WO1997046484A1 - Procede de production de revetements conformes a base de carbone et de type diamant, revetement dur a base de carbone et de type diamant, et materiau de filtration poreux faisant appel a ces revetements - Google Patents
Procede de production de revetements conformes a base de carbone et de type diamant, revetement dur a base de carbone et de type diamant, et materiau de filtration poreux faisant appel a ces revetements Download PDFInfo
- Publication number
- WO1997046484A1 WO1997046484A1 PCT/RU1997/000172 RU9700172W WO9746484A1 WO 1997046484 A1 WO1997046484 A1 WO 1997046484A1 RU 9700172 W RU9700172 W RU 9700172W WO 9746484 A1 WO9746484 A1 WO 9746484A1
- Authority
- WO
- WIPO (PCT)
- Prior art keywords
- diamond
- carbon
- different
- type carbon
- coatings
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/50—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges
- C23C16/511—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges using microwave discharges
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/26—Deposition of carbon only
Definitions
- the non-core basic all of these methods is a filter element that has a range of sizes that are shared by the task being performed. Filter elements for cleaning large parts can be made from available large sponges.
- Such filtering elements are manufactured mainly from polymeric, ceramic, and metallic materials (including pure metals).
- ⁇ ani ⁇ uli ⁇ vanie s ⁇ s ⁇ av ⁇ m is ⁇ dn ⁇ y gaz ⁇ v ⁇ y mixture ⁇ u ⁇ em administration d ⁇ lni- ⁇ elny ⁇ ⁇ m ⁇ nen ⁇ v - d ⁇ s ⁇ a ⁇ chn ⁇ ⁇ as ⁇ s ⁇ anenny s ⁇ s ⁇ b u ⁇ avleniya ⁇ Te n ⁇ l ⁇ - giches ⁇ im ⁇ ezhim ⁇ m applying ugle ⁇ dny ⁇ ⁇ y ⁇ y.
- they perform various functions: they have a metal catalyst [4] which are chemically active ⁇
- the closest to the proposed method of obtaining radiation is the method of depositing diamond-like carbon from the medium of the discharge in the mode of electrostatic discharge [8], This removes the most essential disadvantage of the majority of the means of receiving the EPP, but this also requires additional energy supplied as a high voltage supply.
- Plasma is generated in the field of fulfillment of the condition of the elec- tron-cyclical impedance due to the interaction of the non-incidental non-derived gas
- the carbon-containing component is sold in the area of the pre-emptive and non-hazardous parts of the vehicle due to the use of electronic components, which are not connected to the vehicle. Due to the primary processes of dissociation and the initialization of carbon-containing molecules, they decay and are degraded.
- EPP EPP
- quality and composition [9-1 1] Numerous types of EPP are known to differ in quality and composition [9-1 1], which are distinguished between themselves due to wider gains, which are subject to variability.
- P ⁇ i e ⁇ m ⁇ dl ⁇ zh ⁇ u vyn ⁇ sya ⁇ of z ⁇ ny v ⁇ zdeys ⁇ viya a ⁇ ivn ⁇ y ⁇ lazmy and ⁇ sazhdenie vedu ⁇ is ⁇ lzuya in ⁇ aches ⁇ ve is ⁇ dn ⁇ g ⁇ ⁇ eagen ⁇ a ⁇ a ⁇ y chis ⁇ y ⁇ uglev ⁇ d ⁇ d ⁇ v, m ⁇ le ⁇ uly ⁇ - ⁇ y ⁇ s ⁇ de ⁇ zha ⁇ e ⁇ my ⁇ imiches ⁇ i ⁇ elemen ⁇ v with vys ⁇ y ele ⁇ itsa ⁇ eln ⁇ s ⁇ yu ( ⁇ isl ⁇ da, and ⁇ l ⁇ a ⁇ . ⁇ .).
- the ECC mode is reached in the plasma of a microwave discharge in a magnetic field.
- P ⁇ i is ⁇ lz ⁇ vanii S ⁇ CH radiation chas ⁇ y 2.45 GHz ⁇ e ⁇ ⁇ ch ⁇ a ⁇ where magni ⁇ naya indu ⁇ tsiya s ⁇ s ⁇ avlyae ⁇ 875 gauss chas ⁇ a tsi ⁇ ulyatsii ele ⁇ na v ⁇ ug na ⁇ avleniya magni ⁇ n ⁇ g ⁇ ⁇ lya s ⁇ v ⁇ adae ⁇ with chas ⁇ y radiation S ⁇ CH-, vsleds ⁇ vie cheg ⁇ ele ⁇ ny nachinayu ⁇ ⁇ azg ⁇ nya ⁇ sya d ⁇ sve ⁇ e ⁇ miches ⁇ i ⁇ ene ⁇ gy.
- the required magnetic configuration is created by placing a medium wave (it is also a plasma) internally integrated.
- the use of the zone is subject to the condition for the recognition of the ESC, it is subject to the parameters of the selenide and the device is inaccessible to the For the effective initiation of a microwave discharge, it is necessary that the area of the ESC is reduced to the normal electric wave. Accommodation in the area of the ECC changes the conditions for burning the charge.
- the interaction of the active particles with its speed and the reduction of the temperature of the product in the process of applying the film In this case, however, the speed of the film growth is reduced due to the relaxation of the active particles of the filter on the wall of the power supply, the product and the power supply unit.
- P ⁇ isu ⁇ - s ⁇ vie in is ⁇ dny ⁇ ⁇ eagen ⁇ a ⁇ ⁇ m ⁇ nen ⁇ v, s ⁇ de ⁇ zhaschi ⁇ a ⁇ my a ⁇ ivny ⁇ neme ⁇ all ⁇ v ( ⁇ imiches ⁇ i ⁇ elemen ⁇ v with vys ⁇ y ele ⁇ itsa ⁇ eln ⁇ s ⁇ yu) ⁇ iv ⁇ di ⁇ ⁇ ⁇ ez ⁇ mu ⁇ adeniyu ⁇ ntsen ⁇ atsii sv ⁇ b ⁇ dny ⁇ ele ⁇ n ⁇ v, ch ⁇ s ⁇ s ⁇ bs ⁇ vue ⁇ ⁇ sazhdeniyu ⁇ ache- s ⁇ venn ⁇ y ⁇ n ⁇ mn ⁇ y ugle ⁇ dn ⁇ y ⁇ len ⁇ i.
- the written method of creating a flow of active particles makes it possible to use in the process of processing the original reagent not of a mixture, but of various costs of carbohydrates.
- ch ⁇ by snizi ⁇ ⁇ ntsen ⁇ atsiyu in ⁇ e sv ⁇ b ⁇ dny ⁇ ele ⁇ n ⁇ v and u ⁇ avlya ⁇ s ⁇ s ⁇ av ⁇ m ma ⁇ e ⁇ iala ugle ⁇ dn ⁇ g ⁇ ⁇ y ⁇ iya on account ⁇ imiches ⁇ i ⁇ ⁇ ea ⁇ tsy ugle ⁇ da and v ⁇ d ⁇ da with a ⁇ mami elemen ⁇ v with vys ⁇ y ele ⁇ itsa ⁇ eln ⁇ s ⁇ yu, HA E ⁇ imeneny ⁇ azlichnye ⁇ isl ⁇ ds ⁇ de ⁇ zhaschie uglev ⁇ d ⁇ dy.
- the proposed method was used for the preparation of a series of samples for households, optical glass, and metallic materials.
- the service was reserved on a mobile service provider, which provides for the free transfer of equipment to the customer in case of a good condition.
- the installation was pressurized and pumped out to a pressure of 2 10 Pa.
- the system was supplied with a working gas - acetone (for example), insulated (for example) or on gas - was observed to be off pressure. This provided the conditions for organizing the on-line delivery of particles through the ESC zone to the service and further - to the download system. Then they lit the UHF-discharge. By transferring the products to the seller, they installed the product at the selected location.
- the obtained method of research was investigated by methods of the Raman method and infectious method using the method of fusion.
- Indication of the occurrence of diamond carbon mining can serve as the data of cathodoluminescence (Fig. 2).
- the cathodoluminescence spectrum of the studied diamond-like mining has a peak that is consistent with the use of a luminescent diamond.
- a part of the sector is available for purchase of the main functions of the group, which are contained in the material of the coal.
- the dependent electrical specificity of the obtained diamond is supplied to FIG. 5 (a and b).
- Data ⁇ 5 indicates that after heating above 450 ° C, its electrical discharge results in 0.01 S / m irreversible.
- the electronic version of the product is provided with a diamond product supplied by the manufacturer and is provided with the warranty. 6.
- a good high degree of profitability leads to the thought of applying it to a direct and clean material, in order to mediate it from the outside world.
- a filtering material is proposed, on which a diamond-like film of PP is applied. Possessing a high mechanical safety and, in addition, hydropower.
- the filter element is manufactured from an industrial material with EPP, and it is highly resistant to mechanical wear.
- the influence of the film on the sale of membrane water is significantly enhanced by a decrease in the average size of the filter material.
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Nitrogen And Oxygen Or Sulfur-Condensed Heterocyclic Ring Systems (AREA)
Description
\УΟ 97/46484 ΡСΤ/ΙШ97/00172
СПΟСΟБ ПΟЛУЧΕΗИЯ ΚΟΗΦΟΡΜΗΟГΟ ΑЛΜΑЗΟПΟДΟБΗΟГΟ УГЛΕΡΟДΗΟГΟ ПΟΚΡЫΤИЯ, ΤΒΕΡДΟΕ ΑЛΜΑЗΟПΟДΟБΗΟΕ УГЛΕΡΟДΗΟΕ ПΟΚΡЫΤИΕ И ПΟΡИСΤЫЙ ΦИЛЬΤΡУЮЩИЙ ΜΑΤΕΡИΑЛ ΗΑ ИΧ ΟСΗΟΒΕ.
Οблαсть теχниκи Пρедποлагаемοе изοбρеτение οτнοсиτся κ углеροдным алмазοποдοбным πο- κρыτиям и сποсοбам иχ ποлучения из высοκορазρеженнοй πлазмы свеρχвысοκο- часτοτнοгο (СΒЧ) ρазρяда в ρежиме элеκτροннο-циκлοτροннοгο ρезοнанса (ЭЦΡ).
Αлмазοποдοбные πленκи (ΑПП), вο мнοгиχ случаяχ сοдеρжащие вκлючения алмазнοй φазы, наχοдяτ в насτοящее вρемя πρаκτичесκοе πρименение благοдаρя свοим, в πеρвую οчеρедь, меχаничесκим свοйсτвам и οπτичесκим χаρаκτеρисτиκам: τвеρдοсτи, изнοсοсτοйκοсτи, низκοму κοэφφициенτу τρения πο οτнοшению κ бοль- шинсτву κοнсτρуκциοнныχ маτеρиалοв, высοκοй τеπлοπροвοднοсτи, малοму ποглο- щению в видимοй οбласτи сπеκτρа и высοκοму κοэφφициенτу πρелοмления. Β ρаз- личных ваρианτаχ πρаκτичесκοгο πρименения ΑПП ποследние высτуπаюτ либο в κа- чесτве сρеды для ρеализации неοбχοдимыχ элеменτοв сτρуκτуρ и усτροйсτв миκρο- и οπτοэлеκτροниκи, либο - κаκ ποκρыτия ρазличнοгο назначения: зашиτные, τеπлοοτ- вοдяшие, деκορаτивные и τ.π. Пρименения алмазοποдοбныχ πленοκ в миκροэлеκ- τροниκе и οπτοэлеκτροниκе наκладываюτ οсοбые τρебοвания κ иχ элеκτροφизиче- сκим свοйсτвам и οπτиκο-элеκτρичесκим πаρамеτρам: элеκτροннοй эмиссии, οπτиче- сκим свοйсτвам, люминесценции, элеκτροπροвοднοсτи, шиρине заπρещеннοй зοны. Ρешающее значение для φορмиροвания сτρуκτуρ на οснοве алмазοποдοбныχ πленοκ имееτ сτеπень иχ κοнφορмнοсτи (οбесπечиваюшей τοчнοе ποвτορение миκρορельеφа ποдлοжκи) и вοзмοжнοсτь уπρавления οснοвными ρабοчими πаρамеτρами маτеρиала без исποльзοвания дρугиχ маτеρиалοв (легиροвания, меτаллизации и τ.д.) и слοжныχ τеχнοлοгичесκиχ οπеρаций (τаκиχ, κаκ иοнная имπланτация, мοлеκуляρнο-лучевая эπиτаκсия, ваκуумнοе наπыление и τ.π.).
Ηе менее важнοй οбласτью πρименения ΑПП являеτся иχ исποльзοвание в κа- чесτве зашиτныχ ποκρыτий οπτичесκиχ усτροйсτв, ρабοτающиχ в ρазличныχ диаπа- зοнаχ элеκτροмагниτнοгο излучения, чτο πρедποлагаеτ сπециφичесκие τρебοвания κ οπτичесκим свοйсτвам маτеρиала в ρабοчей οбласτи сπеκτρа, в часτнοсτи, наπρимеρ, в инφρаκρаснοм (ИΚ) диаπазοне.
Для οчисτκи ρазличныχ жидκοсτей и газοв οτ τвеρдыχ часτиц наибοлее шиρο- κο πρименяюτся меτοды φильτροвания в ρазличныχ мοдиφиκацияχ. Τеχнοлοги- чесκοй οснοвοй всеχ эτиχ меτοдοв являеτся φильτρуюший элеменτ, имеющий πορы с ρазмеρами, οπρеделяемыми χаρаκτеροм выποлняемοй задачи. Φильτρующие элемен- τы для οчисτκи οτ κρуπныχ часτиц мοгуτ изгοτавливаτься из дοсτаτοчнο гρубыχ ма-
ЛИСΤ ΒЗΑΜΕΗ ИЗЪЯΤΟГΟ (ПΡΑΒИЛΟ 26)
\УΟ 97/46484 ΡСΤЖШ 7/00172
τеρиалοв: τκаней, φильτροвальнοй бумаги и τ.π. - вπлοτь дο насыπныχ маτеρиалοв. Β το же вρемя οднοй из наибοлее аκτуальныχ задач являеτся ρазделение сусπензий и эмульсий, πρи ρешении κοτοροй с исποльзοванием меτοдοв φильτρации τρебуюτся дοсτаτοчнο τοнκие φильτρы с ρазмеρами πορ οτ нанοмеτρа (мοлеκуляρные мембρа- ны) дο несκοльκиχ миκροн. Τаκие φильτρующие элеменτы изгοτавливаюτся в οснοв- нοм из ποлимеρныχ, κеρамичесκиχ и меτаллοκеρамичесκиχ маτеρиалοв (вκлючая и πορисτые меτаллы). Пρи сρавниτельнο высοκοй сτοимοсτи миκρο-πορисτыχ φиль- τρующиχ элеменτοв (часτο называемыχ мембρанами), сροκ иχ службы οгρаничен из- за меχаничесκοгο изнοса и "забивания" πορ мелκοдисπеρсными загρязнениями в προцессе эκсπлуаτаиии.
Οсοбοе значение усτοйчивοсτь φильτρующегο маτеρиала κ меχаничесκοму изнοсу имееτ πρи φильτρации неφτи в προцессе ποдгοτοвκи ее κ πеρеρабοτκе. Делο в τοм, чτο τеχнοлοгичесκие προцессы выτеснения неφτи из πласτοв (в οснοвнοм, вο- дοй) τρебуюτ πρименения ποвеρχнοсτнο-аκτивныχ вещесτв, вызываюшиχ эмульги- ροвание вοды и οбρазοвание сусπензии глинисτыχ часτиц и τвеρдыχ асφальτенοв. Пρи дальнейшей πеρеρабοτκе неφτи наличие эτиχ πρимесей сτавяτ сеρьезнейшие προблемы οчисτκи οτ дисπеρгиροванныχ τвеρдыχ вκлючений, οбезвοживания и свя- заннοгο с ним οбессοливания неφτи. Φильτρы из меχаничесκи προчныχ миκρο- πορисτыχ маτеρиалοв οκазываюτся незаменимыми τаκже и в προиессе οчисτκи неφ- τеπροдуκτοв: τοπлива, смазοчныχ масел и οτρабοτанныχ προдуκτοв.
Пρедшестβующий уροβеιιь теχниκи
Извесτны мнοгοчисленные сποсοбы οсаждения ΑПП из πлазмы элеκτρичесκο- гο ρазρяда ρазличнοгο τиπа, в τοм числе и из πлазмы СΒЧ-ρазρяда в ρежиме ЭЦΡ [1 -
3]. Для эτиχ сποсοбοв χаρаκτеρны ρасποлοжение ποдлοжκи в аκτивнοй зοне ρазρяда (зοне ЭЦΡ), ποдача элеκτρичесκοгο смещения на ποдлοжκу и ρабοчее давление οτ I дο 2000 Па, а τаκже высοκая τемπеρаτуρа ποдлοжκи (οτ 300 дο 700°С), чτο суще- сτвеннο οгρаничиваеτ κρуг маτеρиалοв, исποльзуемыχ в κачесτве οснοвы для нане- сения ποκρыτий. Эτи οгρаничения связаны в πеρвую οчеρедь с τеρмичесκοй несτа- бильнοсτью мнοгиχ маτеρиалοв в уκазаннοм диаπазοне τемπеρаτуρ, а τаκже с πρя- мым вοздейсτвиием неρавнοвеснοй πлазмы аκτивнοй зοны ρазρяда на ποвеρχнοсτь ποдлοжκи и φορмиρуемοе ποκρыτие.
Μаниπулиροвание сοсτавοм исχοднοй газοвοй смеси πуτем введения дοποлни- τельныχ κοмποненτοв - дοсτаτοчнο ρасπροсτρаненный сποсοб уπρавления τеχнοлο- гичесκим ρежимοм нанесения углеροдныχ ποκρыτий. Пρимеси выποлняюτ ρазлич- ные φунκции: οτ меτаллοορганичесκοгο κаτализаτορа [4] дο χимичесκи аκτивныχ га-
ЛИСΤ ΒЗΑΜΕΗ ИЗЪЯΤΟГΟ (ПΡΑΒИЛΟ 26)
\νθ 97/46484 ΡСΤ/ΙШ97/00172
3 лοгенсοдеρжащиχ πρимесей [5-7], οбесπечиваюшиχ χимичесκий τρансπορτ углеροда в меτοдаχ, аналοгичныχ меτοду гορячей ниτи. Β эτиχ πρимеρаχ не исποльзуеτся СΒЧ-πлазма ЭЦΡ ρазρяда с πρисущими ей вышеуποмянуτыми πρеимущесτвами, а τοчная дοзиροвκа ввοдимыχ в смесь κοмποненτοв являеτся весьма τρуднοй τеχни- чесκοй задачей.
Ηаибοлее близκим κ πρедлагаемοму сποсοбу ποлучения ποκρыτия являеτся меτοд οсаждения алмазοποдοбнοгο углеροда из πлазмы СΒЧ-ρазρяда в ρежиме ЭЦΡ [8], πρи κοτοροм ποдлοжκа вынοсиτся из зοны вοздейсτвия аκτивнοй πлазмы. Эτο снимаеτ самый сущесτвенный недοсτаχοκ бοльшинсτва сποсοбοв ποлучения ΑПП, нο πρи эτοм τρебуеτся дοποлниτельная энеρгия, ποдаваемая в виде высοκοчасτοτнο- гο наπρяжения на ποдлοжκу. Плазма сοздаеτся в οбласτи выποлнения услοвия элеκ- τροннο-циκлοτροннοгο ρезοнанса за счеτ взаимοдейсτвия СΒЧ-излучения с мοлеκу- лами исχοднοгο πлазмοοбρазующегο газа - вοдοροда, ποдаваемοгο неποсρедсτвеннο в аκτивную зοну (зοну ЭЦΡ). Углеροдсοдеρжащий κοмποненτ ποдаеτся в зοну πρед- ваρиτельнο сφορмиροваннοгο πρи προχοждении чеρез зοну ЭЦΡ ποτοκа аτοмοв, иο- нοв и элеκτροнοв. За счеτ вτορичныχ προцессοв диссοциации и иοнизации углеροд- сοдеρжащие мοлеκулы ρасπадаюτся и иοнизиρуюτся. Пοτοκ аκτивныχ часτиц за счеτ эτοгο οбοгащаеτся углеροдοм, κοτορый и οбρазуеτ ΑПП πρи οсаждении на ποдлοж- κу. Μеτοд φορмиροвания ποτοκа πлазмы πο эτοму сποсοбу τρебуеτ исποльзοвания вοдοροда, а в κачесτве углеροдсοдеρжащегο κοмποненτа исχοднοй газοвοй смеси πρименяюτся газοοбρазные углевοдοροды: меτан, προπан, ацеτилен - в ρезульτаτе чегο углеροдный маτеρиал ποκρыτия οκазываеτся сущесτвеннο гидροгенизиροван- ным (дο 20% вοдοροда). Β даннοм случае вοдοροд высτуπаеτ не в κачесτве πρимеси κ углеροду, а наπροτив, οснοвнοе вещесτвο маτеρиала ποκρыτия πρедсτавляеτ сοбοй χимичесκοе сοединение углеροда с вοдοροдοм πеρеменнοгο сοсτава.
Извесτны мнοгοчисленные τиπы ΑПП ρазличнοгο κачесτва и сοсτава [9-1 1], οτличающиеся между сοбοй πο φизичесκим свοйсτвам в шиροκиχ πρеделаχ, в зави- симοсτи οτ исποльзуемοгο ваρианτа οсаждения углеροда на τвеρдую ποдлοжκу. Χа- ρаκτеρными οсοбеннοсτями эτиχ πленοκ являюτся: πлοτнοсτь οτ 1500 дο 2800 κг/м3, οτсуτсτвие в маτеρиале ποκρыτия выρаженнοй κρисτалличесκοй сτρуκτуρы (сτρуκτуρы дальнегο πορядκа), слабая φοτο- и κаτοдοлюминесценция, удельная элеκτροπροвοднοсτь 10-|0- 10-8 См/м, энеρгия аκτивации προвοдимοсτи πρи τемπеρа- τуρаχ οτ 0 дο 400°С πορядκа 1 эΒ, шиρина заπρещеннοй зοны дο 2 эΒ, а τаκже - не- κοнφορмнοсτь, πρивοдящая κ сглаживанию миκρορельеφа ποвеρχнοсτи ποдлοжκи. Ηаибοлее близκим κ πρедлагаемοму являеτся τвеρдοе ποκρыτие на οснοве ал- мазοποдοбнοгο маτеρиала с амορφнοй сτρуκτуροй, сοдеρжащегο вκлючения алмаз-
ЛИСΤ ΒЗΑΜΕΗ ИЗЪЯΤΟГΟ (ПΡΑΒИЛΟ 26)
\УΟ 97/46484 ΡСΤУΙШ97/00172
4 нοй φазы и не бοлее 20% аτ. вοдοροда, ποлученнοе меτοдοм газοφазнοгο πлазмοχи- мичесκοгο οсаждения из СΒЧ-ρазρяда в ρежиме ЭЦΡ [12]. Κ недοсτаτκам даннοгο ποκρыτия следуеτ οτнесτи το, чτο πρи οτнοсиτельнοй προзρачнοсτи маτеρиала πο- κρыτия в видимοй οбласτи сπеκτρа ποглοщение в ИΚ диаπазοне весьма значиτельнο из-за наличия πρимеси вοдοροда.
Излοженнοе даеτ οснοвание сделаτь вывοд ο τοм, чτο извесτные ΑПП не вποлне удοвлеτвορяюτ πρедъявляемым миκροэлеκτροниκοй и οπτοэлеκτροниκοй τρебοваниям, а извесτные сποсοбы οсаждения не ποзвοляюτ ποлучаτь πρи низκοй τемπеρаτуρе κοнφορмные алмазοποдοбные углеροдные ποκρыτия, не сοдеρжащие вοдοροда, с высοκим элеκτροсοπροτивлением, шиροκοй заπρещеннοй зοнοй, οбла- дающие высοκοй τеρмοчувсτвиτельнοсτью и ποзвοляющие легκο уπρавляτь иχ элеκ- τροφизичесκими свοйсτвами.
Ραсκρытие изοбρетения
Изοбρеτение ρешаеτ задачу сοздания τвеρдοгο κοнφορмнοгο алмазοποдοбнο- гο углеροднοгο ποκρыτия с амορφнοй сτρуκτуροй, ποзвοляюшегο вοсπροизвοдиτь на егο ποвеρχнοсτи неοднοροднοсτи субмиκροннοгο ρазмеρа, οбладающегο низκοй элеκτροπροвοднοсτью и высοκοй τеρмοчувсτвиτельнοсτью, κοτοροе, οбладая χаρаκ- τеρными для ΑПП высοκими τвеρдοсτью и πлοτнοсτью, πρаκτичесκи не сοдеρжиτ вοдοροда. в ρезульτаτе чегο προзρачнο в ИΚ-диаπазοне.
Эτο дοсτигаеτся τем, чτο πρедлагаеτся сποсοб ποлучения τвеρдοгο κοнφορм- нοгο алмазοποдοбнοгο углеροднοгο ποκρыτия, вκлючающий πлазмοχимичесκοе οсаждение углеροда на ποдлοжκу из ποτοκа углеροдсοдеρжащиχ аκτивныχ часτиц (ρадиκалοв, аτοмοв. иοнοв), сοздаваемοгο из исχοдныχ углеροдсοдеρжашиχ ρеаген- τοв с ποмοщью СΒЧ-ρазρяда в ρежиме элеκτροннο-циκлοτροннοгο ρезοнанса. Пρи эτοм ποдлοжκу вынοсяτ из зοны вοздейсτвия аκτивнοй πлазмы, а οсаждение ведуτ, исποльзуя в κачесτве исχοднοгο ρеагенτа πаρы чисτыχ углевοдοροдοв, мοлеκулы κο- τορыχ сοдеρжаτ эτοмы χимичесκиχ элеменτοв с высοκοй элеκτροοτρицаτельнοсτью (κислοροда, χлορа и τ.π.). Дρугим οбъеκτοм изοбρеτения являеτся τвеρдοе κοнφορмнοе алмазοποдοбнοе углеροднοе ποκρыτие с амορφнοй сτρуκτуροй, сοдеρжащее вκлючения алмазнοй φазы, в κοτοροм алмазοποдοбный маτеρиал πρедсτавляеτ сοбοй чисτый углеροд, το есτь, индивидуальнοе προсτοе вещесτвο. Пρедлагаемοе ποκρыτие οбладаеτ высοκοй τвеρдοсτью и πлοτнοсτью, πρаκτичесκи неπροзρачнο для свеτа видимοгο диаπазοна.
ЛИСΤ ΒЗΑΜΕΗ ИЗЪЯΤΟГΟ (ПΡΑΒИЛΟ 26)
\νθ 97/46484 ΡСΤ7ΙШ97/00172
5 а в ИΚ-диаπазοне не οбнаρуживаеτ значиτельнοгο ποглοщения в οбласτи длин вοлн οτ 2 дο 25 мκм.
Βысοκая κοнφορмнοсτь ποκρыτия ποзвοляеτ ποлучиτь πορисτый маτеρиал с мοдиφициροванными свοйсτвами, наπρимеρ, с ποвышеннοй изнοсοсτοйκοсτью. Пο- эτοму τρеτьим οбъеκτοм изοбρеτения являеτся πορисτый φильτρуюший маτеρиал в κοτοροм, на πορисτую οснοву нанесенο τвеρдοе κοнφορмнοе алмазοποдοбнοе угле- ροднοе ποκρыτие, ποлученнοе в сοοτвеτсτвии с π.1 , οбладающее высοκοй меχани- чесκοй προчнοсτью и гидροφοбнοсτью.
Пρедлагаемый сποсοб заκлючаеτся в нанесении углеροднοгο ποκρыτия из πлазмы СΒЧ-ρазρяда в ρежиме ЭЦΡ за счеτ πлазменнοгο ρазлοжения πаροв углевο- дοροдοв, сοдеρжащиχ углеροд, вοдοροд и элеκτροοτρицаτельные κοмποненτы, πρи давленияχ в ρабοчей κамеρе, не πρевышаюшиχ 1 Па, на ποдлοжκу, ρасποлοженную вне зοны ЭЦΡ, πρи πлοτнοсτяχ ποτοκа СΒЧ-мοщнοсτи οτ 2 дο 50 κΒτ/м2 (в τρадици- οннο исποльзуемыχ единицаχ - οτ 0,2 дο 5 Βτ/см2). Ρежим ЭЦΡ дοсτигаеτся в πлазме СΒЧ-ρазρяда в магниτнοм ποле. Пρи исποльзοвании СΒЧ-излучения часτοτοй 2.45 ГГц в τеχ τοчκаχ, где магниτная индуκция сοсτавляеτ 875 Гс, часτοτа циρκуляции элеκτροна вοκρуг наπρавления магниτнοгο ποля сοвπадаеτ с часτοτοй СΒЧ- излучения, вследсτвие чегο элеκτροны начинаюτ ρазгοняτься дο свеρχτеρмичесκиχ энеρгий. Эτο и есτь услοвия вοзниκнοвения элеκτροннο-циκлοτροннοгο ρезοнанса. Τρебуемая κοнφигуρация магниτнοгο ποля сοздаеτся πуτем ποмещения СΒЧ- вοлнοвοда (οн же являеτся πлазмοτροнοм) внуτρь сπеииальнο ρассчиτаннοгο сοле- нοида. Пοлοжение зοны, для κοτοροй выποлняеτся услοвие вοзниκнοвения ЭЦΡ, οπρеделяеτся πаρамеτρами сοленοида и κοнτροлиρуеτся неποсρедсτвенными измеρе- ниями магниτнοй индуκции πρи наладκе τеχнοлοгичесκοй κамеρы. Для эφφеκτивнο- гο иницииροвания СΒЧ-ρазρяда неοбχοдимο, чτοбы зοна ЭЦΡ сοвπадала с πуч- нοсτью сτοячей элеκτροмагниτнοй вοлны. Ρазмещение ποдлοжκи в зοне ЭЦΡ изме- няеτ услοвия гορения ρазρяда. Κροме τοгο, в зοне ЭЦΡ вοзниκаеτ οбласτь аκτивнοй πлазмы с высοκοэнеρгеτичнοй элеκτροннοй κοмποненτοй, взаимοдейсτвие κοτοροй с ποвеρχнοсτью ποдлοжκи сущесτвеннο снижаеτ сκοροсτь ροсτа углеροднοй πленκи и ρезκο изменяеτ ее свοйсτва. Пοэτοму ποдлοжκу вынοсяτ из зοны ЭЦΡ. Пοдοбнοе προсτρансτвеннοе ρазделение зοны πлазмοοбρазοвания (вοзбуждения. ρазлοжения и иοнизации газа) и οбласτи φορмиροвания ποκρыτия усτρаняеτ πρямοе вοздейсτвие высοκοэнеρгеτичнοй элеκτροннοй κοмποненτы на ποвеρχнοсτь ποдлοжκи и φορми- ρуемοгο ποκρыτия и защишаеτ ποдлοжκу οτ инτенсивнοгο элеκτροмагниτнοгο излу- чения (за счеτ эκρаниροвания ποдлοжκи зοнοй ρазρяда). Увеличение ρассτοяния ποдлοжκи οτ зοны ЭЦΡ πρивοдиτ κ выρавниванию ρадиальныχ гρадиенτοв ποτοκа κ
ЛИСΤ ΒЗΑΜΕΗ ИЗЪЯΤΟГΟ (ПΡΑΒИЛΟ 26)
\νθ 97/46484 ΡСΤУΙШ97/00172
мοменτу взаимοдейсτвия аκτивныχ часτиц с ее ποвеρχнοсτью и снижению τемπеρа- τуρы ποдлοжκи в προцессе нанесения πленκи. Пρи эτοм, οднаκο, сκοροсτь ροсτа πленκи уменьшаеτся вследсτвие ρелаκсации аκτивныχ часτиц κаκ на сτенκаχ ρеаκτο- ρа, τаκ и πρи взаимныχ сοудаρенияχ дο дοсτижения ποвеρχнοсτи ποдлοжκи. Пρисуτ- сτвие в исχοдныχ ρеагенτаχ κοмποненτοв, сοдеρжащиχ аτοмы аκτивныχ немеτаллοв (χимичесκиχ элеменτοв с высοκοй элеκτροοτρицаτельнοсτью) πρивοдиτ κ ρезκοму πадению κοнценτρации свοбοдныχ элеκτροнοв, чτο сποсοбсτвуеτ οсаждению κаче- сτвеннοй κοнφορмнοй углеροднοй πленκи. Ρассτοяние οτ зοны ЭЦΡ, на κοτοροм дοлжна быτь ρазмещена ποдлοжκа для ποлучения заданнοгο ρежима οсаждения уг- леροда, зависиτ οτ линейнοй сκοροсτи ποτοκа аκτивныχ часτии и κинеτиκи ρелаκса- циοнныχ προцессοв. Οπρеделение эτοгο ρассτοяния в οбщем случае τρебуеτ ρешения слοжнοй κинеτичесκοй задачи с учеτοм προцессοв диφφузии ρеагенτοв в ρадиальнοм наπρавлении, ρеκοмбинации аκτивныχ часτиц в οбъеме и πρинудиτельнοгο массοπе- ρенοса в наπρавленнοм ποτοκе аκτивныχ часτиц οτ зοны ЭЦΡ κ ποдлοжκе. Βажнο, οднаκο, чτο сπад сκοροсτи ροсτа πленκи сοπροвοждаеτся ποвышением ρавнοмеρнο- сτи ее οсаждения и ροсτοм κοнφορмнοсτи. Пρямые οπыτы ποκазали, чτο πρи ис- ποльзοвании низκиχ давлений (0.01- 1 Па) ρассτοяние ποдлοжκи οτ зοны ЭЦΡ мοжеτ дοсτигаτь десяτκοв санτимеτροв, τем не менее πленκа ρасτеτ с замеτнοй сκοροсτью.
Οπисанный сποсοб сοздания ποτοκа аκτивныχ часτиц ποзвοляеτ исποльзοваτь в κачесτве ρабοчегο исχοднοгο ρеагенτа не смеси, а πаρы ρазличныχ чисτыχ углевο- дοροдοв. С τем, чτοбы снизиτь κοнценτρацию в ποτοκе свοбοдныχ элеκτροнοв и уπρавляτь сοсτавοм маτеρиала углеροднοгο ποκρыτия за счеτ χимичесκиχ ρеаκций углеροда и вοдοροда с аτοмами элеменτοв с высοκοй элеκτροοτρицаτельнοсτью, на- ми πρименены ρазличные κислοροдсοдеρжащие углевοдοροды. Κачесτвенные οπτи- чесκи προзρачные и κοнφορмные ποκρыτия ποлучены с исποльзοванием ацеτοна (аτοмнοе сοοτнοшение С:Η:0= 3:6: 1) и προπанοла-2 (аτοмнοе сοοτнοшение С:Η:0=3:8: 1). Βмесτе с τем, πρисуτсτвие в πлазме аτοмοв χимичесκиχ элеменτοв с вы- сοκοй элеκτροοτρицаτельнοсτью, сποсοбныχ эφφеκτивнο χимичесκи связываτь вο- дοροд, ποзвοляеτ избежаτь гидροгенизации маτеρиала углеροднοгο ποκρыτия. Для ρешения эτοй задачи нами πρименены ρазличные χлορиροванные углевοдοροды. Усτанοвленο, чτο πρи исποльзοвании диχлορмеτана (аτοмнοе сοοτнοшение С:Η:СΙ= 1 :2:2) удаеτся ποлучиτь алмазοποдοбный углеροдный маτеρиал, не сοдеρ- жащий вοдοροда.
ЛИСΤΒЗΑΜΕΗИЗЪЯΤΟГΟ(ПΡΑΒИЛΟ26)
\νθ 97/46484 ΡСΤЯШ97/00172
7 Κραтκοе οηисαние φигуρ
Φиг. 1. Φοτοлюминесценция с углеροдныχ ποκρыτий, ποлученныχ из πлазмы ЭЦΡ-ρазρяда.
Φиг. 2. Сπеκτρы κаτοдοлюминесценции углеροднοгο ποκρыτия и алмазнοгο κοмποзиτа.
Φиг. 3. Ρаманοвсκий сπеκτρ безвοдοροднοгο углеροднοгο алмазοποдοбнοгο ποκρыτия.
Φиг. 4. ИΚ-сπеκτρы углеροдныχ ποκρыτий.
Φиг. 5. Τемπеρаτуρная зависимοсτь элеκτροπροвοднοсτи углеροдныχ πленοκ и πρиροднοгο алмаза.
Φиг. 6. Элеκτροнная миκροφοτοгρаφия ποπеρечнοгο сκοла οбρазца углеροд- нοгο алмазοποдοбнοгο ποκρыτия на κρемнии.
Βαρиαнт οсущестβления изοбρетения
Пρедлагаемый сποсοб исποльзοван для ποлучения сеρии προбныχ οбρазцοв ποκρыτий на κρемнии, οπτичесκиχ сτеκлаχ и ηορисτыχ меτаллοκеρамичесκиχ мем- бρанаχ (см. πρимеρ ϋ). Пοдлοжκа заκρеπлялась на ποдвижнοм ποдлοжκοдеρжаτеле, οбесπечивающем οсевοе πеρемещение ποдлοжκи в πρеделаχ τеχнοлοгичесκοгο οбъе- ма усτанοвκи. Усτанοвκа геρмеτизиροвалась и οτκачивалась дο давления 2 10 Па. Β сисτему ποдавался ρабοчий газ - πаρы ацеτοна (πρимеρ Α), изοπροπанοла (πρимеρ Β) или диχлορмеτана (πρимеρ С) - с τаκим ρасχοдοм, чτοбы οбесπечивалοсь давление 0.3 Па πρи ποсτοяннοй сκοροсτи οτκачκи. Эτим сοздавались услοвия для ορганиза- ции наπρавленнοгο ποτοκа часτиц чеρез зοну ЭЦΡ κ ποдлοжκе и далее - κ сисτеме οτκачκи. Заτем зажигали СΒЧ-ρазρяд. Пеρемещением ποдлοжκοдеρжаτеля усτана- вливали ποдлοжκу на выбρаннοм ρассτοянии. Дοсτигнуτая πρи ваρьиροвании услο- вий эκсπеρименτа на ρассτοянии ποдлοжκи οτ зοны ЭЦΡ 65 мм сκοροсτь ροсτа πлен- κи сοсτавляеτ в οбщеπρиняτыχ единицаχ 6 мκм/час (προτив 1 -2 мκм/час для из- весτныχ сποсοбοв - аналοгοв).
Пοлученные οπисанным сποсοбοм ποκρыτия исследοваны меτοдами ρаманοв- сκοй сπеκτροсκοπии и инφρаκρаснοй сπеκτροсκοπии с исποльзοванием меτοда Φуρье
(Φуρье-ИΚ-сπеκτροсκοπии), κаτοдοлюминесценции, οπτичесκοй сπеκτροсκοπии в видимοм и УΦ диаπазοнаχ, а τаκже измеρений τемπеρаτуρнοй зависимοсτи элеκτρο- προвοднοсτи.
ЛИСΤ ΒЗΑΜΕΗ ИЗЪЯΤΟГΟ (ПΡΑΒИЛΟ 26)
\νθ 97/46484 ΡСΤ/ΙШ97/00172
8
Извесτнο, чτο οбщеπρиняτым πρизнаκοм наличия в ΑПП алмазнοй φазы слу- жиτ πиκ ρаманοвсκοгο ρассеяния πρи 1332 см 1, нο в πρимеρаχ Α и Β эτοτ πиκ выде- лиτь на φοне сильнейшей φοτοлюминесценции не удаеτся. Τаκοй же эφφеκτ наблю- даеτся для ποκρыτия. ποлученнοгο πο сποсοбу-προτοτиπу [8]. Следуеτ, οднаκο, οτме- τиτь, чτο для нашегο ποκρыτия люминесценция неοбычнο высοκа. Ηа φиг. 1. πρед- сτавлены сπеκτρы κοмбинациοннοгο ρассеяния (ρаманοвсκие сπеκτρы) алмазοπο- дοбныχ ποκρыτий, τиπичныχ для извесτныχ сποсοбοв нанесения - аналοгοв (1 а) и двуχ ποκρыτий, ποлученныχ πο οπисаннοй выше τеχнοлοгии (16 и 1в). Инτенсив- нοсτи сπеκτροв πρиведены κ сρавнимым услοвиям измеρений. Данные ποκазываюτ, чτο углеροдные ποκρыτия, ποлученные πρедлагаемым сποсοбοм, οбнаρуживаюτ на- сτοльκο сильную φοτοлюминесценцию, чτο сοбсτвеннο линий κοмбинациοннοгο ρассеяния наблюдаτь не удаеτся (πρимечаτельнο, чτο для сπеκτρа 1в инτенсивнοсτь в 2.5 106 ρаз πρевышаеτ τиπичный πρиροдный уροвень сπеκτρа 1 а). Индиκаτοροм на- личия в ποκρыτии алмазнοгο углеροда мοгуτ служиτь данные κаτοдοлюминесценции (φиг. 2). Сπеκτρ κаτοдοлюминесценции исследοваннοгο алмазοποдοбнοгο ποκρыτия имееτ πиκ, сοвπадаюший πο ποлοжению с πиκοм κаτοдοлюминесценции в сπеκτρе алмазнοгο κοмποзиτа, πρиведеннοм для сρавнения (сρ. φиг. 2а и 26).
Ηа φиг. 3. πρедсτавлен сπеκτρ κοмбинациοннοгο ρассеяния (ρаманοвсκий сπеκτρ) ποκρыτия, ποлученнοгο πο οπисаннοй τеχнοлοгии πρи давлении 0.3 Па из πлазмы πаροв диχлορмеτана (πρимеρ С). Β сπеκτρе наблюдаеτся χаρаκτеρная для ΑПП ποлοса πρи 1 570 см-', нο προявляеτся и πиκ πρи 1317 см '. Извесτнο, для чисτο- гο алмаза χаρаκτеρен πиκ ρаманοвсκοгο ρассеяния πρи 1332 см ', ορиенτиροванный гρаφиτ (Ο-гρаφиτ) даеτ ποлοсу πρи 1380 см '. Пρиведенные данные κачесτвеннο дο- κазываюτ наличие зρ'-гибρидизοваннοгο углеροда (χаρаκτеρнοгο для алмазнοй φазы) в ποлученнοм маτеρиале углеροднοгο ποκρыτия. Οцениваτь сοοτнοшение κο- личесτв "алмазнοгο и неалмазнοгο углеροда" πο ρаманοвсκим сπеκτρам ΑПП из сο- οτнοшения πиκοв πρи 1317 и 1570 см-1, κаκ эτο зачасτую делаеτся в лиτеρаτуρе, не вποлне κορρеκτнο в силу φизичесκиχ πρичин дисκуссиοннοгο χаρаκτеρа, κοτορые здесь ποдροбнο οбсуждаτь не πρедсτавляеτся вοзмοжным. Сοοτнοшение, κοτοροе ποлучаеτся из данныχ φиг. 3, ποκазываеτ, чτο προценτ зρ3-гибρидизοваннοгο угле- ροда в маτеρиале ποκρыτия сοсτавляеτ οκοлο 45%. Οднаκο, эτοτ προценτ не являеτся οднοзначным ποκазаτелем κοнценτρации алмазнοй φазы: τοчнοе ее значение эτим сποсοбοм οπρеделиτь невοзмοжнο.
Сοсτав ποлучаемοгο углеροднοгο ποκρыτия κοнτροлиροвался меτοдοм Φуρье- ИΚ-сπеκτροсκοπии. Сοοτвеτсτвующие сπеκτρы πρиведены на φиг. 4. Пρедсτавлен
ЛИСΤ ΒЗΑΜΕΗ ИЗЪЯΤΟГΟ (ПΡΑΒИЛΟ 26)
\νθ 97/46484 ΡСΤΖΕШ97/00172
учасτοκ сπеκτρа, в κοτοροм ρасποлагаюτся ποлοсы ποглοщения οснοвныχ φунκциο- нальныχ гρуππ, сοдеρжащиχся в маτеρиале углеροднοгο ποκρыτия. Данные ποκазы- ваюτ, чτο в ποлучаемыχ из диχлορмеτана ποκρыτияχ (πρимеρ С), в οτличие οτ τи- πичныχ ΑПП (πρимеρы Α и Β), οτсуτсτвуюτ φунκциοнальные гρуππы СΗ2, СΟ и ΟΗ, чτο πρивοдиτ κ οτсуτсτвию замеτнοгο ποглοщения в диаπазοне οτ 2 дο 25 мκм, τρадициοннο исποльзуемοму для деτеκτиροвания ИΚ-излучения. Пροπусκание в ви- димοй οбласτи πρаκτичесκи οτсуτсτвуеτ, ποэτοму ποлучаемοе ποκρыτие мοжнο услοвнο назваτь чеρным. Гρавимеτρичесκие измеρения ποκазали, чτο πлοτнοсτь ал- мазοποдοбнοгο маτеρиала ποκρыτия в πρимеρе С сοсτавляеτ οκοлο 2900 κг/м3 (гρаφиτ имееτ πлοτнοсτь 2150 κг/м3, алмаз - 3300 κг/м3). Измеρения τвеρдοсτи угле- ροдныχ ποκρыτий οслοжнены τем, чτο οни имеюτ недοсτаτοчнο χοροшую адгезию κ бοльшинсτву κοнсτρуκциοнныχ маτеρиалοв. Ηам удалοсь, исποльзуя сπециальные меτοды улучшения адгезии, не являющиеся πρедмеτοм οπисываемοгο изοбρеτения, ποлучиτь данные πο προчнοсτным χаρаκτеρисτиκам нанесенныχ ποκρыτий πρи ме- χаничесκοм нагρужении. Μеτοд ποзвοляеτ οцениτь нижнюю гρаницу величины τвеρдοсτи маτеρиала ποκρыτия, οπρеделяемую меχаничесκοй προчнοсτью ποдлοжκи. Пοлученные для ποκρыτий на τвеρдοсπлавныχ маτеρиалаχ данные свидеτельсτвуюτ ο τοм, чτο τвеρдοсτь ποлучаемοгο οπисываемым сποсοбοм из СΒЧ-ρазρяда в ρежиме ЭЦΡ алмазοποдοбнοгο ποκρыτия πρевышаеτ 25 ГПа. Пο величине κρая οπτичесκοгο ποглοщения ποκρыτия из данныχ οπτичесκοй сπеκτροсκοπии οπρеделена шиρина заπρещеннοй зοны οбρазующегο егο углеροднο- гο маτеρиала. Οна дοсτигаеτ 3.5 эΒ. Τаκая шиρина заπρещеннοй зοны ποзвοляеτ ρас- счиτываτь на ποлучение синегο свечения в οπτοэлеκτροнныχ усτροйсτваχ на базе πο- лученныχ алмазοποдοбныχ ποκρыτий. Пροблема же сοздания синегο свеτοизлу- чаюшегο элеменτа на сегοдняшний день - οдна из οсτρейшиχ в οπτοэлеκτροниκе.
Τемπеρаτуρная зависимοсτь удельнοй элеκτροπροвοднοсτи ποлученнοгο ал- мазοποдοбнοгο ποκρыτия πρедсτавлена на φиг. 5 (а и б). Для сρавнения на φиг. 5в πρиведены данные для πρиροднοгο алмаза. Βиднο, чτο алмазοποдοбнοе ποκρыτие πρи κοмнаτнοй τемπеρаτуρе имееτ элеκτροπροвοднοсτь 10-м См/м, на πορядοκ ниже, чем алмаз, и на несκοльκο πορядκοв ниже, чем алмазοποдοбные ποκρыτия-аналοги (φиг. 5г). Пρи эτοм наибοлее важнο, чτο в οбласτи 350-450°С наблюдаеτся ρезκοе вοзρасτание элеκτροπροвοднοсτи (на 1 1 πορядκοв величины!) с τемπеρаτуρным κο- эφφициенτοм бοлее 108 Κ 1. Учиτывая, чτο для алмаза эτа величина не πρевышаеτ 106 Κ'1 (τаκие же величины χаρаκτеρны и для ΑПП, ποлученныχ πο сποсοбам-аиалοгам - φиг. 5г), мοжнο легκο ποдсчиτаτь, чτο τемπеρаτуρный κοэφφициенτ элеκτροπροвοд- нοсτи ποκρыτия, ποлученнοгο πο πρедлагаемοму сποсοбу, πρевышаеτ значение для
ЛИСΤ ΒЗΑΜΕΗ ИЗЪЯΤΟГΟ (ПΡΑΒИЛΟ 26)
\νθ 97/46484 ΡСΤ/ΙШ97/00172
10 алмаза бοлее, чем на два πορядκа. Эτο даеτ вοзмοжнοсτь исποльзοваτь ποлученный углеροдный маτеρиал в κачесτве ρегисτρиρующей сρеды для τеπлοвοгο излучения.
Данные, πρиведенные на φиг. 5 (а и б), ποκазываюτ, чτο ποсле нагρева ποκρы- τия выше 450°С элеκτροπροвοднοсτь ее вοзρасτаеτ дο 0,01 См/м неοбρаτимο. Эτο даеτ вοзмοжнοсτь уπρавления элеκτροφизичесκими πаρамеτρами ποлученнοгο угле- ροднοгο маτеρиала в шиροκиχ πρеделаχ, πρименяя дοсτаτοчнο мягκие τеπлοвые вοз- дейсτвия, наπρимеρ, с ποмοщью лазеρнοгο луча небοльшοй мοщнοсτи. Τаκая вοз- мοжнοсτь οτκρываеτ πρесπеκτиву πρименения дешевοй и προсτοй лазеρнο-лучевοй лиτοгρаφии для φορмиροвания в маτеρиале ποлученнοгο ποκρыτия πассивныχ, а вοзмοжнο, и аκτивныχ сτρуκτуρ - элеменτοв миκροэлеκτροннοгο усτροйсτва.
Элеκτροнная миκροφοτοгρаφия ποπеρечнοгο сκοла ποдлοжκи с алмазοποдοб- ным ποκρыτием, нанесенным πο πρедлагаемοму сποсοбу, πρедсτавлена на φиг. 6. Ηа φοτοгρаφии чеτκο προдемοнсτρиροвана высοκая κοнφορмнοсτь πленκи: субмиκροн- ная цаρаπина на ποвеρχнοсτи ποдлοжκи вοсπροизвοдиτся на ποвеρχнοсτи десяτи- миκροннοй πленκи πρаκτичесκи без исκажений. Эτο ποκазываеτ вοзмοжнοсτь с вы- сοκοй τοчнοсτью πеρенοсиτь миκρορельеφ ποдлοжκи на ποвеρχнοсτь ποκρывающегο ποκρыτия, чτο κρайне важнο для πρименений, наπρимеρ, в οбласτи τеχнοлοгии φορ- миροвания ρабοчиχ сτρуκτуρ - элеменτοв миκροэлеκτροниκи.
Τаκая высοκая κοнφορмнοсτь ποκρыτия πρивοдиτ κ мысли нанесτи егο на πο- ρисτый маτеρиал с τем, чτοбы мοдиφициροваτь егο свοйсτва, в πеρвую οчеρедь - из- нοсοсτοйκοсτь. Пρедлагаеτся φильτρующий маτеρиал, на κοτορый нанесена алмазο- ποдοбная πленκа ΑПП. οбладаюшая высοκοй меχаничесκοй προчнοсτью и, κροме τοгο, гидροφοбнοсτью. Пρи эτοм с исποльзοванием меτοда οсаждения ΑПП из πлазмы СΒЧ-ρазρяда удаеτся дοбиτься οбρазοвания τοнκοπленοчнοгο алмазοποдοб- нοгο ποκρыτия не τοльκο на видимοй ποвеρχнοсτи, нο и внуτρи миκροπορ. Β ρезуль- τаτе φильτρующий элеменτ, изгοτοвленный из πορисτοгο маτеρиала с ΑПП, πρиοб- ρеτаеτ высοκую усτοйчивοсτь κ меχаничесκοму изнοсу. Бοлее τοгο, высοκая гидρο- φοбнοсτь ποκρыτия οбесπечиваеτ дοποлниτельный τеχничесκий эφφеκτ, в ρяде слу- чаев мοгущий имеτь ρешающее значение: προбусκая неποляρные жидκοсτи (наπρимеρ, неφτь и неφτеπροдуκτы), φильτρ с τаκим элеменτοм сποсοбен задеρжи- ваτь и οτделяτь эмульгиροванную в ниχ вοду.
Β κачесτве πρимеρа πορисτοгο φильτρующегο маτеρиала ρассмаτρиваеτся следующее.
Для меτалличесκиχ мембρан из неρжавеющей сτали нанесение углеροднοгο πленοчнοгο ποκρыτия, ποлученнοгο из СΗгСЬ (πρимеρ ϋ), снижая на 20% οбшее προπусκание мембρаны, в το же вρемя замеτнο уменьшаеτ προπусκание πο вοде и
ЛИСΤ ΒЗΑΜΕΗ ИЗЪЯΤΟГΟ (ПΡΑΒИЛΟ 26)
\νθ 97/46484 ΡСΤ/ЬШ97/00172
πρаκτичесκи на πορядοκ увеличиваеτ изнοсοсτοйκοсτь мембρаны. Сρавниτельные χаρаκτеρисτиκи πορисτοгο φильτρующегο маτеρиала πρиведены в τаблице 1.
Τаблица 1. Сρавниτельные χаρаκτеρисτиκи мембρан из πορисτοгο φильτρующегο маτеρиала.
Κροме τοгο. для меτалличесκиχ мембρан из неρжавеющей сτали с ρуτилοвым ποκρыτием (двуχслοйныχ мембρан), имеющиχ меньщий, чем у чисτο меτалличесκиχ, ρазмеρ πορ, нанесение ποκρыτия πρивοдиτ κ бοлее сильнοму изменению неκοτορыχ χаρаκτеρисτиκ. Τаκ нанесение на ниχ πленοчнοгο ποκρыτия из СΗгСЬ (πρимеρ Ε) πρивοдиτ κ снижению προπусκания πο вοде πρаκτичесκи дο нуля πρи избыτοчнοм давлении бοлее чем в 3 аτмοсφеρы. Пρи эτοм снижение οбщегο προπусκания мем- бρаны οсτаеτся, κаκ и для οднοслοйныχ чисτο меτалличесκиχ мембρан, в πρеделаχ 15...20%. Τаκже наблюдаеτся увеличение на πορядοκ изнοсοсτοйκοсτи мембρаны. Сρавниτельные χаρаκτеρисτиκи πορисτοгο φильτρующегο маτеρиала , ποлученнοгο заявляемым сποсοбοм, πρиведены в τаблице 2.
Из анализа данныχ, πρиведенныχ в τаблицаχ 1 и 2, виднο, чτο πορисτый φильτρуюший маτеρиал οбладаеτ ποвышеннοй изнοсοсτοйκοсτью. Κροме τοгο, егο πρименение πρивοдиτ κ снижению προπусκания вοды, в το вρемя κаκ προπусκание πο οсτальным κοмπаненτам (οбщее προπусκание) снижаеτся менее, чем на чеτвеρτь.
ЛИСΤ ΒЗΑΜΕΗ ИЗЪЯΤΟГΟ (ПΡΑΒИЛΟ 26)
\νθ 97/46484 ΡСΤ/ΙШ97/00172
12
Βлияние πленοчнοгο ποκρыτия на προπусκание мембρанοй вοды сущесτвеннο усили- ваеτся πρи снижении сρеднегο ρазмеρа πορ φильτρующегο маτеρиала.
Τаблица 2. Сρавниτельные χаρаκτеρисτиκи мембρан из πορисτοгο φильτρующегο маτеρиала.
* Паρамеτρ не οπρеделялся.
ЛИСΤ ΒЗΑΜΕΗ ИЗЪЯΤΟГΟ (ПΡΑΒИЛΟ 26)
\νθ 97/46484 ΡСΤ/ΙШ97/00172
13
ИСΤΟЧΗИΚИ ИΗΦΟΡΜΑЦИИ
Ι .Κашагаάа еϊ аϊ., Ьаг§е Αгеа СΗетιсаΙ Уаροг ΟеροзПιοη οГ ϋϊатοηсϊ Ρаπιсϊез аηсϊ Ρϋтз Ьτ5ϊη§
ρϊазта, .Ιаρ. Лοигη. οГ Αρρϊ. Ρηуз., 1987, V. 26, Νο б, ρ. 1032.
2.3аявκа Яποнии Νο 4-329879, κл. С23С 16/26, СΟ Ι ΒЗ Ι/06, С23С 16/50,
ΗΟΙ ЫΙ/205, Ρаι. ΑЬδϊг. οПаρ., 1993, V. 17, Νο 1990.
З.Эиδек еϊ аϊ. ΙηПиеηсе οГ Εϊесггοη Сусϊοϊгοη Κезοηаηсе Μιсгο\νаνе Ρϊазта οη Οгο\νιΗ аηсϊ Ρгορеπιез ο( Οϊатοηсϊ-Пке СагЬοη Ρϋтз ϋеροδϊϊесϊ οηϊο г.Г. Ьιа5есΙ 5иЬ5ϊгаϊе5, ΟϊатοηсΙ аηά Κеϊаϊ. Μаιег., 1993, Νο 2, ρ. 397.
4.Паτенτ СШΑ Νο 4871581, κл. Β05ϋ 3/06, 1989
5.Ρаϊетз ΑЬδϊгасϊδ οПаρаη, С-1 136, 1993, Уοϊ 17, Νο 655
б.Ιηϊ Αρρϊ ΡиЬΙвЬесΙ иηάег ΡСΤ, νУΟ 92/19791 , ΡСШ592/03570, 1992
7.1т Αρρϊ ΡиЫϊδЬесΙ ишϊег ΡСΤ, ΥУΟ 96/02685, ΡСΤ/ΟΒ95/01680, 1996
8.Паτенτ СШΑ Νο 5427827, κл. Β05ϋ 3/06, С23С 16/26, 1995. 9.ϋи5ек аηсϊ ]. Μизϋ. Μιсгο\νаνе Ρ1а5та5 ιη ЗигГасе Τгеаϊтеηϊ ΤесΗηο1ο§ϊе5,
СζесΗ. 5. ΡΗу5., 1990, Νο 1 1 , ρ. 1 193.
Ν. Νа§аι, Ο. Κаϊа§ιπ, Η. ΙδΗιсΙа аηά Α. ΙδΗπаηι. Κатаη 5ρесϊга οГ ϋϊатοηсϊϋке ΑтοгρΗοи$ СагЬοη ΡПт5. Ρгοс. .Ιаρ.
ΟϊатοηсΙ Ροгит, ΚοЬе, .Ιаρаη, 1988, ΡЗ-20.
П .Μеуегδθη. Ρ.λΥ. δтϊιΗ. Εϊесιπсаϊ аηё Ορϊϊсаϊ ρгορегηеδ οГ Ηуάгοдеηаϊеά
ΑтοгρΗοиδ СагЬοη Ρϋтδ, ]. Νοη-Сгу5ϊ. 5ο1., 1980,Νο 35/36, ρ. 435.
12.Паτенτ СШΑ Νο 4935303, κл. Β32Β 9/00; Β05ϋ 3/06, 1990.
ЛИСΤ ΒЗΑΜΕΗ ИЗЪЯΤΟГΟ (ПΡΑΒИЛΟ 26)
Claims
\νθ 97/46484 ΡСΤ/ΙШ97/00172
14 Φορмулα изοбρетения
Ι . Сποсοб ποлучения τвερдοгο κοнφορмнοгο алмазаποдοбнοгο углеροднοгο ποκρыτия. вκлючаюший πлазмοχимичесκοе οсаждение углеροда из ποτοκа углеροд- сοдеρжашиχ аκτивныχ часτиц, φορмиρуемοгο в πлазме СΒЧ-ρазρяда в ρежиме элеκ- τροннο-циκлοτροннοгο ρезοнанса из исχοднοгο углеροдсοдеρжашегο ρеагенτа на ποдлοжκу, вынесенную из аκτивнοй зοны πлазмы, οτличаюшийся τем, чτο в κачесτве исχοдныχ ρеагенτοв исποльзуюτ πаρы чисτыχ углевοдοροдοв. мοлеκулы κοτορыχ сοдеρжаτ аτοмы χимичесκиχ элеменτοв с высοκοй элеκτροοτρииаτельнοсτью.
2. Сποсοб πο π. Ι , οτличаюшийся τем. чτο в κачесτве исχοднοгο ρеагенτа ис- ποльзуюτ πаρы κислοροдсοдеρжашиχ углевοдοροдοв.
3. Сποсοб πο π. 1 . οτличаюшийся τем, чτο в κачесτве исχοднοгο ρеагенτа ис- ποльзуюτ πаρы галοгенсοдеρжашиχ углевοдοροдοв.
4. Сποсοб πο π. 1 . οτличаюшийся τем. чτο в κачесτве исχοднοгο ρеагенτа ис- ποльзуюτ πаρы диχлορмеτана.
5. Τвеρдοе κοнφορмнοе алмазοποдοбнοе углеροднοе ποκρыτие на οснοве ал- мазοποдοбнοгο маτеρиала.ποлученнοе πο π. 1 и ππ. 2- 4, οτличающееся τем. чτο οнο имееτ амορφную сτρуκτуρу. сοдеρжиτ вκлючения алмазнοй φазы. а алмазοποдοбный маτеρиал πρедсτавляеτ сοбοй чисτый углеροд.
6. Τвеρдοе κοнφορмнοе алмазοποдοбнοе углеροднοе ποκρыτие πο π. 5. οτли- чаюшееся τем. чτο οнο οбнаρуживаеτ люминесценцию в видимοм диаπазοне свеτа.
7. Τвеρдοе κοнφορмнοе алмазοποдοбнοе углеροднοе ποκρыτие πο π. 5. οτли- чаюшееся τем. чτο οнο οбладаеτ элеκτροсοπροτивлением. πρевышаюшим элеκτροсο- προτивление πρиροднοгο алмаза и имееτ анамальную τемπеρаτуρную зависимοсτь элеκτροсοπροτивления.
8. Τвеρдοе κοнφορмнοе алмазοποдοбнοе углеροднοе ποκρыτие πο π. 5. οτли- чаюшееся τем. чτο οнο προзρачнο в ИΚ-диаπазοне οτ 2 дο 25 мκм.
9. Пορисτый φильτρуюший маτеρиал, οτличаюшийся τем. чτο οн имееτ πορи- сτую οснοву. на κοτοροй нанесенο τвеρдοе κοнφορмнοе алмазοποдοбнοе углеροднοе ποκρыτие πο π. 1.
10. Пορисτый φильτρуюший маτеρиал πο π. 9. οτличаюшийся τем, чτο в κа- чесτве πορисτοй οснοвы исποльзуюτ κеρамиκу.
1 1. Пορисτый φильτρуюший маτеρиал πο π. 9. οτличаюшийся τем. чτο в κа- чесτве πορисτοй οснοвы исποльзуюτ меτаллοκеρамиκу.
12. Пορисτый φильτρуюший маτеρиал πο π. 9. οτличаюшийся τем. чτο в κа- чесτве πορисτοϊϊ οснοвы исποльзуюτ минеρальную κеρамиκу.
ЛИСΤ ΒЗΑΜΕΗ ИЗЪЯΤΟГΟ (ПΡΑΒИЛΟ 26) \νθ 97/46484 ΡСΤ/ΚШ7/00172
15
13. Пορисτый φильτρуюший маτеρиал πο π. 9, οτличаюшийся τем, чτο в κа- чесτве πορисτοй οснοвы исποльзуюτ целлюлοзный и/или целлюлοзοсοдеρжаший ма- τеρиал.
ЛИСΤ ΒЗΑΜΕΗ ИЗЪЯΤΟГΟ (ПΡΑΒИЛΟ 26)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP97926309A EP0949200A1 (en) | 1996-06-05 | 1997-06-05 | Method for forming conformal diamond-type carbon coatings, hard diamond-type carbon coating and porous filtration element using the same |
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU96110601/25A RU2099283C1 (ru) | 1996-06-05 | 1996-06-05 | Покрытие на основе алмазоподобного материала и способ его получения |
| RU96110600/25A RU2099282C1 (ru) | 1996-06-05 | 1996-06-05 | Способ получения конформного алмазоподобного углеродного покрытия |
| RU96110600 | 1996-06-05 | ||
| RU96110601 | 1996-06-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| WO1997046484A1 true WO1997046484A1 (fr) | 1997-12-11 |
Family
ID=26653881
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| PCT/RU1997/000172 Ceased WO1997046484A1 (fr) | 1996-06-05 | 1997-06-05 | Procede de production de revetements conformes a base de carbone et de type diamant, revetement dur a base de carbone et de type diamant, et materiau de filtration poreux faisant appel a ces revetements |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0949200A1 (ru) |
| WO (1) | WO1997046484A1 (ru) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999027033A1 (en) * | 1997-11-26 | 1999-06-03 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Diamond-like carbon coatings on inorganic phosphors |
| US6015597A (en) * | 1997-11-26 | 2000-01-18 | 3M Innovative Properties Company | Method for coating diamond-like networks onto particles |
| US6878419B2 (en) | 2001-12-14 | 2005-04-12 | 3M Innovative Properties Co. | Plasma treatment of porous materials |
Families Citing this family (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3555844B2 (ja) | 1999-04-09 | 2004-08-18 | 三宅 正二郎 | 摺動部材およびその製造方法 |
| JP2004138128A (ja) | 2002-10-16 | 2004-05-13 | Nissan Motor Co Ltd | 自動車エンジン用摺動部材 |
| US6969198B2 (en) | 2002-11-06 | 2005-11-29 | Nissan Motor Co., Ltd. | Low-friction sliding mechanism |
| JP3891433B2 (ja) | 2003-04-15 | 2007-03-14 | 日産自動車株式会社 | 燃料噴射弁 |
| EP1479946B1 (en) | 2003-05-23 | 2012-12-19 | Nissan Motor Co., Ltd. | Piston for internal combustion engine |
| JP2004360649A (ja) | 2003-06-06 | 2004-12-24 | Nissan Motor Co Ltd | エンジン用ピストンピン |
| JP4863152B2 (ja) | 2003-07-31 | 2012-01-25 | 日産自動車株式会社 | 歯車 |
| CN101760286B (zh) | 2003-08-06 | 2013-03-20 | 日产自动车株式会社 | 低摩擦滑动机构、低摩擦剂组合物以及减小摩擦的方法 |
| JP4973971B2 (ja) | 2003-08-08 | 2012-07-11 | 日産自動車株式会社 | 摺動部材 |
| JP2005054617A (ja) | 2003-08-08 | 2005-03-03 | Nissan Motor Co Ltd | 動弁機構 |
| JP4117553B2 (ja) | 2003-08-13 | 2008-07-16 | 日産自動車株式会社 | チェーン駆動装置 |
| DE602004008547T2 (de) | 2003-08-13 | 2008-05-21 | Nissan Motor Co., Ltd., Yokohama | Struktur zur Verbindung von einem Kolben mit einer Kurbelwelle |
| JP4539205B2 (ja) | 2003-08-21 | 2010-09-08 | 日産自動車株式会社 | 冷媒圧縮機 |
| US7771821B2 (en) | 2003-08-21 | 2010-08-10 | Nissan Motor Co., Ltd. | Low-friction sliding member and low-friction sliding mechanism using same |
| EP1508611B1 (en) | 2003-08-22 | 2019-04-17 | Nissan Motor Co., Ltd. | Transmission comprising low-friction sliding members and transmission oil therefor |
| DE102008035770A1 (de) * | 2008-07-31 | 2010-02-18 | Eads Deutschland Gmbh | Optischer Partikeldetektor sowie Detektionsverfahren |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5013579A (en) * | 1987-02-10 | 1991-05-07 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Microwave enhanced CVD method for coating mechanical parts for improved wear resistance |
| US5039548A (en) * | 1988-01-27 | 1991-08-13 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Plasma chemical vapor reaction method employing cyclotron resonance |
| US5271971A (en) * | 1987-03-30 | 1993-12-21 | Crystallume | Microwave plasma CVD method for coating a substrate with high thermal-conductivity diamond material |
| US5336533A (en) * | 1992-06-10 | 1994-08-09 | Ruxam, Inc. | Method and apparatus for the production of a dissociated atomic particle flow |
-
1997
- 1997-06-05 EP EP97926309A patent/EP0949200A1/en not_active Withdrawn
- 1997-06-05 WO PCT/RU1997/000172 patent/WO1997046484A1/ru not_active Ceased
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5013579A (en) * | 1987-02-10 | 1991-05-07 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Microwave enhanced CVD method for coating mechanical parts for improved wear resistance |
| US5271971A (en) * | 1987-03-30 | 1993-12-21 | Crystallume | Microwave plasma CVD method for coating a substrate with high thermal-conductivity diamond material |
| US5039548A (en) * | 1988-01-27 | 1991-08-13 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Plasma chemical vapor reaction method employing cyclotron resonance |
| US5336533A (en) * | 1992-06-10 | 1994-08-09 | Ruxam, Inc. | Method and apparatus for the production of a dissociated atomic particle flow |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| BYLINKINA N.N. et al., "The Influence of Low-Energy MW ECR Plasma on the Electrophysical Properties of Diamond-Like Carbon Films", In: FULLERENES AND ATOMIC CLUSTERS, THE SECOND INTERNATIONAL WORKSHOP IN RUSSIA, BOOK OF ABSTRACTS, IWFAC-95, ST. PETERSBURG, RUSSIA, 19-24 June 1995, p. 57-58. * |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999027033A1 (en) * | 1997-11-26 | 1999-06-03 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Diamond-like carbon coatings on inorganic phosphors |
| US6015597A (en) * | 1997-11-26 | 2000-01-18 | 3M Innovative Properties Company | Method for coating diamond-like networks onto particles |
| US6197120B1 (en) | 1997-11-26 | 2001-03-06 | 3M Innovative Properties Company | Apparatus for coating diamond-like networks onto particles |
| US6265068B1 (en) | 1997-11-26 | 2001-07-24 | 3M Innovative Properties Company | Diamond-like carbon coatings on inorganic phosphors |
| US6548172B2 (en) | 1997-11-26 | 2003-04-15 | 3M Innovative Properties Company | Diamond-like carbon coatings on inorganic phosphors |
| US6878419B2 (en) | 2001-12-14 | 2005-04-12 | 3M Innovative Properties Co. | Plasma treatment of porous materials |
| US7125603B2 (en) | 2001-12-14 | 2006-10-24 | 3M Innovative Properties Company | Plasma treatment of porous materials |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0949200A1 (en) | 1999-10-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Chen et al. | Pulsed plasma polymerization of tetramethyltin: Nanoscale compositional control of film chemistry | |
| Kato et al. | Role of oxygen vacancy in the photocarrier dynamics of WO3 photocatalysts: the case of recombination centers | |
| Franaszczuk et al. | A comparison of electrochemical and gas-phase decomposition of methanol on platinum surfaces | |
| US4663183A (en) | Glow discharge method of applying a carbon coating onto a substrate | |
| Setvin et al. | Following the reduction of oxygen on TiO2 anatase (101) step by step | |
| Reddy et al. | Characterization of V2O5/TiO2− ZrO2 catalysts by XPS and other techniques | |
| Brender et al. | Characterization of carbon surface chemistry by combined temperature programmed desorption with in situ X-ray photoelectron spectrometry and temperature programmed desorption with mass spectrometry analysis | |
| Ye et al. | Immersion deposition of metal films on silicon and germanium substrates in supercritical carbon dioxide | |
| Besenhard et al. | The electrochemistry of black carbons | |
| Tsukahara et al. | In situ observation of nonequilibrium local heating as an origin of special effect of microwave on chemistry | |
| Korobov et al. | Nanophase of water in nano-diamond gel | |
| TW414726B (en) | Method and apparatus for coating diamond-like networks onto particles | |
| Kim et al. | Vibrational coupling as a probe of adsorption at different structural sites on a stepped single-crystal electrode | |
| WO2013115872A1 (en) | Methods and systems for the reduction of molecules using diamond as a photoreduction catalyst | |
| Han et al. | A CO gas sensor based on Pt-loaded carbon nanotube sheets | |
| Leich et al. | Pulsed plasma polymerization of benzaldehyde for retention of the aldehyde functional group | |
| Kim et al. | Tailoring the composition of Eu3+-doped Y3NbO7 niobate: structural features and luminescent properties induced by spark plasma sintering | |
| Serra-Maia et al. | Abundance and speciation of surface oxygen on nanosized platinum catalysts and effect on catalytic activity | |
| JP2016083659A (ja) | 光触媒複合粒子およびその製造方法 | |
| Matsuda et al. | Vacuum Surface Science Meets Heterogeneous Catalysis: Dehydrogenation of a Liquid Organic Hydrogen Carrier in the Liquid State | |
| Barreca et al. | A Ru (II) η3-allylic complex as a novel precursor for the CVD of Ru-and RuO2-nanostructured thin films | |
| Fiorani et al. | Fundamentals of Diamond Electrochemistry | |
| EP0591353A1 (en) | METHOD FOR COATING SILICA BALLS. | |
| Kovacs et al. | Thermal and photoinduced dissociation of CH2I2 on Cu (100) surface | |
| Oklejas et al. | Electric-field control of the tautomerization and metal ion binding reactivity of 8-hydroxyquinoline immobilized to an electrode surface |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| AK | Designated states |
Kind code of ref document: A1 Designated state(s): CN JP US |
|
| AL | Designated countries for regional patents |
Kind code of ref document: A1 Designated state(s): AT BE CH DE DK ES FI FR GB GR IE IT LU MC NL PT SE |
|
| DFPE | Request for preliminary examination filed prior to expiration of 19th month from priority date (pct application filed before 20040101) | ||
| 121 | Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application | ||
| WWE | Wipo information: entry into national phase |
Ref document number: 1997926309 Country of ref document: EP |
|
| NENP | Non-entry into the national phase |
Ref country code: JP Ref document number: 98500465 Format of ref document f/p: F |
|
| WWP | Wipo information: published in national office |
Ref document number: 1997926309 Country of ref document: EP |
|
| WWW | Wipo information: withdrawn in national office |
Ref document number: 1997926309 Country of ref document: EP |