WO1994007344A1 - Organic luminescent element and its substrate - Google Patents

Description

明 細 書

有機発光素子と そ の基板

技術分野

本発明は 、 表示素子、 通信用発光デバイ ス 、 情報フ ァ ィ ル用読ノ書へ ッ ド 、 印刷装置な どに利用 さ れる有機発 光素子お よ びそれ に用い る基板に 関す る 。

背景技術

従来の有機発光素子は、 例え ば、 酸化錫イ ン ジ ウ ム等 の透明電極 を有す る 透明基板間 に 、 有機発光体と 電気絶 縁性の結合剤と か ら なる発光体 を介在 さ せ、 前記電極の 陽極電極と 発光体域と の間 にポルフ ィ リ ン系化合物層 を 形成 し た有機エ レ ク ト ロ ル ミ ネセ ンスセルが提案さ れて レ、 る （特開昭 5 7 — 5 1 7 8 1 号公報 ） 。 該有機エ レ ク ト ロ ル ミ ネセ ンスセルは、 両電極間 に 印加さ れる信号電 界に基づき 、 ポルフ ィ リ ン系化合物か ら なる 正孔注入体 に よ リ 正孔が注入 さ れて 、 発光す る も のであ る 。

こ う し た有機薄膜 を用い た発光素子は安価 に提供で き る と 云 う 特長 を有 し て い る が、 スぺク トルの半値幅が広 レ、 ため に用途は表示ノ ネル に 限 ら れ、 ま た、 各材料毎 に 各一色の発光 し か得 られな い ため 、 単一材料で は単色の ディ ス ブ レ イ し か作製で き なか っ た。

発明の開示 本発明の 目 的は、 スぺク トル幅 と発光特性を 改善 し た 有機発光素子 を提供する こ と に あ る 。

ま た、 本発明の他の 目 的は、 上記有機発光素子用 の基 板を提供す る こ と に あ る 。 前記課題 を解決す る本発明 の要旨は次の と お り であ る 。

( 1 ) 発光機能 を有す る有機薄膜か ら な る発光層 と . 該発光層の両面に設けた反射鏡と で微小光共振器が構成 さ れ、 該微小光共振器は発光可能に構成 さ れて い る 有機 発光素子。

( 2 ) 透明基体上に半透明反射層 を有 し 、 該半透明 反射層上に透明導電層が配置さ れ、 該透明導電層上に有 機薄膜か ら な る発光層が設け られて お り 、 そ の上に電極 が形成さ れた有機発光素子で あ っ て、 前記半透明反射層 は発光層で の発光の 1 部 を透明基体側 に透過 し 、 発光の 1 部 を発光層側に反射する反射機能を有 し、 該半透明反 射層は発光層背面の電極と の間で光共振器と し て作用す る よ う 構成さ れて い る有機発光素子。

( 3 ) 透明基体上に半透明反射層 を有 し 、 該半透明 反射層上に透明導電層が配置 さ れ、 該透明導電層上にホ ール注入層、 有機薄膜か ら な る 発光層 、 電子注入層が順 に設け られて お り 、 そ の上 に電極が形成 さ れ た有機発光 素子で あ っ て 、 前記半透明反射層 は発光層で の発光の 1 部 を透明基体側に透過 し 、 発光の 1 部 を発光層側に反射 する反射機能 を有 し 、 該半透明反射層 は発光層背面の電 極と で光共振器と し て作用する よ う 構成 さ れて い る 有機 発光素子。

( 4 ) 前記半透明反射層 と 発光層背面の電極と で生 じ る 反射光の位相の シフ ト を A ラ ジア ン と す る と き 、 半 透明反射層 と 発光層背面の電極と の間の光学的距離 L が

(整数一 Α 2 π ) 倍 〔但 し 、 S < ( 2 L ) < T で あ り ， S ， T は、 前記半透明反射層 を持たな い発光素子の発光 スぺク トル に おける発光強度が最大強度の 1 2 と な る 波長 を示す。 〕 で あ る前記有機発光素子。

( 5 ) 前記半透明反射層 と 発光層背面の電極と で生 じ る反射光の位相 の シフ 卜 が Aラ ジア ン と す る と き 、 半 透明反射層 と 発光層背面の電極と の間の光学的距離 し が

〔取出す光の ピー ク 波長 X (整数一 Α Ζ 2 π ) / 2 ] の 長さ の 0 . 9 〜 1 . 1 倍で あ る前記有機発光素子。

例え ば、 共振器と して の光学的距離が発光波長の 2 倍， 3 倍， … η倍 と整数倍の場合、 ま たは 1 Ζ 2 ， 3 / 2 , …な ど半整数倍の場合に も 同様に共振の効果 を得る こ と がで き る 。

( 6 ) 前記半透明反射層が誘電体の多層膜で あ る前 記有機発光素子。 ( 7 ) 前記透明導電層 、 ホール注入層、 発光層 お よ び電子注入層 の各層 の厚 さ と それぞれの屈折率と の積で 表さ れる光学的距離の和が、 発光の ピーク 波長と 同 じ も し く は近似 し て い る前記有機発光素子。

( 8 ) 前記半透明反射層がパタ ーニ ン グに よ り 発光 取出 し窓 を有する金属製全反射膜であ る 前記有機発光素 子。

( 9 ) 前記半透明反射層が、 反射率が 5 ひ 〜 9 9 . 9 % ま たは透過率が 5 0 〜 0 . 1 %で あ る 前記有機発光 素子。

( 1 0 ) 透明基板と 、 その上に光の一部 を透過 し 、 一部 を反射す る誘電体の多層膜か ら な る 半透明反射層 を 備え 、 該半透明反射層上に透明導電膜 を有す る 有機発光 素子用基板。

( 1 1 ) 透明基板と 、 その上に誘電体の多層膜か ら なる半透明反射層 を有 し 、 該半透明反射層の反射率が 5 0 〜 9 9 . 9 % ま たは透過率が 5 0 〜 0 . 1 % で あ る 有機 発光素子用基板。

( 1 2 ) 透明基板と 、 そ の上 に透明導電膜と 透明絶 縁膜と を積層 し た半透明反射層 を備え 、 該半透明反射層 上に透明導電膜を有する有機発光素子用基板。

な お、 前記透明基体と し て は、 透明 な石英、 ガラ ス ま たは プラ スチ ッ ク か ら選ばれる透明基板が望 ま し い。 本発明 に おいて は 、 透明電極と 基板と の間 に半透明反 射膜 を設置 し 、 該反射膜 と 背面電極と の 間の光学的距離 を発光波長のそれ と 同 じ か、 ま た はそ の整数倍と し た こ と に よ り 、 素子内部を光の微小共振器と する こ と がで き る 。 それに よ つ て 、 発光スぺク トルの半値幅が縮小 さ れ る 。

ま た、 発光効率が向上 し 、 可干渉光が発生す る な ど、 発光特性を 向上で き る 。

図面の簡単な説明

図 1 は、 本発明の一実施例の発光素子の構造 を示す模 式断面図で あ る 。

図 2 は、 従来の発光素子の構造 を示す模式断面図で あ る 。

図 3 は、 図 1 の素子と 図 2 の素子と の発光スペク トル の比較図で あ る 。

図 4 は、 本発明の一実施例の半透明反射膜 を有する発 光素子の共振器部分の光学的な距離と 発光スぺク トルの 半値幅の関係 を示す グラ フ で あ る 。

図 5 は、 半透明反射膜のあ る素子か ら 取 り 出 さ れる 発 光の ピーク 波長と 共振器の光学的距離と の関係 を示す グ ラ フ で あ る 。 図 6 は、 本発明の一実施例の発光素子の構造を示す模 式断面図で あ る 。

図 7 は、 有機蛍光膜 （ アル ミ キ レー ト ） の膜厚 と 発光 スぺク トルの関係 を示すスぺク トル図で あ る。

発明 を実施す る ため の最良の形態

〔実施例 1 〕

図 1 は、 本発明の一実施例の発光素子の構造 を示す模 式断面図で あ る 。

硝子基板 1 上に 、 丁 1 0₂膜と 3 1 0₂膜と を積層 し た 半透明反射膜 2 が形成さ れてい る 。 該半透明反射膜 2 上 に、 透明導電膜 （ I ndium T in O xide ： I T O

膜） 3 を形成 し 、 そ の上に ト リ フ エ 二ルジァ ミ ン誘導体 ( T A D ) か ら な る ホール注入層 4 、 アル ミ キ レ ー ト の 発光層 5 、 ォキ シ ジァ ゾ一ル誘導体 （ P B D ) の電子注 入層 6 、 A g — M g 金属電極 7 が順次形成さ れて い る 。 な お、 透明導電膜 3 、 ホール注入層 4 、 発光層 5 お よ び 電子注入層 6 のそれぞれの膜厚 と屈折率 と の積か ら得 ら れる 光学的距離の和は、 アル ミ キ レー 卜 のエ レ ク ト ロ ル ミ ネセ ン 卜 （ E L ) 発光の ピー ク 波長で あ る 5 3 O n m と 一致さ せる 。 こ れに よ つ て本発明の共振器が構成 さ れ る 。

図 1 に おいて 、 ホール注入層 4 お よ び電子注入層 6 は、 高性能な特性 を 要求 し な い場合 に は必須で は な く 、 こ れ ら の いずれか ま た は両方 を 省略 し て用 い る こ と がで き る < そ の際 に は 、 透明導電膜 3 か ら ホ ールが注入 さ れ、 ま た 、 金属電極 7 か ら 電子が注入 さ れ 、 本発明 の発光素子が得 ら れ る が、 ホ ール注入層 4 お よ び電子注入層 6 を 設 け た 方が よ り 好 ま し い 。

前記半透明反射膜 2 の反射率 は発光層 5 の材料の性能 と 、 素子の用途に よ っ て 選択 さ れ る 。 そ の反射率の上限 は光共振器が 自 己破壊す る こ と な く 蓄積で き る エネル ギ 一の 限界 に よ リ 制 限 さ れ る 。 透過率で 5 0 〜 0 . 1 % 、 反射率で 5 0 〜 9

9 . 9 % で あ る 。 少 な く と も 1 0 W Z c m ² の 出射光 を 得る た め に は 、 取 り 出す光の透過率で 0 . 1 % よ リ は小 さ く で き な い 。 ま た 、 反射率で は 9 9 . 9 % が限度で あ る 。 反射率 を 小 さ く し過 ぎ る と 光共振器 と し て の性質 を 失 う た め 、 5 0 % を 下廻 る 反射率 の も の を用 い る と 、 十 分な ス ぺ ク ト ル幅 の減少 を 得る こ と がで き な い 。

上記 に お い て発光層 5 と し て は アル ミ キ レ 一 ト を 用 レヽ たが、 ペ リ レ ン誘導体、 ペ リ ノ ン誘導体、 ナ フ タ レ ン誘 導体 ， ク マ リ ン誘導体 ， ォ キサ ジ ァ ゾール， ビスべ ン ゾ キサ ゾ リ ン ， アル ダ ジ ン ， ピラ ジ ン誘導体， ジ ス チルべ ンゼ ン 誘導体 ， ポ リ フ エ ニル誘導体， ビス ス チルア ン ト ラ セ ン誘導体， キ レ ー ト金属錯体等が用 い ら れる 。

上記の有機薄膜は蒸着、 塗布、 化学反応 に よ る成長、 ラ ン グ ミ ュ ア · ブロ ジ ェ ッ ト法等に よ り 作製す る こ と が で き る 。 ま た 、 複数の有機材料を混合 し て用い る こ と も で き る 。

図 2 は、 従来構造の有機 E L 素子の構造を示す模式断 面図で あ る 。 即ち 、 図 1 の構造か ら半透明反射膜 2 を 除 い た構造と な っ て い る 。

図 3 は、 図 1 の素子と 、 図 2 の素子の、 発光スぺク 卜 ルを比較 し たスぺク 卜ル図であ る 。 図 1 の素子のスぺク トル Aは、 図 2 の素子のスぺク トル B よ り 半値幅が小 さ い。 こ れは、 半透明反射膜 2 に よ っ て 、 素子内部で発光 を共振さ せる こ と に よ り 、 共振周波数の電磁波 を選択的 に発生 さ せた結果に よ る も ので あ る 。 こ の よ う に 、 発光 を共振さ せる こ と に よ り 、 発光スペク ト ルの半値幅の減 少、 発光効率の向上、 可干渉光の発生な どの効果を得る こ と がで き る 。 こ の共振器の共振器部分の光学的な距離 を発光波長に よ り 近 く 合わせる こ と に よ り 、 よ り 大き な 効果を得る こ と がで き る 。

図 4 は、 上記共振器部分の光学的な距離と 、 発光スぺ ク トルの半値幅の関係を示す グラ フ で あ る 。 こ れは 、 図 1 の素子構造に おいて 、 ホール注入層 4 の膜厚のみ を変 え た素子 を用 いて測定 し た結果で 、 半透明反射膜 2 の無 い場合の半値幅を 1 0 0 と し て い る 。 光学的距離が発光 の ピー ク 波長 と 一致する 5 3 0 n m付近で最も 半値幅が 小さ く 、 5 3 O n mか ら外れる に従っ て急速 に大き く な る 。 図 3 の半透明反射膜 2 がな い素子 （ スペク トル B ) では、 発光強度が 5 3 0 n m の発光強度の約 1 Z 2 に な る波長は 4 8 O n m と 5 8 O n m であ る こ と が分か る 。 こ の範囲は、 図 4 に お い て半値幅の減少が見 ら れる範囲 と対応 し て い る 。

図 5 に 、 半透明反射膜 2 を有す る素子か ら取 り 出 さ れ る発光の ピー ク 波長と 、 共振器の光学的距離と の関係 を 示 し た。 共振の効果と し て 、 光学的な距離が 5 3 O n m か ら ずれる と 、 取 り 出 さ れる発光も そ の ピーク 波長が 5 3 O n mか ら ずれる と 云 う 現象が生 じ る 。 ずれがあ る値 以上 に大き く な る と 、 共振に 由来 し た発光は殆 ど生 じ な く な リ 、 全発光の ピーク は半透明反射膜 2 のな い と き の ピー ク 波長で あ る 5 3 0 n m に近づ く 。

図 5 の結果か ら 、 共振効果が得 られる のは、 光学的な 距離が取 り 出 さ れる発光の ピーク 波長の 0 . 9 〜 1 . 1 倍 の範囲 に あ る 時で あ る 。 こ の範囲は、 図 4 に おいて 半値 幅の減少が見 られる波長領域と 対応 し て いる 。

本実施例 に おい て は、 発光層材料と し てアル ミ ニ ウ ム キ レ ー ト を単体で用い たが、 電子 一ホール結合に よ リ 発 光を示す有機材料であれば、 単体に限 ら ず、 混合体や積 層構造でも用い る こ と がで き る 。

ま た、 共振 し た発光を 安定さ せる ため には、 素子の温 度 を一定に保つ機構を設け る こ と が重要であ る 。

素子構造や半透明反射膜 2 の構成材料に よ っ て、 透過 率お よ び反射率の最適値が異な る が、 吸収率につい て は 0 に近い ほ ど望ま し い。

半透明反射膜 2 と して は、 パタ ーニ ン グを施 し 、 一部 に発光 を取 り 出す窓 を有す る金属の全反射膜 を用い る こ と も で き る 。 ま た、 横方向 に発光が漏れに く い素子構造 と す る こ と に よ り 、 発光特性を更に 向上する こ と がで き る 。

本実施例で は、 共振器と し て の光学的距離が発光波長 と 同 じ場合について説明 し たが、 理論的 には発光波長の 2 倍， 3 倍， … n 倍と整数倍の場合、 及び 1 2 ， 3 / 2 ， … な ど半整数倍の場合に も 同様の共振の効果を得る こ と がで き る 。

ま た、 本実施例で は、 上下の鏡面で の反射に よ る光の 位相 シ フ ト の総計が 0 ま た は 1 波長で あ る場合につ いて 示 し て い る が、 金属面で 1 2 波長シ フ ト し 、 半透明反 射膜で波長シ フ ト がない素子構成の場合は、 光学的距離 が発光波長の 1 ノ 4 ， 3 / 4 , 5 ノ 4 、 ……倍の時に共 振さ せる こ と がで き る 。

し か し 、 実際の素子において は 、 素子作成 に 由来 し て 共振の生ずる鋭さ に ぼや けが生ずる 。 そ の た め に上記効 果は膜厚が小 さ い ほ ど鋭 く 、 倍数が大 き く な る に従 っ て 共振の 出方が不明瞭と な る の で 、 1 0 倍程度が実用上の 限界で あ る 。

本実施例の構造の素子は 、 電荷注入 に よ り 電界発光を 生 じ さ せ、 ま た、 透明基板側か ら 照射す る光 に よ り 発光 層 に螢光 を発生さ せて、 電界発光と 同様の半値幅の狭い 発光スペク トルを生 じ さ せる こ と がで き る 。 こ の場合に は、 透明電極お よ び発光層以外の有機薄膜は省略す る こ と も 可能で あ る 。

〔 実施例 2 〕

図 6 に光励起に よ る発光 を利用 し た共振器素子の模式 断面図 を示す。

全反射金属膜 8 と T i 0 ₂ノ S i 0 ₂ の積層体か ら な る 半透明反射膜 2 と の間に 、 有機蛍光薄膜 9 と し てアル ミ キ レ ー ト が挾 ま れ た構造に形成 し た。 こ れに 、 半透明反 射膜 2 側か ら 波長 4 0 6 n m の光 を照射する こ と に よ り 有機蛍光薄膜 9 か ら 可視光 を取 り 出す こ と がで き る 。

図 7 に前記有機蛍光薄膜 （ アル ミ キ レ ー ト ） の膜厚 と 発光スペク トルの関係を示す。 アル ミ キ レー ト の膜厚 に よ り 発光 ピーク の位置、 半値幅、 強度 を変え る こ と がで き る 。 ま た、 半透明反射膜の反射特性 を変え る こ と に よ つ て も 発光スぺク トルの形状を変え る こ と がで き る 。

本発明の有機発光素子は、 光共振器の効果に よ り 発光 スぺ ク トルの半値幅の縮小、 発光効率の 向上、 可干渉光 の発生な ど発光特性を 向上する こ と がで き る 。

上記有機発光素子は、 こ れ ま で の G a A s ， S i C , Z n S e 等の無機半導体に よ り 作製さ れて き た発光ダイ オー ドや半導体レ ーザ一の代替と して用いる こ と がで き 光通信素子、 情報表示パネル、 光記録フ ァ イ ルの読み 書き用へ ッ ド、 レ ーザ一プ リ ン タ の光へ ッ ド と して の利 用が可能で あ る 。

Claims

請求の範囲

1 . 発光機能を有する 有機薄膜か ら な る発光層 と 、 該 ■ 発光層 の両面 に設け た反射鏡と で微小光共振器が構成さ れ、 該微小光共振器は発光可能 に構成 さ れて い る こ と を 特徴と す る有機発光素子。

2 . 透明基体上に半透明反射層 を有 し 、 該半透明反射 層上に透明導電層 が配置 さ れ、 該透明導電層上に有機薄 膜か ら な る発光層 が設け ら れて お り 、 そ の上 に電極が形 成さ れ た有機発光素子で あ っ て 、 前記半透明反射層 は発 光層 で の発光の 1 部を透明基体側 に透過 し 、 発光の 1 部 を発光層側に反射す る反射機能 を有 し 、 該半透明反射層 は発光層背面の電極と の間で光共振器と し て作用す る よ う 構成さ れて いる こ と を特徴と す る有機発光素子。

3 . 透明基体上に半透明反射層 を有 し 、 該半透明反射 層上 に透明導電層が配置 さ れ、 該透明導電層上にホール 注入層 、 有機薄膜か ら な る発光層 、 電子注入層が順に設 け ら れて お り 、 そ の上に電極が形成さ れた有機発光素子 であ っ て 、 前記半透明反射層は発光層で の発光の 1 部 を 透明基体側に透過 し 、 発光の 1 部 を発光層側 に反射す る 反射機能を有 し 、 該半透明反射層 は発光層背面の電極と で光共振器と して作用す る よ う 構成さ れて い る こ と を特 徴と す る有機発光素子。

4 . 透明基体上 に 半透明反射層 を 有 し 、 該半透明反射 層上 に 透明導電層 が配置 さ れ、 該透明導電層 上 に ホ ール 注入層 、 有機薄膜か ら な る 発光層 が設 け ら れて お り 、 そ の上 に電極が形成 さ れ た有機発光素子 で あ っ て 、 前記半 透明反射層 は発光層 で の発光の 1 部 を 透明基体側 に透過 し 、 発光の 1 部 を 発光層側 に反射す る 反射機能 を 有 し 、 該半透明反射層 は発光層 背面の電極 と で 光共振器 と し て 作用す る よ う 構成 さ れて い る こ と を特徴 と す る 有機発光 素子。

5 . 透明基体上 に 半透明反射層 を有 し 、 該半透明反射 層上 に 透明導電層 が配置 さ れ、 該透明導電層 上 に有機薄 膜か ら な る 発光層 、 電子注入層 が順 に 設 け ら れて お り 、 そ の上 に電極が形成 さ れ た有機発光素子で あ っ て 、 前記 半透明反射層 は発光層 で の発光 の 1 部 を 透明基体側 に 透 過 し 、 発光 の 1 部 を 発光層側 に 反射す る 反射機能 を 有 し 該半透明反射層 は発光層 背面の電極 と で 光共振器 と し て 作用す る よ う 構成 さ れて い る こ と を特徴 と す る 有機発光 素子。

6 . 前記半透明反射層 と 発光層 背面の電極 と で生 じ る 反射光の位相 の シ フ 卜 を A ラ ジ ア ン と す る と き 、 半透明 反射層 と 発光層背面の電極 と の 間 の光学的距離 カ （ 整 数一 Α / 2 π ) 倍 〔 但 し 、 S く （ 2 L ) く Τ で あ り 、 S , T は 、 前記半透明反射層 を持た な い発光素子の発光スぺ ク ト ル に お け る発光強度が最大強度の 1 / 2 と な る 波長 を示す。 〕 で あ る 請求の範囲第 2 項乃至第 5 項のいずれ か に記載の有機発光素子。

7 . 前記半透明反射層 と 発光層背面の電極と の間の光 学的距離が、 取出す光の ピーク 波長の 0 . 9 〜 1 . 1 倍 ま たはそ の整数倍で あ る請求の範囲第 2 項乃至第 5 項のい ずれか に記載の有機発光素子。

8 . 前記半透明反射層 と 発光層背面の電極と で生 じ る 反射光の位相の シ フ ト が Αラ ジア ン と する と き 、 半透明 反射層 と 発光層背面の電極と の間の光学的距離 L が 〔取 出す光の ピー ク 波長 X (整数一 Α Ζ 2 π ) / 2 ] の長さ の 0 . 9 〜 1 . 1 倍で あ る 請求の範囲第 2 項乃至第 5 項の いずれか に記載の有機発光素子。

9 . 前記透明導電層、 ホール注入層 、 発光層 お よ び電 子注入層 の各層の厚 さ と それぞれの屈折率と の積で表さ れる 光学的距離の和が、 発光の ピーク 波長と 同 じ も し く は近似 し て い る請求項 3 に記載の有機発光素子。

1 0 . 前記半透明反射層 が誘電体の多層膜で構成 さ れ て い る 請求の範囲第 2 項乃至第 5 項のいずれか に記載の 有機発光素子。

1 1 . 前記半透明反射層 が発光取出 し窓 を有する金属 製全反射膜で構成 さ れて い る 請求の範囲第 2 項乃至第 9 項のいずれか に記載の有機発光素子。

1 2 . 前記半透明反射層 の反射率が 5 0 〜 9 9 . 9 % ま たは透過率が 5 0 〜 0 . 1 % であ る 請求の範囲第 2 項 乃至第 1 0 項のいずれか に記載の有機発光素子。

1 3 . 透明基板と 、 そ の上 に光の一部 を透過 し 、 一部 を反射する誘電体の多層膜か ら な る半透明反射層 を備え、 該半透明反射層上 に透明導電膜 を有す る こ と を特徴と す る有機発光素子用基板。

1 4 . 透明基板と 、 そ の上に誘電体の多層膜か ら な る 半透明反射層 を備え 、 該半透明反射層上に透明導電膜 を 有 し 、 前記半透明反射層 の反射率が 5 0 〜 9 9 . 9 % ま たは透過率が 5 0 〜 0 . 1 % で あ る こ と を特徴と す る有 機発光素子用基板。

1 5 . 透明基板と 、 そ の上に透明導電膜と 透明絶縁膜 と を積層 し た半透明反射層 を備え 、 該半透明反射層上 に 透明導電膜 を有す る こ と を特徴と する有機発光素子用基 板。

1 6 . 前記透明基板が石英、 ガラ ス ま たは プラ ス チ ッ ク か ら な る 透明基板であ り 、 前記半透明反射層上に透明 導電膜がパタ ーニ ン グさ れて い る 請求の範囲第 1 3 項乃 至第 1 5 項の いずれか に記載の有機発光素子用基板。