WO1999030410A1 - Microactionneurs electrostatiques, microcatheters tridimensionnels actifs exploitant ceux-ci et procede de fabrication - Google Patents

Microactionneurs electrostatiques, microcatheters tridimensionnels actifs exploitant ceux-ci et procede de fabrication Download PDF

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WO1999030410A1
WO1999030410A1 PCT/FR1998/002613 FR9802613W WO9930410A1 WO 1999030410 A1 WO1999030410 A1 WO 1999030410A1 FR 9802613 W FR9802613 W FR 9802613W WO 9930410 A1 WO9930410 A1 WO 9930410A1
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sda
sheet
microactuator according
rotor
microactuator
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Patrice Minotti
Gilles Bourbon
Philippe Langlet
Takahisa Masuzawa
Hiroyuki Fujita
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Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
Original Assignee
Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
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    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61M—DEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROM THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR
    • A61M25/00—Catheters; Hollow probes
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N1/00—Electrostatic generators or motors using a solid moving electrostatic charge carrier
    • H02N1/002—Electrostatic motors
    • H02N1/006—Electrostatic motors of the gap-closing type
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B17/00—Surgical instruments, devices or methods
    • A61B17/00234—Surgical instruments, devices or methods for minimally invasive surgery
    • A61B2017/00345—Micromachines, nanomachines, microsystems

Definitions

  • the present invention relates to the field of electromechanical microactuators, that is to say the field of microsystems adapted to provide a controlled mechanical force in response to an electrical excitation.
  • the present invention relates to the field of electrostatic microactuators called “Scratch Drive Actuators” or “SDA”.
  • actuators which have been offered for a few years, are particularly intended for the direct drive of micromachines of micrometric dimensions. They have the particularity of associating a mechanical energy transfer mechanism by friction with the conventional implementation of a field of electrostatic forces.
  • an SDA comprises a plate or beam 10, for example made of polysilicon, provided at one end with a projecting wall or pad 12, directed towards a substrate 20, for example made of silicon, coated with an insulating layer 22, for example in SÎ3N 4 .
  • a generator 30 is suitable for applying voltage pulses between the plate 10 and the substrate 20.
  • the plate 10 is attracted towards the substrate 20 by force electrostatic generated between them.
  • the support of the wall 12 on the layer 22 imposes a static bending of the plate 10, which in turn causes an offset of the wall 12.
  • the plate 10 tends to resume its rest geometry, thanks to the elastic energy stored in plate 10, and is then offset by a amplitude dx compared to its previous position, due to the support defined between the low wall 12 and the layer 22.
  • the electrostatic forces produced at the plate 10 / substrate 20 interface are all the more intense, for a given excitation voltage originating from the generator 30, the lower the height of the wall 12 located under the plate 10.
  • the height of the wall 12 typically of the order of a micrometer, also introduces a high speed reduction in the energy conversion mechanism at the plate 10 / substrate 20 interface.
  • the reduction in intrinsic speed at very low mechanical deformations involved in the energy conversion by friction contributes to a dual multiplication of the driving forces generated during the displacement of the plate. SDA thus have the particularity of developing significant useful forces at low speed, in the absence of any reduction in auxiliary speed.
  • the length of the displacement step depends on the height of the wall 12, the stiffness of the plate 10 and the applied control voltage.
  • the displacement pitch is typically of the order of 25 nanometers for a plate 10 having a width of the order of 50 micrometers, a thickness of the order of 1 micrometer and a length of the order of 60 micrometers. The repetition of such cycles makes it possible to accumulate displacement steps and consequently allows a significant relative displacement between the plate 10 and the substrate 20.
  • the present invention now aims to propose new means for industrially implementing SDA. Going against current attempts tending to increase the size of an SDA to obtain an acceptable output force, in the context of the present invention it is proposed to keep SDA of reduced size, but to multiply these and to associate in adequate conditions to allow an addition of the forces generated by each of these SDA, namely by using means adapted to, on the one hand apply on said SDA an external mechanical prestress suitable for allowing a superposition of the forces generated by the different SDA, and on the other hand, to communicate to an external load the whole of the driving force resulting from the collective behavior of these same SDA.
  • This mechanical prestressing of the SDA is advantageously obtained using a bias voltage applied at rest to all of the SDA.
  • the sheet carrying the latter is placed in a mechanical clearance at the interface of two articulated solid bodies between them.
  • microactuators has already been exploited in the field of motorization of micromachines but, to the knowledge of the inventors, only through the development of conveyors of objects by friction in the horizontal plane, in order to take advantage of the gravity of the object moved.
  • the driving forces communicated to the movable element only depend on the mass of the displaced object, as well as on the coefficient of friction at the object / actuators interface (in accordance with Coulomb's laws on solid friction) .
  • the driving forces communicated to the moved object are indifferent as much as the number and the driving characteristics of the actuators participating in the motorization.
  • these same driving forces depend on the configuration of the machine (or conveyor), in space and in particular on the horizontality of the object's transfer plane.
  • the present invention differs from previous inventions because it does not use gravity (or any other solution such as the elastic deformation of a support spring ...), to calibrate a prestress in the process of transmission of mechanical power. It uses particularly intense electrostatic attraction forces taking into account the scale of the SDA, to calibrate an individual preload on each actuator involved in the community. This prestress is intrinsic to each actuator insofar as it is indifferent to the parameters of the displaced load, unlike the devices of the prior art which systematically involve gravity.
  • prestressing in the context of the present invention, is moreover natural since the electrostatic attraction does not require the use of the elastic deformation of an auxiliary support spring. In practice, this is obtained using a bias voltage applied at rest to all of the SDA, as indicated above. Furthermore, the forces electrostatic depend only on the relative position of the SDA on its substrate and are indifferent to the situation of the substrate in three-dimensional space.
  • the proposed invention therefore guarantees, unlike the collective devices of the prior art, an effective superposition of the individual forces of each SDA, regardless of the spatial configuration of the colony considered.
  • the inventors have moreover found that the support trellis hitherto proposed, and capable of associating several SDAs, prove to be incapable of retaining their mechanical integrity during the transmission of significant external forces.
  • These known lattices are generally formed by an assembly of extremely fragile beams, having like the SDA, a thickness of the order of one micrometer (these being manufactured at the same time as the SDA, during the same process and with similar material).
  • the fragility of known trellises is therefore an intrinsic limitation to the transmission of significant forces.
  • the inventors propose to insert flexible sheets, for example made of polysilicon, comprising a large number of SDAs, in a mechanical clearance separating two articulated solid bodies l one over the other.
  • This technical solution makes it possible to make practically a very large number of SDAs cooperate, under conditions favorable to an effective superposition of the driving forces and so that the transmission of mechanical power, which results from the accumulation of the useful forces produced by the community, can not be passed on to the material structure connecting all the SDA.
  • the SDA sheets advantageously consist of a frame, in contact only with one of the solid bodies involved in the joint, for example the frame.
  • SDAs are only in exclusive contact with the other solid body involved in the joint, for example the motor shaft.
  • Such a configuration allows an accumulation of force proportional to the number of SDAs involved at the interface. It also and above all guarantees the integrity of the framework (because it is reinforced in contact with the frame), regardless of the external mechanical power transmission communicated to the mobile element (or motor shaft).
  • the invention thus contributes, in its entirety, to the physical and material (or mechanical) possibility of involving a very large number of SDA in the training of a single load, unlike the solutions known from the prior art .
  • a system according to the present invention thus integrates from a few tens to a few thousand SDAs.
  • the present invention provides specific means for shaping a sheet, for example made of polysilicon, comprising a large number of SDAs, by bending bars coming from this sheet.
  • the present invention also relates to a process for shaping a sheet comprising a large number of SDA, exploiting such means.
  • the system may also include means forming a force sensor, for example a torque sensor, comprising at least one beam integrated into the sheet forming the SDA and adapted to be deformed during actuation of the system, said beam being associated with means for analyzing its deformation.
  • a force sensor for example a torque sensor
  • FIGS. 1 A to 1 D previously described schematically illustrate the general structure and the operation of a conventional SDA
  • FIG. 2 schematically illustrates a process for automatically detaching an SDA sheet from its support substrate, in accordance with the present invention
  • FIG. 3 schematizes a process for winding an SDA sheet in accordance with the present invention, around a tubular drive shaft
  • FIG. 4 diagrams a mechanical architecture of an elementary SDA cell in accordance with the present invention
  • FIG. 5 shows schematically an SDA sheet according to the present invention, positioned at an interface between a rotor and a frame
  • - Figures 6, 7 and 8 respectively represent an annular motor according to the present invention, a view partial in cross section thereof, associated with its electrical control means and a diagram of a torque sensor integrated into this annular motor
  • FIG. 9 represents a schematic perspective view of a catheter according to the present invention, implementing a plurality of SDA actuators of the aforementioned type,
  • FIG. 10 represents a view in longitudinal section of the same catheter
  • FIG. 11 represents a basic module of such a catheter
  • FIG. 12 illustrates the deformation of such a module under the effect of an actuator based on a shape memory material
  • FIG. 13 shows schematically the use of such a catheter according to the present invention in a blood vessel.
  • an example of a method for manufacturing an SDA sheet in accordance with the present invention will be described below.
  • the nominal dimensions of an SDA are typically of the order of a few tens of micrometers per side. Within the framework of the present invention, it is thus possible to provide hundreds, or even thousands of SDA juxtaposed on a surface of the order of mm 2 .
  • the SDA are produced by chemical machining of thin sheets of doped polysilicon. Their configuration can be the subject of numerous variant embodiments. The same applies to the conditions for connecting the SDA to the frame of the leaf, of the discretization of the leaf in elementary cells (number of SDA per unit of surface) and of the surface of the leaf. As indicated above in the context of the present invention, to allow an addition of the elementary forces generated by each SDA, these are subjected to an external mechanical prestress, preferably in the form of a bias voltage at rest , which imposes a permanent controlled flexion on the plate 10 of each SDA. As indicated above, in the context of the present invention, means are also provided which are adapted to ensure that all of the driving force resulting from the collective behavior of the SDA is communicated to the external load.
  • the SDA sheet is preferably placed in the mechanical clearance between two solid bodies hinged together.
  • the SDA sheet can thus be placed between the substrate on which said SDA sheet has been produced, and an attached solid body.
  • the SDA sheet is preferably separated first of all from its support substrate, then inserted into the aforementioned mechanical clearance existing between two solid bodies hinged together.
  • the polysilicon sheets comprising an SDA colony exhibit great flexibility as soon as they are detached from the silicon substrate on which they have been chemically machined. We can therefore provide different solutions for transferring these sheets to their site of use.
  • the detachment of the sheet comprising the SDA, relative to its support substrate is carried out by means of bending bars distributed at the periphery of the sheet.
  • FIG. 2 a sheet 100 of polysilicon comprising a large number of elementary SDAs 110.
  • This sheet 100 rests on the silicon substrate 150 on which said sheet 100 has been machined.
  • This sheet 100 comprises two parallel bending bars 120 respectively disposed along two opposite edges of the sheet 100.
  • the bending bars 120 are separated along their length from the mass of the sheet 100 by longitudinal cutouts 122 formed between said sheets bars 120 and the central body of the sheet 100.
  • the bending bars 120 are thus machined from the mass of the sheet 100.
  • the bending bars 120 remain integral, by one of their ends, with this central body from sheet 100.
  • the sheet 100 advances in the direction illustrated by the arrow referenced D on FIG. 2.
  • a voltage can be applied between the plates 10 of the SDA 110 concerned and an electrode buried in the substrate 150.
  • this bending of the bars 120 causes the sheet 100 to come off with respect to the substrate 150.
  • Maintaining the bars 120 with respect to the substrate 150 can be obtained by numerous means. Preferably in the context of the present invention this maintenance is obtained itself thanks to electrostatic forces.
  • specific electrodes 160 are provided on the substrate 150, opposite the bars 120. The application of an excitation voltage between these electrodes 160 and the bars 120 , using a generator 132, thus enables the bars 120 to be pressed against the electrodes 160.
  • each of these electrodes 160 can be selectively supplied by the generator 132, by means of a set of respective switches 134.
  • the selective closure of a chosen one or of several switches 134 makes it possible to select the electrode (s) 160 powered and therefore to control the area of the bars 120 maintained on the substrate 150.
  • the inventors have shown that with this technique radii of curvature of a few tens of microns can be obtained on polysilicon sheets 100.
  • the sheet 100 comprising the SDA 110 can thus be transferred to any desired site of use.
  • FIG. 3 Illustrated in Figure 3 the transfer of a sheet 100 on a motor shaft 200.
  • This shaft 200 can itself be the subject of many embodiments. According to the particular and nonlimiting embodiment illustrated in FIG. 3, it is a tubular shaft whose outer envelope is cylindrical of revolution.
  • the latter is deposited on the substrate 150 at the level of the detached end of the sheet 100.
  • the shaft 200 is moved under the sheet 100 as and measurement of the detachment thereof, as illustrated by the arrow illustrated F in FIG. 3.
  • the shaft 200 is driven in a rotational movement around its axis (as shown schematically by the arrow R in FIG. 3 ) so that the shaft 200 comes to support the sheet 100 as it detaches, without relative displacement between the surface of the shaft 200 and the sheet 100.
  • the sheet is gradually transferred, without risk of damage, on tree 200.
  • the winding of the sheet 100 on the shaft 200 is facilitated if an electrostatic attraction is simultaneously used towards the motor shaft 200 itself.
  • the polysilicon sheet 100 can be subjected to a potential of the order of 100 to 200 V peak, while the motor shaft is grounded (or vice versa).
  • an electrically insulating layer must be provided between the sheet 100 and the shaft 200.
  • the shaft 200 can be made for example from an electrically conductive material oxidized on the surface.
  • the present invention is in no way limited to the production of a tubular motor as described with reference to FIG. 3. It can find application in a large number of configurations, such as for example in linear motors.
  • the sheet 100 comprising the SDA 110 at the interface between the rotor 200 and an associated external frame can be carried out in various ways.
  • the sheet 100 is subjected to a potential of the order of 100V while the rotor 200 is grounded.
  • the sheet 100 is therefore integral with the drive shaft 200, which gives it the rigidity necessary to subsequently resist the forces of insertion of the drive shaft into the frame.
  • each plate 10 forming an SDA is resiliently supported in a frame 14 formed in the sheet 100.
  • each plate 10 forming an SDA is supported by a frame
  • suspension bars 16 formed in the sheet 100 by means of two parallel suspension bars 16. These connect a respective longitudinal edge of the plate 10 opposite the wall 12, and the frame 14. The suspension bars extend perpendicular to the wall direction 12.
  • the engine frame which surrounds the rotor 200 is referenced 210.
  • an electrically insulating layer must be provided between the electrically conductive frame 210 and the frames 14. This insulating layer can be obtained by oxidation of the internal surface of the frame 210.
  • the sheet 100 acts as a stator.
  • suspension bars 16 are preferably adapted to allow a significant radial displacement of the SDA with respect to the frame 14 and thus make it possible to compensate for the uncertainty relating to the inevitable mechanical play at the interface between the rotor 200 and the frame 210.
  • the normalized mechanical manufacturing tolerances of macroscopic devices guarantee at best a mechanical play with an uncertainty of the order of ten microns for a torque of 1mm in diameter, an uncertainty far greater than twice the thickness of the SDA 100 sheet.
  • the suspension bars 16 thus allow radial accommodation of the sheet 100 in the frame 210, so that the frames 14 are locked against the frame 210, while the SDA are in contact with the rotor 200.
  • the sheets of SDA 100 can be inserted naturally into surface mechanical connections having a working clearance.
  • the sheets 100 of SDA occupy zero volume from the point of view of effective congestion.
  • the present invention therefore makes it possible to make motors with a volume / power factor, much higher than any existing system.
  • the SDA sheets 100 in accordance with the present invention can be integrated into mechanical architectures of a traditional articulation, without additional bulk, and thus give rise to the infrastructure of an engine. Mechanical connections then produce mechanical energy, whereas they have traditionally dissipated it from time immemorial due to dry friction at the interface of solid bodies.
  • the motor is of annular type, that is to say that it comprises a flat sheet 100 comprising a large number of SDA 110, in the form of a disc transverse to axis of rotation 0.
  • the sheet 100 which constitutes a rotor comprises a large number of SDAs 110 arranged radially from a central hub 102.
  • the rotor 100 can thus include 36 SDA equally distributed around the axis of rotation O.
  • the low walls 12 of each of the plates 10 in the form of a crown sector extend along a longitudinal edge of these plates, along a radius erected from the axis of rotation O, and preferably over only part of the radial extension of these crown sectors, as can be seen in particular in FIGS. 6 and 7.
  • the rotation of the rotor around the axis O is obtained by a series of deformation of the plates 10, in accordance with the principle previously described with reference to Figures 1, by means of pulses applied by a generator 130 between the plates 10 and an electrode 154 integrated into the support 150 forming a stator on which the rotor is disposed.
  • the motor illustrated in FIGS. 6 to 8 comprises a torque sensor 180. This is arranged in the center of the sheet 100.
  • This sensor 180 comprises at least one curved beam 182, centered around the axis of rotation O, one end 181 of which is integral with the sheet 100, while the other end 183 of the beam 182 is free relative to said sheet 100.
  • the senor 180 comprises three beams 182 distributed equally around the axis of rotation O of the rotor.
  • the beams 182 extend in the direction of rotation from the end 181 linked to the sheet 100.
  • the beams 182 are subjected to a force which causes their bending, as shown diagrammatically in FIG. 8. And the amplitude of this bending depends directly from the engine torque generated by the SDA. Thus the measurement of the amplitude of the deformation of the beams 182 makes it possible to directly measure the engine torque of the SDA.
  • the beams 182 can thus be pressed against the support 150 by electrostatic forces resulting from the application of an adequate voltage applied by a generator 136 between each beam 182 and electrodes 152 formed on the support 150 opposite the path of movement of the beams 182.
  • FIG. 6 there has been illustrated under the reference 154 an annular electrode formed on the support 150, opposite the path of movement of the walls 12.
  • This electrode 154 serves as a drive electrode and allows the application of a voltage excitation between this electrode 154 and the plates 10 of the SDA, using the generator 130.
  • the structure illustrated in FIG. 6 allows the production of motors having for example a diameter of the order of 500 micrometers and a total height of a few micrometers.
  • An n-type silicon wafer at 20 ⁇ cm is prepared by cleaning in a buffered fluoridric acid solution. After rinsing with water and drying under N 2 , the pellet is thermally oxidized at 1100 ° C under O 2 . A layer of silicon oxide with a thickness of about 0.35 microns is thus formed on the surface of the pellet. A layer of polysilicon with a thickness of the order of 0.5 micrometer in thickness is then deposited at 600 ° C. by LPCVD (low pressure vapor deposition). In order to reduce the resistivity of the polysilicon, phosphorus is implanted according to a dosage of 5 x 10 15 cm "2 under an acceleration voltage of the order of 50 keV.
  • the layer of polysilicon is etched by SF ⁇ plasma so as to obtain a screen.
  • a layer of silicon oxide with a thickness of the order of 2 micrometers thick is deposited as a sacrificial material at 600 ° C. by LPCVD.
  • wall molds are shaped by reactive ion etching (RIE) with a CHF 3 + O 2 plasma.
  • RIE reactive ion etching
  • the depth of the wall molds previously made determines the height of the walls that will be formed.
  • a wall depth of the order of 1.5 micrometers can be obtained.
  • a layer of the order of 0.5 microns is preserved between the nitride layer and the walls.
  • a third lithography intended for making contacts is then implemented.
  • the silicon oxide LPCVD and the silicon nitride are removed by RIE under plasma CHF 3 + O 2 , so that a layer of polysilicon subsequently deposited can locally contact the buried screen layer.
  • a layer of polysilicon with a thickness of the order of 1.0 micormeter intended to be then shaped as the main component is then deposited on the surface of the pellet at 600 ° C. by LPCVD.
  • the thickness of SDA is determined by the thickness of polysilicon.
  • the structural polysilicon layer is doped by phosphorus implantation (5 x 10 15 cm '2 under an acceleration voltage of the order of 150keV) and is then shaped by RIE under SF ⁇ + SiCU plasma during a fourth step of lithography.
  • the pellet In order to relax the residual stresses in the polysilicon, the pellet is heated in a neutral N 2 atmosphere at 1100 ° C for 60 minutes, after depositing a thin layer of silicon oxide by LPCVD. This silicon oxide layer serves to protect the polysilicon surface from nitrogen. Simultaneously a diffusion and an activation of phosphorus in the polysilicon are carried out.
  • the pellet is immersed in a bath of 50% HF in order to completely dissolve the sacrificial silicon oxide. Then the pellet is rinsed in a suitable solution (for example water + isopropyl alcohol) and dried under a neutral atmosphere (for example nitrogen).
  • a suitable solution for example water + isopropyl alcohol
  • a neutral atmosphere for example nitrogen.
  • an active catheter 300 of very small diameter (typically of the order of 1 mm), which comprises in a flexible envelope tube 310, a series of modules 320 juxtaposed over the length of the tube 310.
  • Tube 310 can be formed, for example, from polymeric material.
  • Each module 320 comprises a tubular electrostatic motor 340, an elastic rotor 350 and a shape memory actuator 360.
  • the electrostatic motor 340 may be generally in accordance with the provisions described above with reference to FIG. 5.
  • the motor 340 preferably comprises a sheet 100 of SDA placed in the mechanical clearance between the rotor 350 (which corresponds to the element 200 of the Figure 5) and a tubular frame 210.
  • the tubular frame 210 is provided with longitudinal grooves 212 on its outer periphery, to allow the passage of insulated electrical supply wires 214, necessary for supplying the modules 320 located downstream.
  • the rotor 350 can be the subject of numerous embodiments. According to the nonlimiting embodiment shown in FIGS. 9 to 13, the rotor 350 comprises two tubular sections 352, 356 of end connected together by a longitudinal connecting arm 354. The two tubular sections 352 and 356 have identical diameters .
  • the link arm 354 is preferably formed by machining a tube defining at its ends said sections 352 and 356. Thus the link arm 354 is preferably constituted by a straight longitudinal bar at rest, in the form of a cylinder sector.
  • the section 352 of the rotor has a length substantially identical to the length of the frame 210, and said section 352 is introduced into this frame 210, so that the link arm 354 and the second section 356 emerge outside of the frame 210.
  • the rotor 350 at least at the section 352 must be made of electrically conductive material, to allow the application of electrostatic forces on the sheet of SDA 100. However the external surface of the section 352 must be electrically insulating, for example by oxidation. As indicated above, the rotor 350 must be flexible enough to accept bending under the effect of the control of the shape memory actuator 360. If necessary as seen in FIG. 11, the link arm 354 can be provided with a series of transverse notches 355 distributed over its length, between the two sections 352 and 356, and opening onto its two longitudinal edges, or by any equivalent means, to obtain adequate flexibility.
  • the shape memory actuator 360 can also be the subject of numerous embodiments. According to the preferred embodiment illustrated in the appended figures, the actuator 360 is formed of a bar
  • the bar 362 can be formed for example from NiTi.
  • One end of the bar .362 is fixed to one of the sections of the rotor, while the other end of the bar 362 is preferably adapted to the other section of the rotor, with freedom of longitudinal movement relative to that here, to allow bending of the bar 362 and the rotor 350.
  • the end 364 of the bar 362 can thus be fixed to the tubular section 356 by a transverse pin 363.
  • the other end 366 of the bar 362 is engaged, in the central channel of a spherical ball joint 367 positioned in the section 352.
  • the bar 362 made of shape memory material can be replaced by any equivalent structure, for example a wire or a helical spring.
  • the end section 356 of the rotor of a given module 320 is preferably connected to the frame 210 of the downstream module, both in translation and in rotation, by any appropriate means shown diagrammatically under the reference 380 in the appended figures.
  • the functioning of this microcatheter is essentially the following.
  • the shape memory actuator 360 makes it possible to control the bending of the motor shaft 350 with which it is associated, according to a deformation plane previously defined by the geometric parameters of the elastic rotor.
  • the tubular motor 340 is itself adapted to control the bending plane of the shape memory actuator 360.
  • This system is shown diagrammatically in FIG. 13 in a blood vessel 400.
  • the global device obtained using the series association of several elementary modules 320 each combining an SDA 340 actuator and a 360 shape memory actuator, makes it possible to master a large number of two or three-dimensional configurations (plane curvatures with points multiple inflections, helical, ...), despite an extremely simple connection.
  • modules 320 in accordance with the present invention combining an SDA actuator 340 and a shape memory actuator 360 can find numerous applications outside the aforementioned microcatheter.
  • the present invention is not limited to the embodiments which have just been described, but extends to all variants in accordance with its spirit.

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Abstract

La présente invention concerne un microactionneur électrostatique à base de SDA (Scratch Drive Actuators), caractérisé par le fait qu'il comprend un grand nombre de SDA (110) associés et des moyens adaptés pour, d'une part, appliquer sur ceux-ci une précontrainte mécanique extérieure propre à permettre une superposition des forces générées par les différents SDA et, d'autre part, communiquer à une charge extérieure la totalité de la force motrice issue du comportement collectif de ces mêmes SDA.

Description

MICROACTIONNEURS ELECTROSTATIQUES, MICROCATHETERS TRIDIMENSIONNELS ACTIFS EXPLOITANT CEUX-CI ET PROCEDE DE FABRICATION
La présente invention concerne le domaine des microactionneurs électromécaniques, c'est à dire le domaine des microsystèmes adaptés pour fournir un effort mécanique contrôlé en réponse à une excitation électrique.
Plus précisément encore la présente invention concerne le domaine des microactionneurs électrostatiques dénommés « Scratch Drive Actuators » ou « SDA ».
On trouvera un descriptif de ces actionneurs dans les documents [ 1], [ 2] et
[ 3].
Ces actionneurs proposés depuis quelques années, sont tout particulièrement destinés à l'entrainement direct des micromachines de dimensions micrométriques. Ils ont la particularité d'associer un mécanisme de transfert d'énergie mécanique par friction avec la mise en œuvre classique d'un champ de forces électrostatiques.
On se reportera utilement aux documents précités pour bien comprendre la structure générale et le fonctionnement de ces actionneurs. Ceux-ci sont schématisés sur les figures 1 A à 1 D ci-jointes.
Pour l'essentiel, un SDA comprend une plaque ou poutre 10, par exemple en polysilicium, munie à une extrémité d'un muret ou coussinet 12 en saillie, dirigé vers un substrat 20, par exemple en Silicium, revêtu d'une couche isolante 22, par exemple en SÎ3N4. Un générateur 30 est adapté pour appliquer des impulsions de tension entre la plaque 10 et le substrat 20. Comme on le voit sur la figure 1 B, sur un front montant d'impulsion, la plaque 10 est attirée vers le substrat 20 par la force électrostatique générée entre ceux-ci. L'appui du muret 12 sur la couche 22 impose une flexion statique de la plaque 10, qui entraine à son tour un déport du muret 12. Sur le front descendant de l'impulsion, comme on le voit sur la figure 1 C, la plaque 10 tend à reprendre sa géométrie de repos, grâce à l'énergie élastique emmagazinée dans la plaque 10, et se trouve alors décalée d'une amplitude dx par rapport à sa position antérieure, en raison de l'appui défini entre le muret 12 et la couche 22.
Ainsi ces systèmes permettent de convertir des oscillations mécaniques de très faible amplitude ayant pour origine la flexion statique de la plaque mince 10, en un mouvement de corps rigide de cette même plaque.
Les forces électrostatiques produites à l'interface plaque 10/substrat 20 sont d'autant plus intenses, pour une tension d'excitation donnée issue du générateur 30, que la hauteur du muret 12 située sous la plaque en flexion 10 est faible. La hauteur du muret 12 typiquement de l'ordre de un micromètre, introduit par ailleurs une forte démultiplication de vitesse dans le mécanisme de conversion d'énergie à l'interface plaque 10/substrat 20. La démultiplication de vitesse intrinsèque aux très faibles déformations mécaniques mises en jeu dans la conversion d'énergie par friction, concourt à une multiplication duale des forces motrices générées au cours du déplacement de la plaque. Les SDA ont ainsi la particularité de développer des forces utiles importantes à basse vitesse, en l'absence d'une quelconque réduction de vitesse auxiliaire.
La longueur du pas de déplacement dépend de la hauteur du muret 12, de la raideur de la plaque 10 et de la tension de commande appliquée. Le pas de déplacement est typiquement de l'ordre de 25 nanomètres pour une plaque 10 présentant une largeur de l'ordre de 50 micromètres, une épaisseur de l'ordre de 1 micromètre et une longueur de l'ordre de 60 micromètres. La répétition de tels cycles permet d'accumuler des pas de déplacement et par conséquent permet un déplacement relatif important entre la plaque 10 et le substrat 20.
Cependant bien que se montrant très prometteurs, à la connaissance des inventeurs, les SDA sont jusqu'ici restés à l'échelle du laboratoire et n'ont pas connu de développement industriel. Cela semble du en particulier au fait que l'effort généré par les SDA connus reste limité même si celui-ci est important à l'échelle micrométrique. Cet effort, typiquement de l'ordre de 50 à 100 micro-newton pour un SDA alimenté à une tension crête d'excitation de l'ordre de 100V, ne peut satisfaire qu'un nombre limité d'applications exclusivement réservées à l'échelle des micromachines.
Et les tentatives d'accroître notablement cet effort en augmentant la taille des SDA n'ont pas été couronnées de succès jusqu'ici. En effet d'une part les forces électrostatiques mises en jeu dans l'actionnement décroissent très rapidement avec l'augmentation des dimensions des SDA. D'autre part les procédés d'élaboration mis en jeu dans la fabrication des SDA interdisent l'élaboration de dispositifs ayant une épaisseur supérieure à quelques microns, ce qui constitue une limitation intrinsèque à l'augmentation des autres dimensions du SDA.
La présente invention a maintenant pour but de proposer de nouveaux moyens permettant de mettre en œuvre industriellement des SDA. Allant à rencontre des tentatives actuelles tendant à augmenter la taille d'un SDA pour obtenir un effort de sortie acceptable, dans le cadre de la présente invention il est proposé de conserver des SDA de taille réduite, mais de multiplier ceux-ci et de les associer dans des conditions adéquates pour permettre une addition des forces générées par chacun de ces SDA, à savoir en utilisant des moyens adaptés pour, d'une part appliquer sur lesdits SDA une précontrainte mécanique extérieure propre à permettre une superposition des forces générées par les différents SDA, et d'autre part, communiquer à une charge extérieure la totalité de la force motrice issue du comportement collectif de ces mêmes SDA.
Cette précontrainte mécanique des SDA est avantageusement obtenue à l'aide d'une tension de polarisation appliquée au repos à l'ensemble des SDA.
Pour permettre de communiquer à une charge extérieure la totalité de la force motrice issue du comportement collectif des SDA, selon une caractéristique avantageuse de la présente invention, la feuille portant ces derniers est placée dans un jeu mécanique à l'interface de deux corps solides articulés entre eux.
Les inventeurs ont en effet démontré qu'une telle précontrainte, associée à des moyens garantissant la communication de la force motrice, à la charge extérieure, était indispensable pour permettre un cumul des efforts générés par les différents SDA.
La coopération de microactionneurs a déjà été exploitée dans le domaine de la motorisation de micromachines mais, à la connaissance des inventeurs, uniquement au travers du développement de convoyeurs d'objets par friction dans le plan horizontal, afin de profiter de la gravité de l'objet déplacé. Pour de tels dispositifs, les forces motrices communiquées à l'élément mobile ne dépendent que de la masse de l'objet déplacé, ainsi que du coefficient de friction à l'interface objet/actionneurs (conformément aux lois de Coulomb sur le frottement solide). Dans ce cas les forces motrices communiquées à l'objet déplacé sont indifférentes tant du nombre que des caractéristiques motrices des actionneurs participant à la motorisation. De plus, ces mêmes forces motrices dépendent de la configuration de la machine (ou convoyeur), dans l'espace et notamment de l'horizontalité du plan de transfert de l'objet. Il est clair, par conséquent, que la multiplication du nombre d'actionneurs participant à la motorisation d'une seule et même charge, ne conduit pas nécessairement à une multiplication homologue des forces utiles mises en jeu dans la motorisation. La présente invention se distingue des inventions précédentes parce qu'elle n'utilise pas la gravité (ou toute autre solution telle que la déformation élastique d'un ressort d'appui...), pour calibrer une précontrainte dans le processus de transmission de puissance mécanique. Elle utilise des forces d'attraction électrostatiques particulièrement intenses compte tenu de l'échelle des SDA, pour calibrer une précontrainte individualisée sur chaque actionneur impliqué dans la collectivité. Cette précontrainte est intrinsèque à chaque actionneur dans la mesure où elle est indifférente aux paramètres de la charge déplacée, contrairement aux dispositifs de l'art antérieur qui mettent en jeu la gravité de manière systématique. L'application de la précontrainte, dans le cadre de la présente invention, est par ailleurs naturelle car l'attraction électrostatique ne nécessite pas le recours à la déformation élastique d'un ressort d'appui auxiliaire. Pratiquement, celle-ci est obtenue à l'aide d'une tension de polarisation appliquée au repos à l'ensemble des SDA, comme indiqué précédemment. Par ailleurs, les forces électrostatiques ne dépendent que de la position relative du SDA sur son substrat et sont indifférentes de la situation du substrat dans l'espace tridimensionnel.
L'invention proposée garantit par conséquent, contrairement aux dispositifs collectifs de l'art antérieur, une superposition effective des forces individuelles de chaque SDA, quelle que soit par ailleurs la configuration spatiale de la colonie considérée.
Les inventeurs ont par ailleurs constaté que les treillis support jusqu'ici proposés, et susceptibles d'associer plusieurs SDA, s'avèrent incapables de conserver leur intégrité mécanique lors de la transmission de forces extérieures importantes. Ces treillis connus sont formés généralement d'un assemblage de poutres extrêmement fragiles, ayant comme les SDA, une épaisseur de l'ordre de un micromètre (celles-ci étant fabriquées au même moment que les SDA, au cours d'un même processus et avec un matériau similaire). La fragilité des treillis connus est donc une limitation intrinsèque à la transmission d'efforts importants.
Ainsi selon une autre caractéristique avantageuse de la présente invention, allant à rencontre des tentatives actuelles, les inventeurs proposent d'insérer des feuilles flexibles, par exemple en polysilicium, comportant un grand nombre de SDA, dans un jeu mécanique séparant deux corps solides articulés l'un par rapport à l'autre. Cette solution technique permet en effet de faire coopérer pratiquement un très grand nombre de SDA, dans des conditions propices à une superposition effective des forces motrices et de telle sorte que la transmission de puissance mécanique, qui résulte de l'accumulation des forces utiles produites par la collectivité, ne puisse être répercutée sur la structure matérielle raccordant l'ensemble des SDA. A cette fin dans le cadre de la présente invention, les feuilles de SDA sont avantageusement constituées d'un cadre, en contact uniquement avec l'un des corps solides impliqués dans l'articulation, par exemple le bâti. Les SDA ne sont quant à eux qu'au contact exclusif de l'autre corps solide impliqué dans l'articulation, par exemple l'arbre moteur. Une telle configuration autorise une accumulation de force proportionnelle au nombre de SDA impliqués à l'interface. Elle garantit aussi et surtout l'intégrité du cadre (parce que celui-ci est renforcé au contact du bâti), quelle que soit la transmission de puissance mécanique extérieure communiquée à l'élément mobile (ou arbre moteur).
L'invention concourt ainsi, dans sa globalité, à la possibilité physique et matérielle (ou mécanique) d'impliquer un très grand nombre de SDA dans l'entraînement d'une seule et même charge, contrairement aux solutions connues de l'art antérieur.
Typiquement un système conforme à la présente invention intègre ainsi de quelques dizaines à quelques milliers de SDA. Par ailleurs la présente invention propose des moyens spécifiques de mise en forme d'une feuille, par exemple en polysilicium, comportant un grand nombre de SDA, par flexion de barres venues de cette feuille. La présente invention concerne également un procédé de mise en forme d'une feuille comportant un grand nombre de SDA, exploitant de tels moyens.
Selon une autre caractéristique avantageuse de la présente invention, le système peut également comprendre des moyens formant capteur de force, par exemple capteur de couple, comportant au moins une poutre intégrée à la feuille formant les SDA et adaptée pour être déformée lors de l'actionnement du système, ladite poutre étant associée à des moyens d'analyse de sa déformation.
D'autres caractéristiques, buts et avantages de la présente invention apparaîtront à la lecture de la description détaillée qui va suivre et en regard des dessins annexés, donnés à titre d'exemples non limitatifs et sur lesquels :
- les figures 1 A à 1 D précédemment décrites illustrent schématiquement la structure générale et le fonctionnement d'un SDA classique,
- la figure 2 illustre schématiquement un processus de décollement automatique d'une feuille de SDA par rapport à son substrat support, conforme à la présente invention,
- la figure 3 schématise un processus d'enroulement d'une feuille de SDA conforme à la présente invention, autour d'un arbre moteur tubulaire, - la figure 4 schématise une architecture mécanique d'une cellule élémentaire de SDA conforme à la présente invention,
- la figure 5 schématise une feuille de SDA conforme à la présente invention, positionnée au niveau d'une interface entre un rotor et un bâti, - les figures 6, 7 et 8 représentent respectivement un moteur annulaire conforme à la présente invention, une vue partielle en coupe transversale de celui-ci, associé à ses moyens de commande électrique et une schématisation d'un capteur de couple intégré à ce moteur annulaire,
- la figure 9 représente une vue schématique en perspective d'un cathéter conforme à la présente invention, mettant en œuvre une pluralité d'actionneurs SDA du type précité,
- la figure 10 représente une vue en coupe longitudinale du même cathéter,
- la figure 11 représente un module de base d'un tel cathéter,
- la figure 12 illustre la déformation d'un tel module sous l'effet d'un actionneur à base d'un matériau à mémoire de forme, et
- la figure 13 schématise l'utilisation d'un tel cathéter conforme à la présente invention dans un vaisseau sanguin.
La structure générale connue des SDA ne sera pas décrite dans le détail par la suite. II en est de même de la technologie de fabrication de ceux-ci. Cette technologie dérivée de la technologie de fabrication des circuits intégrés est en effet connue de l'homme de l'art.
Cependant on décrira par la suite un exemple de procédé de fabrication d'une feuille de SDA conforme à la présente invention. Les dimensions nominales d'un SDA sont typiquement de l'ordre de quelques dizaines de micromètres de côté. Dans le cadre de la présente invention on peut ainsi prévoir des centaines, voire des milliers de SDA juxtaposés sur une surface de l'ordre du mm2.
De préférence dans le cadre de la présente invention, les SDA sont réalisés par usinage chimique de feuilles minces en polysilicium dopé. Leur configuration peut faire l'objet de nombreuses variantes de réalisation. Il en est de même des conditions de raccordement des SDA à la trame de la feuille, de la discrétisation de la feuille en cellules élémentaires (nombre de SDA par unité de surface) et de la surface de la feuille. Comme on l'a indiqué précédemment dans le cadre de la présente invention, pour permettre une addition des efforts élémentaires générés par chaque SDA, ceux-ci sont soumis à une précontrainte mécanique extérieure, de préférence sous forme d'une tension de polarisation au repos, qui impose une flexion contrôlée permanente à la plaque 10 de chaque SDA. Comme on l'a indiqué précédemment, dans le cadre de la présente invention, il est prévu en outre des moyens adaptés pour assurer que la totalité de la force motrice issue du comportement collectif des SDA soit communiquée à la charge extérieure.
Pour ce faire la feuille de SDA est de préférence placée dans le jeu mécanique entre deux corps solides articulées entre eux. La feuille de SDA peut ainsi être placée entre le substrat sur lequel ladite feuille de SDA a été réalisée, et un corps solide rapporté. Cependant dans le cadre de la présente invention, la feuille de SDA est de préférence séparée tout d'abord de son substrat support, puis insérée dans le jeu mécanique précité existant entre deux corps solides articulés entre eux.
Les feuilles en polysilicium comportant une colonie de SDA, conformes à la présente invention, présentent une grande flexibilité dès qu'elles sont décollées du substrat de silicium sur lequel elles ont été chimiquement usinées. Ont peut donc prévoir différentes solutions pour transférer ces feuilles sur leur site d'utilisation.
Selon une mise en œuvre particulièrement avantageuse de la présente invention, illustrée sur la figure 2, le décollement de la feuille comportant les SDA, par rapport à son substrat support, est opéré grâce à des barres de flexion réparties à la périphérie de la feuille.
Bien entendu en variante on peut prévoir de telles barres de flexion en un autre lieu de la feuille, par exemple dans la masse de celle-ci, et non pas seulement à sa périphérie. On aperçoit ainsi sur la figure 2 une feuille 100 de polysilicium comportant un grand nombre de SDA élémentaires 110. Cette feuille 100 repose sur le substrat en silicium 150 sur lequel ladite feuille 100 a été usinée. Cette feuille 100 comporte deux barres de flexion 120 parallèles disposées respectivement le long de deux bords opposés de la feuille 100. Les barres de flexion 120 sont séparées sur leur longueur, de la masse de la feuille 100 grâce à des découpes longitudinales 122 formées entre lesdites barres 120 et le corps central de la feuille 100. Les barres de flexion 120 sont ainsi usinées à partir de la masse de la feuille 100. Cependant les barres de flexion 120 restent solidaires, par l'une de leurs extrémités, de ce corps central de la feuille 100.
Lorsque les premiers rangs de SDA, transversaux aux bords latéraux précités et aux barres de flexion 120 ainsi que opposés aux zones de raccordement desdites barres 120 sur la feuille 100, sont activés, la feuille 100 avance dans le sens illustré par la flèche référencée D sur la figure 2. Pour cela une tension peut être appliquée entre les plaques 10 des SDA 110 concernés et une électrode enterrée dans le substrat 150. Ainsi si les barres de flexion 120 sont par contre maintenues en position par rapport au substrat 150 au moins sur une partie de leur longueur, le déplacement de la feuille 100 entraine une flexion des barres 120 dans une direction orthogonale au plan du substrat 150.
Et comme on le voit sur la figure 2, cette flexion des barres 120 provoque le décollement de la feuille 100 par rapport au substrat 150. Le maintien des barres 120 par rapport au substrat 150 peut être obtenu par de nombreux moyens. De préférence dans le cadre de la présente invention ce maintien est obtenu lui même grâce à des forces électrostatiques. Pour cela de préférence, comme on le voit sur la figure 2, il est prévu des électrodes spécifiques 160 sur le substrat 150, en regard des barres 120. L'application d'une tension d'excitation entre ces électrodes 160 et les barres 120, à l'aide d'un générateur 132, permet ainsi de plaquer les barres 120 contre les électrodes 160.
Plus précisément encore, selon le mode de réalisation préférentiel illustré sur la figure 2 annexée, il est prévu plusieurs électrodes 160 discrètes réparties en regard des barres 120 . Et chacune de ces électrodes 160 peut être alimentée sélectivement par le générateur 132, par l'intermédiaire d'un jeu d'interrupteurs respectifs 134. Ainsi la fermeture sélective d'un choisi ou de plusieurs interrupteurs 134, permet de sélectionner la ou les électrodes 160 alimentée(s) et par conséquent de contrôler la zone des barres 120 maintenue sur le substrat 150.
Les inventeurs ont montré qu'avec cette technique des rayons de courbure de quelques dizaines de microns peuvent être obtenus sur des feuilles de polysilicium 100. La feuille 100 comportant les SDA 110 peut ainsi être reportée sur tout site d'utilisation souhaitée.
On a illustré sur la figure 3 le report d'une feuille 100 sur un arbre moteur 200. Cet arbre 200 peut lui même faire l'objet de nombreux modes de réalisation. Selon le mode de réalisation particulier et non limitatif illustré sur la figure 3, il s'agit d'un arbre tubulaire dont l'enveloppe extérieure est cylindrique de révolution.
Pour assurer le transfert de la feuille 100 sur l'arbre 200, celui-ci est déposé sur le substrat 150 au niveau de l'extrémité décollée de la feuille 100. Puis l'arbre 200 est déplacé sous la feuille 100 au fur et à mesure du décollement de celle-ci, comme illustré par la flèche illustrée F sur la figure 3. Simultanément de préférence l'arbre 200 est animé d'un mouvement de rotation autour de son axe (comme schématisé par la flèche R sur la figure 3) de sorte que l'arbre 200 vient soutenir la feuille 100 au fur et à mesure de son décollement, sans déplacement relatif entre la surface de l'arbre 200 et la feuille 100. Ainsi la feuille est progressivement transferrée, sans risque de dommage, sur l'arbre 200.
L'enroulement de la feuille 100 sur l'arbre 200 est facilité si l'on exploite simultanément une attraction électrostatique vers l'arbre moteur 200 lui même.
Pour cela la feuille de polysilicium 100 peut être soumise à un potentiel de l'ordre de 100 à 200 V crête, tandis que l'arbre moteur est mis à la masse (ou inversement). Bien entendu une couche électriquement isolante doit être prévue entre la feuille 100 et l'arbre 200. A cette fin l'arbre 200 peut être réalisé par exemple à partir d'un matériau électriquement conducteur oxydé en surface.
La présente invention n'est aucunement limitée à la réalisation d'un moteur tubulaire comme décrit en regard de la figure 3. Elle peut trouver application dans un grand nombre de configurations, telles que par exemple dans des moteurs linéaires.
Par ailleurs selon l'orientation donnée aux SDA, sur les lignes et les colonnes d'une même feuille, il est possible de réaliser des moteurs à plusieurs degrés de liberté.
Ainsi par exemple en exploitant deux séries de SDA possédant des orientations orthogonales, on peut réaliser des translateurs plans de type X- Y. On peut également réaliser des moteurs de type verrou associant un degré de liberté de rotation à un degré de liberté de translation. L'insertion de la feuille 100 comportant les SDA 110 à l'interface entre le rotor 200 et un bâti externe associé, peut être réalisée de diverses façons. De préférence dans une première phase, la feuille 100 est soumise à un potentiel de l'ordre de 100V tandis que le rotor 200 est mis à la masse. La feuille 100 est donc solidaire de l'arbre moteur 200, ce qui lui confère la rigidité nécessaire pour résister ultérieurement aux efforts d'insertion de l'arbre moteur dans le bâti.
L'insertion de l'arbre moteur dans son logement est ensuite opérée. Puis dans une phase ultérieure, la feuille 100 est bloquée par rapport au logement précité afin d'autoriser le mouvement relatif du rotor 200 par rapport au bâti. Pour satisfaire ce blocage le bâti du moteur est à son tour mis à la masse dans le but d'attirer le cadre de la feuille 100 de SDA. Le blocage en rotation de la feuille 100 est donc garanti par un champ de forces électrostatiques à l'interface feuille 100/bâti, ainsi que par les frottements secs induits par le contact de la feuille 100 sur le bâti. La feuille 100 doit être dimensionnee (en épaisseur notamment) de telle sorte que le cadre de la feuille 100 soit naturellement attiré par le bâti, tandis que les SDA 110 restent attirés par le rotor 200. Pour cela chaque plaque 10 formant un SDA est supporté élastiquement dans un cadre 14 ménagé dans la feuille 100. Par exemple comme illustré sur la figure 4, chaque plaque 10 formant un SDA est supporté par un cadre
14 ménagé dans la feuille 100 par l'intermédiaire de deux barres de suspension parallèles 16. Celles-ci relient un bord longitudinal respectif de la plaque 10 opposé au muret 12, et le cadre 14. Les barres de suspension s'étendent perpendiculairement à la direction du muret 12.
Sur la figure 5 le bâti du moteur qui entoure le rotor 200 est référencé 210.
Là encore une couche électriquement isolante doit être prévue entre le bâti 210 électriquement conducteur et les cadres 14. Cette couche isolante peut être obtenue par oxydation de la surface interne du bâti 210.
Une fois qu'elle a été ainsi fixée sur le bâti 210, la feuille 100 joue le rôle de stator.
Par ailleurs les barres de suspension précitées 16 sont de préférence adaptées pour permettre un déplacement radial important des SDA vis à vis du cadre 14 et permettre ainsi de compenser l'incertitude portant sur le jeu mécanique inévitable à l'interface rotor 200/bàti 210.
En effet les tolérances de fabrication mécaniques normalisées des dispositifs macroscopiques garantissent au mieux un jeu mécanique avec une incertitude de l'ordre d'une dizaine de microns pour un couple de rotation de 1mm de diamètre, soit une incertitude largement supérieure à deux fois l'épaisseur de la feuille de SDA 100.
Les barres 16 de suspension permettent ainsi une accomodation radiale de la feuille 100 dans le bâti 210, de sorte que les cadres 14 soient bloqués contre le bâti 210, tandis que les SDA sont en appui sur le rotor 200.
Les applications potentielles de la présente invention sont nombreuses.
Elles concernent notamment la motorisation des micromachines depuis l'échelle micrométrique, jusqu'à l'échelle millimétrique.
On notera que les feuilles de SDA 100 peuvent s'insérer naturellement dans des liaison mécaniques surfaciques présentant un jeu de fonctionnement .
Ainsi les feuilles 100 de SDA occupent un volume nul du point de vue de l'encombrement effectif. La présente invention permet par conséquent de réaliser des moteurs présentant un facteur volume /puissance, bien supérieur à tout système existant.
Par ailleurs dans la mesure ou les feuilles de SDA occupent un volume effectif nul, il est possible de les intégrer aisément dans des liaisons mécaniques d'un mécanisme sans affecter l'architecture mécanique de celui-ci.
De même les feuilles 100 de SDA conformes à la présente invention peuvent être intégrées dans des architectures mécaniques d'une articulation traditionnelle, sans encombrement additionnel, et ainsi donner lieu à l'infrastructure d'un moteur. Les liaisons mécaniques produisent alors de l'énergie mécanique, alors qu'elles en dissipent traditionnellement depuis toujours en raison du frottement sec à l'interface des corps solides. On a représenté sur les figures 6 à 8 une variante de réalisation selon laquelle le moteur est de type annulaire, c'est à dire qu'il comporte une feuille plane 100 comportant un grand nombre de SDA 110, en forme de disque transversal à son axe de rotation 0.
Un tel moteur est ainsi de type bidimensionnel par opposition au moteur précédemment décrit de type tridimensionnel. La feuille 100 qui constitue un rotor comporte un grand nombre de SDA 110 agencés radialement à partir d'un moyeu central 102.
Typiquement mais non limitativement, le rotor 100 peut ainsi comprendre 36 SDA équirépartis autour de l'axe de rotation O. Les murets 12 de chacune des plaques 10 en forme de secteur de couronne, s'étendent le long d'un bord longitudinal de ces plaques, selon un rayon dressé à partir de l'axe de rotation O, et de préférence sur une partie seulement de l'extension radiale de ces secteurs de couronne, comme on peut le voir notamment sur les figures 6 et 7.
La rotation du rotor autour de l'axe O est obtenue grâce à une suite de déformation des plaques 10, conformément au principe précédemment décrit en regard des figures 1 , grâce à des impulsions appliquées par un générateur 130 entre les plaques 10 et une électrode 154 intégrée au support 150 formant stator sur lequel est disposé le rotor. En outre le moteur illustré sur les figures 6 à 8 comprend un capteur de couple de rotation 180. Celui-ci est agencé au centre de la feuille 100. Ce capteur 180 comprend au moins une poutre incurvée 182, centrée autour de l'axe de rotation O, dont une extrémité 181 est solidaire de la feuille 100, tandis que l'autre extrémité 183 de la poutre 182 est libre par rapport à ladite feuille 100.
Selon le mode de réalisation illustré sur la figure 6, le capteur 180 comporte trois poutres 182 équiréparties autour de l'axe de rotation O du rotor. Les poutres 182 s'étendent dans le sens de rotation à partir de l'extrémité 181 liée à la feuille 100.
Elles sont de préférence formées par usinage chimique dans la masse de la feuille 100 et de forme générale circulaire, en secteur de couronne. Lorsque aucun effort n'est exercé sur les poutres 182, celles-ci sont contenues dans le plan de la feuille 100 et par conséquent aucun couple externe freinant n'est appliqué sur le rotor 100.
Cependant si l'extrémité libre 183 des poutres 182 est plaquée contre le support 150 du rotor qui forme stator, les poutres 182 sont soumises à un effort qui provoque leur flexion, comme schématisé sur la figure 8. Et l'amplitude de cette flexion dépend directement du couple moteur généré par les SDA. Ainsi la mesure de l'amplitude de la déformation des poutres 182 permet de mesurer directement le couple moteur des SDA. Les poutres 182 peuvent ainsi être plaquées sur le support 150 par des forces électrostatiques résultant de l'application d'une tension adéquate appliquée par un générateur 136 entre chaque poutre 182 et des électrodes 152 formées sur le support 150 en regard du trajet de déplacement des poutres 182.
Sur la figure 6, on a illustré sous la référence 154 une électrode annulaire formée sur le support 150, en regard du trajet de déplacement des murets 12. Cette électrode 154 sert d'électrode d'entrainement et permet l'application d'une tension d'excitation entre cette électrode 154 et les plaques 10 des SDA, à l'aide du générateur 130. La structure illustrée sur la figure 6 permet la réalisation de moteurs présentant par exemple un diamètre de l'ordre de 500 micromètres et une hauteur totale de quelques micromètres.
On va maintenant décrire un exemple de procédé de fabrication d'une feuille de SDA conforme à la présente invention.
Une pastille de silicium de type n à 20 Ω cm est préparé par nettoyage dans une solution d'acide fluoridrique tamponnée. Après rinçage à l'eau et séchage sous N2, la pastille est oxydée thermiquement à 1100°C sous O2. Une couche d'oxyde de silicium d'une épaisseur de l'ordre de 0,35 micromètre est ainsi formée à la surface de la pastille. Une couche de polysilicium d'une épaisseur de l'ordre de 0,5 micromètre d'épaisseur est ensuite déposée à 600°C par LPCVD (dépôt vapeur basse pression). Afin de réduire la résistivité du polysilicium, du phosphore est implanté selon un dosage à 5 x 10 15cm"2 sous une tension d'accélération de l'ordre de 50keV. Après une première lithographie, la couche de polysilicium est gravée par plasma SFβ de manière à obtenir un écran. Une couche de nitrure de silicium riche en silicium, d'une épaisseur de l'ordre de 0,3 micromètre, est déposée ensuite sur toute la surface de la pastille à 800°C par LPCVD. Cette couche protège la couche d'oxyde de silicium à l'égard d'une gravure à l'acide fluoridrique au cours d'une étape de gravure sacrificielle finale.
Puis une couche d'oxyde de silicium d'une épaisseur de l'ordre de 2 micromètres d'épaisseur est déposée en tant que matériau sacrificiel à 600°C par LPCVD. Après une seconde lithographie, des moules de murets sont conformés par gravure ionique réactive (RIE) avec un plasma CHF3 + O2. La profondeur des moules de muret préalablement réalisés, détermine bien entendu la hauteur des murets qui seront formés. Par contrôle du temps de gravure, une profondeur de muret de l'ordre de 1 ,5 micromètre peut être obtenue. Ainsi une couche de l'ordre de O,5 micromètre est préservée entre la couche de nitrure et les murets.
Une troisième lithographie destinée à la réalisation des contacts est ensuite mise en œuvre. L'oxyde de silicium LPCVD et le nitrure de silicium sont retirés par RIE sous plasma CHF3 + O2, de sorte que une couche de polysilicium déposée par la suite puisse contacter localement la couche d'écran enterrée.
Une couche de polysilicium d'une épaisseur de l'ordre de 1 ,0 micormètre destinée à être ensuite conformée comme composant principal est alors déposée sur la surface de la pastille à 600°C par LPCVD. L'épaisseur de SDA est déterminée par l'épaisseur de polysilicium. La couche de polysilicium structurelle est dopée par implantation de phosphore (5 x 10 15 cm'2 sous une tension d'accélération de l'ordre de 150keV) et est ensuite conformée par RIE sous plasma SFβ + SiCU au cours d'une quatrième étape de lithographie.
Afin de relâcher les contraintes résiduelles dans le polysilicium, la pastille est chauffée dans une atmosphère neutre de N2 à 1100°C pendant 60mn, après dépôt d'une couche fine d'oxyde de silicium par LPCVD. Cette couche d'oxyde de silicium sert à protéger la surface de polysilicium vis à vis de l'azote. Simultanément on opère une diffusion et une activation de phosphore dans le polysilicium.
Finalement la pastille est plongée dans un bain de HF à 50% afin de dissoudre totalement l'oxyde de silicium sacrificiel. Puis la pastille est rincée dans une solution adéquate (par exemple eau + alcool isopropyl) et séchée sous atmosphère neutre (par exemple azote). Le microactionneur à base de SDA précédemment décrit peut trouver application dans un grand nombre de domaines.
On va maintenant décrire par la suite un exemple non limitatif d'application de ce microactionneur, dans la réalisation d'un cathéter, en regard des figures 9 à 13 annexées.
On a ainsi illustré sur les figures 9 à 13 annexées un cathéter actif 300 de très petit diamètre (typiquement de l'ordre de 1mm), qui comprend dans un tube souple d'enveloppe 310, une série de modules 320 juxtaposés sur la longueur du tube 310. Le tube 310 peut être formé par exemple en matériau polymère.
Chaque module 320 comporte un moteur électrostatique tubulaire 340, un rotor élastique 350 et un actionneur à mémoire de forme 360. Le moteur électrostatique 340 peut être globalement conforme aux dispositions précédemment décrite en regard de la figure 5. Ainsi le moteur 340 comporte de préférence une feuille 100 de SDA placée dans le jeu mécanique entre le rotor 350 (qui correspond à l'élément 200 de la figure 5) et un bâti tubulaire 210.
Le bâti tubulaire 210 est muni de gorges longitudinales 212 sur sa périphérie extérieure, pour permettre le passage de fils d'alimentation électrique isolés 214, nécessaires à l'alimentation des modules 320 situés en aval. Le rotor 350 peut faire l'objet de nombreux modes de réalisation. Selon le mode de réalisation non limitatif représenté sur les figures 9 à 13, le rotor 350 comprend deux tronçons tubulaires 352, 356 d'extrémité reliés entre eux par un bras de liaison longitudinal 354. Les deux tronçons tubulaires 352 et 356 ont des diamètres identiques. Le bras de liaison 354 est de préférence formé par usinage d'un tube définissant à ses extrémités lesdits tronçons 352 et 356. Ainsi le bras de liaison 354 est de préférence constitué d'une barre longitudinale rectiligne au repos, en forme de secteur de cylindre dont le rayon de courbure correspondant à celui des tronçons 352 et 354. Le tronçon 352 du rotor a une longueur sensiblement identique à la longueur du bâti 210, et ledit tronçon 352 est introduit dans ce bâti 210, de sorte que le bras de liaison 354 et le second tronçon 356 émergent à l'extérieur du bâti 210.
Le rotor 350 au moins au niveau du tronçon 352 doit être réalisé en matériau électriquement conducteur, pour permettre l'application de forces électrostatiques sur la feuille de SDA 100. Cependant la surface externe du tronçon 352 doit être électriquement isolante, par exemple par oxydation. Comme indiqué précédemment le rotor 350 doit être suffisamment souple pour accepter des flexions sous l'effet de la commande de l'actionneur à mémoire de forme 360. Le cas échéant comme on le voit sur la figure 11 , le bras de liaison 354 peut être muni d'une série d'échancrures transversales 355 réparties sur sa longueur, entre les deux tronçons 352 et 356, et débouchant sur ses deux bords longitudinaux, ou de tous moyens équivalents, pour obtenir la souplesse adéquate.
L'actionneur à mémoire de forme 360 peut également faire l'objet de nombreux modes de réalisation. Selon le mode de réalisation préférentiel illustré sur les figures annexées, l'actionneur 360 est formé d'un barreau
362 centré sur le rotor 350 et dont les extrémités 364, 366 sont engagées respectivement dans les tronçons 356 et 352 du rotor.
Le barreau 362 peut être formé par exemple en NiTi.
L'une des extrémités du barreau .362 est fixée sur l'un des tronçons du rotor, tandis que l'autre extrémité du barreau 362 est de préférence adaptée à l'autre tronçon du rotor, avec liberté de déplacement longitudinal par rapport à celui-ci, pour autoriser une flexion du barreau 362 et du rotor 350.
A titre d'exemple, comme on l'a illustré sur les figures 9 à 13, l'extrémité 364 du barreau 362 peut ainsi être fixée sur le tronçon tubulaire 356 par une goupille transversale 363. L'autre extrémité 366 du barreau 362 est engagée, dans le canal central d'une rotule sphérique 367 positionnée dans le tronçon 352.
En variante le barreau 362 en matériau à mémoire de forme peut être remplacé par toute structure équivalente, par exemple un fil ou un ressort hélicoïdal.
Le tronçon 356 d'extrémité du rotor d'un module 320 donné est de préférence relié au bâti 210 du module aval, tant en translation qu'en rotation, par tous moyens appropriés schématisés sous la référence 380 sur les figures annexées. Le fonctionnement de ce microcathéter est essentiellement le suivant.
L'actionneur à mémoire de forme 360 permet de contrôler la flexion de l'arbre moteur 350 auquel il est associé, selon un plan de déformation préalablement défini par les paramètres géométriques du rotor élastique
350, comme cela est illustré sur la figure 12. Le moteur tubulaire 340 est quant à lui adapté pour contrôler le plan de flexion de l'actionneur à mémoire de forme 360.
Ce système est schématisé sur la figure 13 dans un vaisseau sanguin 400. Le dispositif global obtenu à l'aide de l'association en série de plusieurs modules 320 élémentaires combinant chacun un actionneur SDA 340 et un actionneur à mémoire de forme 360, permet de maîtriser un grand nombre de configurations bi ou tridimensionnelles (courbures planes avec points d'inflexions multiples, hélicoïdales, ... ), malgré une connectique extrêmement simple.
Ainsi les modules 320 conformes à la présente invention combinant un actionneur SDA 340 et un actionneur à mémoire de forme 360 peuvent trouver de nombreuses applications en dehors du microcathéter précité. Bien entendu la présente invention n'est pas limitée aux modes de réalisation qui viennent d'être décrits, mais s'étend à toutes variantes conformes à son esprit.
[ 1] « Controlled stepwise motion in polysilicon microstructures », T. Akiyama et K. Shono, J. MEMS, Vol. 2 N°3, pp 106-110, 1993 ; [ 2] « Scratch drive actuator with mechanical links for self-assembly of three dimensional MEMS », T. Akiyama, D. Collard et H. Fujita, J. MEMS, Vol. 26 N°1 , pp 10-17, 1997 ;
[ 3] »Self-assembled microactuated XYZ stages for Optical Scanning and Alignment », L. Fan, M. C. Wu, K. D. Choquette et M. H. Crawford, Transducers'97, International Conférence on Solid-State Sensors and Actuators, pp319-322, Chicago, 1997 .

Claims

R E V E N D I C A T I O N S
1. Microactionneur électrostatique à base de SDA (Scratch Drive Actuators ), caractérisé par le fait qu'il comprend un grand nombre de SDA (110) associés et des moyens (130) adaptés pour, d'une part, appliquer sur ceux-ci une précontrainte mécanique extérieure propre à permettre une superposition des forces générées par les différents SDA et, d'autre part, communiquer à une charge extérieure la totalité de la force motrice issue du comportement collectif de ces mêmes SDA.
2. Microactionneur selon la revendication 1 , caractérisé par le fait que les moyens adaptés pour appliquer une précontrainte mécanique sur les
SDA (110) sont formés de moyens (130) aptes à appliquer une tension de polarisation au repos à l'ensemble des SDA.
3. Microactionneur selon l'une des revendications 1 ou 2, caractérisé par le fait que les SDA sont formés dans une feuille support (100) et que celle- ci est placée dans un jeu mécanique à l'interface de deux corps solides
(200, 210) articulés l'un par rapport à l'autre, de telle sorte que le cadre de la feuille (100) soit en contact avec l'un des corps solides (210), par exemple le bâti, tandis que les SDA (110) sont en contact avec l'autre corps (200) impliqué dans l'articulation, par exemple l'arbre moteur.
4. Microactionneur selon la revendication 3, caractérisé par le fait que la feuille (100) support de SDA est séparée de son substrat avant l'insertion dans le jeu mécanique entre les deux corps solides (200, 210).
5. Microactionneur selon l'une des revendications 1 à 4, caractérisé par le fait que chaque plaque (10) formant un SDA est supportée élastiquement dans un cadre (14) ménagé dans la feuille support(100).
6. Microactionneur selon la revendication 5, caractérisé par le fait que chaque plaque (10) formant un SDA est supportée par un cadre (14) ménagé dans la feuille (100), par l'intermédiaire de deux barres de suspension parallèles (16).
7. Microactionneur selon l'une des revendications 1 à 6, caractérisé par le fait que chaque SDA (110) comprend une plaque ou poutre (10), par exemple en polysilicium, munie à une extrémité d'un muret ou coussinet (12) en saillie, dirigé vers un substrat (20) revêtu d'une couche isolante (22) et un générateur (30) adapté pour appliquer des impulsions de tension entre la plaque (10) et le substrat (20).
8. Microactionneur selon l'une des revendications 1 à 7, caractérisé par le fait qu'il comprend de quelques dizaines à quelques milliers de SDA
(110).
9. Microactionneur selon l'une des revendications 1 à 8, caractérisé par le fait que les SDA (110) sont réalisés dans une feuille (100) qui possède des barres de flexion (120) adaptées pour assurer une mise en forme de la feuille, lorsque ces barres de flexion (120) sont bloquées sur un substrat (150), tandis que certains au moins des SDA (110) sont activés.
10. Microactionneur selon l'une des revendications 1 à 9, caractérisé par le fait qu'il comprend en outre des moyens (180) formant capteur de force, par exemple capteur de couple, comportant au moins une poutre (182) intégrée à la feuille formant les SDA et adaptée pour être déformée lors de l'actionnement du système, ladite poutre étant associée à des moyens d'analyse de sa déformation.
11. Microactionneur selon l'une des revendications 1 à 10, caractérisé par le fait que les SDA (110) sont réalisés par usinage chimique de feuilles minces en polysilicium dopé.
12. Microactionneur selon la revendication 9, caractérisé par le fait que le substrat (150) comprend des électrodes (160) en regard des barres de flexion (120) et des moyens aptes à appliquer une tension d'excitation entre ces électrodes (160) et les barres de flexion (120) pour plaquer les barres de flexion (120) contre les électrodes (160).
13. Microactionneur selon la revendication 12, caractérisé par le fait qu'il comprend plusieurs électrodes (160) discrètes réparties en regard des barres de flexion (120), susceptibles d'être alimentées sélectivement pour contrôler la zone des barres de flexion (120) maintenue sur le substrat (150).
14. Microactionneur selon l'une des revendications 1 à 13, caractérisé par le fait que la feuille de SDA (100) est placée sur un arbre tubulaire (200).
15. Microactionneur selon l'une des revendications 1 à 14, caractérisé par le fait qu'il comporte deux séries de SDA (110) possédant des orientations orthogonales, pour former un translateur plan de type X-Y.
16. Microactionneur selon l'une des revendications 1 à 15, caractérisé par le fait qu'il constitue un moteur de type verrou associant un degré de liberté de rotation à un degré de liberté de translation.
17. Microactionneur selon l'une des revendications 1 à 16, caractérisé par le fait qu'il constitue un moteur de type annulaire.
18. Microactionneur selon la revendication 17, caractérisé par le fait qu'il comporte une feuille plane (100) comportant un grand nombre de SDA
(110), en forme de disque transversal à son axe de rotation 0.
19. Microactionneur selon la revendication 18, caractérisé par le fait que la feuille (100) qui constitue un rotor comporte un grand nombre de SDA (110) agencés radialement à partir d'un moyeu central (102), les murets (12) de chacune des plaques (10) en forme de secteur de couronne des
SDA, s'étendant le long d'un bord longitudinal de ces plaques, selon un rayon dressé à partir de l'axe de rotation O, et de préférence sur une partie seulement de l'extension radiale de ces secteurs de couronne.
20. Microactionneur selon la revendication 10, caractérisé par le fait que chaque poutre (182) possède une extrémité (181 ) solidaire de la feuille
(100), tandis que l'autre extrémité (183) de la poutre (182) est libre par rapport à ladite feuille (100).
21. Microactionneur selon l'une des revendications 10 ou 20, caractérisé par le fait que le capteur (180) comprend trois poutres (182) équiréparties autour de l'axe de rotation O du rotor.
22. Microactionneur selon l'une des revendications 10, 20 ou 21 , caractérisé par le fait que les poutres (182) s'étendent dans le sens de rotation à partir de leur extrémité (181 ) liée à la feuille (100).
23. Microactionneur selon l'une des revendications 10 et 20 à 22, caractérisé par le fait que les poutres (182) sont plaquées sur le support
(150) par des forces électrostatiques résultant de l'application d'une tension adéquate appliquée par un générateur (136) entre chaque poutre (182) et des électrodes (152) formées sur le support (150) en regard du trajet de déplacement des poutres (182).
24. Microactionneur selon l'une des revendications 1 à 23, caractérisé par le fait qu'il est associé à un actionneur à mémoire de forme (360).
25. Microactionneur selon la revendication 24, caractérisé par le fait qu'il comporte au moins un module (320) comprenant un moteur rotatif (340) à base de SDA et un barreau de flexion (362) à mémoire de forme lié au rotor (350) du moteur rotatif (340).
26. Microactionneur selon la revendication 25, caractérisé par le fait qu'il comprend plusieurs modules (320) en série.
27. Microactionneur selon l'une des revendications 24 à 26, caractérisé par le fait qu'il est placé dans un tube souple (310).
28. Microactionneur selon l'une des revendications 25 à 27, caractérisé par le fait que le bâti tubulaire (210) du moteur rotatif (340) est muni de gorges longitudinales (212) sur sa périphérie extérieure, pour permettre le passage de fils d'alimentation électrique isolés (214), nécessaires à l'alimentation de modules (320) situés en aval.
29. Microactionneur selon l'une des revendications 25 à 28, caractérisé par le fait que le rotor (350) comprend deux tronçons tubulaires (352, 356) d'extrémité reliés entre eux par un bras de liaison longitudinal (354).
30. Microactionneur selon la revendication 29, caractérisé par le fait que l'une des extrémités d'un barreau (362) en matériau à mémoire de forme est fixée sur l'un des tronçons du rotor, tandis que l'autre extrémité du barreau (362) est adaptée à l'autre tronçon du rotor, avec liberté de déplacement longitudinal par rapport à celui-ci, pour autoriser une flexion du barreau (362) et du rotor (350).
31. Microactionneur selon la revendication 30, caractérisé par le fait que une extrémité (364) du barreau (362) est fixée sur un tronçon tubulaire (356) de rotor par une goupille transversale (363), tandis que l'autre extrémité (366) du barreau (362) est engagée, dans le canal central d'une rotule sphérique (367) positionnée dans un second tronçon (352) de rotor.
32. Microactionneur selon l'une des revendications 26 à 31 , caractérisé par le fait que une extrémité du rotor d'un module (320) donné est reliée au bâti (210) du module aval, tant en translation qu'en rotation.
33. Microactionneur selon l'une des revendications 1 à 33, caractérisé par le fait qu'il constitue un microcathéter (300).
34. Microcathéter tridimensionnel actif comprenant au moins un microactionneur conforme à l'une des revendications 1 à 33.
35. Procédé de fabrication d'un microactionneur conforme à l'une des revendications précitées, caractérisé par le fait qu'il met en œuvre une feuille (100) comportant un grand nombre de SDA (110) et qui possède des barres de flexion (120), et qu'il comporte une étape de mise en forme de la feuille par blocage des barres de flexion (120) sur un substrat (150), tandis que certains au moins des SDA (110) sont activés, pour décoller ladite feuille (100) du substrat.
36. Procédé selon la revendication 35, caractérisé par le fait qu'un élément mobile de moteur, tel qu'un rotor (200) est déplacé sous la feuille (100) au fur et à mesure du décollement de celle-ci.
37. Procédé selon la revendication 36, caractérisé par le fait que ledit élément moteur (200) est animé d'un mouvement de rotation au cours de son déplacement sous la feuille (100) décollée de sorte que ledit élément moteur (200) vient soutenir la feuille (100) au fur et à mesure de son décollement, sans déplacement relatif entre la surface de l'élément moteur (200) et la feuille (100).
38. Procédé selon l'une des revendications 36 ou 37, caractérisé par le fait que une attraction électrostatique est générée entre la feuille (100) et ledit élément moteur (200) lors du transfert de la feuille sur ce dernier.
39. Procédé selon la revendication 38, caractérisé par le fait que l'attraction électrostatique est générée par application d'une tension entre la feuille (100) et ledit élément moteur (200).
40. Procédé selon l'une des revendications 35 à 39, caractérisé par le fait qu'une attraction électrostatique est maintenue entre la feuille de SDA (100) et un élément mobile (200) formant support de celle-ci, tel qu'un rotor, lors de l'introduction de cet élément (200) dans un bâti (210), tandis qu'après mise en place de l'élément (200) dans le bâti on applique une attraction électrostatique entre le bâti (210) et des cadres de la feuille (100) entourant chaque SDA (110) pour immobiliser le corps de la feuille par rapport au bâti (210) tout en permettant aux murets actifs (12) des SDA de reposer sur ledit élément mobile pour entrainer celui-ci lors de l'excitation des SDA (110).
PCT/FR1998/002613 1997-12-05 1998-12-03 Microactionneurs electrostatiques, microcatheters tridimensionnels actifs exploitant ceux-ci et procede de fabrication Ceased WO1999030410A1 (fr)

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JP2000524856A JP2001526520A (ja) 1997-12-05 1998-12-03 静電気マイクロアクチュエータ、このアクチュエータを使用する３次元作動マイクロカテーテルおよび製造方法
AT98958321T ATE235122T1 (de) 1997-12-05 1998-12-03 Elektrostatischer microantrieb, dreidimensionaler aktive mikrokatheter und verfahren zur herstellung
EP98958321A EP1036433B1 (fr) 1997-12-05 1998-12-03 Microactionneurs electrostatiques, microcatheters tridimensionnels actifs exploitant ceux-ci et procede de fabrication
US09/555,892 US6461337B1 (en) 1997-12-05 1998-12-03 Electrostatic microactuators, active three-dimensional microcatheters using same and method for making same
DE69812408T DE69812408T2 (de) 1997-12-05 1998-12-03 Elektrostatischer microantrieb, dreidimensionaler aktive mikrokatheter und verfahren zur herstellung

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WO (1) WO1999030410A1 (fr)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6287301B1 (en) 1997-07-29 2001-09-11 Scimed Life Systems, Inc. Catheter having improved torque transmission capability and method of making the same
US11888413B2 (en) 2019-07-22 2024-01-30 Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha Actuator

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7555333B2 (en) 2000-06-19 2009-06-30 University Of Washington Integrated optical scanning image acquisition and display
US6848328B2 (en) * 2001-03-09 2005-02-01 Klocke Nanotechnik Positioning unit and positioning apparatus with at least two positioning units
JP4261166B2 (ja) 2002-11-29 2009-04-30 Ｈｏｙａ株式会社 フォトサーマルアクチュエータおよびフォトサーマルアクチュエータが備えられた装置
US7154362B2 (en) * 2003-11-12 2006-12-26 Honeywell International, Inc. Robotic member
US6877316B1 (en) 2003-11-21 2005-04-12 Zyvex Corporation Electro-thermal scratch drive actuator
EP1691666B1 (fr) 2003-12-12 2012-05-30 University of Washington Systeme de guidage et d'interface en 3d pour catheterscope
US7530948B2 (en) 2005-02-28 2009-05-12 University Of Washington Tethered capsule endoscope for Barrett's Esophagus screening
JP2009516568A (ja) 2005-11-23 2009-04-23 ユニヴァーシティ オブ ワシントン 中断される走査共振を使用する可変順次フレーミングを用いたビームの走査
KR101210497B1 (ko) 2005-12-19 2012-12-10 인하대학교 산학협력단 자기변형 현상을 이용한 초소형 이동체
JP2009528128A (ja) 2006-03-03 2009-08-06 ユニヴァーシティ オブ ワシントン 多クラッド光ファイバ走査器
US8096943B2 (en) * 2006-12-04 2012-01-17 University Of Washington Through Its Center For Commercialization Flexible endoscope tip bending mechanism using optical fiber as compression member
US7879004B2 (en) * 2006-12-13 2011-02-01 University Of Washington Catheter tip displacement mechanism
TW200827287A (en) * 2006-12-28 2008-07-01 Sunonwealth Electr Mach Ind Co Method for fabricating micro scratch drive actuator having low driving voltage using silicon substrate with ultra-low resistance
US8840566B2 (en) 2007-04-02 2014-09-23 University Of Washington Catheter with imaging capability acts as guidewire for cannula tools
US7952718B2 (en) 2007-05-03 2011-05-31 University Of Washington High resolution optical coherence tomography based imaging for intraluminal and interstitial use implemented with a reduced form factor
TWI348813B (en) * 2007-05-09 2011-09-11 Sunonwealth Electr Mach Ind Co Bounce drive actuator and micromotor
US20090208143A1 (en) * 2008-02-19 2009-08-20 University Of Washington Efficient automated urothelial imaging using an endoscope with tip bending
DE102013209804A1 (de) 2013-05-27 2014-11-27 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Elektrostatischer aktuator und verfahren zum herstellen desselben

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5235225A (en) * 1990-08-31 1993-08-10 Northwestern University Linear electrostatic actuator with means for concatenation
JPH05253175A (ja) * 1992-03-13 1993-10-05 Olympus Optical Co Ltd 静電型アクチュエータ
US5563466A (en) * 1993-06-07 1996-10-08 Rennex; Brian G. Micro-actuator

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2729845B1 (fr) * 1995-02-01 1997-07-25 Centre Nat Rech Scient Catheter d'imagerie echographique endocavitaire
US5771902A (en) * 1995-09-25 1998-06-30 Regents Of The University Of California Micromachined actuators/sensors for intratubular positioning/steering

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5235225A (en) * 1990-08-31 1993-08-10 Northwestern University Linear electrostatic actuator with means for concatenation
JPH05253175A (ja) * 1992-03-13 1993-10-05 Olympus Optical Co Ltd 静電型アクチュエータ
US5563466A (en) * 1993-06-07 1996-10-08 Rennex; Brian G. Micro-actuator

Non-Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
FUJITA H ET AL: "Group work of distributed microactuators", ROBOTICA, SEPT.-OCT. 1996, CAMBRIDGE UNIVERSITY PRESS, UK, vol. 14, pt.5, ISSN 0263-5747, pages 487 - 492, XP002076440 *
FURUHATA T ET AL: "ARRAY-DRIVEN ULTRASONIC MICROACTUATORS ARRAYED MICROACTUATOR MODULES THAT HAVE SWING PINS", TRANSDUCERS, SAN FRANCISCO, JUNE 24 - 27, 1991, no. CONF. 6, 24 June 1991 (1991-06-24), INSTITUTE OF ELECTRICAL AND ELECTRONICS ENGINEERS, pages 1056 - 1059, XP000560535 *
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 018, no. 012 (C - 1150) 11 January 1994 (1994-01-11) *
TOSHIO FUKUDA: "GIANT MAGNETOSTRICTIVE ALLOY(GMA) APPLICATIONS TO MICRO MOBILE ROBOT AS A MICRO ACTUATOR WITHOUT POWER SUPPLY CABLES", 30 January 1991, PROCEEDINGS OF THE WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS INVESTIGATION OF MICRO STRUCTURES, SENSORS, ACTUATORS, MACHINES AND ROBOTS, NARA, JP., JAN. 30 - FEB. 2, 1991, NR. WORKSHOP 4, PAGE(S) 210 - 215, INSTITUTE OF ELECTRICAL AND ELECTRONICS ENGINEERS, XP000295570 *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6287301B1 (en) 1997-07-29 2001-09-11 Scimed Life Systems, Inc. Catheter having improved torque transmission capability and method of making the same
US11888413B2 (en) 2019-07-22 2024-01-30 Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha Actuator

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