WO2002093610A3 - Ablenksystem für ein teilchenstrahlgerät - Google Patents

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Abstract

Ein Teilchenstrahlapparat und eine Vorrichtung zum energiekorrigierten Ablenken eines entlang einer Strahlachse einfallenden Teilchenstrahls um einen vorgegebenen Ablenkwinkel werden offenbart, wobei der Teilchenstrahl aus geladenen Teilchen mit um einen vorgegebenen Energiewert gestreuten Energien besteht. Die Vorrichtung weist einen Korrektor auf, wobei der Korrektor mittels eines ersten elektrischen Feldes und eines überlagerten ersten magnetischen Feldes Richtungsänderungen an den geladenen Teilchen in Abhängigkeit ihrer Energie vornimmt und wobei die Richtung der geladenen Teilchen mit dem vorgegebenen Energiewert beim Durchqueren des Korrektors beibehalten wird. Die Vorrichtung weist weiterhin einen dem Korrektor nachgeschalteten Ablenker auf, wobei der Ablenker mittels eines zweiten elektrischen Feldes oder mittels eines zweiten magnetischen Feldes die geladenen Teilchen, die den vorgegebenen Energiewert aufweisen, um einen vorgegebenen Ablenkwinkel von der Strahlachse weg ablenkt, wobei der Ablenker die geladenen Teilchen fokussiert. Weiterhin weist die Vorrichtung eine Steuerung zum Ansteuern des Korrektors und des Ablenkers auf.
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