WO2003078989A1

WO2003078989A1 - High-sensitivity measuring instrument

Info

Publication number: WO2003078989A1
Application number: PCT/JP2003/003370
Authority: WO
Inventors: Yoshio Sunaoka; Shinichi Ohashi; Toshio Morita; Masashi Fujita
Original assignee: Organo Corp
Current assignee: Organo Corp
Priority date: 2002-03-20
Filing date: 2003-03-19
Publication date: 2003-09-25
Anticipated expiration: 2004-09-20
Also published as: EP1486776A1; KR20040094812A; US20050110499A1; JP2003270183A; US7154274B2; CN1643372A; AU2003221439A1

Description

明糸田技術分野

本発明は、たとえば水溶液等の被測定物質の特性の変化を高感度かつ高精度で検出し、その特性変化の検出値に基づいてそのときの被測定物質の特性値自体を高感度かつ高精度で検出できるようにした高感度測定装置に関する。

背景技術

被測定物質の特性として、たとえば電気伝導度は、とくに水溶液中で移動可能なイオンの濃度の測定のための尺度として用いられており、電気伝導度測定装置が、多くの水溶液中のイオン濃度の測定に用いられている。一般に、電気伝導度測定装置は、検出用電極と電源からの電流供給用電極との間の抵抗値を測定することにより、被測定水溶液中のイオン濃度の増減を測定するようになっている。従来の電気伝導度測定装置を用いて電気伝導度の変化や複数の測定箇所の電気伝導度の差を測定しょうとする場合において、その変化や差が、測定されている電気伝導度の絶対値に比べて微小なものである場合、測定レンジが比較的大きな電気伝導度の絶対値に対して調整されていることから、微小な変化や差の測定は非常に困難であるか、あるいはその測定データは信頼性の低いものとなっている _c しかし現実には、このような位置的にあるいは時間的に異なった 2つの、あるいは複数の測定点間の微小な差や変化を測定したいという要求は数多くあり、そのような微小な差や変化を信頼性高く高精度かつ高感度で測定できれば、その用途は非常に広いと考えられる。

そこで先に本出願人により、上記のような要望を満たすべく、水溶液等の被測定物質の特性の変化を精度よく抽出、測定できる装置として、多元電気伝導度測定装置が提案されている（特開 2 0 0 1 - 3 1 1 7 1 0号公報）。この多元電気伝導度測定装置は、被測定物質に接する少なくとも 2個の電極を有する電気伝導度測定セルを少なくとも 2個有し、該電気伝導度測定セルを、各電気伝導度測定セルからの検出信号自身を少なくとも加算、減算のいずれかの処理が可能なように電気的に接続したことを特徴とするものからなっている。

この装置においては、各電気伝導度測定セルからの検出信号自身に対して、つまり同時に取り出された検出信号自身に対して、加算、減算等の電気的な処理が行われ、処理後の信号が、必要に応じて増幅等されて、各電気伝導度測定セル間の測定電気伝導度の差や変化分として出力される。同時に取り出された検出信号の差分が出力されるので、各電気伝導度測定セルに共通に生じたノイズ等を消去して高 S / N比の変化を捉えることが可能になり、増幅等により、差や変化分のみを高精度で出力させることが可能になる。このため、従来の電気伝導度測定装置を単に複数個配設してそれらからの測定データの差や変化分を得る構成とは異なり、位置的にあるいは時間的に異なる複数の測定点間の電気伝導度の微小な差や変化を信頼性高く高精度かつ高感度で測定することができる。

上記の特開 2 0 0 1 - 3 1 1 7 1 0号公報に記載の発明は、電気伝導度の測定に関して提案されたものであるが、少なくとも 2個のセンサ一から同時に取り出された検出信号の差分を出力させることにより、測定対象となる特性の差や変化を信頼性高く高精度かつ高感度で測定するという技術は、基本的にあらゆる特性の測定に適用可能なものである。

しかしながら、上記特開 2 0 0 1 - 3 1 1 7 1 0号公報で提案された多元電気伝導度測定装置における指示値は、位置的にあるいは時間的に異なる複数の測定点間における電気伝導度の微小な差や変化であり、電気伝導度の絶対値ではないところが現実には、水溶液中等の不純物の濃度変化を求める場合に必要とされるのは、電気伝導度の絶対値の変動であることが多い。電気伝導度以外の他の特性を測定する場合にも、特性値の絶対値の変動の測定が求められることが多い。

発明の開示

そこで、本発明の目的は、上記特開 2 0 0 1 - 3 1 1 7 1 0号公報で提案された技術により被測定物質の特性の微小な差や変化を精度よく測定できることに着目し、その技術の存在を前提として、さらに、差や変化ではなく対象となる特性の測定値を、望ましくはその絶対値を、高精度かつ高感度で検出できる測定装置を提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明に係る高感度測定装置は、被測定物質に所定の時間差をもって接し、同じ特性を検出する少なくとも 2個のセンサ一を設け、各センサ一から同時に取り出した検出信号の差分を得、該検出信号の差分から該所定の時間差経過における特性値の差分を得、予め測定の基準となる時刻とその時刻における基準特性値を設定し、前記所定の時間差を時間刻みのピッチとした時間軸を設定し、前記基準時刻から任意の時間刻み経過時点における測定値を得ることを特徴とするものからなる。

上記高感度測定装置においては、ある時刻における測定値だけを、基準時刻における基準特性値にその基準時刻からの変化分を加味した値として得ることも可能であり、また、上記測定値を、基準時刻からの各時間刻み経過時点毎の時系列データとして得ることもできる。

さらに、上記測定値を時系列デ一夕として得る場合には、時間刻み位置が前記所定の時間差内にある時系列データを含む、複数の時系列データ群として構成することもできる。このようにすれば、複数の時系列データ群は、時間軸方向に、前記所定の時間差よりも小さいピッチで、各時間刻み経過時点毎の測定値を出力することが可能になり、測定値の変化をあたかも連続的な変化として捉えることが可能になる。

また、上記高感度測定装置においては、基準時刻における基準特性値を設定することが必要であるが、この基準特性値の設定の仕方としては各種の方法を採り得る。たとえば、参照用の被測定物質を接ししめ、この出力値を前記基準特性値として設定することができる。この場合、この参照用の被測定物質の特性値が既知でなくても、測定対象の被測定物質と比較するのに適切な参照用の被測定物質を用いることにより、参照用の被測定物質が有する特性値に対して測定対象の被測定物質の特性値がどのような値になっているかの測定が可能になり、少なくとも、参照用の被測定物質に対して相対比較値を得ることができる。

また、特性値が既知の参照用の被測定物質（たとえば、超純水など）を接ししめ、この出力値が、本発明に係る高感度測定装置において前記既知の特性値となるよう、前記基準特性値を設定することもできる。このように特性値が既知の参照用の被測定物質を接ししめることにより、基準特性値を精度よく校正することが可能になる。

したがって、上記の如く特性値が既知でない参照用の被測定物質あるいは特性値が既知の参照用の被測定物質を用いることにより、たとえば最初に設定した基 PC画蘭 70

4 準特性値に、長時間経過中にドリフ卜が生じるおそれがあるような場合にあっても、適切な時間間隔でそのドリフトを修正できるようになり、常時高精度の測定やモニタリングを行うことが可能になる。

本発明において、被測定物質は特に限定しないが、流体からなる場合に、とぐに適用が容易になる。

このような本発明に係る高感度測定装置においては、先ず、所定の時間差をもつて被測定物質に接する少なくとも 2個のセンサ一から同時に取り出した検出信号の差分が出力されるので、ある時刻における、たとえば現時刻における、測定対象となる特性値の変化分のみが高感度かつ高精度に検出される。ここまでの技術思想は、実質的に前述の特開 2 0 0 1 - 3 1 1 7 1 0号公報で提案されたものと同じである。本発明ではさらに、上記検出信号の差分から上記所定の時間差経過における特性値の差分が得られ、予め測定の基準となる時刻とその時刻における基準特性値が設定され、上記所定の時間差を時間刻みのピッチとして、基準時刻から任意の時間刻み経過時点（つまり、測定値としての出力を得たい任意の時間刻み経過時点）における測定値が得られる。この測定値は、基準特性値を基準とした値として得られ、基準特性値に絶対値が設定されていれば、測定値も特性値の絶対値として得られることになる。換言すれば、基準時刻における基準特性値に対して、上記高感度かつ高精度に検出された特性の前記所定の時間差における時間変化分が加味されて、最終的に出力される信号は、この時間変化分を正確に検知した特性の絶対値の変動を示すことになり、目標とする絶対値自体の検出を、高感度かつ高精度で行うことが可能となる。

すなわち、本発明に係る高感度測定装置によれば、被測定物質の特性の変動を、とくに絶対値として高感度かつ高精度で測定することが可能になる。したがって、汎用性のある測定値の絶対値を出力できるようになり、この出力を用いて高感度、高精度で特性値のモニタリングができるとともに、波形分析、変化分の時間積分による定量等、現在多方面で利用されている一般的なデータ処理方法を適用して詳細な定量ができるようになる。

図面の簡単な説明

図 1は、本発明の一実施態様に係る高感度測定装置の設置例を示す概略構成図 T JP03/03370

5 である。

図 2は、本発明の一実施態様に係る高感度測定装置の別の設置例を示す概略構 ^図である。

図 3は、図 1、図 2の装置における信号処理装置内に設けられた多元電気伝導度測定装置の構成例を示す回路図である。

図 4は、図 1、図 2の装置における信号処理装置内に設けられた多元電気伝導度測定装置の別の構成例を示す回路図である。

図 5は、本発明に係る高感度測定装置の性能を確認するために行った試験の結果を示すチャートである。

図 6は、本発明に係る高感度測定装置の性能を確認するために行った別の試験の結果を示すチヤ一トである。

発明を実施するための最良の形態

以下に、本発明の望ましい実施の形態を、図面を参照しながら説明する。

本発明において測定対象となる被測定物質の特性は、電気伝導度に限定されず、実質的にあらゆる特性の測定に適用可能であるが、以下の説明は、主として電気伝導度の測定の場合について述べる。

図 1および図 2は、本発明に係る高感度測定装置を、被測定物質 4としての管内を流れる流体、たとえば水の電気伝導度の測定系に適用した場合を例示している。図 1に示す高感度測定装置 1においては、被測定物質 4の上流側と下流側に電気伝導度検出用のセンサ一 A ( 2 ) およびセンサー B ( 3 ) が設けられ、センサー A通過後の被測定物質 4が所定時間後にセンサー Bを通過するようになっており、被測定物質 4が所定の時間差をもってセンサー A、' Bに接するとともに、両センサーからは同時に検出信号を取り出し可能となつている。信号処理装置 5 には、ある時刻において両センサ一から同時に取り出した検出信号の差分を出力することが可能な多元電気伝導度測定装置部（図 3、図 4に例示）と、その差分を、その時刻と、その時刻の前記時間差前の、あるいは前記時間差後の時刻との間における（つまり、所定の時間差経過における）特性値の差分として用い、予め測定の基準となる時刻とその時刻における基準特性値を設定し、前記所定の時間差を時間刻みのピッチとした時間軸を設定して、基準時刻から任意のある時間 JP03/03370

6 刻み経過時点における測定値を得ることが可能な演算処理部とが設けられている。図 2に示す高感度測定装置 1 1においては、同一箇所からサンプリングされた電気伝導度の測定対象としてのサンプル水が、センサー A ( 2 ) にはそのまま接し、センサ一 B ( 3 ) に対しては時間調整可能な時間遅延カラム 1 2を介して接するようになつており、時間遅延カラム 1 2を介して所定の時間差が与えられるようになつている。その他の構成は、実質的に図 1の態様と同じである。

まず、信号処理装置 5に設けられた多元電気伝導度測定装置の構成例について、図 3、図 4を参照して説明する。図 3に示す多元電気伝導度測定装置 2 1においては、被測定物質に接する少なくとも 2個の電極（本実施態様では 3電極構成にて図示してある。）を有する電気伝導度測定用のセンサ一 A、 B ( 2、 3 ) を少なくとも 2個有している。各センサ一 A、 B ( 2、 3 ) は、本実施態様では、各センサーからの検出信号自身が加算処理されるように電気的に接続されている。各センサ一 A、 B ( 2、 3 ) は電気的に並列に接続されており、各センサ一の電流供給用電極 2 2 a、 2 3 aには、電源としての交流オシレーター 2 4から同相の交流電流が供給されている。各センサ一 A、 B ( 2、 3 ) の電気伝導度検出用電極 2 2 b、 2 3 bは、互いに電気的に接続され、両検出用電極 2 2 b、 2 3 bからの検出信号自身の値が加算されるようになっている。そして本実施態様では、一方のセンサ一 A ( 2 ) の電流供給用電極 2 2 aの前.に、供給される交流電流の値を所定の倍率で乗算する、あるいは所定の割合で除算する乗算器または除算器 2 5が設けられており、センサー A ( 2 ) で検出対象となる被測定物質の電気伝導度のレベルを、センサ一 B ( 3 ) のそれに比べ異ならしめることができるようになつている。つまり、電流供給用電極 2 2 aに供給する前の交流電流を所定の倍率で増幅あるいは減幅するのである。このようにしておけば、所定の時間差をもって各センサ一に接する被測定物質の電気伝導度の時間変化を最適な感度で検出することが可能になる。

上記電気的な演算処理が施された信号、つまり、電気伝導度検出用電極 2 2 b、 2 3 bの接続点から得られる信号は、一つの増幅器 2 6により出力信号として適切なレベルに増幅されるようになっている。このとき、測定レンジ切替器 2 7で、測定対象に応じて最適な測定レンジを選択できるようになつている。 7 増幅器 2 6からの信号は、本実施態様では、測定環境に対する温度補償が温度補償器 2 8で行われた後、同期整流器 2 9で交流オシレーター 2 4の出力側との同期がとられ、さらに、その信号が、各種の制御や出力の表示に最適なレベルの信号となるよう、レンジ調整器 3 0付きの増幅器 3 1で増幅され、実際の出力 3 2として取り出されるようになつている。

図 4に示す多元電気伝導度測定装置 4 1においては、図 3に示した態様に比べ、センサ一 B ( 3 ) の電流供給用電極 2 3 aの前に、供給される交流電流の値を所定の倍率で乗算する、あるいは所定の割合で除算する乗算器または除算器 4 2が設けられており、センサ一 B ( 3 ) で検出対象となる被測定物質の電気伝導度のレベルを、センサー A ( 2 ) のそれに比べ異ならしめることができるようになつている。そしてこの乗算器または除算器 4 2には、位相反転機能が付与されている。つまり、電流供給用電極 2 3 aに供給する前の交流電流を所定の倍率で増幅あるいは減幅するとともに、その供給交流電流の位相を反転するのである。このようにしておけば、各センサー A、 B ( 2、 3 ) からの検出信号自身が、実質的に減算されることになり、減算処理された信号が増幅器 2 6に送られることになる。その他の構成は実質的に図 3に示したものと同一である。

上記のような多元電気伝導度測定装置 2 1、 4 1においては、ある時刻においてセンサー A、 B ( 2、 3 ) からの検出信号が同時に取り出され、同時に取り出された検出信号の差分が出力されるので、外乱やノイズの影響を除去することが可能となり、上記差分のみが高精度かつ高感度で出力される。本発明においては、この差分の出力を用いて、信号処理装置 5に設けられた演算処理部において、次のように処理される。つまり、上記差分が、所定の時間差経過における特性値の差分として用いられ、予め測定の基準となる時刻とその時刻における基準特性値が設定され、前記所定の時間差を時間刻みのピッチとした時間軸が設定されて、基準時刻から任意の時間刻み経過時点における測定値が得られる。

この演算処理の基本概念について説明する。

上記においては、ある時刻 tにおけるセンサー Aの信号（F _A ( ΐ ) ) とセンサ一 Βの信号（F _B ( t ))の信号差（D A- B ( t ))を得ており、センサ一 Bの信号 ( F B ( t ))は、所定の時間差前の特性（上記例では、電気伝導度）の絶対値を PC蒙雇 370

示しているので、

F_A(t)=D_A— _B(t)+F_B(t ) · · · ®

となる。なお、実際には、 FA ( t ) 、 FB ( t ) と DA— B ( t ) は同列のデータではない場合があり、演算する場合には、利用方法に応じて相互に換算する必要があるが、本発明の本質に.関わらないので、ここでは、説明を分かり易くするため、簡略して表示することとした。

本発明者らは、信号差 D_A-_B(t ) がセンサ一 Aとセンサー Bの時間差に対応していることに着目し、これを利用すればセンサー単独の信号、つまり特性の絶対値に相当する信号を導き出せるのではないかと考えた。本発明においては、上記差分、つまり、 D_A— B (ΐ ) 力、その時刻と、その時刻の前記時間差前後の時刻との間において、あたかも単一の仮想センサ一で検出した信号の時間変化分として扱われる。すなわち、センサー Αとセンサ一 Β間における所定の時間差を DT とすれば、 D_A__B (t) 力 DT経過における特性値の差分として用いられる。この DTを時間刻みのピッチとして時間軸を設定し、予め設定された基準時刻における基準特性値に対し、基準時刻から任意に時間刻み経過時点における測定値が、下記のように演算される。

センサ一 Aとセンサー B間における所定の時間差 D Tを使用して F_Aと F_Bとの関係を表せば、

F_B(t )=F_A(t -DT) · · ·②

となり、式①と式②より、

F_A(t)=D_A— _B(t)+F_A(t - DT) · · ·③

となる。すなわち、任意の時刻 tにおけるセンサ一 Aの信号（F_A(t ))は、センサー Aの DT時間前の信号 F_A( t— DT) に、時刻 tにおけるセンサ一 Aとセンサー Bの信号差（D_A— _B( t ))を加えたものとなる。これによつて、式③による値は、あたかも単一の仮想センサ一で検出した特性値の絶対値信号として取り扱うことが可能になる。

また、 F_A(t— DT) =D_A-_B(t - DT)+F_A(t - 2 DT) となるため、

FA( t

t ) + D_A-B( t -DT)+F_A(t - 2 D T)

となる o さらに、 0303370

9

FA( t - 2 D T) =D_A— _B(t— 2 DT)+ F_A(t— 3 DT) となるため、 F_A(t )=D_A-_B(t )+D_A-_B(t一 DT)+D_A一 _B(t - 2 DT)+ FA ( t - 3 DT)

となる。同様に繰り返せば、

FA( t (D_A一 _B(t )+D_A-_B'(t - DT)+D_A— _B(t— 2 D T)+ · · - +D

A-_B(t -nDT))+ F_A(t - (n+ 1 ) DT)

となる。

ここで、（D_A - _B(t )+D_A- _B(t— DT)+ D_A - _B(t— 2 DT)+ · · - + DA-B (t一 nDT))は、一般式として D_A— _B(t - i DT) (i = 0〜！ i、 nは、以前のある基準時刻に至るまでの DTの数）の信号差を D T時間刻みで積算することにより得られるが、どこまで遡っても、最後には、 F_A(t _ (n+ 1) DT) が残つてしまう。そのため、本発明者らは、 F_A(t— (n+ 1) DT) にある既知の値を入力することを発想した。つまり、上記の演算を行う初期段階での値を基準特性値として入力することにより、この基準特性値に対する相対的な値としてセンサ一単独の信号を算出することができるようになる。基準値が特性の絶対値であれば、それに上記変化分を加算した値も、測定対象とする特性の絶対値として得られることになり、絶対値の変動自身が出力されることになる。この基準特性値には、既知の値であればどんな値でもよいが、通常は、特別な信号が入ってきていない状態でセンサー Aとセンサ一 Bの信号差がゼ口の状態における値を基準値とすることが分かり易い。また、前述したように、基準特性値として、絶対値が分からない値を、測定値を算出するための比較基値として設定することも可能である。

上記の演算処理では、データ集積後に解析して、ある時刻における単独のセンサ一信号として算出することもでき、時間の経過に伴って順次センサーの信号を出力するようにすることもできる。その手順はたとえば以下のようになる。

(1) パラメータの設定

デジタル処理を行う場合、 D T時間内での時間の刻みピッチは原理的に自由に設定することが可能だが、通常は、等間隔で刻むのが簡便である。また、適当なアナログ回路を組むことが出来ればそれでもよい。以下に、 DT時間内での時間細 70

1 0 刻みを等間隔とした場合のデジタル処理を行うケースについて示す。

D T時間内での時間の刻みピッチを 5 tとし、時間軸における任意の時刻 tを、 t =mD T + n 5 ΐ

と表示する。

ここで、 mと ηは整数であり、 ηは 0〜N、 N = DT/S tとする。

これにより、任意の時刻 tにおいて

センサ一 Aの信号は F (mDT + n S t )

センサー Bの信号は F_B(mDT+ n S t )

信号差は D_A— _B(mDT + n <5 t )

となる。

求めたい単独センサ一信号を X (mD T + n δ ΐ ) とする。

ここで、観測できるパラメ一タは、たとえば前述の多元電気伝導度測定装置による、 D_A__B(mD Τ+ n S t ) である。

(2 ) 初期値の入力

少なくとも D T時間としては初期設定した既知の値を入力し、単独センサ一信号のデータ系列における基準時刻における基準特性値として既知の値を設定するここでは、初期の既知の基準特性値を 0とする。したがって、

m= 0のとき、 n = 0〜Nで X (η δ t ) = 0とする。

( 3 ) 測定

任意の時刻 tにおいて、

• DT時間前の値を使用する場合は、

X (mDT + n <5 t ) =X ( (m - 1 ) D T + n 5 t ) + (D_A— _B(mD T

+ n 5 t ) ) · · ·④

•初期値から求める場合は、

X (mD T+ n ^ t ) =X (n 5 t ) + (DA-B( i DT+ n 5 t ) の i = l〜mの積算） · · ·⑤

となる。このように、測定値として、基準時刻からの各時間刻み経過時点毎の時系列デ一タを得ることができ、時系列データとしては、所定の時間差 D丁よりも小さい S t ピッチで刻んで得た複数の時系列データ群から構成することができる 03370

1 1

( 4 ) データ保存

上記手順においては、

式④の場には、直前の時間 D T内の N個の X (m D T + η δ t ) を記憶しておけば、処理できることになる。

式⑤の場合には、それまでの全ての X (m D T + n 5 t ) データを記憶しておく必要があるが、この場合には、過去のデータを全て表示することが可能である。上記のような演算処理を行って、たとえば図 1に示したような測定系における電気伝導度の測定を行ってみた。試験結果を図 5、図 6に示す。図 5は、一過性の電気伝導度の変動が生じた場合の測定例を示しており、図 6は、ある程度の持続時間がある電気伝導度の変動が生じた場合の測定例を示している。また、図 5、図 6において、「差伝導度」は、センサー A、 Bの差信号から出力した電気伝導度の変化分のみを示しており、「絶対伝導度一その 1—」は、センサ一 A、センサ一 Bとは別に設けた下流側のセンサ一のみで検出した電気伝導度で、本発明の有効性を確認するために出力したものを示してある。「絶対伝導度—その 2— (差伝導度から算出）」は、本発明により、上述の如く予め設定された基準特性値に対して差伝導度分を加算した、高感度測定対象としての電気伝導度の絶対値を示している。

図 5、図 6ともに、絶対伝導度—その 2—は、絶対伝導度一その 1 一として測定された特性と実質的に同一の特性を少ないノィズ信号で極めて正確に示しており、本発明に係る高感度測定装置による測定が、高感度で行われていることがわかる。また、本発明に係る高感度測定装置においては、高精度の観測値として出力されたセンサー A、 Bの検出信号の差分が、既知の基準値に加算された絶対値として出力可能であるので、出力測定値としての絶対値の精度も確実に高精度に保たれることになる。すなわち、本発明では、高感度かつ高精度の測定が可能になる。

以上の説明は、主として電気伝導度の測定について行ったが、本発明に係る高感度測定装置は、これに限らず、基本的に、測定対象となる特性の絶対値の変動 (場合によっては、ある基準値からの相対変動）を求めることが要求されるあらゆる測定系に適用可能である。したがって、高い S /N比を要する高感度での測定を要求されるあらゆる測定計、たとえば、紫外線測定、示差屈折率計測定、蛍光光度計測定、電気化学測定、微粒子測定などの測定に適用可能である。

産業上の利用可能性

本発明に係る高感度測定装置は、測定対象となる特性の絶対値の変動、あるいは、ある基準値からの相対変動を求めることが要求されるあらゆる測定系に適用できる。本発明に係る高感度測定装置は、とくに、高い S / N比を要する高感度での流体中の特性の測定が要求される、イオンクロマトグラフィ一や液体クロマトグラフィ一における検出器として、あるいは純水中、超純水中に微量含まれる不純物の濃度監視に使用されると、顕著な効果を発揮する。

Claims

請求の範囲

1 . 被測定物質に所定の時間差をもって接し、同じ特性を検出する少なくとも 2 個のセンサーを設け、各センサ一から同時に取り出した検出信号の差分を得、該検出信号の差分から該所定の時間差経過における特性値の差分'を得、予め測定の基準となる時刻とその時刻における基準特性値を設定し、前記所定の時間差を時間刻みのピッチとした時間軸を設定し、前記基準時刻から任意の時間刻み経過時点における測定値を得ることを特徵とする高感度測定装置。

2 . 前記測定値として、基準時刻からの各時間刻み経過時点毎の時系列データを得ることを特徴とする、請求項 1に記載の高感度測定装置。

3 . 前記時系列データとして、時間刻み位置が前記所定の時間差内にある時系列データを含む、複数の時系列データ群から構成することを特徴とする、請求項 2 に記載の高感度測定装置。

4 . 参照用の被測定物質を接ししめ、この出力値を前記基準特性値として設定することを特徵とする、請求項 1に記載の高感度測定装置。

5 . 特性値が既知の参照用の被測定物質を接ししめ、この出力値が前記既知の特性値となるよう、前記基準特性値を設定することを特徴とする、請求項 1に記載の高感度測定装置。

6 . 被測定物質が流体からなる、請求項 1に記載の高感度測定装置。