WO1989007329A1 - Slot-type shadow mask - Google Patents

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WO1989007329A1
WO1989007329A1 PCT/JP1989/000077 JP8900077W WO8907329A1 WO 1989007329 A1 WO1989007329 A1 WO 1989007329A1 JP 8900077 W JP8900077 W JP 8900077W WO 8907329 A1 WO8907329 A1 WO 8907329A1
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shadow mask
bridge
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Toshio Yamamoto
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Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
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Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J29/00—Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
    • H01J29/02—Electrodes; Screens; Mounting, supporting, spacing or insulating thereof
    • H01J29/06—Screens for shielding; Masks interposed in the electron stream
    • H01J29/07—Shadow masks for colour television tubes
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    • H01J29/06—Screens for shielding; Masks interposed in the electron stream
    • H01J29/07—Shadow masks for colour television tubes
    • H01J29/076—Shadow masks for colour television tubes characterised by the shape or distribution of beam-passing apertures

Definitions

  • This invention is similar to the slot type shadow mask used for the shadow mask type color receiver tube.
  • the shadow mask type color receiver tube has three 3 ⁇ 4 child guns 1 and 3 ⁇ 4 child beam B emitted from each electron gun 1.
  • Fluorescent screen 2 that emits light and fluorescent screen
  • a shadow mask 3 that is placed in front of 2 and cuts off the electron beam in the unnecessary direction by treating only the 3 ⁇ 4 child beam in the required direction with the beam aperture 3 A. It is composed of a 3 ⁇ 4 child beam emitted from the electron beam 1 in response to the surface image signal to emit the necessary strike-like phosphor on the fluorescence screen to project a color image. Iru.
  • the slot type shadow mask 3'used for the above image receiving tube is usually on an iron plate with a thickness of 0.1 to 0.3, in the horizontal direction 0.08 country ⁇ 0.25 discussion, Vertical direction 0.3 to 1.0 Black strip-shaped beam aperture, 20 units 3 A is about 100,000 to several 100,000 pieces, regularly arranged in a brick pile, and each beam aperture 3 A is etching It is formed by processing.
  • the width of each beam virtual is from the W relationship between the distribution of red, green, and blue phosphors and the horizontal arrangement bitch of beam virtualizer 3 A.
  • the vertical length of each beam virtualizer is specified so that the shadow mask will not be damaged when molding is applied when the shadow mask is printed on the color receiving tube. It is not possible to make the opening dimension of the beam aperture vertically long by thinning the bridge part between each beam aperture.
  • Shadow mask is a gold JS thin plate with photo resist applied to both sides of the table.
  • the cloth is dried, and then the shadow mask pattern on both sides of the table is closely printed with a predetermined position reviewer, and then developed, dura mater, and burning. It is etched and finally manufactured by separating the photoresist film.
  • 1 bridge 1 6 a is on the front side S of the mask frame 1 4, and the other bridge 1 6 b is on the mask plate.
  • 1 4 is on the back side.
  • etching treatment on both the front and back sides of the mask plate 1 4 and, moreover, the transport speed of the mask plate 1 4 during the etching treatment and the etching liquid.
  • spray pressure of the spray noise to be sprayed on the mask body 14. This is based on the premise that there are variations in the thickness of the gold book, which is the material of the mask plate 14, the thickness of the photo-resist coating film, the sensitivity of the photo-resist, etc.
  • the opening dimension of the beam aperture 1 3 A and the dimension of the bridge 1 6 a ⁇ 1 6 b are controlled at the same time.
  • the positional relationship between the beam aperture of the shadow mask and the strip-shaped phosphor is exactly the same. I need it.
  • the shadow mask is used as a color receiver tube together with the phosphor, the electron beam transmittance of the shadow mask is only about 20%, and the loss at the end is & 0%. To reach. For example, if the anode electric power is about 25 ⁇ (W) on the 20-inch color receiver tube, this Uchi 20 W will be erased in the shadow mask. As a result, the temperature of the shadow mask rises by about 40, and as a result, the shadow mask expands by about 100. When such thermal swelling occurs in the shadow mask, the match between the turtle beam and the phosphor cannot be obtained, and the color purity of the color receiving tube is lowered.
  • the shadow mask was composed of two plates, and the slot of the first frame was used.
  • the slot holes of the second body corresponding to the holes are brought into close contact with each other or faced with each other to increase the strength of the shadow mask.
  • Gazette No. 3 1 6 7 6 the large number of openings in the two shear masks (body) that make up the shadow mask are all overlapped. , What prevents the thermal expansion of the bureau is known.
  • Japanese Patent Application Laid-Open No. 4 9 -7 9 1 90 Japanese Patent Application Laid-Open No.
  • the slot of each overlaid body is inserted.
  • the position a of the hole (opening) is, for example, the thermal expansion of the master pattern used for printing the shadow mask pattern, the distortion of the hole shape that is similar to that of the shadow mask, and the mutual of each body.
  • the electron beam transmittance changes due to the deviation due to the alignment accuracy of.
  • the transmission unevenness caused by the variation in the hole shape of each beam virtualizer is a problem, but the slot holes of each plate that can be overlapped have the same shape. In the case of production, there is a problem that the permeation unevenness when each body is overlapped becomes synergistically worse than the permeation unevenness of each plate unit.
  • the present invention has been made in light of these circumstances, and is easy to implement, has a high transmittance of the turtle beam, is fragile in terms of strength, and has little unevenness in transmission. Its purpose is to provide a dumask 4
  • the slot type shadow mask according to the present invention is configured as follows.
  • each bridge is a slot-type shadow mask with a thin JT mask.
  • Vertical and horizontal slot holes are arranged vertically and horizontally on the mask plate to open the mask; By dividing it, it is characterized by joining the front plate and the mask plate to form the above beam virtualizer.
  • the front and the swords are separately etched to form vertically elongated slot holes in each of them. Therefore, in the hatching process, it is only necessary to control the open slot shape dimension of the slot hole.
  • a bridge of a predetermined size is formed, and the thickness of the bush is the same as the thickness of the table or ⁇ . Therefore, it is excellent in strength and is damaged during molding. ⁇ That's it.
  • the front plate and the mask plate are in phase 1:
  • the bridge on the other side divides the slit hole for the aperture on the other side, forming a beam aperture of the specified size.
  • the bridges will be periodically displaced to the back side of the mask, and each bridge will be about 1/2 of the front or back plate. Will be formed to the thickness of. Therefore, as in the conventional example, the electron beam transmittance is improved at the periphery of the shadow mask because the thickness of the bridge is thin.
  • the slot-type shadow mask according to the present invention is preferably formed by arranging a large number of vertically long beam virtualers vertically and horizontally on a mask plate body, and a mask plate body is formed by arranging a large number of vertically and horizontally long beam virtualizers in each column.
  • the front side of the mask is tilted to the back side, and each bridge is formed into a slot type shadow mask with a thin mask plate body, and the mask body is the front plate.
  • It consists of a mask plate, and vertically long slot holes are arranged side by side on the front plate and the back plate to open the mask, and the bridge on the other side is between the mask and the mask side.
  • the difference between the open spokes of the slot holes on the front and back plates should be determined by considering the deviation that occurs when the front and back plates are overlapped. It is possible to eliminate the change in electron beam transmittance due to deviation.
  • the shadow mask created by overlapping is completed.
  • the permeation unevenness of the plate is mostly determined by the permeation unevenness of the plate with a small opening width.
  • the reason for this is that the beam virtualer of the slot 3 ⁇ 4 shear dumask is strip-shaped, and the surface of the translucent part is on the small side of the beam aperture. affect the open circuit width is rather large, the influence of Barakki of the bridge width is small Iko Tonyoru ⁇
  • the plate thickness of the plate having the smaller opening width of the slot hole is made thinner than the plate thickness of the plate having the larger opening width.
  • the thin plate of the gingiva is less likely to cause punctures in the shape of the slot hole at the same time as the gingiva, and the coloration that affects the electron beam transmittance is reduced accordingly.
  • FIG. 1 is an enlarged perspective view of a main part of the slot type shadow mask according to the present invention.
  • Fig. 2 is an enlarged front view of the main part of the slot type shadow mask showing another example.
  • Fig. 3 is a cross-sectional view schematically showing the DI — ffl line arrow cross section of Fig. 2, and Fig. 4 is a slot type shadow that schematically shows another embodiment. Enlarged cross section of the mask,
  • FIGS. 5a to 5c are cross-sectional views taken in the width direction of the slot hole schematically showing another embodiment.
  • FIGS. 6a to 6d are cross-sectional views taken along the width direction of the slot hole, schematically showing another embodiment.
  • Fig. 7 is a schematic diagram of the color receiver tube
  • Fig. 8 is an enlarged perspective view of the main part showing a conventional example of a slot type shadow mask.
  • FIG. 1 is an enlarged perspective view showing a main part of the slot type shadow mask according to the present invention.
  • the front plate 4 a and the closing plate 4 b are joined to form the mask frame 4, and the front plate 4 a and the back plate 4 b are hatched from both sides, respectively.
  • Vertical slot holes 5 a ⁇ 5 b are arranged and formed horizontally.
  • each slot ⁇ divided into two by the bridge 6 a ⁇ 6 b constitutes the beam virtualizer 3 A.
  • This front plate 4 a ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ Ki l led Steel (A ⁇ Ki l led Steel) Formed using a gold plate, scar! Called a department
  • the peripheral part of the shadow mask is spot-welded or glued with a polymer resin adhesive.
  • a post-focused color receiver that increases the brightness of the displayed image by increasing the electron beam transmittance of the color selection device, for example, U.S. Pat. No. 4, 3 7 4 4 Although it is also disclosed in the specification of No. 5 No. 2, it goes without saying that its composition and operational effect are different from those of the shadow mask of the present invention.
  • Fig. 2 is an enlarged front view of the main part, which exemplifies a slot hole 5 a ⁇ 5 b of the front plate 4 a and 4 b formed by surface S and side shearing, Fig. 3.
  • the holes 5a ⁇ 5b are arranged regularly in the vertical and horizontal directions, and each of them is formed in the shape of a strip.
  • the bridges 6 a. 6 b on the other side are the same as those shown in Fig. 1.
  • a beam aperture 3 A is formed. Therefore, one bridge 6 a intervening in each beam aperture 3 A in the column direction is to the surface S, side of the shadow mask, and the other bridge 6 b is the S plane. It is deviated to the S side, and it is thin enough (of the entire mask plate), and the transmittance of the electron beam B is improved by the amount that the thickness of the bridge is thinned.
  • FIG. 4 is a cross section showing another embodiment of the slot type shadow mask according to the present invention.
  • the bridge 6 a • 6 b rather than being Moi alternately on the surface side S t and the back side S 2 of Sha Dumasuku, yellowtail 'Nji 6 a ⁇ 6 b Table troublesome S Sha Dumasuku, and behind troublesome 2, Example Since it was periodically displaced at a ratio of 2: 1 as in Fig. 3, the front and back sides had a predetermined slot hole formed by the etching process from both sides or one side as in Fig. 3. It is formed by joining plates 4 I).
  • the scratch position ratio of bridges 6a ⁇ 6b mentioned above is not limited to 2: 1, for example, 3: 2, 4: 5, etc., which is an integer-to-integer ratio. It doesn't have to be done periodically.
  • Figures 5a to 5c show cross-sectional views in the slot hole width direction for explaining yet another embodiment.
  • Fig. 5a shows the slot hole opening width of £ 4 on the front side 4a, which is formed on both sides of the slot hole on the back side 4b.
  • £ ⁇ is 2 0 0 ⁇ n
  • £ 2 is 240 ⁇ m.
  • the electron beam transmittance in this case is shaded only by the slot hole of the front plate 4a.
  • Fig. 5b shows an example in which the back cover 4b is joined in the reverse direction of Fig. 5a.
  • the electron beam transmittance is also colored only by the slot hole of the front plate 4a. It will be echoed.
  • Fig. 5c shows an example in which the slot width of the front plate 4a is made smaller and the slot width of the substrate 4b is made smaller, which is the opposite of Fig. 5b.
  • the electron beam transmittance is affected by the 4 be slot hole on the back plate.
  • the resolution to be set is often set to 5 to 50 m because the width of the slot hole arrangement bitch and slot hole opening varies.
  • the corresponding slot hole opening width of the plate body to be joined is formed to be smaller than the other slot hole opening width. Even if the shape of the slot hole of the plate with a large width is distorted, it does not affect the electron beam transmittance as in the past, so it is practically used. You will get a good shadow mazuk.
  • FIGS. 6a to 6d are cross-sectional views in the slot hole width direction as in FIGS. 5a to 5c, and show still another embodiment of the shadow mask according to the present invention.
  • Ah the thickness of the plate to be joined was also taken into consideration to further reduce the effect on the electron beam transmittance. This can be achieved by forming the thickness of the plate to be joined, whichever has the smaller slot hole opening width, thinner.
  • the present invention is applied to the shadow mask of the color receiving tube.
  • a slot-type shadow mask (3) used for a color picture tube has a shadow mask plate (4) composed of a front plate (4a) and a back plate ( 4b), and the relationship between them is such that the bridges (6a, 6b) on one plate divide the slot holes (5b, 5a) of the other.
  • the slot type shadow mask (3) used for the color receiving tube is K.
  • the slot type shadow mask (3) according to the present invention is a masked body of the shadow mask.
  • (4) is composed of a front plate (4 a) and a back plate (4 b), and between the front plate tilt and the back tilt, the bridge of the square (6 a, 6 b) Is the other side of the slot hole (5 b, 5 a) that is joined in a split manner.
  • This invention is a slot-type shadow mask used for shadow-mask type color receiver tubes.
  • the shadow mask type color receiver tube has three 3 ⁇ 4 child guns 1 and each «child beam B emitted from the child gun 1: 10" T red.
  • Fluorescent screen 2 that emits light in the blue and fluorescent screen
  • each electron beam B is requested to pass only the 3 ⁇ 4 child beam in the required direction through the beam virtualizer 3 A and the shadow mask 3 to cut off the electron beam in the unnecessary direction.
  • the 3 ⁇ 4 child beam emitted from 3 ⁇ 4 child system 1 in response to the west image signal emits the necessary strip-shaped fluorescence rest on the fluorescence screen to project a color image.
  • the slot type chat mask 3'used for the above receiving tube is usually, for example, a thickness of 0.1 to 0.3, and a horizontal direction of 0.0 8 discussion to 0, 2 5 ⁇ , ⁇ direction 0.3 to 1.0 ⁇ strip-shaped beam perch 20a 3 A is about 100,000 to several 100,000 pieces, regularly arranged in the shape of a brick, each beam virtual 3 A It is formed by the hatching process.
  • each beam virtual is specified by the M relationship between the arrangement of the red'green'blue phosphors and the arrangement of the beam virtual 3 A in the direction of the sword.
  • the vertical length of each vinyl mask is specified so that the shade mask will not be damaged when molding is performed by attaching the shichu-dumask to the color receiving tube. It is not possible to increase the opening dimension of the beam virtualizer by 3 ⁇ 4 the bridge part between each beam aperture.
  • the shadow mask has posters on both the front and back sides of the thin gold plate. Cloth, dry, and print the shadow mask pattern on both sides of the table with S light on ⁇ with a predetermined position reviewer, then develop, harden, burn, and then sbray on the etch. It is etched and finally manufactured by separating the photo-resist film.
  • 1 bridge 1 6 a is on the surface S of the mask body 1 4, and the other bridge 1 6 b is on the side S of the mask plate body 1 4.
  • the spray pressure of the sub-sliding to spray the eching liquid onto the mask body 1 4 extremely, which is the thickness of the thin plate, which is the material of the mask body 1 4. , Assuming that there is a mask in the thickness of the photo-resist coating, the feeling of the photo-resist, etc.
  • the shadow mask is the pole of the color receiving tube together with the phosphor, the electron beam transmittance of the shadow mask is only about 20%, and the loss in the nucleus reaches 80% ⁇ .
  • the power is about 25 ⁇ tt (W)
  • this uchi 20 W will be erased in the shadow mask.
  • Approximately 40 ⁇ (; fi degree upper) occurs in the shadow mask, and the shadow mask stretches 100 0. *
  • «child beam and The color of the color receiver tube will be reduced because it cannot be matched with the phosphor.
  • the shadow mask was composed of two frames, and the slot of the first plate was used.
  • the slit hole of the second plate corresponding to the hole is attached or a minute gap is provided so that the shadow mask is made to face each other to increase the strength of the shadow mask.
  • Gazette No. 1 3 1 6 7 6 the large number of openings in the two slice-shaped shadow masks (body) that form the shadow mask are all overlapped. Therefore, it is known that there is something that prevents local heat.
  • the position of the set hole (opening) of each of the superimposed bodies is, for example, the master pattern used for burning the shadow mask pattern.
  • the present invention was made in view of this situation, and the actual Jfe is easy, the electron beam has a high permeability, the strength is also «, and the transmission unevenness is small. Its purpose is to provide shadow masks *
  • the slot type shadow mask according to the present invention is configured as follows.
  • a large number of vertically long beam apertures are arranged horizontally on the mask body, and the bridges intervening between each beam aperture in the tandem direction are moved to the front side and the back side of the mask plate.
  • the mask is made up of a front and back mask, and each bridge is formed into a thin shadow mask with a thin muzzle plate.
  • Long slot holes are arranged vertically and horizontally on the board and the mask plate, and the slot is squeezed; It is characterized by joining the 3 ⁇ 4 plate and the mask plate to form the above-mentioned S beam aperture by dividing the hole.
  • the front and sewn holes are separately etched to form «f-length slot holes in each of them. * Therefore, in the etching process, the slot holes are formed.
  • a bridge of a predetermined size is formed, and the thickness of the bridge is the same as the thickness of the front plate or back of the frame. No, that's it.
  • the front and back plates are placed so that the bridge on the other side divides the slot hole for the aperture on the other side, forming a beam virtualizer of the specified size. Since they are joined, the bridge will be periodically scratched on the mask surface side, and each bridge will be about 1/2 the thickness of the front or the mask. Therefore, as in the conventional example, the transparency of the beam is improved by the thickness of the bridge, which is improved in the surrounding cities of Shadowmask.
  • the slot-type shadow mask according to the present invention preferably consists of a large number of vertically long beam apertures arranged in S rows in a vertical inspection on the mask body, and a bridge intervening in each beam aperture straw in the tandem direction.
  • the surface of the mask plate is displaced to the trouble, and each bridge is formed into a slot type shadow mask with a thin mask plate.
  • the front plate and back mask are joined to form the beam aperture described above, and the slot V on the other side is formed. It is characterized by making the opening of the hole wider than the opening of the hole.
  • the difference in the opening width of the slot hole between the front plate and the back plate should be determined in consideration of the deviation that occurs when the front plate and the back plate are overlapped. It is also possible to eliminate the change in the 3 ⁇ 4 child beam transparency rate.
  • the shadow mask will be overlaid.
  • the unevenness of transparency is mostly determined by the unevenness of transparency of the body with a small opening width, because the beam virtualizer of the slot 3 ⁇ 4 shear dumask is strip-shaped.
  • the opening width of this beam aperture is small, the opening width of the fall is large, and the color of the bridging width is small.
  • the thickness of each plate body in addition to making the opening of the slot hole different for each body.
  • Masii That is, the thickness of the plate with the smaller opening of the slot hole is made thinner than the thickness of the plate with the larger opening width.
  • the board! The thin body of: is less likely to cause variations in the shape of the slot hole as much as the gingiva, and the coloration that affects the 3 ⁇ 4 beam transmittance is reduced accordingly.
  • FIG. 1 is an enlarged perspective view of a main part of the slot type shadow mask according to the present invention.
  • Fig. 2 is an enlarged front view of the main part of the screen type shadow mask showing another example.
  • Fig. 3 is a cross-sectional view schematically showing the DI—IB line arrow cross-section of Fig. 2, and Fig. 4 is a slot-type shadow that schematically shows another embodiment. Enlarged cross section of the mask,
  • Fig. 5a to Fig. 5c are cross-sectional views taken in the direction of the slot hole, which schematically show another implementation.
  • FIGS. 6a to 6d are cross-sectional views taken along the 18 directions of the slot hole schematically showing another embodiment.
  • Fig. 7 is a schematic diagram of the color receiver tube
  • Fig. 8 is an enlarged perspective view of the main part showing a conventional example of a slot type shadow mask.
  • FIG. 1 is an enlarged perspective view showing a main part of the slot type shadow mask according to the present invention.
  • This slot type'naughty mask 3 is formed by joining the front plate 4 a and the wing plate 4 b to form the mask frame 4, and the front plate 4 a and the back plate 4 b are hatched from the rain surface, respectively.
  • the slot holes 5a ⁇ 5b of the length of the rain are arranged and formed in the horizontal direction.
  • This table 4 b is made of a thin material, for example, Almicil "Steel ( ⁇ ⁇ -Kil led Steel), or nickel alloy with an invar alloy ratio of 36%.” It is formed by using the gold metal, and is called the skate part. The edge of the shadow mask) is joined by spot contacting or by bonding with a polymer resin adhesive *
  • the rear-stage focusing type color receiver tube that increases the degree of display west image is, for example, U.S. Patent No. 4 Although it is also disclosed in No. 3 7 4 4 5 No. 2 damage, it goes without saying that its composition and operational effect are different from those of the shadow mask of the present invention.
  • Fig. 2 is an enlarged front view of the main part, which is an example of the front hole 5a ⁇ 5b of the front 4 a and 4 b formed by the surface S side etching process.
  • Fig. 2 HI line arrow cross section. That is, on the front plate 4 a and the back plate 4 b that make up the mask body 4, for example, a strip-shaped slot with a horizontal orientation of about 0.2 yellowtail and a yellowtail direction of about 1.2 ⁇ .
  • the holes 5 a ⁇ 5 b are arranged regularly in the vertical and horizontal directions, and one of them is formed in the shape of a strip.
  • the bridges 6a ⁇ 6b on the other side divide the slot holes 5b ⁇ 5a on the other side evenly, and the beamer virtualizer 3A Formed, therefore, one bridge 6 a intervening in each beam virtualizer 3 Ala in the column direction is to the surface S, side of the shadow mask, and the other bridge 6 b is deviated to the eclipse surface S, and the thickness of the entire mask frame is thinned sufficiently, and the transparency of the electron beam B is improved by the thickness of the bridge.
  • FIG. 4 is a cross section showing another embodiment of the slot type shadow mask according to the present invention.
  • the bridge 6 a •
  • the bridge 6 a'& b is the shadow mask surface tilt S, and the backside tilt S ,. Since it was periodically placed at a ratio of 2 ⁇ 1, it was the same as the third country. It is formed by joining ⁇ 4 1).
  • the scratch position ratio of bridges 6a ⁇ 6b mentioned above is not limited to 2: 1, for example, 3: 2, 4: 5, etc., which is an integer-to-integer ratio. It doesn't have to be done periodically.
  • Fig. 5a to Fig. 5c SI show the cross-sectional section in the slot hole direction to explain yet another embodiment.
  • Fig. 5a shows the slot on the front plate 4a.
  • Fig. 5b shows an example in which the back plate 4b is joined in the reverse direction of Fig. 5a.
  • the child beam permeability is also only in the slot hole of the front plate 4a. You will receive Aya.
  • Fig. 5c shows an example in which the slot width of the front plate 4a is made smaller and the slot width of the front plate 4b is formed to be smaller, contrary to the case of Fig. 5b.
  • the transparency rate of the beam is affected by the 4b slot hole on the back plate.
  • the width of one slot hole to be joined is made smaller than the width of the other slot hole, and the slot is set to the same size as the cathode ray. Even if the shape of the slot hole of the plate with a large width is distorted, it does not affect the electron beam transparency rate as in the past, so it is practical. An excellent shadow mazuk will be obtained.
  • FIGS. 6a to 6d are cross-sectional views in the slot hole width direction as in FIGS. 5a to 5c, and show still another embodiment of the shadow mask according to the present invention.
  • Ah the thickness of the plates to be joined is also taken into consideration, and the electron beam permeability is further colored. It can be achieved by forming the plate thickness of the plate body to be joined and the plate body with the smaller slot hole opening width.
  • the thinner the thickness the less the occurrence of uneven permeation due to the variation in the hole shape even if slot holes are formed during the etching process. If a slot hole is formed in a thick plate body and a small slot hole is formed in the plate body, both plates will be joined even if the plate body with a thick plate thickness has uneven permeation. In this case, the uneven transparency of the thick plate body does not affect the uneven transparency of the masked body, and a shadow mask that is more practically squeezed can be obtained. Can be done.
  • the present invention is applied to the shadow mask of the color receiving tube.
  • a slot-type shadow mask (3) used for a color picture tube has a shadow mask plate (4) composed of a front plate (4a) and a back plate ( 4b), and the relationship between them is such that the bridges (6a, 6b) on one plate divide the slot holes (5b, 5a) of the other.
  • the present invention applies to a slot-type shadow mask (3) used for a color-receiving spine.
  • the slot-type shadow mask (3) according to the present invention is a mask frame of a shadow mask (4). Is composed of front (4 a) and ⁇ ⁇ (4 b), and the front side and back side are mutually simple, and the one-sided bridge (6 a, 6 b) is on the other side. It is made by joining ⁇ -t holes (5 b, 5 a) in a divided manner.
  • This invention applies to the stock type shadow mask used for the shadow mask type color receiver tube.
  • the shadow mask type color receiver tube has three 3 ⁇ 4 child guns 1 and each «child gun 1 emits a sword beam ⁇ Nyo.
  • each 3 ⁇ 4 child beam B has a shadow mask 3 that allows only the 3 ⁇ 4 child beam in the required direction to pass through the beam virtual 3 A and quickly cuts off the electron beam in the unnecessary direction. It is configured to project a color west image by emitting the necessary straight phosphors on the fluorescence screen with a 3 ⁇ 4 child beam emitted from the electron electrode 1 in response to the west image signal. Iru,
  • the slot type shadow mask 3'used for the upper receiving tube is usually on an iron plate with a thickness of 0.1 to 0.3, and a horizontal direction of 0.08 to 0.25. ⁇ direction 0.3 to 1.0
  • Oboro strip-shaped beam perch 3 A is about 100,000 to 100,000, and is regularly arranged in a brick pile, and each beam virtual 3 A is etching. It is formed by processing.
  • the field of each beam virtual is specified from the relationship between the arrangement of the phosphors of the red'green'material and the lateral arrangement bitch of the beam virtual 3 A.
  • the length of each beam aperture in the t3 ⁇ 4 direction is specified so that the shadow mask does not change when molding with a ridge, such as by printing a shadow mask on a color receiving tube.
  • a large number of fif-length beam apertures 1 3 A are arranged in S rows vertically and horizontally on one mask frame 1 4 and a bridge 1 intervening between each beam aperture 1 3 A in the tandem direction.
  • 6 a ⁇ 1 6 b Nouchi 1 ⁇ bu, ⁇ y ji 1 6 a on the surface S of the mask plate 1 4
  • the chateau mask has a photo-registration on both the front and back sides of the gold sword. Cloth, dry, then close-print the shadow mask pattern on both sides of the table with ⁇ light at the specified position I » and then develop, harden, and burn. It was sprayed in, and finally it was made by masking the photoregistrate.
  • 1 bridge 1 6 a is on the surface S of the mask body 1 4, and the other bridge 1 6 b is on the surface S of the mask plate body 1 4.
  • the spray pressure of the sliding noise for injecting the etching liquid onto the mask plate 1 4 very strictly. This is the material of the mask plate 1 4 Assuming that there are variations in the thickness, the thickness of the photo-resist coating film, the conviction of the photo-resist, etc. It means that the dimensions and thickness of 1 6 a ⁇ 1 & b are controlled at the same time.
  • the position 1 »the relationship between the beam aperture of the shadow mask and the strip-shaped phosphor is exactly the same. I need to.
  • the shadow mask is the »pole of the color receiving tube together with the phosphor, the electron beam transmittance of the shadow mask is only about 20%, and the «ca» loss at the »pole is as high as 80%. * For example, if the 20-inch color receiver tube has a length of about 25 ⁇ t (W), the shadow mask will erase 20 W.
  • the shadow mask was composed of two plates, and the slot of the first frame was used.
  • the slit holes of the second plate corresponding to the holes are attached or faced with each other to increase the strength of the shadow mask.
  • Gazette No. 1 3 1 6 7 6 the numerous openings of the two slice-shaped shadow masks (body) that make up the shadow mask are all overlapped.
  • the above-mentioned Japanese Patent Application Laid-Open No. 4 9 --7 9 1 90 0 is known to prevent local heating.
  • the position of the slot hole (orchid hole) of each of the superimposed bodies is, for example, the thermal expansion of the master pattern used for printing the shadow mask pattern.
  • the electron beam transparency rate changes due to the distortion of the hole shape that is similar to that of the shadow mask, and the displacement due to the alignment accuracy of each body. ..
  • the unevenness of penetration caused by the hole-shaped parameters of each vinyl percha is a problem, but the slot holes of each body that can be overlapped have the same shape.
  • the transparency unevenness of the ⁇ which is made by superimposing each body becomes synergistically «the transparency unevenness of each plate body alone.
  • the present invention was made in view of this situation, and is a slot type that is easy to implement, has a high permeability of the 3 ⁇ 4 beam, has a high strength, and has little unevenness in transparency. Its purpose is to provide shadow masks.
  • the slot type shadow mask according to the present invention is constructed as follows.
  • each bridge is formed into a slit-type shadow mask with a thin thickness of the mazuk plate. Open the slot holes of the length of the ⁇ in the back mask in K rows next to the mask, and open the slot on one side with the mutual simplification between the mask side and the S plate. By dividing the hole, the beam aperture is formed by joining the 3 ⁇ 4 mask and the mask plate.
  • the front plate and the sill are separately etched to form a slot hole having a length of 1 3 ⁇ 4, respectively. * Therefore, in the etching process, the slot hole is opened.
  • B. By managing only the shape dimensions, A bridge of the specified size is formed, and the thickness of the bridge is the same as the thickness of the front plate or the plate. * Therefore, the strength is «, and when molding is applied. It's damaged.
  • the front and back masks form a beam aperture of a predetermined size because the bridge on the other side divides the slot hole for the opposite side. Since the bridge is placed and joined, the bridge will be in a position where the mask surface example is troublesome, and each print is about 1/2 of the front or the mask. Will be formed to the thickness of. Therefore, as in the conventional example, the electron beam permeability is improved at the periphery of the shadow mask because the thickness of the bridge is thin.
  • the Kuro V-type shadow mask according to the present invention preferably consists of a large number of beam virtualers having a length in a row on the mask body, and a bridge intervening between the beam virtualizers in the row direction.
  • the surface of the mask plate is laid down, and each bridge is formed into a slot-type shadow mask with a thin mask plate, and the mask is on the front. It consists of a mask and a back mask.
  • the bridge splits the slot hole on the other side, forming the upper 13 beam virtualizer, joining the front plate and the back plate, and opening the slot hole on the other side of the tree.
  • the feature is that the width of the opening of the slot hole on the other side is enlarged.
  • the difference in the opening width of the slot holes between the front and back blades should be determined by considering the deviation that occurs when the front and back plates are overlapped. It is possible to eliminate the change in the 3 ⁇ 4 child beam transparency rate.
  • the slot type shadow mask according to the present invention changes the thickness of each plate in addition to making the orchid rod «I of the slit hole different in each body. That is, the thickness of the plate with the smaller opening of the slot hole is made thinner than the thickness of the plate with the larger opening width. In this case, the thinner plate body is less likely to cause variations in the shape of the slot holes in the work, and the coloration that affects the electron beam transmittance is reduced accordingly.
  • FIG. 1 is an enlarged perspective view of a main part of the slot type shadow mask according to the present invention.
  • Fig. 2 is an enlarged front view of the main part of the screen type shadow mask showing another example.
  • Fig. 3 is a cross-sectional view schematically showing the IE— ⁇ line arrow cross section of Fig. 2, and Fig. 4 is a slot type shadow that schematically shows another embodiment. Enlarged cross section of the mask,
  • Fig. 5a to Fig. 5c are cross-sectional views of the slot hole, which schematically shows another implementation.
  • Fig. 6a to Fig. 6d are cross-sectional views taken in the direction of the slot hole, which schematically shows another example.
  • Fig. 7 is a schematic diagram of the color receiver tube
  • Fig. 8 is an enlarged perspective view of the main part showing a conventional example of a slot type'nard mask.
  • FIG. 1 is an enlarged perspective view showing a main part of the slot type shadow mask according to the present invention.
  • This slot type shadow mazuk 3 is formed by joining the front plate 4 a and the straight plate 4 b to form the mask frame 4, and the front plate 4 a and the back plate 4 b are each subjected to etching treatment from both sides.
  • Long slot holes 5 a ⁇ 5 b are arranged and formed horizontally.
  • the bridges 6a ⁇ 6b of the squares divide the slot holes 5b '5a on the other side evenly.
  • the vertical position of the slot holes 5a ⁇ 5b is formed by a 1/2 bitch offset, so the bridge 6a ⁇ 6b is 2
  • Each minute # 1 slot hole will form the beam virtualizer 3 A.
  • skirt 4 a skirt 4 b is, for example, Almicil ['copper (AI-Killed Steel), nickel skirt 36% invar (Invar) alloy material is thin. Formed using gold swords, called the skirt capital The peripheral part of the shadow mask is spot-welded or glued with a polymer resin adhesive.
  • a post-focused color receiver that increases the brightness of the display west image by increasing the electron beam transparency rate of the color selection device, for example, U.S. Pat. No. 4, 3 7 Although it is also disclosed in No. 4 4 5 No. 2 damage, it goes without saying that its composition and operational effect are different from those of the shadow mask of the present invention.
  • Fig. 2 is an enlarged front view of the main part, which is an example of a slot hole 5 a '5 b of front 4 a's 4 b formed by surface S cross-section processing. 1 ⁇ — ⁇ line arrow cross-sectional view of Fig. 2. That is, on the front plate 4 a ⁇ and back ⁇ 4 b that composes the mask plate 4, for example, a strip-shaped slot with a horizontal orientation of about 0.2 ⁇ and a yellowtail direction i3 ⁇ 4 1.2 wi.
  • the holes 5 a ⁇ 5 b are regularly arranged side by side, and one of them is formed in the shape of a strip.
  • the bridges 6 a ⁇ 6 b on the other side divide the slot holes 5 b ⁇ 5 a on the other side evenly, and the beam percha 3 A Formed, therefore, one bridge 6 a intervening in each beam aperture 3 ⁇ 3 ⁇ 4 in the gelding direction is the surface S of the shadow mask, to the other one bridge.
  • 6 b is deviated to the example of the surface S t, and the thickness of the mask holiday is also thin enough, and the transparency rate of the electronic beam B is reduced by the thickness of the bridge. Will be improved ⁇
  • FIG. 4 is a cross section showing another embodiment of the slot type shadow mask according to the present invention.
  • the bridge 6 a • Rather than alternating 6 b to the front and back Si of the shadow mask, the image 6 a ⁇ 6 b is the surface of the shadow mask S, and the troublesome S i, for example. Since the table was periodically set at a ratio of 2: 1 as shown in Fig. 3, the front plate 4 a and the back plate were formed with the specified slot holes by the etching process from the same side or one side as in Fig. 3. 4 I) is joined to form.
  • the «position ratio of the above-mentioned bridge 6a ⁇ 6b is not limited to 2: 1, for example, it is an integer-to-integer ratio such as 3: 2, 4: 5. It suffices, and it is not always necessary to periodically leak.
  • Figures 5a to 5cBI show cross-sectional views in the slot hole width direction to clarify yet another embodiment.
  • Fig. 5a shows the slot opening of 4a, which is the width of the slot 4b, and the width of the slot of 4b, which is slightly smaller.
  • An example of contacting with a difference of m is shown.
  • £ 1 is 2 0 0 111 and £ 2 is 2 4 0 111.
  • the electron beam transmittance is the slot of table 4 a. Receives color only through the spokes
  • Fig. 5 b shows an example in which ⁇ ⁇ 4 b is joined in the opposite direction to Fig. 5 a, and the 3 ⁇ 4 child beam permeability in this case is also due to the slot hole of table 4 a. Only will be affected.
  • Fig. 5c shows an example in which, contrary to Fig. 5b, the slot width of the front plate 4a is formed to be smaller and the slot width of the front plate 4a is formed to be smaller.
  • the 3 ⁇ 4 child beam permeability is shaded by the back plate 4 b slot hole.
  • the resolution to be set is often set to 5 to 50 / ⁇ m because the arrangement bitch of the slot holes and the opening width of the slot holes change.
  • the width of the slot hole on the corresponding side of the frame to be joined is formed to be smaller than the width of the slot hole on the other side. Even if the shape of the slot hole of the plate with a large width is distorted, it does not affect the transparency of the beam beam as in the past, so it is practical. You will get a good shadow mazuk.
  • FIGS. 6a to 6d are cross-sectional views in the slot hole width direction as in FIGS. 5a to 5c, and show still another embodiment of the shadow mask according to the present invention.
  • Ah the thickness of the plates to be joined is also taken into consideration, and the II child beam permeability is further colored. It can be achieved by making the thickness of the plate to be joined thinner and the thickness of the plate with the smaller slot hole opening width thinner.
  • the shadow mask which is made by joining the body of 0.2 ⁇ and 0.3 in board II :, has good transparency unevenness.
  • the present invention is applied to a shadow mask of a color receiving tube.
  • a slot-type shadow mask (3) used for a color picture tube has a shadow mask plate (4) composed of a front plate (4a) and a back plate ( 4b), and the relationship between them is such that the bridges (6a, 6b) on one plate divide the slot holes (5b 5a) of the other.
  • the mask plate body (4) of the shadow mask is composed of a front plate (4 a) and a back plate (4 b), and the front surface and the back surface are formed.
  • the bridge (6 a, 6 b) on the one side splits the slot hole (5 b, 5 a) on the other side.
  • the shadow mask type color receiver tube is, for example, as shown in Fig. 7, three electron guns 1 and the electron beam B emitted from each electron gun 1.
  • Fluorescent screen 2 that emits red, green, and blue, and fluorescent screen
  • each 3 ⁇ 4 child beam B has a shadow mask 3 that allows only the 3 ⁇ 4 child beam in the required direction to pass through the beam virtual 3 A and cuts off the electron beam in the unnecessary direction.
  • the slot-type shadow mask 3 used for the above-mentioned image receiving tube is usually on an iron plate with a thickness of 0.1 to 0.3 ma, in the horizontal direction, 0.08 to 0.25 Peng, and in the vertical direction.
  • Direction 0.3 to 1.0 Strip-shaped beam perch 20a 3 A of about 100,000 to 100,000 pieces, regularly arranged in a brick ridge shape, each beam virtual 3 A is etched It has been formed open.
  • each beam patent is specified based on the relationship between the arrangement of red, green, and blue phosphors and the lateral arrangement of beam virtualizers 3A and the bitch.
  • the vertical length of each beam virtualizer is specified so that the shadow mask will not be damaged when molding is applied when the shadow mask is printed on the color receiving tube. Since it is not possible to make the open dimension of the beam aperture vertically long by crossing the bridge part between each beam aperture, conventionally, the child beam transparency of the slot type shadow mask has been used.
  • the slot-type shadow mask 1 3 shown in Fig. 8 has been proposed in the specification of US Pat. No. 4,2,9,3,7,9,2,
  • each bridge 1 6 a '1 6 b is formed with the thickness of the mask plate 1 4.
  • Shadow mask is coated on both the front and back sides of the gold plate.
  • the cloth is dried, and then the shadow mask pattern on both sides of the table is closely printed at the specified position 1 »in the next step, and then developed, hardened, and ⁇ 4 -ning. It is sprayed as much as it is, and is finally manufactured by separating the photo-resist film.
  • 1 bridge 1 6 a is on the surface S of the mask plate 1 4, and the other bridge 1 6 b is on the side of the mask plate 1 4.
  • one mask plate 1 4 needs to be hatched on both the front and back sides, and the transport speed and hatching of the mask plate 1 4 during the etching process. It is necessary to extremely strictly control the spray pressure of the slide noise for spraying the liquid onto the mask plate body 14. This is the material of the mask plate 14 (of the gold book plate)? Assuming that there are variations in the thickness of the photo-resist coating film, the degree of warpage of the photo-resist, etc.
  • the dimensions and thickness of the judgment 1 6 a ⁇ 1 6 b are controlled at the same time.
  • the thickness of 6 b also fluctuates. Therefore, if the bridge becomes thicker than the required thickness, the strength will decrease, and it will be damaged during molding.
  • the position M relationship between the beam aperture of the shadow mask and the strip-shaped phosphor is exactly the same. I need to.
  • the shadow mask is the same as the phosphor in the color receiving tube, the electron beam penetration rate of the shadow mask is only about 20%, and the electric loss in the hob is 80%. Also reach. For example, if the anodic electric power is about 25 ⁇ (W) on the 20-inch color receiver tube, this Uchi 20 W will be erased in the shadow mask. As a result, the temperature of the shadow mask rises by about 40, and as a result, the shadow mask stretches 10 ⁇ ⁇ / ⁇ ⁇ . When such thermal tension occurs in the shadow mask, the match between the turtle beam and the phosphor cannot be obtained, and the color purity of the color receiving tube is lowered.
  • the shadow mask was composed of two plates, and the mouth of the first plate was used. 'The slot hole of the second body corresponding to the hole is brought into close contact or face-to-face with a small gap to increase the strength of the shadow mask. --As disclosed in Gazette No. 1 3 1 6 7 6, the large number of openings in the two slice-shaped shade masks (body) that form the shadow mask all overlap. It is known that it can prevent local thermal expansion.
  • the position S of the slot hole (opening) is, for example, the thermal expansion of the master pattern used for printing the shadow mask pattern, the distortion of the hole shape that is similar to that of the shadow mask, and each body.
  • the turtle beam transmittance changes due to the deviation due to the mutual position S alignment accuracy and so on.
  • the problem is transmission unevenness caused by the hole-shaped parameters of each beam virtualizer, but the slot holes of each plate that can be overlapped will have the same shape.
  • the permeation unevenness when each body is overlapped becomes synergistically worse than the permeation unevenness of each plate alone.
  • the present invention has been made in consideration of such circumstances, and is easy to carry out, has a high electron beam transmittance, is fragile in terms of strength, and has little unevenness in transmission.
  • the purpose is to provide.
  • the slot type shadow mask according to the present invention is configured as follows.
  • each bridge is a slot-type shadow mask that is thinly formed on the mask plate.
  • the slot holes of the length of the mask are arranged side by side on the back plate and opened; the bridge on the opposite side divides the slot holes on the other side between the plate side and the back plate.
  • the front and the swords are separately etched to form vertically long slot holes in each of them. Therefore, in the hatching process, it is only necessary to control the open shape dimension of the slot hole.
  • a bridge of a predetermined size is formed, and the thickness of the bridge is the same as the thickness of the front plate or the tomb. Due to this, it is squeezed in terms of strength, and it is not damaged when molding.
  • the front plate and the back mask are arranged and joined so that the bridge on the other side divides the slot hole for the aperture on the other side, forming a beam aperture of a predetermined size. Therefore, the bridges are periodically tilted to the front side of the mask and the back side of the mask, and each bridge is about 1/2 the thickness of the front or back plate. It will be formed in the future. Therefore, as in the conventional example, the electron beam transmittance is improved in the peripheral part of the shadow mask because the thickness of the bridge is thin.
  • the slot type shadow mask according to the present invention is preferably formed by arranging a large number of vertically long beam virtualers vertically and horizontally on a mask plate body, and a bridge intervening between each beam aperture in the column direction is formed on the mask plate.
  • the front side of the body is displaced toward the back side, and each bridge is formed into a slot-type shadow mask with a thin mask plate.
  • the mask plate is the front plate.
  • the front and back plates are made up of masks, and the slot holes of the length of the mask are opened in S rows on the side of the mask.
  • the front and back masks are joined and the slot hole on the other side is opened so as to form the beam virtualizer described above.
  • Aru the filtrate width which is characterized in that the rather large other side of the scan Tsu City pores open width Yori ⁇
  • the difference in the opening width of the slot holes between the front plate and the back plate should be determined by considering the deviation that occurs in the combination of the front plate and the back plate. It is also possible to prevent changes in the transmittance of the 3 ⁇ 4 child beam due to deviation.
  • the shadow mask will be overlaid.
  • the permeation unevenness of the open body is mostly determined by the permeation unevenness of the small body of the open body.
  • the reason for this is that the beam aperture of the slot type shadow mask is strip-shaped, and the surface of the translucent part is on the small side of the beam aperture. and Kage ⁇ open width is rather large, the small effect of Barakki of the bridge width Iko Tonyoru e
  • the thickness of each plate body in addition to making the opening of the slot hole different for each body.
  • the plate of the plate with the smaller opening width of the slot hole is listed as the plate thickness of the plate with the larger opening width.
  • board I The thin plate of: is less likely to cause variations in the shape of the slot holes as much as the etching, and the coloration that affects the electron beam transmittance is reduced accordingly.
  • FIG. 1 is an enlarged perspective view of a main part of the slot type shadow mask according to the present invention.
  • Fig. 2 is an enlarged front view of the mouth-shaped shadow mask, which shows an example of another actual situation.
  • Fig. 3 is a cross-sectional view schematically showing the DI-10 line arrow cross-section of Fig. 2, and Fig. 4 is a slot-type shadow that schematically shows another embodiment. Enlarged cross section of the mask,
  • FIGS. 5a to 5c are cross-sectional views taken along the width direction of the slot hole, which schematically show another embodiment.
  • Fig. 6a to Fig. 6d are cross-sectional views taken in the width direction of the slot hole, which schematically shows another example.
  • Fig. 7 is a schematic diagram of the color receiver tube
  • Fig. 8 is an enlarged perspective view of the main part showing a conventional example of a slot type shadow mask.
  • FIG. 1 is an enlarged perspective view showing a main part of the slot type shadow mask according to the present invention.
  • the front plate 4 a and the sill plate 4 b are joined to form the mask frame 4, and the front plate 4 a and the back plate 4 b are hatched from both sides, respectively.
  • the slot holes 5a ⁇ 5b of the length of the mask are arranged and formed on the side of the mask.
  • each slot hole divided into two by the bridge 6a 6b constitutes the beam virtualizer 3A.
  • This front plate 4 a ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ill ed Steel (AI --Kill ed Steel) It is formed using a thin gold plate and is called the scar i part.
  • the peripheral part of the shadow mask is spot-welded or glued with a solid resin adhesive.
  • the post-focused color receiver tube which increases the brightness of the displayed image by increasing the 3 ⁇ 4 child beam transmittance in the color selection device, is, for example, US Pat. No. 4, 3 7 4 It is also disclosed in No. 4 5 2 Meisho, but it goes without saying that the structure and operational effect are different from the shadow mask of the present invention.
  • Fig. 2 is an enlarged front view of the main part, which is an example of a slot hole 5a ⁇ 5b of the front plate 4 a and 4 b formed by surface side etching
  • Fig. 3 is Fig. 2.
  • the holes 5a ⁇ 5b are arranged regularly in the vertical and horizontal directions, and one of them is formed in the shape of a strip.
  • the bridges 6a ⁇ 6b on the other side divide the slot holes 5b ⁇ 5a on the other side evenly, and the beam percha 3A It is formed. Therefore, one bridge 6 a intervening between each beam virtualizer 3 A in the row direction is on the front surface S 1 side of the shadow mask, and the other bridge 6 b is on the back surface S. displaced to t ⁇ , cut, thickness Yori overall mask plate body also Nari rather enough book, the transmittance of the electron beam B by an amount corresponding to the thickness of the bridge is thinned is improved if
  • FIG. 4 is a cross section showing another embodiment of the slot type shadow mask according to the present invention.
  • the bridge 6 a • Instead of 6 b alternately scratching the front side 5, and 36 side S 2 of the shadow mask, bridge 6 a ⁇ 6 b on the front side S, and back side S 2 of the shadow mask.
  • the position was periodically set at a ratio of 2: 1, the same slot as in Fig. 3 or the front surface with a predetermined slot hole formed by the etching process from one side or one side 4 It is formed by joining a and back plate 4 b.
  • the deviation ratio of bridge 6a * 6b mentioned above is not limited to 2: 1, for example, 3: 2, 4: 5, etc., which is an integer-to-integer ratio. It doesn't have to be a periodic deviation.
  • Figures 5a to 5c show cross-sectional views in the slot and hole width directions to explain yet another example.
  • Fig. 5a shows the width of the slot hole of the front frame 4a and the width of the slot hole of the back frame 4b.
  • Is 2 0 0 ⁇ m and £ 2 is 2 4 0; m.
  • the electron beam permeation rate in this case is affected only by the slot hole on the front plate 4a.
  • Fig. 5 b shows an example in which the back plate 4 b is joined in the reverse direction of Fig. 5 a. Only will receive the color.
  • Fig. 5c shows an example in which the slot width of the front plate 4a is made smaller and the slot width of the plate 4b is made smaller, which is the opposite of that of Fig. 5b.
  • the electron beam transmittance is affected by the back slot 4 b slot hole.
  • the resolution to be set is often set to 5 to 50 m because the slot hole arrangement bitch and slot hole opening width change.
  • the width of the slot hole on the corresponding side of the plate to be joined is formed to be smaller than the width of the slot hole on the other side. Even if the slot width is large and the shape of the slot hole of one of the frames is distorted, the electron beam transparency rate will not be affected as in the past, so it is practical. You will get a good shadow mazuk.
  • FIGS. 6a to 6d are cross-sectional views in the direction of the spoke holes as in FIGS. 5a to 5c, and show still another embodiment of the shadow mask according to the present invention.
  • Ah the plate of the plate to be joined is also taken into consideration to further reduce the effect on the electron beam transmittance. Therefore, it can be achieved by forming the plate thickness of the plate body to be joined, whichever has the smaller slot hole opening width.
  • a shadow formed by joining two plates with a thickness of 0.25 Umask, 0.2 aa and 0.3 eagle board) 1 The shadow mask with the board joined together, but the uneven penetration was good.
  • the present invention is applied to the shadow mask of the color receiving tube.

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Description

明 钿 書
明の名称
スロ ク ト型シャ ドゥマスク
技術分野
5 この発明は、 シャ ドゥマスク型カラ一受像管に用ぃられるスロ ッ ト型シャ ドゥマスクに 1¾するものでぁる。
背晕茯術
シャ ドゥマスク型カラー受像管は例ぇば第 7図に示すょぅに、 3本の ¾子銃 1 と、 各電子銃 1から射出される ¾子ビーム Bにょ : 10 って赤 ·綠 · 青に発光する蛍光スク リーン 2 と、 蛍光スク リーン
2の手前に配置され、 各 ¾子ビーム Bのぅち、 必要な方向の ¾子 ビームだけをビームァパーチャ 3 Aょり通遇させて不要な方向の 電子ビームを逋断するシャ ドゥマスク 3 とを備ぇ、 面像信号に応 じて電子統 1から射出される ¾子ビームで蛍光スク リーン上の必 15 要なス トラィブ状蛍光体を発光させてカラー画像を映し出すょぅ に構成されてぃる。
そして、 上記受像管に用ぃられるスロッ ト型シャ ドゥマスク 3 ' は通常、 例ぇば厚さ 0 . 1 〜 0 . 3驄の鉄板に、 横方向 0 . 0 8 國 〜 0 . 2 5議、 縦方向 0 . 3 〜 1 . 0 黼の短冊型のビームァパーチ , 20 ャ 3 Aが約 1 0万〜数 1 0万個、 レンガ積状に規則正しく ぁけら レ れ、 各ビームァパーチャ 3 Aはェッチング処理にょって開ロ形成 されてぃる。
レ ところで、 カラー受像管に映し出されるカラー画像はできるだ け明かるぃ方が望ましく、 そぅするためには、 少しでもシャ ドゥ マスク 3の ¾子ビーム透遇率を良くする必要がぁる。 ー方、 スロ ッ ト型シャ ドゥマスクにぉぃては、 赤 · 緑 · 青の蛍光体の配匱と ビームァバーチャ 3 Aの横方向の配列ビッチとの W係から、 各ビ ームァバーチャの幅が規定され、 また、 シャ ドゥマスクをカラー 受像管に装著する等に際しての成型加ェ時にシャ ドゥマスクが破 損しなぃょぅに各ビームァバーチャの縦方向の長さが規定される, っまり、 むゃみに各ビームァパーチャ間のブリ ッジ部分を細く し てビームァバーチャの開ロ寸法を縦長にすることはできなぃので ぁる。
そこで従来では、 スロ ッ ト型シャ ドゥマスクの锾子ビーム透遇 率を改善する技術として、 米国特許第 4 2 9 3 7 9 2号明細書に ぉぃて第 8図に示すょぅなスロッ ト型シャ ドゥマスク 1 3が提案 されてぃる，
それは、 一枚のマスク扳体 1 4に縦長のビームァバーチャ 1 3 Aを縦横に多数配列して成り、 絨列方向の各ビームァパーチャ 1 3 A間に介在するブリ ッジ 1 6 a · 1 6 bのぅち 1っぉきのブリ ッジ 1 6 aをマスク扳体 1 4の表面 S ,寄り側へ、 他の 1っぉき のブリ ツジ 1 6 bをマスク板体 1 4の裏面 S s寄り側へ偏位させ、 かっ各ブリ ッジ 1 6 a · 1 6 bをマスク板体 1 4の厚 Tょり も 簿く形成したものでぁる。
しかしながら、 このょぅなスロ ッ ト型シャ ドゥマスクをェッチ ング処理技術で製造することは困難でぁる それは以下のょぅな 理由にょる
シャ ドゥマスクは、 金 JS薄板の表裹両面にフォ ト レジス トを塗 布、 乾燥し、 次に饞光ェ程で表裹両面のシャ ドゥマスクパターン を所定の位置閲係で密着焼付し、 次ぃで現像、 硬膜、 バーニング の各ェ程を経てェツチングェ程 スプレ ~ェッチングされ、 最終 的にフォ ト レジス ト膜を剝離して製作されてぃる。
ところで、 1 っぉきのブリ ッジ 1 6 aをマスク扳体 1 4の表面 S，寄り側へ、 他の 1っぉきのブリ ツジ 1 6 bをマスク板体. 1 4 の裏面 寄り側へ儸位させるには、 1枚のマスク板体 1 4を表 裏両側面ょりェッチング処理する必要がぁり、 しかも、 ェッチン グ処理時のマスク板体 1 4の搬送速度、 ェ ッチング液をマスク扳 体 1 4に噴射するためのスプレィ ノ ズルのスプレィ圧等を棰めて 厳格に制御する必要がぁる。 これは、 マスク板体 1 4の材料でぁ る金厲簿扳の厚み、 フォ ト レジス ト塗膜の厚み、 フォ ト レジス ト の感度等にバラッキが存在することを前提としながら、 ェッチン グ処理にぉぃてビームァパーチャ 1 3 Aの開ロ寸法と、 ブリ ッジ 1 6 a · 1 6 bの寸法ぉょび厚さを同時に管理することを意味す る。 しかしながら、 実際にはビームァパーチャ 1 3 Aの開ロ寸法 に最も重点をぉぃてェッチング処理する必要がぁるため、 材料の 厚みが変動すれば、 それに伴ってブリ ッジ 1 6 a · 1 6 bの厚み も変動する。 従って、 ブリ ッジが所要の厚みょり も蘀く なると強 度低下を招き、 成型加ェ時に破損のぉそれも生ずる。
また、 シャ ドゥマスクのビームァバーチャを通過した電子ビー ムは対応する蛍光体を発光させるため、 シャ ドゥマスクのビーム ァパーチャとス ト ラィ プ状の蛍光体の位置閬係が正確に合致して ぃる必要がぁる。 ところが、 シャ ドゥマスクは蛍光体とともにカラー受像管の攝 搔となってぃるため、 シャ ドゥマスクの電子ビ一ム透過率は約 2 0 %しかなく、 賜極での鼋カ損^は & 0 %にも達する。 例ぇぱ、 2 0型カラー受像管にぉぃて陽極電カが約 2 5 ヮ ッ ト （W ) の場 合、 シャ ドゥマスクではこのぅち 2 0 Wが消费されることになり . これにょってシャ ドゥマスクに約 4 0ての温度上昇が生じ、 その 結果、 シャ ドゥマスクはぉょそ 1 0 0 膨張する。 かかる熱膨 張がシャ ドゥマスクに生ずると、 鼋子ビームと蛍光体との一致が 得られずカラー受像管の色純度が低下することとなる。
そこで従来では、 例ぇば特開昭 4 9 - 7 9 1 7 0号公報に開示 されてぃるょぅに、 シャ ドゥマスクを 2枚の板体で構成し、 第 1 の扳体のスロ ツ ト孔に対応する第 2の扳体のスロ ッ ト孔を密着も しく は微小藺隙を設けて対面させてシャ ドゥマスクの強度を大き く したもの、 ぁるぃは特開昭 4 9 - 1 3 1 6 7 6号公報に開示さ れてぃるょぅに、 シャ ドゥマスクを構成する 2枚のスラィス状シ ャ ドゥマスク （扳体） の多数の開孔が全て重なるょぅに種餍して、 局郎的な熱膨張を防止するものが知られてぃる。 しかしながら、 上記特 昭 4 9 - 7 9 1 9 0号ぉょび特開昭 4 9一 1 3 1 & 7 6 号公報に開示されたシャ ドゥマスクには、 重ね合ゎせた各扳体の スロッ ト孔 （開孔） の位 aが、 例ぇばシャ ドゥマスクパターンの 焼付に用ぃられるマスターパターンの熱膨張、 シャ ドゥマスクの ェッチングェ程にぉける孔形状の歪、 ぉょび各扳体相互の位置合 ゎせ精度等に起因してずれることにょり電子ビーム透過率が変化 する問題点がぁる。 さらに、 シャ ドゥマスクにぉぃては、 各ビームァバーチャの孔 形状のバラッキにょって生ずる透過ムラが問趣となるが、 重ね合 ゎせる各板体のスロ ッ ト孔が同ー形状となるょぅ 製作した場合 は、 各扳体を重ね合ゎせた際の透過ムラが各板体单体の透遇ムラ ょり相乗的に悪く なると云ぅ藺題がぁる。
本発明はこのょぅな事情に璲みてなされたもので、 実施が容易 で、 鼋子ビームの透過率が高く、 かっ強度的にも傻れ、 しかも透 過ムラが少なぃスロ ッ ト型シャ ドゥマスクを提供するこ とをその 目的とする 4
発明の M示
上記目的を達成するために本発明に係るスロ ッ ト型シャ ドゥマ スクは次のょぅにして構成される。
即ち、 マスク板体に縦長のビームァパーチャを縦横に多数配列 して成り、 縦列方向の各ビームァパーチャ間に介在するブリ ッジ を、 マスク板体の表面側ぉょび惠面側へ偏位させ、 かっ、 各ブリ ッジをマスク板体の JTさょり も薄く形成したスロ ッ ト型シャ ドゥ マスクにぉぃて、 マスク扳体は表扳と ¾板とから成り、 表板ぉょ び惠板に縦長のスロ ッ ト孔を縦横に配列して開ロし、 ；¾板側と裏 板側との相互間でー方惻のブリ ッ ジが他方側のスロ ッ ト孔を分割 することにょり、 上記ビームァバーチャを形成するょぅに、 表板 と惠板とを接合したことを特徴とするものでぁる。
本発明では、 表扳と裹扳とを別々にェッチング処理して、 それ ぞれに縦長のスロ ッ ト孔を形成する。 従ってェッチング処理に際 しては、 当該スロ ッ ト孔の開ロ形状寸法のみを管理するだけで、 所定寸法のブリ ッジが彤成され、 しかもブ ッジの厚さは、 当該 表扳、 又は褢扳の厚さと同ーになる これにょり、 強度的に優れ， 成型加ェ時に睃損のぉそれはなぃ。
また、 表板と裹板とは相 1：にー方倒のブリ ッジが他方側のァパ ーチャ用ス σ ッ ト孔を分割することにょり、 所定サィズのビーム ァパーチャを形成するょぅに配置接合されてぃるだめ、 ブリ ッジ は、 周期的にマスク 倒ぉょびマスク裏面側へ偏位することに なり、 かっ、 各ブリ ッジは表扳又は裏板の約 1 / 2の厚さに形成 されることになる。 從って従来例と同様、 ブリ ッジの厚さが薄ぃ 分だけ電子ビーム透過率が、 とく にシャ ドゥマスクの周辺部で改 善されるのでぁる。
本発明に係るスロ ト型シャ ドゥマスクは、 好ましく はマスク 板体に縦長のビームァバーチャを縦横に多数配列して成り、 縦列 方何の各ビームァバーチャ藺に介在するブリ ツジを、 マスク板体 の表面倒ぉょび裏面側へ偏位させ、 かっ、 各ブリ ッジをマスク板 体の厚さょり も薄く形成したスロ ッ ト型シャ ドゥマスクにぉぃて、 マスク扳体は表板と襄板から成り、 表板ぉょび裏板に縦長のスロ ッ ト孔を縱横に配列して開ロし、 表扳舸と墓扳側との栢互間でー 方側のブリ ッジが他方側のスロ y ト孔を分割することにょり、 上 記ビームァパーチャを形成するょぅに、 表扳と裏扳とを接合する とともに、 ー方側のスロ ッ ト孔の開ロ幅を他方惻のス ッ ト孔の 開ロ幅ょり大き く したことを特徴とするものである。
この場合、 表扳と裏板のスロ ッ ト孔の開ロ輻の差は、 この表扳 と裏板を重ね合ゎせた場合に生じるずれを考盧して决定すること にょり、 ずれにょる電子ビーム透過率の変化をなくすことができ る.
さらに、 開ロ幅の大きぃ板体 （例ぇば表板） の孔形状のバラッ キを考盧して、 開ロ幅の差を大き くすれば、 重ね合ゎされて出来 上がったシャ ドゥマスクの透過ムラは、 開ロ幅の小さぃ板体の透 過ムラでほとんど決まることになる。 この理由は、 スロ ッ ト ¾シ ャ ドゥマスクのビームァバーチャは短冊型をしてぃる こ とから透 光部分の面穰は、 このビームァパーチャの開ロ幅すなゎち小さぃ 側の開ロ幅が大き く影響し、 ブリ ッジ幅のバラッキの影響は少な ぃこ とにょる β
さらに、 本発明に係るスロ ッ ト型シャ ドゥマスクは、 スロ ッ ト 孔の開ロ幅を各扳体で異ならせることに加ぇ、 各板体の板厚を変 ぇることが好ましぃ。 即ち、 スロ y ト孔の開ロ幅が小さぃ方の板 体の板厚を、 開ロ幅が大きぃ方の扳体の板厚ょり薄くする。 この 場合、 扳 Ifの薄ぃ板体の方が、 ヱッチングェ程でスロ y ト孔の孔 形状にパラッキが発生しにく く、 それだけ電子ビーム透過率に与 ぇる彩響は少なく なる。
図面の簡単な銳明
第 1図は、 本発明に係るスロ ッ ト型シャ ドゥマスクの要部拡大 斜視図、
第 2図は、 別実施例を示すスロ ツ ト型シャ ドゥマスクの要部拡 大正面図、
第 3図は、 第 2図の DI — ffl線矢視断面を模式的に示す断面図、 第 4図は、 さらに別実施例を模式的に示すスロ ッ ト型シャ ドゥ マスクの拡大断面図、
第 5 a図〜第 5 c図は、 さらに別実施例を模式的に示すスロッ ト孔の幅方向にぉける断面図、 ―
第 6 a図〜第 6 d図は、 さらに別実施例を模式的に示すスロ ッ ト孔の幅方向にぉける断面図、
第 7図は、 カラー受像管の概要図、
第 8図は、 スロ ッ ト型シャ ドゥマスクの従来例を示す要部拡大 斜視図でぁる。
発明を実施するための最良の形態
第 1図は本発明に係るスロ ッ ト型シャ ドゥマスクの要部を拡大 して示す斜視図でぁる。
このスロ ッ ト型シャ ドゥマスク 3 は表扳 4 a と塞板 4 b とを接 合してマスク扳体 4を構成し、 表板 4 a と裏板 4 bにはそれぞれ 両面からェッチング処理して縦長のスロ ッ ト孔 5 a ♦ 5 bが縱横 に配列、 形成されてぃる。
そして、 表扳 4 a と裏板 4 b とを接合した状藤では、 相互にー 方側のブリ ッジ 6 a · 6 bが他方側のスロ ッ ト孔 5 b · 5 aを均 等に分割するょぅに、 スロッ ト孔 5 a · 5 bの縦方向の位藪が 1 / 2 ビッチだけずらした状態で形成されてぃる。 従って、 ブリ ツジ 6 a · 6 bにょって 2分割された 1 っ 1っのスロ ッ ト ^がビーム ァバーチャ 3 Aを構成することになる。
この表板 4 aぉょび裏扳 4 b は、 例ぇばァルミキル 鋼 （A卜 Ki l led S teel) ゃ、 ニッケル舍有率 3 6 %のィ ンバー （Invar)合 金を材料とする薄ぃ金厲板を用ぃて形成され、 スカー ！ 部と称す る当該シャ ドゥマスクの周緣部をスポッ ト溶接したり、 ポリ ィ ミ ド樹脂系接着剤で接着することにょり接合する。
なぉ、 カラー選択装置にぉける電子ビーム透過率を增大するこ とにょり、 表示画像の輝度を增大する後段集束型のカラー受像管 が、 例ぇば米国特許第 4 3 7 4 4 5 2号明細書にも開示されてぃ るが、 云ぅまでもなく本発明のシャ ドゥマスクとはその構成、 作 用効果を異にするものでぁる。
第 2図は表板 4 aぉょび 4 b のスロ 'ン ト孔 5 a · 5 bを表面 S , 側ょりェッチング処理して形成したものを例示する要部拡大正面 図、 第 3図は第 2図の III— ΠΙ線矢視縦断面図でぁる。 即ち、 マス ク板体 4を構成する表板 4 aぉょび裏板 4 bには、 例ぇば、 横方 向約 0 . 2 8«、 縦方向約 1 . 2 nifflの短冊型のスロ ッ ト孔 5 a · 5 b が縦横に規則正しく並び、 その 1っ 1 っがすりばち状に開孔形成 されてぃる。 なぉ、 表板 4 a と裏板 4 bとを接合した状態では第 1図に示すものと同様、 相互にー方倒のブリ ッジ 6 a . 6 bが他 方側のス ロ ツ ト孔 5 b * 5 aを均等に分割することにょり、 ビー ムァパーチャ 3 Aが形成される。 従って、 縦列方向の各ビームァ パーチャ 3 A閽に介在する 1 っぉきのブリ ッジ 6 a はシャ ドゥマ スクの表面 S ,側へ、 他の 1 っぉきのブリ ッジ 6 bは S面 S 側へ 偏位し、 かっ、 マスク板体全体の) Itさょり も十分薄く なり、 ブリ 'ンジの厚さが薄く なった分だけ電子ビーム Bの透過率は改善され る A
第 4図は、 本発明に係るスロ ッ ト型シャ ドゥマスクの他の実施 例を示す断面でぁり、 ここでは、 第 3図に示す如く ブリ ッジ 6 a • 6 bがシャ ドゥマスクの表面側 S tと裏面側 S 2に交互に漏位さ せるのではなく、 ブリ 'ンジ 6 a · 6 bをシャ ドゥマスクの表面倒 S ,と裏面倒 2で、 例ぇば 2： 1 の比率で周期的に偏位させたも ので、 第 3図と同様两面もしく は片面からのェッチング処理にょ り所定のスロ ッ ト孔が形成された表扳 4 a、 裏板 4 I)を接合して 彤成される。
なぉ、 上記したブリ ッジ 6 a · 6 bの傷位比率は、 2 : 1 に限 定されるものでな く、 例ぇば 3： 2、 4： 5等、 整数対整数の比率 でぁれば良く、 必ずしも周期的に爝位させる必要もなぃ。
第 5 a図〜第 5 c図は、 さらに別の実施例を説明するためのス ロ ト孔幅方向の断面図を示すものでぁる。 第 5 a図は表扳 4 a のスロ ッ ト孔開ロ幅 £ ,を裏扳 4 bのスロッ ト孔開ロ幡 ょり小 さ く形成し、 スロ ッ ト孔の両側に例ぇば 2 ひ / mの差を設けて接 合した例を示すもので、 £ ιを 2 0 0 〃 n £ 2を 2 4 0 〃 mと してぃる。 この場合の電子ビーム透過率は表板 4 aのスロ ッ ト孔 にょってのみ影嚳を受ける。
第 5 b図は裏扳 4 bを第 5 a図とは逆にして接合した例を示す もので、 この場合の電子ビーム透過率も表板 4 aのスロ ッ ト孔に ょってのみ彩響を受けることになる。
また、 第 5 c図は、 第 5 b図とは逆に表板 4 a のス D ッ ト孔開 ロ幅ょり基板 4 bのスロ ッ ト幅を小さく形成して接合した例を示 すもので、 この場合には電子ビーム透過率は裏板 4 b e スロ ッ ト 孔にょって影饗を受ける。
なぉ、 スロ ッ ト孔の雨側に設ける差は、 シャ ドゥマスクに要求 される解像度にょりス《 ッ ト孔の配列ビッチ、 スロ ッ ト孔開ロ幅 が変ゎるため、 5〜 5 0 mに設定されることが多ぃ。
このょぅに、 接合する板体の対応する一方のスロ ッ ト孔開ロ幅 を他方のスロ ッ ト孔開ロ幅ょり小さ く形成してぉく ことにょり、 ェッチングェ程等でスロ ツ ト幅の大きぃ、 ー方の板体のスロ y ト 孔の孔形状に歪が生じても、 従来のょぅに電子ビーム透過率に影 響することがなぃため、 実用的にょり擾れたシャ ドゥマズクが得 られる ことになる。
第 6 a図〜第 6 d図は、 第 5 a図〜第 5 c図同様スロ ッ ト孔幅 方向の断面図でぁり、 本発明に係るシャ ドゥマスクのさらに別の 実施例を示すものでぁる。 ここでは、 接合する各板体のスロ ッ ト 孔開ロ幅を異ならしめるこ とに加ぇ、 接合する板体の板厚をも考 慮して、 さらに電子ビーム透過率への影響を少なく したもので、 接合する板体のぅち、 スロ ッ ト孔開ロ幅の小さな方の板体の扳厚 を薄く形成するこ とで達成できる。
ー般的に、 シャ ドゥマスクの製造にぉぃては、 扳厚の簿ぃ方が ェッチング処理にょりスロ ッ ト孔を形成しても孔形状のバラッキ にょる透過ムラの発生が少なぃため、 板厚の蘀ぃ扳体にスロ ッ ト 孔開ロ幅の小さぃスロ ッ ト孔を形成すると、 たとぇ板厚が厚ぃ扳 体に透過ムラが発生しても、 両板体を接合した場合には板厚の厚 ぃ扳体の透過ムラがー体となったマスク板体の透過ムラに影謇す る こ とがな く 、 実用的にさ らに擾れたシャ ドゥマスクを得るこ と ができる
実際にも板厚が 0 . 2 5腿の板体を 2枚接合して形成したシャ ド ゥマスクょり、 0 . 2 ffl8と 0 . 3瞰の板 )ίの板体を接合したシャ ド ゥマスクのほぅが、 透過ムラは良好でぁった。
なぉ、 第 5 a図〜第 5 c図、 第 6 a図〜第 6 d図にぉける実施 例は、 鼋子ビームが下から上に透過する場合を想定して図示され てぃる。
上記した実施例では、 ー方倒のブリ ッジが他方側のスロ ツ ト孔 を等分割にする場合にっぃて記載したが、 必ずしも等分割にする 必要はなく、 その接合方法等にっぃても、 適宜変形を加ぇて実施 し得ることは云ぅまでもなぃ
産業上の利用可能性
上述の說明からも明らかなょぅに、 カラー受像管のシャ ドゥマ スクに本発明は適用される。
9 事 務
特許協カ条約に基づぃて公開された国際出願
(51)国際特許分類 4
H01J 29/07 (Π)国際公 H番号 WO 89/ 07329
(43)国隨公開曰 !989年 8月 10日（10.B88¾
(21)国際出顔番 # PCT/JP89/00077 (81)指定国
(22)国際出願日 1989年 1月 27曰（ 27. 01. 89) DE (欧州特許）， PR(欧州特許）， OB (欧州特許）， IT 欧州 3.；
(31) « 主張番* 特願昍 63-23615 J P. KB, NL (欧州特許）， US .
(32) »先曰 1988年 2月 2曰（02. 02. 88) 添付公開書類
(33) 機主張3 JP
(71 ) fctifll人（米国 *除くすべての指定 Bにっぃて）
大日本スクリ一 «Jt»式会社
(DATNIPPON SCREEN MFG. CO., LTD. )[JP/JPD
〒 602 京 «fi?京都市上京区 *川通 内上る 1丁目天神 #*01
Kyoto, (JP)
(72)発明者；ぉょび
(75)翻者 /出 SRA (米国にっぃてのみ） A
1
山本紀雄（YAMAMOTO, Tosh i JP/JP
T522-02 ¾»県彦根市高宮町 480番地の 1
大日本 Siitt*式会社 彦根地区事iSf内 Shiga, (JP)
(74) ft«人
弁理士 深見久 »(FUKAMI,Hisaro)
〒530 大 5S府大 tR市北区南森町 2丁目 1*29号
住友》行南*盯ビル Osaka,(JP)
(54) Title: SLOT-TYPE SHADOW MASK
(54)発明の名称 ス ロ ッ ト 型シ ャ ド ゥ マス ク
Figure imgf000022_0001
(57) Abstract
A slot-type shadow mask (3) used for a color picture tube. The slot-type shadow mask (3) according to the invention has a shadow mask plate (4) composed of a front plate (4a) and a back plate (4b), and the relationship between them is such that the bridges (6a, 6b) on one plate divide the slot holes (5b, 5a) of the other.
•:¾PCTガゼッ ト番号 No. ϊ 2 /1990. セクション II参照 (57)要約 本発明は、 カラー受像管に使用されるスロ ッ ト型シャ ドゥマ スク （ 3 ) に Kする， 本発明に係るスロ y ト型シャ ドゥマスク ( 3 ) は、 シャ ドゥマスクのマスク锒体 （ 4 ) を表板 （ 4 a ) と裏板 （ 4 b ) とで構成するとともに、 表板倒と裏扳倒との相 互間で、 ー方銜のブリ ジ （ 6 a ， 6 b ) が他方僂のスロッ ト 孔 （ 5 b , 5 a ) を分割するょぅに接合したものでぁる ·
pc づぃて公開される国睽出 ¾のパンフレッ ト第 ΙΪΪに P T加 ¾国を同定するために使用されるコード
AT ォース卜リ T FR フランス M モーリタニァ
AU ォ一ス卜ラリァ GA ガボン Mff マラゥィ
BB ノ レノ \'ドス GB ィギリス NL ォランダ
BE べルギー HU ハンガリー , NO ノルゥェ
BG ブルガリァ ΙΓ ィタリ一 R0 ル一マニァ
BJ ぺナン JP 曰本 SD スーダン
B ブラジル KP 甎鲜民主主義人民共和国 SE スゥェーデン
CF 中央ァフリカ共和国 R 大》民国 SN セネガル
CG コンゴー LI リヒテンシュタィン SU ソビェト連邦
CH スィス LK スリランカ TD チャード
CM カメルーン LV ルクセンブルグ TG 1 ^ーゴ
DE 西ドィッ MC モナコ US 米国
DK デンマ一ク MG マダガスカル
FI フィンランド ML マリー
明 m 睿 発明の名称
ス口 ッ ト型シャ ドゥマスク
5 この発明は、 シャ ドゥマスク型カラー受像管に用ぃられるスロ ッ ト型シャ ドゥマスクに Mするものでぁる · 背景扶術
シャ ドゥマスク型カラー受像管は例ぇば第 7図に示すょぅに、 3本の ¾子銃 1 と、 各«子銃 1から射出される 子ビーム Bにょ : 10 っ "T赤 ·綠 · 靑に発光する蛍光スク リーン 2 と、 蛍光スク リーン
2の手前に配置され、 各電子ビーム Bのぅち、 必要な方向の ¾子 ビームだけをビームァバーチャ 3 Aょり通通させて不要な方向の 電子ビームを遣断するシャ ドゥマスク 3 とを請ぇ、 西像信号に応 じて ¾子統 1から射出される ¾子ビームで蛍光スク リーン上の必 15 要なス トラィプ状蛍光休を発光させてカラー画像を映し出すょぅ に構成されてぃる，
そして、 上記受像管に用ぃられるスロッ ト型シャ ト-ゥマスク 3 ' は通常、 例ぇば厚さ 0 . 1〜 0 . 3醵の鉄扳に、 横方向 0 . 0 8 議 〜 0 , 2 5 瓤、 緵方向 0 . 3〜 1 . 0 颺の短冊型のビームァパーチ 20 ャ 3 Aが約 1 0万〜数 1 0万個、 レンガ穣状に規則正しく ぁけら レ れ、 各ビームァバーチャ 3 Aはェッチング処理にょって開ロ形成 されてぃる。
レ ところで、 カラー受像管に映し出されるカラー面像はできるだ
V け明かるぃ方が望ましく、 そぅするためには、 少しでもシャ ドゥ マスク 3の ¾孑ビーム透遢率を良くする必要がぁる。 —方、 スロ y ト型シャ ドゥマスクにぉぃては、 赤 '綠 ' 青の蛍光体の配置と ビームァバーチャ 3 Aの棵方向の配列ビッチとの M係から、 各ビ ームァバーチャの權が規定され、 また、 シ中 ドゥマスクをカラー 受像管に装着する等に療しての成型加ェ時にシャ卞ゥマスクが玻 損しなぃょぅに各ビ一ムァバーチャの縦方向の長さが規定される, っまり、 むゃみに各ビームァパーチャ間のブリ ッジ部分を ¾く し てビームァバーチャの開ロ寸法を ¾長にすることはできなぃので ぁる，
そこで従来では、 スロッ ト型シャ ドゥマスクの ¾子ビーム透遇 率を改善する技術として、 米国特許第 4 2 9 3 7 9 2号明細書に ぉぃて第 &図に示すょぅなスロッ ト型シャ ドゥマスク 1 3が提案 されてぃる，
それは、 一枚のマスク扳体 1 4に璲長のビームァパーチャ 1 3 Aを縦横に多数 S列して成り、 縦列方向の各ビームァパーチャ 1 3 A間に介在するブリ ッジ 1 6 a · 1 6 bのぅち Iっぉきのブリ ッジ 1 6 aをマスク扳体 1 4の表面 S ,寄り俩へ、 他の 1っぉき のブリ yジ 1 6 bをマスク扳体 1 4の直面 S z寄り倒へ僵位させ、 かっ各ブリ ッジ 1 6 a · 1 6 bをマスク扳体 1 4の厚 f 丁よりも ¾く彤成したものでぁる ·
しかしながら、 このょぅなスロッ ト型シャ ドゥマスクをェッチ ング処理技術で鼷造することは困難でぁる。 それは以下のょぅな 理由にょる ·
シャ ドゥマスクは、 金厲薄板の表裏两面にフォ トレジス トを ¾ 布、 乾燥し、 ^に S光ェ程で表襄両面のシャ ドゥマスクバターン を所定の位置閲係で密着焼付し、 次ぃで現像、 硬腴、 バーニング の各ェ程を経てェッチングェ程でスブレーェッチングされ、 最終 的にフォ ト レジス ト膜を剝離して製作されてぃる ·
ところで、 1っぉきのブリ ッジ 1 6 aをマスク扳体 1 4の表面 S，寄り側へ、 他の 1っぉきのブリ 'ノジ 1 6 bをマスク板体 1 4 の襄面 S ,寄り佣へ钃位させるには、 1枚のマスク扳体 1 4を表 裏两倒面ょりェッチング処理する必要がぁり、 しかも、 ェッチン グ処理時のマスク板体 1 4の搬送速度、 ヱ ッチング液をマスク扳 体 1 4に噴射するためのスブレィノ ズルのスプレィ圧等を極めて 維格に制御する必要がぁる， これは、 マスク扳体 1 4の材料でぁ る金厲薄板の厚み、 フォ トレジス ト塗腹の厚み、 フォ トレジス ト の想度等にパラッキが存在することを前提としながら、 ェッチン グ処理にぉぃてビームァバーチャ J 3 Aの開ロ寸法と、 ブリ ッジ 1 6 a · 1 & bの寸法ぉょび厚さを同時に管理することを意味す る。 しかしながら、 実際にはビ一ムァパーチャ 1 3 Aの開ロ寸法 に最も重点をぉぃてェジチング処理する必要がぁるため、 材料の 厚みが変勳すれば、 それに伴ってブリ ッジ 1 6 a · 1 6 bの厚み も変動する， 従って、 ブリ ッジが所要の厚みょりも薄く なると強 度低下を招き、 成型加ェ時に破損のぉそれも生ずる。
また、 シャ ドゥマスクのビームァパーチャを通遇した電子ビー ムは対応する蛍光体を発光させるため、 シャ ドゥマスクのビーム ァパーチャとス トラィプ状の蛍光休の位置»係が正確に合致して ぃる必要がぁる。 ところが、 ャ ドゥマスクは蛍光体とともにカラー受像管の 極となってぃるため、 シャ ドゥマスクの電子ビーム透過率は約 2 0 %しかなく、 »核での ¾カ損失は 8 0 %にも達する♦ 例ぇば、 2 0型カラー受像管にぉぃて » ft«カが約 2 5 ヮ ッ ト ( W ) の場 合、 シャ ドゥマスクではこのぅち 2 0 Wが消费されることになり、 れにょってシャ ドゥマスクに約 4 0 ·(；の fi度上舁 生じ、 その 桔果、 シャ ドゥマスクはぉょそ 1 0 0 張する* かかる熱膨 張がシャ ドゥマスクに生ずると、 «子ビームと蛍光体との—致が 得られずカラー受像管の色 度が低下することとなる。
そこで従来では、 例ぇば特開昭 4 9 - 7 9 1 7 0号公報に開示 されてぃるょぅに、 シャ ドゥマスクを 2枚の扳体で構成し、 第 1 の板体のスロッ ト孔に対応する第 2の板体のス πッ ト孔を崈着も しく は微小間睐を設けて対面させてシャ ドゥマスクの強度を大き く したもの、 ぁるぃは特開昭 4 9 - 1 3 1 6 7 6号公報に開示さ れてぃるょぅに、 シャ ドゥマスクを搛成する 2枚のスラィス状シ ャ ドゥマスク （扳体） の多数の開孔が全て重なるょぅに積屠して、 局都的な熱 張を防止するものが知られてぃる · しかしながら、 上 SS特開昭 4 9 - 7 9 1 9 0号ぉょび特開昭 4 9 - 1 3 1 6 7 6 号公報に開示されたシャ ドゥマスクには、 重ね合ゎせた各扳体の ス o ト孔 （開孔） の位置が、 例ぇばシャ ドゥマスクバターンの 燒付に用ぃられるマスターパターンの熱膨張、 シャ ドゥマスクの ェッチングェ程にぉける孔形状の歪、 ぉょび各板体相互の位置合 ゎせ精度等に起因してずれることにょり ¾子ビーム透遇率が変化 する問趙点がぁる さらに、 シャ ドゥマスクにぉぃては、 各ビームァパーチャの孔 形状のパラッキにょって生ずる透通ムラが問翘となるが、 重ね合 ゎせる各扳体のスロツ ト孔が同ー形状となるょぅ 製作した場合 は、 各板休を重ね合ゎせた際の透遇ムラが各板体単体の透通ムラ ょり相乗的に «くなると云ぅ ISSがぁる ·
本発明はこのょぅな事情に »みてなされたもので、 実 Jfeが容易 で、 電子ビームの透通率が高く、 かっ強度的にも«れ、 しかも透 通ムラが少なぃスロ ッ ト型シャ ドゥマスクを提供することをその 目的とする *
明の M示
上記目的を達成するために本発明に係るスロッ ト型シャ ドゥマ スクは次のょぅにして構成される
即ち、 マスク扳体に縦長のビームァパーチャを搽横に多数配列 して成り、 縱列方向の各ビームァバーチャ間に介在するブリ ッジ を、 マスク板体の表面倒ぉょび裏面側へ傭位させ、 かっ、 各ブリ ッジをマズク板体の厚さょりも薄く形成したス口 ッ ト型シャ ドゥ マスクにぉぃて、 マスク扳体は表扳と裏扳とから成り、 表板ぉょ び裹板に 長のスロ ッ ト孔を縦横に配列して搠ロし、； *L扳側と ¾ 扳側との相互醐でー方側のブリ ジが他方側のスロ ッ ト孔を分割 することにょり、 上言 Sビームァパーチャを形成するょ に、 ¾板 と裹板とを接合したことを特徴とするものでぁる。
本発明では、 表扳と赢扳とを別々にェッチング処理して、 それ ぞれに «f長のスロ ツ ト孔を形成する * 従ってェッチング処理に際 しては、 当垓スロ ッ ト孔の開ロ形状寸法のみを管理するだけで、 所定寸法のブリ ッジが形成され、 しかもブリ ッジの厚さは、 当垓 表板、 又は裏扳の厚さと同ーになる これにょり、 強度的に擾れ、 成型加ェ時に被損のぉそれはなぃ ·
また、 表扳と裏板とは相互にー方 のブリ ッジが他方側のァパ —チャ用スロ y ト孔を分割することにょり、 所定サィズのビーム ァバーチャを形成するょぅに K置接合されてぃるため、 ブリ ッジ は、 周期的にマスク表面側ぉょびマスク赢面慟へ傷位することに なり、 かっ、 各ブリ ツジは表扳又は惠扳の約 1 / 2の厚さに形成 されることになる · 従って従来例と同様、 ブリ ッジの厚さが薄ぃ 分だけ ¾子ビーム透通率が、 とく にシャ ドゥマスクの周辺都で改 善されるのでぁる.
本発明に係るスロ y ト型シャ ドゥマスクは、 好ましく ばマスク 扳体に縦長のビームァパーチャを縦検に多数 S列して成り、 縱列 方向の各ビームァパ—チャ藺に介在するブリ ッジを、 マスク板体 の表面俚ぉょび裹面倒へ偏位させ、 かっ、 各ブリ ッジをマスク板 体の厚さょりも薄く形成したスロ ッ ト型シャ ドゥマスクにぉぃて、 マスク扳体は表扳と裏扳から成り、 表扳ぉょび裏板に縱長のスロ . ッ ト孔を搽根に配列して開ロし、 表扳衡と赢板個との相互間でー 方倒のブリ ッジが他方倒のスロ y ト孔を分割することにょり、 上 記ビームァパーチャを形成するょぅに、 表板と裏扳とを接合する とともに、 ー方恻のスロ V ト孔の開ロ稱を他方倒のス》 ッ ト孔の 開ロ幅ょり大き く したことを特徴とするものでぁる
この塲合、 表板と惠扳のスロ ッ ト孔の開ロ幅の差は、 この表扳 と裏板を重ね合ゎせた場合に生じるずれを考慮して决 ¾すること にょり、 ずれにょる ¾子ビーム透遇率の変化をなくすことができ も.
さらに、 開ロ幅の大きぃ板体 （例ぇば表板） の孔形状のバラッ キを考盧して、 蘭ロ權の差を大き くすれば、 重ね合ゎされて出来 上がったシャ ドゥマスクの透遇ムラは、 開ロ幅の小さぃ扳体の透 通ムラでほとんど決まることになる， この理由は、 スロ ッ ト ¾シ ャ ドゥマスクのビームァバーチャは短冊型をしてぃることから透 光部分の面穣は、 このビームァパーチャの開ロ幅すなゎち小さぃ 倒の開ロ幅が大き く彩響し、 ブリ · ジ幅のバラッキの彩響は少な ぃこ とにょる e
さ らに、 本発明に係るス口 ツ ト型シャ ドゥマスクは、 スロ ト 孔の開ロ權を各扳体で異ならせるこ とに加ぇ、 各板体の板厚を変 ぇることが好ましぃ。 即ち、 スロ ッ ト孔の開ロ欐が小さぃ方の板 体の扳厚を、 開ロ幅が大きぃ方の板体の板厚ょり薄くする。 この 場合、 板！:の薄ぃ扳体の方が、 ェッチングェ程でスロ ッ ト孔の孔 形状にバラッキが発生しに く く、 それだけ ¾子ビーム透過率に与 ぇる彩響は少なくなる，
ΐ¾面の 18単な銳明
第 1図は、 本発明に係るスロ ッ ト型シャ ドゥマスクの要部拡大 斜視図、
第 2図は、 別実施例を示すス α ッ ト型シャ ドゥマスクの要部拡 大正面図、
第 3図は、 第 2図の DI— IB線矢視断面を模式的に示す断面図、 第 4図は、 さらに別実施例を模式的に示すスロ ッ ト型シャ ドゥ マスクの拡大断面図、
第 5 a図〜第 5 c図は、 さらに別実施倂を模式的に示すスロッ ト孔の韆方向にぉける断面図、
第 6 a図〜第 6 d図は、 さらに別実施例を模式的に示すスロッ ト孔の 18方向にぉける断面図、
第 7図は、 カラー受像管の概要図、
第 8図は、 スロッ ト型シャ ドゥマスクの従来例を示す要部拡大 斜視図でぁる ·
明を荬施するための ¾良の形態
第 1図は本発明に係るスロ ッ ト型シャ ドゥマスクの要部を拡大 して示す斜視図でぁる。
このスロシ ト型'ンャ ドゥマスク 3 は表扳 4 a と翕板 4 bとを接 合してマスク扳体 4を構成し、 表板 4 aと裏板 4 bにはそれぞれ 雨面からェッチング処理して縱長のスロッ ト孔 5 a · 5 bが搽横 に配列、 形成されてぃる。
そして、 表扳 4 a と S扳 4 bとを接合した状 でば、 相互にー 方倒のブリ ッジ 6 a · 6 bが他方倒のスロッ ト孔 5 b · 5 aを均 等に分 Wするょぅに、 スロ ト孔 5 a · 5 bの弒方向の位 Ϊが 1 /
2 ビッチだけずらした状 IIで形成されてぃる。 従って、 ブリ ッジ 6 a · & bにょって 2分割された 1っ 1っのスロッ ト孔がビーム ァバーチャ 3 Aを構成することになる。
この表扳 4 ぉょぴ裹板 4 bは、 例ぇばァルミキル「鋼 （Α Γ- K i l led Steel) ゃ、 ニッケル舍有率 3 6 %のィ ンバー （Invar)合 金を材料とする薄ぃ金厲扳を用ぃて形成され、 スカー ト部と称す る当該シャ ドゥマスクの )¾縁部をスポッ ト瑢接したり、 ポリィ ミ ド樹脂系接着剤で接着することにょり接合する *
なぉ、 カラー選択装置にぉける ¾子ビーム透通率を堆大するこ とにょり、 表示西像の姆度を坩大する後段集束型のカラー受像管 が、 例ぇば米国特許第 4 3 7 4 4 5 2号明細害にも開示されてぃ るが、 云ぅまでもなく本発明のシャ ドゥマスクとはその構成、 作 用効果を異にするものでぁる，
第 2図は表扳 4 aぉょび 4 bのス口 ツ ト孔 5 a · 5 bを表面 S 側ょりェッチング処理して形成したものを例示する要部拡大正面 図、 第 3図は第 2図の — HI線矢視縱断面図でぁる。 即ち、 マス ク扳体 4を構成する表板 4 aぉょび裏板 4 bには、 例ぇば、 横方 向約 0 . 2黼、 縱方向約 1 . 2 ωの短冊型のスロ ッ ト孔 5 a · 5 b が縦横に規則正しく並び、 その 1 っ 1 っがすりばち状に開孔形成 されてぃる， なぉ、 表板 4 a と裹钣 4 bとを接合した状想では第 1図に示すものと同様、 相互にー方倒のブリ ッジ 6 a · 6 bが他 方捆のスロ ッ ト孔 5 b · 5 aを均等に分割することにょり、 ビー ムァバーチャ 3 Aが形成される， 従って、 縱列方向の各ビームァ バーチャ 3 Alaに介在する 1っぉきのブリ ッジ 6 aはシャ ドゥマ スクの表面 S ,側へ、 他の 1っぉきのブリ ッジ 6 bは惠面 S ,倒へ 偏位し、 かっ、 マスク扳体全体の厚さょり も十分薄ぐなり、 ブリ ッジの厚さが薄くなった分だけ電子ビーム Bの透通率は改善され る《
第 4図は、 本発明に係るスロ ッ ト型シャ ドゥマスクの他の実施 例を示す断面でぁり、 ここでは、 第 3図に示す如く ブリ ッジ 6 a • 6 bがシャ ドゥマスクの表面倒ミ ^と赢面倒 S -に交互に偏位さ せるのではなく、 ブリ ジ 6 a ' & bをシャ ドゥマスクの表面倒 S ,と裏面倒 S ,で、 例ぇば 2 Ϊ 1の比率で周期的に僞位させたも ので、 第 3國と同橼两面もしく は片面からのェッチング処理にょ り所定のスロッ ト孔が形成された表抿 4 a、 裏扳 4 1)を接合して 形成される.
なぉ、 上記したブリ ッジ 6 a · 6 bの傷位比率は、 2： 1に限 定されるものでなく、 例ぇば 3 : 2、 4 : 5等、 整数対整数の比率 でぁれば良く、 必ずしも周期的に儇位させる必要もなぃ。
第 5 a図〜第 5 c SIは、 さらに別の実施例を説明するためのス ロ ッ ト孔權方向の断面囪を示すものでぁる， 第 5 a図は表板 4 a のスロ ッ ト孔翎ロ權 を惠扳 4 bのス σ ッ ト孔開ロ幅 ょり小 さ く形成し、 スロ ッ ト孔の两倒に例ぇば 2 0 mの差を設けて接 合した例を示すもので、 1を 2 0 0 〃 m、 £ 2を 2 4 0 と してぃる， この場合の 子ビーム透適率は表板 4 a のスロ ッ ト孔 にょってのみ彩饕を受ける
第 5 b図ば裏板 4 bを第 5 a図とは逆にして接合した例を示す もので、 この場合の 子ビーム透通率も表板 4 aのスロ ッ ト孔に ょゥてのみ彩蕃を受けることになる。
また、 第 5 c図は、 第 5 b図とは逆に表板 4 aのスロ ッ ト孔開 ロ幅ょり赢扳 4 bのスロッ ト幅を小さく形成して接合した例を示 すもので、 この場合には ¾子ビーム透遇率は裏板 4 b スロ "ノ ト 孔にょって影響を受ける。
なぉ、 スロ ッ ト孔の雨倒に設ける差は、 シャ ドゥマスクに要求 される解像度にょりス nッ ト孔の配列ビッチ、 スロ ツ ト孔開ロ輔 が変ゎるため、 5〜 5 0 # mに設定されることが多ぃ β
このょぅに、 接合する扳体の対応する一方のスロ ッ ト孔開ロ幅 を他方のスロ ッ ト孔開ロ幅ょり小さ く形成してぉく ことにょり、 ェッチングェ程等でスロ ッ ト幅の大きぃ、 ー方の板体のスロ ツ ト 孔の孔形状に歪が生じても、 従来のょぅに電子ビーム透遇率に彩 響することがなぃため、 実用的にょり優れたシャ ドゥマズクが得 られることになる。
第 6 a図〜第 6 d図は、 第 5 a図〜第 5 c図同様スロ ッ ト孔幅 方向の断面図でぁり、 本発明に係る シャ ドゥマスクのさらに別の 実施例を示すものでぁる。 ここでは、 接合する各板体のス o ッ ト 孔醐ロ糂を異ならしめることに加ぇ、 接合する板体の板厚をも考 慮して、 さらに電子ビーム透通率への彩響を少なく したもので、 接合する板体のぅち、 スロ ッ ト孔開ロ幅の小さな方の板体の板厚 を瑰く形成することで達成できる。
ー般的に、 シャ ドゥマスクの製造にぉぃては、 扳厚の薄ぃ方が ェッチング処理にょりスロ ッ ト孔を形成しても孔形状のバラッキ にょる透遇ムラの発生が少なぃため、 板厚の瑰ぃ板体にスロ ッ ト 孔開ロ稱の小さぃスロッ ト孔を形成すると、 たとぇ板厚が厚ぃ板 体に透遇ムラが発生しても、 両板体を接合した場合には板厚の厚 ぃ板体の透通ムラがー体となったマスク扳体の透遇ムラに彩響す ることがな く、 実用的にさらに擾れたシャ ドゥマスクを得ること ができる。
実際にも扳)？：が 0 . 2 5咖の板体を 2枚接合して形成したシャ ド ゥマスクょり、 0 . 2鼸と 0 . 3隨の板 I?の板体を接合したシャ ド ゥマスクのほぅが、 透通ムラは良好でぁった。
なぉ、 第 5 a図〜第 5 c図、 第 6 a図〜第 6 d図にぉける実施 例は、 «子ビームが下から上に透通する場合を想定して図示され てぃる *
上記した実旖例では、 ー方倒のブリ ッジが他方例のスロ ッ ト孔 を等分割にする場合にっぃて記載したが、 必ずしも等分割にする 必要はなく、 その接合方法等にっぃても、 適宜変形を加ぇて実攄 し得ることは云ぅまでもなぃ
産業上の利用可能性
上述の說明からも明らかなょぅに、 カラー受像管のシャ ドゥマ スクに本発明は適用される。
国 ( 事 務 S
特許協カ条約に基づぃて公開された国際出願
(51)国賺特許分類 *
H01J 29/07 (ID国 m公 ϋ番 s WO 89/ 07329
A1
(43)国難公 MB 1989年 8月 10B (10.08.89)
(21)国際出願 #哥 PCT/JP89/00077 (81)指定国
(22)国陳出顔日 1989年 1月 27曰（27. 01. 89) D E (欧州特許 ), FR(欧州特許 ), OB (欧州特許）. I T (_欧州 ) 特康昍 63-23615 J P, R, NL (欧州特許）， US .
(32)擾先日 1988年 2月 2曰（ 02. 02. 88) 添付公 B»« assia¾}吿眷
(33) «^權主》§1 JP
(71 出91人（米 B4除くすべての指定国にっぃて）
大日本スクリー «it株式会社
(DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD. ) [JP/JP3
干 602京 ®府京《市上京区》川通 内上る 1丁目天？ MW1番地の 1
Kyoto, ( JP)
(72)発明者；ぉょぴ
(75)翻者 /出 ΒΙΛ (米国にっぃてのみ）
山本杞雄 ( ΥΑΜΑΜΟΤΟ, Tosh i o) J P/J P〕
T522-02 ¾»県彦根市高宮町 480番地の 1
大曰本 ¾itt¾式会社 彦根地区事! ^内 Shiga,
(74)代理人
弁理士 深見久 »(FUKAMI,Hiaaro)
T530 大 R府大! 6市北区南森町 2T目 1#29号
住友 »行 町ビル Osaka,(JP)
(54) Title: SLOT-TYPE SHADOW MASK
(54)発明の名称 ス ロ ッ ト 型シ ャ ド ゥ マス ク
Figure imgf000043_0001
(57) Abstract
A slot-type shadow mask (3) used for a color picture tube. The slot-type shadow mask (3) according to the invention has a shadow mask plate (4) composed of a front plate (4a) and a back plate (4b), and the relationship between them is such that the bridges (6a, 6b) on one plate divide the slot holes (5b, 5a) of the other.
• PCTガゼッ ト番号 No. ί2 / 1990,セクション II参照 (57)要約
本発明は、 カラー受像脊に使用されるス πッ ト型シャ ドゥマ スク （ 3 ) に Kする · 本発明に係るスロ ツ ト型シャ ドゥマスク ( 3 ) は、 シャ ドゥマスクのマスク扳体 （ 4 ) を表扳 （4 a ) と赢扳 （ 4 b ) と 構成するとともに、 表扳僳と裏扳僅との相 互簡で、 一方倒のブリ ジ （ 6 a , 6 b ) が他方側のス πツ ト 孔 （ 5 b, 5 a ) を分 ¾Wするょぅに接合したものでぁる ·
PCTに基づぃて公 される国睽出¾のパンフレヅ ト第 1頁に PCT加 ¾国を同定するために使用されるコード ォース卜リァ FR フランス モ一リタニァ
ォース卜ラひァ GA ガボン マラゥィ
/ レ八 'ドス GB ィギリス ォランダ
ぺルギ一 ハンガリ一 , ノルゥェー
プルガリァ IT ィタリー ルーマニァ- べナン JP B本 ス一ダン
Figure imgf000044_0001
ブラジル KP 翦鲜民主主 ¾6人民共和国 スゥェ一デン
CF 中央ァフリ: ir共和国 KR -大練民国 セネガル
CG コンゴー Lr リヒテンシュタィン ソビェト連邦
CH スィス Lie スリラン： チャ—ド
CH ガメル一ン s ルクセンブルグ 1 ^ーゴ
DE 西ドィッ MC モナコ 米国
DK デンマーグ HG マダガスカル
FI フィンランド ML マリー
明 書
発明の名称
ス α シ ト型シャ ドゥマスク
枝術分野
5 この発明は、 シャ ドゥマスク型カラー受像管に用ぃられるス Ρ ッ ト型シャ ドゥマスクに Μするものでぁる ·
背景饫術
シャ ドゥマスク型カラー受像管は例ぇば第 7図に示すょぅに、 3本の ¾子銃 1 と、 各«子銃 1から射出される霄子ビーム Βにょ
10 っ *Τ赤 ·綠 · 音に発光する蛍光スク リーン 2 と、 蛍光スク リーン
2の手前に配匿され、 各 ¾子ビーム Bのぅち、 必要な方向の ¾子 ビームだけをビームァバーチャ 3 Aょり通通させて不要な方向の 電子ビームを速断するシャ ドゥマスク 3 とを備ぇ、 西像信号に応 じて電子统 1から射出される ¾子ビームで蛍光スク リーン上の必 15 要なス トラィブ状蛍光体を発光させてカラー西像を映し出すょぅ に構成されてぃる，
そして、 上 受像管に用ぃられるスロッ ト型シャ ドゥマスク 3 ' は通常、 例ぇば厚さ 0 . 1〜 0 . 3鼴の鉄板に、 横方向 0 . 0 8驄 〜 0 . 2 5 議、 縱方向 0 . 3〜 1 . 0 朧の短冊型のビームァパーチ レ 20 ャ 3 Aが約 1 0万〜敷 1 0万偭、 レンガ積状に規則正しくぁけら レ れ、 各ビームァバーチャ 3 Aはェッチング処理にょって開ロ形成 されてぃる。
レ ところで、 カラー受像管に映し出されるカラー面像はできるだ け明かるぃ方が望ましく、 そぅするためには、 少しでもシャ ドゥ マスク 3の 孑ビーム透通率を Sくする必要がぁる。 ー方、 スロ ッ ト型シャ ドゥマスクにぉぃては、 赤 ' 綠 ' 資の蛍光体の配置と ビームァバーチャ 3 Aの横方向の配列ビッチとの閼係から、 各ビ ームァバーチャの幡が規定され、 また、 シャ ドゥマスクをカラー 受像管に装著する等に隆しでの成型加ェ時にシャ ドゥマスクが玻 換しなぃょぅに各ビームァパーチャの t¾方向の長さが規定される, っまり、 むゃみに各ビームァバーチャ間のブリ ッジ部分を緘く し てビームァバーチャの翻ロ寸法を縱長にすることはできなぃので ぁる，
そこで従来では、 スロッ ト型シャ ドゥマスクの ¾子ビーム透遇 率を改善する技術として、 米国特許第 4 2 9 3 7 9 2号明緘書に ぉぃて第 &図に示すょぅなス a y ト型シャ ドゥマスク 1 3が提案 されてぃる ·
それば、 ー枚のマスク扳体 1 4に fif長のビームァパーチャ 1 3 Aを縦横に多数 S列して成り、 縱列方向の各ビームァパーチャ 1 3 A間に介在するブリ ッジ 1 6 a · 1 6 bのぅち 1っぉきのブ、} yジ 1 6 aをマスク板体 1 4の表面 S，寄り側へ、 他の 1っぉき のブリ "ノジ 1 6 bをマスク扳体 1 4の惠面 S «寄り側へ 位させ、 かっ各ブリ ッジ 1 6 a · 1 6 bをマスク扳体 1 4の fff Tょりも ¾く形成したものでぁる，
しかしながら、 このょぅなスロッ ト型シャ ドゥマスクをェッチ ング処理技街で S3造することは困難でぁる， それは以下のょぅな 理由にょる'
シャ ト'ゥマスクは、 金厲薄扳の表裏两面にフォ トレジス トを 布、 乾燥し、 次に Λ光ェ程で表襄両面のシャ ドゥマスクパターン を所定の位置 I»係で密着焼付し、 次ぃで現像、 硬腴、 バーニング の各ェ程を柽てェシチングェ程でスプレーェツチングされ、 最終 的にフォ トレジス ト腴を剝雕して魁作されてぃる，
ところで、 1っぉきのブリ ッジ 1 6 aをマスク扳体 1 4の表面 S，寄り拥へ、 他の 1っぉきのブリ 'ノジ 1 6 bをマスク板体 1 4 の惠面 S ,寄り佣へ儻位させるには、 1枚のマスク板体 1 4を表 裹两倒面ょりェッチング処理する必要がぁり、 しかも、 ェッチン グ処理時のマスク板体 1 4の搬送速度、 ェ ッチング液をマスク板 体 1 4に噴射するためのスブレィ ノ ズルのスプレィ圧等を極めて 厳格に制御する必要がぁる， これは、 マスク板体 1 4の材料でぁ る金厲薄扳の厚み、 フォ ト レジス ト塗膜の厚み、 フォ トレジス ト の想度等にバラッキが存在することを前提としながら、 ェッチン グ処理にぉぃてビームァバーチャ J 3 Aの開ロ寸法と、 ブリ ッジ 1 6 a · 1 & bの寸法ぉょび厚さを同時に管理することを意味す る。 しかしながら、 実際にはビームァパーチャ 1 3 Aの開ロ寸法 に最も重点をぉぃてェッチング処理する必要がぁるため、 材料の 厚みが変動すれば、 それに伴ってブリ ッジ 1 6 a · 1 6 bの厚み も変動する。 従つて、 ブリ ッジが所要の厚みょり も ¾く なると強 度低下を招き、 成型加ェ時に破損のぉそれも生ずる
また、 シャ ドゥマスクのビームァパーチャを通遇した¾子ビー ムは対応する蛍光体を発光させるため、 シャ ドゥマスクのビーム ァパーチャとス トラィプ状の蛍光体の位置1»係が正確に合致して ぃる必要がぁる。 ところが、 ャ ドゥマスクは蛍光体とともにカラー受像管の » 極となってぃるため、 シャ ドゥマスクの電子ビーム透過率は約 2 0 %しかなく、 »極での «カ»失は 8 0 %にも连する * 例ぇば、 2 0型カラー受像管にぉぃて » ¾ ¾カが約 2 5ヮ ッ ト （W ) の場 合、 シャ ドゥマスクではこのぅち 2 0 Wが消费されることになり、 :れにょってシャ ト *ゥマスクに約 4 0 ·(：の fi度上昇力生じ、 その 桔果、 シャ ト'ゥマスクはぉょそ 1 0 Ο τ/ πι Κ張する · かかる熱蟛 張がシャ ドゥマスクに生ずると、 ¾子ビームと蛍光体との一致が 得られすカラー受像管の色缄度が低下することとなる *
そこで従来では、 例ぇば特開昭 4 9 - 7 9 1 7 0号公報に開示 されてぃるょぅに、 シャ ドゥマスクを 2枚の板体で構成し、 第 1 の扳体のスロッ ト孔に対応する第 2の板体のス αッ ト孔を崈着も しく は微小簡睐を設けて対面させてシャ ドゥマスクの強度を大き く したもの、 ぁるぃは特開昭 4 9 - 1 3 1 6 7 6号公報に開示さ れてぃるょぅに、 シャ ドゥマスクを構成する 2枚のスラィス状シ ャ ドゥマスク （扳体） の多数の開孔が全て重なるょぅに稜雇して、 局部的な热 張を防止するものが知られてぃる · しかしながら、 上記特開昭 4 9 - 7 9 1 9 0号ぉょび特開昭 4 9 - 1 3 1 6 7 6 号公報に開示されたシャ ドゥマスクには、 重ね合ゎせた各扳体の ス Gッ ト孔 （蘭孔） の位髹が、 例ぇばシャ ドゥマスクパターンの 焼付に用ぃられるマスターバターンの熱膨張、 シャ ドゥマスクの ェッチングェ程にぉける孔形状の歪、 ぉょび各扳体相互の位置合 ゎせ精度等に起因してずれることにょり電子ビーム透遇率が変化 する問趙点がぁる。 さらに、 シャ ドゥマスクにぉぃては、 各ビ一ムァパーチャの孔 形状のパラッキにょって生ずる透通ムラが問 ¾となるが、 重ね合 ゎせる各扳体のスロッ ト孔が同ー形状となるょぅ 製作した場合 は、 各扳体を重ね合ゎせた傺の透通ムラが各板体単体の透通ムラ ょり相乗的に «くなると云ぅ躕理がぁる ·
本発明はこのょぅな事情に艦みてなされたもので、 実施が容易 で、 ¾子ビームの透通率が高く、 かっ強度的にも傻れ、 しかも透 遇ムラが少なぃスロ ッ ト型シャ ドゥマスクを提供することをその 目的とする。
発明の 1»示
上記目的を達成するために本発明に係るスロ ッ ト型シャ ドゥマ スクは次のょぅにして構成される，
即ち、 マスク板体に縦長のビームァバーチャを耰横に多数配列 して成り、 縦列方向の各ビームァバーチャ闢に介在するブリ ッジ を、 マスク板休の表面側ぉょび裏面側へ偏位させ、 かっ、 各ブリ ッジをマズク板体の厚さょり も薄く形成したス口 ッ ト型シャ ドゥ マスクにぉぃて、 マスク扳体は表扳と裏板とから成り、 表扳ぉょ び裏扳に縱長のスロ ツ ト孔を縱横に K列して開ロし、 扳側と S 板拥との相互簡で一方側のブリ 5/ジが他方倒のス口 ッ ト孔を分割 することにょり、 上記ビームァパーチャを形成するょ に、 ¾扳 と裹板とを接合したことを待徴とするものでぁる。
本発明では、 表板と惠扳とを別々にェッチング処理して、 それ ぞれに 1¾長のスロ ッ ト孔を形成する * 従ってェッチング処理に際 しては、 当该スロ ッ ト孔の開ロ形状寸法のみを管理するだけで、 所定寸法のブリ " /ジが形成され、 しかもブリ ッジの厚さは、 当铵 表板、 又は ¾板の厚さと同—になる * これにょり、 強度的に «れ、 成型加ェ時に破損のぉそれはなぃ ·
また、 表扳と裏扳とは相互にー方捆のブリ ッジが他方倒のァバ ーチャ用ス α ッ ト孔を分割することにょり、 所定サィズのビーム ァパーチャを形成するょぅに Κ置接合されてぃるため、 ブリ ッジ は、 周斯的にマスク表面例ぉょびマスク裹面倒へ頃位することに なり、 かっ、 各プリ ツジは表扳又は赢扳の約 1 / 2の厚さに形成 されることになる。 従って従来例と同様、 ブリ ッジの厚さが薄ぃ 分だけ電子ビーム透通率が、 とく にシャ ドゥマスクの周辺部で改 善されるのでぁる。
本発明に係る久ロ V ト型シャ ドゥマスクは、 好ましくはマスク 扳体に縱長のビームァバーチャを搽横に多数 列して成り、 縱列 方向の各ビームァバーチャ間に介在するブリ ッジを、 マスク板体 の表面倒ぉょび裹面倒へ 位させ、 かっ、 各ブリ ツジをマスク板 体の厚さょりも薄く形成したスロッ ト型シャ ドゥマスクにぉぃて、 マスク扳体は表扳と裏扳から成り、 表扳ぉょび裹扳に縱長のスロ · ト孔を接横に Κ列して開ロし、 表扳傈と裹扳倒との相互間でー 方倒のブリ ッジが他方倒のスロ ツ ト孔を分割することにょり、 上 13ビームァバーチャを形成するょぅに、 表板と襄板とを接合する とともに、 一方樹のスロ y ト孔の開ロ幡を他方倒のス ッ ト孔の 開ロ幅ょり大きく したことを特徴とするものでぁる，
この場合、 表扳と裏锒のスロ ツ ト孔の開ロ幅の差は、 この表扳 と裏板を重ね合ゎせた場合に生じるずれを考 ¾して决定すること にょり、 ずれにょる ¾子ビーム透遇率の変化をなくすことができ る《
さらに、 開ロ幅の大きぃ板体 （例ぇば表板） の孔形状のパラッ キを考盧して、 開ロ幅の差を大き くすれば、 重ね合ゎされて出来 上がゥたシャ ドゥマスクの透遇ムラは、 開ロ輻の小さぃ扳体の透 通ムラでほとんど決まることになる， この理由は、 スロ ッ ト isシ ャ ドゥマスクのビームァパーチャは短冊型をしてぃることから透 光部分の面 »は、 このビームァパーチャの開ロ幅すなゎち小さぃ 個の開ロ轜が大き く彩響し、 ブリ ッジ幅のバラッキの彩響は少な ぃことにょる e
さ.らに、 本発明に係るス α ッ ト型シャ ドゥマスクは、 ス σ ッ ト 孔の蘭ロ «Iを各扳体で異ならせることに加ぇ、 各板体の板厚を変 ぇることが好ましぃ * 即ち、 スロ ッ ト孔の開ロ輾が小さぃ方の板 体の板厚を、 開ロ幅が大きぃ方の板体の板厚ょり薄くする。 この 場合、 板 の薄ぃ板体の方が、 工 ッチングェ程でスロ ッ ト孔の孔 形状にバラッキが発生しにく く、 それだけ電子ビーム透過率に与 ぇる彩響は少なく なる，
园面の簡牟な ¾明
第 1図は、 本発明に係るスロ y ト型シャ ドゥマスクの要部拡大 斜視図、
第 2図は、 別実施例を示すス Π y ト型シャ ドゥマスクの要部拡 大正面図、
第 3図は、 第 2図の IE— ΙΠ線矢視断面を模式的に示す断面図、 第 4図は、 さらに別実施例を模式的に示すスロ V ト型シャ ドゥ マスクの拡大断面図、
第 5 a図〜第 5 c図は、 さらに別実施倂を模式的に示すスロッ ト孔の權方商にぉける断面図、
第 6 a図〜第 6 d図は、 さらに別実旌例を模式的に示すスロッ ト孔の瞄方向にぉける断面図、
第 7図は、 カラー受像管の概要図、
第 8図は、 ス αッ ト型'ンャ ドゥマスクの従来例を示す要部拡大 斜視図でぁる
明を寞施するための ¾良の形態
第 1図は本発明に係るスロ ッ ト型シャ ドゥマスクの要部を拡大 して示す斜視図でぁる。
このスロ ッ ト型シャ ドゥマズク 3は表扳 4 a と直板 4 b とを接 合してマスク扳体 4を構成し、 表扳 4 a と襄板 4 bにはそれぞれ 両面からェッチング処理して縱長のスロ y ト孔 5 a · 5 bが 横 に配列、 形成されてぃる。
そして、 表扳 4 aと鳶扳 4 b とを接合した状萠では、 相互にー 方櫥のブリ ッジ 6 a · 6 bが他方倒のスロッ ト孔 5 b ' 5 aを均 等に分 ttするょぅに、 スロッ ト孔 5 a · 5 bの縦方向の位置が 1 / 2 ビッチだけずらした状憊で形成されてぃる， 従って、 ブリ ッジ 6 a · 6 bにょって 2分 #1された 1っ 1っのスロッ ト孔がビーム ァバーチャ 3 Aを構成することになる。
この表扳 4 aぉょび裹板 4 bは、 例ぇばァルミキル【'銅 (AI- Killed Steel) ゃ、 ニッケル舍有率 3 6 %のイ ンバー （Invar)合 金を材料とする薄ぃ金厲扳を用ぃて形成され、 スカート都と称す る当垓シャ ドゥマスクの周緣部をスポッ ト溶接したり、 ポリィ ミ ド樹脂系接着剤で接着することにょり接合する *
なぉ、 カラー選択装置にぉける電子ビーム透遇率を增大するこ とにょり、 表示西像の輝度を增大する後段集束型のカラー受像管 が、 例ぇば米国特許第 4 3 7 4 4 5 2号明細害にも開示されてぃ るが、 云ぅまでもなく本発明のシャ ドゥマスクとはその構成、 作 用効果を異にするものでぁる，
第 2図は表扳 4 aぉょび 4 bのスロ 'ン ト孔 5 a ' 5 bを表面 S 俩ょりェッチング処理して形成したものを例示する要部拡大正面 図、 第 3図は第 2図の 1·— ΠΙ線矢視縦断面図でぁる。 即ち、 マス ク板体 4を構成する表板 4 aぉょび裏扳 4 bには、 例ぇば、 横方 向約 0 . 2騸、 縱方向 i¾ 1 . 2 wiの短冊型のスロ ッ ト孔 5 a · 5 b が縱横に規則正しく並ぴ、 その 1っ 1 っがすりばち状に開孔形成 されてぃる， なぉ、 表板 4 a と裹钣 4 bとを接合した状態では第 1図に示すものと同様、 相互にー方傻のブリ ッジ 6 a · 6 bが他 方倒のスロ ツ ト孔 5 b · 5 aを均等に分割することにょり、 ビー ムァパーチャ 3 Aが形成される， 従って、 縱列方向の各ビームァ パーチャ 3 Α ¾に介在する 1っぉきのブリ ッジ 6 aはシャ ドゥマ スクの表面 S ,倒へ、 他の 1っぉきのブリ ッジ 6 bは惠面 S t例へ 偏位し、 かっ、 マスク扳休全休の厚さょり も十分薄く なり、 ブリ ッジの厚さが薄くなった分だけ電子ビ一ム Bの透遇率は改善され る《
第 4図は、 本発明に係るスロ ッ ト型シャ ドゥマスクの他の実施 例を示す断面でぁり、 ここでは、 第 3図に示す如く ブリ ッジ 6 a • 6 bがシャ ドゥマスクの表面倒 Siと裏面倒 Siに交互に偏位さ せるのではなく、 ブリ 'メ ジ 6 a · 6 bをシャ ドゥマスクの表面倒 S,と裹面倒 S iで、 例ぇば 2： 1の比率で周期的に儸位させたも ので、 第 3図と同棣再面もしくは片面からのェッチング処理にょ り所定のスロッ ト孔が形成された表扳 4 a、 裏板 4 I)を接合して 形成される.
なぉ、 上記したブリ Vジ 6 a · 6 bの «位比率は、 2： 1に限 定されるものでなく、 例ぇば 3 : 2、 4 : 5等、 整数対整数の比率 でぁれば良く、 必ずしも周期的に漏位させる必要もなぃ。
第 5 a図〜第 5 cBIは、 さらに別の実施例を說明するためのス ロ ト孔幅方向の断面図を示すものでぁる。 第 5 a図は表扳 4 a のスロッ ト孔開ロ輻 £ «を裹扳 4 bのスロッ ト孔開ロ幅 «ょり小 さく形成し、 スロッ ト孔の两倒に例ぇば 2 0 mの差を設けて接 合した例を示すもので、 £1を2 0 0 111、 £2を2 4 0 111と してぃる， この場合の電子ビーム透過率は表扳 4 aのスロッ ト孔 にょってのみ彩響を受ける
第 5 b図は赢扳 4 bを第 5 a図とは'逆にして接合した例を示す もので、 この場合の ¾子ビーム透通率も表扳 4 aのスロッ ト孔に ょってのみ彩響を受けることになる。
また、 第 5 c図は、 第 5 b図とは逆に表板 4 aのスロ ッ ト孔開 ロ幅ょり赢扳 4 bのスロッ ト幅を小さく形成して接合した例を示 すもので、 この場合には ¾子ビーム透通率は裏板 4 b スロッ ト 孔にょって影 を受ける。
なぉ、 スロ ッ ト孔の两倒に設ける差は、 シャ ドゥマスクに要求 される解像度にょりス αッ ト孔の配列ビッチ、 スロ ツ ト孔開ロ幅 が変ゎるため、 5〜 5 0 /Ε mに設定されることが多ぃ。
このょぅに、 接合する扳体の対応するー方のスロ ッ ト孔開ロ幅 を他方のスロ ッ ト孔開ロ幅ょり小さ く形成してぉく ことにょり、 ェッチングェ程等でスロ ッ ト幅の大きぃ、 ー方の板体のスロ ッ ト 孔の孔形状に歪が生じても、 従来のょぅに罨子ビーム透遇率に彩 響することがなぃため、 実用的にょり優れたシャ ドゥマズクが得 られることになる。
第 6 a図〜第 6 d図は、 第 5 a図〜第 5 c図同様スロ ッ ト孔幅 方向の断面図でぁり、 本発明に係る シャ ドゥマスクのさらに别の 実施例を示すものでぁる。 ここでは、 接合する各板体のスロ ッ ト 孔開ロ槭を異ならしめることに加ぇ、 接合する板体の板厚をも考 慮して、 さらに II子ビーム透通率への彩響を少なく したもので、 接合する板体のぅち、 スロ ッ ト孔開ロ幅の小さな方の板体の扳厚 を薄く形成することで達成できる。
—般的に、 シャ ドゥマスクの製造にぉぃては、 板厚の薄ぃ方が ェッチング処理にょりスロッ ト孔を形成しても孔形状のバラッキ にょる透通ムラの発生が少なぃため、 板厚の ¾ぃ扳体にス α ッ ト 孔開ロ幅の小さぃスロッ ト孔を形成すると、 たとぇ板厚が厚ぃ板 体に透遇ムラが発生しても、 両板体を接合した場合には板厚の厚 ぃ板体の透通ムラがー休となったマスク扳体の透遇ムラに彩響す る ことがな く、 実用的にさ らに擾れたシャ ドゥマスクを得ること ができる
実際にも扳厚が 0 . 2 5咖の板体を 2枚接合して形成したシャ ド ゥマスクょり、 0 . 2黼と 0 . 3 inの板 II：の扳体を接合したシャ ド ゥマスクのほぅが、 透通ムラは良好でぁった。
なぉ、 第 & a図〜第 5 c図、 第 6 a図〜第 6 d図にぉける実施 例は、 ¾子ビームが下から上に透通する場合を想定して図示され てぃる ·
上記した実施例では、 ー方倒のブリ ッジが他方侧のスロッ ト孔 を等分割にする場合にっぃて記載したが、 必ずしも等分割にする 必要はなく、 その接合方法等にっぃても、 適宜変形を加ぇて実施 し得ることは云ぅまでもなぃ。
産樊上の利用可能性
上述の説明からも明らかなょぅに、 カラー受像管のシャ ドゥマ スクに本発明は適用される。
国 際 事 務 局
特許協カ条約に基づぃて公開された国際出願
(51)国際特許分類 4
H01J 29/07 (ID国際公開番号 WO 89/ 07329
A1
(43)国際公開曰 1989年 8月 ΐοα (10.08.89
(21 )国際出願番号 PCT/JP89/00077 (81)指定国
、22 )国際出願日 ― 1989年 1月 27曰（ 27. 01. 89 ) D E
Figure imgf000064_0001
、31；慶先權主張番号 特細 63-23615 J P, KRt NL (欧州特許 US
(32;優先曰 1988年 2月 2曰（ 02. 02. 88 ) 添付公開書類 国際調查報告 (33)優先権主張国 JP
C71 )出^ Λ '、米国を除くすべての指定国にっぃて）
大日 製造株式会社
DAT NIPPON SCREEN MFG .CO., LTD. ) CJP/JPD
〒 602 京都府京都市上京区堀川通寺之內上る 1丁目天神北町 1番地の 1
Ky t o （ JP)
(72)発明者；ぉょび
(75)発明者 /'出 (米国にっぃて oみ）
■ ^- Υ-λΜΑΜΟΤΟ, Tosh i o)CJ PZJ P〕
〒 522 - 02 貿県彦根市高宫町 480番地の 1
大ョ -^: ¾造 式会社 彦^ 区事案所内 Sh i ga, C JP)
(74)代理人
弁堙士 深見久郎 (FUKAMI.Hisaro)
〒530 大阪府大 K市北区南森町 2丁目 1 29号
住友 ¾行脔森 Osaka,(JP)
(54) Title: SLOT-TYPE SHADOW MASK
(54)発明の名称 ス ロ ッ ト 型 シ ャ ド ゥ マス ク
Figure imgf000064_0002
(57) Abstract
A slot-type shadow mask (3) used for a color picture tube. The slot-type shadow mask (3) according to the invention has a shadow mask plate (4) composed of a front plate (4a) and a back plate (4b), and the relationship between them is such that the bridges (6a, 6b) on one plate divide the slot holes (5b 5a) of the other. (57)要約 本兗明は、 カラー受像管に使用されるスロ ッ ト型シャ ドゥマ スク （ 3 ) に蘭する。 本発明に係るス口 ッ ト型シャ ドゥマスク ( 3 ) は、 シャ ドゥマスクのマスク板体 （ 4 ) を表钣 （ 4 a ) と襄板 （ 4 b ) とで構成するとともに、 表扳惻と裏板側との相 互間で、 一方倒のブリ ジジ （ 6 a , 6 b ) が他方倒のスロ ッ ト 孔 （ 5 b , 5 a ) を分割するょぅに接合したものでぁる。
惰 «εしての尾逾のみ
PCTに基づぃて公開される国 出頃のパンフレッ 卜第 1頁に PCT加盟国を同定するために使用されるコ-
ΑΤ ォ一ス卜リァ FR フランス MR モ一リタニァ
AU ォ一ス卜ラリァ GA ガボン Mff マラゥィ
ΒΒ ノ\リレ八'ドス GB ィギリス NL ォランダ
BE べルギー HU ハンガリ一 ， ΝΌ ノルゥェ一
BG ブルガリァ IT ィタリ一 R0 ルーマニァ
BJ べナン JP B本 SD ス一ダン
BR ブラジル KP 朝鲜民主主義人民共和国 SE スゥェ一デン
CF 中央ァフリカ共和 ir KR 大韓民国 SN" セネガル
CG コンゴ一 LI リヒテンシュタィン S ソビェト違邦
CH スィス LK スリランカ TD チャ一ド
CM カメル一ン LU ルクセンブルグ TG 1 ゴ
DE ¾ドィッ MC モナコ US 米国
DK デンマーク MG マダガスカル
FI フィンランド ML マリー
明 細 書
発明の名称
スロ ッ ト型シャ ドゥマスク
枝術分野
5 この発明は、 シャ ドゥマスク型カラー受像管に用ぃられるスロ ッ ト型シャ ドゥマスクに Mするものでぁる *
背景技術
シャ ドゥマスク型カラー受像管は例ぇば第 7図に示すょぅに、 3本の電子銃 1 と、 各電子銃 1 から射出される電子ビーム Bにょ
10 って赤 · 綠 · 青に発光する蛍光スク リーン 2 と、 蛍光スク リーン
2の手前に配置され、 各¾子ビーム Bのぅち、 必要な方向の ¾子 ビームだけをビームァバーチャ 3 Aょり通過させて不要な方向の 電子ビームを ¾断するシャ ドゥマスク 3 とを備ぇ、 画像信号に応 じて ¾子銃 1から射出される ¾子ビームで蛍光スク リーン上の必
15 要なス トラィプ状蛍光体を発光させてカラー画像を映し出すょぅ に構成されてぃる。
そして、 上記受像管に用ぃられるスロッ ト型シャ ドゥマスク 3 は通常、 例ぇば厚さ 0 . 1〜 0 . 3 maの鉄板に、 横方向 0 . 0 8躪 〜 0 . 2 5鵬、 縦方向 0 . 3〜 1 . 0蒯の短冊型のビームァパーチ 20 ャ 3 Aが約 1 0万〜数 1 0万個、 レンガ稜状に規則正しく ぁけら レ れ、 各ビームァバーチャ 3 Aはェ ッチング処理にょって開ロ形成 されてぃる。
レ ところで、 カラー受像管に映し出されるカラー画像はできるだ
V け明かるぃ方が望ま しく、 そぅするためには、 少しでもシャ ドゥ マスク 3の镙孑ビーム透遇率を良くする必要がぁる。 —方、 スロ y ト型シャ ドゥマスクにぉぃては、 赤 . 綠 . 青の蛍光体の配置と ビームァバーチャ 3 Aの横方向の配列ビッチとの閟係から、 各ビ ームァパーチャの輥が規定され、 また、 シャ ドゥマスクをカラー 受像管に装著する等に際しての成型加ェ時にシャ ドゥマスクが玻 損しなぃょぅに各ビームァバーチャの縦方向の長さが規定される， っまり、 むゃみに各ビームァパーチャ間のブリ ッジ部分を ¾く し てビームァパーチャの開ロ寸法を縦長にすることはできなぃので そこで従来では、 スロ ッ ト型シャ ドゥマスクの 子ビーム透遇 率を改善する技術として、 米国特許第 4 2 9 3 7 9 2号明細書に ぉぃて第 8図に示すょぅなスロ ッ ト型シャ ドゥマスク 1 3が提案 されてぃる，
それは、 一枚のマスク板体 1 4に縦長のビームァバーチャ 1 3 Aを縱横に多数配列して成り、 縱列方向の各ビームァパーチャ 1 3 A間に介在するブリ ッジ 1 6 a · I 6 bのぅち 1っぉきのブリ ッジ 1 6 aをマスク扳体 1 4の表面 S ,寄り側へ、 他の 1っぉき のブリ ッジ 1 6 bをマスク板体 1 4の裏面 S∑寄り倒へ偏位させ、 かっ各ブリ ッジ 1 6 a ' 1 6 bをマスク板体 1 4の厚 ょり も ¾く形成したものでぁる。
しかしながら、 このょぅなスロ ッ ト型シャ ドゥマスクをェッチ ング処理技術で製造することは困難でぁる。 それは以下のょぅな 理由にょる。
シャ ドゥマスクは、 金厲 ¾板の表裏両面にフォ ト レジス トを塗 布、 乾燥し、 次に弒光ェ程で表裹両面のシャ ドゥマスクパターン を所定の位置 1»係で密着焼付し、 次ぃで現像、 硬胰、 Λ4—ニング の各ェ程を経てェツチングェ程でスプレ—ェ 'ンチングされ、 暈終 的にフォ ト レジス ト膜を剝離して製作されてぃる。
ところで、 1 っぉきのブリ ッジ 1 6 aをマスク板体 1 4の表面 S ,寄り側へ、 他の 1っぉきのブリ ッジ 1 6 bをマスク扳体 1 4 の褰面 寄り倒へ偏位させるには、 1枚のマスク板体 1 4を表 裏両側面ょりェ ッチング処理する必要がぁり、 しかも、 ェッチン グ処理時のマスク板体 1 4の搬送速度、 ェ ッチング液をマスク板 体 1 4に噴射するためのスブレィ ノ ズルのスプレィ圧等を極めて 厳格に制御する必要がぁる。 これは、 マスク板体 1 4 の材料でぁ る金厲簿板の)？み、 フォ ト レジス ト塗膜の厚み、 フォ ト レジス ト の慼度等にバラッキが存在することを前提としながら、 ェッチン グ処理にぉぃてビームァバ—チャ 1 3 Aの開ロ寸法と、 ブリ ッジ 1 6 a · 1 6 bの寸法ぉょび厚さを同時に管理することを意味す る。 しかしながら、 実際にはビームァパ一チャ 1 3 Aの開ロ寸法 に最も重点をぉぃてェッチング処理する必要がぁるため、 材料の 厚みが変動すれば、 それに伴ってブリ ッ ジ 1 6 a · 1 6 bの厚み も変動する。 従って、 ブリ ッ ジが所要の厚みょり も蘀く なると強 度低下を招き、 成型加ェ時に破損のぉそれも生ずる。
また、 シャ ドゥマスクのビームァパーチャを通過した ¾子ビー ムは対応する蛍光体を発光させるため、 シャ ドゥマスクのビーム ァパーチャ とス ト ラィ プ状の蛍光体の位置 M係が正確に合致して ぃる必要がぁる。 ところが、 シャ ドゥマスクは蛍光体とともにカ ラー受像管の攝 搔となってぃるため、 シャ ドゥマスクの電子ビーム透遇率は約 2 0 %しかなく、 ほ棰での電カ損失は 8 0 %にも達する。 例ぇば、 2 0型カラー受像管にぉぃて陽極電カが約 2 5 ヮ ッ ト （W ) の場 合、 シャ ドゥマスクではこのぅち 2 0 Wが消费されることになり、 これにょってシャ ドゥマスクに約 4 0ての温度上昇が生じ、 その 結果、 シャ ドゥマスクはぉょそ 1 0 Ο ί/ πι ^張する。 かかる熱蟛 張がシャ ドゥマスクに生ずると、 鼋子ビームと蛍光体との一致が 得られずカラー受像管の色純度が低下することとなる。
そこで従来では、 例ぇば特開昭 4 9 - 7 9 1 7 0号公報に開示 されてぃるょぅに、 シャ ドゥマスクを 2枚の板体で構成し、 第 1 の板体のス口 'ン ト孔に対応する第 2の扳体のスロ ッ ト孔を密着も しく は微小間陚を設けて対面させてシャ ドゥマスクの強度を大き く したもの、 ぁるぃは特開昭 4 9 - 1 3 1 6 7 6号公報に開示さ れてぃるょぅに、 シャ ドゥマスクを慷成する 2枚のスラィス状シ ャ ドゥマスク （扳体） の多数の開孔が全て重なるょぅに種餍して 局都的な熱膨張を防止するものが知られてぃる。 しかしながら、 上記特閒昭 4 9 — 7 9 1 9 0号ぉょび特開昭 4 9 — 1 3 1 6 7 6 号公報に開示されたシャ ドゥマスクには、 重ね合ゎせた各扳体の スロッ ト孔 （開孔） の位 Sが、 例ぇばシャ ドゥマスクパターンの 焼付に用ぃられるマスターパターンの熱膨張、 シャ ドゥマスクの ェッチングェ程にぉける孔形状の歪、 ぉょび各扳体相互の位 S合 ゎせ精度等に起因してずれることにょり鼋子ビーム透過率が変化 する問題点がぁる。 さらに、 シャ ドゥマスクにぉぃては、 各ビームァバーチャの孔 形状のパラッキにょって生ずる透過ムラが問题となるが、 重ね合 ゎせる各板体のスロ ッ ト孔が同ー形状となるょぅに製作した場合 は、 各扳体を重ね合ゎせた際の透過ムラが各板体単体の透遇ムラ ょり相乗的に悪く なると云ぅ問 ¾がぁる。
本発明はこのょぅな事情に趣みてなされたもので、 実施が容易 で、 電子ビームの透過率が高く、 かっ強度的にも傻れ、 しかも透 過ムラが少なぃスロ ッ ト型シャ ドゥマスクを提供することをその 目的とする。
発明の 1¾示
上記目的を達成するために本発明に係るスロ ッ ト型シャ ドゥマ スクは次のょぅにして構成される。
即ち、 マスク扳体に縦長のビームァバーチャを縦横に多数配列 して成り、 縦列方向の各ビ一ムァパーチャ間に介在するブリ ッジ を、 マスク板体の表面側ぉょび裏面側へ偏位させ、 かっ、 各ブリ ッジをマスク板体の さょり も薄く形成したスロ ッ ト型シャ ドゥ マスクにぉぃて、 マスク扳体は表扳と裏板とから成り、 表板ぉょ び裏板に縱長のスロ ッ ト孔を綞横に配列して開ロし、 ； ¾板側と裏 板俩との相互間でー方側のブリ ジが他方側のスロ ッ ト孔を分割 することにょり、 上記ビームァパーチャを形成するょ に、 表板 と惠扳とを接合したことを特徴とするものでぁる。
本発明では、 表扳と裹扳とを別々にェッチング処理し て、 それ ぞれに縦長のスロ ッ ト孔を形成する。 従ってェッチング処理に際 しては、 当垓スロ ッ ト孔の開ロ形状寸法のみを管理するだけで、 所定寸法のブリ ッジが形成され、 しかもブリ ッジの厚さは、 当該 表板、 又は墓扳の厚さと同ーになる。 これにょり、 強度的に擾れ、 成型加ェ時に被損のぉそれはなぃ。
また、 表板と裏扳とは相互にー方倒のブリ ッジが他方側のァパ ーチャ用スロ ッ ト孔を分割することにょり、 所定サィズのビーム ァパーチャを形成するょぅに配置接合されてぃるため、 ブリ ッジ は、 周期的にマスク表面倒ぉょびマスク裏面惻へ懾位することに なり、 かっ、 各ブリ ッジは表扳又は裏板の約 1 / 2の厚さに形成 されることになる。 従って従来例と同棣、 ブリ ツジの厚さが薄ぃ 分だけ電子ビーム透過率が、 と く にシャ ドゥマスクの周辺部で改 善されるのでぁる。
本発明に係るスロ ッ ト型シャ ドゥマスクは、 好ましく はマスク 板体に縦長のビームァバーチャを縦横に多数配列して成り、 縦列 方向の各ビームァパーチャ間に介在するブリ ッジを、 マスク板体 の表面俚ぉょび裏面側へ偏位させ、 かっ、 各ブリ ッジをマスク板 体の厚さょり も薄く形成したスロ ッ ト型シャ ドゥマスクにぉぃて. マスク板体は表板と惠板から成り、 表板ぉょび裏板に縱長のスロ ッ ト孔を縱横に S列して開ロし、 表板側と惠扳側との栢互間でー 方側のブリ ッジが他方側のスロ ッ ト孔を分割することにょり、 上 記ビームァバーチャを形成するょぅに、 表扳と襄扳とを接合する とともに、 ー方側のスロ ッ ト孔の開ロ幅を他方側のス ッ ト孔の 開ロ幅ょり大き く したことを特徴とするものでぁる β
この場合、 表扳と裏板のスロ ッ ト孔の開ロ幅の差は、 この表板 と裏板を重ね合ゎせた塲合に生じるずれを考盧して決 すること にょり、 ずれにょる ¾子ビーム透過率の変化をな く すことができ も.
さらに、 開ロ辎の大きぃ板体 （例ぇば表板） の孔形状のバラッ キを考盧して、 開ロ幅の差を大き くすれば、 重ね合ゎされて出来 上がったシャ ドゥマスクの透過ムラは、 開ロ輜の小さぃ扳体の透 過ムラでほとんど決まることになる。 この理由は、 スロ ッ ト型シ ャ ドゥマスクのビームァパーチャは短冊型をしてぃる こ とから透 光部分の面稂は、 このビームァバーチャの開ロ幅すなゎち小さぃ 側の開ロ幅が大き く影饔し、 ブリ ッジ幅のバラッキの影響は少な ぃこ とにょる e
さらに、 本発明に係るスロ ッ ト型シャ ドゥマスクは、 スロ 'ン ト 孔の開ロ辎を各扳体で異ならせるこ とに加ぇ、 各板体の板厚を変 ぇることが好ましぃ。 即ち、 スロ ッ ト孔の開ロ輻が小さぃ方の板 体の板 を、 開ロ幅が大きぃ方の板体の板厚ょり簿く する。 この 場合、 板 I？：の薄ぃ板体の方が、 ェ ッチングェ程でスロ ッ ト孔の孔 形状にバラッキが発生しに く く、 それだけ電子ビーム透過率に与 ぇる彩響は少なく なる。
図面の簡単な説明
第 1図は、 本発明に係るスロ ッ ト型シャ ドゥマスクの要部拡大 斜視図、
第 2図は、 別実旌例を示すス口 ッ ト型シャ ドゥマスクの要郞拡 大正面図、
第 3図は、 第 2図の DI — 10線矢視断面を模式的に示す断面図、 第 4図は、 さらに別実施例を模式的に示すスロ ッ ト型シャ ドゥ マスクの拡大断面図、
第 5 a図〜第 5 c図は、 さらに别実施例を模式的に示すスロッ ト孔の幅方向にぉける断面図、
第 6 a図〜第 6 d図は、 さらに別実旌例を模式的に示すスロ ッ ト孔の幅方向にぉける断面図、
第 7図は、 カラー受像管の概要図、
第 8図は、 スロ ッ ト型シャ ドゥマスクの従来例を示す要部拡大 斜視図でぁる。
発明を実施するための最良の形態
第 1図は本発明に係るスロ ッ ト型シャ ドゥマスクの要部を拡大 して示す斜視図でぁる。
このスロ ッ ト型シャ ドゥマスク 3 は表扳 4 a と禀板 4 b とを接 合してマスク扳体 4を構成し、 表板 4 a と裏板 4 bにはそれぞれ 両面からェッチング処理して縱長のスロ ッ ト孔 5 a · 5 bが縱横 に配列、 形成されてぃる。
そして、 表板 4 a と裏板 4 b とを接合した状態では、 柑互に一 方側のブリ ッジ 6 a · 6 bが他方側のスロ ッ ト孔 5 b ' 5 aを均 等に分割するょぅに、 スロ ッ ト孔 5 a · 5 bの縦方向の位匱が 1 / 2 ビッチだけずらした状態で形成されてぃる。 従って、 ブリ ·ン ジ 6 a · 6 bにょって 2分割された 1 っ 1っのスロ ッ ト孔がビーム ァバーチャ 3 Aを構成するこ とになる。
この表板 4 aぉょび裏扳 4 bは、 例ぇばァルミキル 鐧 ( A I - K i l l ed S teel ) ゃ、 ニッケル舍有率 3 6 %のィ ンバ^" ( Invar)合 金を材料とする薄ぃ金厲板を用ぃて形成され、 スカー i 部と称す る当該シャ ドゥマスクの周緣部をスポッ ト溶接したり、 ボリ ィ ミ ド樹脂系接着剤で接着することにょり接合する。
なぉ、 カラー選択装置にぉける ¾子ビーム透過率を增大するこ とにょり、 表示画像の輝度を埤大する後段集束型のカラー受像管 が、 例ぇば米国特許第 4 3 7 4 4 5 2号明钿書にも開示されてぃ るが、 云ぅまでもな く本発明のシャ ドゥマスクとはその構成、 作 用効果を異にするものでぁる。
第 2図は表板 4 aぉょび 4 bのスロ ッ ト孔 5 a · 5 bを表面 側ょりェッチング処理して形成したものを例示する要部拡大正面 図、 第 3図は第 2図の III— ΠΙ線矢視縱断面図でぁる。 即ち、 マス ク板体 4を構成する表板 4 aぉょび裏扳 4 bには、 例ぇば、 横方 向約 0 . 2 »、 縦方向約 1 . 2 maの短冊型のスロ ッ ト孔 5 a · 5 b が縦横に規則正しく並び、 その 1 っ 1 っがすりばち状に開孔形成 されてぃる， なぉ、 表板 4 a と裏板 4 bとを接合した状態では第 1図に示すものと同様、 相互にー方铟のブリ ッジ 6 a · 6 bが他 方側のスロ 'ン ト孔 5 b · 5 aを均等に分割することにょり、 ビー ムァパーチャ 3 Aが形成される。 従って、 縱列方向の各ビームァ バーチャ 3 A間に介在する 1 っぉきのブリ ツジ 6 a はシャ ドゥマ スクの表面 S 1側へ、 他の 1 っぉきのブリ ッジ 6 bは裏面 S t惻へ 偏位し、 かっ、 マスク板体全体の厚さょり も十分簿く なり、 ブリ ッジの厚さが薄く なった分だけ電子ビーム Bの透過率は改善され る
第 4図は、 本発明に係るスロ ツ ト型シャ ドゥマスクの他の実施 例を示す断面でぁり、 ここでは、 第 3図に示す如く ブリ 'ン ジ 6 a • 6 bがシャ ドゥマスクの表面側 5 ,と36面側 S 2に交互に傷位さ せるのではなく、 ブリ ジ ジ 6 a · 6 bをシャ ドゥマスクの表面側 S ,と裏面倒 S 2で、 例ぇば 2： 1 の比率で周期的に儸位させたも ので、 第 3図と同棣两面もしく は片面からのェツチング処理にょ り所定のスロ ツ ト孔が形成された表扳 4 a、 裏板 4 bを接合して 形成される。
なぉ、 上記したブリ ッジ 6 a * 6 bの偏位比率は、 2： 1に限 定されるものでな く、 例ぇば 3 : 2、 4 : 5等、 整数対整数の比率 でぁれば良く、 必ずしも周期的に偏位させる必要もなぃ。
第 5 a図〜第 5 c図は、 さらに別の実旛例を説明するためのス ロ ，ン ト孔幅方向の断面図を示すものでぁる。 第 5 a図は表扳 4 a のスロ ッ ト孔開ロ幅 を裏扳 4 bのス n ッ ト孔開ロ幅 £ :ょり小 さ く形成し、 ス α ッ ト孔の両倒に例ぇば 2 0 // mの差を設けて接 合した例を示すもので、 ！を 2 0 0 〃 m、 £ 2を 2 4 0 ; mと してぃる。 この場合の電子ビーム透遇率は表板 4 a のスロ ッ ト孔 にょってのみ影響を受ける。
第 5 b図は裏板 4 bを第 5 a図とは逆にして接合した例を示す もので、 この塲合の ¾子ビーム透過率も表板 4 aのスロ ッ ト孔に ょってのみ彩饗を受けることになる。
また、 第 5 c図は、 第 5 b図とは逆に表板 4 a のス D ッ ト孔開 ロ幅ょり惠板 4 bのスロ ッ ト幅を小さ く形成して接合した例を示 すもので、 この場合には電子ビーム透過率は裏扳 4 b スロ ッ ト 孔にょって影響を受ける。
なぉ、 スロ ツ ト孔の両側に設ける差は、 シャ ドゥマスクに蓉求 される解像度にょりスロ ッ ト孔の配列ビッチ、 スロ ッ ト孔開ロ幅 が変ゎるため、 5 〜 5 0 mに設定されることが多ぃ。
このょぅに、 接合する板体の対応するー方のスロ 'ン ト孔開ロ幅 を他方のスロ ッ ト孔開ロ幅ょり小さ く形成してぉく ことにょり、 ェッチングェ程等でスロ ッ ト幅の大きぃ、 一方の扳体のスロ ッ ト 孔の孔形状に歪が生じても、 従来のょぅに電子ビーム透遇率に彩 饗することがなぃため、 実用的にょり優れたシャ ドゥマズクが得 られることになる。
第 6 a図〜第 6 d図は、 第 5 a図〜第 5 c図同様スロ ッ ト孔輻 方向の断面図でぁり、 本発明に係る シャ ドゥマスクのさらに別の 実施例を示すものでぁる。 こ こでは、 接合する各板体のスロ ッ ト 孔開ロ幅を異ならしめることに加ぇ、 接合する板体の板 をも考 慮して、 さらに電子ビーム透過率への影響を少なく したもので、 接合する板体のぅ ち、 スロ ッ ト孔開ロ幅の小さな方の板体の板厚 を瑰く形成することで達成できる。
—般的に、 シャ ドゥマスクの製造にぉぃては、 板厚の？！ぃ方が ェッチング処理にょりスロ ッ ト孔を形成しても孔形状のバラッキ にょる透過ムラの発生が少なぃため、 板厚の薄ぃ扳体にスロ ッ ト 孔開ロ幅の小さぃスロ ッ ト孔を形成すると、 たとぇ板厚が厚ぃ板 体に透過ムラが発生しても、 両板体を接合した場合には板厚の厚 ぃ扳体の透過ムラがー体となったマスク板体の透過ム に彩 Sす ることがな く、 実用的にさ らに擾れたシャ ドゥマスクを得ること ができる。
実際にも板厚が 0 . 2 5 の板体を 2枚接合して形成したシャ ド ゥマスクょり、 0 . 2 aaと 0 . 3鷓の板 )1：の板体を接合したシャ ド ゥマスクのほぅが、 透退ムラは良妤でぁった。
なぉ、 第 5 a図〜第 5 c図、 第 6 a図〜第 6 d図にぉける実施 例は、 ¾子ビームが下から上に透過する場合を想定して図示され てぃる β
上記した実旌例では、 ー方側のブリ ッジが他方側のスロ ッ ト孔 を等分割にする場合にっぃて記載したが、 必ずしも等分割にする 必要はなく、 その接合方法等にっぃても、 適宜変形を加ぇて実旌 し得ることは云ぅまでもなぃ。
産業上の利用可能性
上述の說明からも明らかなょぅに、 カラー受像管のシャ ドゥマ スクに本発明は適用される。

Claims

請 求 の 範 囲
. マスク板体に磁苌のビームァパーチャを縱横に多数配列して 成り、 縱列方向の各ビームァバーチャ簡に介在するブリ ッジを, マスク扳体の表面側ぉょび裹面倒へ纏位させ、 かっ、 各ブリ ッ ジをマスク板休の厚さょりも薄く形成したスロ ト型シャ ドゥ マスクにぉぃて、 マスク扳体は表扳と裏扳とから り、 表扳ぉ ょび惠扳に 長のスロッ ト孔を! ¾横に配列して開孔し、 表扳俩 と裏扳倒との相互醐でー方側のブリ ツジが他方側のスロッ ト孔 を分割することにょり、 上記ビームァパーチャを形成するょぅ に、 表板と裏拫とを接合したことを特徴とするスロッ ト型シャ ドゥマスク，
. マスク扳体に縱長のビームァバ一チャを縦横に多数配列して 成り、 «[列方向の各ビームァパーチャ簡に介在するブリ ッジを マスク板休の表面側ぉょび裹面俩へ漏位させ、 かっ、 各ブリ ッ ジをマスク扳体の厚さょり も薄く形成したスロ ッ ト型シャ ドゥ マスクにぉぃて、 マスク扳体は表扳と裹扳とから成り、 表板ぉ ょび裏板に縱長のスロッ ト孔を縦横に配列して開孔し、 表扳俩 と裏扳側との相互間でー方倒のブリ ッジが他方俩のスロ V ト孔 を分割することにょり、 上記ビームァパーチャを形成するょぅ に、 表板と惠板とを接合するとともに、 ー方側のス u ッ ト孔の 開ロ幅を、 他方倒のスロ ト孔の開ロ幅ょり大き く したことを 特徴とするスロ ッ ト型シャ ドゥマスク
. マスク扳体に縦長のビームァパーチャを) ¾横に多数配列して 成り、 縦列方向の各ビームァパーチャ間に介在するブリ ッジを, マスク扳体の表面俩ぉょぴ裏面儒へ餳位させ、 かっ、 各ブリ ッ ジをマスク扳体の厚さょり も薄く形成したスロ ッ ト型シャ ドゥ マスクにぉぃて、 マスク板体ば表板と裏扳とから成り、 表板ぉ ょぴ襄接に! ¾長のスロ ト孔を搽検に配列して開孔し、 表扳俚 と赢扳 «との相 S閼で一方價のブリ ッジが他方側のスロッ ト孔 を分 することにょり、 上 32ビームァバーチャを形成するょぅ に、 表板と裏扳とを接合するとともに、 表板もしくは裹板のぃ ずれかー方の板厚を他方ょり瑰く構成したことを特徵とするス σ -ノ ト型シャ ドゥマスク，
4 . マスク扳体に縦長のビ一ムァパーチャを縱横に多数 K列して 成るス c ッ ト型シャ ドゥマスクにぉぃて、 マスク扳体は表板と 裏板とから成り、 表扳もしく ば裏板のぃずれかー方の板厚を他 方ょり瑰く橼成し、 かっ瑰ぃ板厚の板体のスロッ ト孔 Mロ辍を、 他方の扳対のス口ッ ト孔開ロ幔ょり小さ く したことを特徴とす るスロッ ト型シャ ドゥマスク ·
5 , マスク板体に縱長のビームァパーチャを縱横に多数配列して 成り、 接列方向の各ビームァバーチャ閟に介在するブリ ッジを、 マスク板体の表面側ぉょび裹面僳へ偏位させ、 かっ、 各ブリ ッ ジをマスグ扳休の厚さょりも薄く形成したス α ツ ト型シャ ドゥ マスクにぉぃて、 マスク扳体は表扳と赢扳とから成り、 表抿ぉ ょび裏扳に糍長のス α V ト孔を «横に配列して開孔し、 ¾板俩 と塞扳侧との栴互間でー方佣のブリ ッジが他方倒のスロッ ト孔 を分割することにょり、 上記ビームァバ一チャ.を形成するょぅ に、 表扳と裏扳とを接合するとともに、 表板もしぐは裏扳のぃ ずれかー方の扳厚を他方ょり薄く構成し、 かっ瑰ぃ板厚の扳休 のスロ ッ ト孔開ロ幅を、 他方の扳休のスロ ッ ト孔 1Wロ權ょり小 さ く したことを特微とするスロッ ト型シャ ドゥマスク。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5180322A (en) * 1990-08-22 1993-01-19 Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. Manufacturing process of shadow mask and shadow mask plate therefor

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08287841A (ja) * 1995-02-13 1996-11-01 Nec Kansai Ltd シャドウマスク型カラー陰極線管
US5686784A (en) * 1995-03-13 1997-11-11 Wickeder Westfalenstahl Gmbh Composite shiftable aperture mask
JP2002197989A (ja) * 2000-12-25 2002-07-12 Toshiba Corp カラー受像管
KR20030002947A (ko) * 2001-07-03 2003-01-09 엘지전자 주식회사 풀칼라 유기 ｅｌ 표시소자 및 제조방법
US20030143469A1 (en) * 2001-11-30 2003-07-31 Sage Thomas R. Grade tie bar only (GTO) and graded grade tie bar only (GGTO) aperture masks
AU2002359547A1 (en) * 2001-11-30 2003-06-17 Bmc Industries, Inc. Tie bars only on the grade side of aperture masks
JP2003346675A (ja) * 2002-05-30 2003-12-05 Toshiba Corp カラー陰極線管
JP2004071322A (ja) * 2002-08-06 2004-03-04 Toshiba Corp カラー陰極線管およびその製造方法
KR100525819B1 (ko) * 2003-05-06 2005-11-03 엘지전자 주식회사 유기 이엘 디스플레이 패널 제조용 새도우 마스크

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4979170A (ja) * 1972-12-02 1974-07-31
JPS49131676A (ja) * 1973-04-21 1974-12-17
NL7600418A (nl) * 1976-01-16 1977-07-19 Philips Nv Werkwijze voor het vervaardigen van een kleuren- beeldbuis, kleurenbeeldbuis vervaardigd volgens de werkwijze en inrichting voor het uitvoeren van de werkwijze.
FR2429219A1 (fr) * 1978-06-22 1980-01-18 Parcor Medicament a base de derives de la thienopyridone ou de la furopyridone
US4293792A (en) * 1979-12-18 1981-10-06 Rca Corporation Color picture tube having improved slit type shadow mask
JPS5844645A (ja) * 1981-09-10 1983-03-15 Toshiba Corp カラ−受像管用マスクの成形法
US4734615A (en) * 1985-07-17 1988-03-29 Kabushiki Kaisha Toshiba Color cathode ray tube
DE3919332C2 (de) * 1988-06-17 1994-06-23 Mitsubishi Electric Corp Lochmaske für eine Farbbildröhre

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP0360868A4 *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5180322A (en) * 1990-08-22 1993-01-19 Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. Manufacturing process of shadow mask and shadow mask plate therefor

Also Published As

Publication number Publication date
EP0360868A4 (en) 1991-07-24
KR900701028A (ko) 1990-08-17
US5079477A (en) 1992-01-07
EP0360868A1 (en) 1990-04-04
KR930000551B1 (ko) 1993-01-25

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