WO2000009937A1

WO2000009937A1 - Dispositif generateur de brouillard

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Publication number: WO2000009937A1
Application number: PCT/JP1999/004368
Authority: WO
Inventors: Wataru Natsu; Takeshi Kamima
Original assignee: KURODA SEIKO CO Ltd; Kuroda Gauge Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Kuroda Precision Industries Ltd; KURODA SEIKO CO Ltd
Priority date: 1998-08-14
Filing date: 1999-08-12
Publication date: 2000-02-24
Anticipated expiration: 2001-02-14
Also published as: EP2006597B1; US6592051B1; EP1106902B1; DE69939746D1; EP1106902A4; KR20010085275A; EP1106902A1; EP2006597A2; KR100460394B1; EP2006597A3

Description

糸田 β ミスト供給装置技術分野

本発明は、例えば工作機械の加工点に潤滑や冷却等のためのミストを供給するミスト供給装置に関するものである。背景技術

一般に、工作機械によりワークを加工する際には、潤滑や冷却等のための大量のオイルを加工点に噴射する必要がある。この際に、オイルは工作機械の主軸と工具にそれぞれ形成してあるオイル路を通して加工点に噴射するか、或いはそれらのオイル路を通さずに加工点に直接噴射するようになっている。

ところが、何れの場合にもオイルを液体状として加工点に噴射するため、多量のオイルが加工点の周囲に飛散し、オイルを無駄に消費する上に環境を汚染するという問題がある。また、オイルは循環させて使用するため、オイルを冷却する手段が必要となる。更に、オイルを冷却してもオイルにバクテリアが発生し、オイルが腐敗することがある。

このような問題に対処するため、近年では微量のオイルをミスト化して加ェ点に噴射する方式、所謂、微量潤滑（M Q L：ミニマム ·クウオンティティ · ルブリケーシヨン）方式が提案され、一部は実用化されている。この種の方式を採用したミスト供給装置は、オイルと空気を所謂 2流体ノズルに圧送することによりミストを発生し、発生したミストをミスト室に収容し、その後に工作機械に供給するようになっている。この際に、オイルをノズルに圧送するためのポンプは、プランジャを往復駆動することにより定量のオイルを間欠的に吐出し、全吐出量をプランジャの往復頻度により制御するようになっている。発明の開示

この種のオイル供給装置は大きい粒子と小さい粒子が混在したミストを供給するため、ミストを加工点に直接噴射する場合は問題にならないが、特にミストを工作機械の主軸と工具のミスト路を通して加工点に噴射する場合には、高速回転する主軸の遠心力により大きい粒子のミストがミスト路の内壁に付着し、加工点に到達し得るミストの量が供給したミス卜の量よりも少なくなり、工作機械の潤滑能率や冷却能率を低下させ、加工能率を低下させることがある。また、主軸の回転が停止した際には、主軸と工具のミスト路の内壁に付着したオイルがワーク上に落下し、ワークや環境を汚染し易い。そして、ポンプが定量のオイルを間欠的に吐出するため、特に多量のオイルを急激に吐出した場合には、オイルの一部がミスト化せずに液体のまま還流することがある。この場合には、ミストの濃度が低下し、深孔ドリル加工やタップ加工を行う工作機械に使用できないという問題が発生する。

更に、この種のミスト供給装置をマシニングセンタ等に使用する場合には、マシニングセンタはミストを主軸と工具のミスト路を通してワークに噴射すると共に、工具を自動的に交換するようになっている。このため、工具のサイズが異なる毎にそのミスト路の径も異なり、工具から加工点に噴射するミス卜の流量と圧力が変化する。例えば、ミスト路の径の小さい工具に交換した場合には、ミストの圧力が上昇して切粉等の排除能力を維持できる反面で、ミス卜の流量が減少して潤滑能力や冷却能力を低下させるという問題が発生する。一方、ミスト路の径の大きい工具に交換した場合には、ミストの流量が増大して冷却能力や潤滑能力を維持できる反面で、ミストの圧力が低下して切粉等の排除能力を低下させるという問題が発生する。

本発明の目的は、上述の問題点を解消し、均一化された小さい粒子だけから成るミス卜を供給し得るミスト供給装置を提供することにある。

本発明の他の目的は、ミスト供給圧力を所定に維持し得ると共に一時的に高め得るミスト供給装置を提供することにある。本発明の更に他の目的は、ミストを常に適切な濃度で供給し得るミスト供給装置を提供することにある。

本発明に係るミスト供給装置は、液体を収容するタンクと、前記液体をミスト化するミスト化手段と、該ミスト化手段が発生したミストをミスト供給口に送出するミスト送出手段とから成るミス卜供給装置において、前記ミスト化手段により生成した一次ミストを収容して該一次ミストの中の大きい粒子を内壁に付着させて分離する空間部から成る第 1の分離手段と、該第 1 の分離手段で得られた二次ミス卜を流通させて該二次ミス卜の中の大きい粒子を内壁に付着させて分離する管体から成る第 2の分離手段とを備えたことを特徴とする。

また、本発明に係るミスト供給装置は、液体を収容するタンクと、該夕ンクからの前記液体と圧力気体源からの気体とから前記液体をミスト化するミスト化手段と、該ミスト化手段により生成したミストを収容するミスト室とから成るミスト供給装置において、前記圧力気体源と前記ミスト室とを圧力制御手段を介して接続し、ミスト供給圧力を制御可能としたことを特徴とする。

更に、本発明に係るミスト供給装置は、液体を収容するタンクと、該夕ンクからの前記液体と圧力気体源からの気体とから前記液体をミスト化するミスト化手段と、該ミスト化手段により生成したミストを収容するミスト室とから成るミスト供給装置において、前記液体を前記タンクから前記ミスト化手段に流通させる流体路の途中に、前記液体を収容する副タンクを備え、前記液体が前記ミスト化手段に連続的に流れるようにしたことを特徴とする。図面の簡単な説明

図 1はミスト供給装置の第 1の実施例の正面図である。

図 2は縦断面図である。

図 3は工作機械に接続した状態のブロック図である。図 4はミスト分離手段の斜視図である。

図 5はミスト分離手段の変形例の斜視図である。

図 6は第 2の実施例のブロック図である。

図 7は外部パイロット式の圧力制御弁の断面図である。

図 8はパイ口ット路の変形例の部分プロック図である。

図 9は内部パイ口ッ卜式の圧力制御弁を使用した場合の部分プロック図である。

図 1 0は内部パイ口ット式の圧力制御弁の断面図である。

図 1 1は内部タンクを備えた場合の部分ブロック図である。

図 1 2は第 3の実施例の部分プロック図である。

図 1 3は第 3の実施例の変形例の圧力制御弁の断面図である。

図 1 4は第 4の実施例のブロック図である。

図 1 5は部分拡大ブロック図である。

図 1 6は副タンクの位置の変形例の部分拡大ブロック図である。発明を実施するための最良の形態

本発明を図示の実施例に基づいて詳細に説明する。

図 1はミスト供給装置の第 1の実施例の正面図、図 2は縦断面図であり、例えば略角筒状の主タンク 1の内部の上下は仕切板 2により仕切られ、仕切板 2の下部はオイル 3を収容するオイル室 4とされ、仕切板 2の上部は主ミスト室 5とされている。仕切板 2には中央の通孔 2 aと周辺の通孔 2 bが形成されており、仕切板 2の上部の中央には内部タンク 6が配置され、内部夕ンク 6の内部は通孔 2 aを含む内部ミスト室 7とされている。内部タンク 6 の天板には、オイル 3を圧力空気によりミスト化する噴霧ノズル 8が設けられている。

主タンク 1の底壁外面には、オイル 3を噴霧ノズル 8に圧送するためのポンプ 9が設置されている。ポンプ 9はオイル 3を加圧するプランジャ 9 a と、このプランジャ 9 aを手動又は空気圧により操作する操作部 9 bと、ォィル 3の逆流を防止する逆止弁 9 cとを有し、ポンプ 9には吐出頻度を調整する夕イマ 1 0とドレンコック 1 1が接続されている。プランジャ 9 aのォンとオフは所定時間毎に繰り返され、オイル 3の一定量が噴霧ノズル 8に供給される所謂パルス供給が可能とされている。

主タンク 1の天壁にはミスト供給口 1 aが設けられており、このミスト供給口 1 aには接続ブロック 1 2が備えられている。接続ブロック 1 2には管体から成るミスト路 1 3が接続され、ミスト路 1 3には例えば後述する工作機械が接続可能とされている。主タンク 1の側壁にはオイル 3をオイル室 4 に補給するための補給ブロック 1 bが設けられており、この補給ブロック 1 bにはキャップ 1 4が螺合されている。また、主タンク 1にはオイル 3の表面位置を表示するための液面計 1 5と、主ミスト室 5の圧力を表示する圧力計 1 6と、後述する圧力調整弁の調整ノブ 1 7とが設けられている。

図 3のプロック図に示すように、オイル室 4とポンプ 9は逆支弁 2 0を備えたオイル路 2 1を介して接続され、ポンプ 9の吐出口 9 dは逆支弁 2 2を備えたオイル路 2 3を介して噴霧ノズル 8のオイル流入口 8 aに接続されている。圧力空気源 2 4はフィル夕 2 5、減圧弁 2 6及び圧力計 2 7を備えた空気路 2 8を介して噴霧ノズル 8の空気流入口 8 bに接続されている。タイマ 1 0は空気路 2 9を介して圧力計 2 7の後方の空気路 2 8に接続され、空気路 2 9は可変絞り 3 0を備えた空気路 3 1を介して主ミスト室 5に接続されている。これらのオイル路 2 3、空気路 2 8 、 3 1はオイル 3の中を通るように配設されている。

図 4の斜視図にも示すように、内部タンク 6の側壁の上部には接続ブロック 3 2が設けられ、内部タンク 6の側壁の外周面には螺旋状の細管から成るミスト分離手段 3 3が設けられている。ミスト分離手段 3 3の内部開口 3 3 aは接続ブロック 3 2に連結され、ミスト分離手段 3 3の外部開口 3 3 bは主ミス卜室 5の下部に配置されている。

このような構成のミス卜供給装置は、図 3に示すようにミスト路 1 3を介してマシニングセン夕等の工作機械 4 0に接続される。この際には、主ミス卜室 5からミスト路 1 3に流出したミス卜は、主軸 4 1のミスト路 4 2とェ具 4 3のミスト路 4 4を通ってワーク Wに噴射する。なお、図 3では圧力計 1 6がミスト路 1 3に配設されている。

圧力空気源 2 4からの圧力空気は減圧弁 2 6を通って所定圧となり、噴霧ノズル 8とタイマ 1 0に流入する。また、減圧弁 2 6を通った所定圧の圧力空気は、可変絞り 3 0を通って低圧空気となり、主ミスト室 5を加圧する。そして、ポンプ 9が作動して定量のオイル 3が噴霧ノズル 8のオイル流入口 8 aに所定間隔で流入する。噴霧ノズル 8では、オイル流入口 8 aに流入したオイル 3と空気流入口 8 bに流入した圧力空気とからオイル 3と空気の混合による一次ミストが発生し、噴射口 8 cから内部ミスト室 7内に一次ミス卜となって噴出する。

一次ミストは内部ミスト室 7に充満し、この間に一次ミストの中の小さい粒子は上部に位置し、大きい粒子 3 aは内部ミスト室 7の下部に下降する。内部ミス卜室 7の下部に降下したミストは内部タンク 6の内壁に付着し、内部ミスト室 7には小さい粒子から成る二次ミストのみが残る。そして、内部タンク 6に付着して液化した大きい粒子 3 aは、仕切板 2の通孔 2 aからォィル室 4に落下する。

内部ミスト室 7内の二次ミストは、接続ブロック 3 2からミスト分離手段 3 3を通って主ミス卜室 5の下部に噴出する。このとき、ミスト分離手段 3 3は螺旋状の細管となっているので、二次ミストの速度はミスト分離手段 3 3を通過する間に加速し、ミスト分離手段 3 3の内壁へ衝突する速度も大きくなり、大きい粒子が内壁へ付着し易くなる。更に、二次ミストが螺旋路を通ることによる遠心力を受け、二次ミス卜の中の大きい粒子がミスト分離手段 3 3の内壁に付着する。これにより、小さい粒子から成る三次ミストのみが外部開口 3 3 bから主ミスト室 5に噴出する。第 2の分離手段 3 3の内壁に付着した大きな粒子は、内壁を伝わって外部開口 3 3 bから主ミスト室 5 内に滴下する。

主ミスト室 5内に噴出した三次ミストは下部から上部に向かって上昇し、この間に三次ミストの中の大きい粒子が主タンク 1の内壁に付着し、小さい粒子のみから成る四次ミストが主ミスト室 5の上部に発生する。主ミスト室 5の下部に液化して溜った大きい粒子は、仕切板 2の通孔 2 bからオイル室 4に落下する。そして、小さい粒子だけから成る四次ミストはミスト供給口 l a、供給ブロック 1 2、ミスト路 1 3を介して工作機械 4 0に流出し、ェ作機械 4 0では主軸 4 1のミスト路 4 2と工具 4 3のミスト路 4 4を通ってワーク Wに噴射する。

このように、第 1の実施例では内部ミスト室 7、ミスト分離手段 3 3及び主ミスト室 5においてミス卜から大きい粒子を順次に分離するので、均一化した小さい粒子のみから成るミストを供給できる。従って、ミストを工作機械 4 0の高速回転する主軸 4 1 と工具 4 3のミスト路 4 2 、 4 4を通してワーク Wに供給する場合でも、ミストがミスト路 4 2、 4 4の内壁に付着することが少なく、微量潤滑方式を満足させることが可能となり、オイル 3の確実な供給と消費量の削減が可能となる。

なお、この第 1の実施例では螺旋状の細管から成るミスト分離手段 3 3を設けたが、図 5に示すように内径が内部開口 4 5 aから外部開口 4 5 bに向かって徐々に縮径する直線状の細管から成るミスト分離手段 4 5を設け、外部開口 4 5 bから二次ミストを主タンク 1の内壁に衝突させるようにしてもよい。二次ミストはミスト分離手段 4 5を通過する際に加速し、二次ミストの中の大きい粒子がミスト分離手段 4 5の内壁に付着して三次ミストが発生し、上述と同様な効果を達成できる。この場合に、ミスト分離手段 4 5から噴射した二次ミストを主タンク 1の内壁ではなく、別途設けた板体部に衝突させてもよい。

また、第 1の実施例では 1個の噴霧ノズル 8を設けたが、複数個の噴霧ノズル 8を設けることも可能である。そして、ポンプ 9の吐出頻度は夕イマ 1

0の動作により調整したが、この夕イマ 1 0を動作させる手段は従来のものを利用することができる。また、オイル路 2 3、空気路 2 8 、 3 1はオイル

3の中を通したが、オイル 3の中を通さないようにすることができる。更に、ミスト供給口 1 aは 1つとしたが、複数としてもよい。

図 6は第 2の実施例のブロック図であり、第 1の実施例の内部タンク 6が省かれ、噴霧ノズル 8は主タンク 1の天壁に取り付けられている。また、空気路 2 8には 2方向電磁弁 5 1と可変絞り 5 2が増設され、空気路 2 9は 2 方向電磁弁 5 1と可変絞り 5 2の間で空気路 2 8から分岐され、空気路 3 1 には第 1の実施例の可変絞り 3 0に代えて圧力制御弁 5 3と圧力計 5 4が配置されている。圧力制御弁 5 3は外部パイロット式とされ、そのパイロット路 5 5は主ミスト室 5に接続されている。

図 7は圧力制御弁 5 3の断面図であり、ハウジング 6 1には空気路 3 1力、ら圧力空気を導入する導入口 6 2、圧力空気を後流の空気路 3 1に排出する排出口 6 3、これらの導入口 6 2から排出口 6 3に圧力空気を流通させる空気路 6 4、この空気路 6 4を流通する圧力空気の量を弁座 6 5と共働して調整する弁体 6 6、二次側つまり主ミスト室 5の圧力をパイロット路 5 5と圧カロ 6 7を介して導入するパイロット室 6 8、リリーフ弁 6 9を一体に備えてパイロット室 6 8の圧力に応じて変位するダイアフラム 7 0、弁体 6 6に連結すると共にリリーフ弁 6 9を開閉する弁棒 7 1、弁体 6 6を支持した支持ばね 7 2、ダイアフラム 7 0の付勢力を調整する調圧ばね 7 3、この調圧ばね 7 3の付勢力を手動で調整する調整ノブ 7 4、リリーフ弁 6 9からの空気を逃がすリリーフ室 7 5等が設けられている。

2方向電磁弁 5 1が始動し、噴霧ノズル 8では第 1の実施例と同様に一次ミストが噴射口 8 cから主ミスト室 5に噴射する。このとき、主ミスト室 5 内の圧力がパイロット路 5 5を通って圧力制御弁 5 3に入力する。圧力制御弁 5 3では、パイ口ット路 5 5からの圧力が圧力口 6 7を通ってパイロット室 6 8に流入するので、ダイアフラム 7 0が調圧ばね 7 3の付勢力に抗して上方に変位する。これにより、弁体 6 6が支持ばね 7 2の付勢力により弁座

6 5に当接し、主ミスト室 5内の圧力が所定になり、所定圧のミストがミスト路 1 3 、 4 2 、 4 4を通ってヮ一ク Wに噴射する。この際に、工具 4 3のミスト路 4 4から噴射するミス卜の圧力を増加又は減少させる場合には、調整ノブ 7 4を回して調整する。

ここで、ミスト路 4 4の径の小さい工具 4 3への工具交換が生じた場合には、交換した工具 4 3のミスト路 4 4によってミストの流れが規制され、主ミスト室 5内の圧力が一時的に上昇する。しかしながら、主ミスト室 5内の圧力が圧力制御弁 5 3のパイロット室 6 8に入力し、ダイアフラム 7 0が調圧ばね 7 3の付勢力に杭して上方に変位する。これにより、リリーフ弁 6 9 が弁棒 7 1から離間し、パイロット室 6 8内の圧力がリリーフ室 7 5に逃げ、主ミスト室 5内の圧力が所定の大きさに戻る。

一方、深孔ドリル、タップ等のミスト路 4 4の径の大きい工具 4 3へのェ具交換が生じた場合には、交換した工具 4 3のミスト路 4 4によってミストの流れが解放され、主ミスト室 5内の圧力が一時的に低下する。しかしながら、主ミスト室 5内の圧力がパイロット路 5 5を通って圧力制御弁 5 3のパィロット室 6 8に入力し、ダイアフラム 7 0が調圧ばね 7 3の付勢力に従つて下方に変位する。これにより、弁体 6 6が弁座 6 5から離間し、圧力空気が空気路 6 4を通って主ミスト室 5に流入し、主ミスト室 5内の圧力が所定の大きさに戻る。

このように、第 2の実施例では圧力空気源 2 4からの圧力空気を圧力制御弁 5 3を介して主ミスト室 5内に導入し、工具 4 3からのミストの供給圧力を所定の大きさに制御するようにしたので、工作機械 4 0に利用して工具交換による工具 4 0のミスト路 4 4の径の変化が生じた場合でも、ミストをェ具 4 3から所定圧で噴射することができ、冷却能力や潤滑能力を良好に保持できる上に、切粉等の排除能力を損なうことがない。

なお、第 2の実施例では圧力制御弁 5 3の入力圧を主ミス卜室 5からパイロット路 5 5を介して導入したが、図 8の部分ブロック図に示すように、ミスト路 1 3からパイロット路 5 5 ' を介して導入すれば、より実際的な圧力の変動に対応できる。また、図 9の部分ブロック図と図 1 0の断面図に示すように、外部パイロット式の圧力制御弁 5 3に代えて圧力口 6 7 ' を内部に有する内部パイロット式の圧力制御弁 5 3 ' を採用すれば、パイロット路 5 5の省略が可能となる。そして、図 1 1の部分ブロック図に示すように、第 1の実施例と同様な内部タンク 6を有する場合に適用できることは云うまでもない。

図 1 2は第 3の実施例の部分ブロック図であり、第 1の実施例と第 2の実施例をほぼ併せた構成とされている。そして、第 2の実施例と同様な機能の圧力制御弁 5 3が設けられ、パイロット路 5 5にはその内部の圧力を大気中に放出し得る第 2の減圧弁 8 0が配設されている。内部タンク 6は主タンク 1の天壁に固定されており、空気路 3 1は内部ミスト室 7に接続され、パイロット路 5 5は主ミス卜室 5に接続されている。第 2の減圧弁 8 0は例えば 3方向電磁弁とされ、工作機械 4 0の制御手段の切粉排除信号等により制御されている。

この第 3の実施例では、ワーク Wを加工した後に切粉等を排除する際に、その排除信号が第 2の減圧弁 8 0に入力し、パイロット路 5 5内の圧力空気が大気中に放出する。これにより、圧力制御弁 5 3が全開になり、圧力空気源 2 4から圧力空気が内部ミスト室 7に流入する。そして、内部ミスト室 7 と主ミスト室 5の圧力が急激に上昇し、工具 4 3から噴出するミス卜の量が急増し、切粉等を良好に排除する。

図 1 3は上述の第 3の実施例の変形例の圧力制御弁 5 3 " の断面図であり、図 1 2に示した第 3の実施例の圧力制御弁 5 3に、ダイアフラム 7 0を調圧ばね 7 3側に付勢して差圧を発生するための差圧発生用ばね 7 6が追加されている。この差圧発生用ばね 7 6の付勢力は調圧ばね 7 3よりも弱くされ、弁体 6 6の移動量が調節されている。

例えば、深孔加工において切粉処理を容易にするためにステツプ送りを行う力この際にはミストを通常よりも高い圧力で供給する必要がある。第

3の実施例のように通常の圧力制御弁 5 3を設けた場合には、上述したように内部ミスト室 7と主ミスト室 5の圧力が急激に上昇し、切粉等を良好に排除できる。しかしながら、圧力空気源 2 4からの圧力空気と内部ミスト室 7 の圧力が同等となってしまい、ミストを生成することが困難になる虞がある。

この第 3の実施例の変形例は、深孔加工の場合にもミストを確実に生成できるようになつている。即ち、工作機械 4 0の主軸 4 1の動きの信号が第 2の減圧弁 8 0に入力すると、第 2の減圧弁 8 0の流路が切り換わり、パイロット路 5 5及びパイロット室 6 8内の空気を大気中に放出する。これにより、ダイアフラム 7 0がパイロット室 6 8側に調圧ばね 7 3の付勢力により変位し、弁体 6 6が全開しょうとする。

しかしながら、差圧発生用ばね 7 6がダイアフラム 7 0の大きい変位を抑制するので、弁体 6 6は全開の寸前まで移動した位置で停止する。この状態で、弁体 6 6の開口分に応じて圧力空気が空気路 6' 4を流通して内部ミスト室 7に流入すると、内部ミスト室 7内の圧力が上昇してミスト供給圧力が上昇する。このとき、弁体 6 6は差圧発生用ばね 7 6の付勢力により全開になっていないので、噴霧ノズル 8の空気流入口 8 bと噴射口 8 cの間に差圧が発生し、ミストが連続して発生する。従って、深孔加工時においてもミストをワーク Wに供給することが可能となる。

このようにして所定時間が経過してワーク Wの加工が終了し、終了信号が工作機械 4 0から、或いは手動により第 2の減圧弁 8 0に入力すると、第 2の減圧弁 8 0が切り換わってパイロット路 5 5は元のように主ミスト室 5 と連通し、主ミスト室 5の圧力が圧力制御弁 5 3 " のパイロット室 6 8に加わってその圧力を設定値に戻し、ミスト供給圧力を所定に維持する。

このように第 3の実施例の変形例では、深孔加工のようにミストを一定の時間だけ高い圧力で供給する場合に、ミストを確実に供給することが可能となる。

図 1 4は第 4の実施例のブロック図、図 1 5は部分拡大ブロック図であり、第 2の実施例のオイル路 2 3に副タンク 8 1が配設されている。そして、副タンク 8 1と噴霧ノズル 8を連結するオイル路 2 3 aはサイホンチューブとされている。オイル路 2 3 aの一端は副タンク 8 1内のオイル 3に浸漬され、他端は噴霧ノズル 8のオイル流入路 8 aに接続されている。これにより、副タンク 8 1内のオイル 3は、サイホン作用により副タンク 8 1から噴霧ノズル 8に連続的に流れるようになつている。

2方向電磁弁 5 1が始動してポンプ 9が作動すると、オイル 3がオイル室 4から副タンク 8 1内に一定量ずつ所定間隔で流入し、その後にサイホン作用によりオイル路 2 3 aを通って噴霧ノズル 8に連続して流入する。噴霧ノズル 8では第 2の実施例と同様に一次ミス卜が噴射口 8 cから主ミスト室 5 に噴射する。

ここで、ミスト路 4 4の径の大きい工具 4 3への工具交換が生じた場合には、交換した工具 4 3のミスト路 4 4によってミストの流れが解放され、主ミス卜室 5内の圧力が一時的に低下する。しかしながら、主ミスト室 5内の圧力が圧力制御弁 5 3に入力し、圧力制御弁 5 3が主ミスト室 5内の圧力を所定に戻す。このとき、ポンプ 9は一度に多量のオイル 3を吐出するが、この多量のオイル 3は副タンク 8 1に一旦流入し、その後に副タンク 8 1内のオイル 3は、サイホン作用により副タンク 8 1から噴霧ノズル 8に連続的に流れる。

このように、第 4の実施例ではオイル室 4内のオイル 3力、ポンプ 9の作用により副タンク 8 1に間欠的に流入しても、副タンク 8 1内のオイル 3はサイホン作用により噴霧ノズル 8に連続的に流れる。従って、ポンプ 9の吐出量が急激に増加しても、オイル 3の全量は副タンク 8 1内に一旦留まり、噴霧ノズル 8へは定速度で連続的に流れる。

このように、第 4の実施例では多量のオイル 3が噴霧ノズル 8に急激に流れることはなく、ミスト化せずに噴霧ノズル 8から液体のまま落下することはない。また、噴霧ノズル 8は常に適切な濃度のミストを生成でき、高い濃度のミストを必要とする深孔ドリル加工やタップ加工を行う工作機械 4 0に使用することが可能となる。

なお、図 1 6に示すように副タンク 8 1を噴霧ノズル 8の上方に配置し、副タンク 8 1と噴霧ノズル 8をサイホンチューブでないオイル路 2 3 bにより連結すれば、副タンク 8 1内のオイル 3が重力作用により噴霧ノズル 8に連続的に流れるようになり、上述と同様な効果を達成できる。産業上の利用可能性

本発明に係るミスト供給装置は、ミスト化手段が生成した一次ミストの中の大きい粒子を空間部から成る第 1の分離手段で分離して小さい粒子から成る二次ミストを生成すると共に、二次ミストの中の大きい粒子を管体から成る第 2の分離手段により分離して更に小さい粒子から成る三次ミス卜を生成するので、均一化された小さい粒子だけから成るミストを供給できる。また、本発明に係るミスト供給装置は、圧力気体源とミスト室を圧力制御手段を介して接続してミスト供給圧力を制御可能としたので、圧力制御手段によりミスト供給圧力を所定に維持すれば、工作機械に利用して工具交換による工具の流体路の径の変化が生じた場合でも、冷却能力や潤滑能力を良好に保持できる上に、切粉等の排除能力を損なうことはない。また、圧力制御手段によりミスト供給圧力を一時的に高めれば、深孔加工の際にも切粉等の排除能力を良好に維持できる。

更に、本発明に係るミスト供給装置は、液体をタンクからミスト化手段に流通させる流体路の途中に液体を収容する副タンクを備えたので、液体の量が増加した場合でも、その液体が副タンクに一旦留まり、副タンクからミス卜化手段へは連続的に流れ、ミス卜化手段に多量の液体が急激に流れることはない。従って、ミスト化手段は常に適切な濃度のミストを生成でき、濃度の高いミストを必要とする工作機械にも容易に対応できる。

Claims

言青求の範囲

1 . 液体を収容するタンクと、前記液体をミスト化するミスト化手段と、該ミスト化手段が発生したミストをミスト供給口に送出するミスト送出手段とから成るミスト供給装置において、前記ミスト化手段により生成した一次ミストを収容して該一次ミス卜の中の大きい粒子を内壁に付着させて分離する空間部から成る第 1の分離手段と、該第 1の分離手段で得られた二次ミストを流通させて該二次ミストの中の大きい粒子を内壁に付着させて分離する管体から成る第 2の分離手段とを備えたことを特徴とするミスト供給

2 . 前記第 1の分離手段は前記タンクの上部に配置し、前記一次ミストから分離した前記大きい粒子を前記タンクの下部の前記液体に戻すようにした請求項 1に記載のミス卜供給装置。

3 . 前記第 2の分離手段は螺旋状の通路とした請求項 1に記載のミスト供給装置。

4 . 前記第 2の分離手段は前記第 1の分離手段を囲むように配置した請求項 1に記載のミスト供給装置。

5 . 前記第 2の分離手段は出口に向かって縮径する通路とした請求項 1に記載のミスト供給装置。

6 . 液体を収容するタンクと、該タンクからの前記液体と圧力気体源からの気体とから前記液体をミスト化するミス卜化手段と、該ミスト化手段により生成したミストを収容するミスト室とから成るミス卜供給装置において、前記圧力気体源と前記ミスト室とを圧力制御手段を介して接続し、ミスト供給圧力を制御可能としたことを特徴とするミス卜供給装置。

7 . 前記ミスト室は内部ミスト室と外部ミスト室とから成り、前記ミスト化手段により生成したミストを前記内部ミスト室に収容する請求項 6に記載のミスト供給装置。

8 . 前記圧力制御手段は前記ミスト供給圧力を所定の大きさに制御する機能と、前記ミスト供給圧力を一時的に大きく制御する機能とを備えた請求項 6に記載のミス卜供給装置。

9 . 前記圧力制御手段は外部パイロット式とした請求項 6に記載のミスト供給装置。

1 0 . 前記圧力制御手段は内部パイロット式とした請求項 6に記載のミスト供給装置。

1 1 . 前記圧力制御手段はパイロット入力圧を前記ミスト室から導入した請求項 9に記載のミスト供給装置。

1 2 . 前記圧力制御手段はパイロット入力圧を前記ミスト室に接続したミスト供給路から導入した請求項 9に記載のミスト供給装置。

1 3 . 前記圧力制御手段はパイロッ卜入力圧を制御する制御弁を備えた請求項 9に記載のミスト供給装置。

1 4 . 前記圧力制御手段はパイロット入力圧が皆無の状態でも全開を抑制する抑制手段を備えた請求項 9に記載のミスト供給装置。

1 5 . 前記抑制手段はダイアフラムを調圧ばね側に付勢する圧縮ばねとした請求項 1 4に記載のミスト供給装置。

1 6 . 液体を収容するタンクと、該タンクからの前記液体と圧力気体源からの気体とから前記液体をミスト化するミスト化手段と、該ミスト化手段により生成したミストを収容するミスト室とから成るミスト供給装置において、前記液体を前記タンクから前記ミスト化手段に流通させる流体路の途中に、前記液体を収容する副タンクを備え、前記液体が前記ミスト化手段に連続的に流れるようにしたことを特徴とするミスト供給装置。

1 7 . 前記副タンクの内部の前記液体が前記ミスト化手段にサイホン作用により流れるようにした請求項 1 6に記載のミスト供給装置。

1 8 . 前記副タンクの内部の前記液体が前記ミスト化手段に重力作用により流れるようにした請求項 1 6に記載のミスト供給装置。補正書の請求の範囲

[ 2 0 0 0年 1月 2 1日（2 1 . 0 1 . 0 0 ) 国際事務局受理：出願当初の請求の範囲 1 及び 1 6は補正された；出願当初の請求の範囲 3及び 4は取り下げられた；他の請求の範囲は変更なし。（2頁）]

1 . (補正）液体を収容するタンクと、前記液体をミスト化するミスト化手段と、該ミスト化手段が発生したミストをミスト供給口に送出するミスト送出手段とから成るミスト供給装置において、前記ミス卜化手段により生成した一次ミストを収容して該一次ミス卜の中の大きい粒子を内壁に付着させて分離する空間部から成る第 1の分離手段と、該第 1の分離手段で得られた二次ミストを流通させて該二次ミストの中の大きい粒子を内壁に付着させて分離するための前記第 1の分離手段を囲むように配置した螺旋管通路から成る第 2の分離手段とを備えたことを特徴とするミスト供給装置。

2 . 前記第 1の分離手段は前記タンクの上部に配置し、前記一次ミス卜から分離した前記大きい粒子を前記タンクの下部の前記液体に戻すようにした請求項 1に記載のミス卜供給装置。

3 . (削除）

4 . (削除）

6 . 液体を収容するタンクと、該タンクからの前記液体と圧力気体源からの気体とから前記液体をミスト化するミスト化手段と、該ミスト化手段により生成したミストを収容するミス卜室とから成るミスト供給装置において、前記圧力気体源と前記ミス小室とを圧力制御手段を介して接続し、ミスト供給圧力を制御可能としたことを特徴とするミスト供給装置。

9 . 前記圧力制御手段は外部パイロット式とした請求項 6に記載のミ

1 6

¾正された泪紙 (条約第 19条）ス卜供給装置。

1 3 . 前記圧力制御手段はパイロット入力圧を制御する制御弁を備えた請求項 9に記載のミスト供給装置。

1 6 . (補正）液体を収容するタンクと、該タンクからの前記液体と圧力気体源からの気体とから前記液体をミスト化するミスト化手段と、該ミスト化手段により生成したミストを収容するミスト室とから成るミスト供給装置において、前記液体を前記タンクからポンプ手段を介して前記ミスト化手段に流通させる流体路の途中に、前記液体を収容する副タンクを備え、該副タンクと前記ミスト化手段の間を前記液体が連続的に流れるようにしたことを特徴とするミスト供給装置。

1 8 . 前記副タンクの内部の前記液体が前記ミスト化手段に重力作用により流れるようにした請求項 1 6に記載のミスト供給装置。

1 7

補正された用紙 (条約第 19条) PCT条約第 19条（1) の規定に基づく説明書請求の範囲 1及び 16項は補正され、請求の範囲 3及び 4項は削除され、その他の請求の範囲は変更なし。