WO2002009176A2

WO2002009176A2 - Verfahren zum aufbringen von justiermarken auf einer halbleiterscheibe

Info

Publication number: WO2002009176A2
Application number: PCT/EP2001/007782
Authority: WO
Inventors: Wolfgang Diewald; Klaus MÜMMLER
Original assignee: Infineon Technologies AG
Current assignee: Infineon Technologies AG
Priority date: 2000-07-26
Filing date: 2001-07-06
Publication date: 2002-01-31
Anticipated expiration: 2003-01-26
Also published as: KR20030015895A; KR100525014B1; EP1303880A2; JP3880929B2; US6764954B2; US20030157779A1; WO2002009176A3; DE10037446A1; EP1303880B1; JP2004505448A

Abstract

Beim erfindungsgemäßen Verfahren zum Aufbringen von Justiermarken auf einer Halbleiterscheibe wird eine aus einem Nichtmetall (2) bestehende kleinteilige Struktur (3, 4) in einer großflächigen Metallschicht (6) hergestellt und anschließend die Halbleiterscheibe in diesem Bereich mit Hilfe des chemisch-mechanischen Polierens planarisiert, wobei die Strukturgrößen in der Metallschicht und der chemisch-mechanische Polierprozess so aufeinander abgestimmt sind, dass sich die aus dem Nichtmetall bestehende kleinteilige Struktur von der großflächigen Metallschicht nach dem Polierprozess abhebt.

Description

Beschreibung

Verfahren zum Aufbringen von Justiermarken auf einer Halbleiterscheibe

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Aufbringen von Justiermarken auf einer Halbleiterscheibe.

Aus der US-A-5, 786, 260 ist ein Verfahren zum Aufbringen von Justiermarken auf einer Halbleiterscheibe bekannt, bei dem

Vertiefungen in einem Oberflächenbereich der Halbleiterscheibe ausgebildet werden, wobei sich Stege zwischen den Vertiefungen bilden, anschließend eine Zwischenschicht und dann eine isolierende Schicht oder auch eine Metallschicht aufge- bracht werden. Bei einem anschließenden CMP-Prozess wird die isolierende Schicht bzw. die Metallschicht unter Ausnutzung des Dishing-Verhaltens so entfernt, dass die Kanten der Justiermarken freigelegt werden und sich abheben. Ein nachfolgender Ätzschritt zur restlosen Beseitigung der isolierenden Schicht bzw. Metallschicht in den Vertiefungen ist als optional angegeben.

Aus der US-A-6, 051, 496 ist die Verwendung einer Stoppschicht beim CMP-Prozess bekannt, welche auf einer Dielektrikums- schicht mit Stegen und Vertiefungen abgeschieden wird, und zwar insbesondere beim CU-Damascene.

Die US-A-6, 080, 636 offenbart einen Herstellungsprozess für eine photolithographische Justiermarke durch einen CMP- Prozess.

Die US-A-6, 020, 263 offenbart ein Verfahren zum Freilegen von Justiermarken nach einem CMP-Prozess auf Wolframmetall .

Die Strukturierung von Halbleiterscheiben zum Herstellen mikroelektrischer Bauelemente erfolgt heute fast durchweg mit Hilfe lithographischer Techniken. Die Strukturen werden dabei zunächst über eine Photomaske in einer dünnen strahlungsempfindlichen Resist-Schicht, meist einer organischen Photolackschicht, die auf der Halbleiterscheibe aufgebracht ist, erzeugt. Durch einen geeigneten Entwickler werden dann die be- strahlten oder unbestrahlten Bereiche entfernt. Das so entstehende Resist-Muster dient als Maske für einen darauffolgenden Prozessschritt, z. B. einer Ätzung oder einer Ionenimplantation, mit der das Muster in die darunterliegende Halbleiterstrukturschicht übertragen wird. Anschließend wird die Resist-Maske dann wieder abgelöst.

Entscheidend für die Qualität des Lithographieverfahrens ist es dabei, die Resist-Struktur lagerichtig auf die darunterliegende Halbleiterschicht zu übertragen. Hierbei ist es ins- besondere erforderlich, das Belichtungsgerät zur Ausbildung der Maskenstruktur in Bezug zur Halbleiterscheibe genau zu justieren. Zum Justieren des Belichtungsgeräts werden deshalb im Allgemeinen Justiermarken auf der Halbleiterscheibe angebracht. Diese Justiermarken sind in der Regel eine aus Balken und Linien bestehende Struktur, die im Allgemeinen im Kerfbereich der Halbleiterscheibe ausgeführt werden. Der Kerfbereich der Halbleiterscheibe stellt einen ca. 50 bis 100 μm breiten Bereich zwischen den einzelnen Chips auf der Halbleiterscheibe dar, der beim abschließenden Zerlegen der Halblei- terscheibe in die einzelnen Chips dann zerstört wird.

Der Vorgang der Justierung gestaltet sich aber dann als schwierig, wenn eine zusätzliche, optisch nicht transparent •Schicht, die z. B. für die Herstellung eines Kondensators benötigt wird, aufgebracht ist und so die darunterliegende Jus- tiermarkenstruktur in der Halbleiterscheibe optisch nicht er- fasst werden kann. In einem solchen Fall erfolgt dann das Aufbringen der Justiermarken auf der Halbleiterscheibe im Stand der Technik so, dass beim Ätzen der vorausgehenden Struktur in die Halbleiterscheibe zugleich die Balken und Li- nien in den Kerfbereich eingeätzt werden, wobei die Justiermasken so ausgelegt sind, dass diese bei den nachfolgenden Prozessschritten einschließlich der Abscheidung der optisch nicht transparenten Schicht nicht mehr vollständig aufgefüllt werden. Die Topologie der Justiermarken auf der Halbleiterscheibe kann dann mittels lichtoptischer Justiermarken-Erkennungsverfahren erfasst und zur Justierung des Belichtungsge- räts genutzt werden.

Diese Art der Justiermarkenausbildung erweist sich jedoch insbesondere dann als ungeeignet, wenn sie im Rahmen der Da- mascene-Technik, die im Wesentlichen zur Strukturierung einer Metallisierungsebene verwendet wird, erfolgen soll. Bei der Damascene-Technik, die vor allem zur Kupferstrukturierung eingesetzt wird, werden zur Herstellung der Metallverdrahtung am Ort der Leiterbahnen Vertiefungen in das darunterliegende Oxid geätzt. In diesem Ätzschritt wird dann auch nach dem herkömmlichen Verfahren die Justiermarkenstruktur ausgebildet. Anschließend erfolgt das Aufsputtern bzw. Abscheiden einer dünnen Startschicht zur Keimbildung für die darauffolgen- ^• de ganzflächige. Metalldeposition. Durch chemisch-mechanisches Polieren der Metallschicht .bis zur Oberfläche der geätzten Gräben entstehen dann die gewünschten Leiterbahnen. Da im Da- mascene-Verfahren eine im Wesentlichen perfekte Planarisierung der Metallschicht ausgeführt wird, wird auch die Topologie der Justiermarken beim chemisch-mechanischen Polieren weitgehend eingeebnet, so dass diese sich nach dem Aufbringen eine nachfolgenden, optisch nicht transparenten Schicht nicht mehr abheben. Weiterhin lassen sich, insbesondere beim Kup- fer-Damascene-Verfahren die für die Justiermarken geätzten Gräben auch nicht so ausbilden, dass diese sich während der Kupferabscheidung nur unvollständig auffüllen, da Kupfer bei den üblicherweise verwendeten Abscheideverfahren alle Gräben unabhängig von deren Breite immer von unten her anfüllt und sich damit auch keine Voids, d. h. Hohlräume in den Gräben erzeugen lassen, die dann auf einer anschließend abgeschiedenen optisch nicht transparenten Schicht zu einer Topo- logie der Justiermarken führen. Um dieses Problem zu lösen, wird deshalb im Stand der Technik auch, insbesondere beim Damascene-Verfahren, eine Topologie der Justiermarken durch einen weiteren Lithographie- und Ätzschritt erzeugt, der selbst nur eine ungenaue Justierung er- fordert. Hierzu wird nach dem Herstellen der Justiermarken und dem anschließenden Abscheiden der optisch nicht transparenten Schicht die Justiermaskenstruktur über eine eigene Photomaske auf eine dünne strahlungsempfindliche Schicht ü- bertragen, die auf der optisch nicht transparenten Schicht aufgebracht ist. Mit einem anschließenden Ätzschritt werden dann die Justiermarken freigelegt. Dieser zusätzliche Lithographie- und Ätzschritt ist jedoch aufwendig und teuer.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es deshalb, ein einfa- ches und kostengünstiges Verfahren zur Aufbringung von Justiermarken auf eine Halbleiterscheibe bereitzustellen, das sich insbesondere in Zusammenhang mit einer Strukturierung der Halbleiterscheibe mit Hilfe der Damascene-Technik einsetzen lässt.

Dies Aufgabe wird durch das im Anspruch 1 angegebene Verfahren gelöst. Bevorzugte Ausgestaltungen sind in den abhängigen Ansprüchen angegeben.

Gemäß der Erfindung wird zum Aufbringen von Justiermarken eine aus einem Nichtmetall bestehende kleinteilige Struktur in einer großflächigen Metallschicht auf wenigstens einem Bereich einer Halbleiterscheibe erzeugt. Anschließend wird dieser Bereich der Halbleiterscheibe mit der großflächigen Me- tallschicht durch chemisch-mechanisches Polieren planari- siert, wobei die Nichtmetall-Struktur in der Metallschicht und der chemisch-mechanische Polierprozess so aufeinander abgestimmt sind, dass die Nichtmetall-Struktur sich von der großflächigen Metallschicht abhebt.

Das erfindungsgemäße Ausbilden der Justiermarken ist an die Damascene-Technik angelehnt, wobei jedoch im Gegensatz zum herkömmlichen Justiermarkendesign eine aus einem Nichtmetall bestehende Struktur in einer großflächigen Metallschicht erzeugt wird. Durch diese Auslegung ist es möglich, gezielt zwei im Allgemeinen als negativ angesehene Effekte bei der Planarisierung mit Hilfe des chemisch-mechanischen Polierens zu nutzen.

Beim chemisch-mechanischen Polieren neigen nämlich großflächige Metallflächen, wenn sie eingeebnet werden sollen, dazu, zu stark abgetragen zu werden, d. h. zu einem Dishing-Verhal- ten. Dies führt dann beim erfindungsgemäßen Aufbau zu einem Herausstehen der in der Metallschicht vorgesehenen kleintei- ligen Nichtmetallstruktur, so dass auf einer anschließend aufgebrachten, nicht transparenten Schicht eine als Justier- marken einsetzbare Topologie erzeugt wird.

Weiterhin kann zur Kontrastierung der Justiermarken auch der beim chemisch-mechanischen Polieren auftretende Effekt ausgenutzt werden, dass kleinteilige Nichtmetallstrukturen in ei- ner großflächigen Metallschicht, wenn diese planarisiert werden sollen, ebenfalls dazu neigen, gegenüber der umliegenden Metallschicht zu stark abgetragen zu werden, d. h. zu erodieren, und damit Gräben in der Metallschicht zu bilden. Diese Grabenbildung der Justiermarken sorgt dann für eine Topologie auf der anschließend aufgebrachten nicht-transparenten

Schicht, die sich zur Justierung eines Belichtungsgeräts eignet .

Je nach Auslegung des chemisch-mechanischen Poliervorgangs und dem Design der Metallfläche und der darin enthaltenen

Nichtmetall-Struktur kann also ein Herausstehen der Nichtmetall-Struktur aufgrund eines Dishing-Verhaltens der Metall^¬ fläche oder eine Grabenbildung dieser Nichtmetall-Struktur in der Metallfläche aufgrund eines Erosionsverhaltens erreicht werden, was sich dann in einer Topologie auf der darüber an^¬ geordneten nicht-transparenten Schicht niederschlägt. cυ co M r P¹ > n o Cn o Cn o cn

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ein Hervorstehen der Stege 4 der Dielektrikumschicht 2 zwischen den Metallflächen, die sich dann auch als Topologie auf einer darauf abgeschiedenen nicht-transparenten Schicht abzeichnet. Statt der Verwendung von Kupfer als Metall und ei- ner Zwischenschicht aus Tantal/Tantalnitrid besteht jedoch auch die Möglichkeit, ein anderes Metall bzw. ein anderes Material für die Zwischenschicht einzusetzen.

Die in der vorstehenden Beschreibung, den Zeichnungen und den Ansprüchen offenbarten Merkmale der Erfindung können sowohl einzeln als auch in beliebiger Kombination für die Verwirklichung der Erfindung in ihren verschiedenen Ausgestaltungen von Bedeutung sein.

Bezugszeichenliste

1 Kerfbereich 2 Dielektrikumschicht

3 Vertiefungen

4 Stege

5 Zwischenschicht

6 Metallschicht (Kupfer) 10 Poliertisch

11 Auflage

12 Poliermittel

13 Poliermittelzuführung

14 Scheibenträger

Claims

Patentansprüche

1. Verfahren zum Aufbringen von Justiermarken auf einer Halbleiterscheibe mit den Schritten:

Herstellen einer aus einem Nichtmetall bestehenden kleintei- ligen Struktur (2, 3, 4) in einer großflächigen Metallschicht (6) in wenigstens einem Bereich der Halbleiterscheibe durch Ausbilden von Vertiefungen (3) in einem Oberflächenbereich der Halbleiterscheibe, wobei sich Stege (4) zwischen den Vertiefungen (3) bilden, und anschließendes Abscheiden der Metallschicht (6) über den gesamten Oberflächenbereich; und

Planarisieren des Bereiches der Halbleiterscheibe mit der großflächigen Metallschicht (6) durch chemisch-mechanisches Polieren, so dass sich die aus dem Nichtmetall bestehende kleinteilige (2, 3, 4) Struktur von der großflächigen Metallschicht (β) nach dem Polierprozess" abhebt;

wobei zwischen der Halbleiteroberfläche und- der Metallschicht (6) eine zusätzliche Zwischenschicht (5) aufgebracht wird;

wobei das Planarisieren durch chemisch-mechanisches Polieren in zwei Stufen erfolgt, wobei in der ersten Stufe die Metall- schicht (6) abgetragen und auf der darunter liegenden Zwischenschicht (5) gestoppt wird und in der zweiten Stufe die Zwischenschicht (5) abgetragen und in den darunter liegenden Stegen (4) gestoppt wird; und

wobei die erste Stufe so ausgelegt ist, dass ein Überpolieren der Metallflächen (6) zwischen den vorstehenden Stegen (4) erfolgt, wobei die Zwischenschicht (5) auf dem vorstehenden Stegen (4) teilweise mit abgetragen wird, und wobei die zweite Stufe so -ausgelegt ist, dass ein starkes Überpolieren der Zwischenschicht (5) erfolgt, bei der eine Erosion der darunter liegenden Stege (4) auftritt, so dass sich Gräben zwischen den Metallflächen (6) ergeben.

2. Verfahren gemäß Anspruch 1, bei dem der chemisch-mechanische Polierprozess so ausgeführt wird, dass die großflächige Metallschicht (6) stärker abgetragen wird als die darin vorgesehene aus dem Nichtmetall bestehende kleinteilige

Struktur (2, 3, 4), so dass die kleinteilige Struktur aus der Metallschicht hervorsteht.

3. Verfahren gemäß Anspruch 1, bei dem der chemisch-mecha- nische Polierprozess so ausgeführt wird, dass die aus dem

Nichtmetall bestehende kleinteilige Struktur (2, 3, 4) stärker abgetragen wird als die sie umgebende großflächige Metallschicht (6), so dass eine Grabenbildung der kleinteiligen Struktur in der Metallfläche auftritt.

4. Verfahren gemäß Anspruch 1, 2 oder 3, wobei auf der Halbleiteroberfläche eine Dielektrikumschicht (2) , in der die Vertiefungen (3) und Stege (4) ausgeführt werden, ausgebildet ist .

5. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei die Metallschicht (6) aus Kupfer besteht.

6. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei die Zwischenschicht (5) eine Tantal/Tantalnitrid-Doppelschicht ist.

7. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei die Justiermarken im Kerfbereich (1) der Halbleiterscheibe aufge- bracht werden.