WO1994008219A1 - Verfahren zur bestimmung der verformbarkeit der oberfläche eines prüfkörpers - Google Patents

Verfahren zur bestimmung der verformbarkeit der oberfläche eines prüfkörpers

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WO1994008219A1
WO1994008219A1 PCT/DE1993/000827 DE9300827W WO9408219A1 WO 1994008219 A1 WO1994008219 A1 WO 1994008219A1 DE 9300827 W DE9300827 W DE 9300827W WO 9408219 A1 WO9408219 A1 WO 9408219A1
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    • G01N2203/02—Details not specific for a particular testing method
    • G01N2203/026—Specifications of the specimen
    • G01N2203/0286—Miniature specimen; Testing on microregions of a specimen

Definitions

  • the invention relates to a method for determining the deformability of the surface of a test specimen, in which a height profile of a track is first measured with a probe that is loaded as little as possible, the same track is then traversed with a loaded body penetrating into the test specimen, and finally the lightly loaded button moves along the track and records a height profile.
  • DE-OS 39 26 676 it is proposed to measure the penetration depth of a probe into a test specimen as a function of the normal force and to use it for hardness testing.
  • the probe can also be guided over the surface of the test specimen and penetrated in a scratchy manner. Since only the position of the loaded pushbutton is measured, this method enables only the sum of the elastic and the plastic deformations to be recorded.
  • the invention is based on the problem of creating a method for determining the deformability of the surface of a measurement object, which method involves a detailed examination of the elastic and plastic deformation. mations and the physical processes and forms of energy involved.
  • the problem is solved in that the probe penetrates the test specimen
  • the height profile of the track of the loaded button is registered and on the one hand the difference from the last and the first measured height profile and on the other hand the difference from the last and the recorded height profile under load are displayed.
  • the main idea is to first record a height profile on the surface of the measurement object with a button, then to travel the same profile with the button that is now under load, and finally to record a height profile with the button, which in turn is under little load, in order subsequently to form a difference of the recorded profiles on the one hand to display the irreversible and on the other hand the reversible deformations.
  • the plastic deformations correspond to the difference between the height profiles recorded before and after the Ritz process without load, while the difference between the height profile measured last and under load is equivalent to the elastic deformations.
  • the load on the button during the recording of the first and last height profile should be kept sufficiently low so that no deformation of the test specimen and thus no falsification of the measured values are to be feared. Because the button is also used to generate the scoring track is used, it is ensured that the track subsequently recorded - without loading - coincides with the scoring track. If, on the other hand, the button were wider than the indenter, it would not cover the bottom of the track created; however, if it were narrower, it would follow a path that cannot be reproduced, since a lateral guide is missing.
  • the advantages of the invention consist primarily in the fact that both the reversible and the irreversible deformations of the test object are detected in a spatially resolving manner along the same path.
  • the method is particularly suitable for materials with a spatially varying composition and thus locally different hardnesses, such as, for example, composite materials or coated components.
  • the choice of the load and the speed of the probe proves to be problematic. If both are constant, the depth of penetration in particularly hard or soft areas becomes so small or large that it is not possible to make a definite statement about the deformability of the test specimen. It is therefore proposed to vary the load on the probe during penetration into the test specimen. Since the depth of penetration at constant load and high speed is less than with a loaded probe slowly guided over the test specimen, there is an alternative or additional gave the opportunity to change its speed. In particular, the speed and / or the loading force can be regulated in such a way that there is a constant depth of penetration.
  • the mechanical energy to be used for this is also of interest. Based on the local energy conversions during the deformation process, conclusions can be drawn about the breaking strength and the heat transport behavior of the test specimen. It is therefore advisable to measure and record the force and / or power required for moving the loaded probe along the path relative to the measurement object.
  • Another advantage is that the friction constant ⁇ can be determined on the basis of the normal and tangential force.
  • the power to be used for moving the button can easily be determined on the basis of the electrical power consumption of its drive unit, while the force is calculated, for example, on the basis of the speed of the button and the power to be used.
  • the force and / or power to be used for the relative movement are expedient as a control variable for the speed and / or load of the button.
  • the control takes place, for example, in such a way that the depth of penetration or the force or power are kept constant.
  • the loading is carried out with a static or slowly varying preload and a superimposed, periodically acting, smaller alternating force.
  • the local material structures such as for example the elasticity constants (Young's modulus etc.) can be obtained.
  • a disadvantage of known methods for determining hardness is that they do not allow any conclusions to be drawn about the local viscoelastic flow behavior.
  • information about such material properties would be desirable, since considerable differences in the viscoelasticity between the matrix and the filler can often be detected. It is therefore preferred that the penetration track is measured several times after it has been traversed with the loaded button. This can be done on the basis of the time dependence of the geometric changes, in particular the height profile viscoelastic behavior are examined in detail. Repeated scanning without loading reveals the recovery of the elastic component as a function of time. This makes it possible to determine when the regression has come to an end.
  • the local abrasion resistance of the test specimen is also of interest, it is recommended to repeat the deformation process under the same or different conditions until no further changes in the penetration depth or the material properties can be demonstrated.
  • the number of traversing cycles to be carried out under load serves as a measure of the local abrasion and scratch resistance of the test specimen.
  • a layer consisting of fat or oil is arranged between two bodies rubbing against each other. It has therefore proven to be expedient to introduce solid particles or a fluid or a solid suspension in a fluid between the loaded probe and the measurement object in order to be able to transfer the measured hardness or friction values directly to specific applications.
  • the deformed area is optically observed from at least two positions simultaneously, a three-dimensional reconstruction of the deformation process can take place from the registered images. This makes it possible, for example, to analyze the local material shifts depending on the location.
  • the physical processes accompanying the deformation process are advantageously recorded and registered. These include, for example, the triboluminescence emitted in the visible wavelength range, or the like by a video camera. can be recorded.
  • the heating of the test specimen and / or the sters can be recorded with spatial resolution in order to determine the proportion of the mechanical energy converted into heat. Sensors that detect infrared and / or ultra-infrared emissions are used for this purpose. However, the temperature can also be adjusted by suitable, sufficiently small heat sensors, such as thermocouples or the like. be measured directly on the surface of the test specimen.
  • the sound and vibration phenomena recorded and registered during the deformation process can provide information about local material properties and reactions to the loaded probe.
  • the deformation and measurement process can be carried out under reduced air pressure or under a gas or steam atmosphere in order to improve the reproducibility and the exclusion of unknown environmental influences falsifying the measured values.
  • a constant temperature is also suitable for increasing the reproducibility of the measured values.
  • buttons i.e. its path, speed and load as well as to record the measured values.
  • Figure 2 shows a test specimen with a loaded
  • Figure 5 shows the elastic and the overall deformability
  • the one track (3) on the test specimen (1) traversing, lightly loaded button (2) is shown.
  • the surface of the test specimen (1) has a step approximately in the middle.
  • the button (2) is moved from left to right.
  • FIG. 2 shows the button (2) loaded with a weight (4) when a second height profile (5) is received. Due to the load on the probe (2) penetrating the test specimen (1), the height profile (5) is significantly lower than the original one (3), especially in the area to the right of the step.
  • FIG. 4 shows the difference (7) from the last (6) and the initially measured height profile (3); it corresponds to the plastic, i.e. the irreversible deformability.
  • FIG. 5 shows the difference (8) from the (5) measured under load and the original height profile (3); it corresponds to the overall deformability, that is to say the sum of plastic and elastic deformations.
  • the difference (9) from the last (6) and the height profile (5) recorded under load is shown; it corresponds to the elastic deformations.

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Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Bestimmung der Verformbarkeit der Oberfläche eines Prüfkörpers (1), bei dem zunächst ein Höhenprofil (3) einer Spur mit einem möglichst gering belasteten Taster (2) vermessen wird, dieselbe Spur anschließend mit einem in den Prüfkörper (1) eindringenden, belasteten Körper abgefahren wird, und schließlich der gering belastete Taster (2) entlang der Spur fährt und ein Höhenprofil (6) aufnimmt, wobei der Taster (2) der in den Prüfkörper (1) eindringende Körper ist, auch das Höhenprofil (5) der Spur des belasteten Tasters (2) registriert wird und zum einen die Differenz (7) aus dem zuletzt (6) und dem zuerst vermessenen Höhenprofil (3) und zum anderen die Differenz (9) aus dem zuletzt (6) und dem unter Belastung aufgenommenen Höhenprofil (5) zur Anzeige gebracht werden.

Description

Verfahren zur Bestimmung der Verform¬
barkeit der Oberfläche eines Prüfkörpers
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Bestimmung der Verformbarkeit der Oberfläche eines Prüfkörpers, bei dem zunächst ein Höhenprofil einer Spur mit einem möglichst gering belasteten Taster vermessen wird, dieselbe Spur anschließend mit ei¬ nem in den Prüfkörper eindringenden, belasteten Körper abgefahren wird, und schließlich der gering belastete Taster entlang der Spur fährt und ein Hö¬ henprofil aufnimmt.
Zur Bestimmung der Härte und anderer mechanischer Eigenschaften, wie z.B. der Elastizitätsmoduln, insbesondere der oberflächennahen Bereiche eines Prüfkörpers sind verschiedene Verfahren bekannt.
In der DE-GM 71 40 841 ist ein Verfahren gattungs¬ gemäßer Art beschrieben: Die Oberfläche des unter- suchten Prüfkörpers wird anfangs mit einem gering belasteten Taster abgefahren und ein Höhenprofil aufgezeichnet. Nachdem ein kraftbeaufschlagter Ein¬ dringkörper über dieselbe Bahn bewegt wurde, nimmt der Taster schließlich wiederum ein Höhenprofil auf. Neben möglichen Meßfehlern, die durch unter¬ schiedliche Abmessungen des Tasters und des Ein¬ dringkörpers bedingt sind, weshalb das vom Taster aufgezeichnete Höhenprofil nicht notwendigerweise mit der Bahn des Eindringkörpers übereinstimmt, ist als nachteilig anzusehen, daß anhand der Meßkurven nur eine Bestimmung der plastischen, d.h. irrever¬ siblen Verformungen des Prüfkörpers möglich ist.
In der DE-OS 39 26 676 ist vorgeschlagen, die Ein¬ dringtiefe eines Tasters in einen Probekörper als Funktion der Normalkraft zu messen und zur Härte¬ prüfung heranzuziehen. Dabei kann der Taster auch über die Oberfläche des Probekörpers geführt werden und in ritzender Weise eindringen. Da nur die Posi¬ tion des belasteten Tasters gemessen wird, ermög¬ licht dieses Verfahren nur die Summe aus den ela¬ stischen und den plastischen Verformungen zu erfas- sen.
Bei den bekannten Verfahren zur Bestimmung der me¬ chanischen Eigenschaften der Oberfläche eines Prüf¬ körpers ist somit als nachteilig anzusehen, daß entweder nur die plastischen Verformungen oder aber die Summe aus den elastischen und plastischen De¬ formationen erfaßt werden kann. Ein Verfahren zur Messung der elastischen Verformungen ist nicht be¬ kannt. Weiterhin besteht keine Möglichkeit, Auf- Schlüsse über die am Verformungsvorgang beteiligten Energieformen und -betrage, wie beispielsweise Rei- bungs- und Wärmeenergie zu gewinnen.
Ausgehend vom Stande der Technik liegt der Erfin- düng das Problem zugrunde, ein Verfahren zur Be¬ stimmung der Verformbarkeit der Oberfläche eines Meßgegenstandes zu schaffen, das eine eingehende Untersuchung der elastischen und plastischen Defor- mationen sowie der daran beteiligten physikalischen Prozesse und Energieformen erlaubt.
Erfindungsgemäß wird das Problem dadurch gelöst, daß der Taster der in den Prüfkörper eindringende
Körper ist, auch das Höhenprofil der Spur des bela¬ steten Tasters registriert wird und zum einen die Differenz aus dem zuletzt und dem zuerst vermesse¬ nen Höhenprofil und zum anderen die Differenz aus dem zuletzt und dem unter Belastung aufgenommenen Höhenprofil zur Anzeige gebracht werden.
Der Kerngedanke besteht darin, zunächst mit einem Taster ein Höhenprofil auf der Oberfläche des Meß- gegenstandes aufzunehmen, dasselbe Profil anschlie¬ ßend mit dem nunmehr belasteten Taster abzufahren und schließlich ein Höhenprofil mit dem wiederum gering belasteten Taster zu erfassen, um anschlie¬ ßend durch Differenzbildung der erfaßten Profile zum einen die irreversiblen und zum anderen die re¬ versiblen Deformationen zur Anzeige zu bringen. Im einzelnen entsprechen die plastischen Verformungen der Differenz aus den ohne Belastung vor und nach dem RitzVorgang aufgenommenen Höhenprofilen, wäh- rend die Differenz aus dem zuletzt und dem unter Belastung vermessenen Höhenprofil den elastischen Deformationen gleichzusetzen ist. Um möglichst ex¬ akte Meßergebnisse zu erhalten, sollte die Bela¬ stung des Tasters während der Aufnahme des ersten und letzten Höhenprofils hinreichend gering gehal¬ ten werden, so daß keine Verformungen des Prüfkör¬ pers und somit keine Verfälschungen der Meßwerte zu befürchten sind. Da der Taster auch zum Erzeugen der Ritzspur verwendet wird, ist gewährleistet, daß die anschließend - ohne Belastung - aufgenommene Spur mit der Ritzspur übereinstimmt. Wäre der Ta¬ ster hingegen breiter als der Eindringkörper, würde er nicht den Boden der erzeugten Spur erfassen; wäre er jedoch schmaler, würde er einem nicht re¬ produzierbaren Weg folgen, da eine seitliche Füh¬ rung fehlt.
Die Vorteile der Erfindung bestehen vornehmlich darin, daß sowohl die reversiblen als auch die ir¬ reversiblen Verformungen des Prüfgegenstandes ent¬ lang derselben Bahn ortsauflösend erfaßt werden. Das Verfahren eignet sich insbesondere für Materia¬ lien mit räumlich variierender Zusammensetzung und somit lokal unterschiedlichen Härten, wie bei¬ spielsweise Verbundwerkstoffe oder beschichtete Bauelemente.
Falls der zu untersuchende Prüfkörper entlang der vom Taster abgefahrenen Spur stark variierende Här¬ ten beinhaltet, erweist sich die Wahl der Belastung und der Geschwindigkeit des Tasters als problema¬ tisch. Sind beide konstant, wird die Eindringtiefe in besonders harten bzw. weichen Bereichen derart gering oder groß, daß keine definierte Aussage über die Verformbarkeit des Prüfkörpers möglich ist. Da¬ her ist vorgeschlagen, die Belastung des Tasters während des Eindringens in den Prüfkörper zu vari- ieren. Da die Eindringtiefe bei konstanter Bela¬ stung und hoher Geschwindigkeit geringer als bei einem langsam über den Prüfkörper geführten, bela¬ steten Taster ist, besteht alternativ oder zusätz- lieh die Möglichkeit, seine Geschwindigkeit zu ver¬ ändern. Im speziellen kann die Geschwindigkeit und/oder die Belastungskraft derart geregelt wer¬ den, daß sich eine konstante Eindringtiefe ergibt.
Neben den entstehenden Verformungen ist auch die dafür aufzuwendende mechanische Energie von Inter¬ esse. Anhand der lokalen Energieumwandlungen wäh¬ rend des Verformungsvorganges können Rückschlüsse über die Bruchfestigkeit und das Wärmetransportver¬ halten des Prüfkörpers getroffen werden. Daher bie¬ tet sich eine Messung und Aufzeichnung der für das Bewegen des belasteten Tasters entlang der Bahn ge¬ genüber dem Meßgegenstand notwendigen Kraft und/oder Leistung an. Ein weiterer Vorzug besteht darin, daß die Reibungskonstante μ anhand der Nor¬ mal- und Tangentialkraft bestimmbar wird. Die für das Bewegen des Tasters aufzuwendende Leistung kann unschwer anhand der elektrischen Leistungsaufnahme seiner Antriebseinheit ermittelt werden, während die Kraft beispielsweise anhand der Geschwindigkeit des Tasters und der aufzuwendenden Leistung berech¬ net wird.
Weiterhin ist empfehlenswert, die Normalkraft des Tasters analog zu bekannten Härteprüfungsverfahren als Funktion der Eindringtiefe zu messen und zu re¬ gistrieren. Die Daten ermöglichen, die Härte des Prüfkörpers in der zu seiner Oberfläche orthogona- len Richtung ortsauflösend zu analysieren und bei¬ spielsweise Unterschiede zwischen oberflächennahen und -fernen Bereichen zu untersuchen. Als Regelgröße für die Geschwindigkeit und/oder Be¬ lastung des Tasters sind neben der Eindringtiefe, d.h. der Höhendifferenz zwischen der anfänglich und der unter Belastung vermessenen Spur die für die Relativbewegung aufzuwendende Kraft und/oder Lei¬ stung zweckmäßig. Die Regelung erfolgt beispiels¬ weise derart, daß die Eindringtiefe oder die Kraft bzw. Leistung konstant gehalten werden.
Andererseits besteht jedoch die Möglichkeit, die
Belastung und/oder Geschwindigkeit des Tasters pe¬ riodisch vorzugsweise zwischen Null und einem Maxi¬ mum zu variieren. Im speziellen erfolgt die Bela¬ stung mit einer statischen bzw. langsam variierten Vorkraft und einer überlagerten, periodisch wirken¬ den, kleineren Wechselkraft. Anhand der Abhängig¬ keit der Eindringtiefe von der Normalkraft können weitergehende Aussagen über die lokalen Material¬ strukturen, wie beispielsweise die Elastizitätskon- stanten (Youngscher Modul usw.) gewonnen werden.
Als Nachteil bekannter Verfahren zur Härtebestim¬ mung ist anzusehen, daß sie keinen Rückschluß auf das lokale viskoelastische Fließverhalten erlauben. Insbesondere bei Verbundwerkstoffen wäre eine In¬ formation über derartige Materialeigenschaften wün¬ schenswert, da häufig erhebliche Unterschiede der Viskoelastizität zwischen der Matrix und dem Füll¬ stoff nachweisbar sind. Daher ist bevorzugt, daß die Eindringspur, nachdem sie mit dem belasteten Taster abgefahren wurde, mehrfach vermessen wird. Anhand der Zeitabhängigkeit der geometrischen Ver¬ änderungen, insbesondere des Höhenprofils kann das viskoelastische Verhalten eingehend untersucht wer¬ den. Durch mehrmaliges Abtasten ohne Belastung er¬ faßt man in Abhängigkeit von der Zeit die Rückbil¬ dung des elastischen Anteils. Die Festlegung, wann die Rückbildung zum Abschluß gelangt ist, wird auf diesem Wege möglich.
Um Aufschlüsse über die chemische Zusammensetzung und die Eigenschaften der oberflächenferneren Be- reiche des Prüfkörpers zu gewinnen, ist vorgeschla¬ gen, die Belastung und die Form des Tasters derart zu wählen, daß über die Verformung hinausgehend ein Materialabtrag erfolgt, dessen Menge und chemische Zusammensetzung ortsauflösend und/oder integrierend gemessen und registriert werden. Selbstverständlich besteht die Möglichkeit, das mit einem Materialab¬ trag verbundene Abfahren der Spur mehrmals zu wie¬ derholen, um die Materialeigenschaften als Funktion der Eindringtiefe zu untersuchen. Die Analyse der Menge und der chemischen Zusammensetzung der abge¬ tragenen Materialien kann nach bekannten, hier nicht näher erläuterten Verfahren erfolgen.
Da auch die lokale Abriebfestigkeit des Prüfkörpers von Interesse ist, ist empfohlen, den Verformungs¬ vorgang mit gleichen oder variierten Bedingungen solange zu wiederholen, bis keine Veränderung der Eindringtiefe oder der Materialeigenschaften mehr nachweisbar sind. Die Anzahl der mit Belastung durchzuführenden Verfahrzyklen dient als Maß für die lokale Abriebs- und Kratzfestigkeit des Prüf¬ körpers. Beispielsweise in technischen Anwendungen, wie z.B. Lagerungen ist eine aus Fett oder Öl bestehende Schicht zwischen zwei aneinander reibenden Körpern angeordnet. Es erweist sich daher als zweckmäßig, Festkörperteilchen oder ein Fluid oder eine Fest¬ körpersuspension in einem Fluid zwischen den bela¬ steten Taster und den Meßgegenstand einzubringen, um die gemessenen Härte- oder Reibungswerte direkt auf konkrete Anwendungszwecke übertragen zu können.
Außer dem durch den belasteten Taster erfaßten Hö¬ henprofil kann seine unmittelbare Umgebung während des Verformungsvorganges optisch beobachtet und ge¬ speichert werden, so daß auch die Deformationen der Materialbereiche seitlich des Tasters sowie die Seitenwände der Ritzspur weiteren Untersuchungen zugänglich sind.
Wird der verformte Bereich aus mindestens zwei Po- sitionen gleichzeitig optisch beobachtet, kann aus den registrierten Bildern eine dreidimensionale Re¬ konstruktion des Verformungsvorganges erfolgen. So wird es beispielsweise möglich, die lokalen Materi¬ alverschiebungen ortsabhängig zu analysieren.
Die den Verformungsprozeß begleitenden physikali¬ schen Vorgänge werden vorteilhafterweise erfaßt und registriert. Hierzu zählen beispielsweise die im sichtbaren Wellenlängenbereich emittierte Tribolu- mineszenz, welche durch eine Videokamera odgl. auf¬ genommen werden kann.
Auch die Erwärmung des Prüfkörpers und/oder des Ta- sters kann ortsauflösend erfaßt werden, um den An¬ teil der in Wärme umgesetzten mechanischen Energie zu ermitteln. Hierzu dienen im speziellen die In- fra- und/oder Ultrarotemission erfassende Sensoren. Die Temperatur kann jedoch auch durch geeignete, hinreichend kleine Wärmesensoren, wie Thermoele¬ mente odgl. direkt auf der Oberfläche des Prüfkör¬ pers gemessen werden.
Die während des Verformungsvorganges erfaßten und registrierten Schall- und Vibrationserscheinungen können in Verbindung mit den übrigen Meßwerten Auf¬ schlüsse über lokale Materialeigenschaften und Re¬ aktionen auf den belasteten Taster aufzeigen.
Da der Verformungsprozeß die Emission sogenannter Exo-Elektronen bedingt, ist weiterhin vorgeschla¬ gen, zu ihrer Detektion geeignete Sensoren nahe der Oberfläche des Prüfgegenstandes anzubringen und letzteren - wegen der geringen freien Weglänge der Elektronen in Luft - in einem evakuierten Gefäß an¬ zuordnen.
Außer im Vakuum kann der Verformungs- und Meßvor- gang zwecks Verbesserung der Reproduzierbarkeit und des Ausschlusses unbekannter, die Meßwerte verfäl¬ schender Umgebungseinflüsse unter reduziertem Luft¬ druck oder unter einer Gas- oder Dampfatmosphäre durchgeführt werden. Auch eine konstant gehaltene Temperatur ist zur Steigerung der Reproduzierbar¬ keit der Meßwerte geeignet.
Um die Meßzeit auf das notwendige Maß zu reduzie- ren, ist empfehlenswert, die anhand der ersten er¬ faßten Meßspur bestimmte Oberflächenrauhigkeit als Regelgröße für die Geschwindigkeit und/oder Bela¬ stung des Tasters zu verwenden. Der Vorzug besteht darin, daß homogene, nicht lokal variierende Ober¬ flächenbereiche relativ schnell abgefahren werden können, so daß die Meßzeit entscheidend verkürzt ist.
Schließlich ist bevorzugt, einen Rechner zur Steue¬ rung des Tasters, d.h. seiner Bahn, Geschwindigkeit und Belastung sowie zum Erfassen der Meßwerte zu verwenden.
Weitere Einzelheiten, Merkmale und Vorteile der Er¬ findung lassen sich dem nachfolgenden Beschrei- bungsteil entnehmen, in dem anhand der Zeichnungen eine Ausführungsform der Erfindung näher erläutert wird. Sie zeigen in schematischer Darstellung in
Figur 1 einen Prüfkörper während der Aufnahme des ersten Höhenprofils
Figur 2 einen Prüfkörper mit einem belasteten
Taster Figur 3 einen Prüfkörper während der Aufnahme des dritten Höhenprofils Figur 4 die plastische Verformbarkeit
Figur 5 die elastische sowie die Gesamtverform¬ barkeit In Figur 1 ist der eine Spur (3) auf dem Prüfkörper (1) abfahrende, gering belastete Taster (2) darge¬ stellt. Die Oberfläche des Prüfkörpers (1) weist etwa in der Mitte eine Stufe auf. Der Taster (2) wird von links nach rechts bewegt.
In Figur 2 ist der mit einem Gewicht (4) belastete Taster (2) bei der Aufnahme eines zweiten Höhenpro¬ fils (5) dargestellt. Aufgrund der Belastung des in den Prüfkörper (1) eindringenden Tasters (2) ist das Höhenprofil (5) insbesondere im Bereich rechts der Stufe bedeutend niedriger als das ursprüngliche (3).
In Figur 3 wird der Prüfkörper (1) zum drittenmal, nunmehr wiederum mit einem gering belasteten Taster (2) abgefahren. Das erfaßte Höhenprofil (6) ist - bedingt durch die irreversiblen Verformungen - niedriger als das ursprüngliche (3) , jedoch - da sich die Oberfläche des Prüfgegenstandes (1) auf¬ grund des reversiblen Anteils der Verformungen wie- der gehoben hat - höher als das unter Belastung vermessene (5) .
In Figur 4 ist die Differenz (7) aus dem zuletzt (6) und dem anfangs gemessenen Höhenprofil (3) dar¬ gestellt; es entspricht der plastischen, also der irreversiblen Verformbarkeit. In Figur 5 ist zum einen die Differenz (8) aus dem unter Belastung vermessenen (5) und dem ursprüngli¬ chen Höhenprofil (3) dargestellt; sie entspricht der Gesamtverformbarkeit, also der Summe aus pla¬ stischen und elastischen Verformungen. Zum anderen ist die Differenz (9) aus dem zuletzt (6) und dem unter Belastung aufgenommenen Höhenprofil (5) wie¬ dergegeben; sie entspricht den elastischen Verfor- mungen.
In Figur 4 und 5 ist gut erkennbar, daß der rechts der Stufe liegende Oberflächenbereich des Prüfkör- pers (1) wesentlich weicher als der links der Stufe liegende ist, die Verformungen sind rechts ausge¬ prägt.
Im Ergebnis erhält man ein Verfahren, das eine we¬ sentlich intensivere Untersuchung der Verformbar¬ keit eines Prüfkörpers und der einen Eindringvor¬ gang begleitenden physikalischen Prozesse ermög¬ licht.

Claims

P A T E N T A N S P R Ü C H E
l. Verfahren zur Bestimmung der Verformbarkeit der Oberfläche eines Prüfkörpers (1) , bei dem zunächst ein Höhenprofil (3) einer Spur mit einem möglichst gering belasteten Taster (2) vermessen wird, die¬ selbe Spur anschließend mit einem in den Prüfkörper (1) eindringenden, belasteten Körper abgefahren wird, und schließlich der gering belastete Taster (2) entlang der Spur fährt und ein Höhenprofil (6) aufnimmt, dadurch gekennzeichnet, daß der Taster (2) der in den Prüfkörper (1) eindringende Körper ist, daß auch das Höhenprofil (5) der Spur des belaste¬ ten Tasters (2) registriert wird und daß zum einen die Differenz (7) aus dem zuletzt (6) und dem zuerst vermessenen Höhenprofil (3) und zum anderen die Differenz (9) aus dem zuletzt (6) und dem unter Belastung aufgenommenen Höhenprofil (5) zur Anzeige gebracht werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich¬ net, daß die Geschwindigkeit und/oder die Belastung des Tasters (2) während des Eindringens in den Prüfkörper (1) variiert wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch ge¬ kennzeichnet/ daß die für das Bewegen des belaste¬ ten Tasters (2) entlang der Bahn gegenüber dem Prüfkörper (1) notwendige Kraft und/oder Leistung gemessen und registriert wird.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, da¬ durch gekennzeichnet, daß die Normalkraft des Ta¬ sters (2) als Funktion der Eindringtiefe gemessen und gespeichert wird.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, da¬ durch gekennzeichnet, daß die Eindringtiefe des Ta¬ sters (2) als Regelgröße für seine Geschwindigkeit und Belastung verwendet wird.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, da¬ durch gekennzeichnet, daß die für das Bewegen des belasteten Tasters (2) entlang der Bahn gegenüber dem Prüfkörper (1) aufzuwendende Kraft und/oder
Leistung als Regelgröße für die Kraft und/oder Ge¬ schwindigkeit des Tasters (2) verwendet wird.
7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, da¬ durch gekennzeichnet, daß die Belastung und/oder die Geschwindigkeit des Tasters (2) entlang seiner Bahn periodisch vorzugsweise zwischen Null und ei¬ nem Maximum variiert wird.
8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeich¬ net, daß die Belastung des Tasters (2) mit einer kontinuierlich wirkenden, statischen bzw. langsam variierten Vorkraft und einer überlagerten, peri¬ odisch wirkenden, kleineren Wechselkraft erfolgt.
9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, da¬ durch gekennzeichnet, daß die Eindringspur (5) nach erfolgter Belastung des Prüfkörpers (l) mehrfach vermessen wird.
10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, da¬ durch gekennzeichnet, daß die Belastung und der Ta¬ ster (2) derart gewählt werden, daß über die Ver- formung hinausgehend ein Materialabtrag erfolgt, dessen Menge und chemische Zusammensetzung ortsauf¬ lösend und/oder integrierend gemessen und regi¬ striert werden.
11. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberflächenverfor- mung mit gleichen oder veränderten Bedingungen wie¬ derholt wird, bis keine Veränderung der Eindring- tiefe oder der Materialeigenschaften mehr nachweis¬ bar ist.
12. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 11, gekennzeichnet durch eine Schicht aus Festkörper¬ teilchen oder einem Fluid oder einer Festkörpersus¬ pension in einem Fluid zwischen dem belasteten Ta¬ ster (2) und dem Prüfkörper (1) .
13. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die unmittelbare Umge¬ bung des Tasters (2) während des Verformungsvorgan¬ ges optisch beobachtet und gespeichert wird.
14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekenn- zeichnet, daß der verformte Bereich aus mindestens zwei Positionen gleichzeitig optisch beobachtet und registriert wird, und daß daraus eine dreidimensio¬ nale Rekonstruktion des Verformungsvorganges er¬ folgt.
15. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß die bei der Verformung auftretenden lichtoptischen Erscheinungen, z.B. Tribolu ineszenz, gemessen und registriert werden.
16. Verfahrn nach einem der Ansprüche 1 bis 15, da¬ durch gekennzeichnet, daß die Erwärmung des Prüf- körpers (1) und/oder des Tasters (2) ortsauflösend, vorzugsweise durch Messung und Registrierung der Wärme- und/oder Ultrarotstrahlung erfaßt werden.
17. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Schall- und Vibra¬ tionserscheinungen während des Verformungsvorganges gemessen und registriert werden.
18. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß Elektronenemissionen (Exo-Elektronen) detektiert und registriert werden.
19. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß der Verformungsvorgang unter reduziertem Luftdruck oder im Vakuum oder un¬ ter einer Gas- oder Dampfatmosphäre und/oder bei konstanter Temperatur durchgeführt wird.
20. Verfahren nach einem der Ansprüche l bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß die anhand der ersten Meßspur (3) bestimmte Oberflächenrauhigkeit als Re¬ gelgröße für die Geschwindigkeit des Tasters (2) und/oder seine Belastung verwendet wird.
21. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daß ein Rechner den Taster (2) steuert und die Meßwerte erfaßt.
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