WO1999024206A1

WO1999024206A1 - Procede et appareil permettant de polir la surface interieure de la partie cylindrique d'une piece cylindrique allongee et piece cylindrique allongee

Info

Publication number: WO1999024206A1
Application number: PCT/JP1998/004494
Authority: WO
Inventors: Sunao Aiura; Katsuhiko Inoue; Toshihiko Sasaki; Kazuo Akagi; Koji Takahashi
Original assignee: Nissin Unyu Kogyo Co Ltd
Current assignee: Nissin Unyu Kogyo Co Ltd
Priority date: 1997-11-10
Filing date: 1998-10-05
Publication date: 1999-05-20
Anticipated expiration: 2000-05-10
Also published as: US6994610B1; AU9283898A; US20060065518A1; EP0951960A1; JPH11138350A; EP0951960A4

Description

明細書

長尺円筒加工物の円筒部内面の研磨方法及び装置並びに長尺円筒加工物技術分野

本発明は、円筒部を有する金属管又は形材のような長尺円筒加工物の内面を電解複合研磨技術を利用して鏡面加工する研磨方法及び装置並びに該方法により電解複合研磨された長尺円筒加工物に関する。背景技術

油圧シリンダーやエアシリンダ一等の流体圧シリンダ一の円筒部は、油圧シリンダ一では 2 5 m、エアシリンダ一では 1 5 0〃mの真円度が要求されている。例えば、これらに用いるアルミ押出中空形材は通常押出まででは精度カ坏十分であるため、ほとんどの製品が切削の様な機械加工ある、は機械加工後にバニシング加工することにより、円筒部の真円度、寸法精度を改善している。し力、し、円筒部の内径が小さ t、ものや内径に比べて縦方向に長 t、素材は機械加工ができない。そのため、例えば、要求される真円度を満たせず歩留りが低下したり、長尺の素材を製品長さに切断してから 1つずつ機械加工しなければならないため生産効率力上がらないという状況にある。一方、金属の表面を高精度に研磨する方法として、電解液による溶出作用と、研磨材による擦過作用とを複合させて研磨仕上げする電解複合研磨技術力,られている。この電解複合研磨技術は金属管の内面を鏡面仕上げする場合に適用され、一般には先端に工具電極を取り付けた回転軸を金属管内に挿入し、この回転軸と金属管とを相対的に回転させ、同時に金属管内に電解液を供給するとともに電流を流し、回転軸を徐々に引き抜きながら工具電極に装着した砥石で金属管の内面を研磨するものである。このような金属管内面の電解複合研磨方法においては、砥石が磨耗すると内面研磨が適正に行われず高精度の鏡面仕上げが出来ないために、従来はばね板またはダイヤフラム等により砥石に押圧力を付与することで、砥石の磨耗に対処した装置が知られている（実開平 4一 1 3 0 1 2 0号、実開平 5— 8 6 4 2 9号など）

上記従来のばね板による場合は、特に長尺金属管内面のように限られた箇所では、砥石の磨耗に伴い押圧力が減少して所定の研磨性能が得られなくなる。また、ばね板は所定の撓みを与えることにより力カ発生するために、金属管内に研磨ェ具を挿入する際に、専用の挿入ガイドが必要になる等の欠点カ有った。一方、ダイヤフラムによる場合は、上記ばね板による欠点は解消できるが、複数個の砥石に対応させて複数個のダイャフラムを個別に設けなければならない。このために、取付部の加工が複雑になり、取付作業が複雑になる等の欠点が生じる。また、複数個のダイヤフラムにばらつき力生じ、各砥石にかかる押圧力が一定とならず、高精度の鏡面仕上げが不可能である。上記の方法は、主として鋼又はステンレスのパイプの内表面の加工に適用されている。設備的には長尺製品の加工力容易な横型のものが多く、縦型のものは少ない（特開平 3— 9 8 7 5 8号公報参照）。さらに、外形力多様な形をしているアルミ押出形材に適用された具体的な例はない。アルミ中空押出形材の円筒部内面の機械加工（例えば切削）は外表面の加工に比較すると難しい。また、ある程度の加工精度を確保するには、工具の剛性の問題から長い素材の加工は困難であり、短く切断して加工する必要がある。このために、コスト高となるとともに、アルミ合金カ斕に比較して 1ノ 3程度の低岡 I胜、 2倍の熱膨張率であり、切削抵抗や切削熱による変形力大きいことにより、切削加工による超精密鏡面仕上げは困難であつた。

これに対し、電解複合研磨は、仕上げ面の真円度≤ 1 0 / m、表面粗さ≤ 1 mの品質が得られる超精密仕上げ加工技術であり、長尺のパイプにも適用することができる。し力、し、これまで主として鋼又はステンレス鋼管内面を研磨していた電解複合研磨方法及び装置を、そのままアルミ中空押出形材の円筒部内面の研磨に適用しても、精度よく加工できないという問題がある。例えば、本発明者らは、従来の電解複合研磨装置（長尺金属管及び工具電極の軸線方向が水平に設定され、金属管及び工具電極双方を互いに逆方向に回転させるタイプ）を用いてァミル押出管の内面を電解複合研磨した力所望の加工精度を得ることができなかった。これは、アルミ力鋼又はステンレス鋼に比較して 1 3程度の低強度、低剛性のため軟質で変形しやすく、砥石の押圧力を低圧に制御して加工する必要があると同時に、水平に回転軸に支持された工具電極の自重の影響が強く出て軸心がぶれ、加工精度力劣ィヒするためである。

また、多様な外形を有する金属形材を高速回転することは事実上不可能であるので、上記電解複合研磨装置を適用できる長尺円筒加工物は円筒パイプに限定される。本発明はこのような従来の問題点に鑑みてなされたもので、アルミ中空押出形材をはじめ外形力多様な金属形材の円筒部内面の研磨に対しても、これを精度よく加工できるような電解複合研磨方法及び装置並びに高精度に研磨された円筒部内面を有する長尺円筒加工物を得ることを目的とするものである。発明の開示

本発明の方法は、長尺円筒加工物の円筒部内面を、電解液による溶出作用と円筒内に挿入する工具電極に装備した砥石による擦過作用とを複合させて研磨する電解複合研磨方法であって、長尺円筒加工物をその円筒部軸心力縦方向に向くように設置し、同じく縦方向に下向きに支持された回転軸の先端に取り付けた工具電極を円筒内に挿入し、これを回転させかつ縦方向に相対移動させることを特徴とする。また、本発明の装置は、長尺円筒加工物の円筒部内面を、電解液による溶出作用と円筒内に挿入する工具電極に装備した砥石による擦過作用とを複合させて研磨する電解複合研磨装置であって、長尺円筒加工物をその円筒部軸心が縦方向に向くように設置するワーク保持装置と、縦方向に下向きに支持され前記長尺円筒加工物の円筒内に挿入される回転軸と、その回転軸の先端に取り付けられた工具電極と、前記回転軸及び Z又はワーク保持装置を軸方向に移動させる移動装置を備えることを特徴とする。この方法及び装置においては、回転軸を縦方向に下向きに支持させその先端に工具電極を取り付けたため、工具電極及びその回転軸の自重の影響が排除され、工具電極のぶれが抑制されて加工精度の改善ができる。また長尺円筒加工物を回転させず工具電極側のみを回転させるようにしたことから、多様な外形を有するアルミ中空押出形材をはじめ各種金属形材に等しく適用できる。なお、上記移動装置は、回転軸側かワーク保持装置側の一方に設置してもよいし、双方に設置してもよい。すなわち、長尺円筒加工物と工具電極が軸方向に相対的に移動するようになっていればよい。上記研磨装置の実施形態として、上記回転軸が縦方向に下向きに支持された外周管の中に回転自在に支持されていること力挙げられる。この外周管は回転せず、好ましくは回転軸の先端の工具電極部分を除いてほぼその全長をカバ一し、外周管と回転軸は同時に軸方向に移動させられる。この場合、回転軸はこの外周管の中心に回転自在に支持されるため、高速回転時の工具電極のぶれカ抑制され加工精度が改善する。また、上記外周管を設置した場合、その周囲にプラスチック管を螺旋状に巻き回し、かつそのプラスチック管内を加圧できるようにすること力好ましい。外周管が例えば長尺円筒加工物の円筒部内に挿入された状態でこのプラスチック管を加圧したとき、プラスチック管が膨張して円筒部内面に押し付けられる。その作用により回転軸及び工具電極の回転に伴う微少なぶれを防止し、外周管を常に円筒部の中心に維持し、加工精度をさらに改善すること力できる。また、工具電極の内部に中空部力 <設けられており、該中空部にはシリコンチュ一ブ等からなる押圧用チューブが配設され、その内部を加圧できるようにされていること力好ましい。この押圧用チューブ内部を加圧することによって、一定圧力で弾性砥石を放射方向に押出すことが可能となる。また、弾性砥石が磨耗した際にも常に一定の押圧力を保持することが出来る。また、この電解複合研磨方法及び装置により、円筒部の長さがその直径の 1 0 倍以上あるような長尺の金属形材でも、機械加工を行うことなく、円筒部内面の真円度を 1 0 m以下、軸方向及び円周方向の表面粗さ Rm a xを 1 m以下に仕上げ研磨することができるようになる。本発明装置のその他の特徴については、下記発明の実施の形態の欄で具体的に説明する。図面の簡単な説明

第 1図は、本発明に係る電解複合研磨装置の全体説明図である。第 2図は、その要部を説明する図である。第 3図は、その工具電極の縦断面図である。第 4図は、電極部の横方向断面図である。第 5図は、実施例に使用したアルミ中空押出形材の断面図である。発明を実施するための最良の形態

以下、第 1図〜第 5図を参照して本発明に係る電解複合研磨装置を具体的に説明する。

この電解複合研磨装置は第 1図及び第 2図に示すように、基台 1とその上に設置されたフレーム 2、鉛直方向に設置された外周管 3、外周管 3の中に図示しない複数個の軸受を介して鉛直方向に力つ回転自在に設置された回転軸 4、外周管 3の下方において回転軸 4の先端に取り付けられた工具電極 5、外周管 3の周囲に螺旋状に巻き回され、図示しな L、機構により内部を加圧できるようにした例えばシリコンチューブなどからなるプラスチック管 6、フレーム 2に取り付けられたガイド 7に沿って鉛直方向に摺動自在の摺動部材 8、外周管 3の上端部を支持し摺動部材 8に固定された支持部材 9、回転軸 4の上端部近傍を支持し摺動部材 8に固定された軸受部材 1 0、摺動部材 8をガイド 7に沿って上下摺動、すなわち外周管 3及び回転軸 4を上下移動させる移動モーター 1 1、摺動部材 8に取り付けられ回転軸 4を回転させるモーター 1 2、長尺円筒加工物 Wを固定する固定チャック 1 3 (陽極通電チヤック）等を備える。この電解複合研磨装置において、回転軸 4は中空軸（第 3図参照）であり、回転軸 4の頂部にはロータリージョイント 1 5を介して中空穴 4 aにエアを導入できるようになつている。また、本装置はさらに、固定チャック 1 3の上方に位置しガイド 7に沿って摺動自在で適宜位置に固定自在とされたフリーリング機構 1 6と、その上に配置された規制スリーブ 1 7 規制スリーブ 1 7の開口から流出する電解液を受ける液受け 1 8、固定チヤック 1 3の下方位置に固定されたフリ —リング機構 1 9、回転軸 4に接触する陰極通電ブラシ 2 0を備えている。フリーリング機構 1 6及び 1 9はそれぞれほぼ同じ構造を持つ。それは、固定されたスリーブ 2 1、 2 2内に 2段にフリーリング 2 3、 2 4、 2 5、 2 6力メ力二カルシ一ルを介してそれぞれ独立して回転自在に保持されている。そして、フリーリング機構 1 6および 1 9は、固定チャック 1 3に取り付けられた長尺円筒加工物 Wの円筒部の上下開口にシールパッキン 2 7、 2 8を介して当接される _c このフリーリング 2 3〜 2 6は、長尺円筒加工物 Wの円筒部の仕上がり内径と同じか又はわずかに大きい内径と、工具電極 5の後述する弾性砥石とほぼ同じ長さを持つ。そして、このフリーリング 2 3〜2 6は、その弾性砥石の押圧力によりフリーに同期回転し、長尺円筒加工物 Wの円筒部端面が研磨によりベルマウス形状に変形されるのを防止する。

また、規制スリーブ 1 7はフリーリング機構 1 6の上に連設されており、フリ —リング 2 3、 2 4の内径とほぼ同じ内径をもつ。第 3図に示すように、回転軸 4は軸受 3 0により外周管 3の中で回転自在に支持されている。また、外周管 4の下端に螺合したシ一ノレ押え 3 1と回転軸 4に固定されたシ一ノレ押え 3 2の間にフェルト状のシール 3 3力 <介在し、電解液が相対回転する外周管 3と回転軸 4の間に浸入するのを防止している。外周管 3の下端から突出した回転軸 4の先端には、取付部材 3 4を介して工具電極 5力取り付けられている。第 4図にも示すように、工具電極 5には中空の電極部 3 5、 3 6カ所定間隔を置いて上下に配設されている。それぞれの電極部 3 5、 3 6には開口力放射状に 1 8 0 ° 間隔に設けられ、また各電極部 3 5、 3 6 の開口の向きは 9 0 ° ずれている。各開口内には研磨材としての粗研磨用と仕上げ研磨用の弾性砥石 3 7、 3 8がホルダ一 3 9とともに放射方向に摺動自在に保持されている。工具電極 5の中空部には、一端が回転軸 4の中空穴 4 aに連通し他端がプラグ 4 0により閉塞されたシリコンチューブ等からなる押圧用チューブ 4 1力配設されている。ロータリ一ジョイント 1 5を介して中空穴 4 aに導入されたエアにより押圧用チューブ 4 1は膨張し、弾性砥石 3 7、 3 8を放射方向に押し出し、長尺円筒加工物 Wの円筒部内面にエアー圧に応じた一定圧力で押し付ける。電極部 3 5、 3 6の開口部側壁には硬質ガラス 4 2カ貼り付けられて砥石ホルダ一 3 9との間の摩擦力を低減している。漏洩電流を防止するため、支持部材 9と外周管 3、軸受部材 1 0と回転軸 4は絶縁され、外周管 4の外周は絶縁被覆されている。また、工具電極 5の金属部分も、その電極部 3 5の外周面のうち弾性砥石 3 7を挟んで両側の部分力露出面となっているほかは、絶縁被覆されている。なお、露出面は、弾性砥石 3 7の回転方向の前方側が不動態化皮膜生成露出面 3 5 a、後方側が集中溶出露出面 3 5 b となっている。外周管 3に巻き回されたプラスチック管 6は、第 2図に示すように、外周管 3 の外周面と、長尺円筒加工物 Wの円筒部、フリーリング 2 3、 2 4、規制スリ― ブ 1 7のそれぞれの内周面との間に位置する。ここでプラスチック管 6の内部を加圧すると、膨張し、これらの内周面にプラスチック管 6力お押し付けられ、その作用により回転軸 4及び工具電極 5の高速回転に伴う外周管 3の微少なぶれが防止される。次にこの電解複合研磨装置を用いた研磨作業について説明する。

まず、被処理材である長尺円筒加工物 Wを固定チャック 1 3により把持し、フリーリング機構 1 9の上にシ一ノレパッキン 2 8を介して固定し、フリーリング機構 1 6をシ一ノレパッキン 2 7を介して長尺円筒加工物 Wの上に固定する。このとき、長尺円筒加工物 Wの円筒部、各フリ一リング 2 3 - 2 6.規制スリ一ブ 1 Ί の内周面の軸心はすべて同一軸線上に設定され、同時にこれらは外周管 3、回転軸 4、工具電極 5と同一軸線上に設定されていなくてはならない（第 1図参照） c この状態で移動モ一夕一 1 1を駆動して摺動部材 8を下降させ、工具電極 5を規制スリーブ 1 7から挿入する。こうして、第 2図に示す位置、つまり粗研磨用の弾性砥石 3 7が長尺円筒加工物 Wの円筒部の下方位置、例えばフリ一リング機構 1 9の位置にきたところで下降を止める。この間、押圧用チューブ 4 1にエアの導入がなく、プラスチック管 6の内部も加圧されてないため、工具電極部 5及び外周管 3の揷入は抵抗無くスムースに行われる。次に、プラスチック管 6及び押圧用チューブ 4 1にエアを導入して加圧し、フリ一リング機構 1 9の下部の電解液注入口から電解液を導入する。続いてモータ —1 2を駆動して回転軸 4及び工具電極 5を高速回転させ、回転軸 4及び固定チャック 1 3に通電して電極部 3 5、 3 6側を陰極、長尺円筒加工物 W側を陽極とし、移動モータ一 1 1を駆動して工具電極 5を一定速度で引き上げる。

なお、電解液はフリーリング 2 6、 2 5の内周面と工具電極部 5の間を通って上昇し、長尺円筒加工物 Wの円筒部内周面と外周管 3の外周面の間、フリーリング 2 4、 2 3の内周面と外周管 3の外周面の間、規制スリーブ 1 7の内周面と外周管 3の外周面の間を通って液受け 1 8に排出され、回収されて研磨スラッジを沈殿分離し濾過された後、再び電解液注入口に圧送される。研磨作業の開始時点では弾性砥石 3 7、 3 8はフリーリング 2 5ヽ 2 6の内面に押し付けられ、フリーリング 2 5、 2 6は弾性砥石 3 7、 3 8の回転に追随して回転するので研磨されることはない。なお、フリーリング 2 5、 2 6を弾性砥石 3 7、 3 8の長さにほぼ等しい長さで上下 2段に設定することにより、それぞれの慣性重量力^、さくなり弾性砥石 3 7、 3 8の回転によく追随する。工具電極 5が上昇し、弾性砥石 3 7が長尺円筒加工物 Wの円筒部に入ると、弾性砥石 3 7はその内周面に押し付けられ、次のような原理で研磨が行われる。すなわち、電極部 3 5力高速回転する間、弾性砥石 3 7が研磨を始める前に、不動態化皮膜生成露出面 3 5 aを介して円筒部内周面に薄い不動態皮膜が形成される c 続いて弾性砥石 3 7が円筒部内周面を擦過し、この粘性のない不動態皮膜が除去されて金属素地が露出する。その直後に集中溶出露出面 3 5 bを介して金属素地の凸部に電解電流力集中して選択的な電解力行われる。これより以降、しだいに工具電極 5が上昇し、弾性砥石 3 7及び 3 8力長尺円筒加工物 Wの円筒部内から引き抜かれるまで、円筒部内周面に対しこの電解複合研磨が行われ、内周面を平滑にする。フリーリング 2 5、 2 6は研磨作業の初期において長尺円筒加工物 Wの円筒部端面がベルマウス形状に研磨されるのを防止する。すなわち、弾性砥石 3 7を例にとれば、これが円筒部に入る途中では、一部が円筒部内面に押し付けられ残りの部分がフリーリング 2 5に押し付けられた状態となっている。し力、し、円筒部の内径とフリーリング 2 5の内径が同じであるため、これらに押し付けられた弾性砥石 3 7の押圧面が傾斜せず、従って円筒部の端面がベルマウス形状に研磨されない。

研磨作業の終期において弾性砥石 3 7又は 3 8が長尺円筒加工物 Wの円筒部から出るときは、フリーリング 2 4により円筒部端面がベルマゥス形状に研磨されるのが防止される。研磨作業が行われている間、プラスチツチ管 6は加圧され、長尺円筒加工物 W の円筒部、フリーリング 23、 24及び規制スリーブ 17のそれぞれの内周面に押し付けられ、回転軸 4及び工具電極部 5の高速回転に伴う外周管 3の微少なぶれを防止し、結果的に円筒部内における工具電極 5のぶれを抑制する。フリーリング機構 16の上方に続けて所定長さの規制スリーブ 17を配置したことにより、弾性砥石 37、 38が長尺円筒加工物 Wの円筒部から抜け切って回転を停止するまでプラスチック管 6が当接する内周面を提供することができ、外周管 3のぶれを防止することができる。なお、本発明の方法を適用する長尺円筒加工物としては、鋼、ステンレス、ァルミ、アルミ合金などの金属管または形材カ挙げられる力、これに限定されるものではない。また、円筒部の長さはその直径の 10倍以上である。この長尺円筒加工物は、電解複合研磨により円筒部内面の真円度を 10 m以下、表面粗さ R m a Xを 1 /m以下に仕上げ研磨されている。

(実施例 1 )

第 5図に示す断面形状を有し、長さ 600mmのアルミ中空押出形材を第 1図に示す縦型電解複合研磨装置に設置し、その中央円筒部（仕上がり内径 32mm) を研磨した。工具電極は粗研磨用と仕上げ研磨用の 2段の電極部及び弾性砥石を備え、電解液は硝酸ナトリウム水溶液 (20%) 、印加電圧 8 V、工具電極の回転速度 2. 5m、上昇速度 lmZ分という条件で研磨を行った。

その結果、研磨前は形材の中央円筒部における真円度が 450 だったもの力研磨後は 9. 2 mとなり、研磨前の表面粗さ（Rm ax) 力軸方向 0. 8〃 mであったものが研磨後は 0. 50 zmとなり、研磨前の表面粗さ（Rmax) W

12 が周方向 1. 98 であったもの力研磨後は 0. 3 O zmとなり、いずれも精度が大きく向上した。

(実施例 2 )

長さ 600mmのステンレス冷間仕上げ管を第 1図に示す縦型電解複合研磨装置に設置し、その内面（仕上り内径 32mm) を研磨した。工具電極は粗研磨用と仕上げ研磨用の 2段の電極部及び弾性砥石を備え、電解液は硝酸ナトリゥム水溶液（20%) 、印加電圧 8 V、工具電極の回転速度 3. 0111、上昇速度0. 4 mZ分という条件で研磨を行つた。

その結果、研磨前の素管の表面粗さ（Rmax) が 1 O^mあったもの力研磨後は砥石粒度 # 1500で仕上げたものは 0. 2 に、砥石粒度 # 6000 で仕上げたものは 0. 08//mとなり、良好な鏡面仕上げ面が得られた。産業上の利用可能性

本発明によれば、長尺円筒加工物の円筒部内面を、機械加工を行うことなく真円度及び表面粗さの面で高精度に研磨加工することができる。そのため、例えば長尺の素材の状態で研磨加工し、その後流体圧シリンダの長さに切断するという工程をとることカ<でき、高精度研磨加工の効率力上がり、製造効率を向上させることができる。また、本発明は、多様な外形を持つ金属形材の円筒部内面の高精度研磨に適用すること力できる。

Claims

請求の範囲

1 . 長尺円筒加工物の円筒部内面を、電解液による溶出作用と円筒内に挿入する工具電極に装備した砥石による擦過作用とを複合させて研磨する電解複合研磨方法であって、長尺円筒加工物をその円筒部軸心力縦方向に向くように設置し、同じく縦方向に下向きに支持された回転軸の先端に取り付けた工具電極を円筒内に挿入し、これを回転させ力、つ縦方向に相対移動させることを特徴とする長尺円筒加工物の円筒部内面の研磨方法。

2. 長尺円筒加工物がアルミ中空押出形材であることを特徴とする請求の範囲第 1項記載の長尺円筒加工物の円筒部内面の研磨方法。

3. 長尺円筒加工物がステンレス冷間仕上げ管であることを特徴とする請求の範囲第 1項記載の長尺円筒加工物の円筒部内面の研磨方法。

4. 長尺円筒加工物の円筒部内面を、電解液による溶出作用と円筒内に挿入する工具電極に装備した砥石による擦過作用とを複合させて研磨する電解複合研磨装置であって、長尺円筒加工物をその円筒部軸心カ<縦方向に向くように設置するヮ ―ク保持装置と、縦方向に下向きに支持され前記長尺円筒加工物の円筒内に挿入される回転軸と、その回転軸の先端に取り付けられた工具電極と、前記回転軸及び Z又はワーク保持装置を軸方向に移動させる移動装置を備えることを特徴とする長尺円筒加工物の円筒部内面の研磨装置。

5. 長尺円筒加工物の円筒部内面を、電解液による溶出作用と円筒内に挿入する工具電極に装備した砥石による擦過作用とを複合させて研磨する電解複合研磨装置であって、長尺円筒加工物をその円筒部軸心力縦方向に向くように設置するヮーク保持装置と、前記長尺円筒加工物の円筒内に挿入される回転軸と、縦方向に下向きに支持されて前記回転軸を回転自在に支持し、力つ前記回転軸とともに長尺円筒加工物の円筒内に挿入される同軸の外周管と、前記回転軸の先端に取り付けられた工具電極と、前記回転軸及び Z又はワーク保持装置を軸方向に移動させる移動装置を備えることを特徴とする長尺円筒加工物の円筒部内面の研磨装置。

6 . 上記外周管の周囲にプラスチック管が螺旋状に巻き回され、該プラスチック管はその内部を加圧できるようになつていることを特徴とする請求の範囲第 5項に記載された長尺円筒加工物の円筒部内面の研磨装置。

7 . 長尺円筒加工物の円筒部の上下位置に、該円筒部の仕上がり内径とほぼ同じ内径をもち自由回転するフリーリングを配設したことを特徴とする請求の範囲第 4項から第 6項のいずれかに記載された長尺円筒加工物の円筒部内面の研磨装置 _c

8 . 長尺円筒加工物の円筒部の上下位置に、該円筒部の仕上がり内径とほぼ同じ内径をもち自由回転するプリ一リングを配設し、そのうち上側に配設したフリ一リングのさらに上側に、該フリ一リングの内径とほぼ同じ内径をもつ所定長さの規制スリ一ブを配設したことを特徴とする請求の範囲第 6項に記載された長尺円筒加工物の円筒部内面の研磨装置。

9 . 前記工具電極には中空部が設けられており、該中空部には押圧用チューブが配設され、その内部を加圧できるようにされていることを特徴とする請求の範囲第 4項から第 8項のいずれかに記載された長尺円筒加工物の円筒部内面の研磨装

1 0. 円筒部の長さがその直径の 1 0倍以上あり、電解複合研磨により円筒部内面の真円度を 1 以下、表面粗さ Rm a xを l / m以下に仕上げ研磨された長尺円筒加工物。