WO1996028713A1

WO1996028713A1 - Optical spectrum analyser and spectroscope

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Publication number: WO1996028713A1
Application number: PCT/JP1996/000612
Authority: WO
Inventors: Yoshihiro Sanpei; Yasuyuki Suzuki; Yoshihiko Tachikawa; Mamoru Arihara
Original assignee: Yokogawa Electric Corp
Current assignee: Yokogawa Electric Corp
Priority date: 1995-03-15
Filing date: 1996-03-12
Publication date: 1996-09-19
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Description

- 明細書

光スペクトラム了ナライザおよび分光装置技術分野

本発明は、了レイ検出器を用いた光スぺクトラムアナライザおよび分光装置に

1 し、特に光スぺクトラム了ナライザにおける波長確度およびパワーレベル確度の向上ならびに分光 Eにおける測定波長範囲の拡大のための改善に 0 するものでの背景技術

従来の光スぺクトラムアナライザは、ある有のスリット幅すなわちスぺクトル幅に存在する光パフ一の平均値を示すものであった。

また、アレイ ¾子を fflいた分光器においても各 ¾子の出力をそのまま ¾示せざるを得なかった。なぜなら、被測定光のスぺクトル形状は任; aのものを想定しており、このスぺクトル形状と、了レイ ^子の出力とは必ずしも 1対 1に対応しないからである。

したがって、了レイ素子 o出力から宾のスぺクトル形状を推定することは s難であるという問^があった。また、長分解能と測定波^^ 1 はアレイ ^子の^子数、ピッチあるいはフォ一力シングミラーの^点距^などで決ま、波分解能と測定波長 ϋΙΙΗはトレードオフの関係にあるため、一方を改^すれば他方:ょ铋牲になり、両方を同時に改することはできないというがあつた。本 ¾叨の目的;よ、このよう点にみ、被定光として単色光（レーザなどのようにスぺクトル；; が^ i の分解 ¾に比べてるかに -い光）およびそれらの

½まりを: S定し、 ^するアレイ ¾子の出力をもとにして Rlj単な^^により該当する単色光の中心長とトータルパワーを求めることができる光スぺクトラム了ナライザ'を ΐΐ供することにある。本発明の itiiの目的は、レーザ光に埋もれた A S Eノィズなども測定できるようにし、等価的にダイナミックレンジを向上させ得る光スぺクトラム了ナラィザを実現することにある。

本発明の更に他の目的は、複数の入射口（スリット）を設け、所望の波長分解 ί を確保しつつ測定波長^ !2を拡大できる、光スぺクトラムアナライザに適用可 i'iな分光 ϋを突現することにある。発明の開示

上記の第 1の目的を速成するための本願究明は、

入射口からの被測定光を分 i ¾子に入射し、分散素子から出射される光を集束して ¾数の受光素子から成るアレイ素子に照射するように構成された分光置と、 i'j 記各了レイ ^子 O出力と前記入射口での光パフ一分布とから中心波長を袖間し、トータルパヮ一を ¾ίίすると、記中心長およひ'ト一タルパヮ一の値を表示する ¾示 ^を備えたことを特徴とする。

このような構成において、各受光 ¾子の出力論 ίώ〉を針により求めておくと共に、アレイ^子の Φで出力が S火となる目の ¾子と、アレイ ¾子に当たる出射ビーム中心とが Δ Xだけずれた ¾合の、ずれ Δ Xと 1 速する受光子出力との系を予め求めておく =

測が得られれ:よ'、上係から Δ Xが求められ、これにより中心波長が求めることができる。た、ト一タルバヮ一も光^子出力の理と測 ¾ϋから計により求めることができる c dunの (¾ 1な¾叨

m 1は本発明に^る光スぺクトラム丁ナライザ'の一;^施例を示す^ 榀成図図 2はアレイ^子と出^ビーム係を示す図

m 3は作 ;;叨のためのフローチャート

図 4は P n- h p _n ， p ，と Δ _xの! ¾係を示す図

図 5は in ( Ρ η., ρ π-: ：) と！:線近似とのずれを示す図

図 6は 1η (ρ_{ητ 1} /p n-. ) と ωの係を示す図図 7は In (pn. i π- ι ) と Δχの関係を示す図

図 8は実測値 Ρχ と理論値 p_k との比較図

図 9はダイナミックレンジを說明するための図

図 1 0は演算装置の更なる機能を説明するためのフローチヤ一ト

図 1 1は分光装置の一実施例を示す要部構成図

図 1 2ないし図 1 6は分光装置の他の実施例図である。発明を実施するための最良の形態

£1下図面を用いて本発明を詳細に明する。図 1は本発明に係る光スぺクトラムアナライザの一実施例を示す原理構成図である。図 1において、 1 ϋは分散素子とアレイ素子を有する分光装^、 2 0は分光置 1 0のアレイ素子の駆動および信号読み出しを行う駆動装置、 30は浪 ίί S、 4 ϋは表示^置である。分光装置 1 0は、スリット 1 1、コリメーテイングミラー 1 2、回折格子などの分散素子 1 3、フォーカシングミラ一 1 4、アレイ素子 1 5から構成される。スリット 1 1の入射ロを迎して入射された被定光はコリメ一ティングミラー 1 2で平行光となり分故 ¾子 1 3に入射する。分妝； ¾子 1 3の出射光はフォーカシングミラー 1 4でアレイ^子 1 5上にする。この場合、分散 ¾子 1 3は固定されていて、了レイ ¾子1 5に当たる光スホットの位 ISは被測定光の波良に対応して移動する（ずれる）。以下特に浪算 :！ 30が有する^^ ©了ルゴリズムについて説明する。

アレイ尜子は、図 2に示すように、短冊状の光部（子または受光子という）が配列されたもので、いま ¾子の致を n_u 、子のさをし、 ¾子の幅を d、子のピッチを rとする。

このような構成のアレイ^子の中で出力が ii大となる目の ¾子の中心と、出射ビーム（強度分布 f (x,y)) の中心（x = 0) とが Δχだけずれている ¾合、本発明では各素子〇出力 P_n-₂ . Pn-i ， Pn (ma x) , Ρ_{η+ ι} , · · 'から

Δ χを求め、波長を補してトータルパワーを推定する。ただし、前提として

(1) 被測定光のスぺクトル線幅は、十分小さく（ここではレーザ光を想定している）、出射ビームの広がりあるいは形状は主としてレンズによる回折および入射口のパヮ一分布によって決まる。

(2) アレイ素子の銎号と波長とは予め対応が付けられており、アレイ素子問も Δ χによって補間できるものとする。素子番号 1 , · · · , η-1 , η , η-1 , ·

• ·， Π。に対し、波長/ , , ' · · n-l . _η , _η+ι , · · ·, 。が対応し、各素子間の波長差は

/» k ― k_ 1 -i Δ /,

ただし、 k ： 2〜n 0

とする。以上の事柄を前提とすれば、図 3のフローチャートに示すように、実測値 P 1 ，

• · · , Pn-. , Pn . Pn.l , · · · , ΡηΟを用い、 Δ _Χを推定し、中心波長ス。、トータルパワー P_t0"t を求めることができる。

以下中心波良 _u 、トータルパフ一 p _t。 _t を求める ¾合の j作について説明する。

シングルモ一ドファィバ入のように、入射口での光強度分布 g ( ξ. ν ) がガゥス型の合、トータルパワーを 1とすれ;よ'、

g ( ς , ν ) = ( 2 /': ω。） e χ ρ {ー 2 { ς ²- ν ²) /ι ₀ ²} (1) ただし、 ω _η ：ょスポットサイズ

となる。

レンズ系によってビームが変换ぁる、は多少折の効果を受けても、アレイ素子上での光強^分布 f ( X , y ) はやはりガウス型となり、 ¾失がいものとすれば、

f ( x， y ) = [ 2 /τ: ω²) e x p (- 2 ( x ²-^ y ²) / ω²} …… (2) ただし、 ωはスポットサイズ

となる。

したがつて、 k 目の ¾子に^射される光パワー Pは、

ただし、 x , =(k— n) r -d/2 -τΔ χ

x ₂ = ( k - n ) r x

で表わされる。

ここで、し 2》とし、積分範 II (y蚰）を

1丄22

-co と Sき換えることができれは'、

00

2 'X

e P (- 2 ω

ノー oo より、

κ— \j η上

Χι さらに、変数変換 (2) ^1/2 x x ω=〔を行えば、

r し 2 —ナ 2 ,

し、い = ('2) '^/2 ( 1 /ω) { ( k - ri ) r -dX2 -f Δ χ} t ₂ = (2) ^1/2 { (k-n) r十 d/2十厶 x} となる c - この積分は数値積分も容易であるが、補誤差関数

-て ^:

を用いれは'、

p_k = ( 1 / 2 ) {Er f c ( t ₂) —E_r i _c (t ,) }

となる。次に、上記のようにして求めた ϋ^ΗϋϊΡ η-' ， Ρ π , π_{+ 1} 等と Δ _Χの f¾係について^べる。

図 4は P _n- ₁ , ρ _η , 1η ( _{Ρ η+} Ι / Ρ π - , ) に対する△ Xの!！係を示す図である。なお、 P r , は Ρ_η— , を左右反¹ したものである。

ただし、 d = 3 0 umとし、 r = 5 0 Λίπι、 ω= 3 0， 5 0, 7 0の場合を示した。つまり ρ _{η+ 1} /Ρ η-> の対数すわち In (p_n., /p _n-> ) と Δ χとはほぼ直線的になり、

In ( P r 1 / P n-i ) 厶 X

と'; 。

したがって、 ^測 Ρη— , , Ρη , Ρπ-. 力 (ί ふれれば、厶は容^に求められ、中心 ¾良。およトータルバヮ一Ρ _t はそれぞれ次式で求められる。

. ϋ = n — Δ X - 1/ Γ

上記は予め 111 ( _{Ρ ητ 1} /Ρ η-, ) と Δ Xのを求めておき、 ¾測したデータ Ρη₊ 1 ， Ρη-. による 1Π ( Ρ„_{+ Ι} π-₍ ) の ¾から Δ Xを拙定するものであるが、本発明はこれに l: らず次のようにしてもよい：；

In (p_n., /pn., 〉と Δ χの直¾性に: 目し、この Ι Η係を 3点（一 rZ2, In ( p n.. / n-. ) ) , ( 0, 0) , ( r/2, 1η (ρ_η+1 /ρ_η-ι ) ) を迎る直線で近似し、予め行う計算は、厶 x = rZ2または一 rZ2の場合の In (p_n., ^ P n- L ) のみにしている。

このとき厳密に求めた 1Π ( p _{n+ 1} / P n- i ) と上記直線のずれは、図 5に示す通りである。たた'し、 r = 5 0 ίΐτκ d = 3 0 /imである。

この場合 ωが小さいほど誤差は大きくなるが、 ω= 3 0 Aimの場合でも誤差は ± 3%である。つ ¾り、上記方法によって中心波長を袖間するとき、

0 = _n 一△ X · Δ Γ

において、例えは'、

n = 1 5 D 0. 0 n m

Δ = 0. 1 0 η m

として、厶 xに二 3 %〇誤差があっても、 /。を 0. 0 1 n mの桁までは定できる。突際の光学系では、は使用するシングルモードファイバによって若干変化するが、：定中は不変であるから、予め知る必¾があるのは近似に^う 1本の直線の傾きのみである。

考すべきずれの対 ίιώ i Δ X ；が最大にるとき、すなわち Δ X =二 r 2 のときの 1Π ( n. l / P n- l ) のみである。図 6は、 r = 5 0 ^m. d = 3 [] mとし、 Δχ=— r/2 =— 2 5〃mにおける In (ρ_{η+ 1} / ρ η-, ) と ωの KM系を示したものである。

さらに^用的に:よ、 i¾論的 Ρ _η— , ， π , Ρ η,, を求めるときに Mi誤差数

Erie ( X ) を川いるよりも ¾ίϋϊ i分を行った方便利 ¾合もあり、またきざみをあまり細かくしくても十分な ^:が^られる。図？は E _r f c (x ) およひ'シンプソンの 1 / 3公式（m = Π で求めた

In ( p _n+ , / ρ n . , ) の比；^である。ただし、 ω= 5 0 urrx^ r = ; 0 u ^ d = 3 0 111の¾合でぁる。一方トータルパワーは Ρ_π / Ρ η で求められるが、上記^件のときシンプソンの 1 Z3公式で求めた ρ_η の誤差は役 ϋ. 2 5 %であり、突用上問^はない。図 8は次の実測値 ( Ρ η で規格化）

と、 ¾算装 3 0のアルゴリズムにより求めた x = 1 2. 1 2 mによる理論 Pn-! , Ρη , η₊ 1 との比較である（突際には Pn = 0. 3 6 5で規格化した値をプロット）。

このとき

0 = 1 5 5 . 6 - ( 1 2. 1 2 / 5 0 ) 0. 1

= 1 5 5 4. 5 7 6 ( n m)

と求まる。また、トータルパワー P_t。_tat は予め測定し 1 1. G nWと求められているため、突測値の縦籼の目盛としては、 Pn O値が

すなわち

Pn = 1 1. 6 n W x 0. 3 6 5 = 4. 2 3 n W

と示されるようにしておけよい:: 上 ¾明したように本 jによれば次のよう効がある。光スベタトラム了ナライザで単色光（レーザ光）を測定する場合、中心波長とパワーレべルの確度が要求されるが、了レイ^子の出力そのものでは中心波長の確度はアレイ ¾子間波長差厶よりはくらず、トータルパワー:こついても何らかの^ :が不可欠であった。しかし本明によれば、アレイ ¾子上のビーム位 Sを正に求めることにより、容¾に中心波 J¾ 。およびトータルパワー P _t。_t<ll の確度を向上することができる。ところで、大容量伝送システムとして期待されている波長多重通信システムにおける伝送信号は、キヤリ了としてのレーザ光と光（ファイバ）了ンプによる A ノイズ (amp l i f ied spontaneous emi ssi on noi s ) である。このよつなシステムにおいては、レーザ光のスぺクトルを正確に測定することはもちろんのこと、伝送信号の Sノ Xに多大な^響を与える A S Eノィズを評価することもまた重要こ £ 。

アレイ ¾子を用いた分光 ϋは、可動部がなく、波長多重通信システムの伝送信号モニタとして最適であるが、レーザ'光近傍の A S Εノィズを出するためにはダイナミックレンジが不十分である。

一般に分散子として回折格子を用いた分光置では、ダイナミックレンジは干渉曲線のスロープによって決まる。すなわちダイナミックレンジは、単色光

(波長/。のレーザ'光）が入射したとして、図 9に示すように、波長/ n とオフセット△ λにおけるレベル差として定^される。したがってレーザ光近傍の微弱な光などはレーザ'光のス U—ブに埋もれてしまう _u そのためダイナミックレンジを向上させる必¾がある力《、光スぺクトラムアナライザ' どの分光 i! ^:こおいてダイナミックレンジを向上させる方式として：よ、従来よりモノクロメータを 2台またはそれ上 1 列に並べる方式がある。この方式は、それぞれの分¾¾子（プリズムたは祈格子）を勤させ、本来の光スべクトルとそれにした迷光とを分; するも^であり、いわゆるダブルモノク πメータと呼ばれる方式である _c

し力、し ;がら、アレイ^子と固定された分¾ ^子とを紐み合わせた分光^ では、上記のような手法を^ ffiするのは機描上困:)！であり、他の方式の出 ¾が切望 'ΐ ^v /こ o そこで、この点を解決する本他の i例を説明する。図 1の^ : 12 3 o i i ϋの^^フローで示す機能を付加し、 ^示 ^ 4 ϋにおいても以下に述ベる^ を追加した光スぺクトラム了ナライザである。

このように ¾ されたスぺクトラ厶アナライザ'は、レーザ光を測定した ¾合スぺクトル形が上のようにその中心波^およびパワーによって予め類推できることを禾 if用し、レーザ'光に埋もれた A S Eノイズども測定できるようにし、等価的にダイナミックレンジを向上させ得るものである。

以下その動作を説明する。食算装匿では、上記のようにして求められたレーザ光の中心波良とパワーからスぺクトル形状を '算により推定する。ここでそのスぺクトルが Κ個の波長 f , ( >) , f 2 ( . j , · · · , f κ ( , ) から成るものとする。 ^いて、

匸 ( ) ただし、 Μ ( X j は ¾測データ

^により、非レーザ光スベクトルすわち Λ S Eノィズのスぺクトルを求める。

ϊίέ示 ϋ 4 0は、上記のようにして求められたレーザ光の光スぺクトルと非レ一ザ光スぺクトルのいずれか一方また方を指定により ¾示するをする。なお、上記 ¾施例で入口での光 . ^分^ g ( ξ , V ) がガウス型である ¾ 合:こついて説明した力く、これに | らず口一レンツ型であってもよい _c

次に分光^^の他施例につて^ ]する。上記リ^!例に示したような分光では、 ^ΙΪ分解^と ^定^ J¾S1Sはアレイ^子の^子致、ビツチあるいはフオーカシングミラー 0 点どで決まる。分解能と測定 ·0Ηίί11はトレードオフの Η系にあり、一方をすれば他力:よ^牲になり、 f¾方を同時に改善することはできいというがある。 ί Π 1に示す分光はこの点を解決するもので、 ¾数の入口（スリット〉を¾け、所望の波 J 分解能を砣 ί¾しつつ測定波長 iiifflを拡大できるも Oである。図 1 1では^ ¾0入 ¾口（ここで:よ^ ]をにするため 2つの入射口 O場合を示す）を¾えた分光 i! が示されている。お、 H 1と同等 ¾分には同一符号を付してある。 1 Gおよび i 7はスリツトにより開口幅が調節された入射口であり、入射口 1 Sからは波長域。二 Δ .の光が入り、入口 1？からは波長域 2₀±厶 λの光が入る。

この分光器は 2つの波良域！ 0 ± Δ /と / ₂₀ ± Δ の光を 1つのアレイ素子 1 5でカバーするようにしたものである。 2つの波長の回折格子 13への入射角 l_Dと o ₂₀は、それぞれ波:！:域の中心波長 ₁₀とス ₂₀に対する回折角が等しくなる (β ₀ になる）ように設定されている。

アレイ ¾子を用いた分光では、 ¾長分解能はいくつかの ¾因によって制限される；が、ここではその理論分解能が了レイ素子の ¾子数 (n_ch) と測定波長 $5 1 ( 2 Δ . ) とによって制 Ρβされるものとする。つまり理論分解能を隣接素子間波長差に等しいと定すると、次式が成立する。

理論分解能 = 2 Δ /ノ (n _{c i} - 1：' 2 Δ /rich

十-ナ I _π 、ヽ 1

J 1 、 11 c h 丄図 l 1の構成においては、この理; ΐ分解^を ¾持しがら測定 ϊίϋ良 iiirniを 2倍に拡大できる。他の要 Ξで分 ?能が制限されていても、その分解能を維持しながら入射口の数だけ測定波長 ίΏΗ!を拡大できる。

図 1 こおける光学系の勁作をさらにしく叨する e 2つの波良!^の中心波長 _lUと 20に対する回折角 ^ 'つよ、回折格子の i£本式

s i n ( cx ) — s i n 、口、) =τη /. / c!

ただし、 "は人射 ½

は回折角

mは回折次数

は波長

dは格子定数

力、ら、

1 ϋ = s i π " ¹ (m ιο/ d— s i n (cx _{l 0}) )

β 20 = s i n"' (m /. au/ d— s - i n (a ₂ o) )

となる。

ここで、 3 _{I U}=;5₂₀となるように、すなわち m λ ι οΖ-d— s i n (a _{l 0}) =m .20/ d— s i n (a₂o) を満たすような入射角" I。， o ₂₀になるように、入射口を設定しておけば、それぞれの中心波長からのずれ Δ；.に対して常に次式が成り立つ。

m { ( 10二△ ) / d } ― s i n ^cc \o)

=m { ( 20 - Δ ) / ά ) — s i n \α₂₀)

つまり 2つの波長域、入射口、入射角および中心波長が上記のように設定されていれは'、同一 Ο了レイ尜子で両方の波長域を力バーすることになる。

波長域が 2つ以上あっても、入射口、入射および中心波が上記のように設定されていれば、同様に成り立ち、 w望の分解能を維持しながら測定波長 isasを拡大できる。図 1 2は本発叨の他の ¾施例図であり、入射口に光ファイバコネクタ（レセプタクル） 1 8， 1 9を設け、 ¾定波に応じて入射口を選択し光ファイバ 1を差し換えるようにしたものである _c

光ファイバコネクタ 1 8 , 1 ⁽Jは取り付け位^が固定されているので、フアイバの差し換えによって入光の位が変わることはない _c

図 1 3は更に ί θ^ όί例 1であり、光分岐^^ 2 0と光チャネルセレクタ 2 1 を組み合わせ、光チャネルセレクタ 2 iを駆勁して光分岐手¾ 2 0の出力光のいずれか一方だけを^]過させることによ:つ、光ファイバ 1〇差し換えをすることなく入口を択するようにしたもである。

図 1 4は] ϋに ¾の ΰ ^例図である。タイミング ^号発生器 2 2から発生するタィミング号をアレイ ¾子 1 5の出力^み出し川の駆 I!J回路 2 4および光チヤネルセレクタ 2 1のァャネル ¾ Ό投ぇ川の切換制御 a路 2 3に与えて、了レイ ¾子 1 5の出力み出しと光チャネルセレクタ 2 1 Οチャネル切り ;!え Οタイミングを同期させて、つまりチャネルのり換えに同朋して、丁レイ ¾子の引を行い、 ¾数チヤネルからの 1周期ずつの Sを交互に ¾り込むことにより ^数の波長域を同時に（掃引 ¾ίίί]だけの時刻のずれはある）測定するようにしたものである。なお、アレイ^子の出力 ί 号を記' 1≤するメモリ 5には異なる波長域からの信号が時系列に並んだものとなる力 ¾示器 2 Gには前記タイミング信号により所定の波長域かの信号を読み出し表示する。図 1 5は更に他の実施例図である。図 1 5の構成では、光チャネルセレクタ 2 1が入射光ゼロのチャネル 2 1 aを備え、 [^出力もリアルタイムで取り込み、了レイ素子の測定値に対して暗出力キャンセルの正ができるように構成したものである。

図 1 6は分散素子 1 3としてプリズムを用いた場合の構成例である。プリズムの角分散を考 IIして入口を設ければ、前述の ¾ 命が成立する。なお、本発叨の上の説叨は、説明お _ - 1 3よび例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない _c したがって本発叨はその本 ϊίから逸脱せずに多くの変更、変形をなし得ることは明らかである。

Claims

- 請求囲

1 . 入射口からの被測定光を分散素子に入射し、分故素子から出射される光を集 ¾して複数の受光素子から成る了レイ素子:こ照射するように構成された分光装置と、

i 記各アレイ尜子の出力と前記入^口での光バヮ一分布とから中心波長を補し、トータルパワーを浪する浪^^證と、

前記中心波長およびトータルパヮ一の値を^示する表示 ¾置

を備えた二とを特徴とする光スベタトラ厶了ナライザ'。

2 . 前記入射口にシングルモードファイバを用い、前記 ¾算装置は入口での光パワー分布をガウス型またはローレンツ型として前記中心波 ^とトータルパワーを^;?により求めるように^成されたことを iSとする特許^求の ! 第 1 ¾記战の光スぺクトラ厶アナライザ '

3 . m m^m^. S大出力を示す受光 ¾子の ί¾側の受光 ¾子の出力の比の対 ¾のが、大出力を示す受光 ¾子^中心と入射ビームの中心とのずれに比例すると近似して、 Ψ心波] Ϊおよびトータルパワーを^ ίίϊにより求めるように^成されたことを特徴とする許 ·求の US 1 ¾ の光スぺクトラムアナライザ。

4 . 入射口から〇¾測定光を分¾ ^子に入し、分故 ¾子から出射される光を

^して ¾!数の光^子から成るアレイ^子に jl( するように描成された分光！:

,レ

I'jijiE各了レイお-了- 出力と K入口での光パヮ一分布とから屮心 J¾とト一タルパワーを ; する ί幾能、および i'ii]>H4」心 ¾ ^とトータルパワーから被測定光のスぺクトル形状を; ^により求め、そのスぺクトルと ύ5記アレイ^子より得られる英データから被測定光以外のスぺクトルをにより求める機能を有する浈 ^装と、

前記被測定光のスぺクトルと被測定光以外のスべクトルのいずれか一方または ] ¾ -^示する示

を備えたことを特^とする光スぺクトラムアナライザ'

5 . 前記入射口にシングルモードファイバを用い、前記浪^装 Sは入射口での光パワー分布をガウス型として^記中心波長とト一タルパヮ一を演算により求めるように構成したことを特徴とする特許請求の範囲第 4項記載の光スぺクトラムァナライザ。

6 . 前記^算装匿は、最大出力を示す受光素子の両側の受光素子の出力の比の対数の値が、 ¾大出力を示す受光 ¾子 O中心と入ビームの中心とのずれに比例するものと近似し、中心波長およびトータルパヮ一を¾ により求めるように構成したことを特徴とする特許請求の範 I第 4项記^の光スぺクトラムアナライザ。 ? . 分素子に ¾測定光を入射し、前記分子からの出射光をと了レイ素子で検出するように祸成した分光装 iSにおいて、

測定波長 ¾![ を¾致の波長域に分割し、各波良域に対応するそれぞれ異なる入射口を設けると共に、その入^口は各波長 5 域の中心波に対する記分故 ¾子での回折角が同じになるように ¾定されたことを特徴とする分光^

8 . 前記分¾¾子として回折格子またはブリズムを用いたことを特とする特許 ¾求の E囲^ 7 ¾¾記^の分光 Ξ。

9 . 前記入射口に光ファイバコネクタを設け、測波良域に応じて入射口を選択し、光ファイバを^し投ぇるように^成したことを¾徴とする特求の IHI ^ 7项または δ の分光 ^Ε。

1 0 . 前記入射口を光分岐^ ί¾と光チャネルセレクタにより ^ の入射口を形成すると共に、光分岐 ]¾により被測定光を数の入口に同時に入れ、 |)ί] 光チつ'ネルセレクタにより所望の¾ 域を ^ するようにしたことを¾¾とする

1项また ^ 8 の分光 s：。

1 1 . ι½記光チャネルセレクタをアレイ ¾子のみ出しタイミングに同^してスキャンさせ、分^された ¾数〇波長域を一して次測定するように^成したことを特^とする特許^求の^ 1 ϋ ¾0己^の分光 11。

1 2 . ½記光チャネルセレクタ：よ被測定光が遮^されたチャネルを ¾え、このチャネルの^出力も^定して他のチヤネルの^: を Μ正するように^成したことを特^とする ί F 求の^ ill^ 1 I ^^の分光 ^。