WO1987001556A1 - Accelerateur lineaire d'electrons - Google Patents

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WO1987001556A1
WO1987001556A1 PCT/JP1986/000458 JP8600458W WO8701556A1 WO 1987001556 A1 WO1987001556 A1 WO 1987001556A1 JP 8600458 W JP8600458 W JP 8600458W WO 8701556 A1 WO8701556 A1 WO 8701556A1
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inflector
electrons
electron beam
equilibrium orbit
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Eijiro Toyota
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Sumitomo Heavy Industries Ltd
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Sumitomo Heavy Industries Ltd
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    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H13/00—Magnetic resonance accelerators; Cyclotrons
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H7/00—Details of devices of the types covered by groups H05H9/00, H05H11/00, H05H13/00
    • H05H7/22—Details of linear accelerators, e.g. drift tubes

Definitions

  • the present invention relates to an electron beam accelerator that obtains emitted light by orbiting electrons incident from an injector on an equilibrium orbit and accumulating high energy.
  • a so-called weak focusing electron synchrotron has been known as this type of electron beam accelerator.
  • Weakly focused synchrotrons are equipped with a reflector for guiding an incident electron beam on a balanced orbit and an accelerating electrode for accelerating electrons on the balanced orbit in a magnetic field to reduce the overall size of the device. ing.
  • Such a weakly focused synchrotron can be used as a lithographic source by extracting the emitted light generated by electrons on an equilibrium orbit.
  • An object of the present invention is to provide an electron beam accelerator capable of efficiently extracting synchrotron radiation by expanding the range in which synchrotron radiation can be extracted.
  • an electron beam accelerator having an inflector for guiding electrons to an equilibrium orbit.
  • an electron beam accelerator having driving means for driving the reflector in a direction perpendicular to the plane defined by the equilibrium orbit and retracting the reflector to a position where the emitted light does not strike is obtained.
  • FIG. 1 is a plan sectional view for explaining an electron beam accelerator to which the present invention can be applied.
  • FIG. 2 is a sectional view taken along line 2-2 of FIG.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view showing an example of a conventional reflector that can be used in the electron beam accelerator shown in FIGS. 1 and 2.
  • FIG. 4 is a sectional view showing another example of the conventional reflector.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view for explaining an electron beam accelerator according to one embodiment of the present invention. .
  • FIG. 6 illustrates an electron beam accelerator according to another embodiment of the present invention.
  • FIGS. 1 to 4 show a weakly convergent electron synchrotron as an electron beam accelerator.
  • the illustrated synchrotron has an iron core 11 that defines a space inside, and a pair of coils 12 is arranged along the inner wall of the iron core 11.
  • An annular vacuum duct 13 is positioned in the space, and the vacuum duct 13 is supported by the support 13 ', and the vacuum duct 13 is a vacuum pump (not shown). ) Is maintained in a vacuum state.
  • another pair of coils 14 is arranged in the internal space surrounded by the vacuum duct 13, and the coils 14 are supported by the support 15.
  • an equilibrium orbit of electrons that is, a rotating orbit 16 is formed in the vacuum duct 13, and the coils 12 and 14 are perpendicular to the plane defined by the equilibrium orbit 16. Generate a magnetic field in the direction.
  • Electrons accelerated by an injector are injected into the vacuum duct 13 through an incident beam line 17.
  • the injected electron cannot take the same trajectory as the equilibrium orbit 16 in the vacuum duct 13 as it is. This is because the incident electron draws an orbit with the same curvature as the equilibrium orbit 16 before reaching the equilibrium orbit 16.
  • an inflector 18 is provided to guide the injected electrons to the equilibrium orbit 16 with an increased curvature. Furthermore, the accelerating electrode 19 is a vacuum duct 13 The accelerating electrode 19 is connected to a high-frequency oscillator 20.
  • the illustrated magnetic field-type inflector comprises an outer conductor 22 having a rectangular cross section mounted on an insulating material 21 and an inner conductor arranged inside the outer conductor 22.
  • the inner conductor 23 is fixed inside the outer conductor 22 via an insulating material 24, and a gap 2 is provided between the inner conductor 23 and the outer conductor 22. 5 are formed.
  • the inner conductor 23 and the outer conductor 22 are electrically connected at one end, and the other end is connected to a DC power supply (not shown).
  • the magnetic field in the gap 25 weakens the magnetic field in the vacuum duct 13 and increases the curvature of electrons passing through the gap 25 as indicated by the X mark. . Therefore, the injected electrons can be put on the equilibrium orbit.
  • the conventional electric field inflector comprises a pair of opposed electrode plates 26 and 27, one electrode plate 26 being grounded and the other electrode plate 27 High voltage is applied.
  • the electrode ⁇ 27 is electrically insulated from the electrode plate 26 by the insulator 28.
  • the emitted light can be extracted.
  • the range that can be cut becomes extremely narrow. Specifically, the emitted light is generated in the tangential direction of the equilibrium orbit, and can be extracted outside if there is no obstacle in this direction.
  • only the range A defined by the input side of the invertor 18 and the output side of the accelerating electrode 19 is the range in which the emitted light can be extracted, and the other ranges B and In C, synchrotron radiation cannot be extracted due to the reflector 18 and the acceleration electrode 19.
  • the light duct 30 for extracting light is provided in the range A.
  • the optical duct 30 is provided at the position that intersects with the incident beam line 17, special measures are required. Since this device is irrelevant to the gist of the present invention, it will not be described in detail here.
  • the inflector 18 is irradiated with the emitted light. This means that if synchrotron radiation is generated after the injection of electrons, the reflector 18 becomes an obstacle. In general, when radiated light hits an obstacle, a large amount of gas is generated due to the sputtering effect, which causes electron loss, and the presence of the reflector 18 also has a negative effect on performance. Have an effect. Actually, since the beam diagnostic device and the vacuum device are installed in the range A, the extractable range of the emitted light is limited to a part of the range A.
  • FIG. 5 there is shown an reflector according to an embodiment of the present invention which can be used as the reflector 18 in FIGS. 1 and 2.
  • a magnetic field reflector is shown.
  • the inflector in FIG. 5 is composed of the first inflector section 31 and the second inflector section.
  • Each of the reflector portions 31 and 32 is provided with an outer conductor 33 having a U-shaped cross section and an insulator 34 inside the outer conductor 33.
  • the outer conductor 33 of each of the reflector portions 31 and 32 and the inner conductor 35 are electrically connected to each other at one end.
  • the other ends of 3 and the inner conductor 35 are connected to a DC power supply.
  • the DC power supply may be provided in common for the first and second inflector sections 31 and 32, or may be provided for each of the inflector sections 31 and 32 in a tight manner. good.
  • the first and second reflector sections 31 and 32 are driven so that they can move in a direction perpendicular to a plane (hereinafter referred to as a neutral plane) 36 defined by an equilibrium orbit. Attached to parts 37 and 38. As can be easily understood from FIGS. 1 and 5, each of the driving sections 37, 38 is arranged at right angles to the traveling direction of the emitted light. It is moving.
  • the illustrated driving parts 37 and 38 have the same structure, an insulating material 39a supporting the external conductor 33, and a drive connected to the insulating material 39a. It has a head 40a, a vacuum bellows 41a that covers the drive rod 40a, and an air cylinder 42a that drives the orbital rod 40a.
  • an reflector according to another embodiment of the present invention is an electric field type reflector, and the electric field type reflector is also provided with first and second inflectors.
  • Data section 31 and 32 Each of the reflector sections 31 and 32 is constituted by a pair of electrode plates facing each other at an interval.
  • each of the reflector sections 31 and 32 has a drive section 37 having a drive rod 40b covered by a vacuum bellows 4 lb and an air cylinder 42b.
  • the drive units 37 and 38 shown in FIGS. 5 and 6 drive the first and second reflector units 31 and 32, respectively. Since the height is only a few mm, only one of the first and second reflector sections 31 and 32 may be moved in the vertical direction by the drive section.
  • the reflector 18 Tab 18 can be evacuated.
  • FIG. 1 it is assumed that electrons are injected from the human projectile through the incident beam line 17 with energy of about lOOM eV.
  • the first and second reflector portions 31 and 32 shown in FIG. 5 or FIG. 6 are in contact with each other, and are similar to those in FIG. 3 or FIG.
  • the electrons are guided to the equilibrium orbit 16 via the reflector 18.
  • the driving units 37 and 38 are driven to separate the first and second reflector units 31 and 32 from the neutral plane.
  • the emitted light is emitted to the outside without hitting the reflector 18.
  • the synchrotron radiation can be extracted not only from the range A in Fig. 1 but also from the range B, and the range in which synchrotron radiation can be extracted can be greatly expanded. Thereafter, when the electron energy reaches several hundred MeV to 1 GeV, the emitted light can be used for physical properties research and semiconductor production while retaining the energy.
  • the reflector is made movable so that it can be retracted to a position where the emitted light does not hit, the range of use of the emitted light can be greatly expanded.
  • this part does not interfere with the incident beam line, it is advantageous in terms of the layout of the apparatus.
  • the emitted light does not impinge on the reflector, the life of the stored beam is extended by improving the vacuum, and the evacuation capacity is reduced.
  • the electron beam accelerator according to the present invention can be applied to a lithography source, an X-ray microscope, a medical diagnosis, and the like in semiconductor production using the generated radiation.

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
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  • Particle Accelerators (AREA)

Description

明 细柳
電 子 線 加 速 器
技 術 分 野
この発明は入射器から入射された電子を平衡軌道上を周回さ せて高ヱネルギーを蓄積することによって放射光を得る電子線 加速器に関する。
背 景 技 術
従来、 この種の電子線加速器としては、 所謂弱収束型電子シ ンク ロ ト ロ ンが知られている。 弱収束型シンク ロ ト ロ ンは平衡 軌道上に入射電子ビームを導く ィ ン フ レ ク タ及び平衡軌道上の 電子を加速する加速用電極とを磁場内に設け、 装置全体の小型 化を図っている。 このような弱収束型シンクロ ト ロンは、 平衡 軌道上の電子によって発生する放射光を外部に取り出すことに より、 リ ソグラフ ィ線源等として利用できる。
しかしながら、 磁場内にイ ン フ レクタ及び加速用電極を配置 した場合、 これらイ ン フ レ ク タ及び加速用電極のために、 放射 光を外部に取り出せる放射光取出可能範囲が制限されてしまう という欠点がある。 更に、 放射光取出可能範囲には、 通常、 ビ ーム診断装置及び真空機器等も配置されるため、 実際に放射光 を取り出せる位置は放射光取出可能範囲の極く一部に限られる, この発明の目的は放射光を取り出せる範囲を拡大して、 放射 光を効率よ く取り出せるようにした電子線加速器を提供するこ とである。
発 明 の 開 示
この発明によれば、 電子を平衡軌道に沿って回転させること によって発生する放射光を取り出すことができると共に、 電子 を平衡軌道に導く イ ン フ レクタを儋えた電子線加速器において、 イ ン フ レクタを平衡軌道によって規定される面に対して直角方 向に駆動し、 イ ン フ レクタを放射光が当たらない位置に退避さ せる駆動手段を有する電子線加速器が得られる。
こ の発明では、 イ ン フ レクタが電子を入射する時のみ必要で、 電子を加速する時には不要であり、 却って、 放射光を利用する 時には放射光の障害物となることを見い出し、 放射光利用の際 には、 イ ン フ レク タを放射光が当たらない位置に退避させ、 ィ ン フ レク タの範囲からも放 光を取り出せるようにした電子線 加速器が得られる。 このように、 イ ン フ レクタを放射光から退 避させることにより、 放射光がィ ン フ レ ク タに当たることによ つて生じる悪影響をも除去できる。
図面の簡単な説明
第 1図はこの発明を適用できる電子線加速器を説明するため の平面断面図である。
第 2図は第 1図の 2— 2線に沿う断面図である。
第 3図は第 1図及び第 2図に示された電子線加速器に使用で きる従来のィ ン フ レ ク タの一例を示す断面図である。
第 4図は従来のィ ン フ レ ク タの他の例を示す断面図である。 第 5図はこの発明の一実施例に係る電子線加速器を説明する ための断面図である。 .
第 6図はこの発明の他の実施例に係る電子線加速器を説明す るための断面図である。
発明を実施するための最良の形態
この発明の理解を容易にするために、 第 1図乃至第 4図を参 照して、 先ず、 従来の電子線加速器を説明する。 第 1図及び第 2図には、 電子線加速器として弱収束型電子シ ン ク ロ ト ロ ンが 示されている。 図示されたシ ン ク ロ ト ロ ンは内側に空間を規定 する鉄芯 1 1を有しこの鉄芯 1 1の内壁に沿って一対のコイ ル 1 2が配置されている。 また、 空間内には、 円環状の真空ダク ト 1 3が位置付けられ、 真空ダク ト 1 3は支持台 1 3 ' により 支持きれており、 真空ダク ト 1 3は真空ポ ン プ （図示せず） に より真空状態に保たれる。 更に、 真空ダク ト 1 3で囲まれた内 部空間には、 もう一対のコ イ ル 1 4が配置され、 コ イ ル 1 4は 支持台 1 5によって支持されている。 こ こで、 真空ダク ト 1 3 内には、 電子の平衡軌道、 即ち、 回転軌道 1 6が形成され、 コ ィ ル 1 2及び 1 4は平衡軌道 1 6によって規定される面に対し て垂直方向に磁場を発生する。
真空ダク ト 1 3内には、 入射器 （図示せず） で加速された電 子が入射ビーム ラ イ ン 1 7を通して打ち込まれる。 打ち込まれ た電子はそのままでは真空ダク ト 1 3内の平衡軌道 1 6と同じ 軌跡を取ることはできない。 これは、 入射された電子が平衡軌 道 1 6上に達する前に平衡軌道 1 6と同じ曲率の軌 を描くか らである。
このため、 真空ダク ト 1 3内には、 打ち込まれた電子をその 曲率を大き く して平衡軌道 1 6上に導く ために、 イ ン フ レクタ 1 8が設けられている。 更に、 電子を加速して高工ネルギ一に するために、 加速電極 1 9が真空ダク ト 1 3 のイ ン フ レク タ 1 8近傍に位置付けられており、 加速電極 1 9は高周波発振器 2 0に接続されている。
'第 3図を参照すると、 第 1図及び第 2図のイ ン フ レクタ 1 8 として使用される従来の磁場式ィ ン フ レクタが示されている。 従来の磁場式ィ ン フ レクタは真空ダク ト 1 3内に、 絶縁材 2 1 を介して取り付けられている。 具体的に云えば、 図示された磁 場式イ ン フ レクタは絶縁材 2 1上に搭載された断面矩形形状の 外部導体 2 2と、 この外部導体 2 2の内側に配置された内部導 体 2 3とを有し、 内部導体 2 3は外部導体 2 2の内側に絶縁材 料 2 4を介して固定されると共に、 内部導体 2 3と外部導体 2 2の間には、 ギャ ップ 2 5が形成されている。 内部導体 2 3 と外部導体 2 2とは一端において電気的に接続され、 他端は直 流電源 （図示せず） に接続 ½れる。 この結果、 外部導体 2 2と 内部導体 2 3とには、 互いに逆方向に電流が流れ、 ギャ ップ 2 5内には磁場が形成される。 したがって、 ギャ ップ 2 5内の 磁場によって、 真空ダク ト 1 3内の磁場が弱められ、 ギヤ ップ 2 5内を X印で示すように通過する電子の曲率を大き くするこ とができる。 このため、 打ち込まれた電子を平衡軌道上に乗せ ることができる。
第 4図を参照すると、 従来の電場式イ ン フ レクタは一対の対 向した電極板 2 6及び 2 7とを備え、 一方の電極板 2 6は接地 され、 他方の電極板 2 7には高電圧が印加されている。 この関 係で、 電極扳 2 7は絶縁体 2 8により電極板 2 6と電気的に絶 縁されている。
第 1図に戻ると、 真空ダク ト 1 3内に、 イ ン フ レクタ 1 8及 び加速電極 1 9が配置された場合、 放射光を取り出すことがで きる範囲 （取出可能範囲） が極めて狭く なつてしま う。 具体的 に云えば、 放射光は平衡軌道の接線方向に発生し、 この方向に 障害物がなければ外部に取り出すことができる。 第 1図につい て云えば、 イ ン フ レ ク タ 1 8の入側と、 加速電極 1 9の出側に よって規定される範囲 Aだけが放射光の取出可能範囲となり、 他の範囲 B及び Cでは、 イ ン フ レ ク タ 1 8及び加速電極 1 9の ために、 放射光を取り出すこ とができない。
したがって、 光を取り出すための光ダク ト 3 0は範囲 A内に 設けられる。 但し、 範囲 Aでも、 入射ビーム ラ イ ン 1 7 と交叉 する位置に光ダク ト 3 0 ， が設けられた場合には、 特別の工夫 を必要とする。 この工夫はこの発明の要旨とは無関係であるの で、 こ こでは詳述しない。
更に、 図示した電子線加速器では、 イ ン フ レ ク タ 1 8が放射 光によって照射される。 このこ とは、 電子の打ち込み後、 放射 光が発生すると、 イ ン フ レ ク タ 1 8は障害物となってし ま う こ とを意味している。 一般に、 放射光が障害物に当たると、 スパ ッ タ リ ン グ現象によ り大量のガスが発生するため電子の損失を 招き、 イ ン フ レ ク タ 1 8 の存在は性能面においても悪影響を及 ぼす。 尚、 実際には、 範囲 A内には、 ビーム診断装置、 真空機 器が取り付けられるので、 放射光の取出可能範囲は範囲 Aの一 部に制限される。
発明の実施例
第 5図を参照すると、 第 1図及び第 2図のイ ン フ レ ク タ 1 8 として使用できるこの発明の一実施例に係るイ ン フ レ ク タが示 されており、 こ こでは、 磁場式イ ン フ レ ク タが図示されている。 第 5図のイ ン フ レ ク タは第 1 のイ ン フ レ ク タ部 3 1及び第 2 のイ ンフ レクタ部 3 2とに分割されており、 各イ ン フ レクタ部 3 1及び 3 2は断面コ字状の外部導体 3 3と、 外部導体 3 3の 内側に絶縁体 3 4を介して固定された内部導体 3 5とを有し、 各イ ン フ レクタ部 3 1及び 3 2の外部導体 3 3と内部導体 3 5 とは一端で互いに電気的に接続されており、 外部導体 3 3及び 内部導体 3 5の他端は直流電源に接続されている。 直流電源は 第 1及び第 2のイ ン フ レクタ部 3 1及び 3 2に共通に設けられ ても良いし、 各イ ン フ レクタ部 3 1 、 3 2に対して倔々に設け られても良い。
第 1及び第 2のィ ン フ レクタ部 3 1及び 3 2は平衡軌道によ つて規定される面 （以下、 中立面と呼ぶ） 3 6に対して垂直方 向に移動できるように、 駆動部 3 7及び 3 8に取り付けられて いる。 第 1図及び第 5図と ら容易に理解できるように、 各駆 動部 3 7、 3 8は放射光の進行方向に対して直角方向に、 各ィ ン フ レクタ部 3 1 、 3 2を移動させている。
図示された駆動部 3 7及び 3 8は同一の構造を有し、 外部導 体 3 3を支持する絶縁材 3 9 a、 この絶縁材 3 9 a に連結され た駆動。ツ ド 4 0 a、 駆動ロ ッ ド 4 0 aを覆う真空べロー 4 1 a、 及び軌道ロ ッ ド 4 0 aを駆動するエアシ リ ン ダ 4 2 aとを 備えている。
第 6図を参照すると、 この発明の他の実施例に係るイ ン フ レ クタは電場式イ ン フ レク タであり、 この電場式イ ン フ レクタも 第 1及び第 2のイ ン フ レク タ部 3 1及び 3 2に分割されている。 各ィ ン フ レクタ部 3 1及び' 3 2は互いの間隔をおいて対向する 一対の電極板によって構成されている。
第 4図の場合と同様に、 一対の電極板の一方は接地され、 他 方は高電圧に保たれる。 各イ ン フ レ ク タ部 3 1及び 32は第 5 図と同様に、 真空べロー 4 l bによって覆われた駆動ロ ッ ド 40 b、 及びエアシ リ ンダ 42 bとを有する駆動部 37及び
38によって駆動される。
第 5図及び第 6図に示した駆動部 37及び 38はそれぞれ第 1及び第 2のイ ン フ レ ク タ部 3 1及び 32を駆動しているが、 中立面 36上における放射光の高さは僅か数 mmであるので、 第 1及び第 2のイ ン フ レ ク タ部 3 1及び 32のいずれか 方だ けを駆動部により上下方向に移動させてもよい。
更に、 イ ン フ レ ク タ 1 8を 2つに分割しないで、 イ ン フ レ ク タ 18全体を中立面 36から上げるか又は下げるこ とによ り、 放射光からイ ン フ レ ク タ 18を退避させるこ とができる。
第 1図において、 電子が人射器から l O OM e V程度のエネ ルギ一で入射ビーム ライ ン 17を介して打ち込まれたとする。 こ の状態では、 第 5図又は第 6図に示された第 1及び第 2のィ ン フ レ ク タ部 3 1及び 32は互いに接触した状態にあり、 第 3 図又は第 4図と同様に電子はィ ン フ レ ク タ 18を介して平衡軌 道 16上に導かれる。 加速電極 19による電子エ ネ ルギーの増 加と共に、 磁場強度又は電界強度を上げると、 電子は平衡軌道 16上を回転しつつ接線方向にシ ン ク ロ ト ロ ン放射光を発生す る。 この時点で、 第 5図及び第 6図に示すように、 駆動部 37、 38を駆動し、 第 1及び第 2のイ ン フ レ ク タ部 3 1及び 32を 中立面から離間させる。 これによつて、 放射光はイ ン フ レ ク タ 18に当たるこ とな く外部に放出される。
したがって、 放射光は第 1図の範囲 Aだけでな く、 範囲 Bか らも取り出せ、 放射光の取出可能範囲を大幅に拡大できる。 以後、 電子エネルギーが数百 M e V ~ 1 G e Vに達した時点 で、 エネルギーを保持して、 発生する放射光を物性研究、 半導 体製造に利用できる。
この発明においては、 イ ン フ レクタを可動にして放射光が当 たらない位置に退避できるようにしているので、 放射光の利用 範囲を大幅に広げることができる。 特に、 この部分は入射ビー ム ライ ンと干渉しない位置であるので、 装置のレイ ア ウ ト上有 利である。 更に、 放射光がイ ン フ レクタに当たらないので、 真 空度の向上による蓄積ビームの寿命の延長と真空排気容量の節 減がはかれる。
産業上の利用可能性
この発明に係る電子線加速器は発生した放射光を利用して半 導体製造における リ ソ グラ フ ィ線源、 X線顕微鏡、 及び医療診 断等に適用できる。

Claims

請 求 の 範 囲
' 1 . 電子を平衡軌道に沿って回転させるこ とによって発生す る放射光を取り出すことができると共に、 電子を前記平衡軌道 に導く イ ン フ レク タを備えた電子線加速器において、 前記イ ン フ レ ク タを前記平衡軌道によって規定される面に対して直角方 向に駆動する駆動手段を有し、 該駆動手段により前記イ ン フ レ ク 夕を前記放射光の当たらない位置に退避できることを特徴と する電子線加速器。
2 . 前記イ ン フ レ ク タは第 1 のイ ン フ レ ク タ部と第 2 のイ ン フ レ ク タ部とに分割されており、 前記駆動手段は第 1及び第 2 のイ ン フ レ ク タ部を前記平衡軌道によつて規定される面に対し て直角方向にそれぞれ駆動チる第 1及び第 2の部分駆動手段を 備えているこ とを特徴とする請求の範囲第 1項記載の電子線加
3 . 前記駆動手段は前記ィ ン フ レ ク タを前記平衡軌道によつ て規定される面の上下に移動させるこ とができるこ とを特徴と する請求の範囲第 1項記載の電子線加速器。
4 . 前記イ ン フ レ ク タは磁場を発生するこ とによ り前記電子 を平衡軌道上に導く ことを特徴とする電子線加速器。
5 . 前記イ ン フ レ ク タは電場を発生することにより前記電子 を平衡軌道上に導く ことを特徴とする電子線加速器。
PCT/JP1986/000458 1985-09-10 1986-09-10 Accelerateur lineaire d'electrons Ceased WO1987001556A1 (fr)

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JP (1) JPS6261300A (ja)
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