WO1999012013A1 - Trennmembrananordnung für einen druckmessumformer mit wellenbergrand und vorgeprägter sowie nachgeprägter membran - Google Patents
Trennmembrananordnung für einen druckmessumformer mit wellenbergrand und vorgeprägter sowie nachgeprägter membran Download PDFInfo
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- G01L19/0046—Fluidic connecting means using isolation membranes
Definitions
- the invention relates to methods for producing a separating membrane arrangement and to a separating membrane arrangement for a pressure transmitter with a structured area on its outer surface with annular, wave-like elevations and annular, corrugated-like depressions, with a separating membrane in the area of its outer surface U fange ⁇ has a collar formed by pre-stamping, is firmly and gas-tightly connected to the inner body by means of an annular connection point on the collar and is corrugated accordingly by re-stamping the outer surface of the inner body, and with an outer pressure cap which is pressed against the separating membrane with the interposition of a sealing ring is.
- a print or Pressure difference transmitter STD 915 manufactured by Honeywell.
- the separating membrane is pre-embossed so that it has a pot-like shape with a wide edge. A in the inner region of the edge, the separating membrane is welded in a ring shape to an inner body of the transmitter;
- a sealing ring is provided, which lies in an annular groove of a pressure cap and is pressed with the pressure cap against the separating membrane on the inner body.
- the separating membrane was previously embossed in the manufacture of the known measuring transducer by pressing it against a structured area of the surface with undulating elevations and depressions.
- the invention is based on the object of proposing a method for producing a separating membrane arrangement for a pressure transmitter, with which a pressure transmitter with very good measuring properties can be produced.
- an inner body is used according to the invention in a method of the type specified at the outset, the structured area of which is delimited on the outside by an outer wave-like elevation; the pre-embossed separating membrane is connected to the inside of the body with its collar adjacent to the outer wave-like elevation, then the embossing of the separating membrane is carried out and then the pressure cap with the sealing ring is attached.
- a major advantage of the method according to the invention is that it can be used to produce a pressure transmitter - or of course also a pressure difference transmitter - in which the separating membrane is located on the outside of the outer wave-like elevation because of the attachment of the collar of the pre-stamped separating membrane and because of the subsequent stamping by the resulting and permanent radial tension in the separating membrane presses against the outer flank of the outer wave-like elevation and its "crest".
- This means that the clamping diameter of the separating membrane is precisely defined and hardly changes even with pressure fluctuations.
- the volume stiffness of the separating membrane remains almost constant even with changes in pressure.
- the collar is connected to the inner body on the outer flank of the outer undulating elevation.
- a relatively compact pressure transmitter can thus be obtained.
- the collar is connected to the inner body at an area of the extended flank of the outer undulating elevation which is below the level of the undulating depressions.
- the separating membrane is pre-embossed in such a way that it has on its outer edge a flat ring region adjoining the collar; the separating membrane is connected at its flat ring area to a flat edge of the inner body.
- the sealing ring is advantageously arranged to cover the connection point between the separating membrane and the inner body.
- the invention is also based on the object of proposing a separating membrane arrangement for a pressure transducer which gives the pressure transducer very good measuring properties.
- a separating membrane arrangement for a pressure transducer with an inner body having a structured area with annular, wave-mountain-like elevations and annular, wave-like depressions with a separating membrane which has a collar formed by pre-embossing in the area of its outer circumference is firmly and gas-tightly connected to the inner body by means of an annular connection point on the collar and is correspondingly corrugated by embossing the outer surface of the inner body, and with an outer pressure cap which is interposed with a sealing tion ring is pressed against the separating membrane
- the structured area of the inner body is limited to the outside by an outer wave-like elevation
- the separating membrane with its collar is connected to the inner body on the outside against the outer wave-like elevation.
- a separating membrane arrangement can be found in US Pat. No. 4,199,991, in which an inner body of a pressure transmitter has a structured area on its outer surface near the edge with an annular wave-like elevation and an annular wave-like depression and on the edge of the outer surface of the inner body a separating membrane is attached to an annular weld seam, which is corrugated corresponding to the outer surface of the inner body, and in which a pressure cap is pressed against the separating membrane, which receives a sealing ring on the edge of an inner, retracted area, but the known separating membrane arrangement has no pre-embossed collar ; the structured area of the inner body is also limited to the outside by a trough-like depression.
- a major advantage of the separating membrane arrangement according to the invention is that the clamping diameter of the separating membrane is relatively precisely defined by its design and also within a pressure fluctuations Pressure transmitter not changed. If the pressure cap expands as a result of a change in pressure, then the clamping diameter of the separating membrane in the separating membrane device according to the invention remains largely unaffected because it is defined by the “crest” of the outer wave-like elevation. This is important because the clamping diameter of a separating membrane is very large Has an influence on the spring properties of the separating membrane and thus on the measuring properties of a pressure transmitter.
- connection point between the separating membrane and the inner body lies outside and below the outer wave crest elevation and below the "crest" of this elevation.
- the separating membrane has on its outer edge a flat ring region adjoining the collar, which is connected at its flat ring region to a flat edge of the inner body.
- the sealing ring arranged overlapping the connection point.
- FIG. 1 shows, partly in section and partly in a side view, a transmitter designed as a pressure difference transmitter with an embodiment of the separating membrane arrangement according to the invention
- FIG. 2 a detail of the embodiment according to FIG. 1 and in
- FIG. 3 shows another embodiment of the separation membrane assembly according to the invention.
- an inner body 1 of the transmitter shown is provided with a structured area 3 on its outer surface 2.
- This structured area 3 has annular, wave-mountain-like elevations 4 and is delimited on the outside by an outer wave-mountain-like elevation 4 '.
- several wave-like, annular depressions 6 of the structured area 3 can be seen in FIG. 1.
- the inner body 1 On its outer surface 2, the inner body 1 is provided with a separating membrane 7 (cf. also FIG. 2, which shows the detail A of FIG. 1).
- the separating membrane 7 is pre-embossed before it is connected to the inner body 1, in such a way that it receives a collar 8 which in each case points downward in the figures.
- the separating membrane 7 is shaped in such a way that it can be placed with the collar 8 against the outer flank 9 of the outer annular, wave-mountain-like elevation 4 '.
- the flank 9 extends far below the level of the trough-like depressions 6 and is firmly connected to the inner body 1 by means of a connection point 10, which in the exemplary embodiment according to FIGS. 1 and 2 is an adhesive point.
- a pressure is then exerted on the membrane arrangement produced so far in such a way that the separating membrane 7 presses against the structured area 3 of the inner body 1 and is thereby embossed.
- a pressure cap 11 is placed on the separating membrane arrangement that has been completed so far, and accommodates a sealing ring 13 in an annular recess 12.
- the pressure cap 11 is clamped firmly to the inner body 1 in the usual way by means of clamping bolts 14 and 15, as a result of which the sealing ring 13 is pressed firmly against the separating membrane 7 in the region of the annular connection point 10.
- the embodiment according to FIG. 1 is a pressure difference transducer, the overall structure of which results from mirroring the configuration described above on an imaginary, horizontal center line. It is therefore a further inner body 20 with a further separating membrane
- FIG. 3 shows a detail corresponding to detail A according to FIGS. 1 and 2.
- a separating membrane 30 outside an outer, annular, wave-like elevation 31 on a flat edge 35 of an inner body 32 attached by an annular weld 33 by a pre-embossing outside a collar 36 on the Separating membrane 30 formed flat ring region 37 is welded to the edge 35.
- a sealing ring 34 is in turn attached so that it covers the weld 33.
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Abstract
Trennmembrananordnung und auf eine Trennmembrananordnung für einen Druckmessumformer mit einem Innenkörper (1) mit einem strukturierten Bereich (3) mit ringförmigen, wellenbergartigen Erhebungen (4, 4') und wellentalartigen Vertiefungen (6), mit einer Trennmembran (7), die aussen mittels einer ringförmigen Verbindungsstelle (10) fest mit dem Innenkörper (1) verbunden, und mit einer äusseren Druckkappe (11), die unter Zwischenlegen eines Dichtungsringes (13) gegen die Trennmembran (7) gepresst wird. Um einen auch bei Druckänderungen gleichbleibende Messeigenschaften aufweisenden Druckmessumformer herstellen zu können, wird ein Innenkörper (1) verwendet, der nach aussen durch eine wellenbergartige Erhebung (4') begrenzt ist; die vorgeprägte Trennmembran (7) wird mit ihrem Kragen (8) aussen an der äusseren wellenbergartigen Erhebung (4') anliegend mit dem Innenkörper (1) verbunden, danach wird ein Nachprägen der Trennmembran (7) durchgeführt, und dann wird die Druckkappe (11) mit dem Dichtungsring (13) angebracht.
Description
Beschreibung
TRENNMEMBRANANORDNUNG FÜR EINEN DRUCKMESSUMFORMER MIT WELLENBERGRAND UND VORGEPRÄGTER SOWIE NACHGEPRÄGTER MEMBRAN
Die Erfindung bezieht sich auf Verfahren zum Herstellen einer Trennmembrananordnung und auf eine Trennmembrananordnung für einen Druckmeßumformer mit einem an seiner äußeren Oberfläche einen strukturierten Bereich mit ringförmigen, wellenbergar- tigen Erhebungen und ringförmigen, wellentalartigen Vertiefungen aufweisenden Innenkörper, mit einer Trennmembran, die im Bereich ihres äußeren U fangeε einen durch Vorprägen gebildeten Kragen aufweist, mittels einer ringförmigen Verbindungsstelle am Kragen fest und gasdicht mit dem Innenkörper verbunden ist und durch Nachprägen der äußeren Oberfläche des Innenkörpers entsprechend gewellt ist, und mit einer äußeren Druckkappe, die unter Zwischenlegen eines Dichtungsringes gegen die Trennmembran gepreßt ist .
Nach einem Verfahren dieser Art ist offensichtlich ein Druckbzw. Druckdifferenz-Meßumformer STD 915 der Firma Honeywell hergestellt. Bei der Herstellung dieses bekannten Meßumformers wird die Trennmembran so vorgeprägt, daß sie eine topfartige Gestalt mit einem breiten Rand aufweist. A inne- ren Bereich des Randes ist die Trennmembran mit einem Innenkörper des Meßumformers ringförmig verschweißt; außerhalb des ringförmigen Schweißnaht ist bei dem bekannten Meßumformer ein Dichtungsring vorgesehen, der in einer Ringnut einer Druckkappe liegt und mit der Druckkappe gegen die Trennmem- bran am Innenkörper gepreßt wird. Vorher ist bei der Herstellung des bekannten Meßumformers die Trennmembran nachgeprägt worden, indem sie gegen einen strukturierten Bereich der Oberfläche mit wellenartigen Erhebungen und Vertiefungen gedrückt worden ist .
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zum Herstellen einer Trennmembrananordnung für einen Druckmeßumformer vorzuschlagen, mit welchem sich ein Druckmeßumformer mit sehr guten Meßeigenschaften herstellen läßt.
Zur Lösung dieser Aufgabe wird bei einem Verfahren der eingangs angegebenen Art erfindungsgemäß ein Innenkörper verwendet, dessen strukturierter Bereich nach außen durch eine äußere wellenbergartige Erhebung begrenzt ist; die vorgeprägte Trennmembran wird mit ihrem Kragen außen an der äußeren wellenbergartigen Erhebung anliegend mit dem Innenkörper verbunden, danach wird das Nachprägen der Trennmembran durchgeführt und dann die Druckkappe mit dem Dichtungsring angebracht .
Ein wesentlicher Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens besteht darin, daß mit ihm ein Druckmeßumformer - bzw. selbstverständlich auch ein Druckdifferenz-Meßumformer - herstellbar ist, bei dem sich die Trennmembran wegen der Anbringung des Kragens der vorgeprägten Trennmembran außen an der äuße- ren wellenartigen Erhebung und wegen des anschließenden Nachprägens durch die entstehende und bleibende radiale Zugvorspannung in der Trennmembran an die äußere Flanke der äußeren wellenartigen Erhebung und deren „Kamm" anpreßt. Dadurch ist der Einspanndurchmesser der Trennmembran genau festgelegt und ändert sich auch bei Druckschwankungen kaum. Die Volumenstei- figkeit der Trennmembran bleibt also auch bei Änderungen des Drucks nahezu konstan .
Bei einer vorteilhaften Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens wird der Kragen an der äußeren Flanke der äußeren wellenartigen Erhebung mit dem Innenkörper verbunden. Damit läßt sich ein relativ kompakt aufgebauter Druckmeßumformer gewinnen .
Ferner wird es zur Erzielung eines Druckmeßumformers mit genau definiertem Einspanndurchmesser seiner Trennmembran als vorteilhaft angesehen, wenn der Kragen an einem unter dem Niveau der wellenartigen Vertiefungen liegenden Bereich der verlängerten Flanke der äußeren wellenartigen Erhebung mit dem Innenkörper verbunden wird.
Bei einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens wird die Trennmembran so vorgeprägt, daß sie an ihrem äußeren Rand einen sich an den Kragen anschließenden ebenen Ringbereich aufweist; die Trennmembran wird an ihrem ebenen Ringbereich mit einem ebenen Rand des Innenkörpers verbunden.
Wenn ein Druckmeßumformer für aggressive Medien hergestellt werden soll, wird in vorteilhafter Weise der Dichtungsring die Verbindungsstelle zwischen Trennmembran und Innenkörper überdeckend angeordnet .
Der Erfindung liegt ferner die Aufgabe zugrunde, eine Trennmembrananordnung für einen Druckmeßumformer vorzuschlagen, welche dem Druckmeßumformer sehr gute Meßeigenschaften verleiht.
Zur Lösung dieser Aufgabe ist bei einer Trennmembrananordnung für einen Druckmeßumformer mit einem an seiner äußeren Oberfläche einen strukturierten Bereich mit ringförmigen, wellenbergartigen Erhebungen und ringförmigen, wellentalartigen Vertiefungen aufweisenden Innenkörper, mit einer Trennmem- bran, die im Bereich ihres äußeren Umfanges einen durch Vorprägen gebildeten Kragen aufweist, mittels einer ringförmigen Verbindungsstelle am Kragen fest und gasdicht mit dem Innenkörper verbunden ist und durch Nachprägen der äußeren Oberfläche des Innenkörpers entsprechend gewellt ist, und mit einer äußeren Druckkappe, die unter Zwischenlegen eines Dich-
tungsringes gegen die Trennmembran gepreßt ist, erfindungsgemäß der strukturierte Bereich des Innenkörpers nach außen durch eine äußere wellenbergartige Erhebung begrenzt und die Trennmembran mit ihrem Kragen außen an der äußeren wellen- bergartigen Erhebung anliegend mit dem Innenkörper verbunden.
Es ist zwar aus der US-Patentschrift 4,199,991 eine Trennmembrananordnung entnehmbar, bei der ein Innenkörper eines Druckmeßumformers auf seiner äußeren Oberfläche in Randnähe einen strukturierten Bereich mit einer ringförmigen, wellenbergartigen Erhebung und einer ringförmigen, wellenartigen Vertiefung aufweist und am Rande der äußeren Oberfläche des Innenkörpers mittels einer ringförmigen Schweißnaht eine Trennmembran befestigt ist, die der äußeren Oberfläche des Innenkörpers entsprechend gewellt ist, und bei der gegen die Trennmembran eine Druckkappe gepreßt ist, die am Rande eines inneren, eingezogenen Bereichs einen Dichtungsring aufnimmt, jedoch weist die bekannte Trennmembrananordnung keinen vorgeprägten Kragen auf; auch ist der strukturierte Bereich des Innenkörpers durch eine wellentalartige Vertiefung nach außen begrenzt. Mit der bekannten Trennmembrananordnung ist verhindert, daß womöglich aggressive Medien in der Druckkappe den Innenkörper angreifen können; der Innenkörper ist nämlich mittels der Trennmembran und des Dichtungsringes vollständig gegenüber dem Medium in der Druckkammer abgeschlossen. Als Material für den Innenkörper muß daher gegenüber aggressiven Medien beständiges Material nicht verwendet werden, was sich kostengünstig bei der Herstellung auswirkt und darüber hinaus bezüglich des Verschweißens der Trennmembran mit dem Innen- körper keine besonderen Probleme aufwirft.
Ein wesentlicher Vorteil der erfindungsgemäßen Trennmembrananordnung besteht darin, daß durch ihre Ausgestaltung der Einspanndurchmesser der Trennmembran relativ genau festgelegt ist und sich auch bei Druckschwankungen innerhalb eines
Druckmeßumformers nicht verändert. Weitet sich nämlich die Druckkappe infolge Änderung des Druckes auf, dann bleibt der Einspanndurchmesser der Trennmembran bei der erfindungsgemäßen Trennmembraneinrichtung weitestgehend unbeeinflußt, weil er durch den „Kamm" der äußeren wellenbergartigen Erhebung festgelegt ist. Wichtig ist dies, weil der Einspanndurchmesser einer Trennmembran einen sehr großen Einfluß auf die Federeigenschaften der Trennmembran und damit auf die Meßeigenschaften eines Druckmeßumformers hat . Die Meßeigen- schatten werden also durch die Trennmembrananordnung gemäß der Erfindung nicht nachteilig verändert .
Bei der erfindungsgemäßen Trennmembrananordnung kommt es darauf an, daß die Verbindungsstelle zwischen Trennmembran und Innenkörper außerhalb und unterhalb der äußeren wellenbergartigen Erhöhung und unterhalb des „Kammes" dieser Erhebung liegt. Dies kann dadurch erreicht werden, daß die äußere Flanke der äußeren wellenbergartigen Erhebung bis unter das Niveau der wellentalartigen Vertiefungen verlängert ist und die Verbindungsstelle zwischen Trennmembran und Innenkörper im verlängerten Bereich der äußeren Flanke liegt . In diesem Fall wird nämlich auch bei starken Aufweitungen der Druckkappe durch hohe Druckänderungen ein merkliches Verändern des Einspanndurchmessers der Trennmembran verhindert.
Bei einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform der erfindungsgemäßen Trennmembrananordnung weist die Trennmembran an ihrem äußeren Rand einen sich an den Kragen anschließenden ebenen Ringbereich auf, der an ihrem ebenen Ringbereich mit einem ebenen Rand des Innenkörpers verbunden ist.
Um gegebenenfalls aggressiven Medien in der Druckkammer den Zutritt zur Verbindungsstelle zu verwehren, ist in vorteilhafter Weise bei der erfindungsgemäßen Trennmembrananordnung
der Dichtungsring die Verbindungsstelle überdeckend angeordnet .
Zur Erläuterung der Erfindung ist in Figur 1 teilweise im Schnitt und teilweise in einer Seitenansicht ein als Druckdifferenzmeßumformer ausgebildeter Meßumformer mit einem Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Trennmembrananordnung, in Figur 2 eine Einzelheit des Ausführungsbeispiels nach Fi- gur 1 und in
Figur 3 eine andere Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Trennmembrananordnung gezeigt .
Wie die Figur 1 erkennen läßt, ist ein Innenkörper 1 des ge- zeigten Meßumformers an seiner äußeren Oberfläche 2 mit einem strukturierten Bereich 3 versehen. Dieser strukturierte Bereich 3 weist ringförmige, wellenbergartige Erhebungen 4 auf und ist nach außen durch eine äußere wellenbergartige Erhebung 4' begrenzt. Außerdem sind mehrere wellentalartige, ringförmige Vertiefungen 6 des strukturierten Bereichs 3 in der Figur 1 zu erkennen.
An seiner äußeren Oberfläche 2 ist der Innenkörper 1 mit einer Trennmembran 7 (vgl. auch Figur 2, die die Einzelheit A der Figur 1 zeigt) versehen. Die Trennmembran 7 ist vor ihrer Verbindung mit dem Innenkörper 1 vorgeprägt, und zwar so, daß sie einen in den Figuren jeweils nach unten weisenden Kragen 8 erhält. Dabei ist die Trennmembran 7 so geprägt, daß sie mit dem Kragen 8 gegen die äußere Flanke 9 der äußeren ring- förmigen, wellenbergartigen Erhebung 4' gelegt werden kann. Die Flanke 9 erstreckt sich weit unter das Niveau der wellentalartigen Vertiefungen 6 und ist mittels einer Verbindungsstelle 10, bei der es sich bei dem Ausführungsbeispiel nach den Figuren 1 und 2 um eine Klebestelle handelt, mit dem Innenkörper 1 fest verbunden.
Auf die soweit hergestellte Membrananordnung wird anschließend ein Druck derart ausgeübt, daß sich die Trennmembran 7 gegen den strukturierten Bereich 3 des Innenkörpers 1 preßt und dabei nachgeprägt wird. Dabei entstehen bleibende radiale Zugvorspannungen in der Trennmembran 7, durch die sichergestellt ist, daß beim Einsatz des Druckmeßumformers die Trennmembran auch bei Druckschwankungen stets definiert an der äußeren wellenbergartigen Erhebung bzw. deren Kamm anliegt, wo- durch ein vorgegebener Einspanndurchmesser stets erhalten bleibt.
Auf die soweit fertig gestellte Trennmembrananordnung wird eine Druckkappe 11 aufgesetzt, die in einer ringförmigen Aus- nehmung 12 einen Dichtungsring 13 aufnimmt. Die Druckkappe 11 wird in üblicher Weise mittels Spannbolzen 14 und 15 fest dem Innenkörper 1 verspannt, wodurch der Dichtungsring 13 fest gegen die Trennmembran 7 im Bereich der ringförmigen Verbindungsstelle 10 gedrückt ist.
Bei dem Ausführungsbeispiel nach Figur 1 handelt es sich um einen Druckdifferenzmeßumformer, dessen Gesamtaufbau sich durch Spiegelung der oben beschriebenen Konfiguration an einer gedachten, horizontalen Mittellinie ergibt. Es ist also ein weiterer Innenkörper 20 mit einer weiteren Trennmembran
21, einem weiteren Dichtungsring 22 und einer weiteren Druckkappe 23 vorhanden.
Die Figur 3 zeigt eine Einzelheit entsprechend der Einzelheit A gemäß den Figuren 1 und 2. Im Unterschied zu dem Ausfüh- rungsbeispiel nach den ersten beiden Figuren ist hier eine Trennmembran 30 außerhalb einer äußeren, ringförmigen, wellenartigen Erhebung 31 an einem ebenen Rand 35 eines Innenkörpers 32 durch eine ringförmige Schweißstelle 33 befestigt, indem ein durch Vorprägen außerhalb eines Kragens 36 an der
Trennmembran 30 gebildeter ebener Ringbereich 37 mit dem Rand 35 verschweißt ist. Ein Dichtungsring 34 ist wiederum so angebracht, daß er die Schweißstelle 33 abdeckt.
Beim Einsatz eines Druckdifferenz-Meßumformers mit der dargestellten Trennmembrananordnung befindet sich in den Innenräumen der Druckkappen 11 und 23 ein Medium, das gegebenenfalls aggressive Eigenschaften haben kann. Dieses Medium kommt mit dem Innenkörper 1 bzw. 20 nicht in Berührung, weil dieser mittels der Trennmembran 7 bzw. 21 und des Dichtungsringes 13 bzw. 22 dicht abgeschlossen ist. Steigt der statische Druck des Mediums in den Druckkappen 11 bzw. 23, dann führt dies zu einer Aufweitung der Druckkappen; diese wirkt sich jedoch auf die Volumensteifigkeit einer Trennmembran eines Druckdiffe- renz-Meßumformers mit der dargestellten Trennmembrananordnung praktisch nicht aus, weil der Einspanndurchmesser der Trennmembran 7 durch ihre Anlage an der äußeren ringförmigen, wellenartigen Erhebung 4' infolge der radialen Zugvorspannung der Trennmembran 7 definiert ist.
Claims
1. Verfahren zum Herstellen einer Trennmembrananordnung für einen Druckmeßumformer mit - einem an seiner äußeren Oberfläche (2) einen strukturierten Bereich (3) mit ringförmigen, wellenbergartigen Erhebungen (4, 4') und ringförmigen, wellentalartigen Vertiefungen (6) aufweisenden Innenkörper (1),
- mit einer Trennmembran (7), - die im Bereich ihres äußeren Umfanges einen durch
Vorgeprägen gebildeten Kragen aufweist, mittels einer ringförmigen Verbindungsstelle (10) am Kragen (8) fest und gasdicht mit dem Innenkörper (1) verbunden ist und durch Nachprägen der äußeren Oberfläche des Innenkörpers (1) entsprechend gewellt ist, und
- mit einer äußeren Druckkappe (11) ,
- die unter Zwischenlegen eines Dichtungsringes (13) gegen die Trennmembran (7) gepreßt ist, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß - ein Innenkörper (1) verwendet wird, dessen strukturierter Bereich (3) nach außen durch eine äußere wellenbergartige Erhebung (4') begrenzt ist,
- die vorgeprägte Trennmembran (7) mit ihrem Kragen (8) außen an der äußeren wellenbergartigen Erhebung (4') anliegend mit dem Innenkörper (1) verbunden wird,
- danach das Nachprägen der Trennmembran (7) durchgeführt wird und
- dann die Druckkappe (11) mit dem Dichtungsring (13) angebracht wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1 , d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß
- der Kragen (8) an der äußeren Flanke der äußeren wellenartigen Erhebung (4') mit dem Innenkörper (1) verbunden wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß
- der Kragen (8) an einem unter dem Niveau der wellenartigen Vertiefungen (6) liegenden Bereich der verlängerten Flanke der äußeren wellenartigen Erhebung (4') mit dem Innenkörper (1) verbunden wird.
4. Verfahren nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß
- die Trennmembran so vorgeprägt wird, daß sie an ihrem äußeren Rand einen sich an den Kragen anschließenden ebenen Ringbereich aufweist, und
- die Trennmembran an ihrem ebenen Ringbereich mit einem ebenen Rand des Innenkörpers verbunden wird.
5. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß
- der Dichtungsring die Verbindungsstelle zwischen Trennmembran und Innenkörper überdeckend angeordnet wird.
6. Trennmembrananordnung für einen Druckmeßumformer mit
- einem an seiner äußeren Oberfläche (2) einen strukturierten Bereich (3) mit ringförmigen, wellenbergartigen Erhebungen (4, 4') und ringförmigen, wellentalartigen Vertiefungen (6) aufweisenden Innenkörper (1), - mit einer Trennmembran (7),
- die im Bereich ihres äußeren Umfanges einen durch
Vorgeprägen gebildeten Kragen (8) aufweist, mittels einer ringförmigen Verbindungsstelle (10) am Kragen (8) fest und gasdicht mit dem Innenkörper (1) verbunden ist und
durch Nachprägen der äußeren Oberfläche des Innenkörpers (1) entsprechend gewellt ist, und
- mit einer äußeren Druckkappe (11),
— die unter Zwischenlegen eines Dichtungsringes (13) gegen die Trennmembran (7) gepreßt ist, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß
- der strukturierte Bereich (3) des Innenkörpers (1) nach außen durch eine äußere wellenbergartige Erhebung (4') begrenzt ist und - die Trennmembran (7) mit ihrem Kragen (8) außen an der äußeren wellenbergartigen Erhebung (4') anliegend mit dem Innenkörper (1) verbunden ist.
7. Druckmeßumformer nach Anspruch 6 , d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß
- die äußere Flanke (9) der äußeren wellenbergartigen (4') Erhebung bis unter das Niveau der wellentalartigen Vertiefungen (6) verlängert ist und
- die Verbindungsstelle (10) zwischen Trennmembran (7) und Innenkörper (1) im verlängerten Bereich der äußeren Flanke
(9) liegt.
8. Druckmeßumformer nach Anspruch 6, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß - die Trennmembran (30) an ihrem äußeren Rand einen sich an den Kragen (36) anschließenden ebenen Ringbereich (37) aufweist, und
- an ihrem ebenen Ringbereich (37) mit einem ebenen Rand (35) des Innenkörpers (32) verbunden ist.
9. Druckmeßumformer nach einem der Ansprüche 6 bis 8, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß
- der Dichtungsring (13) die Verbindungsstelle (10) überdek- kend angeordnet ist .
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE59803083T DE59803083D1 (de) | 1997-08-29 | 1998-08-24 | Trennmembrananordnung für einen druckmessumformer mit wellenbergrand und vorgeprägter sowie nachgeprägter membran |
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| US09/486,431 US6311560B1 (en) | 1997-08-29 | 1998-08-24 | Separating membrane systems for a pressure transducer, with a wave crest edge and a pre-and post-cut membrane |
Applications Claiming Priority (2)
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6311560B1 (de) |
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| WO (1) | WO1999012013A1 (de) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102018215851B3 (de) | 2018-09-18 | 2019-09-26 | Siemens Aktiengesellschaft | Druck- oder Durchflussmesszelle |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3566750A (en) * | 1969-03-10 | 1971-03-02 | Foxboro Co | Differential pressure cell with keystone structure |
| US4072058A (en) * | 1976-05-03 | 1978-02-07 | Honeywell Inc. | Differential pressure transmitter with pressure sensor protection |
| US4199991A (en) * | 1978-05-08 | 1980-04-29 | Gould Inc. | Isolation diaphragm assembly for pressure transducers and method of manufacture |
| US5029478A (en) * | 1990-07-19 | 1991-07-09 | Honeywell Inc. | Fluid isolated self-compensating absolute pressure sensor transducer |
| DE29704321U1 (de) * | 1997-02-26 | 1997-05-07 | Siemens AG, 80333 München | Druckmeßumformer |
-
1997
- 1997-08-29 DE DE19738704A patent/DE19738704A1/de not_active Withdrawn
-
1998
- 1998-08-24 EP EP98951205A patent/EP1009985B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1998-08-24 WO PCT/DE1998/002481 patent/WO1999012013A1/de not_active Ceased
- 1998-08-24 US US09/486,431 patent/US6311560B1/en not_active Expired - Fee Related
- 1998-08-24 DE DE59803083T patent/DE59803083D1/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3566750A (en) * | 1969-03-10 | 1971-03-02 | Foxboro Co | Differential pressure cell with keystone structure |
| US4072058A (en) * | 1976-05-03 | 1978-02-07 | Honeywell Inc. | Differential pressure transmitter with pressure sensor protection |
| US4199991A (en) * | 1978-05-08 | 1980-04-29 | Gould Inc. | Isolation diaphragm assembly for pressure transducers and method of manufacture |
| US5029478A (en) * | 1990-07-19 | 1991-07-09 | Honeywell Inc. | Fluid isolated self-compensating absolute pressure sensor transducer |
| DE29704321U1 (de) * | 1997-02-26 | 1997-05-07 | Siemens AG, 80333 München | Druckmeßumformer |
Also Published As
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| DE59803083D1 (de) | 2002-03-21 |
| DE19738704A1 (de) | 1999-03-04 |
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