WO2004029589A1 - フローセル及びそれを用いた粒子測定装置 - Google Patents

フローセル及びそれを用いた粒子測定装置 Download PDF

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    • G01N2015/1493Particle size

Definitions

  • the present invention relates to a flow cell for flowing a sample fluid to obtain information such as a particle size by detecting scattered light emitted from particles contained in the sample fluid by irradiating light, and a particle measuring apparatus using the same.
  • the flow cell 100 used in the conventional particle measuring apparatus is made of a transparent member, has a straight flow path 100a of a predetermined length, and has a rectangular cross section. Therefore, it is formed in an L-shaped cylindrical shape as a whole.
  • the central axis of the straight flow path 100a substantially coincides with the light receiving axis of the scattered light Ls by the condenser lens system 101 (see, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. H11-211650).
  • 102 is a laser light source
  • 103 is a photoelectric conversion element.
  • the scattered light L s emitted from the particles that have passed through the particle detection area M generates four inner walls b, c, d, and e forming the flow cell 100. Therefore, the path is restricted, and the condensing lens system 101 cannot utilize the converging angle to the maximum. That is, the path of the scattered light Ls is restricted by the inner wall b and the inner wall c as shown in FIG. 6 (b), and the inner wall d and the inner wall are formed as shown in FIG. 6 (c). Since the path is restricted by the part e, the converging angle of the converging lens system 101 cannot be used to the maximum.
  • the present invention has been made in view of such problems of the conventional technology, and has as its object to reduce scattered light and the like by making full use of the converging angle of the condensing means.
  • An object of the present invention is to provide a flow cell capable of detecting a large amount and a particle measuring device using the same. Disclosure of the invention
  • the invention according to claim 1 is directed to forming a particle detection region inside by irradiating light, and scattered light generated by particles contained in a sample fluid passing through the particle detection region.
  • a flow cell for collecting information such as a particle size so that the scattered light or the like is collected by making full use of the collection angle of the light collection unit. Part is formed.
  • the invention according to claim 2 is a flow cell according to claim 1, a light source that irradiates a sample fluid flowing through the flow cell with light to form a particle detection region, and a particle in the particle detection region.
  • Optical detection processing means for detecting the scattered light or the diffracted light are a flow cell according to claim 1, a light source that irradiates a sample fluid flowing through the flow cell with light to form a particle detection region, and a particle in the particle detection region.
  • FIG. 1 is a perspective view of a flow cell according to a first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG. 1 (a) and a cross-sectional view taken along the line BB (b).
  • FIG. 3 is a perspective view of a flow cell according to a second embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view taken along the line C-C of FIG. 3 (a) and a cross-sectional view taken along the line DD (b).
  • FIG. 5 is a schematic configuration diagram of a particle measuring device according to the present invention.
  • FIG. 6 is a schematic configuration diagram (a) of a conventional particle measuring device, a longitudinal sectional view (b) of a flow cell, and a transverse sectional view (c) of a flow cell.
  • FIG. 1 is a perspective view of the flow cell according to the first embodiment of the present invention
  • FIG. 2 is a sectional view taken along line AA of FIG. 1 (a) and a sectional view taken along line BB of FIG.
  • FIG. 3 is a perspective view of a flow cell according to a second embodiment of the present invention
  • FIG. 4 is a cross-sectional view (a) of FIG. 3 along line C-C and a cross-sectional view of line DD (b) of FIG.
  • FIG. 5 is a schematic configuration diagram of a particle measuring device according to the present invention.
  • the flow cell 1 is formed of a transparent member, and flows a sample fluid in the direction of the arrow to detect the laser beam La and the particle detection.
  • the channel 2 has four inner wall portions 2a, 2b, 2c, and 2d, and has a rectangular cross section.
  • the channel 3 also includes four inner wall portions 3a, 3b, 3c, and 3d, and has a rectangular cross section.
  • the particle detection region M has four inner wall portions 2a, 4a of the flow path 2 in order to maximize the converging angle of the converging lens L for condensing the scattered light Ls.
  • the ends of 2 b, 2 c, and 2 d are set so as not to hinder the scattered light Ls incident on the outermost edge of the condenser lens L.
  • both ends of the flow path 3 are opened to restrict the path of the scattered light Ls of the inner wall portion c of the straight flow path 100a in FIG. 6 (b).
  • the scattered light Ls incident on the outermost edge of the condenser lens L is not obstructed.
  • the two inner walls 3c and 3d of the flow path 3 should not obstruct the scattered light Ls incident on the outermost edge of the focusing lens L.
  • the distance between the inner wall 3c and the inner wall 3d is larger than the distance between the inner wall 2c and the inner wall 2d.
  • the scattered light L s emitted from the particles contained in the sample fluid passing through the particle detection area M emits the convergence angle 0 of the converging lens L.
  • the light is collected by making the most of the light.
  • both ends of the flow path 3 are opened to form an outlet.
  • only one end of the flow path 3 may be opened and the other end may be closed.
  • the inner wall must be formed so that the closed inner wall does not hinder the scattered light Ls incident on the outermost edge of the condenser lens L.
  • a flow cell 10 is formed of a transparent member and has a rectangular cross-sectional flow path 11, A square pyramid-shaped flow path 1 2, a flow path 13 having a rectangular cross-section in which a sample fluid flows in the direction of the arrow to form a laser beam La inside a particle detection area M, and a square pyramid-shaped flow path 1 4 and a flow path 15 having a rectangular cross section.
  • the channel 13 has a cross-sectional area and a length that can form the particle detection region M of a desired size.
  • Channels 11 and 15 and channels 12 and 14 are centered on the center of channel 13 respectively As a point symmetry.
  • the scattered light Ls emitted from the particles contained in the sample fluid passing through the particle detection region M is collected by the collection lens L.
  • Light is collected by making the best use of the angle ⁇ .
  • the flow path 12 and the flow path 14 are formed in the shape of a quadrangular pyramid. You can also. Further, another condensing lens L can be provided on the opposite side of the flow cell 10 so that the converging angle S can be doubled.
  • All parts of the flow cells 1 and 10 do not need to be made of a transparent member, and the part through which light does not pass may be formed of an opaque member. Further, the flow cells 1 and 10 do not need to be integrated, and may have a similar function by combining a plurality of members.
  • the particle measuring apparatus comprises: a flow cell 1 shown in FIG. 1, a laser light source 20, a condensing optical system 21 including a condensing lens L; Element 22 is provided.
  • the flow cell 10 shown in FIG. 3 can be used instead of the flow cell 1.
  • the laser light source 20 irradiates a predetermined portion of the flow channel 2 of the flow cell 1 with a laser beam La to form a particle detection region M.
  • the optical axis of the laser light La is substantially orthogonal to the center axis of the flow path 2 in the flow path 2.
  • the condensing optical system 21 has an optical axis coinciding with the central axis of the flow path 2 of the flow cell 1, and condenses the scattered light Ls emitted by the particles receiving the laser light La in the particle detection area M. .
  • the condensing optical system 21 does not necessarily need to be provided on the center axis of the flow path 2 of the flow cell 1.
  • the photoelectric conversion element 22 is provided on the optical axis of the condensing optical system 21, receives the scattered light L s collected by the condensing optical system 21, and converts the scattered light L s according to its intensity. To converted voltage I do.
  • the means after the condensing optical system 21 is called an optical detection processing means.
  • the operation of the particle measuring device according to the present invention configured as described above will be described.
  • the laser light La emitted from the laser light source 20 is applied to a predetermined portion of the flow path 2 to form a particle detection area M. Therefore, when the particles contained in the sample fluid pass through the particle detection region M, the particles are irradiated with the laser light La, and the particles emit scattered light Ls.
  • the scattered light L s is condensed on the photoelectric conversion element 22 by the condensing optical system 21 making maximum use of the converging angle 0 due to the shape of the flow paths 2 and 3 of the flow cell 1 . Then, the scattered light Ls focused on the photoelectric conversion element 22 is converted by the photoelectric conversion element 22 into a voltage corresponding to the intensity of the scattered light Ls.
  • the shape of the flow paths 2 and 3 of the flow cell 1 is adjusted so that the light collecting optical system 21 collects the scattered light Ls to the photoelectric conversion element 22 by making full use of the light collecting angle 0.
  • the detection level can be raised because the sensor is formed so as to be able to perform the detection.
  • particles included in the sample fluid passing through the particle detection area receive scattered light or the like generated by receiving light from the light source.
  • Light can be collected by making the most of the light angle.
  • the shape of the flow path of the flow cell can be collected by the optical detection processing means by maximizing the light collection angle. As a result, the detection level can be increased.

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Abstract

 集光レンズの集光角を最大限に利用して散乱光などをより多く検出することができるフローセルを提供する。レーザ光Laを照射して粒子検出領域Mを内部に形成し、この粒子検出領域Mを通過する試料流体に含まれる粒子が発する散乱光Lsを集光レンズLで集光し、粒径などの情報を得るためのフローセルにおいて、散乱光Lsが集光レンズLの集光角θを最大限に利用して集光されるように内壁部3a,3bを形成した。

Description

フローセル及びそれを用いた粒子測定装置 技術分野
本発明は、 光を照射して試料流体に含まれる粒子が発する散乱光などを検出し て粒径などの情報を得るために試料流体を流すフロ一セル及びそれを用いた粒子 測定装置に関する。 背景技術
第 6図 (a ) に示すように、 従来の粒子測定装置に用いられるフローセル 1 0 0は、 透明部材から成り、 所定長さの直線流路 1 0 0 aを有し、 断面が四角形状 であって、 全体として L型筒形状に形成されている。 直線流路 1 0 0 aの中心軸 は、 集光レンズ系 1 0 1による散乱光 L sの受光軸とほぼ一致している (例えば、 特開平 1 1 - 2 1 1 6 5 0号公報参照) 。 なお、 1 0 2はレ一ザ光源、 1 0 3は 光電変換素子である。
しかし、 従来の粒子測定装置に用いられるフローセル 1 0 0においては、 粒子 検出領域 Mを通過した粒子が発する散乱光 L sがフローセル 1 0 0を形成する 4 つの内壁部 b , c , d , eによってその進路が制限され、 集光レンズ系 1 0 1の 集光角を最大限に利用できないという問題点を有している。 即ち、 散乱光 L sは、 第 6図 (b ) に示すように、 内壁部 bと内壁部 cによってその進路が制限され、 また第 6図 (c ) に示すように、 内壁部 dと内壁部 eによってその進路が制限さ れるので、 集光レンズ系 1 0 1の集光角を最大限に利用できない。
そこで、 散乱光 L sの検出レベルを高めて粒子の検出精度を上げるためには集 光レンズ系 1 0 1の集光角を最大限に利用する必要がある。
本発明は、 従来の技術が有するこのような問題点に鑑みてなされたものであり、 その目的とするところは、 集光手段の集光角を最大限に利用して散乱光などをよ り多く検出することができるフローセル及びそれを用いた粒子測定装置を提供し ようとするものである。 発明の開示
上記課題を解決すべく請求の範囲第 1項に係る発明は、 光を照射して粒子検出 領域を内部に形成し、 この粒子検出領域を通過する試料流体に含まれる粒子が発 する散乱光などを集光手段で集光し、 粒径などの情報を得るためのフローセルに おいて、 前記散乱光などが前記集光手段の集光角を最大限に利用して集光される ように内壁部を形成したものである。
請求の範囲第 2項に係る発明は、 請求の範囲第 1項記載のフローセルと、 この フローセルを流れる試料流体に光を照射して粒子検出領域を形成する光源と、 前 記粒子検出領域における粒子の散乱光または回折光を検出処理する光学的検出処 理手段を備える。 図面の簡単な説明
第 1図は、 本発明の第 1の実施の形態に係るフローセルの斜視図である。 第 2図は、 第 1図の A— A線断面図 (a ) と B— B線断面図 (b ) である。 第 3図は、 本発明の第 2の実施の形態に係るフローセルの斜視図である。 第 4図は、 第 3図の C一 C線断面図 (a ) と D— D線断面図 (b ) である。 第 5図は、 本発明に係る粒子測定装置の概略構成図である。
第 6図は、 従来の粒子測定装置の概略構成図 (a ) 、 フローセルの縦断面図 ( b ) 、 フローセルの横断面図 (c ) である。 発明を実施するための最良の形態
以下に本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。 ここで、 第 1図は 本発明の第 1の実施の形態に係るフローセルの斜視図、 第 2図は第 1図の A— A 線断面図 (a ) と B— B線断面図 (b ) 、 第 3図は本発明の第 2の実施の形態に 係るフローセルの斜視図、 第 4図は第 3図の C一 C線断面図 (a ) と D— D線断 面図 (b ) 、 第 5図は本発明に係る粒子測定装置の概略構成図である。
本発明の第 1の実施の形態に係るフローセル 1は、 第 1図と第 2図に示すよう に、 透明部材で形成され、 矢印方向に試料流体を流してレーザ光 L aと粒子検出 領域 Mを形成する流路 2と、 この流路 2と直交すると共に流路 2と集光 1 の間に位置して両端に出口を有する流路 3からなる。
流路 2は 4つの内壁部 2 a , 2 b , 2 c, 2 dからなり、 断面が四角形状に形 成されている。 また、 流路 3も 4つの内壁部 3 a , 3 b, 3 c, 3 dからなり、 断面が四角形状に形成されている。
粒子検出領域 Mは、 第 2図に示すように、 散乱光 L sを集光する集光レンズ L の集光角 Θを最大限に利用するため、 流路 2の 4つの内壁部 2 a, 2 b , 2 c , 2 dの端部が集光レンズ Lの最外縁部に入射する散乱光 L sの妨げにならない位 置に設定される。
第 2図 (a ) に示すように、 流路 3の両端を開口して、 第 6図 (b ) において 直線流路 1 0 0 aの内壁部 cの散乱光 L sの進路を制限していた部分を取り去り、 集光レンズ Lの最外縁部に入射する散乱光 L sの妨げにならないようにしている。 更に、 第 2図 (b ) に示すように、 流路 3の 2つの内壁部 3 c, 3 dが集光レ ンズ Lの最外縁部に入射する散乱光 L sの妨げにならないように、 内壁部 3 cと 内壁部 3 dの間隔を内壁部 2 cと内壁部 2 dの間隔よりも大きくしている。
以上のように構成した第 1の実施の形態に係るフローセル 1においては、 粒子 検出領域 Mを通過する試料流体に含まれる粒子が発する散乱光 L sは、 集光レン ズ Lの集光角 0を最大限に利用して集光される。
なお、 第 1の実施の形態では、 流路 3の両端を開口して出口としたが、 流路 3 の一端だけ開口し他端を閉塞してもよい。 その場合、 閉塞する内壁部が集光レン ズ Lの最外縁部に入射する散乱光 L sの妨げにならないように、 内壁部を形成し なければならない。
次に、 本発明の第 2の実施の形態に係るフロ一セル 1 0は、 第 3図と第 4図に 示すように、 透明部材で形成され、 断面が矩形状の流路 1 1と、 四角錐形状の流 路 1 2と、 矢印方向に試料流体を流してレーザ光 L aが粒子検出領域 Mを内部に 形成する断面が矩形状の流路 1 3と、 四角錐形状の流路 1 4と、 断面が矩形状の 流路 1 5からなる。 ,
流路 1 3は、 所望な大きさの粒子検出領域 Mが形成できる断面積及び長さを有 する。 流路 1 1と流路 1 5、 流路 1 2と流路 1 4は、 夫々流路 1 3の中心を中心 として点対称で形成されている。
また、 第 4図に示すように、 散乱光 L sを集光する集光レンズ Lの集光角 0を 最大限に利用するため、 流路 1 4の 4つの内壁部 1 4 a , 1 4 b , 1 4 c , 1 4 dは、 集光レンズ Lの最外縁部に入射する散乱光 L sの妨げにならないように形 成されている。
以上のように構成した第 2の実施の形態に係るフローセル 1 0においては、 粒 子検出領域 Mを通過する試料流体に含まれる粒子が発する散乱光 L sは、 集光レ ンズ Lの集光角 Θを最大限に利用して集光される。
なお、 第 2の実施の形態では、 流路 1 2と流路 1 4を四角錐形状に形成したが、 円錐形状に形成して集光レンズ Lの集光角 0を最大限に利用することもできる。 また、 集光レンズ Lをフローセル 1 0の反対側にもう一つ設け、 集光角 Sを 2倍 にすることもできる。
フローセル 1, 1 0は、 すべての部分が透明な部材である必要はなく、 光の通 らない部分は不透明な部材で形成してもよい。 また、 フローセル 1, 1 0は、 一 体化している必要はなく、 複数の部材を組み合わせて同様の機能を有するように したものでもよい。
次に、 本発明に係る粒子測定装置は、 第 5図に示すように、 第 1図に示すフロ 一セル 1、 レーザ光源 2 0、 集光レンズ Lを含む集光光学系 2 1、 光電変換素子 2 2などを備えている。 なお、 フローセル 1に替えて第 3図に示すフロ一セル 1 0を用いることもできる。
レ一ザ光源 2 0は、 フロ一セル 1の流路 2の所定箇所にレーザ光 L aを照射し て粒子検出領域 Mを形成する。 ここで、 レーザ光 L aの光軸は、 流路 2内におい て流路 2の中心軸とほぼ直交している。
集光光学系 2 1は、 フローセル 1の流路 2の中心軸と一致する光軸を有し、 粒 子検出領域 Mにおいてレーザ光 L aを受けた粒子が発する散乱光 L sを集光する。 なお、 集光光学系 2 1は、 必ずしもフロ一セル 1の流路 2の中心軸上に設ける必 要はない。
光電変換素子 2 2は、 集光光学系 2 1の光軸上に設けられ、 集光光学系 2 1に より集光された散乱光 L sを受光し、 散乱光 L sをその強度に応じた電圧に変換 する。 なお、 集光光学系 2 1以降の手段を光学的検出処理手段という。
以上のように構成した本発明に係る粒子測定装置の動作について説明する。 レ 一ザ光源 2 0から出射したレーザ光 L aが流路 2の所定箇所に照射され、 粒子検 出領域 Mを形成する。 そこで、 試料流体に含まれる粒子が粒子検出領域 Mを通過 すると、 粒子にレーザ光 L aが照射され、 粒子が散乱光 L sを発する。
散乱光 L sは、 フロ一セル 1の流路 2, 3の形状により、 集光光学系 2 1がそ の集光角 0を最大限に利用して光電変換素子 2 2に集光される。 すると、 光電変 換素子 2 2に集光された散乱光 L sは、 光電変換素子 2 2により散乱光 L sの強 度に応じた電圧に変換される。
従って、 フロ一セル 1の流路 2 , 3の形状を、 集光光学系 2 1がその集光角 0 を最大限に利用して散乱光 L sを光電変換素子 2 2に集光することができるよう に形成したので、 検出レベルを上げることができる。 産業上の利用可能性
以上説明したように請求の範囲第 1項に係る発明によれば、 粒子検出領域を通 過する試料流体に含まれる粒子が光源からの光を受けて発する散乱光などを、 集 光手段の集光角を最大限に利用して集光することができる。
請求の範囲第 2項に係る発明によれば、 フロ一セルの流路の形状を、 光学的検 出処理手段がその集光角を最大限に利用して散乱光を集光することができるよう に形成したので、 検出レベルを上げることができる。

Claims

請求の範囲
1 . 光を照射して粒子検出領域を内部に形成し、 この粒子検出領域を通過する 試料流体に含まれる粒子が発する散乱光などを集光手段で集光し、 粒径などの情 報を得るためのフローセルにおいて、 前記散乱光などが前記集光手段の集光角を 最大限に利用して集光されるように内壁部を形成したことを特徴とするフローセ ル。
2 . 請求の範囲第 1項記載のフローセルと、 このフローセルを流れる試料流体 に光を照射して粒子検出領域を形成する光源と、 前記粒子検出領域における粒子 の散乱光または回折光を検出処理する光学的検出処理手段を備えることを特徴と する粒子測定装置。
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