 f更 佳約0 ♦ 7 至 5 mol S > 含 羥 基 笨 基 樹 脂（a - 2)之 實例包括 一單官能或多官能基 酚 化 自V 物 一 *院 基酚 化合1 攻、 或其- -混会物與 如 甲 醛 或丙 _ 等 羰 基 化 合 物 之縮 合物； :Μ 及一含羥基苯基 不 飽 和 單體 ， 如 對 -羥基苯乙烯， 與上 述當需要 時可使用之其它可聚 • U ―广 个 飽 和 單 體 之 共聚 物。 上 述 樹 脂 (a -2 )較佳具有 約5 0 0至] 00 ， 000 ， 特 別 是 約1 9 5 0 0 至 3 0， f 0 00之數 目平均分 子量， 而羥基苯 基 量 較佳 為 每 公 斤 樹 脂 約 1 . 0 m ο 1或 更多，更 佳約2全8 m 〇 1 S 〇 另 外 5 在 使 用 樹脂 (a - 1 ) 與樹脂U - 2 )之混合 物 之 例 中， 樹 脂 (a -1 )/ 樹 脂 (a-2 )之混 合比較佳 在9 0/10至 10/90之重 量 比 WE 圍 内 0 具 有 一 羧 基 與 一羥 基苯基之 樹脂（ a 一 3 )之實例包括- *含 羧 基 可 聚 合 不 飽 和單 體ί (甲基 )丙烯 酸等等}與 一 含 羥 基苯 基 可 聚 合 不 飽 -Τγ-ϊ 不U 單體 〖控基 苯乙烯等 等），Μ及 若 有 必 要時 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐） 13 一 請 先 閲 讀 背 之 注 意 事 項

頁 557321 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（11 ) ，另一可聚合不飽和單體{一丙烯酸之具有1至1 2個碳原子 之烷基酯，如（甲基）丙烯酸甲基酯、ί甲基）丙烯酸乙基酯 、（甲基）丙烯酸丙基酯、（甲基）丙烯酸丁基酯、或（甲基〉 丙烯酸2 -乙基己基酯，一芳香族化合物，如苯乙烯，或一 含氮不飽和單體，如（甲基）丙烯腈}之共聚物；Μ及一 鼢樹脂，由一羥基笨甲酸、五倍子酸、間苯二®酸、或其 中任一和酚、萘酚、間苯二酚或鄰苯二酚之混合物與甲醛 反應而得。 上述樹脂U - 3 )較佳具有約5 0 0至1 0 0，0 0 0，特別是約1 ，5 0 0至3 0，0 0 0之數目平均分子量，而羧基之量較佳為每 公斤樹脂約0 . 5全1 Ο πι ο 1 s，更佳約0 . 7至5 m ο 1 s。羥基苯基 之量較佳為每公斤樹脂約1 . 0 m 〇丨或更多，更佳約2至8 m ο 1 s ° 該包括醚鐽之烯烴不飽和化合物（b )為一在分子末端具 有約1至4個不飽和醚基，如乙烯醚基、】-丙烯醚基與1 -丁 烯醚基之化合物。化合物（b)為在一分子中具有至少一個 ，較佳2至4個由式-R”〇-A所代表之不飽和醚鐽之低分子量 或高分子量化&物，其中A為一烯烴不飽和基，如乙燏基 、1 -丙烯基或1 - 丁烯基；而R ”為一具有1至6個碳原子之直 鐽或具支鐽亞烷基，如亞乙基、亞丙基或亞丁基。典型的 ib合物（b )實例包括一多酚化合物，如雙酚A、雙酚F、雙 I分S或酚樹脂，或一多醇，如乙二醇、丙二醇、三甲醇丙 烷、三乙醇乙烷或季戊四醇，與一鹵化烷基不飽和醚，如 氯乙基乙孀麵，之縮含物；Μ及一聚異氰酸酯化合物，如 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐） _ 1 4 - (請先聞讀背面之注意事項本頁)

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557321 A7 B7 五、發明説明（12 ) 亞醚形 六和所 酸飽與 氰不 劑 異基 蝕 二 烷抗 、 基 從 酯羥其 苯一尤 甲與 。 二 ，物 亞酯 產 酸嗣應 氰爾反 異佛 之 二 異 ， 、 酸醚 酯氰烯 苯異 乙 甲二 基 亞或 乙 酸、基 氟酯羥 異基 如 二 甲 ， 飽物 不 合 基化 烷酯 ib酸 鹵氰 與 異 物聚 合 之 化環 酚族 多 香 Μ 芳 , 一 ^s有 而具 點及 觀M 度 ， 準 物 精 4 口 之 縮 案 之 圖醚 成和 内 脂圚 樹範 之 之 量 量 «Β 遷 ο 份份 ,, ο ο 者0 ο 欲1丨 所 為 物 產 應 反 躉 之 } 醚(b 和物 飽合15 不 化 至 基之，卩 烷用 基使 羥欲 與 約 言 而 於至 對10 相約 在佳 常較 通 ， 量 量 b 重 ^(v 份 (請先閲讀背面之注意事項本頁) 與 物 成 組 脂 樹 光 感 及 型基 正羧 一 該 為 Μ 物係 成膜 組之 之成 (b)形 C所 物 (a成 分組 絹此 括由 包中 其 與 基 苯 基 羥 或 膜能酸 該 性之 使活生 此一 產 藉 Μ 所 ， 當 一 聯且被 交，構 行溶結 進可聯 應 不交 反 成該 成變 ， 加中時 之液熱 時溶加 熱 鹼後 加 水然 於含膜 基一該 醚或射 和劑照 飽 溶 線 不一射 該 在 量 水 含 該 或 劑 溶 該 在 分 部 之 光 曝 經 1 ο 使瑢 而 可 , 成 斷變 切 度 用 再 作中 化 液 催溶 之 鹼 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 的順 使平 酸 了 之為 生但 產 ， 所分 時部 光光 曝 曝 膜經 之 之 成膜 形成 所形 由所 藉於 ， 生 中 發 物應 成 反 組解 該水 在酸 因基所 ο 甲 應 中 、 反 統醇述 系 二 上 應 丙 ， 反聚中 該、物 於醇成 在 二 組 存 乙 之 水聚明 使如發 佳，本 較脂進 ， 樹 引 應 性素 反水維 解親纖 水一基 酸 將乙 此 由或 進藉素 促，維 地此纖 中 顏 之 成 形 該 入 併10 可於 水 對 之 相 需 為 佳 較 量 之 脂 樹 性 水 親 入 ΠΗ 力 欲 少 更 或 量 重 份 ο 2 言 而 分 組 旨 樹 量 重 份 佳 內 圍 範 之 量 重 份 ο 1 至 ^* ο 在 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 5 1 557321 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 (13 ) 另 外 h 逑 (2 )與（ 3 ) 中 所 提 之 光 酸 產 生 蘭 為 一 可 於 曝 光 時 產 生 酸 之 ib 合 物 而 該 樹 脂 可 利 用 如 此 產 生 之 酸 作 為 催 化 劑 加 分 解 Ο 作 為 該 光 酸 產 生 劑 者 5 可 使 用 一 傳 統 已 知 之 化 合 锪 〇 此 光 酸 產 生 劑 之 典 型 可 用 實 例 包 括 m 鹽 (0 n i u m s a I t S ) ， 如 硫 鍾 鹽 、 銨 鹽 > 磷 鐵 鹽 碘 m 鹽 與 硒 編 鹽 鐵 -芳香烴錯合物 矽烷醇- 金 屬 嵌 合 錯 合 物 9 二 吖 哺 化 •告 物 9 二 疊 氮 萘 醒 酬 化 合 物 9 磺 酸 酯 磺 酸 亞 胺 酯 f Μ 及 鹵 素 化 合 物 0 除 了 上 逑 ib 物 夕卜 9 亦 可 使 用 曰 本 專 利 請 早 期 公 告 m 146552/1 9 9 5與日本專利申請早期公告號2 8 9 2 1 8 / 199 7 中 所 述 之 光 酸 產 生 麵 〇 此 光 酸 產 生 劑 組 分 可 為 與 上 述 樹 脂 之 _一„. 混 合 物 或 可 鐽 結 至 該 樹 脂 上 〇 該 光 酸 產 生 劑 之 混 雜 比 例 較 佳 在 相 對 於 ]0 0份重量之該樹脂而言0 .1 至 40份 重 蠆 更 佳 0 . 2至20份重量之範圍内< > 另 外 9 若 有 必 要 f 可 將 4%2j\ 光 染 料 與 該 組 成 物 混 合 9 只 要 它 不 受 該 安 全 光 的 影 響 〇 該 感 光 染 料 之 實 例 包 括 啡 噻 、 m 暈 苯 苯 并 憩 紫 蘇 烯 、 部 •l· f* 化 青 苯 并 二 氫 呋 喃 m Λ /rrirf m 馬 鹼 Η 硼 酸 鹽 Λ Μ 及 類 U 物 〇 可 用 硼 酸 鹽 感 光 染 料 之 實 例 包 括 曰 本 專 利 串 請 早 期 公 告 號 241338/1993^ 5 6 8 5 /1 995與 225474/ Ί 9 9 5 中 所 提 之 染 料 〇 該 感 光 染 料 之 之 混 雜 比 例 較 佳 在 相 對 於 1 0 0份重量之該 樹 脂 (a 丨）ίϊ ίδ言0 丨♦ 1 至 10份 重 量 5 更 佳 0 ♦ 3至5份 重 量 /r/r 圍 內0 若 有 必 要 9 本 發 明 之 組 成 物 可 與 上 述 可 增 加 或 反 過 來 減 少 其 於 該 有 im 慷 溶 劑 或 該 顯 影 水 溶 液 中 溶 解 度 而 可 溶 i或 不 可 溶 )於水或該有機溶劑中之其它樹脂混雜 ° ί ：b ί 重樹脂 請 閱 讀 背 意 事 項 頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -1 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 557321 A7 B7 五、發明説明（u) 之典型實例包括_樹脂、聚酯樹脂、丙烯酸樹脂、乙烯樹 脂、乙酸乙烯酯樹脂·、環氧樹脂、矽_樹脂、氟化樹脂、 其兩種或多種之混合物、Μ及其改質物。 另外，為了使由本發明組成物所形成之膜具有彈性、非 黏著性等等，可將一塑化劑，如一酞酸酯、聚酯樹脂、丙 烯酸樹脂等等，加入本發明之組成物中。 若有必要，亦可加入一流體改質劑、一塑化劑或一如染 料或色素之著色劑加入本發明之組成物中。 本發明之正型感光樹脂組成物可用於各種應用中作為一 般已知之感光材料，如塗層材料、墨料、黏著劑、抗蝕材 料、印刷板材料（平版印刷與複®器之印刷材料）、資訊記 錄材料、Κ反用Μ凸版影像的材料。 由本發明之正型感光樹脂組成物所形成之膜之乾燥厚度 (除去溶劑）經設定，Κ使由此組成物所形成之未感光塗層 膜之吸收率在該安全光最大波長範圍之最大波長i30 nm範 圍内，但從實用的觀點而言，通常在0 . 5至5 0黴米，較佳] 至30微米之範圍內，可為0.5或更低。另外，該吸收率視 包含於該組成物中之該光酸產生劑之種類與量、該感光劑 等等而定，甚至在相同組成物之情形下，亦視所形成塗層 膜之厚度而定。換言之，在相同組成物中，當膜厚度增加 時，包含於該膜中之該光酸產生劑、該感光劑等等之濃度 增加，致使吸收率增加。從前逑明顯得知，吸收率可藉由 調整所形成膜之厚度而加以調整，使得落於上述範圍内。 本發明之正型感光樹脂組成物可用作一有機溶麵型之感 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ _ (請先閲讀背面之注意事項再本頁)

、\\ 一口 557321 A7 B7 五、發明説明（15 光樹脂組成物，或一水性感光樹脂組成物。 h逑有機溶劑型感光樹脂組成物為一種藉由將該正型感 光樹脂組成物溶解或分散於一有機溶劑（如酮類、酯類、 醚類、乙二醇之烷基醚類、芳香烴類、醇類、或鹵化烴類 )中所得之有機溶劑型感光樹脂組成物。此組成物係藉由 滾筒、滾軋塗佈器、旋轉塗佈器、簾幕式滾軋塗佈器、噴 霧塗佈器、靜電塗佈、浸泡塗佈、或絲網印刷而應用至一 基板上（如一由銘、鎂、銅、鋅、鎔、鎳與鐵、其一合金 作為一組分等金屬所製之Η狀物，或為一 Μ上述金屬或合 金處理過之印刷版、塑膠、玻璃、或矽晶圓，或一碳板） ，若有必要，進行固定，接著乾燥，W得到一感光材料（ 膜 成 組 脂 樹 光 感 型 正 該 將 由 藉 可 物 成 組 脂 樹 光 感 性 水 述 上 般沉散 一 電分 於作水 似 用含 類可之 Μ其物 可故成 物，組 成理脂 組處樹 種 式 光 此方感 。 之 性 得料水 製 材該 而光 。 中感物 水之成 於用組 散所層 分層塗 或塗之 解積層 溶 沉塗 物電積 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 型 ， 正成 該形 入而 引物 _ 被成(:--基組酸 子該Μ 離和時 陰中中 等J)其 S ^ Λ 0 ^ ^ 如申被 一 ( 基 於鹼子 由Μ離 藉時陽 可物等 液 成基 溶組胺 水脂如 含樹 一 或光於 液感或 中 0 和 中 胺 醇 乙 單 括 包 duj0, 實 用 可 之 劑 。 和 成中 形鹼 而 述 之 上 和 三 胺 醇 乙 氣、和 氨酸中 及 乳之 Μ 、 用 胺 酸 使 基丙欲 己 、 ο 環酸酸 、 乙 豆 醇括巴 乙包及 基例Μ 胺實 、 基用酸 甲可甲 二 之 、 、 劑酸 胺和磷 基中 、 乙酸酸 二 該硫 、 f 、 胺外酸 基 此氯 乙。氫

8 TJ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 557321 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 (16； ) 1 1 麵 量 在 感 光 樹 脂 組 成 物 中 所 含 之 每 當 量 離 子 基 中 通 常 為 1 1 0 . 2至1 .0 當 量 較 佳 0 ♦ 3至0 .8 當 量 之 範 圍 内 〇 1 1 上 逑 包 含 該 離 基 之 樹 脂 會 使 得 狻 基 在 Μ 該 樹 脂 之 酸 值 請 先 1 1 表 示 時 較 佳 在 約 30 至 700m g K 0 H / g 5 更 佳 40 至 6 0 0 ιϊι g K 0 H / g 之 閲 讀 背 1 1 範 圍 内 〇 若 該 酸 值 少 於 約 30 m g KOH/g ^ •則藉由Μ - -顯影溶 面 之 1 注 液 處 理 而 除 去 未 硬 lb 膜 之 效 果 不 彰 贅 且 很 不 方 便 地 9 有 時 思 事 1 項 -! 在 下 一 蝕 刻 步 驟 中 無 法 充 分 去 除 銅 〇 另 一 方 面 9 當 該 酸 值 1 n 超 過 70 0bi g K 0 H / g 時 一 抗 蝕 劑 膜 部 分 (已硬化膜部分） 很 容 本 頁 ’裝 1 易 分 離 會 很 不 便 地 無 法 形 成 今 人 滿 意 的 銅 電 路 〇 而 該 、✓ 1 1 胺 基 t 使 得 胺 值 較 佳 在 約 20 至 6 5 0， •更佳約30至6 00 之 範 ί | 圍 內 〇 若 該 胺 值 少 於 約 20 5 如 上 述 般 有 時 在 蝕 刻 步 驟 中 無 1 訂 法 充 分 去 除 銅 9 另 方 面 若 胺 值 超 過 約 6 50， ，該抗蝕劑 1 I 膜 很 容 易 除 去 9 有 時 不 太 方 便 0 1 1 作 為 電 沉 積 塗 層 組 成 物 者 9 舉 例 而 言 可 使 用 —· 具 有 4至7 1 1 pH值 之 陽 離 子 電 沉 積 塗 層 組 成 物 或 具 有 7至9 pH 值 之 陰 離 子 4 11 電 沉 積 塗 層 組 成 物 ， 其 中 一 浴 濃 度 (固體含量濃度） 經 調 整 1 I 至 3 至 25¾ 重 量 5 較 佳 5至1 5¾ 重 量 之 範 圍 内 0 1 1 該 電 沉 積 塗 層 組 成 物 可 Μ 下 之 方 式 應 用 至 —* 導 體 表 面 1 1 上 9 其 為 一 欲 塗 佈 材 料 0 換 5 之 9 該 浴 之 pH 與 濃 度 首 先 調 1 1 整 至 上 述 範 Γ=Ττ! 圍 内 $ 川S 後 控 制 該 浴 溫 度 使 在 15 至 40 X 1 I 較 佳 15 至 30 °(：之 範 圍 內 0 其 次 y 將 一__. 5 至 20 0 V 之 DC 電 壓 加 1 1 I 至 經 此 控 制 之 電 沉 積 浴 中 5 而 該 欲 塗 佈 導 體 浸 入 該 浴 中 ， 1 1 I 當 該 電 \tt VI 積 塗 層 組 成 物 為 一 陰 離 子 型 式 時 5 其 作 為 陽 極 9 1 1 或 當 該 電 沉 積 塗 層 組 成 物 為 一 陽 離 子 型 式 時 其 作 為 陰 極 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） _ 9 - 557321 A7 B7 五、發明説明（1?) 層 塗 得 所 ο 內 圍 範 之 鐘 分 5 至 秒 ο 11 在 合 適 間 時 加 施 壓 電 米 黴 ο 5 至 5 ο 在 常 通 示 表 度 厚 膜 層 塗 燥 乾Μ 度 厚 之 膜 範 之 米 微 5 11 至

後 之 佈 塗 積 沉 電 該 佳 在 較 IKS 内 中 浴 積 沉 電 該 0 板 基 之 後 加 施 將 層 化 塗氧 積錫 沉與 電碳 該 、 去屬 除金 ， 如 燥括 乾包 氣例 空實 熱用 M可 後之 然體 ， 導 洗該 清 。 水分 M水 ， 之 出 中 取膜 合 ο 層 璃 ， 由玻外 藉 與 用 及膠應 M塑 之 , 之途 料料用 材材述 電 電 上 導 導 了 等 些 除 物 這 蓋 覆 定 固 面 表 於 等 等 鍍 電 光 感 型 正 之 明 發 本 言 而 例 舉 式烯 幕 乙 簾 聚 或 、 、 脂 器樹 佈酸 塗烯 式丙 片 、 葉酯 、 酸 器酞 佈 對 塗烯 IL乙 滾聚 由如 藉 一 可 至 物用 成應 組器 脂佈 樹塗 旨Hat樹 一明 ？ 捋 S著。 N Μ 脂ί蝕 0 一 抗 後 酯 „ 膜 之 聚 ^ 0 之 } 乾 層米 一 膜微致 基 Lok 成 ο , 變約上等 ^ 0 等卩層 厚 膜"塗 烯Ξ至 7乙亥^ 氯(I層 聚上膜 、 膜護 乾藉 該可 使 層 ¾触 後抗 然膜 , 燥 除乾 剝該 h 得 層 使 蝕 ， 抗上 膜物 燥持 乾支 一 一 此 至 自 合 可層 膜層 護 蝕 保抗 該膜 燥 (請先閱讀背面之注意事項再一^本頁)

經濟部中央標準局員工消費合作社印製 成抗 形該 h 使 物可 持 ， 支下 該除 於剝 此 不 藉或 ， 後 觸之 接 除 物剝 持膜 支礎 該 基 與該 而 在 合 ο 結膜 壓劑 熱 触 如 抗 由 該 中此 例除 佈 剝 塗 ， 積時 沉在 電 存 述膜 上 礎 與 基 Μ 該 後 當 然 。 ， 光 下 感 光 像 見 影 可 一 一 據 於 根 光式 曝方 ΙΜ之 劑同 蝕 相 成 形 Μ 藉 理 處 影 顯 行 進 接 直 可 時 在 存 不 其 當 f 〇 0 像 礎 影 基 該 能別 化特 活需 之 不 光而 感 ， 物線 成射 組能 um b n /1 樹活 光 之 感知 型 已 ΙΈ統 之 傳 明 用 發 使 本可 使 ， M源 用光 於之 至線 射 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210> 297公釐） 20 557321 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 (18 ) 的 限 制 5 P 要 其 可 幅 射 使 該 不 受 安 全 先 感 光 之 組 成 物 感 光 所 需 之 活 ib 能 射 線 即 可 〇 可 放 射 該 可 見 光 之 光 源 實 例 包 括 一 超 高 壓 高 壓 Λ 中 壓 或 一 低 壓 汞 蒸 氣 燈 Λ —. 化 學 燈 、 —. 碳 弧 燈 一 氣 燈 一 金 屬 鹵 化 物 燈 K 及 •一 鋪 燈 〇 而 且 亦 可 使 用 在 可 見 光 範 圍 內 具 有 振 盪 線 之 各 種 雷 射 9 苴 中 一 紫 外 光 藉 由 一 紫 外 光 切 斷 濾 光 器 而 上 述 光 源 中 切 斷 〇 尤 其 9 Μ 如 氩 雷 射 (488 n m )或 Y A G -SHG 雷 射 (532 η πι)等 在 可 見 先 範 圍 内 具 該 振 盪 線 之 雷 射 為 佳 〇 本 發 明 正 型 感 光 樹 脂 組 成 物 可 施 加 或 印 刷 於 一 如 塑 膠 片 金 屬 玻 璃 S 紙 或 木 材 等 基 板 上 而 在 標 準 化 之 安 全 光 明 亮 昭 八 光 環 境 條 件 下 不 會 有 任 何 組 成 物 之 分 解 〇 此 外 9 該 組 成 物 較 佳 用 作 該 形 成 抗 蝕 劑 圖 案 塗 層 膜 所 用 之 正 型 感 光 樹 脂 組 成 物 〇 接 著 ， 利 用 此 正 型 感 光 樹 脂 組 成 物 於 該 基 板 上 形 成 該 抗 蝕 劑 圖 案 之 步 驟 將 如 下 所 述 將 該 正 型 感 光 樹 脂 組 成 物 施 加 至 該 基 板 上 於 其 上 形 成 一 感 光 膜 (步驟1 ) ，而_加後之感光膜表面直接曝露於- 雷 射 光 束 下 或 透 過 —· tXJCS 卓 幕 膜 曝 露 於 一 光 下 > Μ 使 該 感 光 m _ 光 > 於 該 感 光 膜 表 面 得 致 所 欲 之 抗 蝕 劑 膜 (一 -1 η 像 )( 步 驟 2) 〇 其 次 ， 接 著 以 一 鹼 性 或 一 酸 性 水 溶 液 顯 影 該 感 光 膜 之 一 曝 光 部 分 5 Μ 於 m 基 板 上 形 成 —* 抗 蝕 劑 圖 案 ( 步 驟 3) 0 進 一 步 除 去 不 受 抗 蝕 劑 膜 保 亡法 m 之 銅 層 部 分 再 除 去 該 抗 厶山 m 劑 膜 ， Μ 得 致 該 所 欲 之 抗 蝕 劑 圖 案 〇 上 述 基 板 之 實 例 a 括 塑 m 膜 與 塑 m 板 如 電 絕 緣 破 離 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 21 一 557321 A7 B7 五、發明説明（19 環氧板、聚乙烯對酞酸酯膜、Μ及聚醢亞胺膜；於其t形 成一導電膜之這些塑膠膜與塑膠板，使銅或鋁之金屬箔黏 著至其表面b，或利用如銅、鐃或銀等金屬，或典型上如 絪錫氧化物（ΓΓ 0 )之導電氧化物等化合物使其進行真空沉 積、化學沉積、或電鍍；提供有透孔之該塑膠板與塑膠膜 ，其中其表面與該透孔被一導電膜所覆蓋；Μ及金屬板， 如銅板ϋ 在上逑應用步驟Π )中，當該正型感光樹脂組成物為一 有機溶劑系統時，此組成物係利用噴霧塗佈、靜電塗佈、 旋轉塗佈、浸泡塗佈、滾茼塗佈、簾幕式流動塗佈、或絲 網印刷而施加至該基板之表面上，若有必要，進行固定， 接著於約5 0至1 3 0 °C範圍内之溫度下乾燥該基板，Μ得致

光 曝 中 時約 物於 成 時 組要 層 必 (2塗及 驟積 Μ 步沉 、 在電拂 著一吹 接為氣 膜物空 之 成 、 成組乾 形脂排 此樹 、 如光積 ο 感 沉 膜型 電 脂正 經 樹該物 光當 成 感，組 該外 該 另 至膜 脂 樹 光 感 型 正 該 成 形 藉 燥 乾 下 度 溫 之 内 圍 範 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 之1:該 成約於 形佳用 此更為 如，作 米 至 5 ο 約 在 佳 較 度 厚 膜 旨 34^ 樹 光 感 型 正 該 微 内 圍 範 之 米 if ο 3 步 光 曝 為 Μ 波 譜 光 射 放 源 光射 一 雷 光 見 可 之 用 使 上 用 實 其 尤 者 束 光 之 中 射 雷 氩 G 限 SH受 G-不 A YA並 s 但 η 2 ， 53佳 或較 丨用 使 之 光 見 可 種 此 且 成 組 脂 樹 光 感 型 正 該 於 當 中 3 /V 理 處 影 。 顯 此在 於 用 使 中 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210'乂297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 557321 Α7 Β7 五、發明説明（20 ) 一含陰離子基樹脂時，通常Μ — Μ水稀釋苛性鈉、碳酸氫 納、苛性鹼、氨氣或胺而製得之弱鹼水溶液清洗感光後之 膜。另外，當於該正型感光樹脂組成物中使用一含陽離子 基樹脂時，通常加I 一 Μ水稀釋氫氯酸、硫酸、磷酸、乙酸 、矽酸、甲酸、或乳酸而製得之弱酸水溶液清洗感光後之 膜ϋ 上逑步驟（1)至（3)中之至少一步驟應在該具有最大範圍 波長在5 0至6 2 0 η in之安全光（較佳為一鈉燈）之照光環境條 泮下進行。 另外，在上述基板為一抗蝕刻基板之例中，可於下一階 段蝕刻一曝光過之銅層（一非電路部分），並Μ —氯化鐵或 氯化銅水溶液將之去除。此外，該樹脂膜可Μ —溶劑除去 ，例如，如苛性鈉或亞甲基氯等強鹼。 如此製得之基板，其上有抗蝕劑圖案形成，其可用於裝 飾，或作為一抗焊基板，或一抗蝕基板 ϋ 本發明將根據Κ下實例加Κ更詳綑說明。附帶地，實例 與比較例中之”份”代表”份重量”。 實例1 2 0 0份四氫呋喃、65份對羥基苯乙烯、28份丙烯酸正Γ 基酯、11份丙烯酸與3份重氮雙異丁腈之混合物於100 °C 下反應2小時，然後將所得反應產物倒入1，500 cc之甲苯 溶劑中，藉Μ使反應產物沉澱與分離。之後，將收集到S勺 沉澱物於60 °C下乾燥，Μ得致一具有約5，200分子量與 4 . 6莫耳/公斤羥基苯基含量之感光樹脂。接著，將ΐ 0 0份 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 23 (請先閲讀背面之注意事項再本頁)

557321 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（21 ) 的該感光樹脂與60份的二乙烯醚化合物（一種1莫耳雙化 合物與2莫耳2-氯乙基乙烯醚之縮合物份的！Οί-]05 Γ商品名，由M i d 〇 r Mb學公司所製；一種光酸產生劑）、Μ 及1，5份的ΝΚΧ- 1 59 5 (商品名，由Ν ί ρ ρ ο η感光染料公司所 M (Nippon K a n k ο - S h i k ί s o Kenkyujo* K ♦ K * ) » 香 S 素染 料之感光染料）混合，然後將該混合物溶於二乙二醇二甲 基鍵中，使固體含量可為20¾，因此得致一感光溶液。 於一暗室中K 一稈狀塗佈器將此感光溶液施加至一銅板 合且經玻璃纖維強化之環氧基板上，使乾燥膜厚度可為5 微米，接著於1 2 0 °(:下乾燥8分鐘，K形成一抗蝕劑膜，藉 Μ製備於其上具有該抗蝕劑膜之基板。 接著，Μ —圖]中所示之鈉燈照射如上所得之其上具有 該抗蝕劑膜之基板表面達24小時，使照光強度可為40勒克 斯（]u X )。之後，在暗室中於8 0 °C下加熱1 0分鐘，然後於 3 0 °C下浸泡於作為顯影溶液之II水性碳酸鈉溶液中1分鐘 。結果，該抗蝕劑膜不溶於該水性碳酸鈉溶液中，其很方 便地指出鈉燈的照射並不存在著任何不良的影響。 進一步，Μ —具有2 in J /?強度之氬雷射照射具有該抗蝕 劑膜之基板，此時，該抗蝕劑膜平順地感光。經證實該抗 蝕麵膜之經感光部分溶於1纟水性碳酸鈉溶液中。同樣Μ — 氙燈及一 YAG-SHG雷射之二次諧振（ 5 3 2 niu)照射，可得到類 Μ的結果。 Κ該桿狀塗佈器將上述感光溶液旛加至一透明聚乙烯對 酞酸酯Η上，使膜厚度可為5微米，接著於6 0 °C下乾燥1 0 -24 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再 —裝—— 本頁) 557321 經濟部巾央標準局貝.I消f合作扑印製 A7 B7五、發明説明（22 ) 分鐘，然後測量所得膜之吸收率。結果示於圖4中。在此 圖中，縱軸與橫軸分別代表吸收率與波長ΠΒ!。在圖4中， 橫軸波長6 Ο Ο η κι或Μ上之膜吸收率為0. 0 0。 在圖4的吸收率曲線上與存在圖1中最大波長589nm ±30 ηιη範圍內之559 ηπι至619ηπι範圍中，該膜之吸牧率為0.0或 更低，很明顯地，該安全光不會對該感光溶液有不良影響。 實例2 2 2份丙烯酸、5 5份苯乙烯、2 8份甲基丙烯酸正丁基酯與 5份重氮雙異丁腈UIBN)之混合物在2小時內逐滴加入60 份甲基異丁基嗣中，其於8 0 eC下加熱並攪拌，此溫度進一 步維持2小時，Μ得致具有約6 2 , 5 %固體含量Μ及3莫耳/公 斤羧基含量之聚合物。 將80份如此得致之含羧基聚合物（固體含量=62,5¾)、20 份對羥基苯乙烯聚合物（分子量=1 0 0 0 )、6 0份二乙烯醚化 合物（一種1莫耳雙酚化合物與2莫耳2 -氯乙基乙烯醚之縮 合物）、2份聚乙二醇（平均分子量=400)、10份ΝΑΙ -105 ( 商品名，由Midori化學公司所製；一種光酸產生劑）、Μ 及1 + 5份如實例1中所用之相同感光_之混合物溶於二乙二 醇二甲基_中，藉Μ得致一 20¾重量之感光溶液。 於一暗室中Μ —桿狀塗佈器將此感光溶液陁加至一銅板 含且經玻璃纖維強化之環氧基板上，使乾燥膜厚度可為5 微米，接著於120 °C下乾燥8分鐘，Μ形成一抗蝕劑膜，藉 Μ製備於其上具有該抗蝕劑膜之基板。 接著，Μ —圖1中所示之鈉燈照射如上所得之具有該抗 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） _ 2 5 - (請先閲讀背面之注意事項 本頁) -裝· 、訂 557321 Α7 Β7 經濟部中央標準局員工消費合作社印梦 五、發明説明（23) 蝕爾膜ί乾婦膜厚度=5微米）之基板表面達24小時，使照光 強度可為4 0勒克斯U υ X )。之後，在暗室中於8 0 0 C下加熱 10分鐘，然後於30 °C下浸泡於作為顯影溶液之1¾水性碳酸 鈉溶液中1分鐘。結果，該抗蝕劑膜不溶於該水性碳酸鈉 溶液中，其很方便地指出鈉燈的照射並不存在著任何不良 的影響。 進一步，以一具有2 m J / m 2強度之氩雷射照射具有該抗 蝕劑膜之基板，此時，該抗蝕劑膜快速感光。經證實該抗 蝕_膜之經感光部分溶於1¾水性碳酸鈉溶液中。同樣Μ — 氙燈及一 YAG-SHG雷射之二次諧振（ 5 3 2 ηιπ)照射，可得到類 Μ的結果。 實例3 將100份對羥基苯乙烯聚合物（分子量=1000)、60份二乙 烯醚化合物（一種1莫耳雙酚化合物與2莫耳2 -氯乙基乙烯 醚之縮含物）、2份聚乙二醇（平均分子量=400)、10份 N A I - 1 0 5 (商品名，由M i d ο「丨化學公司所製；一種光酸產生 麵）、K及〗，5份如實例1中所用之相同感光劑之混合物溶 於二乙二醇二甲基醚中，藉Μ得致一 2 0 Χί重量之感光溶液。 於一暗室中Μ —桿狀塗佈器將此感光溶液施加至一銅板 合且經玻璃纖維強化之環氧基板上，使乾躁膜厚度可為5 徼米，接著於1 2 0 °C下乾燥8分鐘，Κ製備於其上具有一抗 蝕劑膜之基板。 接著，Μ —圈1中所示之鈉燈照射如上所得之具有該抗 蝕劑膜（乾燥膜厚度=5緻米）之基板表面達2 4小時，使照光 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐） —2 6 - (請先閱讀背面之注意事項

本頁) 訂 經滴郎中央標率玢員Η消费合作社黎 557321 A7 B7 五、發明説明（24) 強度可為4 0勒克斯（i u X )。之後，在暗室中於8 0 °C下加熱 10分鐘，然後於30 °C下浸泡於作為顯影溶液之II水性碳酸 鈉溶液中1分鐘。結果，該抗蝕劑膜不溶於該水性碳酸鈉 溶液中，其很方便地指出納燈的照射並不存在著任何不良 的影響。 進一步，Μ —具有2 ffl J / m 2強度之氬雷射照射具有該抗 蝕劑膜之基板，此時，該抗蝕劑膜快速感光ϋ經證實該抗 蝕_膜之經感光部分溶於1¾水性碳酸鈉溶液中。同樣以一 氙燈及一 YAG-SHG雷射之二次諧振（532nm)照射，可得到類 fW的结果。 實例4 H)0份（固體含量）實例1中所得之感光溶液以招對於一羧 基而言0.8當量之量與三乙基胺混合，攪拌後，接著將該 混&物分散於一去離子水中，以得致一水性樹脂分散液（ 固體含量=1 5 % )。 於如此得致之水性樹脂分散液用作一電沉積塗佈浴，而 --層合銅板用作一陽極之條件下進行陰離子電沉積塗佈， Μ使一乾躁膜厚度可為5微米。之後，以水清洗具有該膜 之板，然後於1 2 0 °C下加熱8分鐘，Μ額致於其上具有一抗 蝕劑賴之基板。 接著，Κ 一圖1中所示之納燈照射如上所得之具有該抗 蝕劑膜（乾燥膜厚度=5黴米）之基板表面達2 4小時，使照光 強度可為40勒克斯U u X )。之後，在暗室中於8 0 °C F加熱 10分鐘，然後於30 °C下浸泡於作為顯影溶液之1¾水性碳酸 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） -2 7 -

In -m I . n I IΊ! , I I I * Ίϋ-一口 (請先閱讀背面之注意事項本頁) 557321 Α7 Β7 經濟郎中夾標準局員;r-消费合阼和印緊 五、發明説明（25 ) 鈉溶液中〗分鐘。结果，該抗蝕劑膜不溶於該水性碳酸鈉 溶液中，其很方便地指出鈉燈的照射並不存在著任何不良 的影響。 進一步，Μ —具有2 m J / hi 2強度之氬雷射照射具有該抗 蝕劑膜之基板，此時，該抗蝕劑膜快速感光。經證實該抗 蝕劑賴之經感光部分溶於〗I水性碳酸鈉溶液中。同樣Μ — 氙燈及一 YAG-SHG雷射之二次諧振（ 532ηιπ )照射，可得到類 Μ的結果。 實例5 2 0 0份四氫眹喃、6 5份對羥基苯乙烯、1 8份甲基丙烯酸 二甲基胺基乙基酯、1 7份丙烯酸正丁基酯與3份重氮雙異 丁腈之混合物於1 0 0 eC下反應2小時，然後將所得反應產物 倒入1，5 0 0 c c之甲苯溶劑中，藉Μ使反應產物沉澱與分離 。之後，將收集到的沉澱物於6 0 °C下乾燥，Μ得致一具有 約5，0 0 0分子量與4 . 6莫耳/公斤羥基笨基含量之感光樹脂 。接著，將100份的該感光樹脂與60份的二乙烯醚化合物（ 一種1莫耳雙酚化合物與2莫耳2 -氯乙基乙烯鍵之縮合物） 、1 0份的N A I - 1 0 5 (商品名，由Μ i d 〇 r i化學公司所製；一 種光酸產生劑）、Μ及1 . 5份的如實例1中所用之相同感光 劑混合，然後將該混合物溶於二乙二醇二甲基醚中，使固 體含量可為60¾，因此得致一感光溶液。 1 0 0份（固體含量）如上所得之感光溶液Μ相對於一胺基 而言0 . 8當量之量與乙酸混含，攪拌後，接著將該混合物 分散於一·去離子水中，Μ得致一水性樹脂分散液（固體含 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X： 297公釐） -2 8 - (請先閱讀背面之注意事項 π本頁) •裝· 、1Τ 線- 557321 經濟部巾央標準局員Τ一消費合作社印髮 A7 B7五、發明説明（26 ) Μ =151)。 於如此得致之水性樹脂分散液用作一電沉積塗佈浴，而 一層合銅板用作一陰極之條件下進行陽離子電沉積塗佈， Μ使一乾燥膜厚度可為5徼米。之後，以水清洗具有該膜 之板，然後於1 2 0 下加熱8分鐘，Μ額致於其上具有一抗 蝕劑膜之基板。接著，Κ 一·圖1中所示之鈉燈照射如上所 得之具有該抗蝕劑膜（乾燥膜厚度==5徼米）之基板表面達2 4 小時，使照光強度可為4 0勒克斯（1 u X )。之後，在暗室中 於80°C下加熱10分鐘，然後於30°C下浸泡於作為顯影溶液 之1¾水性碳酸鈉溶液中1分鐘。結果，該抗蝕爾膜不溶於 該水性碳酸鈉溶液中，其很方便地指出納燈的照射並不存 在著任何不良的影響。 進一步，Μ —具有2 m J / m 2強度之氬雷射照射具有該抗 蝕劑膜之基板，此時，該抗蝕劑膜快速感光。經證實該抗 蝕劑膜之經感光部分溶於]$水性碳酸鈉溶液中。同樣以一 氙燈及一 YAG-SHG雷射之二次諧振（532nm)照射，可得到類 似的結果。 實例6 將1 0 0 0份四氫呋喃與5 0份聚（三级丁氧基羰基氧苯乙烯 Η分子量=1 0 0 0 )、5 0份Μ下所提之酚醛類酚樹脂（η 〇 v ο 1 a k P h e η ο 1 r e s i η }、〗0 份 N A I - 1 0 5 (商品名，由 M i d o r i 化學公 司所製；一種光酸產生劑）、M及1 . 5份如實例1中所用之 相同感光爾混合，Μ得致一具有9$固體含量之感光溶液。 該醛類酚樹脂之製備 本紙張尺度適用中國國家標準（〇奶）/\4規格（210';< 297公1：) _ 29 - (請先閱讀背面之注意事項 本頁) 裝· -口

557321 钾濟郎中央標华局員丁.消赍合泎T1-印絜 A7 B7五、發明説明（27 ) 在角錐瓶中放人1，490份鄰甲酚、Ί，145份30¾富馬鹼 、130份去離子水、Μ及6.5份氫氯酸，然後在遲流下加熱 該混合物6 0分鐘。然後，加入1 3 . 5份1 5纟氫氯酸，接著在 遐流下加熱該混合物40分鐘。之後於約15 eC下加入400份 去離子水，然後使該等內含物之溫度維持在約7 5 C下，Μ 沉澱出一樹脂。接著，加入3 5 I之水性氫氧化鈉溶液，中 和後，移出所得的水層。於7 5 °C下加入4 0 0份去離子水清 洗該樹脂。之後，移出所得的水層，類Μ的清洗操作再重 覆兩次。然後於減壓】20勺下使該樹脂乾燥，Μ得致所欲 之具育分子量600之醛類_樹脂。 將如上所得之該感光溶液施加至一基板上，使乾燥膜厚 度可為5黴米，接著於1 2 0 °C下乾燥8分鐘，Κ製備於其上 具有一抗蝕劑膜之基板。 接著，Μ —圖〗中所示之鈉燈照射如上所得之具有該抗 蝕劑膜（乾燥膜厚度=5黴米）之基板表面達2 4小時，使照光 強度可為40勒克斯（lux)。之後，在暗室中於80 Γ下加熱 ]0分鐘，然後於30 υ下浸泡於作為顯影溶液之U水性碳酸 納溶液中1分鐘。結果，該抗蝕劑膜不溶於該水性碳酸納 溶液中，其很方便地指出納燈的照射並不存在著任何不良 的影響。 進一步5 Μ —具有2 m J / m 2強度之氬雷射照射具有該抗 蝕劑膜之基板，此時，該抗蝕劑膜快速感光。經證實該抗 蝕劑顏之經感光部分溶於〗I水性碳酸納溶液中。同樣Μ — 氙燈及一 YAG-SHG雷射之二次諧振（ 5 3 2 ηπι)照射，可得到類 本·紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐） 一 q 〇 _ (請先閱讀背面之注意事項 ^本頁) -裝· 、11 線· 557321 經濟郎中夾標準局員工消t合作社印裝 A7 B7五、發明説明（2S) W的結果。 實例7 將50份聚（四氫吡_基醚苯乙烯Μ分子量=0 000)、50份 與實例6中相同的酚醛類酚樹脂（η ο ν ο 1 a k phenol resin) 、1 0份N A I - 1 0 5 (商品名，由Μ i d o r i ib學公司所製；一種 光酸產生劑）、M及1 + 5份如實例1中所用之相同感光劑混 入1 0 0 0份四氫呋嚼中，Μ得致一具有9 %固體含畺之感光溶 液0 將該感光溶液施加至一基板上，使乾燥膜厚度可為5徼 米，Μ水清洗該膜，接著於1201下加熱8分鐘，Μ製備於 其上具有一抗蝕劑膜之基板。 接著，Η —圖1中所示之納燈照射如上所得之具有該抗 蝕劑膜（乾燥膜厚度=5黴米）之基板表面達24小時，使照光 強度可為40勒克斯（Ux)。之後，在暗室中於8010下加熱 1 0分鐘，然後於30 °C T浸泡於作為顯影溶液之〗％水性碳酸 納溶液中1分鐘。結果，該抗蝕劑膜不溶於該水性碳酸納 溶液中，其很方便地指出鈉燈的照射並不存在著任何不良 的影響。 進一步，M 一具有2 j / m 2強度之氯雷射照射具有該抗 蝕爾議之基板，此時，該抗蝕劑膜快速感光。經證實該抗 蝕麵膜之經感光部分溶於]冑水性碳酸鈉溶液中。同樣Μ — 氙燈及一 YAG-SHG雷射之二次諧振（ 5 3 2 ηιπ)照射，可得到類 Μ的結果。 實例8 衣紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐） -3 1 - (請先閱讀背面之注意事項 頁) -裝- 訂 線·！ 557321 A7 B7 五、發明説明（29 ) Μ與實例]中相同之步驟製備於其上具有一抗蝕劑膜之 基板，但Μ圖2中之納燈取代圖]中所示之鈉燈。另外，Μ 與實例1中相同的方式將所得之基板浸泡於U;水性碳酸鈉 溶液中。結果，該抗蝕劑膜不溶於該水性碳酸納溶液中， 其很方便地指出鈉燈的照射並不存在著任何不良的影響。 结果，所有抗蝕劑膜均部分溶於該顯影溶液中。換言之， 這些抗蝕劑膜被來自該螢光燈之照射光所感光，因此，在 曝光與顯影步驟後無法形成所欲之抗蝕劑圖案。 比較例〗至7 Κ實例1至7中相同的步驟製備於其上具有抗蝕劑膜之各 基板（其未以γ A G等等硬化），但Μ螢光燈取代納燈作為一 安全燈（比較例1至7分別對應至實例1至7)。將所得之基板 浸泡於II水性碳酸納溶液（比較例1至4， 6與7)或2.38¾水 性氫氧化四甲基銨溶液（比較例5 )之顯影溶液中。 圖5顯示一用於比較例1至7中之螢光燈管之光譜分佈圖。 (請先閱讀背面之注意事項 J--裝-- ’項本頁)

、1T 央 標， ί ? ! 消丨 费丨 合 泎 社 印 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐）

Claims (1)

1. 557321 拾、丨 ______^ ^ 〇 92. 5. ^2 \5 ( fi^SE! 替換本 申請專利範圍 種正型感光樹脂組成物，其爲於最大波長在5 00至 6 2 Onm範圍內之安全光輻射環境下使用之液體或固體狀之 正型感光樹脂組成物，該安全光係得自一以鈉作爲主要成 份之放電管（以5 8 9nm光波長之D射線爲主體者）；該組成 物包含： (A) 數目平均分子量爲500至〗00000之具有羧基及/或羥 基苯基之樹脂，其由（a)含羧基可聚合不飽和單體所誘導之 樹脂，（b)含羥基苯基可聚合不飽和單體所誘導之樹脂，及 以（c)含羧基可聚合不飽和單體與含羥基苯基可聚合不飽 和單體作爲主成分之共聚物所組成之群組中選出，其中， 11^之樹脂（八）含有0.5〜10111〇15之羧基及/或1.0111〇1或更多 之羥基苯基， (B) 含有醚鍵之烯烴不飽和化合物，其由多酚化合物或多 醇類與鹵化烷基不飽和醚之縮合物，或，聚異氰酸酯化合 物與羥基烷基不飽和醚之反應產物所組成之群組中選出， 以及 (c)藉由能量光線照射產生酸基之光酸產生劑， 相對於100份重量之樹脂（A)，化合物（B)爲5〜150份重 量，相對於100份重量之樹脂（A)或化合物（B)，光酸產生 劑（C)爲0.1〜40份重量，其中，由此組成物所形成之一未 曝光膜在由上述安全光之最大波長中選出之最大波長± 30nm內，吸收率爲0.5或更低。 2 ·如申請專利範圍第1項之正型感光樹脂組成物，其 中，樹脂與光酸產生劑爲以化學方式結合者。 3 ·如申請專利範圍第1項之正型感光樹脂組成物，其 中’樹脂（A)爲共聚物（c)或樹脂（a)及（b)之混合物。 4 · 一種抗蝕劑圖案之形成方法，其包括： (1 )在基板上塗佈如申請專利範圍第1項之正型感光性 樹脂組成物，以於其上形成一感光膜之步驟； (2)使該形成於該基板上之感光膜直接或透過一罩幕膜 326\專利案件總檔案\87\8711%36\87119636(替換)-2 557321 於一雷射光束下曝光，以於該感光膜上得到所欲之抗0虫劑 圖案（影像）之步驟；以及 (3 )在感光膜上進行顯影處理，以於該基板上形成抗蝕劑 圖案之步驟， 其特徵在於，在步驟（1 )及/或（2 )及/或（3 )中，使用以含 有鈉作爲主要成分之放電管（以5 8 9nm光波長之D射線爲 主體者）作爲安全光；在波長範圍爲5 5 9至619nm內’該 感光膜之未曝光部分之吸收率爲〇·5或更低。 36 326\專利案件總檔案\8*7\87119636\87119636(替換)·2