WO2000050321A1 - Vorrichtung zum transportieren und gleichzeitigen kühlen von substraten für informationsträgerscheiben wie cd, dvd oder dergleichen - Google Patents
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Definitions
- the so-called "walking beam” is known for the transport of injection-molded DVD substrates.
- This is a transport system in which a horizontally fixed and vertically movable transport bar (so-called “beam”) with a coaxial to this transport bar and movable in the longitudinal direction Transport frame (so-called “walk”) interacts as follows.
- the transport bar is equipped with a series of essentially cylindrical supports equipped with centering pins, on which the DVD substrates are placed, with the center pin piercing the central recess in the DVD substrate During a downward movement of the transport bar, the DVD substrates lying on the carriers are first placed on the transport frame and then the centering pins are moved downwards out of the central recesses of the DVD substrates.
- FIG. 3 shows the channels 12 and 13 running in the carrier 3 above and below the DVD substrate.
- the embodiment of a carrier 3 shown here has six channels 12 above and six channels 13 below the DVD substrate, which are at an angle of However, as can be seen in FIG. 1, they can also be arranged at an offset of 30 ° from one another.
- the cross-sectional illustration according to FIG. 4 with the section along the line AA in FIG outgoing branches 12 and 13 It has proven to be advantageous if the branches are designed to run slightly obliquely towards the DVD substrate, as is the case in FIG. 4. An angle of approximately 5 ° between the supporting surface and the branches has been found in preserved in practice with DVD substrates It is up to the person skilled in the art to determine the most suitable angle for each application
- a plate 16 has a multiplicity of air supply ducts 17 which are connected to one or more air ducts 18 running in the bottom of the plate 16. The latter are connected to a central air supply unit.
- the air cushion 15 is given a preferred direction of flow and the carriers by a suitable inclination of the air supply ducts 17 3, of which only one example is shown here, are moved in the transport direction represented by an arrow in FIG. 5.
- the speed can additionally be varied by the air pressure. From the view in FIG.
- the cooling air comes from the air cushion 15 and flows from there via the central channel 23 and the branches 12 and 13 to their exit openings above and below the DVD substrate 5 and subsequently radially from the inside to the edge of the DVD substrate 5
- the simultaneous application of the top and bottom of the DVD Substrate 5 on the one hand achieves symmetrical cooling and on the other hand the DVD substrate 5 has a stable position due to the current due to a kind of Ventu ⁇ bin 7 shows the channels 12 and 13 running in the carrier 3 above and below the DVD substrate.
- the embodiment of a carrier 3 shown here has six channels 12 above and six channels 13 below the DVD as in the walking beam system. 5 offset from one another. However, as can be seen in FIG. 5, they can also be arranged one above the other without offset.
- the cross-sectional illustration according to FIG. 8 with the section along the line AA in FIG. 7 shows the position of the central, on the underside of the plate-like foot 21, the channel 23, and the branches 12 and 13 radially extending outward above and below the DVD substrate 5. It has proven to be advantageous if the branches are designed to run slightly obliquely towards the DVD substrate , as is the case in FIG. 8, an angle of approximately 5 ° between the contact surface and the branches is recommended
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Abstract
Beschrieben wird eine Vorrichtung zum Transportieren und gleichzeitigen Kühlen von scheibenförmigen Substraten (5) wie insbesondere spritzgegossene Kunststoffscheiben für optische Datenträger wie CD, DVD oder dergleichen. Als Transportsystem wird ein sogenanntes Walking-Beam-System oder ein sogenannter Airtrack verwendet, die mit speziell gestalteten Trägern (3) für die Substrate (5) ausgerüstet sind. Erfindungsgemäss werden mit Zentrierpins ausgestattete Träger zum Aufnehmen der Substrate vorgeschlagen, die über einen zentralen, vertikal verlaufenden Kanal verfügen, von dem oberhalb und unterhalb des Substrats Abzweigungen radial nach aussen abgehen, so dass über den zentralen Kanal zugeleitetes Kühlgas, in der Regel Kühlluft, das Substrat gleichmässig von beiden Seiten kühlt. Ausserdem erhält das Substrat strömungsbedingt einen stabilen Sitz auf den Trägern (3). Beim Walking-Beam-System sind die zentralen Kanäle der Träger (3) mit einer an eine Luftzuführeinheit angeschlossenen Sammelleitung verbunden. Beim Airtrack-System verläuft der Kanal bis zu dem Luftkissen unter dem tellerartigen Fuss des Trägers und die Kühlluft wird dem Luftkissen entnommen.
Description
Vorrichtung zum Transportieren und gleichzeitigen Kühlen von Substraten für Informationstragerscheiben wie CD, DVD oder dergleichen.
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Transportieren und gleichzeitigen Kuhlen von scheibenförmigen Substraten gemäß den Oberbegriffen der nebengeordneten Patentansprüche 1 und 9 Das bevorzugte Anwendungsgebiet der vorliegenden Erfindung ist die Herstellung von optischen Informationstragerscheiben aus Kunststoffen mit Spritzgießmaschinen und hierbei insbesondere der Transport und die Kühlung von spritzgegossenen DVD-(Dιgιtal Versatile Dιsc)-Substraten zur Metallisierungsstation und weiter zur Bondingstation Für die sich daran anschließenden Transporte zu weiteren Bearbeitungsstationen kann die vorliegende Erfindung ebenfalls eingesetzt werden, wenn eine zusatzliche Kühlung erforderlich ist Es versteht sich von selbst, daß die Erfindung auch bei der Herstellung anderer Informationstragerscheiben wie CD, CD-R oder dergleichen eingesetzt werden kann, sowie für andere als spritzgegossene scheibenförmige Erzeugnisse verwendbar ist
Für den Transport von spritzgegossenen DVD-Substraten ist der sogenannte „Walking Beam " bekannt Hierbei handelt es sich um ein Transportsystem, bei dem ein horizontal feststehender und vertikal bewegbarer Transportbalken (sogenannter „ Beam") mit einem koaxial zu diesem Transportbalken angeordneten und in Längsrichtung bewegbaren Transportrahmen (sogenannter „Walk") wie folgt zusammenwirkt Der Transportbalken ist mit einer Reihe von im wesentlichen zylinderformigen, mit Zentrierpins ausgestatteten Tragern bestuckt, auf denen die DVD-Substrate abgelegt werden, wobei jeweils der Zentπerpm die zentrische Ausnehmung in dem DVD-Substrat durchstoßt Zum Transportieren werden durch eine Abwartsbewegung des Transportbalkens zunächst die auf den Tragern aufliegenden DVD-Substrate auf dem Transportrahmen abgelegt und nachfolgend die Zentrierpins nach unten aus den zentrischen Ausnehmungen der DVD- Substrate herausgefahren Der Transportrahmen kann nun um eine vorgebbare Anzahl von Stationen in Längsrichtung bewegt werden, bis die Reihe von DVD-Substraten so über dem Transportbalken positioniert sind, daß sich die zentrischen Ausnehmungen der DVD- Substrate wieder genau über Zentrierpins befinden Durch eine Aufwartsbewegung des Transportbalkens greifen die Zentrierpins in die Ausnehmungen der DVD-Substrate und der Transportbalken mit den Tragern hebt diese vom Transportrahmen ab Der Transportrahmen
(Walk) wird nun in die entgegengesetzte Richtung in seine Ausgangsposition zuruckbewegt und der Zyklus beginnt von neuem, d h der Transportbalken (Beam) beginnt mit der nächsten Abwartsbewegung und so fort Das Abkühlen der DVD-Substate erfolgt durch Wärmeabgabe an die Umgebung wahrend des Transports, so daß geeignet lange Transportstrecken vorzusehen sind, damit die DVD-Substrate eine genügend lange Zeit der Umgebungstemperatur ausgesetzt sind
Es ist außerdem bekannt, zum Transportieren von CD's diese über eine Platte auf einem Luftkissen mit einer vorgegebenen Stromungsrichtung zu befordern (sogenannter „Airtrack") Dabei besteht die Gefahr, daß bei nachlassender Luftzufuhr die CD's mit ihrer Unterseite an die Platte anstoßen und daher mit Beschädigungen zu rechnen ist Dies gilt insbesondere dann, wenn CD's von Hand zu Testzwecken entnommen werden, da an dieser Stelle die Luft ungehindert entweichen kann und es zu einem Druckabfall in den übrigen Bereichen kommt Da die CD's sehr dicht über der Platte liegen, ist zudem das Greifen von Hand schwierig Außerdem erfolgt eine Abkühlung der CD's wahrend des Transports in äußerst unsymmetrischer Weise, da die dem Luftkissen zugewandte Seite der CD wesentlich starker gekühlt wird als ihre Oberseite Bei CD's mag dies weniger kritisch sein, hingegen ist bei DVD-Substraten eine möglichst gleichmäßige Abkühlung vorteilhaft, damit jeweils zwei zusammengehörige DVD-Substrate sauber und fehlerfrei zu einer DVD zusammengefugt werden können
Der Erfindung liegt das Problem zugrunde, eine Vorrichtung anzugeben, mit der Substrate von Informationstragerscheiben nach deren Herstellung zu nachfolgenden Bearbeitungsstationen transportiert und wahrend des Transports mit einem Kuhlgas beaufschlagt werden können
Die Losung dieser Aufgabe erfolgt durch Vorrichtungen mit den Merkmalen der nebengeordneten Patentansprüche 1 und 9 Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterentwicklungen sind mit den Merkmalen der Unteranspruche 2 bis 8 und 10 bis 16 angegeben Der wesentliche Vorteil der vorliegenden Erfindung liegt darin, daß kurze Transportwege zwischen den Bearbeitungsstationen, insbesondere auf dem Weg von der Entnahme der Substrate aus der Spritzgießform bis zur Bondingstation vorgesehen werden können und eine eigene Kuhlstation entfallen kann Damit ist insgesamt ein kompakterer Aufbau der gesamten Produktionsanlage möglich so daß weniger Stellflache benotigt wird
Durch die gleichzeitige Kuhlgaszufuhr oberhalb und unterhalb der Substrate (Unteranspruche 4 und 1 1 )werden beide Oberflachen des Substrats äußerst gleichmäßig gekühlt, so daß ein Verbiegen der Substrate aufgrund unsymmetrischer Kühlung von Ober- und Unterseite weitgehend vermieden wird Diese Art der Kuhlgaszufuhr hat den zusätzlichen Vorteil, daß die Substrate fest auf dem Trager aufliegen, da aufgrund der Strömung des Kuhlgases eine gewisse Arretierung auf dem Trager gegeben ist, insbesondere bei der radial von innen nach außen zum Rand der Substrate gerichteten Strömung des Kuhlgases bei den Ausgestaltungen gemäß den Unteranspruchen 5,6, 12 und 13, die sich zudem durch eine vergleichsweise einfache Herstellung der mit den Kanälen ausgestatten Trager auszeichnen Die Ausfuhrungsform nach dem Walking Beam Prinzip (Patentansprüche 1 bis 8) bietet den speziellen Vorteil, das Kuhlgas über eine Sammelleitung den Tragern und weiter den Substraten zuzuleiten, so daß die Kuhlgaszufuhr nach den jeweiligen Anforderungen so gesteuert werden kann, daß der höhere Druck des Kuhlgases beim Eintritt in die Sammelleitung am Ende oder am Anfang der Transportstrecke bereitgestellt wird Für eine schonende Kühlung eines gerade der Spritzgießform entnommenen Substrats empfiehlt es sich, das Kuhlgas entgegen der Transportrichtung in die Sammelleitung einströmen zu lassen Demgegenüber besitzt die Ausfuhrungsform nach dem Airtrack-Pπnzip (Patentansprüche 9 bis 16) den speziellen Vorteil, daß mechanische Teile und Ventile wie beim Walking-Beam-Pπnzip entfallen können, da das Kuhlgas dem für den Transport vorgesehenen Gaskissen entnommen wird, wodurch Raum für sonstige Einrichtungen der Produktionslinie eingespart wird
Nachfolgend soll die Erfindung anhand von Ausfuhrungsbeispielen und unter Bezugnahme auf die Figuren naher erläutert werden Es zeigen
Fig 1 Ausschnitt aus einem Transportsystem nach dem Walking-Beam-Pπnzip mit zusätzlichen Einrichtungen zur Kuhlgaszufuhr
Fig 2 Aufsicht auf den in Fig 1 dargestellten Teil des Walking-Beam-Transportsystems,
Fig 3 Aufsicht auf einen Trager mit angedeuteten Kanälen für das Kuhlgas,
Fig 4 Querschnitt durch einen Trager eines Walking-Beam Transportsystems mit Schnitt entlang der Linie A-A in Fig 3
ig 5 Ausschnitt aus einem Transportsystem nach dem Airtrack-Pπnzip mit zusätzlichen Einrichtungen zur Kuhlgaszufuhr,
ig 6 Aufsicht auf den in Fig 5 dargestellten Teil des Airtrack-Transportsystems,
Fig 7 Aufsicht auf einen Trager mit angedeuteten Kanälen für das Kuhlgas,
Fig 8 Querschnitt durch einen Trager eines Airtrack-Transportsystems mit Schnitt entlang der Linie A-A in Fig 7
Fig 1 und Fig 2 zeigen einen Ausschnitt aus einem Transportsystem nach dem Walking- Beam-Pπnzip mit zusätzlichen Einrichtungen zur Kuhlgaszufuhr in Seitenansicht und in Aufsicht Ein komplettes Walking-Beam-Transportsystem besteht aus einer Vielzahl von Einheiten der in Fig 1 bzw 2 dargestellten Art Die genaue Anzahl richtet sich nach der Lange der Transportstrecke Dieses Transportsystem besteht aus einem horizontal feststehenden und vertikal bewegbaren Transportbalken 1 (sogenannter „ Beam") und einem koaxial zu diesem Transportbalken angeordneten und in Längsrichtung bewegbaren Transportrahmen 2 (sogenannter „Walk") Dieser weist im wesentlichen zwei balkenartige Elemente 2a und 2b auf, die in Aufsicht (siehe Fig 2) links und rechts des Transportbalkens 1 angeordnet sind Auf den balkenartigen Elementen 2a und 2b sind Halteelemente 7 angeordnet, die jeweils über eine Auflageflache 8 für das DVD-Substrat 5 und seitliche Fixierpins 9 verfugen Durch die Teilschnittdarstellung in Fig 1 ist dort nur das hintere (linke oder rechte) Element des Transportrahmens 2 dargestellt Der Transportbalken 1 ist mit einer Reihe von im wesentlichen zylinderformigen, mit Zentrierpins 4 ausgestatteten Tragern 3 bestuckt, auf denen die DVD-Substrate 5 abgelegt werden, wobei jeweils der Zentrierpin 4 die zentrische Ausnehmung 6 in dem DVD-Substrat durchstoßt Zum Transportieren werden durch eine Abwartsbewegung des Transportbalkens 1 zunächst die auf den Tragern 3 aufliegenden DVD-Substrate 5 auf den Auflageflachen 8 der Halteelemente 7 des Transportrahmens 2 abgelegt und nachfolgend die Zentrierpins 4 nach unten aus den zentrischen Ausnehmungen 6 der DVD-Substrate 5 herausgefahren Der Transportrahmen 2 wird nun in der Regel eine Station in Längsrichtung bewegt, bis die Reihe von DVD-Substraten 5 so über dem Transportbalken 1 positioniert sind, daß sich die
zentrischen Ausnehmungen 6 der DVD-Substrate 5 wieder genau über dem in der Regel benachbarten Trager 3 und dessen Zentrierpin 4 befinden Durch eine Aufwartsbewegung des Transportbalkens 1 greifen die Zentrierpins 4 in die Ausnehmungen 6 der DVD- Substrate 5 und der Transportbalken 1 mit den Tragern 3 hebt diese vom Transportrahmen 2 ab Der Transportrahmen (Walk) wird nun in die entgegengesetzte Richtung in seine Ausgangsposition zuruckbewegt und der Zyklus beginnt von neuem, d h der Transportbalken (Beam) beginnt mit der nächsten Abwartsbewegung und so fort Zum Kuhlen der DVD-Substrate 5 wird eine Kuhlgas, zum Beispiel Luft, über eine Sammelleitung 10 den Tragern 3 zugeführt Über einen zentralen Kanal 1 1 wird das Kuhlgas aus der Sammelleitung 10 zu mehreren Abzweigungen 12 und 13 geleitet, die oberhalb und unterhalb des Substrats 5 radial aus dem Zentrierpin 4 und dem Trager 3 austreten Das Kuhlgas strömt radial von innen zum Rand des DVD-Substrats 5 Durch die gleichzeitige Beaufschlagung der Ober- und der Unterseite des DVD-Substrats 5 wird einerseits eine symmetrische Kühlung erreicht und andererseits besitzt das DVD-Substrat 5 stromungsbedingt durch eine Art Ventuneffekt eine stabile Lage Mittels einer hier nicht dargestellten Steuerung wird die Kuhlgaszufuhr so eingestellt, daß nur dann eine Kuhlgaszufuhr erfolgt, wenn die DVD-Substrate 5 auf den Tragern 3 aufliegen, also nicht wahrend des Weitertransports durch den Transportrahmen 2
In Fig 3 sind die in dem Trager 3 oberhalb und unterhalb des DVD-Substrats verlaufenden Kanäle 12 und 13 eingezeichnet Die hier dargestellte Ausfuhrungsform eines Tragers 3 verfugt über sechs Kanäle 12 oberhalb und sechs Kanäle 13 unterhalb des DVD-Substrats, die um einen Winkel von 30° zueinander versetzt sind Sie können aber auch, wie in Fig 1 ersichtlich, ohne Versatz übereinander liegend angeordnet werden Die Querschnittsdarstellung gemäß Fig 4 mit dem Schnitt entlang der Linie A-A in Fig 3 zeigt die Lage des zentralen Kanals 1 1 und die davon radial nach außen abgehenden Abzweigungen 12 und 13 Es hat sich als vorteilhaft erwiesen, wenn die Abzweigungen leicht schräg auf das DVD-Substrat zulaufend ausgebildet sind, wie dies in Fig 4 der Fall ist Ein Winkel von ungefähr 5° zwischen der Auflageflache und den Abzweigungen hat sich in der Praxis bei DVD-Substraten bewahrt Es bleibt dem Fachmann überlassen, für jeden Anwendungsfall den am geeignetsten Winkel zu ermitteln
Ein nach dem Airtrack-Pπnzip arbeitendes Tranportsystem mit zusätzlicher Kuhleinrichtung wird nachfolgend anhand der Fig 5 bis 8 naher erläutert Zur Erzeugung eines Luftkissens 1 5
- b -
weist eine Platte 16 eine Vielzahl von Luftzufuhrkanalen17 auf, die mit einem oder mehreren im Boden der Platte 16 verlaufenden Luftkanalen 18 in Verbindung stehen Letztere sind an eine zentrale Luftzufuhreinheit angeschlossen Durch eine geeignete Schragstellung der Luftzufuhrkanale 17 erhalt das Luftpolster 15 eine bevorzugte Stromungsrichtung und die Trager 3, von denen hier nur ein Exemplar dargestellt ist, werden in die durch einen Pfeil in Fig 5 dargestellte Transportrichtung bewegt Je flacher der Winkel δ ist, den die Zufuhrkanale 17 mit der Plattenoberflache einschließen, um so großer ist die Geschwindigkeit, mit der die Trager 3 sich in Transportrichtung bewegen Die Geschwindigkeit laßt sich zusätzlich durch den Luftdruck variieren Aus der Aufsicht in Fig 6 ist ersichtlich, daß die Platte 16 über seitliche Anschlagleisten 19 und 20 verfugt, so daß der Airtrack einen im wesentlichen U-formigen Querschnitt aufweist und die seitliche Fuhrung der Trager 3 gewahrleistet Die Platte 16 verfugt in dem hier dargestellten Ausfuhrungsbeispiel über vier Reihen mit Luftzufuhrkanalen 17, von denen jeweils zwei links und zwei rechts symmetrisch zur Achse des Airtracks verlaufen Der Durchmesser des tellerartigen Fuß 21 des Tragers 3 hangt unter anderem von der Anzahl der Luftzufuhrkanale 17 pro Flächeneinheit, dem erzeugten Luftdruck, seinem Eigengewicht und dem Gewicht des aufliegenden Substrats ab Der Abstand der U-Schenkel, also der seitlichen Anschlagleisten 19 und 20, ist so einzustellen, daß die Trager 3 wahrend des Transports nicht verklemmen können Zum Anhalten der Trager 3, beispielsweise zur Weitergabe der DVD-Substrate 5 an eine nächste Bearbeitungsstation, sind ein- und ausfahrbare Anschlagbolzen 22 in der Platte 16 vorgesehen Zur Kühlung des DVD-Substrats 5 ist in dem Trager 3 ein zentraler, vertikal verlaufender Kanal 23 vorgesehen, der an der Unterseite des tellerartigen Fuß 21 beginnt und der bis in den Zentrierpin 4 reicht Von diesem Kanal 23 gehen oberhalb und unterhalb des DVD-Substrats 5 Abzweigungen 12 und 13 radial nach außen ab und treten aus dem Zentrierpin 4 und dem Trager 3 heraus Die Kuhlluft stammt aus dem Luftkissen 15 und strömt von dort über den zentralen Kanal 23 und die Abzweigungen 12 und 13 zu deren Austrittsoff nungen oberhalb und unterhalb des DVD- Substrats 5 und nachfolgend radial von innen nach außen zum Rand des DVD-Substrats 5 Wie beim Walking-Beam-System wird auch hier durch die gleichzeitige Beaufschlagung der Ober- und der Unterseite des DVD-Substrats 5 einerseits eine symmetrische Kühlung erreicht und andererseits besitzt das DVD-Substrat 5 stromungsbedingt durch eine Art Ventuπeffekt eine stabile Lage
In Fig 7 sind die in dem Trager 3 oberhalb und unterhalb des DVD-Substrats verlaufenden Kanäle 12 und 13 eingezeichnet Die hier dargestellte Ausfuhrungsform eines Tragers 3 verfugt wie beim Walking-Beam-System über sechs Kanäle 12 oberhalb und sechs Kanäle 13 unterhalb des DVD-Substrats, die um einen Winkel von 30° zueinander versetzt sind Sie können aber auch, wie in Fig 5 ersichtlich, ohne Versatz übereinander liegend angeordnet werden Die Querschnittsdarstellung gemäß Fig 8 mit dem Schnitt entlang der Linie A-A in Fig 7 zeigt die Lage des zentralen, an der Unterseite des tellerartigen Fuß 21 beginnenden Kanals 23, und die davon oberhalb und unterhalb des DVD-Substrats 5 radial nach außen abgehenden Abzweigungen 12 und 13 Es hat sich als vorteilhaft erwiesen, wenn die Abzweigungen leicht schräg auf das DVD-Substrat zulaufend ausgebildet sind, wie dies in Fig 8 der Fall ist Ein Winkel von ungefähr 5° zwischen der Auflageflache und den Abzweigungen ist empfehlenswert
Bezugszeichenliste
1 Transportbalken
2 Transportrahmen
2a,2b balkenformige Seitenteile des Transportrahmens
3 Trager
4 Zentrierpin
5 DVD-Substrat
6 zentrische Ausnehmung im DVD-Substrat
7 Halteelemente
8 Auflageflache
9 Fixierpin
10 Sammelleitung für Kuhlgas
1 1 zentraler Kanal
12 obere Abzweigungen
13 untere Abzweigungen
14 unbesetzt
15 Luftkissen
16 Platte
17 Luftzufuhrkanale
18 Luftkanal
19,20 ι Anschlagleisten
21 tellerartiger Fuß des Tragers 3
22 Anschlagbolzen
23 zentraler Kanal
Claims
Patentansprüche
1 Vorrichtung zum Transportieren und Kuhlen von scheibenförmigen Substraten (5), insbesondere von Substraten für Informationen tragende Kunststoffscheiben wie CD, DVD oder dergleichen, mit einem mit Tragern (3) für die Substrate (5) ausgestattetenTransportbalken (1 ) sowie einem Transportrahmen (2, 2a, 2b), die relativ zueinander horizontal und vertikal bewegbar sind, wobei die Substrate (5) bei der Vertikalbewegung im Wechsel auf den Tragern (3) und auf dem Transportrahmen (2, 2a, 2b) liegen, und wobei der Transport der Substrate (5) durch die Horizontalbewegung erfolgt, dadurch gekennzeichnet, daß die Trager (3) mit Leitungen (1 1 , 1 2, 13) für ein Kuhlgas versehen sind und daß diese Leitungen an eine zentrale Kuhlgaszufuhr angeschlossen sind
2 Vorrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß die Leitungen (1 1 , 12, 13) der Trager (3) an eine Sammelleitung (10) angeschlossen sind, die am Transportbalken (1 ) angebracht oder als Sammelkanal innerhalb des Transportbalkens ausgebildet ist
3 Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß es sich bei den Leitungen (1 1 , 12, 13) der Trager (3) um in den Tragern verlaufende Kanäle (1 1 , 1 2, 13) handelt, die im Bereich der Auflageflache der Substrate (5) aus der Oberflache austreten und im Bodenbereich der Trager (3) mit der Sammelleitung (1 0) in Verbindung stehen
4 Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Trager (3) jeweils einen Zentrierpin (4) aufweisen, der in eine entsprechend ausgebildete Ausnehmung (6) in den Substraten (5) paßt und daß Austπttsoffnungen für das Kuhlgas jeweils oberhalb und unterhalb des Substrats (5) vorgesehen sind
5 Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß in den Tragern (3) jeweils ein zentraler Kanal (1 1 ) vorgesehen ist, von dem Abzweigungen (12, 13) in dem Zentrierpin (4) oberhalb des Substrats (5) und in dem Trager (3) unterhalb des Substrats (5) radial nach außen verlaufen
6 Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Abzweigungen (12, 13) derart schräg verlaufen, daß sie das Substrat (5) mit einem spitzen Winkel schneiden, der kleiner als 20°, vorzugsweise kleiner als 10° ist
7 Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß eine Steuerung für die Kuhlgaszufuhr vorgesehen ist, die nur dann die Kuhlgaszufuhr freigibt, wenn die Substrate auf den Tragern aufliegen
8 Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Leitungen für das Kuhlgas für jeden Trager separat ansteuerbar sind
9 Vorrichtung zum Transportieren und Kuhlen von scheibenförmigen Substraten (5), insbesondere von Substraten für Informationen tragende Kunststoffscheiben wie CD, DVD oder dergleichen, mit einer Platte (16) die mit einer Vielzahl von Gaszufuhrkanalen (17) ausgestattet ist, die in der Oberseite der Platte (16) enden und die mit einer Gaszufuhrung verbunden sind, dadurch gekennzeichnet, daß Trager (3) für die Substrate (5) vorgesehen sind, daß zwischen der Unterseite der Trager (3) und der Plattenoberflache ein Gaskissen (1 5) vorgesehen ist, daß Mittel zum Bewegen der Trager (3) über das Gaskissen (1 5) vorgesehen sind und daß die Trager (3) Kanäle (23, 12, 13) aufweisen, die an der Unterseite der Trager (3) beginnen und im Bereich der Substrate (5) aus der Oberflache der Trager (3) austreten
10 Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß zur Erzeugung einer bevorzugten Stromungsrichtung in dem Gaskissen (1 5) auf der Platte (1 6) die Gaszufuhrkanale (17) in der Platte nicht orthogonal zur Plattenoberflache verlaufen
1 1 Vorπchtunng nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Trager (3) jeweils einen Zentrierpin (4) aufweisen, der in eine entsprechend ausgebildete Ausnehmung (6) in den Substraten (5) paßt und daß die Austπttsoffnungen der Kanäle (23, 1 2, 13) jeweils oberhalb und unterhalb des Substrats vorgesehen sind
1 2 Vorrichtung nach Anspruch 1 1 , dadurch gekennzeichnet, daß in den Tragern (3) jeweils ein zentraler Kanal (23) vorgesehen ist, von dem Abzweigungen (1 2, 13) in dem Zentrierpin (4) oberhalb des Substrats (5) und in dem Trager (3) unterhalb des Substrats (5) radial nach außen verlaufen
13 Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Abzweigungen (12, 13) derart schräg verlaufen, daß sie das Substrat (5) mit einem spitzen Winkel schneiden, der kleiner als 20°, vorzugsweise kleiner als 10° ist
14 Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Platte (16) als U-formige Schiene ausgebildet ist, und daß die Trager (3) zwischen den Schenkeln (1 9, 20) dieser Schiene gefuhrt sind, wobei die Trager (3) vorzugsweise einen kreisförmigen Fuß (21 ) aufweisen dessen Durchmesser im wesentlichen dem Abstand der Schenkel (19, 20) entspricht
1 5 Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Trager (3) einen tellerartigen Fuß (21 ) aufweisen, daß Substratentnahmepositionen vorgesehen sind, und daß die Platte (16) an diesen Positionen als Schiene mit einer auf dem
Kopf stehenden T-nutenformigen Ausnehmung ausgestaltet ist, so daß der Fuß (21 ) der Trager an den Substratentnahmepositionen in vertikaler Richtung fixiert ist
16 Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Trager (3) in einer Reihe angeordnet sind
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