WO2000007180A1 - Procede de realisation collective de tetes magnetiques integrees a surface portante arrondie - Google Patents

Procede de realisation collective de tetes magnetiques integrees a surface portante arrondie Download PDF

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components
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mask
photolithography
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Jean-Baptiste Albertini
Pierre Gaud
Gérard Barrois
Henri Sibuet
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Commissariat a lEnergie Atomique CEA
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    • Y10T29/49043—Depositing magnetic layer or coating
    • Y10T29/49046—Depositing magnetic layer or coating with etching or machining of magnetic material

Definitions

  • the subject of the present invention is a process for the collective production of integrated magnetic heads with a rounded bearing surface. It finds an application in the production of helical recording heads on magnetic tape, in particular for video recording for the general public or for professional use (home video recorders, camcorders) or even for computer data recorders on tapes or discs. It also finds applications in other recording heads for tapes, discs, cards, etc.
  • Video recording for example according to the DVC standard for video, or DDS for computers.
  • Tape data loggers are the mass storage computers with the largest storage capacities and the lowest costs.
  • Computer applications are systems for archiving data, for backing up hard disks in a system or network for the distribution of large software or databases. In the field of video recording, it is possible to envisage widening the applications of a video recorder to those of a video server centralizing several films. State of the art
  • Figures 1 to 3 attached illustrate the structure of a component for integrated magnetic head with thin layers according to document FR-A-2 747 226.
  • the head comprises ( Figure 1), two pole pieces 10,, 10 2 separated by an air gap 14, two magnetic branches 16 ⁇ , 16 2 partially covering the pole pieces, and a magnetic piece for closing the flow 18. All of these pieces constitute a magnetic circuit.
  • Around the branches l ⁇ i, l ⁇ 2 there are conductive windings 20 ⁇ , 20 2 for reading and / or writing the information written and / or read on a recording medium not shown.
  • Figure 2 shows the complete head with two conductive strips 22 ⁇ , 22 2 providing access to the conductive windings 20 ⁇ , 20 2 and two electrical connection pads 24 ⁇ , 24 2 .
  • the head shown in FIGS. 1 and 2 can be produced collectively by techniques borrowed from microelectronics.
  • the components can be separated from one another, for example by arranging them in a matrix structure, then by cutting them along rectilinear paths.
  • each head, in the vicinity of the pole pieces 10 ⁇ , 10 2 is given a bearing surface of rounded shape necessary for the proper functioning of the head.
  • the rounded profile is represented schematically by the line 26. This operation is carried out mechanically on each head.
  • Figure 3 shows, schematically, a head seen in section along one of the conductive strips and one of the branches of the magnetic circuit.
  • the assembly is covered by a superstrate 40, for example made of silicon.
  • the surface 26, called the bearing surface Towards the front of the head, the surface 26, called the bearing surface, has an appropriate rounded shape. Towards the rear, the superstrate 40 is released to reveal the electrical connection pads 24 ⁇ , 24 2 .
  • the object of the present invention is precisely to remedy these drawbacks.
  • the invention proposes a process for the collective production of integrated integrated magnetic heads in which:
  • a plurality of components are produced on a wafer, each comprising means capable of constituting at least one magnetic head and in particular pole pieces separated by an air gap,
  • the components are then separated, the surface thus etched in the vicinity of the pole pieces constituting the bearing surface of each of the heads, this process being characterized in that said suitable shape is a rounded shape with at least one radius of curvature, in that 'We collectively machine the wafer either by photolithography through a mask, or by cutting with a laser beam.
  • said suitable shape is a rounded shape with at least one radius of curvature, in that 'We collectively machine the wafer either by photolithography through a mask, or by cutting with a laser beam.
  • At least one mask is deposited on the wafer comprising as many patterns as there are components on the wafer, each pattern having, in look of the pole pieces of each component, a rounded edge;
  • a laser beam is directed onto the wafer capable of at least partially cutting the wafer and the laser beam is moved along a rounded path.
  • the laser beam is guided by a jet of high pressure liquid, for example water.
  • FIG. 4 shows, in top view, a plate with the part to be engraved to collectively obtain, by photolithography, heads with bearing surfaces of suitable shape;
  • FIG. 5 shows in section the head, before release of the studs
  • FIG. 10A to 10E illustrate steps of another particular mode of implementation of the method of the invention according to a variant with two symmetrical engravings
  • a plate 50 with components T which components each include the elements shown in Figure 2.
  • This plate is obtained by any known collective process and in particular by the process described in document FR-A- 2 747 226 already cited.
  • this plate is covered with a mask of suitable shape for engraving the zones referenced 60.
  • this mask is formed of bands with periodic patterns each having a front edge 62 of rounded shape suitable for producing a bearing surface, and a right rear edge 6. The front edge 62 overlaps the pole pieces of the various heads and the rear edge 64 comes back from the connection pads.
  • FIG. 5 shows, in section, the head obtained with a process using a mask according to FIG. 4, the studs not yet being released.
  • FIG. 6 shows the position of the parts 60 to be engraved according to the second method, in order to obtain, in addition to the desired shape for the bearing surface obtained partially with the first mask, a resumption of contact on the studs of the head.
  • FIG. 7 shows the wafer once the etching has been carried out through the mask 60.
  • This figure also shows the substrate 70 and the superstrate 80 covering the heads. After etching, the superstrate and at least part of the substrate are etched, which gives the bearing surfaces a rounded surface 72. Furthermore, as described above, an additional etching step makes it possible to release the connection pads P.
  • the periphery of the plate is not engraved, which allows to preserve a certain rigidity.
  • FIG. 8 shows part of the wafer in the case where the etching carried out leads to the other face of the substrate 70.
  • the studs are released likewise, by an additional etching which stops for example on a barrier layer, for example made of silica, deposited on the substrate during the production of the heads.
  • the wafer is thus cut into strips each containing a plurality of heads whose bearing surface 72 is formed and whose connection pads P are released. It remains to separate these heads, which can be obtained by sawing.
  • Figure 9 shows a different mode of implementation where the etching does not lead.
  • the references designate the same elements as in FIG. 8.
  • the etching can have a width (in the plane of the figure) of 50 ⁇ m and the plate engraved at the level of the connection pads a width ( still in the plane of the figure) of 500 ⁇ m.
  • the superstrate 70 can optionally be thinned before the mask is deposited, until a thickness of approximately 150 ⁇ m is obtained, while the substrate 60 can have a thickness of approximately 500 ⁇ m.
  • the bottom of the engraved groove can be, for example, 300 ⁇ m from the top of the superstrate.
  • the process can be continued by separating the bars by thinning (full slice) of the substrate 70 until the level of the engraved groove is reached.
  • FIGS. 10A to 10E This first variant of the invention can be implemented otherwise by carrying out two symmetrical engravings with turning the wafer as illustrated in FIGS. 10A to 10E.
  • FIG. 10A we can see, in section, the substrate 70, the heads T, the superstrate 80 and the mask 60.
  • the shape of the latter appears in FIG. 10B, with its patterns delimited by a front edge 62 of rounded shape and a rear edge 64 of rectilinear shape.
  • FIG. 10C shows a first etching allowing the bearing surfaces 62 to be formed.
  • the clearance of the connection pads is not shown in this figure. It can be produced by etching (photolithographic or mechanical) carried out simultaneously, before or after the first etching.
  • the assembly is then turned over, as shown in FIG.
  • a second mask 90 is deposited on the superstrate 70 which is etched by aligning with the etching previously carried out.
  • a second symmetrical etching of the first is then carried out, affecting the superstrate 70 up to the level of the heads, which gives rise to a surface 62 ′ (FIG. 10E). It then remains to separate the heads, for example by sawing or by breaking, possibly followed by polishing of the bearing surface.
  • the symmetrical double engraving also has advantages. Indeed, the technique of manufacturing integrated heads often results in the presence of materials of different natures in the thickness of the wafer. For example, if the heads are produced in silicon oxide boxes on a silicon substrate and if a * silicon superstrate, one will find, in the middle of an assembly almost entirely made up of silicon, a thin layer of silicon oxide containing in certain places the active parts of the heads. The deep etching used in the first embodiment could be difficult to achieve in such a non-homogeneous material. In this case, double-sided engraving can be advantageous. The two engravings will stop on the layer of different nature (for example in silicon oxide). The remaining thin layer can then be engraved or sawn or broken. Subsequent finishing will remove debris and bring the profile of this thin layer in line with the rest of the bearing surface machined by deep engravings.
  • FIGS. 11A to 11D illustrate some examples of bearing surface profiles which can be obtained thanks to the invention.
  • the radius of curvature R is unique.
  • the radius of curvature changes and takes a value RI in the center then a value R2 on the sides and a value R3 at the ends.
  • the bearing surface contains two concave parts 92 ⁇ and 92 2 .
  • Figure 11D shows a double profile 94 ⁇ , 94 2 useful for a double head also called component with two heads.
  • components with more than two heads are also possible.
  • Figures 12 and 13 illustrate the second variant of the invention using a cutting by laser beam guided in particular by a jet of high pressure liquid, for example water.
  • FIG. 12 shows a superstrate 40 previously machined by a groove 102 placed so that after assembly on the substrate 30 the groove is located above the connection pads 24 ⁇ , 24 2 .
  • the laser cutting is carried out along the path marked by the arrows 104.
  • the laser beam is symbolized by the arrows 100.
  • This cutting gives the components, in the vicinity of the pole pieces, the desired rounded shape.
  • the connection pads can be released by clearing the part located above the grooving 102, for example by laser cutting or mechanical sawing along the lines 106 and 108. Unlike the cutting path 104, which is rounded, the lines 106 and 108 are straight.
  • FIG. 13 shows a top view of these different laser cutting paths 104 and cutting lines 106, 108.
  • a final cut along line 110 allows the heads to be separated.
  • the method of the invention makes it possible to machine several thousand heads at a time

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  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Magnetic Heads (AREA)

Abstract

Selon l'invention, on dépose sur une plaquette (50) contenant une pluralité de têtes, un masque (60) définissant le profil des surfaces portantes (62) et l'on grave collectivement la plaquette au voisinage des pièces polaires des têtes. Application à la réalisation de têtes magnétiques.

Description

PROCEDE DE REALISATION COLLECTIVE DE TETES MAGNETIQUES INTEGREES A SURFACE PORTANTE ARRONDIE
DESCRIPTION
Domaine technique
La présente invention a pour objet un procédé de réalisation collective de têtes magnétiques intégrées à surface portante arrondie. Elle trouve une application dans la réalisation de têtes d'enregistrement hélicoïdal sur bande magnétique, notamment pour l'enregistrement vidéo grand public ou professionnel (magnétoscopes de salon, caméscopes) ou encore pour les enregistreurs de données informatiques sur bandes ou disques. Elle trouve également des applications dans d'autres têtes d'enregistrement pour bandes, disques, cartes, etc...
Les hautes fréquences autorisées par la petite taille des têtes intégrées en couches minces permettent un enregistrement numérique (par exemple selon la norme DVC pour la vidéo, ou DDS pour l'informatique). Les enregistreurs de données sur bande sont les mémoires de masse informatiques ayant les capacités de stockage les plus importantes et les coûts les plus bas. Les applications informatiques sont les systèmes d'archivage de données, de sauvegarde des disques durs d'un système ou d'un réseau de diffusion de gros logiciels ou de bases de données. Dans le domaine de l'enregistrement vidéo, on peut envisager l'élargissement des applications d'un magnétoscope à celles d'un serveur vidéo centralisant plusieurs films. Etat de la technique antérieure
Les figures 1 à 3 annexées illustrent la structure d'un composant pour tête magnétique intégrée à couches minces selon le document FR-A-2 747 226. Telle qu'illustrée la tête comprend (figure 1), deux pièces polaires 10χ, 102 séparées par un entrefer 14, deux branches magnétiques 16χ, 162 venant recouvrir en partie les pièces polaires, et une pièce magnétique de fermeture du flux 18. L'ensemble de ces pièces constitue un circuit magnétique. Autour des branches lβi, lβ2, on trouve des enroulements conducteurs 20ι, 202 pour assurer la lecture et/ou l'écriture de l'information écrite et/ou lue sur un support d'enregistrement non représenté. La figure 2 montre la tête complète avec deux bandes conductrices 22ι, 222 permettant d'accéder aux enroulements conducteurs 20ι, 202 et deux plots de connexion électrique 24ι, 242.
La tête représentée sur les figures 1 et 2 peut être réalisée de manière collective par des techniques empruntées à la micro-électronique. Pour obtenir une tête magnétique individuelle à partir d'une plaquette comprenant une pluralité de composants, on peut séparer les composants les uns des autres, en les rangeant par exemple dans une structure matricielle, puis en les découpant selon des chemins rectilignes. Par usinage de la partie avant des composants on donne à chaque tête, au voisinage des pièces polaires 10χ, 102, une surface portante de forme arrondie nécessaire au bon fonctionnement de la tête. Sur la figure 2, le profil arrondi est représenté schématiquement par la ligne 26. Cette opération est effectuée mécaniquement sur chaque tête. La figure 3 montre, de manière schématique, une tête vue en coupe le long d'une des bandes conductrices et d'une des branches du circuit magnétique. On y voit un substrat 30, par exemple en silicium, avec l'une des pièces polaires 10ι ou 102, une branche magnétique 16ι ou 162, une pièce magnétique 18 de fermeture, une bande conductrice 22ι ou 222 et les plots de connexion électrique 24x, 242. L'ensemble est recouvert par un superstrat 40, par exemple en silicium. Vers l'avant de la tête, la surface 26, dite surface portante, possède une forme arrondie appropriée. Vers l'arrière, le superstrat 40 est dégagé pour laisser apparaître les plots de connexion électrique 24χ, 242.
Bien que les procédés de réalisation de telles têtes magnétiques soient largement collectifs, il n'en demeure pas moins que la dernière étape de façonnage de la surface portante 26 est individuelle et grève considérablement le coût final de chaque tête. Cependant, on connaît, par le document US-A- , 418, 72, un procédé collectif qui utilise l'usinage ionique mais qui ne s'applique qu'aux surfaces droites. Ce procédé ne convient pas pour les surfaces arrondies avec, en outre, les faibles dimensions des têtes d'enregistrement numérique actuelles. Or, le rayon de courbure de la tête près de l'entrefer est un paramètre essentiel dans l'obtention d'un bon contact tête/bande, donc d'une bonne qualité de l'enregistrement et d'une usure maîtrisée : un rayon de courbure trop grand ou trop faible peut conduire soit à une mauvaise qualité de contact (et donc une atténuation excessive du signal de la tête), soit à une usure accélérée de la tête. Par * ailleurs, le meulage permet difficilement d'usiner des rayons de courbure très précis ou des rayons de courbure différents sur la surface portante.
La présente invention a justement pour but de remédier à ces inconvénients.
Exposé de 1 ' invention
A cette fin, l'invention propose un procédé de réalisation collective de têtes magnétiques intégrées intégrées dans lequel :
- on réalise, sur une plaquette, une pluralité de composants comprenant chacun des moyens aptes à constituer au moins une tête magnétique et notamment des pièces polaires séparées par un entrefer,
- on usine collectivement la plaquette pour donner à tous les composants, au voisinage des pièces polaires, une surface ayant une forme appropriée ;
- on sépare ensuite les composants, la surface ainsi gravée au voisinage des pièces polaires constituant la surface portante de chacune des têtes, ce procédé étant caractérisé en ce que ladite forme appropriée est une forme arrondie avec au moins un rayon de courbure, en ce qu'on usine collectivement la plaquette soit par photolithogravure à travers un masque, soit par découpe au moyen d'un faisceau laser. Dans une première variante :
- on dépose sur la plaquette au moins un masque comprenant autant de motifs que de composants sur la plaquette, chaque motif présentant, en regard des pièces polaires de chaque composant, un bord de forme arrondie ;
- on grave collectivement par photolithogravure à travers ce (s) masque (s) la plaquette pour donner à tous les composants, au voisinage des pièces polaires, une surface ayant ladite forme arrondie.
Dans une seconde variante, on dirige sur la plaquette un faisceau laser apte à découper au moins en partie la plaquette et on déplace le faisceau laser le long d'un chemin arrondi. De préférence, le faisceau laser est guidé par un jet de liquide à haute pression, par exemple de l'eau.
Brève description des dessins
- la figure 1, déjà décrite, montre une tête magnétique selon l'état de la technique ;
- la figure 2, déjà décrite, montre, en vue de dessus, une tête magnétique avec ses plots de connexion électrique ;
- la figure 3, déjà décrite, montre la même tête en coupe ;
- la figure 4 montre, en vue de dessus, une plaquette avec la partie à graver pour obtenir collectivement, par photolithographie, des têtes avec des surfaces portantes de forme appropriée ;
- la figure 5 montre en coupe la tête, avant dégagement des plots ;
- la figure 6 montre la position d'une partie à graver ; - la figure 7 montre, en perspective, une plaquette après définition de la surface portante et dégagement de plots ;
- la figure 8 illustre une gravure profonde débouchante ;
- la figure 9 montre, en coupe, une gravure non débouchante ;
- les figures 10A à 10E illustrent des étapes d'un autre mode particulier de mise en oeuvre du procédé de l'invention selon une variante à deux gravures symétriques ;
- les figures 11A à 11D illustrent divers profils de surfaces portantes réalisables avec l'invention pour des composants à une ou plusieurs têtes ;
- la figure 12 montre, en coupe, des chemins de découpe par laser ;
- la figure 13 montre en vue de dessus ces chemins de découpe par laser et la zone de dégagement des reprises de contact.
Exposé de modes particuliers de mise en oeuvre
Sur la figure 4, on voit une plaquette 50 avec des composants T. Ces composants comprennent chacun les éléments représentés sur la figure 2. Cette plaquette est obtenue par tout procédé collectif connu et notamment par le procédé décrit dans le document FR-A- 2 747 226 déjà cité. Conformément à la première variante de l'invention, on recouvre cette plaquette d'un masque de forme appropriée pour graver les zones référencées 60. Dans la variante illustrée, ce masque est formé de bandes avec des motifs périodiques présentant chacun un bord avant 62 de forme arrondie appropriée à la réalisation d'une surface portante, et un bord arrière droit 6 . Le bord avant 62 vient chevaucher les pièces polaires des diverses têtes et le bord arrière 64 vient en retrait des plots de connexion.
La figure 5 montre, en coupe, la tête obtenue avec un procédé utilisant un masque selon la figure 4, les plots n'étant pas encore dégagés.
La figure 6 montre la position des parties 60 à graver selon le second procédé, pour obtenir, en plus de la forme désirée pour la surface portante obtenue partiellement avec le premier masque, une reprise de contact sur les plots de la tête.
La figure 7 montre la plaquette une fois la gravure effectuée à travers le masque 60. On voit également sur cette figure le substrat 70 et le superstrat 80 venant recouvrir les têtes. Après gravure, le superstrat et au moins une partie du substrat sont gravés ce qui donne aux surfaces portantes une surface arrondie 72. Par ailleurs, comme décrit précédemment, une étape de gravure supplémentaire permet de dégager les plots de connexion P. Le pourtour de la plaquette n'est pas gravé, ce qui permet de préserver une certaine rigidité.
La figure 8 montre une partie de la plaquette dans le cas où la gravure effectuée débouche sur l'autre face du substrat 70. Le dégagement des plots est obtenu de même, par une gravure supplémentaire qui s'arrête par exemple sur une couche d'arrêt, par exemple en silice, déposée sur le substrat lors de la réalisation des têtes. Dans la variante de la figure 8, la plaquette se trouve ainsi découpée en barrettes contenant chacune une pluralité de têtes dont la surface portante 72 est formée et dont les plots de connexion P sont dégagés. Il reste à séparer ces têtes, ce qui peut être obtenu par sciage.
La figure 9 montre un mode de mise en oeuvre différent où la gravure ne débouche pas. Les références désignent les mêmes éléments que sur la figure 8. A titre d'exemple nullement limitatif, la gravure peut avoir une largeur (dans le plan de la figure) de 50 μm et le plateau gravé au niveau des plots de connexion une largeur (toujours dans le plan de la figure) de 500 μm. Le superstrat 70 peut éventuellement être aminci avant le dépôt du masque, jusqu'à obtenir une épaisseur d'environ 150 μm, alors que le substrat 60 peut présenter une épaisseur d'environ 500 μm. Le fond de la gorge gravée peut être, par exemple, à 300 μm du haut du superstrat.
On peut poursuivre le procédé en séparant les barrettes par un amincissement (pleine tranche) du substrat 70 jusqu'à atteindre le niveau de la gorge gravée .
Cette première variante de l'invention peut être mise en oeuvre autrement en procédant à deux gravures symétriques avec retournement de la plaquette comme illustré sur les figures 10A à 10E. Sur la figure 10A, on voit, en coupe, le substrat 70, les têtes T, le superstrat 80 et le masque 60. La forme de celui-ci apparaît sur la figure 10B, avec ses motifs délimités par un bord avant 62 de forme arrondie et un bord arrière 64 de forme rectiligne. La figure 10C montre une première gravure permettant de former les surfaces portantes 62. Le dégagement des plots de connexion n'est pas représenté sur cette figure. Il peut être réalisé par une gravure (photolithographique ou mécanique) effectuée simultanément, avant ou après la première gravure. On retourne ensuite l'ensemble, comme représenté sur la figure 10D, et l'on dépose sur le superstrat 70 un second masque 90 que l'on grave en s 'alignant sur la gravure précédemment effectuée. On opère alors une seconde gravure symétrique de la première et affectant le superstrat 70 jusqu'au niveau des têtes, ce qui donne naissance à une surface 62' (Fig. 10E) . Il reste ensuite à séparer les têtes par exemple par sciage ou par cassage suivi éventuellement d'un polissage de la surface portante.
L'avantage du mode de mise en oeuvre à une seule gravure débouchante (Fig. 8) par rapport au mode de mise en oeuvre à deux gravures symétriques (Fig. 10A à 10E) est qu'il n'y a pas d'alignement de masque à prévoir, par ailleurs le profil de gravure est continu, ce qui facilite l'étape de finition.
Mais la double gravure symétrique présente elle aussi des avantages. En effet, la technique de fabrication des têtes intégrées entraîne souvent la présence de matériaux de natures différentes dans l'épaisseur de la plaquette. Par exemple, si l'on réalise les têtes dans des caissons d'oxyde de silicium sur un substrat de silicium et si l'on dépose un * superstrat en silicium, on trouvera, au milieu d'un ensemble presque entièrement constitué de silicium, une fine couche d'oxyde de silicium contenant à certains endroits les parties actives des têtes. La gravure profonde utilisée dans le premier mode de mise en oeuvre pourrait être difficile à réaliser dans un tel matériau non homogène. Dans ce cas, la gravure double face peut être avantageuse. Les deux gravures s'arrêteront sur la couche de nature différente (par exemple en oxyde de silicium) . La fine couche subsistant pourra ensuite être gravée ou sciée ou cassée. Une finition ultérieure enlèvera les débris et mettra le profil de cette fine couche en conformité avec le reste de la surface portante usinée par les gravures profondes.
Les figures 11A à 11D, enfin, illustrent quelques exemples de profils de surface portante pouvant être obtenues grâce à l'invention. Sur la figure 11A le rayon de courbure R est unique. Sur la figure 11B, le rayon de courbure change et prend une valeur RI au centre puis une valeur R2 sur les côtés et une valeur R3 aux extrémités. Sur la figure 11C, la surface portante contient deux parties concaves 92χ et 922. La figure 11D montre un profil double 94ι, 942 utile pour une tête double appelée aussi composant à deux têtes. Naturellement, ces exemples ne sont pas limitatifs, des composants à plus de deux têtes sont également envisageables .
Les figures 12 et 13 illustrent la seconde variante de l'invention utilisant une découpe par faisceau laser guidé notamment par un jet de liquide à haute pression, par exemple de l'eau.
La figure 12 montre un superstrat 40 préalablement usiné par un rainurage 102 placé de telle sorte qu'après assemblage sur le substrat 30 le rainurage se trouve au-dessus des plots de connexion 24χ, 242. La découpe laser s'effectue suivant le chemin marqué par les flèches 104. Le faisceau laser est symbolisé par les flèches 100. Cette découpe donne aux composants, au voisinage des pièces polaires, la forme arrondie souhaitée. On peut dégager les plots de connexion en dégageant la partie située au-dessus du rainurage 102, par exemple par découpe laser ou sciage mécanique le long des lignes 106 et 108. Contrairement au chemin de découpe 104, qui est arrondi, les lignes 106 et 108 sont rectilignes.
La figure 13 montre en vue de dessus ces différents chemins de découpe laser 104 et lignes de découpe 106, 108.
Une ultime découpe le long de la ligne 110 permet de séparer les têtes.
De multiples variantes sont possibles pour dégager les plots de contact :
- soit par rainurage débouchant du superstrat (scie, meule, laser ou tout autre moyen de gravure) avant assemblage sur le substrat,
- soit par rainurage non débouchant du superstrat (meule ou gravure quelconque) avant assemblage, puis découpe
1) partielle suivant le chemin 106 (laser à puissance réduite, scie, gravure partielle, *
... ) et complète suivant les chemins 108 et
110 (laser, scie) ,
2 ) ou bien partielle sur toute la zone à dégager entre les chemins 106 et 108 (meule, gravure quelconque) , puis découpe complète suivant le chemin 110,
- soit par photolithographie puis gravure du superstrat entre les chemins 106 et 108 suivie d'une découpe (scie, laser, ...) suivant le chemin 110.
Les avantages procurés par l'invention, quel que soit le mode de mise en oeuvre (photolithogravure ou découpe laser) sont nombreux par rapport aux techniques antérieures :
- tout d'abord, le procédé de l'invention permet d'usiner plusieurs milliers de têtes à la fois ;
- ensuite, il conduit à une bonne reproductibilité de la forme donnée à chaque surface portante ; or le rayon de courbure de la tête, près de l'entrefer est déterminant dans la qualité du contact tête/support d'enregistrement ; - l'invention permet en outre d'obtenir des formes complexes avec une courbure changeant le long de la surface portante, ce qui était très difficile voire impossible avec une technique mécanique, surtout pour les petites tailles de têtes ;
- contrairement aux meules, qui ont souvent besoin d'être redressées, ni les masques ni le laser utilisés dans l'invention ne s'usent, ce qui élimine les dérives de forme au cours du temps .
Les procédés qui viennent d'être décrits peuvent être combinés avec un procédé permettant d'amincir la partie des têtes en contact (ou en quasi-contact) avec le support d'enregistrement. Un tel procédé est décrit et revendiqué dans la demande de brevet français n°98 09642 intitulée "Procédé de réalisation collective de têtes magnétiques intégrées à surface portante de hauteur déterminée" déposée par le présent Demandeur. Les opérations d'amincissement peuvent procéder ou suivre les opérations de formation de la surface portante ou même être concomitantes.

Claims

REVENDICATIONS
1. Procédé de réalisation collective de têtes magnétiques intégrées dans lequel : - on réalise, sur une plaquette (50), une pluralité de composants (T) comprenant chacun des moyens (10χ, 102, 14, 16x, 162, 18, 20ι, 202) aptes à constituer au moins une tête magnétique et notamment des pièces polaires (10ι, 102) séparées par un entrefer (14),
- on usine collectivement la plaquette (50) pour donner à tous les composants, au voisinage des pièces polaires (10ι, 10 ) , une surface (72) ayant une forme appropriée ; - on sépare ensuite les composants, la surface (72) ainsi gravée au voisinage des pièces polaires (10ι, 102) constituant la surface portante de chacune des têtes, ce procédé étant caractérisé en ce que ladite forme appropriée est une forme arrondie avec au moins un rayon de courbure, en ce qu'on usine collectivement la plaquette (50) soit par photolithogravure à travers un masque (60), soit par découpe (104) au moyen d'un faisceau laser (100) .
2. Procédé selon la revendication 1, dans lequel :
- on dépose sur la plaquette (50) au moins un masque (60) comprenant autant de motifs que de composants sur la plaquette, chaque motif présentant, en regard des pièces polaires (10ι,
102) de chaque composant, un bord de forme arrondie (62) ; - on grave collectivement par photolithogravure à travers ce (s) masque (s) (60) la plaquette (50) pour donner à tous les composants, au voisinage des pièces polaires (10ι, 102) , une surface (72) ayant ladite forme arrondie.
3. Procédé selon la revendication 1, dans lequel on dirige sur la plaquette un faisceau laser (100) apte à découper au moins en partie la plaquette (50) et on déplace le faisceau laser (100) le long d'un chemin arrondi (104) .
4. Procédé selon la revenidcation 3, dans lequel le faisceau laser est guidé par un jet de liquide à haute pression.
5. Procédé selon l'une quelconque des revendications 2 et 3, dans lequel chaque composant comprend, à l'avant, lesdites pièces polaires (10ι, 102) et, à l'arrière, des plots de connexion électrique (24ι, 242, P) , et dans lequel on dégage ces plots de connexion.
6. Procédé selon la revendication 1, dans lequel ladite photolithogravure ou ladite découpe laser est traversante.
7. Procédé selon la revendication 2, dans lequel on dépose un premier masque (60) sur une première face de la plaquette (50) et l'on effectue une première photolithogravure non traversante pour donner aux composants la surface arrondie appropriée, on dépose ensuite un second masque (90) sur une deuxième face (70) de la plaquette et l'on effectue une seconde photolithogravure de la plaquette (50) .
8. Procédé selon la revendication 7, dans lequel la seconde gravure est non traversante et dans lequel on effectue une gravure supplémentaire.
9. Procédé selon la revendication 3, dans lequel on effectue une première découpe laser non traversante pour donner aux composants la surface arrondie appropriée et dans lequel on effectue une gravure supplémentaire .
10. Procédé selon la revendication 1, dans lequel la plaquette (50) comprend un substrat (70) supportant la pluralité de composants (T) et un superstrat (80) recouvrant les composants.
11. Procédé selon la revendication 8 dans lequel on effectue un rainurage (102) dans le superstrat lequel rainurage vient se placer au-dessus des plots de connexion.
12. Procédé selon la revendication 8, dans lequel on amincit le superstrat (80) et/ou le substrat (70) avant d'effectuer la photolithogravure ou la découpe laser.
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