WO2004042376A1 - Dispositif de support d’elements chromophores - Google Patents

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Definitions

  • the invention relates to a device for supporting chromophore elements such as those commonly known as “biochips”.
  • a generally multilayer substrate carries chromophore elements which are chemical or biological molecules, dyestuffs added or grafted to chemical or biological molecules, or semiconductor nanostructures such as wires or quantum dots and which emit a fluorescence whose wavelength depends on their nature, when they are excited by an appropriate light.
  • chromophore elements which are chemical or biological molecules, dyestuffs added or grafted to chemical or biological molecules, or semiconductor nanostructures such as wires or quantum dots and which emit a fluorescence whose wavelength depends on their nature, when they are excited by an appropriate light.
  • FR0115140 and FR0210285 of the same inventors means for enhancing the excitation intensity of the chromophore elements and that of the fluorescence emitted by these elements.
  • a guided mode of the excitation light to excite the chromophore elements by the evanescent portion of the guided wave, which is interesting in terms of the signal / noise ratio and the rejection of the light. excitation.
  • the coupling is carried out only if the excitation light arrives on the grating with an angle of incidence determined very precisely, this angle varying with the wavelength to be coupled.
  • the assembly must therefore be performed with great mechanical and optical precision.
  • the lighting beam of the slice of the Guiding layer must have a dimension corresponding to the effective width or height of the guided mode, which is one micrometer or less, and must therefore be positioned with a tolerance of less than one micrometer.
  • the practical difficulties associated with the coupling of the excitation light in a guiding layer of the substrate are therefore important.
  • the object of the invention is in particular to provide a simple and effective solution to this problem.
  • this device proposes a device for supporting chromophoric elements able to emit fluorescence in response to a light excitation, this device comprising a substrate whose surface layer intended to carry the chromophore elements forms a planar waveguide, characterized in that this planar waveguide contains photoluminescent constituents capable of emitting luminescence at the excitation wavelength (s) of the chromophore elements when they are themselves excited by a primary excitation light, this luminescence being guided in the planar waveguide for excitation of the chromophore elements.
  • the excitation light of the chromophore elements is generated in the planar waveguide itself, which avoids all the problems of coupling this light in the waveguide.
  • this excitation light itself is produced by direct illumination (unguided) of the portion of the waveguide whose photoluminescent constituents are to be excited, which can be done in an ordinary manner with a fairly wide tolerance, which is typically greater than 10 ⁇ m.
  • the photoluminescent constituents of the device according to the invention may be of very diverse natures and include, in particular, polymers, organic molecules, luminescent ions, quantum boxes or are formed in a heterogeneous multilayer semiconductor structure.
  • photoluminescent constituents can be arranged in the planar waveguide in areas separated from each other and substantially adjacent to areas for carrying the chromophore elements.
  • the photoluminescent components may be substantially uniformly distributed over the entire surface of the guiding layer, and then selectively illuminates certain areas of that surface by the primary excitation light.
  • wavelength filtering means are provided in the planar waveguide to eliminate from the light emitted by the photoluminescent constituents, the wavelengths that are identical to or similar to those of the fluorescence emitted by the chromophore elements. The signal-to-noise ratio of the fluorescence emitted by the chromophore elements is thus improved and captured by suitable optical means.
  • These filtering means are preferably located between areas of the planar waveguide comprising photoluminescent constituents and areas intended to carry chromophore elements.
  • These filtering means may comprise series of grooves formed in the planar waveguide, photonic crystals operating in the plane of the waveguide or optical cavities formed in the plane of the waveguide by confinement between trenches or photonic crystals.
  • the filtering means may be formed by materials included in the planar waveguide and absorbing wavelengths that are identical to or similar to those of the fluorescence emitted by the chromophore elements.
  • absorbent constituents may be dyes of the type used in color filters, which have a particularly low luminescence efficiency in the spectral bands considered and which convert the guided parasitic light into heat.
  • the filtering is carried out by the planar waveguide itself, the latter having a cut-off wavelength of the guided mode which is between the excitation wavelength of the chromophoric elements and that of the fluorescence emitted by these elements.
  • the device according to the invention also comprises means for increasing the amount of guided luminescence reaching the areas intended to carry the chromophore elements. In particular, it is possible to reflect the guided luminescence towards these zones or to pass it several times in these zones.
  • the edge of the guiding layer with a metal such as for example aluminum, silver, gold, etc., or to incorporate reflectors in the planar waveguide, these reflectors may consist of a groove, a periodic series of several grooves forming a reflector of the DBR (Distributed Bragg Reflector) type, a reflectivity band of which is at the excitation wavelength of the chromophore elements for the angles incidence of the guided mode considered, or a crystal two-dimensional photonics.
  • a metal such as for example aluminum, silver, gold, etc.
  • the production of the guided luminescence from the primary excitation light can also be increased by the following means: a layer or a reflecting zone located under the layer or the zone containing photoluminescent constituents,
  • a photonic structuring such as cavities, formed around the zones containing the photoluminescent constituents so that the guided emission takes place in cavity modes.
  • the luminescent emission of the aforementioned constituents can also be optimally coupled to the guided mode, using the following means:
  • the zones containing the photoluminescent constituents are located at an anti-resonance level in vertical emission (perpendicular to the planar waveguide), which makes it possible to reduce the emission in the vertical direction in favor of the guided emission,
  • the zones containing the photoluminescent constituents are placed under a reflective layer, for example a metal layer, at a distance corresponding to the inhibition of the excitation of the vertical modes over a large angular range.
  • a reflective layer for example a metal layer
  • the device according to the invention can of course include various kinds of photoluminescent components that emit at different wavelengths when excited, to provide excitation at different wavelengths of various kinds of chromophore elements.
  • photoluminescent components that emit at different wavelengths when excited, to provide excitation at different wavelengths of various kinds of chromophore elements.
  • only one primary excitation light or several primary excitation lights having different spectral bands can be used to excite the photoluminescent constituents.
  • the different photoluminescent constituents may be grouped by nature and form different distinct regions, associated with reflectors and filtering means of the aforementioned type.
  • These regions can also be superimposed in the plane of the guiding layer, being arranged at different heights in this layer.
  • the photoluminescent constituents of different natures can also be mixed and distributed throughout the guiding layer in proportions chosen according to the desired light output for each species.
  • the fluorescence emitted by the chromophore elements can be captured either from above the device according to the invention with a given numerical aperture objective, or from below this device using a matrix of photodetectors of the CCD or CMOS type which is part of the substrate.
  • the invention also applies to the format of micro-plates (format "SBS”) for example at 24, 96, 384 or 1536 wells, where the location of the photoluminescent elements and filtering means is adapted to the geometry of the microplate and wells.
  • SBS format of micro-plates
  • microwells made by depositing a layer of several tens of ⁇ m thick with orifices forming the microwells (for example Cel-Line TEFLON ® type HTC treatment). marketed by Erie Scientific Corp, Portsmouth, NH).
  • Cel-Line TEFLON ® type HTC treatment marketed by Erie Scientific Corp, Portsmouth, NH.
  • the different wells can be used as separate hybridization zones for different test samples.
  • the invention also relates to the use of a device mentioned above in a liquid medium containing suspended chromophore elements and diffusing particles.
  • FIG. 1 and 2 are schematic views in section and from above respectively of a first embodiment of a device according to the invention
  • FIGS. 8 and 9 are diagrammatic views from above showing other alternative embodiments of the device according to the invention.
  • FIG. 10 is a schematic sectional view of the device Figure 9;
  • FIG. 11 and 12 are schematic sectional views showing two steps of manufacturing a device according to the invention.
  • FIG. 13 is a schematic sectional view showing another alternative embodiment of the device according to the invention.
  • the device represented in FIGS. 1 and 2 comprises a substrate 10 of a conventional type whose upper layer 12 intended to carry chromophore elements 14 on a part 16 of its surface is made of a material having a high refractive index, for example greater than about 1.6, and forms a planar waveguide.
  • Part 18 of this layer 12, adjacent to that 16 for carrying the chromophore elements 14, contains photoluminescent constituents 20 which emit luminescence in guided mode in the layer 12 when excited by a primary excitation light 22 which directly illuminates either the portion 18 of the layer 12 containing the photoluminescent constituents 20, or the opposite face 24 of the substrate 10 as shown schematically in FIG.
  • the photoluminescent components 20 are chosen to emit, when they are excited by the light 22, a luminescence at the excitation wavelengths of the chromophoric elements 14. These latter are then excited by the evanescent part of the guided luminescence 26 which propagates in layer 12.
  • the photoluminescent constituents 20 contained in the layer 12 comprise, for example: luminescent polymers, in particular such as those developed for OLEDs (organic light-emitting diodes),
  • luminescent ions especially those based on transition or rare earths,
  • quantum boxes in particular based on 11-VI or III-V semiconductors, which can be surface-chemically functionalized for better incorporation, a semiconductor heterostructure comprising layers
  • the primary excitation light 22 are illuminated by the primary excitation light 22 with relatively wide mechanical and optical tolerance, greater than 10 ⁇ m.
  • the wavelengths of the primary excitation light 22 may be between 350 nm or less and 500 nm. about.
  • the guided luminescence 26 emitted by the photoluminescent constituents 20 has a relatively broad spectral band because it is produced by spontaneous emission of the constituents 20, and may have a non-zero luminescence intensity at the wavelengths of the fluorescence emitted by the Chromophoric elements 14. It is therefore necessary to filter it spectrally in order to rid it of wavelengths that are identical to or similar to those of the emitted fluorescence, which could constitute (after diffusion out of the guide due in particular to the irregularities of the latter) an annoying background noise. in the collection of the fluorescence emitted by the elements 14.
  • this filter can be interposed in the layer 12, between the region 18 comprising the photoluminescent constituents 20 and the region 16 carrying the chromophore elements 14, a spectral filter 28 acting on the guided luminescence 26, this filter can be formed by a series of grooves of the layer 12 or by photonic crystals operating in the plane or also by optical cavities formed in the plane of the layer 12 by confinement between trenches or photonic crystals.
  • the guiding layer 12 may be designed so that its cut-off wavelength of the useful guided mode (for example of TE polarization) is between the excitation wavelength of the chromophore elements 14 and the length of the fluorescence emitted by these elements.
  • An asymmetric guide in terms of index profile lends itself well to such an operation.
  • the wavelengths between the cutoff wavelength of the guiding layer 12 and the wavelength of the emitted fluorescence are not guided by the layer 12, the light produced at these lengths of light. wave moves away from the plane of the guide on weak lateral dimensions and the associated electromagnetic field becomes negligible in the useful zone where the chromophore elements 14 are located.
  • this filtering can be carried out by inclusion in the layer 12 of absorbing components at wavelengths greater than the excitation wavelengths of the chromophoric elements 14 and in particular at wavelengths close to those of the fluorescence emitted by elements 14.
  • the modal absorption coefficient of the guided mode may have a relatively high value (10 to 1000 cm -1 ) without affecting the emission of chromophoric elements 14.
  • These absorbent components may be dyes such as those used. in the color filters, and having a particularly low luminescence efficiency in the spectral bands considered, so as to convert the guided parasitic light into heat.
  • FIG. 3 schematically represents an embodiment in which the spectral filter 28 is constituted by a series of slightly pronounced (shallow) grooves, of the sinusoidal type for example and / or with a low index contrast, which are formed on the surface or in one or more intermediate sub-layers having different indices of the planar waveguide 12, the network formed by these grooves being shown "buried" in the waveguide 12 in FIG.
  • the spectral filter 28 is constituted by a series of slightly pronounced (shallow) grooves, of the sinusoidal type for example and / or with a low index contrast, which are formed on the surface or in one or more intermediate sub-layers having different indices of the planar waveguide 12, the network formed by these grooves being shown "buried" in the waveguide 12 in FIG.
  • the zones 18 containing the photoluminescent constituents are placed under a reflective layer 25, for example a metallic layer, at a level which corresponds to a vertical resonance node for the emitted luminescence, as shown schematically in FIG. 4.
  • a reflector 30 (FIGS. 1 and 2) can be incorporated in the zone 18 of the layer 12, which in this example consists of a simple groove dug in the layer 12 and forming a U in the plane of this layer, the U being open towards the zone 16 to return thereto a maximum amount of guided luminescence 26.
  • the groove widths are typically between ⁇ / 10 and ⁇ / 3.
  • this reflector may be formed of a periodic series of two or three or more grooves, forming a reflector of the DBR type, one of the reflectivity bands of which is at the excitation wavelength of the chromophore elements 14 for the angles incidence of the guided mode considered.
  • the reflector may be formed of a two-dimensional photonic crystal whose forbidden bands are used in the polarizations and directions considered (see the article by BENISTY et al.), "Optical and confinement properties of two dimensional photonic crystals J. Lightwave Technology, vol. 17, p. 2063-2077, 1999).
  • this reflector is formed over the entire thickness of the guiding layer 12 to increase the reflectivity vis-à-vis the guided mode.
  • An advantage of this reflector is to define a suitable curved shape of reflective surface, making it possible to obtain a desired guided luminescence distribution (this distribution may be uniform or not) while retaining a shape support. cuboid.
  • An advantage of using a two-dimensional photonic crystal is also that the diffraction effect at certain incidences and wavelengths makes it possible to reinforce the randomness of the guided luminescence distribution.
  • an absorbent layer 32 which will consume all the photons emitted from the layer 12 by diffusion of the primary excitation light And / or unguided luminescence produced by the photoluminescent components at the excitation wavelengths of the chromophore elements 14, this scattered light being capable of constituting an annoying background signal.
  • the guiding layer 12 of the substrate 10 carrying the chromophore elements 14 contains fluorescent constituents 20 and absorbent components (those of the filter 28 of FIGS. 1 and 2) which are mixed together and distributed relatively uniformly throughout the guiding layer 12.
  • the absorbent components of the filter 28 are included in the portion 16 of the guide layer 12 carrying the chromophore elements 14 and form a substantially continuous layer in this region 16, while the constituents 20 photoluminescents are included in the other region 18 of the layer 12 and form a substantially continuous layer in this region.
  • the photoluminescent constituents 20 and the absorbent components of the filter 28 form in the layer 12 two superimposed intermediate layers, the layer comprising the photoluminescent components 20 being situated directly under the chromophore elements 14 and the whole of these two layers forming a planar waveguide.
  • the luminescence emitted by the constituents 20 is guided in this waveguide and its components at the wavelengths of the fluorescence emitted by the elements 14 are absorbed by the layer 28.
  • the photoluminescent constituents 20 can be grouped together in the plane of the guiding layer 12 in zones 34 located on either side of a central zone 16 carrying the chromophore elements 14.
  • FIGS. 9 and 10 there is shown an arrangement in which the zones 34 containing the photoluminescent constituents 20 and the zones 36 carrying the chromophore elements 14 are surrounded by a reflector 38 formed by a metal coating of the wafer of the guiding layer 12, all around it.
  • This metal coating is for example aluminum, silver, gold, etc. and prevents the light from escaping through the edge of the layer 12.
  • the portions of the layer 12 having areas 34 of photoluminescent constituents may be illuminated by the primary excitation light 22.
  • these photoluminescent constituents are distributed throughout the layer 12, as this is the case of the embodiments of FIGS. 5 and 7, only certain parts of the layer 12 are illuminated by the primary excitation light 22, as shown schematically in FIG. 7.
  • the substrate 10 carries a semiconductor heterostructure 40 which constitutes a waveguide and comprises an incorporated filter 28 and luminescent wells which are included in a part of this structure 40.
  • Wells are advantageously formed on only a part of the heterostructure by an improved growth method such as that known under the name SAG (Selective Area Growth), which makes it possible to have no reabsorption beyond this part.
  • SAG Selective Area Growth
  • a semiconductor film may be deposited on the substrate 10 and then cut by standard lithography methods to leave only locations that will actually be illuminated by the primary excitation light.
  • Figure 11 schematically illustrates the first step before cutting.
  • a guiding layer 12 is then formed on the substrate 10 (FIG. 12) for example by a "lift-off" method, this guiding layer 12 being coupled optically with the structure 40 or with the semiconductor film mentioned above.
  • the structure represented corresponds substantially to that of FIGS. 1 and 2, but the substrate 10 furthermore comprises, under the zone 16 carrying the chromophore elements 14, an intermediate layer 42 structured, which is partially or wholly reflective for the fluorescence emitted by the chromophoric elements 14 and which is arranged between the absorbent layer and the guiding layer 12 and has areas of different thickness or height to vary, by destructive or constructive interference, the intensity the fluorescence emitted by the chromophore elements 14.
  • This intermediate layer 42 is covered with a layer 44 of sufficient thickness so that the mode guided by the layer 12 has a negligible evanescent field at the level of the structured layer 42, which makes it possible not to disturb the propagation of the guided mode.
  • the device according to the invention may comprise photoluminescent constituents which, when excited, emit at different wavelengths for the excitation of chromophore elements 14 of different types. These different constituents may be mixed or separated in different areas.
  • the photoluminescent constituents 20 can form a very thin layer deposited on the surface of a pre-existing guiding layer, which makes it possible to capture in this layer luminescence guided by the evanescent part of the guided mode, and to well locate the layer of constituents 20 to promote the aforementioned effects of vertical anti-resonance for guided luminescence and vertical resonance for the primary excitation light.
  • These filtering means may be formed of one or more absorbent layers and / or a multilayer interference filter (for example a correctly centered Bragg mirror).

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Abstract

Dispositif de support d'éléments chromophores propres à émettre une fluorescence en réponse à une excitation lumineuse, ce dispositif comprenant un substrat (10) dont une couche superficielle (12) portant les éléments chromophores (14) forme un guide d'onde planaire et contient des constituants photoluminescents (20) qui émettent une luminescence guidée aux longueurs d'onde d'excitation des éléments chromophores (14) quand ils sont excités par une lumière d'excitation primaire (22) éclairant la couche superficielle (12). L'invention s'applique notamment aux dispositifs du type biopuce.

Description

DISPOSITIF DE SUPPORT D'ELEMENTS CHROMOPHORES
L'invention concerne un dispositif de support d'éléments chromophores tel notamment que ceux communément appelés "bio-puces".
Dans ces dispositifs, un substrat en général multicouche porte des éléments chromophores qui sont des molécules chimiques ou biologiques, des éléments colorants ajoutés ou greffés à des molécules chimiques ou biologiques, ou des nanostructures semi-conductrices telles que des fils ou des boîtes quantiques et qui émettent une fluorescence dont la longueur d'onde dépend de leur nature, quand ils sont excités par une lumière appropriée. Cette fluorescence permet notamment d'identifier et de repérer sur le substrat des molécules qui ont réagi à des traitements donnés. On a déjà proposé, dans les demandes WO-A-02516912,
FR0115140 et FR0210285 des mêmes inventeurs, des moyens permettant de renforcer l'intensité d'excitation des éléments chromophores et celle de la fluorescence émise par ces éléments. Il a été notamment envisagé d'utiliser un mode guidé de la lumière d'excitation pour exciter les éléments chromophores par la partie evanescente de l'onde guidée, ce qui est intéressant au niveau du rapport signal/bruit et de la réjection de la lumière d'excitation. Dans la technique connue, il a été proposé de coupler la lumière d'excitation dans une couche guidante du substrat, soit par éclairage d'un réseau formé à la surface de cette couche guidante, soit par éclairage d'une tranche de la couche guidante par la lumière d'excitation.
Dans le premier cas, le couplage n'est réalisé que si la lumière d'excitation arrive sur le réseau avec un angle d'incidence déterminé de façon très précise, cet angle variant avec la longueur d'onde à coupler. Le montage doit donc être réalisé avec une grande précision mécanique et optique. Dans le second cas, le faisceau d'éclairage de la tranche de la couche guidante doit avoir une dimension correspondant à la largeur ou hauteur effective du mode guidé, qui est d'un micromètre ou moins et il doit donc être positionné avec une tolérance inférieure au micromètre.
Les difficultés pratiques liées au couplage de la lumière d'excitation dans une couche guidante du substrat sont donc importantes. L'invention a notamment pour but d'apporter une solution simple et efficace à ce problème.
Elle propose à cet effet un dispositif de support d'éléments chromophores propres à émettre une fluorescence en réponse à une excitation lumineuse, ce dispositif comprenant un substrat dont une couche superficielle destinée à porter les éléments chromophores forme un guide d'onde planaire, caractérisé en ce que ce guide d'onde planaire contient des constituants photoluminescents propres à émettre une luminescence à la ou aux longueurs d'onde d'excitation des éléments chromophores quand ils sont eux-mêmes excités par une lumière d'excitation primaire, cette luminescence étant guidée dans le guide d'onde planaire pour l'excitation des éléments chromophores.
Dans le dispositif selon l'invention, la lumière d'excitation des éléments chromophores est générée dans le guide d'onde planaire lui- même, ce qui évite tous les problèmes de couplage de cette lumière dans le guide d'onde. De plus, cette lumière d'excitation est elle-même produite par éclairage direct (non guidé) de la partie du guide d'onde dont on souhaite exciter les constituants photoluminescents, ce qui peut se faire de façon ordinaire avec une tolérance assez large, qui est typiquement supérieure à 10 μm.
Les constituants photoluminescents du dispositif selon l'invention peuvent être de natures très diverses et comprennent notamment des polymères, des molécules organiques, des ions luminescents, des boîtes quantiques ou sont formés dans une structure hétérogène semi- conductrice multicouche.
Ces constituants photoluminescents peuvent être disposés dans le guide d'onde planaire dans des zones séparées les unes des autres et sensiblement adjacentes à des zones destinées à porter les éléments chromophores.
Dans ce cas, différentes configurations sont possibles : on peut notamment avoir une zone comportant des constituants photoluminescents entre deux zones destinées à porter des éléments chromophores, ou bien deux zones contenant des constituants photoluminescents qui entourent une zone destinée à porter des éléments chromophores, ou encore une zone contenant des constituants photoluminescents et qui s'étend sur le pourtour de la couche guidante, avec à l'intérieur une ou plusieurs zones contenant des constituants photoluminescents.
On peut combiner ces diverses configurations avec un éclairage sélectif des zones contenant les constituants photoluminescents par la lumière d'excitation primaire.
En variante, les constituants photoluminescents peuvent être répartis de façon sensiblement uniforme sur toute la surface de la couche guidante, et on éclaire alors sélectivement certaines zones de cette surface par la lumière d'excitation primaire. Selon une autre caractéristique de l'invention, des moyens de filtrage en longueur d'onde sont prévus dans le guide d'onde planaire pour éliminer de la lumière émise par les constituants photoluminescents, les longueurs d'onde qui sont identiques à ou voisines de celles de la fluorescence émise par les éléments chromophores. On améliore ainsi le rapport signal/bruit de la fluorescence émise par les éléments chromophores et captée par des moyens optiques adéquats.
Ces moyens de filtrage sont de préférence situés entre des zones du guide d'onde planaire comportant des constituants photoluminescents et des zones destinées à porter des éléments chromophores.
Ces moyens de filtrage peuvent comprendre des séries de rainures formées dans le guide d'onde planaire, des cristaux photoniques fonctionnant dans le plan du guide d'onde ou des cavités optiques formées dans le plan du guide d'onde par confinement entre des tranchées ou des cristaux photoniques. En variante, les moyens de filtrage peuvent être formés par des matériaux inclus dans le guide d'onde planaire et absorbant les longueurs d'onde identiques à ou voisines de celles de la fluorescence émise par les éléments chromophores.
Ces constituants absorbants peuvent être des colorants du type de ceux utilisés dans les filtres colorés, qui ont un rendement de luminescence particulièrement faible dans les bandes spectrales considérées et qui convertissent en chaleur la lumière parasite guidée.
Selon encore une autre variante, qui tire profit du fait que la longueur d'onde d'excitation des éléments chromophores est inférieure à la longueur d'onde de la fluorescence émise par ces éléments, le filtrage est réalisé par le guide d'onde planaire lui-même, celui-ci ayant une longueur d'onde de coupure du mode guidé qui est comprise entre la longueur d'onde d'excitation des éléments chromophores et celle de la fluorescence émise par ces éléments. Le dispositif selon l'invention comprend encore des moyens permettant d'augmenter la quantité de luminescence guidée parvenant aux zones destinées à porter les éléments chromophores. On peut en particulier réfléchir vers ces zones la luminescence guidée ou la faire passer plusieurs fois dans ces zones. Pour cela, il est possible de recouvrir la tranche de la couche guidante avec un métal tel par exemple que l'aluminium, l'argent, l'or, etc., ou d'incorporer des réflecteurs dans le guide d'onde planaire, ces réflecteurs pouvant être constitués d'une rainure, d'une série périodique de plusieurs rainures formant un réflecteur du type DBR (Distributed Bragg Reflector) dont une bande de réflectivité est à la longueur d'onde d'excitation des éléments chromophores pour les angles d'incidence du mode guidé considéré, ou bien d'un cristal photonique bidimensionnel.
La production de la luminescence guidée à partir de la lumière d'excitation primaire peut également être augmentée par les moyens suivants : - une couche ou une zone réfléchissante située sous la couche ou la zone contenant des constituants photoluminescents,
- la disposition des constituants photoluminescents à un ventre d'un mode de cavité vertical pour soumettre ces constituants à une intensité d'excitation maximale, les deux miroirs délimitant la cavité étant choisis pour optimiser la conversion,
- une structuration photonique, telle que des cavités, formées autour des zones contenant les constituants photoluminescents de façon à ce que l'émission guidée ait lieu dans des modes de cavités.
On peut également coupler de façon optimale l'émission luminescente des constituants précités au mode guidé, en utilisant les moyens suivants :
- les zones contenant les constituants photoluminescents sont situées à un niveau d'anti-résonance en émission verticale (perpendiculaire au guide d'onde planaire) ce qui permet de réduire l'émission en direction verticale au profit de l'émission guidée,
- les zones contenant les constituants photoluminescents sont placées sous une couche réfléchissante, par exemple métallique, à une distance correspondant à l'inhibition de l'excitation des modes verticaux sur une grande plage angulaire. Dans ce cas, la lumière d'excitation primaire éclaire la face du substrat opposée à celle comportant la couche réfléchissante précitée.
Le dispositif selon l'invention peut bien entendu comprendre diverses sortes de constituants photoluminescents qui émettent sur des longueurs d'onde différentes quand ils sont excités, pour assurer l'excitation sur différentes longueurs d'onde de diverses sortes d'éléments chromophores. Dans ce cas, une seule lumière d'excitation primaire ou plusieurs lumières d'excitation primaire ayant des bandes spectrales différentes peuvent être utilisées pour exciter les constituants photoluminescents.
Les constituants photoluminescents différents peuvent être regroupés par nature et former des régions distinctes différentes, associées à des réflecteurs et des moyens de filtrage du type précité.
Ces régions peuvent également être superposées dans le plan de la couche guidante, en étant disposées à des hauteurs différentes dans cette couche. Les constituants photoluminescents de natures différentes peuvent aussi être mélangés et répartis dans toute la couche guidante dans des proportions choisies en fonction de la puissance lumineuse souhaitée pour chaque espèce.
Pour éviter que la lumière d'excitation primaire et la luminescence non guidée qui peuvent être diffusées via le substrat parviennent à constituer un signal de fond dommageable, on peut disposer sur une partie ou sur la totalité du substrat une couche absorbante située sous le guide d'onde planaire et consommant les photons émis depuis ce guide d'onde. On peut aussi utiliser dans le dispositif selon l'invention les moyens décrits dans la demande FR0210285 précitée des mêmes inventeurs, et notamment ceux relatifs aux structurations des plages de support des éléments chromophores qui permettent de distinguer un signal utile d'un bruit de fond global. De façon générale et comme décrit dans la demande antérieure
WO-A-0216912 des mêmes inventeurs, la fluorescence émise par les éléments chromophores peut être captée soit depuis le dessus du dispositif selon l'invention avec un objectif d'ouverture numérique donnée, soit depuis le dessous de ce dispositif en utilisant une matrice de photodétecteurs du type CCD ou CMOS qui fait partie du substrat.
L'invention s'applique aussi au format des micro-plaques (format "SBS") par exemple à 24, 96, 384 ou 1536 puits, où l'emplacement des éléments photoluminescents et des moyens de filtrage est adapté à la géométrie de la micro-plaque et des puits.
Elle s'applique également au format des lames de microscope comportant des micropuits, réalisés par dépôt d'une couche de plusieurs dizaines de μm d'épaisseur avec des orifices formant les micropuits (par exemple traitement HTC de type TEFLON ® de marque Cel-Line commercialisé par Erie Scientific Corp, Portsmouth, NH). Les différents puits peuvent être utilisés comme zones d'hybridation séparées destinées à des échantillons de test différents.
L'invention concerne aussi l'utilisation d'un dispositif précité dans un milieu liquide contenant des éléments chromophores en suspension et des particules diffusantes.
Dans ce milieu liquide, seuls les éléments chromophores immobilisés sur la surface du dispositif sont excités par la partie evanescente de l'onde guidée, et non les éléments chromophores en suspension, ce qui améliore considérablement le rapport signal/bruit et permet de mesurer le signal d'hybridation résolu dans le temps.
L'invention sera mieux comprise et d'autres caractéristiques, détails et avantages de celle-ci apparaîtront plus clairement à lecture de la description qui suit, faite à titre d'exemple en référence aux dessins annexés dans lesquels :
- les figures 1 et 2 sont des vues schématiques en coupe et de dessus respectivement d'un premier mode de réalisation d'un dispositif selon l'invention ;
- les figures 3 à 7 sont des vues schématiques en coupe illustrant des variantes de réalisation de ce dispositif ;
- les figures 8 et 9 sont des vues schématiques de dessus représentant d'autres variantes de réalisation du dispositif selon l'invention ;
- la figure 10 est une vue schématique en coupe du dispositif de la figure 9 ;
- les figures 11 et 12 sont des vues schématiques en coupe représentant deux étapes de fabrication d'un dispositif selon l'invention ;
- la figure 13 est une vue schématique en coupe représentant une autre variante de réalisation du dispositif selon l'invention.
Le dispositif représenté aux figures 1 et 2 comprend un substrat 10 d'un type classique dont une couche supérieure 12 destinée à porter des éléments chromophores 14 sur une partie 16 de sa surface est réalisée en un matériau ayant un indice de réfraction élevé, par exemple supérieur à 1 ,6 environ, et forme un guide d'onde planaire.
Une partie 18 de cette couche 12, adjacente à celle 16 destinée à porter les éléments chromophores 14, contient des constituants photoluminescents 20 qui émettent une luminescence en mode guidé dans la couche 12 lorsqu'ils sont excités par une lumière d'excitation primaire 22 qui éclaire directement soit la partie 18 de la couche 12 contenant les constituants photoluminescents 20, soit la face opposée 24 du substrat 10 comme représenté schématiquement en figure 1.
Les composants photoluminescents 20 sont choisis pour émettre, quand ils sont excités par la lumière 22, une luminescence aux longueurs d'onde d'excitation des éléments chromophores 14. Ces derniers sont alors excités par la partie evanescente de la luminescence guidée 26 qui se propage dans la couche 12.
Les constituants photoluminescents 20 que contient la couche 12 comprennent par exemple : - des polymères luminescents, notamment tels que ceux développés pour les OLEDs (diodes électroluminescentes organiques),
- des molécules organiques supportant l'inclusion dans une matrice de polymère, de silice ou d'oxyde élaboré par voie sol-gel, l'inclusion pouvant être physique ou chimique (liaison covalente) ou électrostatique,
- des ions luminescents, notamment à base des métaux de transition ou de terres rares,
- des boîtes quantiques, notamment à base de semi-conducteurs ll-VI ou lll-V, qui peuvent être fonctionnalisés chimiquement en surface pour une meilleure incorporation, - une hétérostructure semi-conductrice comprenant des couches
(puits, fil ou boîte quantique).
Ces constituants photoluminescents sont éclairés par la lumière d'excitation primaire 22 avec une tolérance mécanique et optique relativement large, supérieure à 10 μm. Lorsque les longueurs d'onde d'excitation des éléments chromophores 14 sont de l'ordre de 500 à 650 nm par exemple, les longueurs d'onde de la lumière d'excitation primaire 22 peuvent être comprises entre 350 nm ou moins et 500 nm environ.
La luminescence guidée 26 émise par les constituants photoluminescents 20 a une bande spectrale relativement large du fait qu'elle est produite par émission spontanée des constituants 20, et peut comporter une intensité de luminescence non nulle aux longueurs d'onde de la fluorescence émise par les éléments chromophores 14. Il faut donc la filtrer spectralement pour la débarrasser des longueurs d'onde identiques ou voisines de celles de la fluorescence émise, qui pourraient constituer (après diffusion hors du guide due notamment aux irrégularités de ce dernier) un bruit de fond gênant dans la collecte de la fluorescence émise par les éléments 14.
On peut pour cela interposer dans la couche 12, entre la région 18 comprenant les constituants photoluminescents 20 et la région 16 portant les éléments chromophores 14, un filtre spectral 28 agissant sur la luminescence guidée 26, ce filtre pouvant être formé par une série de rainures de la couche 12 ou encore par des cristaux photoniques fonctionnant dans le plan ou également par des cavités optiques formées dans le plan de la couche 12 par confinement entre des tranchées ou des cristaux photoniques. En variante, on peut concevoir la couche guidante 12 de telle sorte que sa longueur d'onde de coupure du mode guidé utile (par exemple de polarisation TE) soit comprise entre la longueur d'onde d'excitation des éléments chromophores 14 et la longueur d'onde de la fluorescence émise par ces éléments. Un guide asymétrique en termes de profil d'indice se prête bien à un tel fonctionnement. De cette façon, les longueurs d'onde comprises entre la longueur d'onde de coupure de la couche guidante 12 et la longueur d'onde de la fluorescence émise ne sont pas guidées par la couche 12, la lumière produite à ces longueurs d'onde s'éloigne du plan du guide sur des dimensions latérales faibles et le champ électromagnétique associé devient négligeable dans la zone utile où se trouvent les éléments chromophores 14.
En variante, on peut réaliser ce filtrage par inclusion dans la couche 12 de composants absorbants aux longueurs d'onde supérieures aux longueurs d'onde d'excitation des éléments chromophores 14 et notamment aux longueurs d'onde voisines de celles de la fluorescence émise par les éléments 14. Le coefficient d'absorption modal du mode guidé peut avoir une valeur relativement élevée (10 à 1000 cm"1) sans que l'émission des éléments chromophores 14 soit affectée. Ces composants absorbants peuvent être des colorants tels que ceux utilisés dans les filtres colorés, et ayant un rendement de luminescence particulièrement faible dans les bandes spectrales considérées, de façon à convertir en chaleur la lumière parasite guidée.
La figure 3 représente schématiquement une réalisation dans laquelle le filtre spectral 28 est constitué par une série de rainures peu prononcées (de faible profondeur), du type sinusoïdal par exemple et/ou à contraste d'indice faible, qui sont formées en surface ou dans une ou des sous-couches intermédiaires ayant des indices différents du guide d'onde planaire 12, le réseau formé par ces rainures étant représenté "enterré" dans le guide d'onde 12 en figure 3.
Quand les constituants photoluminescents 20 sont éclairés par la lumière d'excitation primaire 22 à travers le substrat 10, depuis sa face 24 opposée à celle destinée à porter les éléments chromophores 14, il est avantageux que les zones 18 contenant les constituants photoluminescents soient placées sous une couche réfléchissante 25, par exemple métallique, à un niveau qui correspond à un nœud de résonance verticale pour la luminescence émise, comme représenté schématiquement en figure 4.
Pour augmenter la quantité de luminescence guidée 26 parvenant dans la zone utile 16 portant les éléments chromophores 14, on peut incorporer dans la zone 18 de la couche 12 un réflecteur 30 (figures 1 et 2) qui dans cet exemple est constitué d'une simple rainure creusée dans la couche 12 et formant un U dans le plan de cette couche, le U étant ouvert en direction de la zone 16 pour renvoyer vers celle-ci une quantité maximale de luminescence guidée 26. Les largeurs de rainure sont typiquement comprises entre λ/10 et λ/3.
En variante, ce réflecteur peut être formé d'une série périodique de deux ou trois rainures ou davantage, formant un réflecteur du type DBR dont une des bandes de réflectivité est à la longueur d'onde d'excitation des éléments chromophores 14 pour les angles d'incidence du mode guidé considéré.
Dans une autre variante, le réflecteur peut être formé d'un cristal photonique bidimensionnel dont les bandes interdites sont utilisées dans les polarisations et directions considérées (voir l'article de BENISTY et al)., "Optical and confinement properties of two dimensional photonic crystals", J. Lightwave Technology, vol. 17, p. 2063-2077, 1999).
Dans tous les cas, ce réflecteur est formé sur toute l'épaisseur de la couche guidante 12 pour augmenter la réflectivité vis-à-vis du mode guidé. Un avantage de ce réflecteur est de définir une forme incurvée appropriée de surface réfléchissante, permettant d'obtenir une distribution souhaitée de luminescence guidée (cette distribution pouvant être uniforme ou non) tout en conservant un support de forme parallélépipédique. Un avantage de l'utilisation d'un cristal photonique bidimensionnel est également que l'effet de diffraction à certaines incidences et longueurs d'onde permet de renforcer le caractère aléatoire de la distribution de la luminescence guidée. Toutefois, si l'on dispose d'une source de luminescence guidée de grande puissance par unité de surface, ayant une petite dimension latérale de l'ordre du millimètre, on peut, avec un réflecteur parabolique 30 formé dans la couche guidante 12, obtenir un faisceau guidé sensiblement collimaté de grande largeur (5 - 50 mm environ), ce qui peut être avantageux au niveau du traitement ultérieur de la luminescence guidée notamment par des filtres. Les caractéristiques de ces filtres dépendent de l'incidence du mode guidé, ce qui conduit à des fuites ou des réflexions indésirables lorsque la lumière à filtrer se propage suivant une large gamme d'angles d'incidence.
On peut encore, comme représenté en figure 1 , prévoir dans le substrat 10, sous une partie au moins de la couche 12, une couche absorbante 32 qui va consommer tous les photons émis depuis la couche 12 par diffusion de la lumière d'excitation primaire 22 et/ou de la luminescence non guidée produite par les constituants photoluminescents 20 aux longueurs d'onde d'excitation des éléments chromophores 14, cette lumière diffusée étant susceptible de constituer un signal de fond gênant.
Dans la variante de réalisation représentée schématiquement en figure 5, la couche guidante 12 du substrat 10 portant les éléments chromophores 14 contient des constituants fluorescents 20 et des composants absorbants (ceux du filtre 28 des figures 1 et 2) qui sont mélangés entre eux et répartis de façon relativement uniforme dans toute la couche guidante 12.
Dans la variante de réalisation de la figure 6, les composants absorbants du filtre 28 sont inclus dans la partie 16 de la couche guidante 12 portant les éléments chromophores 14 et forment une couche sensiblement continue dans cette région 16, tandis que les constituants 20 photoluminescents sont inclus dans l'autre région 18 de la couche 12 et forment une couche sensiblement continue dans cette région.
Dans la variante de réalisation de la figure 7, les constituants photoluminescents 20 et les composants absorbants du filtre 28 forment dans la couche 12 deux couches intermédiaires superposées, la couche comportant les composants photoluminescents 20 étant située directement sous les éléments chromophore 14 et l'ensemble de ces deux couches formant un guide d'onde planaire. La luminescence émise par les constituants 20 est guidée dans ce guide d'onde et ses composantes aux longueurs d'onde de la fluorescence émise par les éléments 14 sont absorbées par la couche 28.
Dans encore une autre variante de réalisation représentée en figure 8, les constituants photoluminescents 20 peuvent être regroupés dans le plan de la couche guidante 12 en zones 34 situées de part et d'autre d'une zone centrale 16 portant les éléments chromophores 14.
En variante, on peut bien entendu avoir la disposition inverse, c'est-à-dire une zone centrale comportant des constituants photoluminescents 20 et deux zones latérales portant les éléments chromophores 14 et situées de part et d'autre de cette zone centrale. Dans la variante de réalisation des figures 9 et 10, on a représenté une disposition dans laquelle les zones 34 contenant les constituants photoluminescents 20 et les zones 36 portant les éléments chromophores 14 sont entourées d'un réflecteur 38 formé par un revêtement métallique de la tranche de la couche guidante 12, sur tout son pourtour. Ce revêtement métallique est par exemple en aluminium, en argent, en or, etc. et empêche la lumière de s'échapper par la tranche de la couche 12.
De façon générale, seules les parties de la couche 12 comportant des zones 34 de constituants photoluminescents peuvent être éclairées par la lumière d'excitation primaire 22. Lorsque ces constituants photoluminescents sont répartis dans la totalité de la couche 12, comme c'est le cas des modes de réalisation des figures 5 et 7, seules certaines parties de la couche 12 sont éclairées par la lumière d'excitation primaire 22, comme représenté schématiquement en figure 7.
Dans la forme de réalisation des figures 11 et 12, le substrat 10 porte une hétérostructure 40 semi-conductrice qui constitue un guide d'onde et comprend un filtre 28 incorporé et des puits luminescents qui sont inclus dans une partie de cette structure 40. Ces puits sont avantageusement formés sur une partie seulement de l'hétérostructure par une méthode de croissance perfectionnée telle que celle connue sous la dénomination SAG (Sélective Area Growth), ce qui permet de ne pas avoir de réabsorption au-delà de cette partie.
En variante, un film semi-conducteur peut être déposé sur le substrat 10, puis découpé par des procédés de lithographie standard pour ne laisser subsister que des emplacements qui seront effectivement éclairés par la lumière d'excitation primaire. La figure 11 illustre schématiquement la première étape avant découpe.
Une couche guidante 12 est ensuite formée sur le substrat 10 (figure 12) par exemple par un procédé de "lift-off", cette couche guidante 12 étant couplée optiquement avec la structure 40 ou avec le film semi- conducteur précité.
Dans la variante de réalisation de la figure 13, la structure représentée correspond sensiblement à celle des figures 1 et 2, mais le substrat 10 comprend de plus, sous la zone 16 portant les éléments chromophores 14, une couche intermédiaire 42 structurée, qui est partiellement ou totalement réfléchissante pour la fluorescence émise par les éléments chromophores 14 et qui est disposée entre la couche absorbante et la couche guidante 12 et comporte des zones d'épaisseur ou de hauteur différente permettant de faire varier, par interférence destructive ou constructive, l'intensité de la fluorescence émise par les éléments chromophores 14. Cette couche intermédiaire 42 est recouverte d'une couche 44 d'épaisseur suffisante pour que le mode guidé par la couche 12 ait un champ évanescent négligeable au niveau de la couche structurée 42, ce qui permet de ne pas perturber la propagation du mode guidé.
Le dispositif selon l'invention peut comprendre des constituants photoluminescents 20 qui émettent, quand ils sont excités, sur des longueurs d'onde différentes pour l'excitation d'éléments chromophores 14 de types différents. Ces constituants 20 différents peuvent être mélangés, ou séparés dans des zones 34 différentes.
De nombreuses modifications peuvent être apportées aux réalisations décrites et représentées : par exemple, les constituants photoluminescents 20 peuvent former une couche très mince déposée à la surface d'une couche guidante préexistante, ce qui permet de capter dans cette couche de la luminescence guidée par la partie evanescente du mode guidé, et de bien localiser la couche de constituants 20 pour favoriser les effets précités d'anti-résonance verticale pour la luminescence guidée et de résonance verticale pour la lumière d'excitation primaire.
Quand la fluorescence émise par les éléments chromophores est captée par une matrice de photodétecteurs CCD ou CMOS, on prévoit avantageusement des moyens de filtrage de la lumière d'excitation primaire et/ou de la luminescence guidée et qui laissent passer au moins une majeure partie de la fluorescence émise.
Ces moyens de filtrage peuvent être formés d'une ou de plusieurs couches absorbantes et/ou d'un filtre interférentiel multicouche (par exemple miroir de Bragg correctement centré).

Claims

REVENDICATIONS
1 - Dispositif de support d'éléments chromophores propres à émettre une fluorescence en réponse à une excitation lumineuse, ce dispositif comprenant un substrat (10) dont une couche superficielle (12) destinée à porter les éléments chromophores (14) forme un guide d'onde planaire, caractérisé en ce que ce guide d'onde planaire (12) contient des constituants photoluminescents (20) propres à émettre une luminescence à la ou aux longueurs d'onde d'excitation des éléments chromophores (14) quand ces constituants (20) sont eux-mêmes excités par une lumière d'excitation primaire (22), la luminescence émise étant guidée dans le guide d'onde planaire (12) pour l'excitation des éléments chromophores (14).
2 - Dispositif selon la revendication 1 , caractérisé en ce que les constituants photoluminescents comprennent notamment des polymères, des molécules organiques, des ions luminescents, des boîtes quantiques ou sont formés dans une structure hétérogène semi-conductrice (40) à couches.
3 - Dispositif selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que les constituants photoluminescents (20) sont excités par éclairage par la lumière d'excitation primaire (22) du guide d'onde planaire (12) ou de la face (24) du substrat (10) opposée à celle comportant le guide d'onde planaire (12).
4 - Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que les constituants photoluminescents (20) sont disposés dans le guide d'onde planaire (12) dans des zones séparées (18, 34) sensiblement adjacentes à celles (16, 36) destinées à porter les éléments chromophores (14).
5 - Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que des moyens (28) de filtrage en longueur d'onde sont prévus dans le guide d'onde planaire (12) pour éliminer de la luminescence (26) émise par les constituants photoluminescents (20) les longueurs d'onde identiques à ou voisines de celles de la fluorescence émise par les éléments chromophores (14).
6 - Dispositif selon la revendication 5, caractérisé en ce que les moyens de filtrage (28) sont situés dans les zones (16) destinées à porter des éléments chromophores (14).
7 - Dispositif selon la revendication 5, caractérisé en ce que les moyens de filtrage (28) sont situés entre des zones (18) comportant des composants photoluminescents (20) et des zones (16) destinées à porter les éléments chromophores (14).
8 - Dispositif selon l'une des revendications 5 à 7, caractérisé en ce que les moyens de filtrage (28) sont constitués par des séries de rainures, des cristaux photoniques ou des cavités optiques formées dans le guide d'onde planaire (12).
9 - Dispositif selon la revendication 8, caractérisé en ce que les rainures des moyens de filtrage (28) sont à contraste d'indice faible ou de forme sinusoïdale peu profonde et sont formées en surface ou dans des sous-couches intermédiaires du guide d'onde planaire (12).
10 - Dispositif selon l'une des revendications 5 à 7, caractérisé en ce que les moyens de filtrage comprennent des matériaux inclus dans le guide d'onde planaire (12) et absorbant les longueurs d'onde identiques à ou voisines de celles de la fluorescence émise par les éléments chromophores (14).
11 - Dispositif selon l'une des revendications 5 à 7, caractérisé en ce que la longueur d'onde d'excitation des éléments chromophores (14) étant inférieure à la longueur d'onde de la fluorescence émise par ces éléments, le filtrage est réalisé par le guide d'onde planaire (12) lui-même, celui-ci ayant une longueur d'onde de coupure du mode guidé comprise entre la longueur d'onde d'excitation des éléments chromophores et la longueur d'onde de la fluorescence émise par ces éléments.
12 - Dispositif selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que les constituants photoluminescents sont répartis de façon sensiblement uniforme dans le guide d'onde planaire (12).
13 - Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le guide d'onde planaire (12) contient des constituants photoluminescents différents émettant une luminescence sur des longueurs d'onde différentes pour l'excitation d'éléments chromophores de types différents.
14 - Dispositif selon la revendication 13, caractérisé en ce que les constituants photoluminescents différents sont mélangés entre eux dans le guide d'onde planaire (12).
15 - Dispositif selon la revendication 13, caractérisé en ce que les constituants" "ph Stoïumiriescehts d'un type donné émettant sur une longueur d'onde donnée sont séparés d'autres constituants photoluminescents émettant sur des longueurs d'onde différentes.
16 - Dispositif selon la revendication 15, caractérisé en ce que les constituants photoluminescents de types différents sont dans des zones différentes du guide d'onde planaire (12) ou dans des couches différentes superposées de ce guide d'onde.
17 - Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le substrat (10) comprend, sous une partie au moins du guide d'onde planaire (12), une couche (32) de matière absorbant les photons émis depuis le guide d'onde (12) aux longueurs d'onde de la lumière d'excitation primaire (22) et/ou de la lumière d'excitation des éléments chromophores (14).
18 - Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le substrat (10) comprend, sous une zone (16) du guide d'onde planaire destinée à porter des éléments chromophores (14), une couche intermédiaire structurée (42) qui réfléchit au moins partiellement la fluorescence émise par les éléments chromophores et qui comporte des zones d'épaisseur ou de hauteur différentes permettant de faire varier l'intensité de cette fluorescence par interférence destructive ou constructive.
19 - Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le guide d'onde planaire comprend, dans ou au voisinage d'au moins une zone (18, 34) contenant des constituants photoluminescents (20), des moyens (30, 38) formant réflecteur pour le guidage de la luminescence émise (26) vers au moins une zone (16) destinée à porter des éléments chromophores (14).
20 - Dispositif selon la revendication 19, caractérisé en ce que les moyens formant réflecteur comprennent un revêtement réfléchissant (38), par exemple métallique, formé sur la tranche du guide d'onde planaire (12), ou bien des rainures (30) formées dans le guide d'onde planaire (12) ou des cristaux photoniques bidimensionnels formés dans ce guide d'onde planaire.
21 - Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le substrat (10) comprend, sous le guide d'onde planaire (12) contenant les constituants photoluminescents (20), une couche de matière réfléchissant les longueurs d'onde de la luminescence émise.
22 - Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le guide d'onde planaire (20) comprend des cavités résonantes formées par des couches réfléchissantes placées de part et d'autre des constituants photoluminescents (20).
23 - Dispositif selon la revendication 22, caractérisé en ce que les constituants photoluminescents (20) sont placés au niveau d'un nœud de résonance verticale pour la luminescence émise.
24 - Dispositif selon la revendication 22 ou 23, caractérisé en ce que les constituants photoluminescents (20) sont placés au niveau d'un ventre de résonance verticale pour la lumière d'excitation primaire.
25 - Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que des constituants photoluminescents (20) sont placés sous une couche réfléchissante (25), par exemple métallique, à un niveau correspondant à un nœud de résonance verticale pour la luminescence émise et sont éclairés par la lumière d'excitation primaire à travers la face (24) du substrat opposée à celle comportant ladite couche réfléchissante.
26 - Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que les constituants photoluminescents (20) sont posés en couche mince sur une couche guidante du substrat.
27 - Dispositif selon l'une des revendications 1 à 25, caractérisé en ce que les constituants photoluminescents sont formés dans une structure semi-conductrice multicouche fixée au substrat (10) et à laquelle est couplée optiquement une couche guidante (12) déposée sur le substrat et destinée à porter les éléments chromophores (14).
28. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que sa couche superficielle (12) est recouverte d'une couche d'une épaisseur de plusieurs dizaines de μm, comportant des orifices formant des micro-puits de réception d'échantillons.
29 - Utilisation d'un dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le dispositif en fonctionnement est recouvert d'un milieu liquide contenant des éléments chromophores en suspension et des particules diffusantes.
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