WO2003076871A3 - Anordnung und verfahren zum messen von geometrien von im wesentlichen zweidimensionalen objekten - Google Patents

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Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf eine Anordnung und ein Verfahren zum Messen von Geometrien bzw. Strukturen von im Wesentlichen zweidimensionalen Objekten (10) mittels einer Bildverarbeitungssensorik (14), wobei das zu messende Objekt auf einer Objektauflagefläche (12) angeordnet ist und objektauflageflächenseitig mittels einer Bildverarbeitungssensorik (14) gemessen wird, die unterhalb des Objektes (10) in einer parallel zu der Objektauflagefläche (12) verlaufenden Ebene verstellbar ist.
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