WO2004075204A2 - Messanordnung zur kombinierten abtastung und untersuchung von mikrotechnischen, elektrische kontakte aufweisenden bauelementen - Google Patents

Messanordnung zur kombinierten abtastung und untersuchung von mikrotechnischen, elektrische kontakte aufweisenden bauelementen Download PDF

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Technische Universitaet Dresden
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    • G01Q60/24—AFM [Atomic Force Microscopy] or apparatus therefor, e.g. AFM probes
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
    • G01Q10/00—Scanning or positioning arrangements, i.e. arrangements for actively controlling the movement or position of the probe
    • G01Q10/04—Fine scanning or positioning
    • G01Q10/045—Self-actuating probes, i.e. wherein the actuating means for driving are part of the probe itself, e.g. piezoelectric means on a cantilever probe
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
    • G01Q20/00—Monitoring the movement or position of the probe
    • G01Q20/04—Self-detecting probes, i.e. wherein the probe itself generates a signal representative of its position, e.g. piezoelectric gauge

Definitions

  • the invention relates to a measuring arrangement for the combined scanning and examination of microtechnical components having electrical contacts, in particular of complex semiconductor components such as e.g. integrated circuits.
  • Devices for examining or sampling microelectronic components which are referred to as “probers” or “probe stations” and have at least one measuring arrangement with a cantilever or cantilever clamped on one side, at the free end of which a very fine and electrically conductive sample tip is trained.
  • the aim of testing is to place the sample tip on selected electrical contacts or conductor tracks of the components in order to then check whether the component has the desired functions or whether short circuits and / or other defects by applying electrical voltages or passing electrical currents through it available.
  • the devices of the type described so far on the market have a holder intended for mounting the measuring arrangement, which can be moved manually or by motor in three directions (X, Y and Z).
  • a microscope is usually used to facilitate or enable the positioning of the sample tip.
  • optical microscopes are not sufficient to visualize ⁇ likro and nanostructures, and the use of electron microscopes would be associated with high costs and numerous inconveniences when sampling (e.g. taking measurements in a vacuum).
  • the sample tip can be positioned during sampling with a correspondingly high level of accuracy without the need for an optical observation of the surface.
  • the recording of the surface topology is carried out by keeping the distance of the sample tip from the surface constant during the scanning (so-called "constant height mode") and the resulting deflections of the bending beam are determined with the aid of a laser beam reflected by the latter.
  • the known devices of this type do not yet meet all the requirements which are placed on a device which is also used as a prober.
  • the smallest possible measuring arrangements and associated devices are desired, since mostly at least two, but often also more than two sample tips have to be placed simultaneously on contacts or conductor tracks, which are arranged, for example, within a surface area of 1 ⁇ m 2 or less and light Have distances of, for example, 200 nm or less.
  • the laser optics previously used to measure the deflection of the bending beam make such studies almost impossible in a confined space.
  • the present invention is based on the technical problem of eliminating the difficulties mentioned by creating a measuring arrangement which is suitable both for scanning by the AFM method and for sampling components by using electrical currents and / or voltages is and can therefore serve in particular for installation in a device intended for both purposes.
  • the invention has the advantage that the use of the inventive according to a bending beam provided with a piezoresistive force sensor, the expensive and sensitive laser optics previously used for testing can be completely avoided. This results in a simplified structure and significant cost savings for the overall device.
  • Another advantage is the simple electrical calibration of the piezoresistive sensor in comparison to the complex, usually several-minute manipulations required for the precise adjustment of a laser beam to the very small reflecting surface of the bending beam.
  • the sampling can easily be carried out on surfaces hot up to 100 ° C., as is common in the fault analysis of semiconductors, because those to be taken into account when using laser optics, by heat convection caused fluctuations in the refractive indices are eliminated and the temperature dependence of the piezoresistive effect can be taken into account with comparatively simple means.
  • the contact force of the tip of the sample can be easily measured with the aid of the piezoresistive force sensor and can also be easily adjusted with the aid of the heating wire actuator.
  • the invention enables the construction of the measuring arrangement in such a way that the sample tips of several measuring arrangements can be positioned easily and with small distances on the same surface of the component.
  • FIG. 1 shows the bottom view of a measuring arrangement according to the invention
  • FIG. 5 shows a plan view of the measuring arrangement according to FIG. 1; 6 shows schematically the application of the measuring arrangement according to FIGS. 1 to 4;
  • FIG. 7 schematically shows a circuit arrangement for the measuring arrangement according to FIG. 6;
  • FIG. 8 shows a resonance curve for a bending beam of the measuring arrangement according to FIG. 1;
  • FIG. 10 shows the side view of a second embodiment of the measuring arrangement according to the invention.
  • a measuring arrangement contains a bending beam or / clamped on one side.
  • Cantilever 1 with a rear end portion la and a front end portion Ib.
  • the rear end section la is fixedly fastened to a base body 2 or clamped therein, while the front end section 1b is freely arranged.
  • the end section 1b can therefore be moved up and down or bend while bending the bending beam 1 in the direction of a double arrow v (FIG. 2).
  • the direction of the arrow v corresponds to e.g. the Z axis of an imaginary coordinate system, while the directions perpendicular to it correspond to its X and Y axes.
  • the lower surface of the bending beam 1 and the coplanar lower surface of the base body 2 with it are provided with a common, insulating protective layer 3.
  • the end section 1b has on its underside a cone-shaped sample tip 4 which projects downward parallel to the double arrow v and whose extreme, tapering end 4a has a diameter of, for example, 50-200 nm.
  • the sample tip 4 consists of a conductive material such as aluminum, gold or another highly conductive material and is electrically insulated from the rest of the bending beam 1 by the protective layer 3.
  • a piezoresistive sensor 5 is embedded in the bending beam 1 between the two end sections la and lb and in particular near the fixed end section la. With such a sensor 5, among other things, the mechanical stress acting locally on the bending beam 1 can be calculated, since the resistance of the sensor 5 can be calculated according to the formula
  • ⁇ R / R ⁇ , ⁇ , + ⁇ , ⁇ ,
  • R means the resistance of sensor 5
  • ⁇ R the change in resistance, ⁇ l, and ⁇ t the lateral or transverse voltage component and ⁇ , and ⁇ t the transverse or lateral, piezoresistive coefficients (cf. eg Reichl et al in "Semiconductor sensors”", expert Verlag 1989, p. 225).
  • the sensor 5 is preferably arranged at a location of the bending beam 1 where the highest mechanical stresses result in order to obtain a high signal / noise ratio.
  • the front end section 1b is also provided with a heating wire actuator 6.
  • a heating wire actuator 6 This consists e.g. from a resistance heating element or an elongated or helically laid heating wire or the like, which causes a local heating of the bending beam 1 in the region of the end section 1b when an electric current is passed through.
  • first leads 7a and 7b are connected to the sensor 5, which are arranged like the sample tip 4 on the underside of the bending beam 1 and with two contact surfaces (“pads") arranged on the underside of the base body 2 ) 8a and 8b are conductively connected.
  • the heating wire actuator 6 is connected to two second feed lines 9a and 9b, which are connected in series with it, which are connected to contact surfaces 10a and 10b and, like the contact surfaces 8a, 8b, are arranged on the underside of the base body 2.
  • third feed line 11 which starts from a contact surface 12 lying on the underside of the base body 2, along the underside of the bending beam 1
  • Sample tip 4 leads and is conductively connected to this.
  • the Leads 7a, 7b, 9a and 9b and the contact surfaces 8a, 8b, 10a and 10b connected to them are arranged or formed in an electrically insulated manner both from one another and from the sample tip 4 and its feed line 11 and contact surface 12.
  • the sensor 5 and the first feed lines 7a and 7b are preferably arranged recessed in the base body 2 and are only led out through the protective layer 3 in the area of the contact surfaces 8a, 8b, while the feed line 11 and the contact surfaces 10a, 10b and 12 are arranged consistently on a free surface 14 of the protective layer 3. In this way, undesired contacts in the area of the intersections between the different supply lines or the sensor 5 are avoided in a simple manner.
  • the feed line 11 and the contact surfaces 8a, 8b. 10a, 10b and 12 and the sample tip 4 preferably consist of a highly conductive metal such as aluminum, gold, titanium or alloys thereof.
  • the bending beam 1 and the base body 2 preferably consist of a one-piece silicon body and the protective layer 3 of silicon dioxide (Si0 2 ).
  • the supply lines 7a arranged recessed in the base body 2. 7b can consist, for example, of strongly n- and / or p-conducting zones (n + or p + ) in the Sicicium base material.
  • the heating wire forming the actuator 6 and the feed lines 9a, 9b are preferably microwires implanted in the bending beam 1 or base body 2, which e.g. B. are connected by p + - or n + -conducting zones to the contact surfaces 10a, 10b.
  • Fig. 5 shows a strip 15 made of a material which has a very different thermal expansion coefficient compared to the protective layer 3 or to the base material of the bending beam, as e.g. applies to aluminum.
  • the strip 15 is therefore z. B. from a 1 micron to 3 micron thick aluminum film.
  • the measuring arrangement described can be used both for the raster-shaped scanning of a surface 16 of a component 17 to be examined using the AFM method and also for examining or testing the functionality of the component 17 can be used.
  • the component 17 is placed on a table 18 of a device shown roughly schematically in FIG. 6, the table 18 being supported by means of a Z drive 19 in the direction of an arrow Z, which indicates the Z axis of an imaginary coordinate system. and can be moved.
  • the base body 2 is clamped in a holder 20 when the sample tip 4 is arranged above the component 17, which in a XY plane of the imaginary coordinate system perpendicular to the arrow Z, each with a schematically indicated piezoelectric X and Y drive 21 or 22 a conventional X / Y coordinate table can be moved back and forth.
  • the heating wire actuator 6 is connected to a current source 23, for example by means of the contact surface 10b, and grounded with its contact surface 10a.
  • the piezoresistive sensor 5 is preferably connected to a bridge circuit 24, which is only indicated schematically and from which an electrical voltage characteristic of the change in resistance ⁇ R / R of the sensor 5 or the mechanical tension of the bending beam 1 is taken. This electrical voltage is fed to a first input of a comparator 25.
  • the current source 23 has on the one hand an alternating current generator 23a connected to the output of an alternating voltage generator 26, and on the other hand a direct current generator 23b connected to the output of a regulator 27.
  • the output voltage of the alternating voltage generator 26 is also fed to a second input of the comparator 25 as a reference voltage.
  • An output of the comparator 25 is finally connected to an input of the controller 27.
  • the component 17 Before the component 17 is examined, its surface 16 is first scanned using the AFM method and preferably in the so-called “non-contact” mode, ie without contact, in order thereby to obtain an image of the surface 16 and the exact coordinates of the various contact surfaces and conductor tracks of the component 17, which generally protrude somewhat from the otherwise mostly planar surface 16.
  • This scan can be carried out as follows, for example: After the component 17 has been placed on the table 18, this is first moved parallel to the Z direction until the surface 16 stops on the sample tip 4 and then by z. B. 0.5 ⁇ m slightly withdrawn again so that the sample tip 4 is safely above the highest elevation of the surface 16.
  • an alternating current z is then fed to the heating wire actuator 6 in order to heat it periodically.
  • a direct current is additionally fed to the heating wire actuator 6 with the aid of the direct current generator 23b in such a way that the bending beam 1 experiences a uniform bend parallel to the Z axis and in the direction of the surface 16 of the component 17 and the sample tip 4 of the surface 16 extends up to approaches a desired small value without touching it.
  • the bending of the bending beam 1 in the Z direction brought about by the direct current component can, for. B. be up to a few micrometers.
  • the sample tip 4 now vibrates at the frequency of the exciting alternating current or the alternating voltage emitted by the alternating voltage generator 26, wherein the bending beam 1 can be regarded as a spring and the sample mushrooms 4 as the mass of an oscillatory system.
  • This vibration system is preferably excited with the resonance frequency f 0 of this vibration system.
  • the signal measured by the sensor 5 would follow the exciting signal essentially without a phase shift.
  • the direct voltage component supplied to the heating wire actuator 6 is selected such that the sample tip 4 is so close to the surface 16 that van der Waals attractive forces become effective, such as this is typical for the so-called "non-contact" mode of the AFM method.
  • the vibrations of the bending beam 1 are damped, with the result that the signal generated by the sensor 5, as a curve 30 in FIG. 8 shows schematically, lags the exciting signal by a certain phase angle.
  • the size of the resulting phase shift A ⁇ depends on the average distance of the sample tip 4 from the surface 16 measured in the Z direction. 8, the phase shift ⁇ v? the smaller this distance, the greater the distance.
  • the sample tip 4 is now guided in a grid-like manner in the X and Y directions over the surface 16, as is indicated in FIG. 9, for example, and on an exaggerated scale for the X direction. If it encounters an elevation 16a or depression 16b, then the damping and thus the phase shift A ⁇ change between the voltages emitted by the alternating voltage generator 26 and the sensor 5.
  • the respective phase shift A ⁇ is measured in the comparator 25, which is preferably designed as a PPL component (phase-locked loop).
  • the resulting value is passed by the comparator 25 to the controller 27, which is preferably designed as a PID controller.
  • the latter then controls the direct current generator 23b in such a way that the sample tip 4 is more or less raised or lowered and the distance between it and the surface 16 of the component 17 is kept constant, which corresponds to the AFM method operating at a constant distance.
  • the parts 5, 25, 27, 23b and 6 thus form a closed control loop, the sensor 5 determining the respective actual value, while the controller 27 specifies a predetermined target value for the distance of the sample tip 4 from the component 17.
  • a small (or large) value of the direct current in a curve section 31 (or 32) means a slight (or strong) bending of the bending beam 1 in the direction of the table 18 (FIG. 6) compared to a preselected zero position I 0 , which synonymous is z. B. with the survey 16a or recess 16b of the surface 16 in the Z direction.
  • the curve sections 31, 32 therefore convey a positive image of the scanned surface topology of the scanned component 17.
  • the piezoresistive sensor 5 or the bridge circuit 24 is connected by means of a switch 35 to a measuring device 36 which, for. B. directly in digital form, the mechanical stress under which the bending beam 1 is just standing, or the force with which the sample tip presses on the surface 16 of the component 17.
  • the sample tip 4 or the contact surface 12 (FIG. 1) is connected to a test circuit 37.
  • the addresses of selected contacts of the component 17 present in the data memory 34 are used to control the X and Y drives 21 and 22 (FIG. 6) for the measuring arrangement according to FIGS. 1 to 4.
  • the sample tip 4 is then using the X and
  • the Z drive 19 is actuated until the measuring device 36 indicates a preselected tension of the bending beam 1 or a preselected contact force with which the sample tip 4 presses on the surface 16 or a selected contact surface or the like of the component 17. This with With the aid of the measuring device 36, the contact force set and signaled by the sensor 5 is selected such that a good electrical connection is established and the sample tip 4 penetrates any oxide layers or the like that are present on the surface 16 or the contacts etc. of the component 17 could have formed.
  • the voltage source 23 remains switched off during sampling.
  • the component 17 can be sampled, for which purpose suitable currents or voltages are applied to the electrically conductive sample tip 4 by means of the test circuit 37.
  • the component 17 can be tested with direct or alternating currents or voltages. Sampling is preferably carried out with the aid of high-frequency signals with frequencies in the MHz range. In order to avoid the occurrence of parasitic signals and signal distortions falsifying the measurement result, it is necessary to shield the sample tip 4 and the conductor track 11 leading to it. This is achieved according to the invention in that on the underside of the bending beam 1 according to FIGS. 1 to 4, on both sides of the conductor track 11, two conductor tracks 38a, 3Sb parallel to it are attached, one end of which at the end section 1b by a tightly around the base point of the electrically conductive sample tip 4 connected line section 38c and the other ends of which are connected to contact surfaces 39a, 39b connected to the underside of the base body 2.
  • the contact surfaces 39a, 39b are preferably grounded during sampling so that the conductor tracks 38a, 38b and the line section 38c act in the manner of a coaxial line, the conductor track 11 forming the so-called inner conductor, while the conductor track 38a, 38b together with the line section 38c represents the so-called outer conductor.
  • appropriate dimensioning and design of the conductor tracks 38a, 38b and 11 can provide that a desired characteristic impedance is obtained.
  • a particular advantage of the device described is that the Bending beam 1-containing measuring arrangement (FIG. 1) combines all the means required both for raster-shaped scanning and for examining the components 17, and the sensor 5 can additionally be used as a dynamometer when the component 17 is being tested.
  • the device described is equipped with a corresponding number of measuring arrangements according to FIGS. 1 to 4, the individual measuring arrangements being able to be moved independently of one another with separate X and Y drives 21, 22.
  • the heating wire actuators 6 of the various measuring arrangements are used for carrying out an examination with the aid of the direct current generator 23b for heating the various bending beams 1 in such a way that the sample tips 4 move individually in the Z direction and all sample tips 4 are applied to the component 17 with the same contact force.
  • the AC generator 23a remains switched off in this case also during the sampling.
  • the heating wire actuator 6 can also be used in the presence of only one sample tip 4 to adjust its contact force.
  • the measuring arrangement is preferably designed in accordance with FIG. 10.
  • a sample tip 41 is not only formed at the outer end of a bending beam 42, but also with its axis 43 at an obtuse angle ⁇ to a central axis 44 of the bending beam 43 arranged.
  • a plurality of sample tips 41 and 41a can be brought closer to one another than would be possible with the arrangement shown in FIG. 2.
  • the production of the measuring arrangement with the bending beam 1 or 42 is indicated schematically in Fig.
  • an n-type silicon wafer 45 or wafer polished on both sides is preferably used as the starting material, the plane-parallel broad sides of which are designed as (100) surfaces and which is initially provided all around with a thermally applied Sp 2 protective layer 46.
  • the processing of the silicon wafer 45 takes place, for. B. according to the so-called MESA technology.
  • the part of the protective layer 46 located on the upper broad side is first removed by etching, a section serving as a mask 47 being left at a selected point.
  • the exposed substrate surface is then (FIG. 11b) subjected to an anisotropic hate etching step, as a result of which the mask 47 is undercut and a conical tip or island 48 is formed.
  • the surface of the silicon wafer 45 is then covered with a, for example, 1 ⁇ m thick SiO 2 layer 49, as indicated in FIG. 11c, which shows only a small section of the silicon wafer 45 to the left of the tip 48.
  • Windows 50 are worked into this SiO 2 layer 49 using conventional lithography and etching processes.
  • the actuator 6 and the feed lines 9a, 9b can be formed with possibly different dopings, preferably buried in the semiconductor wafer 45 and, for this purpose, produced by deep implantation or diffusion.
  • a p-type layer 53 at a selected point at which the piezoressistive sensor 5 is to come to rest are connected (FIG. 11D), for example by providing the SiO 2 layer 52 with a window 54 through which boron or the like is diffused or implanted with little doping into the surface of the silicon wafer 45.
  • the resulting layer 53 is activated by heating or the like and then forms the piezoressistive sensor 5 (FIGS. 1, 2 and 4).
  • the silicon wafer 45 is processed from the opposite broad side with suitable lithography and etching steps in order to form a recess 56 in the silicon wafer 45 (FIG. 1 lf) or adjacent on a section 57 forming the base body 2, only a membrane 58 of the silicon wafer 45, for example 10 to 30 ⁇ m thin, which forms the bending beam 1 (FIG. 2) and supports the tip 48 (FIG. 11b).
  • a section 59 of the semiconductor wafer 45 which is arranged on the opposite side of the recess 56 compared to the section 57, is then removed by dry etching or the like, for example with SF 6 / Ar or SF 6 / CC1 2 F 2 / Ar removed, whereby the finished measuring arrangement shown in FIGS. 1 to 5 is obtained (FIG. 11g).
  • On the one with the tip 48 Broadside can, for example, be a temporarily applied one. 8 ⁇ m thick protective layer (eg AZ 4562) can be used as an etching mask.
  • the invention is not limited to the exemplary embodiments described, which can be modified in many ways. This applies in particular to the shapes, dimensions and materials of the measuring arrangement according to the invention.
  • the bridge circuit 24 (FIG. 6) into the bending beam 1 or the base body 2 or only to mount the actual sensor 5 in the bending beam 1 and the other parts of the bridge circuit 24 outside the measuring arrangement.
  • the manufacturing process described serves only as an example, since there are numerous other methods for manufacturing the cantilevers and parts connected to them.
  • the feed lines 9a, 9b and the heating wire actuator 6, as shown in FIGS. 2 and 4 can be spaced more or less far from the aluminum strip 15.

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Abstract

Es wird eine Messanordnung zur kombinierten Abtastung und Untersuchung von mikrotechnischen, elektrische Kontakte aufweisenden Bauelementen (17) beschrieben. Die Messanordnung enthält einen Cantilever (1) mit einer elektrisch leitenden Probenspitze (4), einen in den Cantilever (1) integrierten, piezoresistiven Sensor (5) und einen im Bereich der Probenspitze (4) angeordneten Heizdraht-Aktuator (6). Der Heizdraht-Aktuator (6) dient dem Zweck, die Probenspitze (4) bei der Durchführung von Abtastungen in mechanische Schwingungen zu versetzen, und kann bei der Durchführung von Untersuchungen zur Herstellung einer vorgewählten Auflagekraft verwendet werden, mit der die Probenspitze (4) auf dem Bauelement (17) aufliegt. Der Sensor (5) wird bei der Abtastung nach dem AFM-Verfahren zur Konstanthaltung des Abstands zwischen der Probenspitze (4) und der Oberfläche (16) des Bauelements (17) verwendet, während er bei der Durchführung von Untersuchungen dazu dient, die Auflagekraft der Probenspitze (4) auf dem Bauelement (17) zu messen und/oder mit Hilfe des Heizdraht-Aktuators (6) einzustellen. Ausserdem beschreibt die Erfindung eine mit einer solchen Messanordnung ausgerüstete Vorrichtung zur kombinierten Abtastung und Untersuchung von mikrotechnischen Bauelementen (Fig. 6).

Description

Meßanordnung zur kombinierten Abtastung und Untersuchung von mikrotechnischen, elektrische Kontakte aufweisenden Bauelementen
Die Erfindung betrifft eine Meßanordnung zur kombinierten Abtastung und Untersuchung von mikrotechnischen, elektrische Kontakte aufweisenden Bauelementen, insbesondere von komplexen Halbleiterbauelementen wie z.B. integrierten Schaltungen.
Zur Untersuchung bzw. zum Proben von mikroelektronischen Bauelementen sind Vorrichtungen bekannt, die als "Prober" oder "Probe Stations" bezeichnet werden und wenigstens eine Meßanordnung mit einem einseitig eingespannten Biegebalken bzw. Cantilever aufweisen, an dessen freiem Ende eine sehr feine und elektrisch leitende Probenspitze ausgebildet ist. Ziel beim Proben ist es, die Probenspitze auf ausgewählten elektrischen Kontakten oder Leiterbahnen der Bauelemente zu plazieren, um dann durch Anlegen von elektrischen Spannungen oder das Hindurchleiten von elektrischen Strömen zu überprüfen, ob das Bauelement die gewünschten Funktionen besitzt oder ob Kurzschlüsse und/oder sonstige Defekte vorhanden sind.
Wegen der immer kleiner werdenden Dimensionen mikrotechnischer Bauelemente liegen die für derartige Tests zur Verfügung stehenden Leiterbahnen der Bauelemente .
häufig sehr eng bei einander. Kontakte und Leiterbahnen mit Breiten und Abständen von 0,25 μm und weniger sind keine Seltenheit. Ein daraus resultierendes Problem besteht darin, die einen Durchmesser von z.B. 100 ran aufweisende Probenspitze exakt auf derartige Kontakte oder Leiterbahnen aufzusetzen.
Die bisher auf dem Markt befindlichen Vorrichtungen der beschriebenen Art weisen eine zur Montage der Meßanordnung bestimmte Halterung auf, die manuell oder motorisch in drei Richtungen (X, Y und Z) bewegbar ist. Zur Erleichterung bzw. Ermöglichung der Positionierung der Probenspitze dient in der Regel ein Mikroskop. Zur Sichtbarmachung von λlikro- und Nanostrukturen reichen optische Mikroskope jedoch nicht aus, und der Einsatz von Elektronenmikroskopen wäre mit hohen Kosten und zahlreichen Unbequemlichkeiten beim Proben (z.B. DurcMührung der Messungen im Vakuum) verbunden.
Zur Vermeidung dieser Nachteile sind Vorrichtungen bekannt geworden
[z.B. K. Krieg, R. Qi, D. Thomson und G. Bridges in "Electrical Probing of Deep Sub-Micron ICs Using Scanning Probes", IEEE Proc. Int. Reliability Phys. Symp. IRPS (2000)], bei denen die Meßanordnung mit ihrer elektrisch leitenden Spitze in ein rasterndes, atomares Kraftmikroskop (Atomic Force Microscopy = AFM) eingebaut ist. Dadurch wird eine sowohl für AFM-Zwecke als auch für Proben-Zwecke geeignete, kombinierte Vorrichtung geschaffen. Ein Vorteil dabei ist, daß dieselbe Meßanordnung in einem ersten Verfahrensschritt zur Abtastung, Aufzeichnung und elektronischen Speicherung eines Rasterbildes der zu untersuchenden Oberfläche des Bauelements und unter Benutzung der im ersten Verfahrensschritt erhaltenen Bilddaten in einem zweiten Verfahrensschritt für das Proben dieser Oberfläche verwendet werden kann. Da AFM- Verfahren heute die Abbildung der Topologie eine Oberfläche mit einer Auflösung von 50 nm und weniger ermöglichen, kann die Probenspitze beim Proben mit einer entsprechend hohen Genauigkeit positioniert werden, ohne daß eine optische Betrachtung der Oberfläche erforderlich ist. Die Aufzeichnung der Ober- flächen-Topologie erfolgt dabei dadurch, daß der Abstand der Probenspitze von der Oberfläche bei der Abtastung konstant gehalten wird (sog. "constant height mode") und die daraus resultierenden Auslenkungen des Biegebalkens mit Hilfe eines von diesem reflektierten Laserstrahls ermittelt werden.
Die bekannten Vorrichtungen dieser Art genügen allerdings noch nicht allen Anforde- rungen, die an eine auch als Prober verwendete Vorrichtung gestellt werden. Für derartige Vorrichtungen sind vor allem möglichst kleine Meßanordnungen und zugehörige Geräte erwünscht, da meistens wenigstens zwei, häufig aber auch mehr als zwei Probenspitzen gleichzeitig auf Kontakten oder Leiterbahnen abgesetzt werden müssen, die z.B. innerhalb eines Oberflächenbereichs von 1 μm2 oder weniger angeordnet sind und lichte Abstände von z.B. 200 nm oder weniger aufweisen. Die bisher zur Messung der Auslenkung des Biegebalkens verwendeten Laseroptiken machen derartige Untersuchungen auf engstem Raum nahezu unmöglich. Weiter ist es erwünscht, einerseits die Probenspitze beim Proben mit einer gewissen Mindestkraft auf die Kontakte, Leiterbahnen usw. aufzusetzen, damit sie auf diesen befindliche Oxidschichten od. dgl. durchdringen kann, andererseits die Auflagekraft aber auch zu begrenzen, um die Kontakte, Leiterbahnen usw. nicht zu beschädigen. Die Einstellung einer solchen Auflagekraft ist bei Anwendung der in Probern überlicherweise verwendeten, meistens aus einem dünnen Wolframdraht bestehenden Biegebalken nicht möglich.
Ausgehend von diesem Stand der Technik liegt der vorliegenden Erfindung das technische Problem zugrunde, die genannten Schwierigkeiten durch die Schaffung einer Meßanordnung zu beseitigen, die sowohl zur Abtastung nach dem AFM- Verfahren als auch zum Proben von Bauelementen durch Anwendung elektrischer Ströme und/oder Spannungen geeignet ist und daher insbesondere zum Einbau in eine für beide Zwecke bestimmten Vorrichtung dienen kann.
Zur Lösung dieses technischen Problems dienen die Merkmale der Ansprüche 1 und 10.
Die Erfindung bringt den Vorteil mit sich, daß durch den Einsatz des erfindungs- gemäßen, mit einem piezoresistiven Kraftsensor versehenen Biegebalkens die bisher zum Proben verwendete, teure und empfindliche Laseroptik vollständig vermieden werden kann. Dadurch ergeben sich ein vereinfachter Aufbau und eine deutliche Kostenersparnis für die Gesamtvorrichtung. Vorteilhaft ist ferner die einfache elek- trische Kalibrierung des piezoresistiven Sensors im Vergleich zu den aufwendigen, meistens mehrere Minuten dauernden Handhabungen, die zur genauen Einstellung eines Laserstrahls auf die sehr kleine Reflektionsfläche des Biegebalkens erforderlich sind. Weiter ist es auch vorteilhaft, daß mit der erfindungsgemäßen Meßanordnung das Proben ohne weiteres an bis zu 100 °C heißen Oberflächen durchgeführt werden kann, wie dies bei der Fehleranalyse von Halbleitern allgemein üblich ist, weil die bei der Anwendung einer Laseroptik zu berücksichtigenden, durch Wärmekonvektion verursachten Schwankungen der Brechungsindizes entfallen und die Temperaturabhängigkeit des piezoresistiven Effekts mit vergleichsweise einfachen Mitteln berücksichtigt werden kann. Vorteilhaft ist schließlich auch, daß die Auflagekraft der Probenspitze beim Proben mit Hilfe des piezoresistiven Kraftsensors leicht meßbar und mit Hilfe des Heizdraht-Aktuators auch leicht einstellbar ist. Abgesehen davon ermöglicht die Erfindung den Aufbau der Meßanordnung derart, daß die Probenspitzen mehrerer Meßanordnungen problemlos mit kleinen Abständen auf derselben Oberfläche des Bauelements positioniert werden können.
Weitere vorteilhafte Merkmale der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.
Die Erfindung wird nachfolgend in Verbindung mit den heiligenden Zeichnungen an Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 die LTnteransicht einer erfindungsgemäßen Meßanordnung;
Fig. 2 bis 4 Schnitte längs der Linien II - II bis IV - IV der Fig. 1, wobei in Fig. 4 eine Probenspitze der Einfachheit halber weggelassen wurde;
Fig. 5 eine Draufsicht auf die Meßanordnung nach Fig. 1; Fig. 6 schematisch die Anwendung der Meßanordnung nach Fig. 1 bis 4;
Fig. 7 schematisch eine Schaltungsanordnung für die Meßanordnung nach Fig. 6;
Fig. 8 eine Resonanzkurve für einen Biegebalken der Meßanordnung nach Fig. 1;
Fig. 9 eine mit der Schaltungsanordnung nach Fig. 7 erhaltene Meßkurve;
Fig. 10 die Seitenansicht einer zweiten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Meßanordnung; und
Fig. 11a bis 11g schematisch die Herstellung der Meßanordnung nach Fig. 1 bis 4;
Nach Fig. 1 bis 4 enthält eine erfindungsgemäße Meßanordnung einen einseitig eingespannten Biegebalken bzv/. Cantilever 1 mit einem hinteren Endabschnitt la und einen vorderen Endabschnitt Ib. Der hintere Endabschnitt la ist fest an einem Grundkörper 2 befestigt bzw. in diesem eingespannt, während der vordere Emd- abschnitt lb frei angeordnet ist. Der Endabschnitt 1b kann daher unter Verbiegung des Biegebalkens 1 in Richtung eines Doppelpfleils v (Fig. 2) auf- und abbewegt werden bzw. schwingen. Die Richtung des Pfeils v entspricht dabei z.B. der Z-Achse eines gedachten Koordinatensystems, während die dazu senkrechten Richtungen dessen X- und Y-Achsen entsprechen. Außerdem sind die untere Oberfläche des Biegebalkens 1 und die mit ihr koplanare untere Oberfläche des Grundkörpers 2 mit einer gemeinsamen, isolierenden Schutzschicht 3 versehen.
Die Endabschnitt lb weist auf seiner Unterseite eine parallel zum Doppelpfeil v nach unten ragende, kegelartig ausgebildete Probenspitze 4 auf, deren äußerstes, spitz zulaufendes Ende 4a einen Durchmesser von z.B. 50 - 200 nm besitzt. Die Probenspitze 4 besteht aus einem leitenden Material wie z.B. Aluminium, Gold oder einem anderen gut leitenden Material und ist durch die Schutzschicht 3 vom übrigen Teil des Biegebalkens 1 elektrisch isoliert. Gemäß Fig. 1 und 2 ist zwischen den beiden Endabschnitten la und lb und insbesondere nahe dem festliegenden Endabschnitt la ein piezoresistiver Sensor 5 in den Biegebalken 1 eingelassen. Mit einem solchen Sensor 5 läßt sich unter anderem die lokal auf den Biegebalken 1 wirkende mechanische Spannung berechnen, da sich der Widerstand des Sensors 5 nach der Formel
ΔR/R = δ, π , + δ, π ,
ändert. Darin bedeuten R den Widerstand des Sensors 5, ΔR die Widerstandsände- rung, δl, und όt die laterale bzw. transversale Spannungskomponente und π, und πt die transversalen bzw. lateralen, piezoresistiven Koeffizienten (vgl. z.B. Reichl et al in "Halbleitersensoren" , expert- Verlag 1989, S. 225). Vorzugsweise ist der Sensor 5 an einem Ort des Biegebalkens 1 angeordnet, wo sich die höchsten mechanischen Spannungen ergeben, um ein hohes Signal/Rausch-Verhältnis zu erhalten.
Der vordere Endabschnitt lb ist femer mit einem Heizdraht-Aktuator 6 versehen. Dieser besteht z.B. aus einem Widerstandsheizelement bzw. einem gestreckten oder wendeiförmig verlegten Heizdraht od. dgl. , der beim Durchleiten eines elektrischen Stroms eine lokale Erwärmung des Biegebalkens 1 im Bereich des Endabschnitts lb bewirkt.
Gemäß Fig. 1 sind mit dem Sensor 5 zwei in Serie liegende, erste Zuleitungen 7a und 7b verbunden, die wie die Probenspitze 4 auf der Unterseite des Biegebalkens 1 angeordnet und mit zwei auf der Unterseite des Grundkörpers 2 angeordneten Kontakt- flächen ("pads") 8a und 8b leitend verbunden sind. Entsprechend ist der Heizdraht- Aktuator 6 an zwei mit ihm in Serie liegende, zweite Zuleitungen 9a und 9b angeschlossen, die mit Kontaktflächen 10a und 10b verbunden und wie die Kontaktflächen 8a, 8b an der Unterseite des Grundkörpers 2 angeordnet sind. Schließlich ist eine dritte Zuleitung 11 vorhanden, die von einer auf der Unterseite des Grundkörpers 2 liegenden Kontaktfläche 12 ausgeht, längs der Unterseite des Biegebalkens 1 zur
Probenspitze 4 führt und mit dieser leitend verbunden ist. Dabei versteht sich, daß die Zuleitungen 7a, 7b, 9a und 9b und die mit ihnen verbundenen Kontaktflächen 8a, 8b, 10a und 10b sowohl gegeneinander als auch gegen die Probenspitze 4 sowie deren Zuleitung 11 und Kontaktfläche 12 elektrisch isoliert angeordnet bzw. ausgebildet sind. Zu diesem Zweck sind der Sensor 5 und die ersten Zuleitungen 7a und 7b, wie insbesondere Fig. 3 zeigt, vorzugsweise im Grundkörper 2 versenkt angeordnet und erst im Bereich der Kontaktflächen 8a, 8b durch die Schutzschicht 3 hindurch nach außen geführt, während die Zuleitung 11 sowie die Kontaktflächen 10a, 10b und 12 durchweg auf einer freien Oberfläche 14 der Schutzschicht 3 angeordnet sind. Dadurch werden auf einfache Weise unerwünschte Kontakte im Bereich der Kreu- zungsstellen zwischen den verschiedenen Zuleitungen bzw. dem Sensor 5 vermieden.
Die Zuleitung 11 und die Kontaktflächen 8a, 8b. 10a, 10b und 12 sowie die Probenspitze 4 bestehen vorzugsweise aus einem gut leitenden Metall wie z.B. Aluminium, Gold, Titan oder Legierungen davon. Dagegen bestehen der Biegebalken 1 und der Grundkörper 2 vorzugsweise aus einem einstückig hergestellten Siliciumkörper und die Schutzschicht 3 aus Siliciumdioxid (Si02). Die in dem Grundkörper 2 versenkt angeordneten Zuleitungen 7a. 7b können z.B. aus stark n- und/oder p-leitenden Zonen (n+ bzw. p+) im Sicicium-Grundmaterial bestehen. Schließlich sind der den Aktuator 6 bildende Heizdraht und die Zuleitungen 9a, 9b vorzugsweise in den Biegebalken 1 bzw. Grundkörper 2 implantierte Mikrodrähte, die z. B. durch p+- oder n+ -leitende Zonen mit den Kontaktflächen 10a, 10b verbunden sind.
An der Oberseite des Biegbalkens 1 ist, wie u. a. Fig. 5 zeigt, ein Streifen 15 aus einem Material angebracht, der einen im Vergleich zur Schutzschicht 3 bzw. zum Grundmaterial des Biegebalkens stark unterschiedlichen Wärmeausdehnungskoeffizienten besitzt, wie dies z.B. für Aluminium gilt. Der Streifen 15 besteht daher z. B. aus einem 1 μ bis 3 μ dicken Aluminiumfilm.
Die beschriebene Meßanordnung kann gemäß Fig. 6 sowohl zur rasterförmigen Abtastung einer Oberfläche 16 eines zu untersuchenden Bauelements 17 nach der AFM-Methode als auch zur Untersuchung bzw. zum Proben der Funktionsf higkeit des Bauelements 17 verwendet werden. Zu diesem Zweck wird das Bauelement 17 auf einem Tisch 18 einer in Fig. 6 grob schematisch dargestellten Vorrichtung abgelegt, wobei der Tisch 18 mittels eines Z- Antriebs 19 in Richtung eines Pfeils Z, der die Z- Achse eines gedachten Koordinatensystems andeutet, auf- und abbewegt werden kann. Der Grundkörper 2 wird dagegen bei oberhalb des Bauelements 17 angeordneter Probenspitze 4 in einer Halterung 20 eingespannt, die in einer zum Pfeil Z senkrechten XY-Ebene des gedachten Koordinatensystems mit je einem nur schematisch angedeuteten, piezoelektrischen X- und Y-Antrieb 21 bzw. 22 eines üblichen X/Y-Koordinatentisches hin- und herbewegbar ist. Gleichzeitig wird gemäß Fig. 7 der Heizdraht-Aktuator 6 z.B. mittels der Kontaktfläche 10b an eine Stromquelle 23 angeschlossen und mit seiner Kontaktfläche 10a an Masse gelegt. Außerdem wird der piezoresistive Sensor 5 vorzugsweise in eine nur schematisch angedeutete Brückenschaltung 24 geschaltet, von der eine für die Widerstandsänderung ΔR/R des Sensors 5 bzw. die mechanische Spannung des Biegebalkens 1 charakteristische elektrische Spannung abgenommen wird. Diese elektrische Spannung wird einem ersten Eingang eines Vergleichers 25 zugeführt.
Die Stromquelle 23 besitzt einerseits einen an den Ausgang eines Wechselspannungsgenerators 26 angeschlossenen Wechselstromerzeuger 23a, andererseits einen an den Ausgang eines Reglers 27 angeschlossenen Gleichstromerzeuger 23b. Die Ausgangsspannung des Wechselspannungsgenerators 26 wird auch einem zweiten Eingang des Vergleichers 25 als Referenzspannung zugeführt. Ein Ausgang des Vergleichters 25 ist schließlich mit einem Eingang des Reglers 27 verbunden.
Vor der Untersuchung des Bauelements 17 wird zunächst dessen Oberfläche 16 mit Hilfe des AFM- Verfahrens und vorzugsweise im sogenannten "Nicht Kontakt" - Modus, d.h. berührungsfrei abgetastet, um dadurch ein Bild der Oberfläche 16 und die genauen Koordinaten der verschiedenen Kontaktflächen und Leiterbahnen des Bauelements 17 zu erhalten, die in der Regel über die sonst meistens planare Ober- fläche 16 etwas vorstehen. Diese Abtastung kann z.B. wie folgt durchgeführt werden: Nachdem das Bauelement 17 auf dem Tisch 18 plaziert worden ist, wird dieser zunächst parallel zur Z-Richtung bis zum Anschlag der Oberfläche 16 an die Probenspitze 4 bewegt und dann um z. B. 0,5 μm wieder leicht zurückgezogen, damit die Probenspitze 4 sicher oberhalb der höchsten Erhebung der Oberfläche 16 liegt. Mit Hilfe des Wechselspannungserzeugers 23a wird dem Heizdraht-Aktuator 6 dann ein Wechselstrom z igeführt, um ihn periodisch zu erwärmen. Dadurch ergeben sich unterschiedliche Wärmedehnungen für den auf dem Biegebalken 1 befestigten Aluminiumstreifen 15 einerseits und das angrenzende Material des Biegebalkens 1 bzw. der Schutzschicht 3 andererseits, so daß der Biegebalken 1 mit der Frequenz des Wechsel- Stroms nach Art eines Bimetallstreifens geringfügig verbogen bzw. in mechanische Schwingungen versetzt wird, wobei die Amplitude dieser Schwingungen nur einige Manometer betragen braucht. Anschließend wird dem Heizdraht-Aktuator 6 mit Hilfe des Gleichstromerzeugers 23b zusätzlich ein Gleichstrom derart zugeführt, daß der Biegebalken 1 eine gleichförmige Biegung parallel zur Z-Achse und in Richtung der Oberfläche 16 des Bauelements 17 erfährt und sich die Probenspitze 4 der Oberfläche 16 bis auf einen gewünschten kleinen Wert annähert, ohne sie zu berühren. Die durch die Gleichstromkomponente herbeigeführte Verbiegung des Biegebalkens 1 in Z-Richtung kann z. B. bis zu einigen Mikrometern betragen.
Die Probenspitze 4 schwingt nun mit der Frequenz des anregenden Wechselstroms bzw. der vom Wechselspannungserzeuger 26 abgegebenen Wechselspannung, wobei der Biegebalken 1 als Feder und die Probenspilze 4 als Masse eines schwingungsfähigen Systems betrachtet werden kann. Die Anregung dieses Schwingungssystems erfolgt vorzugsweise mit der Resonanzfrequenz f0 dieses Schwingungssystems. Im ungedämpften Zustand, d. h. bei großem Abstand der Probenspitze 4 von der Oberfläche 16, würde das vom Sensor 5 gemessene Signal dem anregenden Signal im wesentlichen ohne Phasenverschiebung folgen.
Tatsächlich wird die dem Heizdraht-Aktuator 6 zugeführte Gleichspannungskom- ponente jedoch so gewählt, daß sich die Probenspitze 4 in so großer Nähe der Oberfläche 16 befindet, daß van der Waals'sche Anziehungskräfte wirksam werden, wie dies für den sogenannten "Nicht-Kontakt "-Modus des AFM- Verfahrens typisch ist. Die Schwingungen des Biegebalkens 1 werden dadurch gedämpft mit der Folge, daß das vom Sensor 5 erzeugte Signal, wie eine Kurve 30 in Fig. 8 schematisch zeigt, dem anregenden Signal um einen bestimmten Phasenwinkel nacheilt. Die Größe der sich ergebenden Phasenverschiebung Aφ ist vom mittleren, in Z-Richtung gemessenen Abstand der Probenspitze 4 von der Oberfläche 16 abhängig. Nach Fig. 8 ist die Phasenverschiebung Δv? um so größer, je kleiner dieser Abstand wird.
Die Probenspitze 4 wird nun rasterförmig in X- und Y-Richtung über die Oberfläche 16 geführt, wie in Fig. 9 beispielsweise und in einem übertrieben großen Maßstab für die X-Richtung angedeutet ist. Trifft sie dabei auf eine Erhebung 16a oder Vertiefung 16b, dann ändert sich die Dämpfung und damit die Phasenverschiebung Aφ zwischen den vom Wechselspannungserzeuger 26 und vom Sensor 5 abgegebenen Spannungen. Die jeweilige Phasenverschiebung Aφ wird in dem Vergleicher 25, der vorzugsweise als PPL-Baustein (Phase-Locked Loop) ausgebildet ist, gemessen. Der sich ergebende Wert wird vom Vergleicher 25 dem vorzugsweise als PID-Regler ausgebildeten Regler 27 2Λigefuhrt. Dieser steuert daraufhin den Gleichstromerzeuger 23b so, daß die Probenspitze 4 mehr oder weniger angehoben oder abgesenkt und dadurch der Abstand zwischen ihr und der Oberfläche 16 des Bauelements 17 konstant gehalten wird, was dem mit konstantem Abstand arbeitenden AFM- Verfahren entspricht. Die Teile 5, 25, 27, 23b und 6 bilden somit einen geschlossenen Regelkreis, wobei der Sensor 5 den jeweiligen Istwert ermittelt, während der Regler 27 einen vorgegebenen Sollwert für den Abstand der Probenspitze 4 vom Bauelement 17 vorgibt.
Das Ergebnis einer derartigen Regelung ist im oberen Teil der Fig. 9 schematisch dargestellt, in der längs der Abszisse der Ort der Probenspitze 4 z. B. in Richtung der X-Achse und längs der Ordinate der dem Heizdraht-Aktuator 6 zugeführte Gleichstrom aufgetragen sind. Ein kleiner (bzw. großer) Wert des Gleichstroms in einem Kurvenabschnitt 31 (bzw. 32) bedeutet dabei eine geringe (bzw. starke) Verbiegung des Biegebalkens 1 in Richtung des Tisches 18 (Fig. 6) gegenüber einer vorgewählten Nullstellung I0, was gleichbedeutend ist z. B. mit der Erhebung 16a bzw. Vertiefung 16b der Oberfläche 16 in Z-Richtung. Die Kurvenabschnitte 31, 32 vermitteln daher ein Positivbild der abgetasteten Oberflächentopologie des abgetasteten Bauelements 17.
Die Ausgangssignale des Reglers 27 oder den Stromwerten in Fig. 9 entsprechende Signale werden zusammen mit den ihnen zugeordneten Adressen in Form von X- und Y-Koordinaten, die mit Hilfe von nicht dargestellten Positionsgebern od. dgl. erhalten werden, einer Verarbeitungseinheit 33 (Fig. 7) und nach geeigneter Verarbeitung als "Bild"-Daten einem Datenspeicher 34 zugeführt. Aus diesen Daten und ihren Adressen ist dann ersichtlich, wo genau die für das nachfolgende Proben des Bauelements 17 benötigten Kontaktflächen, Leiterbahnen oder dgl. angeordnet sind.
Bei der nun folgenden Untersuchung des Bauelements 17 auf seine Funktionsfähigkeit wird die anhand der Fig. 6 und 7 beschriebene Vorrichtung ebenfalls eingesetzt. Hierzu wird der piezoresistive Sensor 5 bzw. die Brückenschaltung 24 mittels eines Umschalters 35 an eine Meßvorrichtung 36 angeschlossen, die z. B. in digitaler Form unmittelbar die mechanische Spannung, unter der der Biegebalken 1 gerade steht, oder die Kraft anzeigt, mit der die Probenspitze auf die Oberfläche 16 des Bauelements 17 drückt. Außerdem wird die Probenspitze 4 bzw. die Kontaktfläche 12 (Fig. 1) an eine Prüfschaltung 37 angeschlossen.
Zu Beginn einer jeden Probenphase für das Bauelement 17 werden die im Datenspeicher 34 vorliegenden Adressen ausgewählter Kontakte des Bauelements 17 zur Ansteuerung des X- und Y- Antriebs 21 bzw. 22 (Fig. 6) für die Meßanordnung nach Fig. 1 bis 4 verwendet. Die Probenspitze 4 wird dann mit Hilfe der X- und
Y-Antriebe 21, 22 in diejenige Position gefahren, an der eine Untersuchung stattfinden soll, worauf der Z- Antrieb 19 eingeschaltet und das Bauelement 17 bis zum Anschlag an die Probenspitze 4 bewegt wird. Dabei wird der Z- Antrieb 19 so lange betätigt, bis die Meßvorrichtung 36 eine vorgewählte Spannung des Biegebalkens 1 bzw. eine vorgewählte Auflagekraft anzeigt, mit der die Probenspitze 4 auf die Oberfläche 16 bzw. eine ausgewählte Kontaktfläche oder dgl. des Bauelements 17 drückt. Diese mit Hilfe der Meßvorrichtung 36 eingestellte und mittels des Sensors 5 signalisierte Auflagekraft wird so gewählt, daß eine gute elektrische Verbindung hergestellt wird und die Probenspitze 4 etwa vorhandene Oxidschichten od. dgl. durchdringt, die sich auf der Oberfläche 16 bzw. den Kontakten usw. des Bauelements 17 gebildet haben könnten. Die Spannungsquelle 23 bleibt beim Proben ausgeschaltet.
Nach dem Einstellen der gewünschten Auflagekraft von z. B. 70 - 100 μN kann das Proben des Bauelements 17 durchgeführt werden, zu welchem Zweck mittels der Prüf Schaltung 37 geeignete Ströme oder Spannungen an die elektrisch leitende Proben- spitze 4 angelegt werden.
Das Proben des Bauelements 17 kann mit Gleich- oder Wechselströmen bzw. -Spannungen erfolgen. Vorzugsweise wird das Proben mit Hilfe von hochfrequenten Signalen mit im MHz-Bereich liegenden Frequenzen durchgeführt. Um dabei das Auftreten von parasitären Signalen und das Meßergebnis verfälschenden Signalverzerrungen zu vermeiden, ist es erforderlich, die Probenspitze 4 und die zu ihr führende Leiterbahn 11 abzuschirmen. Dies wird erfindungsgemäß dadurch erreicht, daß an der Unterseite des Biegebalkens 1 gemäß Fig. 1 bis 4 beidseitig der Leiterbahn 11 zwei zu dieser parallele Leiterbahnen 38a, 3Sb angebracht werden, deren eine Enden am Endabschnitt lb durch einen dicht um den Fußpunkt der elektrisch leitenden Probenspitze 4 herum gelegten Leitungsabschnitt 38c verbunden und deren andere Enden an mit der Unterseite des Grundkörpers 2 verbundene Kontaktflächen 39a, 39b angeschlossen sind. Die Kontaktflächen 39a, 39b werden beim Proben vorzugsweise an Masse gelegt, so daß die Leiterbahnen 38a, 38b und der Leitungsabschnitt 38c nach Art einer Koaxialleitung wirken, wobei die Leiterbahn 11 den sogenannten Innenleiter bildet, während die Leiterbahn 38a, 38b zusammen mit dem Leitungsabschnitt 38c den sogenannten Außenleiter darstellt. Außerdem kann bei Bedarf durch entsprechende Bemessung und Ausbildung der Leiterbahnen 38a, 38b und 11 vorgesehen werden, daß sich ein gewünschter Wellenwiderstand ergibt.
Ein besonderer Vorteil der beschriebenen Vorrichtung besteht darin, daß die den Biegebalken 1 enthaltende Meßanordnung (Fig. 1) alle sowohl zur rasterförmigen Abtastung als auch zur Untersuchung der Bauelemente 17 erforderlichen Mittel in sich vereinigt und der Sensor 5 beim Proben des Bauelements 17 zusätzlich als Kraftmesser verwendet werden kann.
In der Regel ist es erwünscht, die Untersuchung des Bauelements 17 dadurch zu bewirken, daß gleichzeitig wenigstens zwei Probenspitzen 4 auf eng nebeneinander liegende Kontaktbahnen oder dgl. des Bauelements 17 gedrückt werden. In diesem Fall wird die beschriebene Vorrichtung mit entsprechend vielen Meßanordnungen nach Fig. 1 bis 4 ausgerüstet, wobei die einzelnen Meßanordnungen mit separaten X- und Y- Antrieben 21, 22 unabhängig voneinander bewegbar sind. Um dabei alle vorhandenen Probenspitzen 4 mit annähernd derselben Auflagekraft auf die Oberfläche 16 des Bauelements 17 auflegen zu können, werden die Heizdraht- Aktuatoren 6 der verschiedenen Meßanordnungen bei der Durchführung einer Untersuchung mit Hilfe der Gleichstromerzeuger 23b zur derartigen Erwärmung der verschiedenen Biegebalken 1 verwendet, daß sich die Probenspitzen 4 individuell in Z-Richtung bewegen und alle Probenspitzen 4 mit derselben Auflagekraft an das Bauelement 17 angelegt werden. Der Wechselstromerzeuger 23a bleibt auch in diesem Fall beim Proben ausgeschaltet. Natürlich kann der Heizdraht-Aktuator 6 auch beim Vorhandensein von nur einer Probenspitze 4 zur Einstellung von deren Auflagekraft verwendet werden.
Damit möglichst viele Probenspitzen 4 gleichzeitig auf das Bauelement 17 aufgelegt werden können, ohne aneinander zu stoßen, wird die Meßanordnung vorzugsweise entsprechend Fig. 10 ausgebildet. Bei dieser Variante, die im übrigen dem Ausfüh- rungsbeispiel nach Fig. 1 bis 4 entspricht, ist eine Probenspitze 41 nicht nur am äußeren Ende eines Biegebalkens 42 ausgebildet, sondern mit ihrer Achse 43 auch unter einem stumpfen Winkel α zu einer Mittelachse 44 des Biegebalkens 43 angeordnet. Dadurch können mehrere Probenspitzen 41 und 41a, wie in Fig. 10 angedeutet ist, stärker an einander angenähert werden, als dies bei der aus Fig. 2 ersichtlichen Anordnung möglich wäre. Die Herstellung der Meßanordnung mit dem Biegbalken 1 bzw. 42 ist schematisch in Fig. 11a bis 11g angedeutet und kann mit den bei der Cantilever-Herstellung bekannten Verfahren erfolgen [z. B. T. Gotszalk, J. Radojewski, P. B. Grabiec, P. Duma- nia, F. Shi, P. Hudek und I. W. Rangelow in "Fabrication of multipurpose piezoresi- stive Wheatstone bridge cantilevers with conductive microtips for electrostatic and scanning capacitance microscopy" , J. Vac. Sei. Technol. B 16(6), Nov/Dec 1998, S. 3948-3953 oder I.W. Rangelow, P. B. Grabiec, T. Gotszalk und K. Edinger in "Piezoresistive SXM Sensors", SIA 1162, 2002, Seiten...]. Als Ausgangsmaterial wird gemäß Fig. 11a vorzugsweise eine beidseitig polierte, n-leitende Siliciumwafer 45 bzw. -scheibe verwendet, deren planparallele Breitseiten als (lOO)-Flächen ausgebildet sind und die zunächst rundum mit einer thermisch aufgebrachten Sp2-Schutzschicht 46 versehen ist. Die Bearbeitung der Siliciumscheibe 45 erfolgt z. B. nach der sogenannten MESA-Technik.
Im Ausfuhrungsbeispiel wird zunächst der auf der oberen Breitseite befindliche Teil der Schutzschicht 46 durch Ätzen entfernt, wobei an einer ausgewählten Stelle ein als Maske 47 dienender Abschnitt stehen gelassen wird. Die freigelegte Substratoberfläche wird dann (Fig. 11b) einem anisotropen Haßätzschritt unterworfen, wodurch die Maske 47 unterätzt wird und eine konische Spitze bzw. Insel 48 entsteht. Anschlie- ßend wird die Oberfläche der Siliciumscheibe 45 mit einer z.B. 1 μm dicken SiO2- Schicht 49 belegt, wie in Fig. 11c angedeutet ist, die nur einen kleinen, links von der Spitze 48 liegenden Abschnitt der Siliciumscheibe 45 zeigt. In diese SiO2-Schicht 49 werden mit üblichen Lithografie- und Ätzverfahren Fenster 50 eingearbeitet. Durch die Fenster 50 hindurch wird dann mit hoher Dotierung z.B. Bor in die Silicium- scheibe 45 diffundiert oder durch Ionenimplantation eingebracht, um unterhalb der Fenster 50 p+ - leitende Schichten 51 zu erzeugen, die z.B. die implantierten Zuleitungen 7a, 7b bilden sollen. In entsprechender Weise und ggf. gleichzeitig mit den Schichten 51 können der Aktuator 6 und die Zuleitungen 9a, 9b mit ggf. unterschiedlichen Dotierungen ausgebildet, in der Halbleiterscheibe 45 vorzugsweise vergraben und dazu durch Tiefimplantation oder -diffusion hergestellt werden. Nach thermischer Aufbringung einer weiteren, z.B. 60 nm dicken SiO2-Schicht 52 (Fig. lld) zur Abdeckung der Schichten 51 können diese an einer ausgewählten Stelle, an der der piezoressistive Sensor 5 zu liegen kommen soll, durch eine p - leitende Schicht 53 verbunden werden (Fig. lld), indem z.B. die SiO2-Schicht 52 mit einem Fenster 54 versehen wird, durch das Bor od. dgl. mit geringer Dotierung in die Oberfläche der Siliciumscheibe 45 diffundiert oder implantiert wird. Die sich dadurch ergebende Schicht 53 wird durch Aufheizen od. dgl. aktiviert und bildet dann den piezoressistiven Sensor 5 (Fig. 1, 2 und 4) .
Durch Anwendung analoger Verfahrensschritte (Lithografie, Oxid-Ätzen usw.) werden dann diejenigen Abschnitte der p+- Schichten frei gelegt, die mit Metallkontakten versehen werden sollen. Im Anschluß daran wird die gesamte Oberfläche der Siliciumscheibe 45 mit einem Metall wie z.B. Alluminium beschichtet, das danach mit einem geeignten Ätzmittel (z.B. Phosphorsäure) überall dort weggeätzt wird, wo es nicht benötigt wird (Fig. lle). Es verbleiben daher nur die eigentlichen Leiterbahnen 55 bzw. Kontaklflächen stehen (z.B. Sa, Sb usw. in Fig. 1). In entsprechender Weise können die Leiterbahnen 11 und 38a, 38b hergestellt werden. Bei diesem Verfahrens- schritt wird auch die Spitze 48 (Fig. 11b) mit dem verwendeten Metall überzogen und damit elektrisch leitend gemacht.
Nachdem die verschiedenen, aus Fig. 1 bis 4 ersichtlichen Zuleitungen hergestellt sind, wird die Siliciumscheibe 45 von der entgegengesetzten Breitseite her mit geeigneten Lithografie- und Ätzschritten bearbeitet, um in der Siliciumscheibe 45 eine Aussparung 56 auszubilden (Fig. l lf) bzw. angrenzend an einen den Grundkörper 2 bildenden Abschnitt 57 nur eine z.B. 10 bis 30 μm dünne, den Biegebalken 1 (Fig. 2) bildende und die Spitze 48 (Fig. 11b) tragende Membran 58 der Siliciumscheibe 45 stehen zu lassen. In einem letzten Verfahrensschritt wird dann ein Abschnitt 59 der Halbleiterscheibe 45, der auf der im Vergleich zum Abschnitt 57 entgegengesetzten Seite der Aussparung 56 angeordnet ist, durch Trockenätzen od. dgl. z.B. mit SF6/Ar oder SF6/CC12F2/Ar entfernt, wodurch die fertige, aus Fig. 1 bis 5 ersichtliche Meßanordnung erhalten wird (Fig. 11g). Auf der mit der Spitze 48 versehenen Breitseite kann dabei z.B. eine vorrübergehend aufgebrachte. 8 μm dicke Schutzschicht (z.B. AZ 4562) als Ätzmaske verwendet werden.
Im übrigen ist klar, daß die anhand der Fig. 11a bis 11g beschriebenen Verfahrens- schritte nur Beispiele darstellen, die in beliebiger, dem Fachmann bekannter Weise durch andere Verfahrensschritte ersetzt werden können. Entsprechendes gilt für die beschriebenen oder weitere, dem Schutz bzw. der Versiegelung dienende Schichten.
Die Erfindung ist nicht auf die beschriebenen Ausführungsbeispiele beschränkt, die auf vielfache Weise abgewandelt werden können. Dies gilt insbesondere für die angegebenen Formen, Abmessungen und Materialien der erfindungsgemäßen Messanordnung. Beispielweise ist es möglich, die Brückenschaltung 24 (Fig. 6) komplett in den Biegebalken 1 bzw. den Grundkörpεr 2 zu integrieren oder nur den eigentlichen Sensor 5 im Biegebalken 1, die übrigen Teile der Brückenschaltung 24 dagegen außerhalb der Meßanordnung anzubringen. Weiter dient das beschriebene Herstellungsverfahren nur als Beispiel, da es zahlreiche andere Methoden zur Herstellung den Cantilevern und mit diesen verbundenen Teilen gibt. Weiter können die Zuleitungen 9a, 9b und der Heizdraht-Aktuator 6, wie Fig. 2 und 4 zeigen, mehr oder weniger weit vom Alurriiniumstreifen 15 beabstandet sein. Möglich wäre es sogar, die Zulei- tungen 9a, 9b und den Heizdraht-Aktuator 6 nahe der Oberfläche 14 und daher im wesentlichen koplanar mit der Zuleitung 11 anzuordnen und beim Proben als Abschirmung zu verwenden. In diesem Fall könnten die Leiterbahnen 38a, 38b ganz wegfallen. Dennoch könnte der Heizdraht-Aktuator 6 auch beim Proben verwendet werden, da er hierbei allenfalls von einem Gleichstrom durchflössen wird, was die gewünschte Abschirmwirkung nicht wesentlich beeinträchtigt. Außerdem versteht sich, daß die verschiedenen Merkmale auch in anderen als den dargestellten und beschriebenen Kombinationen angewendet werden können.

Claims

Ansprüche
1. Meßanordnung zur kombinierten Abtastung und Untersuchung von mikrotechnischen, elektrische Kontakte aufweisenden Bauelementen (17), enthaltend: einen Grundkörper (2), einen Biegebalken (1,42) mit einem fest mit dem Grundkörper (2) verbundenen, ersten Endabschnitt (la) und einem freien, mit einer elektrisch leitenden Probenspitze (4,41) versehen, zweiten Endabschmtt (lb), einen zwischen den beiden Endabschnitten (la,lb) angeordneten, in den Biegebalken (1,42) integrierten, piezoresistiven Sensor (5), einen am zweiten Endabschnitt (lb) angeordneten, zur Verbiegung des Biegebalkens (1,42) bestimmten Heizdraht-Aktuator (6), mit dem Sensor (5) verbundene, erste Zuleitungen (7a, 7b), mit dem Hetedraht-Aktuator (6) verbundene zweite Zuleitungen (9a,9b) und eine mit der Probenspitze (4,41) verbundene, dritte Zuleitung (11), wobei die Zuleitungen (7a,7b,9a,9b, ll) aus elektrisch leitenden, auf oder im Biegebalken (1,40) angeordneten und gegenüber der Probenspitze (4,41) und der dritten Zuleitung (11) elektrisch isolierten Leiterbahnen bestehen.
2. Meßanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Heizdraht- Aktuator (6) und die zweiten Zuleitungen (9a, 9b) als Abschirmung für die dritte Zuleitung (11) ausgebildet sind.
3. Meßanordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die zweiten Zulei- tungen (9a,9b) koplanar mit der dritten Zuleitung (11) ausgebildet sind.
4. Meßanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß beidseitig der dritten Zuleitung (11) Leiterbahnen (38a, 38b) angeordnet sind, die zusammen mit einem beide verbindenden, den Fußpunkt der Probenspitze (4, 41) umgebenden Leitungs- abschnitt (38c) eine Abschirmung für die dritte Zuleitung (11) bilden.
5. Meßanordnung nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die ersten, zweiten und dritten Zuleitungen (7a,7b,9a,9b,ll) und die Leiterbahnen (38a, 38b) an einer Unterseite des Biegebalkens (1,42) angeordnet sind.
6. Meßanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Probenspitze (41) am äußersten Ende des freien Endabschnitts des Biegebalkens (42) angeordnet ist und ihre Achse (43) einen stumpfen Winkel (ά) mit einer Achse (44) des Biegebalkens (42) einschließt.
7. Meßanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß auf einer Oberseite des Biegebalkens (1, 42) ein Streifen (15) aus einem Material ausgebil- det ist, das einen thermischen Ausdehnungskoeffizienten aufweist, der sich von dem des Biegebalkens (1, 42) und/oder von dem der Schutzschicht (3) unterscheidet.
8. Meßanordnung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der thermische Ausdehnungskoeffizient des Streifens (15) größer als der des Biegebalkens (1. 42) und/oder der Schutzschicht ist.
9. Meßanordnung nach einem der Ansprüche 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Biegebalken (1, 42) aus Silicium. die Schutzschicht (3) aus Siliciumdioxid und der Streifen (15) aus einem Metall, insbesondere Aluminium besteht.
10. Vorrichtung zur kombinierten Abtastung und Untersuchung eines mikrotechnischen Bauelements (17), enthaltend einen in einer Z-Richtung verschiebbaren Tisch (18) zur Auflage des Bauelements (17), wenigstens eine in X- und Y-Richtungen verschiebbare, mit einer Meßanordnung nach wenigstens einem der Ansprüche 1 bis 9 versehenen Halterung (20), einen mit den ersten und zweiten Zuleitungen (7a,7b,9a- ,9b) zu der Meßanordnung verbundenen Regelkreis (23,25,26,27) zur Regelung der Stromzufuhr zum Heizdraht-Aktuator (6) in der Art, daß der Abstand der Probenspitze (4, 41) von der Oberfläche (16) des Bauelements (17) bei der Abtastung im wesentlichen konstant bleibt, Mittel (33,34) zur Gewinnung und Speicherung von der Topolo- gie der Oberfläche (16) des Bauelements (17) entsprechende Daten und deren Adressen in X- und Y-Richtung bei der Abtastung, Mittel (21,22) zum Verschieben der Halterung (20) in X- und Y-Richtung bei der Abtastung sowie zum Anfahren ausgewählter Bereiche der Oberflächen (16) bei der Untersuchung anhand der gespeicherten Daten und Adressen, mit den ersten und zweiten Zuleitungen (7a,7b,9a,9b) verbundene Mittel (33,36) zur Auflage der Probenspitze (4, 41) mit einer vorgewählten Auflagekraft auf die Oberfläche (16) bei der Untersuchung, und wenigstens eine mit der dritten Zuleitung (11) verbundene, zur Durchführung der Untersuchung bestimmte Prüfeinrichtung (37).
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2502876A1 (de) * 2011-03-24 2012-09-26 NanoWorld AG Mikromechanisches Bauelement mit Federbalken und integriertem elektrischen Funktionselement
CN111024988A (zh) * 2019-12-12 2020-04-17 江苏集萃微纳自动化系统与装备技术研究所有限公司 应用于afm-sem混合显微镜系统的prc及其制造方法

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20060103398A1 (en) * 2004-11-01 2006-05-18 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Systems and methods for etching and plating probe cards
DE102005001116A1 (de) 2005-01-05 2006-07-20 Universität Kassel Mikrosystemtechnisches Bauelement
DE102005038245B4 (de) * 2005-08-12 2010-09-16 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Vorrichtung zur Schwingungsanregung eines einseitig in einem Rasterkraftmikroskop befestigten Federbalkens
DE102007024992A1 (de) 2007-05-29 2008-12-04 Nascatec Gmbh Mikrokraftsensor, insbesondere für CMM- und AFM-Anwendungen
DE102007031112A1 (de) 2007-06-27 2009-01-02 Technische Universität Ilmenau Vorrichtung und Verfahren zur Untersuchung von Oberflächeneigenschaften verschiedenartiger Materialien
DE102007033441B4 (de) * 2007-07-18 2013-04-18 SIOS Meßtechnik GmbH Vorrichtung zur gleichzeitigen Messung von Kräften
DE102007045860A1 (de) 2007-09-21 2009-04-09 Technische Universität Ilmenau Schaltungsanordnung für parallele Cantilever-Arrays für die Raster-Kraft-Mikroskopie
US7928343B2 (en) * 2007-12-04 2011-04-19 The Board Of Trustees Of The University Of Illinois Microcantilever heater-thermometer with integrated temperature-compensated strain sensor
DE102007060460A1 (de) 2007-12-11 2009-06-18 Technische Universität Ilmenau Vorrichtung und Verfahren zur Untersuchung und Modifikation von Oberflächeneigenschaften verschiedener Materialien
WO2009097487A1 (en) 2008-01-31 2009-08-06 The Board Of Trustees Of The University Of Illinois Temperature-dependent nanoscale contact potential measurement technique and device
US8931950B2 (en) 2008-08-20 2015-01-13 The Board Of Trustees Of The University Of Illinois Device for calorimetric measurement
US8387443B2 (en) 2009-09-11 2013-03-05 The Board Of Trustees Of The University Of Illinois Microcantilever with reduced second harmonic while in contact with a surface and nano scale infrared spectrometer
US8914911B2 (en) 2011-08-15 2014-12-16 The Board Of Trustees Of The University Of Illinois Magnetic actuation and thermal cantilevers for temperature and frequency dependent atomic force microscopy
US8533861B2 (en) 2011-08-15 2013-09-10 The Board Of Trustees Of The University Of Illinois Magnetic actuation and thermal cantilevers for temperature and frequency dependent atomic force microscopy
DE102012224537A1 (de) 2012-12-31 2014-07-03 Technische Universität Ilmenau Lithographieverfahren und Lithographievorrichtung für Bauteile und Schaltungen mit Strukturabmessungen im Mikro- und Nanobereich
US8997258B2 (en) 2013-05-23 2015-03-31 National Institute Of Standards And Technology Microscope probe and method for use of same
DE102015211472A1 (de) * 2015-06-22 2016-07-07 Carl Zeiss Smt Gmbh Mikro-elektromechanisches system und verfahren zum herstellen eines mikro-elektromechanischen systems
DE102016214658B4 (de) * 2016-08-08 2020-10-08 Carl Zeiss Smt Gmbh Rastersondenmikroskop und Verfahren zum Untersuchen einer Probenoberfläche

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5475318A (en) * 1993-10-29 1995-12-12 Robert B. Marcus Microprobe
US5929438A (en) * 1994-08-12 1999-07-27 Nikon Corporation Cantilever and measuring apparatus using it
EP0886758B1 (de) * 1996-03-13 2001-11-21 International Business Machines Corporation Auslegerstrukturen
US5856672A (en) * 1996-08-29 1999-01-05 International Business Machines Corporation Single-crystal silicon cantilever with integral in-plane tip for use in atomic force microscope system
US6014032A (en) * 1997-09-30 2000-01-11 International Business Machines Corporation Micro probe ring assembly and method of fabrication
JP2000065718A (ja) * 1998-06-09 2000-03-03 Seiko Instruments Inc 走査型プロ―ブ顕微鏡（ｓｐｍ）プロ―ブ及びｓｐｍ装置
JP3892198B2 (ja) * 2000-02-17 2007-03-14 エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 マイクロプローブおよび試料表面測定装置
JP3785018B2 (ja) * 2000-03-13 2006-06-14 エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 マイクロプローブおよびそれを用いた走査型プローブ装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2502876A1 (de) * 2011-03-24 2012-09-26 NanoWorld AG Mikromechanisches Bauelement mit Federbalken und integriertem elektrischen Funktionselement
US8810110B2 (en) 2011-03-24 2014-08-19 Nanoworld Ag Micro-mechanical component with cantilever integrated electrical functional element
CN111024988A (zh) * 2019-12-12 2020-04-17 江苏集萃微纳自动化系统与装备技术研究所有限公司 应用于afm-sem混合显微镜系统的prc及其制造方法
CN111024988B (zh) * 2019-12-12 2021-07-13 江苏集萃微纳自动化系统与装备技术研究所有限公司 应用于afm-sem混合显微镜系统的prc及其制造方法

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